JP2017183450A

JP2017183450A - Gas laser oscillation device

Info

Publication number: JP2017183450A
Application number: JP2016067202A
Authority: JP
Inventors: 良太中島; Ryota Nakajima; 皓平舩井; Kohei Funai; 西村　哲二; Tetsuji Nishimura; 哲二西村
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2016-03-30
Filing date: 2016-03-30
Publication date: 2017-10-05

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas laser oscillation device capable of appropriately controlling grease supply to a turbo-blower although there is the risk, in the prior arts, that grease may be consumed by leaking the grease while the grease is not required, the grease cannot be supplied to a bearing as needed and the turbo-blower may be damaged.SOLUTION: A gas laser oscillation device comprises a first tank, a first piston, a first grease supply pipe and a first valve. The first tank stores grease therein. The first piston extrudes the grease within the first tank. The first grease supply pipe is provided between the first tank and a first bearing of a turbo-blower and the grease passes therethrough. The first valve is provided in the middle of the first grease supply pipe.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本開示は、ガスレーザ発振装置に関し、特に、ターボブロアのベアリングへのグリース供給機構に関する。 The present disclosure relates to a gas laser oscillation device, and more particularly, to a grease supply mechanism to a turbo blower bearing.

従来、ガスレーザ発振装置ではターボブロアによってレーザガスが循環されており、ターボブロアの軸受には、一定時間ごとにグリースが供給されていた。 Conventionally, in a gas laser oscillation apparatus, laser gas is circulated by a turbo blower, and grease is supplied to a bearing of the turbo blower at regular intervals.

図７を用いて、従来のガスレーザ発振装置のグリース供給機構について説明する。図７は、従来のガスレーザ発振装置のグリース供給器９００を示す図である。 The grease supply mechanism of the conventional gas laser oscillation device will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a view showing a grease supplier 900 of a conventional gas laser oscillation device.

図７に示すように、従来のガスレーザ発振装置のグリース供給器９００は、ピストン９１０と、シリンダ９２０と、グリース調整用つまみ９３０と、角度可変ヘッド９４０と、キャップ９３３とを有する。ピストン９１０は、ネジ部９１１を介してシリンダ９２０に挿入されている。グリース９０１は、ピストン９１０とシリンダ９２０との間に充填され、ピストン９１０とシリンダ９２０との間はＯリング９１２によってシールされている。また、グリース９０１は、シリンダ先端部９２１にも充填され、シリンダ先端部９２１は、角度可変ヘッド９４０に挿入されている。 As shown in FIG. 7, the grease supplier 900 of the conventional gas laser oscillation device includes a piston 910, a cylinder 920, a grease adjustment knob 930, a variable angle head 940, and a cap 933. The piston 910 is inserted into the cylinder 920 via the screw portion 911. The grease 901 is filled between the piston 910 and the cylinder 920, and the piston 910 and the cylinder 920 are sealed with an O-ring 912. The grease 901 is also filled in the cylinder tip 921, and the cylinder tip 921 is inserted into the variable angle head 940.

グリース調整つまみ９３０は、シリンダ９２０の上端側に設けられ、作業者がグリース調整つまみ９３０を回すことにより、ピストン９１０はネジ部９１１のピッチに従って回る。グリース調整つまみ９３０は、ワンウェイクラッチ９３１を有し、ピストン９１０はグリース９０１を押し出すように下にだけ移動する。また、シリンダ９２０の表面には、目盛り９２２があり、ピストン９１０の位置からグリース９０１の供給量がわかるようになっている。 The grease adjustment knob 930 is provided on the upper end side of the cylinder 920. When the operator turns the grease adjustment knob 930, the piston 910 rotates according to the pitch of the screw portion 911. The grease adjusting knob 930 has a one-way clutch 931, and the piston 910 moves only downward so as to push out the grease 901. Further, a scale 922 is provided on the surface of the cylinder 920 so that the supply amount of the grease 901 can be seen from the position of the piston 910.

また、シリンダ先端部９２１は、角度可変ヘッド９４０に挿入され、角度可変ヘッド９４０との間はＯリング９２３によってシールされている。また、シリンダ先端部９２１の端は、Ｏリング９２４を介してボール９５０によって塞がれており、ボール９５０は、コイルバネ９６０によって、シリンダ先端部９２１に押し付けられている。また、シリンダ９２０の外周には、Ｏリング９２５が設けられ、ターボブロア本体と外気とがシールされている。 The cylinder tip 921 is inserted into the variable angle head 940 and is sealed with an O-ring 923 from the variable angle head 940. The end of the cylinder tip 921 is closed by a ball 950 via an O-ring 924, and the ball 950 is pressed against the cylinder tip 921 by a coil spring 960. An O-ring 925 is provided on the outer periphery of the cylinder 920 to seal the turbo blower body and the outside air.

角度可変ヘッド９４０は、Ｏリング９７０を介してグリースメタル９８０と接続され、グリース９０１は、グリースメタル９８０内の通路９８１を通って、ターボブロアの軸受に供給される。
（例えば、特許文献１参照） The variable angle head 940 is connected to the grease metal 980 via an O-ring 970, and the grease 901 is supplied to a turbo blower bearing through a passage 981 in the grease metal 980.
(For example, see Patent Document 1)

特開平６−２１６４３７号公報JP-A-6-216437

従来のグリース供給器９００は、コイルバネ９６０によってボール９５０をシリンダ先端部９２１に押し付けることで、グリース９０１の漏れを防いでいた。しかし、ターボブロア内の圧力が非常に低いため、通路９８１を介してボール９５０を吸引し、グリース９０１が供給時以外にも漏れ出す恐れがある。特に、ピストン９１０の移動を伴わなくても、グリース９０１内の微小な気泡が減圧によって膨張し、グリース９０１が漏れ出す恐れがある。不必要なときにシリンダ９２０内のグリース９０１が漏れ出すことにより、グリース９０１が消耗され、必要なときにグリース９０１を軸受に供給できず、ターボブロアが破損する恐れがある。本開示は、ターボブロアへのグリース供給を適切に制御することができるガスレーザ発振装置を提供する。 The conventional grease supplier 900 prevents the grease 901 from leaking by pressing the ball 950 against the cylinder tip 921 by the coil spring 960. However, since the pressure in the turbo blower is very low, the ball 950 may be sucked through the passage 981 and the grease 901 may leak out other than during supply. In particular, even if the piston 910 is not moved, minute bubbles in the grease 901 may expand due to decompression, and the grease 901 may leak out. When the grease 901 in the cylinder 920 leaks out when not needed, the grease 901 is consumed, and when necessary, the grease 901 cannot be supplied to the bearing, and the turbo blower may be damaged. The present disclosure provides a gas laser oscillation device capable of appropriately controlling the supply of grease to a turbo blower.

上記課題を解決するために、本開示のガスレーザ発振装置は、第１のタンクと、第１のピストンと、第１のグリース供給管と、第１の弁とを有する。第１のタンクは、グリースを貯留する。第１のピストンは、第１のタンク内のグリースを押し出す。第１のグリース供給管は、第１のタンクとターボブロアの第１の軸受との間に設けられ、グリースが通過する。第１の弁は、第１のグリース供給管の途中に設けられている。 In order to solve the above-described problem, the gas laser oscillation device of the present disclosure includes a first tank, a first piston, a first grease supply pipe, and a first valve. The first tank stores grease. The first piston pushes out the grease in the first tank. The first grease supply pipe is provided between the first tank and the first bearing of the turbo blower, and the grease passes therethrough. The first valve is provided in the middle of the first grease supply pipe.

これにより、本開示のガスレーザ発振装置１００は、ターボブロアへのグリース供給を適切に制御することができる。 Thereby, the gas laser oscillation apparatus 100 of this indication can control appropriately the grease supply to a turbo blower.

図１は、本開示の実施の形態に係るガスレーザ発振装置１００の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a gas laser oscillation device 100 according to an embodiment of the present disclosure. 図２は、本開示の実施の形態に係る送風装置２００の構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of the blower device 200 according to the embodiment of the present disclosure. 図３は、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a grease supply mechanism 300 according to the embodiment of the present disclosure. 図４は、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a variation of the grease supply mechanism 300 according to the embodiment of the present disclosure. 図５は、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a variation of the grease supply mechanism 300 according to the embodiment of the present disclosure. 図６は、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a variation of the grease supply mechanism 300 according to the embodiment of the present disclosure. 図７は、従来のガスレーザ発振装置のグリース供給器９００を示す図である。FIG. 7 is a view showing a grease supplier 900 of a conventional gas laser oscillation device.

（実施の形態）
まず、ガスレーザ発振装置１００の主要構成について、説明する。 (Embodiment)
First, the main configuration of the gas laser oscillation device 100 will be described.

図１に本開示の実施の形態に係るガスレーザ発振装置１００の構成を示す。ガスレーザ発振装置１００は、放電管１０１、電極１０２および１０３、電源１０４、全反射鏡１０６、部分反射鏡１０７、レーザガス流路１１０、熱交換器１１１および１１２、送風装置２００を備えている。 FIG. 1 shows a configuration of a gas laser oscillation device 100 according to an embodiment of the present disclosure. The gas laser oscillation device 100 includes a discharge tube 101, electrodes 102 and 103, a power source 104, a total reflection mirror 106, a partial reflection mirror 107, a laser gas channel 110, heat exchangers 111 and 112, and a blower device 200.

放電管１０１はガラスなどの誘電体からなり、電極１０２および１０３は放電管周辺に設けられ、電源１０４は電極に接続される。電極１０２および１０３の間に挟まれた放電管１０１内で放電空間１０５が形成される。全反射鏡１０６、部分反射鏡１０７は放電空間１０５の両端に固定配置され、光共振器を形成している。レーザビーム１０８は部分反射鏡１０７より出力される。 The discharge tube 101 is made of a dielectric such as glass, the electrodes 102 and 103 are provided around the discharge tube, and the power source 104 is connected to the electrodes. A discharge space 105 is formed in the discharge tube 101 sandwiched between the electrodes 102 and 103. The total reflection mirror 106 and the partial reflection mirror 107 are fixedly arranged at both ends of the discharge space 105 to form an optical resonator. The laser beam 108 is output from the partial reflection mirror 107.

レーザガス流１０９はガスレーザ発振装置１００の中を循環している。レーザガス流路１１０は放電管１０１とレーザガス導入部１１３で接続されている。熱交換器１１１および１１２、送風装置２００の運転により温度上昇したレーザガスの温度を下げレーザガスを循環させる働きを有する。 A laser gas flow 109 circulates in the gas laser oscillator 100. The laser gas flow path 110 is connected to the discharge tube 101 by a laser gas introducing portion 113. The heat exchangers 111 and 112 and the air blower 200 have a function of circulating the laser gas by lowering the temperature of the laser gas whose temperature has increased.

以上が本開示の実施の形態に係るガスレーザ発振装置１００の構成である。 The above is the configuration of the gas laser oscillation device 100 according to the embodiment of the present disclosure.

次に、送風装置２００の主要構成について説明する。 Next, the main configuration of the blower 200 will be described.

図２に本開示の実施の形態に係る送風装置２００の構成を示す。送風装置２００はモータロータ２０１、回転軸２０２、翼車２０３、モータステータ２０４、ハウジング２０５、スクロール２０６、上部軸受２０７、下部軸受２０８、共回転リング２０９、ナット２１０、固定部スペーサ２１１を備えている。 FIG. 2 shows a configuration of the blower device 200 according to the embodiment of the present disclosure. The blower 200 includes a motor rotor 201, a rotating shaft 202, an impeller 203, a motor stator 204, a housing 205, a scroll 206, an upper bearing 207, a lower bearing 208, a co-rotating ring 209, a nut 210, and a fixed part spacer 211.

送風装置２００の構成は、回転部と非回転部とに分けられ、回転部はモータロータ２０１、回転軸２０２、翼車２０３、上部軸受２０７および下部軸受２０８で構成されている。非回転部は、回転部を納めるハウジング２０５、翼車を覆うスクロール２０６と、共回転リング２０９で構成されている。 The structure of the blower device 200 is divided into a rotating part and a non-rotating part, and the rotating part includes a motor rotor 201, a rotating shaft 202, an impeller 203, an upper bearing 207, and a lower bearing 208. The non-rotating part includes a housing 205 that houses the rotating part, a scroll 206 that covers the impeller, and a co-rotating ring 209.

モータロータ２０１は回転軸２０２と結合され、回転軸２０２の先端に翼車２０３が備えられている。モータロータ２０１と同軸にモータステータ２０４が配置され、モータステータ２０４はハウジング２０５に固定されている。モータステータ２０４へ外部より交流電力が供給されると、モータロータ２０１が回転し、回転軸２０２を介して翼車２０３を回転させる。 The motor rotor 201 is coupled to the rotating shaft 202, and an impeller 203 is provided at the tip of the rotating shaft 202. A motor stator 204 is disposed coaxially with the motor rotor 201, and the motor stator 204 is fixed to the housing 205. When AC power is supplied to the motor stator 204 from the outside, the motor rotor 201 rotates and rotates the impeller 203 via the rotating shaft 202.

翼車２０３の周囲にはスクロール２０６が配置され、翼車２０３の回転によりレーザガスが圧縮されレーザガス流１０９が発生し、送風装置２００内の圧力は非常に低くなる。回転軸２０２は上下２ヶ所に配置された上部軸受２０７および下部軸受２０８により、回転可能な状態で保持されている。上部軸受２０７および下部軸受２０８は回転軸２０２と結合されている。 A scroll 206 is disposed around the impeller 203, and the laser gas is compressed by the rotation of the impeller 203 to generate a laser gas flow 109, so that the pressure in the blower 200 becomes very low. The rotating shaft 202 is held in a rotatable state by an upper bearing 207 and a lower bearing 208 that are arranged at two locations on the upper and lower sides. The upper bearing 207 and the lower bearing 208 are coupled to the rotating shaft 202.

以上が本開示の実施の形態に係る送風装置２００の構成である。 The above is the configuration of the blower device 200 according to the embodiment of the present disclosure.

次に、グリース供給機構３００の構成と動作について説明する。 Next, the configuration and operation of the grease supply mechanism 300 will be described.

図３に本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００を示す。グリース供給機構３００は加圧室３０２、ピストン３０３、グリース弁３０５、ガス弁３０６、充填部３０７およびグリースタンク３０８を備えている。
グリースタンク３０８と充填部３０７の間にグリース弁３０５を設けている。グリースタンク３０８と送風装置２００はグリース弁３０５によって遮断しているため、送風装置２００内の圧力が非常に低くなった場合でも、グリースタンク３０８からグリース３０４が漏れ出すことを防止している。 FIG. 3 shows a grease supply mechanism 300 according to an embodiment of the present disclosure. The grease supply mechanism 300 includes a pressurizing chamber 302, a piston 303, a grease valve 305, a gas valve 306, a filling unit 307, and a grease tank 308.
A grease valve 305 is provided between the grease tank 308 and the filling unit 307. Since the grease tank 308 and the blower 200 are blocked by the grease valve 305, the grease 304 is prevented from leaking out from the grease tank 308 even when the pressure in the blower 200 becomes very low.

グリースタンク３０８とグリース弁３０５と充填部３０７はグリース供給管３０９で接続されており、グリース供給管３０９内をグリース３０４が移動する。 The grease tank 308, the grease valve 305, and the filling unit 307 are connected by a grease supply pipe 309, and the grease 304 moves through the grease supply pipe 309.

圧縮ガス３０１と充填部３０７の間にガス弁３０６を設けている。 A gas valve 306 is provided between the compressed gas 301 and the filling unit 307.

圧縮ガス３０１とガス弁３０６と充填部３０７はガス供給管３１０で接続されており、ガス供給管３１０内を圧縮ガスが移動する。 The compressed gas 301, the gas valve 306, and the filling unit 307 are connected by a gas supply pipe 310, and the compressed gas moves through the gas supply pipe 310.

充填部３０７から上部軸受２０７近傍までグリース供給管３０９を設けている。 A grease supply pipe 309 is provided from the filling unit 307 to the vicinity of the upper bearing 207.

送風装置２００に真空ポンプ３１３を取り付け、送風装置２００と真空ポンプ３１３の間に排気弁３１２を設ける。 A vacuum pump 313 is attached to the blower 200, and an exhaust valve 312 is provided between the blower 200 and the vacuum pump 313.

グリースタンク３０８内にグリース３０４が充填されており、ピストン３０３はグリース３０４と加圧室３０２の間に摺動可能な状態で挿入されている。
加圧室３０２は圧縮ガス３０１で加圧されており、グリース弁３０５が開くとピストン３０３を介してグリース３０４が押し出され、グリース供給管３０９内を移動して充填部３０７に充填される。 Grease tank 308 is filled with grease 304, and piston 303 is slidably inserted between grease 304 and pressurizing chamber 302.
The pressurizing chamber 302 is pressurized with the compressed gas 301, and when the grease valve 305 is opened, the grease 304 is pushed out via the piston 303, moves in the grease supply pipe 309, and is filled in the filling unit 307.

グリース弁３０５が閉じるとグリース３０４の移動が止まる。 When the grease valve 305 is closed, the movement of the grease 304 is stopped.

グリース弁３０５の開閉時間を制御することで、グリース３０４の供給量を制御している。 By controlling the opening and closing time of the grease valve 305, the supply amount of the grease 304 is controlled.

グリース弁３０５を閉じグリース３０４が充填部３０７に充填された状態で、ガス弁３０６を開くと、送風装置２００内の圧力は非常に低いため、充填部３０７に充填されたグリース３０４はグリース供給管３０９を移動して上部軸受２０７へ吐出され、上部軸受２０７にグリース３０４が供給される（下部軸受２０８においても同様）。 When the gas valve 306 is opened in a state where the grease valve 305 is closed and the grease 304 is filled in the filling portion 307, the pressure in the blower 200 is very low. 309 is moved and discharged to the upper bearing 207, and grease 304 is supplied to the upper bearing 207 (the same applies to the lower bearing 208).

ガス弁３０６を閉じると圧縮ガス３０１の移動が止まる。
ガス弁３０６を開くと、送風装置２００内の圧力が上昇し、ガスレーザ発振装置１００内の圧力に影響を及ぼすため、排気弁３１２を開く。 When the gas valve 306 is closed, the movement of the compressed gas 301 stops.
When the gas valve 306 is opened, the pressure in the blower 200 increases and affects the pressure in the gas laser oscillator 100, so the exhaust valve 312 is opened.

ガス弁３０６の開閉時間と排気弁３１２を制御することで、ガスレーザ発振装置１００内の圧力が変動しないように制御している。 By controlling the opening / closing time of the gas valve 306 and the exhaust valve 312, the pressure in the gas laser oscillation device 100 is controlled so as not to fluctuate.

また、図４〜図６に示すように、必要に応じてグリースタンク、ガス弁、グリース弁の体系を変更しても良い。 Moreover, as shown in FIGS. 4-6, you may change the system of a grease tank, a gas valve, and a grease valve as needed.

図４に、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す。図４は、図３に対して、グリースタンク３０８を１つにまとめ、さらに、ガス弁３０６も１つにまとめた点が異なる。その他の点については、同様であるため、説明を省略する。 FIG. 4 shows a variation of the grease supply mechanism 300 according to the embodiment of the present disclosure. FIG. 4 differs from FIG. 3 in that the grease tank 308 is combined into one and the gas valve 306 is combined into one. Since the other points are the same, the description is omitted.

図５に、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す。図５は、図３に対して、グリースタンク３０８を１つにまとめた点が異なる。その他の点については、同様であるため、説明を省略する。 FIG. 5 shows a variation of the grease supply mechanism 300 according to the embodiment of the present disclosure. FIG. 5 differs from FIG. 3 in that the grease tank 308 is combined into one. Since the other points are the same, the description is omitted.

図６に、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す。図６は、図３に対して、ガス弁３０６を１つにまとめた点が異なる。その他の点については、同様であるため、説明を省略する。 FIG. 6 shows a variation of the grease supply mechanism 300 according to the embodiment of the present disclosure. FIG. 6 differs from FIG. 3 in that the gas valve 306 is combined into one. Since the other points are the same, the description is omitted.

本開示のガスレーザ発振装置は、ターボブロアへのグリース供給を適切に制御することができ、産業上有用である。 The gas laser oscillation device of the present disclosure can appropriately control the supply of grease to the turbo blower, and is industrially useful.

１００ガスレーザ発振装置
１０１放電管
１０２電極
１０４電源
１０５放電空間
１０６全反射鏡
１０７部分反射鏡
１０８レーザビーム
１０９レーザガス流
１１０レーザガス流路
１１１熱交換器
１１３レーザガス導入部
２００送風装置
２０１モータロータ
２０２回転軸
２０３翼車
２０４モータステータ
２０５ハウジング
２０６スクロール
２０７上部軸受
２０８下部軸受
２０９共回転リング
２１０ナット
２１１固定部スペーサ
３００グリース供給機構
３０１圧縮ガス
３０２加圧室
３０３ピストン
３０４グリース
３０５グリース弁
３０６ガス弁
３０７充填部
３０８グリースタンク
３０９グリース供給管
３１０ガス供給管
３１２排気弁
３１３真空ポンプ
９００グリース供給器
９０１グリース
９１０ピストン
９１１ネジ部
９１２Ｏリング
９２０シリンダ
９２１シリンダ先端部
９２２目盛り
９２３Ｏリング
９２４Ｏリング
９２５Ｏリング
９３０グリース調整つまみ
９３１ワンウェイクラッチ
９３３キャップ
９４０角度可変ヘッド
９５０ボール
９６０コイルバネ
９７０Ｏリング
９８０グリースメタル
９８１通路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Gas laser oscillation apparatus 101 Discharge tube 102 Electrode 104 Power supply 105 Discharge space 106 Total reflection mirror 107 Partial reflection mirror 108 Laser beam 109 Laser gas flow 110 Laser gas flow path 111 Heat exchanger 113 Laser gas introduction part 200 Blower 201 Motor rotor 202 Rotating shaft 203 Blade Car 204 Motor stator 205 Housing 206 Scroll 207 Upper bearing 208 Lower bearing 209 Co-rotating ring 210 Nut 211 Fixed spacer 300 Grease supply mechanism 301 Compressed gas 302 Pressurizing chamber 303 Piston 304 Grease 305 Grease valve 306 Gas valve 307 Filling portion 308 Grease Tank 309 Grease supply pipe 310 Gas supply pipe 312 Exhaust valve 313 Vacuum pump 900 Grease supply device 901 Grease 910 Piston 911 Screw portion 9 2 O-ring 920 a cylinder 921 cylinder tip 922 scale 923 O-ring 924 O-ring 925 O-ring 930 Grease adjustment knob 931 one-way clutch 933 cap 940 variable angle head 950 ball 960 coil spring 970 O-ring 980 Grease metal 981 passageway

Claims

グリースを貯留する第１のタンクと、
前記第１のタンク内の前記グリースを押し出す第１のピストンと、
前記第１のタンクとターボブロアの第１の軸受との間に設けられ、前記グリースが通過する第１のグリース供給管と、
前記第１のグリース供給管の途中に設けられた第１の弁と、を備えたガスレーザ発振装置。 A first tank for storing grease;
A first piston for extruding the grease in the first tank;
A first grease supply pipe provided between the first tank and the first bearing of the turbo blower, through which the grease passes;
A gas laser oscillation device comprising: a first valve provided in the middle of the first grease supply pipe.

ガスレーザ発振部と、
前記ガスレーザ発振部にレーザガスを供給するガス循環経路と、をさらに備え、
前記ターボブロアは、前記ガス循環経路の途中に設けられ、前記レーザガスを循環させる請求項１に記載のガスレーザ発振装置。 A gas laser oscillation unit;
A gas circulation path for supplying a laser gas to the gas laser oscillation unit,
The gas laser oscillation apparatus according to claim 1, wherein the turbo blower is provided in the middle of the gas circulation path and circulates the laser gas.

前記第１の弁と前記第１の軸受との間の前記第１のグリース供給管に設けられた第１のガス導入部と、
前記第１のガス導入部と、前記ガス循環経路とを接続する第１のガス供給管と、
前記第１のガス導入管の途中に設けられた第２の弁と、をさらに備えた請求項１または２に記載のガスレーザ発振装置。 A first gas inlet provided in the first grease supply pipe between the first valve and the first bearing;
A first gas supply pipe connecting the first gas introduction part and the gas circulation path;
The gas laser oscillation device according to claim 1, further comprising: a second valve provided in the middle of the first gas introduction pipe.

前記第１のガス供給管は分岐しており、
分岐された前記第１のガス供給管は、前記第１のピストンを押すように前記第１のタンクに接続されている請求項３に記載のガスレーザ発振装置。 The first gas supply pipe is branched;
The gas laser oscillation apparatus according to claim 3, wherein the branched first gas supply pipe is connected to the first tank so as to push the first piston.

グリースを貯留する第２のタンクと、
前記第２のタンク内の前記グリースを押し出す第２のピストンと、
前記第２のタンクとターボブロアの第２の軸受との間に設けられ、前記グリースが通過する第２のグリース供給管と、
前記第２のグリース供給管の途中に設けられた第３の弁と、
前記第３の弁と前記第２の軸受との間の前記第２のグリース供給管に設けられた第２のガス導入部と、
前記第２のガス導入部と、前記ガス循環経路とを接続する第２のガス供給管と、
前記第２のガス導入管の途中に設けられた第４の弁と、をさらに備えた請求項３または４に記載のガスレーザ発振装置。 A second tank for storing grease;
A second piston for extruding the grease in the second tank;
A second grease supply pipe provided between the second tank and the second bearing of the turbo blower, through which the grease passes;
A third valve provided in the middle of the second grease supply pipe;
A second gas introduction part provided in the second grease supply pipe between the third valve and the second bearing;
A second gas supply pipe connecting the second gas introduction part and the gas circulation path;
The gas laser oscillation device according to claim 3, further comprising a fourth valve provided in the middle of the second gas introduction pipe.

前記第２のガス供給管は分岐しており、
分岐された前記第２のガス供給管は、前記第２のピストンを押すように前記第２のタンクに接続されている請求項５に記載のガスレーザ発振装置。 The second gas supply pipe is branched;
The gas laser oscillation apparatus according to claim 5, wherein the branched second gas supply pipe is connected to the second tank so as to push the second piston.