JP2017187060A - エアベアリング - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エアベアリング1は、案内面501に対向する軸受面20を有する本体部10と、本体部10内に設けられ、外部から供給されてきた圧縮空気が流れる流路部31、32と、流路部32に設けられ、圧縮空気を案内面501へ給気して軸受面20と案内面501との間に空気膜を形成する給気孔21と、流路部32と交差する流路部31に設けられ、圧縮空気の流速を大きくして、案内面501と本体部10の間の空気を吸引する負圧を発生させる負圧発生部45と、を備える。
【選択図】図4
Description
また、前記吸引領域は、前記本体部の前記軸受面と同一面に形成された凹部領域であることとしてもよい。
また、前記吸引領域は、前記本体部の前記軸受面と同一面に形成された環状溝で囲まれた領域であることとしてもよい。
また、前記負圧発生部は、前記第2流路部の流路を狭くして、圧縮空気の流速を大きくするノズル部を有し、前記第2流路部は、前記ノズル部の先端側に発生された負圧によって、前記案内面と前記本体部の間の空気を吸引する吸引孔を有することとしてもよい。
また、前記吸引孔は、前記軸受面の中央側の吸引領域の空気を吸引し、前記給気孔は、前記吸引領域よりも外側の給気領域へ圧縮空気を給気することとしてもよい。
また、前記給気孔は、前記軸受面の中央側の給気領域へ圧縮空気を給気し、前記吸引孔は、前記給気領域よりも外側の吸引領域の空気を吸引することとしてもよい。
図1及び図2を参照しながら、本発明の一の実施形態に係るエアベアリング1の外観構成について説明する。
図1は、一の実施形態に係るエアベアリング1の外観構成を説明するための模式図である。図2は、エアベアリング1の軸受面20側を示した図である。
式(1)のkは空気膜の剛性を示し、ΔWはエアベアリング1に作用する負荷の変動を示し、Δhは空気膜の膜厚の変動を示す。また、給気孔21を通過後の空気圧の変化をΔp、Aを軸受有効面積とすると、ΔW=Δp×Aとなることから、上記の式(1)は下記の式(2)に置き換えることができる。
また、上記の式(2)より、Δpを大きくすることも剛性kを大きくすることに寄与することがわかる。すなわち、Δpを大きくするためには、給気孔21を通過する空気流速の変化を大きくすればよいということになり、そのためには給気孔21の径をより小さくすればよいということがわかる。従って、給気孔21の径をより小さくすることで、空気膜の膜厚はより小さくなり、剛性はより高まる。さらに、膜厚が小さいほど空気膜から凹部25の負圧領域に流れ込む空気の量は少なくなるので、負圧により発生する吸引力が劣化することを防ぎ、より高い吸引力が維持されるようになる。
図4〜図6を参照しながら、エアベアリング1の内部構成について説明する。
図4は、エアベアリング1の内部構成を示す図である。図5は、図4のI−I断面図である。図6は、図4のII−II断面図である。
図7〜図9を参照しながら、上述した構成のエアベアリング1内における圧縮空気の流れについて説明する。
図7〜図9は、エアベアリング1内の圧縮空気の流れを説明するための図である。図7〜図9において、空気の流れを太線で示している。
図10〜図14を参照しながら、エアベアリング1の変形例について説明する。
第1変形例においては、流路部31において真空エジェクタ40(具体的には、負圧発生部45)と排気口35との間に、整流部70が設けられている。整流部70は、負圧発生部45を通過した圧縮空気、及び負圧によって吸引された空気(吸引空気とも呼ぶ)の流れを整える機能を有する。
上述した実施形態では、本体部10の底面に凹部25(図6)が形成されており、負圧発生部45で発生した負圧によって凹部25の空気を吸引することとした。これに対して、第2変形例では、凹部25に代えて、図11に示すように本体部10の底面に環状溝80が設けられている。
また、軸受面20は、環状溝80と溝部22の間に位置し、環状溝80の外側の面81と同一面となっている。かかる構成の場合にも、負圧発生部45で発生した負圧によって、環状溝80の空気が吸引孔26を介して流路部31へ流れる。この結果、環状溝80の外側の面81では、負圧による吸着力が発生する。環状溝80は、溝部22の周囲の空気膜の空気を吸引する。
第3変形例によれば、エアベアリング1の軸受面20の内側(給気領域)で浮上させる一方で、外側(吸引領域)で吸着するように構成することが可能である。かかる場合には、給気孔21から給気される空気を吸引孔26から回収することが可能である。この結果、エアベアリング1の周囲に空気が排出されないので、エアベアリング1は、温度が均一な環境や極めて清潔な環境が要求される半導体製造装置等での使用に適している。
第5変形例によれば、環状溝80の周囲に配置された給気孔21から空気を給気してエアベアリング1を浮上させるので、エアベアリング1の周辺のゴミを吹き飛ばし、環状溝80の内側に配置された吸引孔26からゴミを吸い込むことを防止できる。なお、環状溝80及びその内側を凹部に変更しても、同様の効果が得られる。
上述した実施形態に係るエアベアリング1は、本体部10の内部に負圧発生部45を有する。負圧発生部45は、給気孔21が設けられた流路部32と交差する流路部31に設けられており、圧縮空気の流速を大きくして、案内面501と本体部10の間の空気(例えば凹部25の空気)を吸引する負圧を発生させる。すなわち、従来のエアベアリングと同様に圧縮空気を供給するだけで、真空プリロード機能を発揮することができるので、従来のエアベアリングに置き換えることが容易であり(使用上の互換性がある)、置き換えることで、エアベアリングの剛性を高めることが可能である。さらにばね等を使ったプリロード装置のように、エアベアリング本体以外にプリロードを掛けるための装置を必要としないので、従って、装置の小型化、低コスト化が可能なプリロード機能を有するエアベアリングを実現できる。
また、上記では、圧縮空気が分岐部34において左右2つの流路部32に分流することとしたが、これに限定されない。例えば、圧縮空気は分岐部34において一つの流路部32に分流してもよい。
10 本体部
20 軸受面
21 給気孔
26 吸引孔
31〜33 流路部
40 真空エジェクタ
45 負圧発生部
46 ノズル部
50 絞り部
55 エアチャンバー
70 整流部
80 環状溝
Claims (14)
- 案内面に対向する軸受面を有する本体部と、
前記本体部内に設けられ、外部から供給される圧縮空気が分岐部で分岐されて流される第1流路部及び第2流路部と、
前記第1流路部に設けられ、圧縮空気を前記案内面へ給気して前記軸受面と前記案内面との間に空気膜を形成する給気孔と、
前記第2流路部に設けられ、圧縮空気の流速を大きくして、前記案内面と前記本体部の間の空気を吸引する負圧を発生させる負圧発生部と、
を備える、エアベアリング。 - 前記負圧発生部に連通されると共に真空プリロードを発生する吸引領域を前記軸受面に有する、
請求項1に記載のエアベアリング。 - 前記吸引領域は、前記本体部の前記軸受面と同一面に形成された凹部領域である、
請求項2に記載のエアベアリング。 - 前記吸引領域は、前記本体部の前記軸受面と同一面に形成された環状溝で囲まれた領域である、
請求項2に記載のエアベアリング。 - 前記負圧発生部は、前記第2流路部の流路を狭くして、圧縮空気の流速を大きくするノズル部を有し、
前記第2流路部は、前記ノズル部の先端側に発生された負圧によって、前記案内面と前記本体部の間の空気を吸引する吸引孔を有する、
請求項1から4のいずれか1項に記載のエアベアリング。 - 前記ノズル部は、着脱可能に装着されている、
請求項5に記載のエアベアリング。 - 前記分岐部と前記給気孔との間に、流路を狭めた絞り部が設けられている、
請求項1から6のいずれか1項に記載のエアベアリング。 - 前記絞り部と前記給気孔との間に、流路を広げたエアチャンバーが設けられている、
請求項7に記載のエアベアリング。 - 前記第2流路部は、空気の流れを整える整流部を有する、
請求項1から8のいずれか1項に記載のエアベアリング。 - 前記整流部は、前記第2流路部の長手方向に沿って筋状に形成された複数の突起を有する、
請求項9に記載のエアベアリング。 - 前記吸引孔は、前記本体部の前記軸受面と同一面に形成された環状溝と繋がっている、
請求項5に記載のエアベアリング。 - 前記吸引孔は、前記軸受面の中央側の吸引領域の空気を吸引し、
前記給気孔は、前記吸引領域よりも外側の給気領域へ圧縮空気を給気する、
請求項5に記載のエアベアリング。 - 前記給気孔は、前記軸受面の中央側の給気領域へ圧縮空気を給気し、
前記吸引孔は、前記給気領域よりも外側の吸引領域の空気を吸引する、
請求項5に記載のエアベアリング。 - 前記第1流路部に移動可能に設けられ、前記給気孔へ供給される圧縮空気が通過する開口を開閉する開閉弁と、
前記開閉弁を押圧して、前記開口を開放させる付勢部材と、
通電されると前記付勢部材の付勢力に抗い前記開閉弁を吸引して、前記開口を閉塞させる電磁コイルと、を更に備え、
前記開閉弁が前記開口を閉塞した状態で前記負圧発生部が前記負圧を発生させると、吸引力によって前記本体部が前記案内面に吸着される、
請求項1から13のいずれか1項に記載のエアベアリング。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020070865A (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 株式会社ミツトヨ | 回転テーブル装置 |
US10962053B2 (en) | 2018-11-14 | 2021-03-30 | Mitutoyo Corporation | Air bearing |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3719443B1 (en) * | 2019-04-03 | 2021-06-09 | Hexagon Technology Center GmbH | Coordinate-measuring machine with self-cleaning air bearing |
JP2022541878A (ja) * | 2019-07-19 | 2022-09-28 | アクリビス システムズ ピーティーイー エルティーディー | 静圧気体軸受ガイドが一体化された鉄芯リニアモータフォーサ |
CN112033329B (zh) * | 2020-08-14 | 2021-07-06 | 东风汽车集团有限公司 | 同时测量内孔和平面的测量机构 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61103011A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-21 | Hitachi Ltd | 静圧気体軸受 |
JPH0656234A (ja) * | 1992-08-04 | 1994-03-01 | Shinkawa Ltd | 非接触型移動テーブル |
JPH06126129A (ja) * | 1992-10-16 | 1994-05-10 | Hisashi Imai | 水膜スプレー式脱硫装置 |
JPH07317767A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-08 | Mitsutoyo Corp | 静圧気体軸受 |
JPH10331852A (ja) * | 1997-05-28 | 1998-12-15 | Mitsutoyo Corp | 流体軸受装置 |
JP2002066854A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-05 | Ntn Corp | 静圧気体軸受スピンドル |
JP2005083789A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
JP2005282635A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Jiichi Muraki | オリフィス絞り型の静圧気体軸受 |
JP2007024314A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Asml Holding Nv | 搭載真空発生装置を有する真空予荷重空気軸受け |
JP2008151656A (ja) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Mitsutoyo Corp | 測定用補助台 |
JP2010249315A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-11-04 | Canon Inc | 静圧気体軸受 |
JPWO2009051192A1 (ja) * | 2007-10-19 | 2011-03-03 | ボッシュ株式会社 | 静圧スライド装置及び静圧スライド装置を備えた研削装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE737360A (ja) * | 1968-08-13 | 1970-01-16 | ||
US3635532A (en) * | 1969-02-08 | 1972-01-18 | Riv Officine Di Villar Perosa | Hydrostatically supported machine tool slide |
US3781070A (en) * | 1972-05-18 | 1973-12-25 | Cincinnati Milacron Heald | Machine tool |
DE2909878C2 (de) * | 1979-03-14 | 1982-12-23 | Carl Schenck Ag, 6100 Darmstadt | Vorrichtung zur Abführung des Leckflusses eines hydraulischen Lagermediums |
FR2512509A1 (fr) * | 1981-09-10 | 1983-03-11 | Commissariat Energie Atomique | Palier fluide de guidage pour arbre polygonal |
US5104237A (en) * | 1990-11-08 | 1992-04-14 | Advanced Engineering Systems Operations & Products, Inc. (Aesop) | Self-compensating hydrostatic linear motion bearing |
US6515288B1 (en) * | 2000-03-16 | 2003-02-04 | Applied Materials, Inc. | Vacuum bearing structure and a method of supporting a movable member |
US6443618B1 (en) * | 2000-07-24 | 2002-09-03 | Moore Epitaxial, Inc. | Particulate free air bearing and seal |
JP2002252166A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびに移動案内方法 |
DE50304635D1 (de) * | 2002-07-18 | 2006-09-28 | P&L Gmbh & Co Kg | Aktive Schwingungsdämpfung in einer Werkzeugmaschine |
JP4266713B2 (ja) * | 2003-06-03 | 2009-05-20 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置及び露光装置 |
JP4259940B2 (ja) | 2003-07-18 | 2009-04-30 | 株式会社ミツトヨ | スライダ装置、直線案内装置および測定機 |
KR100568207B1 (ko) * | 2004-02-13 | 2006-04-05 | 삼성전자주식회사 | 이송장치 |
JP2008303913A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Shinkawa Ltd | 静圧案内装置 |
JP2009051192A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Yoshihiko Asada | 木材加工用チップソー |
JP5378977B2 (ja) * | 2009-12-18 | 2013-12-25 | 株式会社ミツトヨ | 空気軸受、及び産業機械 |
CN102678748B (zh) * | 2011-03-07 | 2014-07-16 | 上海微电子装备有限公司 | 分体式气足 |
-
2016
- 2016-04-01 JP JP2016074065A patent/JP6382251B2/ja active Active
-
2017
- 2017-03-21 US US15/464,552 patent/US10119565B2/en active Active
- 2017-03-28 CN CN201710193601.2A patent/CN107269698B/zh active Active
- 2017-03-31 DE DE102017205502.2A patent/DE102017205502A1/de active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61103011A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-21 | Hitachi Ltd | 静圧気体軸受 |
JPH0656234A (ja) * | 1992-08-04 | 1994-03-01 | Shinkawa Ltd | 非接触型移動テーブル |
JPH06126129A (ja) * | 1992-10-16 | 1994-05-10 | Hisashi Imai | 水膜スプレー式脱硫装置 |
JPH07317767A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-08 | Mitsutoyo Corp | 静圧気体軸受 |
JPH10331852A (ja) * | 1997-05-28 | 1998-12-15 | Mitsutoyo Corp | 流体軸受装置 |
JP2002066854A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-05 | Ntn Corp | 静圧気体軸受スピンドル |
JP2005083789A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
JP2005282635A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Jiichi Muraki | オリフィス絞り型の静圧気体軸受 |
JP2007024314A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Asml Holding Nv | 搭載真空発生装置を有する真空予荷重空気軸受け |
JP2008151656A (ja) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Mitsutoyo Corp | 測定用補助台 |
JPWO2009051192A1 (ja) * | 2007-10-19 | 2011-03-03 | ボッシュ株式会社 | 静圧スライド装置及び静圧スライド装置を備えた研削装置 |
JP2010249315A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-11-04 | Canon Inc | 静圧気体軸受 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020070865A (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 株式会社ミツトヨ | 回転テーブル装置 |
JP7158815B2 (ja) | 2018-10-31 | 2022-10-24 | 株式会社ミツトヨ | 回転テーブル装置 |
US10962053B2 (en) | 2018-11-14 | 2021-03-30 | Mitutoyo Corporation | Air bearing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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