JP2017181182A - Spectroscopic measurement device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectroscopic measurement device capable of suppressing a loss generated during a period in which the laser beam from a light source reaches a specimen and the loss generated during the period in which the reflection light from the specimen reaches a camera.SOLUTION: A total reflection mirror 6 and a dichroic mirror 7 are arranged on the optical axis of a laser beam L1. A laser beam L1 from a laser beam source 2 is irradiated to a specimen S by passing through a pin hole 6a of the total reflection mirror 6, and light excited by the laser beam L1 irradiated to a specimen S is reflected on the dichroic mirror to be incident on a spectrometer 10, and is irradiated on the specimen S in a state that observation illumination light L3 from an observation illumination source 14 is reflected on the total reflection mirror 6 so that the optical axis of the laser beam L1 is made to coincide with the optical axis of observation illumination light L3. The observation illumination light L3 reflected from the specimen S is reflected by the total reflection mirror 6 to be incident on an observation camera 13 in a state that the optical axis is made to coincide with the optical axis of the laser beam L1.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、分光測定装置、特にラマン分光測定装置に関する。詳しくは、試料に照射されるレーザー光等のビームの照射位置を視認可能な分光測定装置、特にラマン分光測定装置に関する。   The present invention relates to a spectrometer, particularly a Raman spectrometer. Specifically, the present invention relates to a spectroscopic measurement apparatus that can visually recognize an irradiation position of a beam such as a laser beam irradiated on a sample, and particularly relates to a Raman spectroscopic measurement apparatus.

従来、レーザー光が物質に照射されると発生するラマン散乱光を利用して、物質の構成を特定するラマン分光測定装置が知られている。ラマン散乱光は、レーザー光の照射位置の物質の分子構造に応じてそれぞれ固有のスペクトルで発生する。このため、ラマン分光測定装置は、ラマン散乱光を発生させるレーザー光等の光源、ラマン分光器（検出器）に加えてレーザー光の照射位置等を確認するためのカメラと撮影用の観察用照明光源を備えたものがある。例えば特許文献１の如くである。特許文献１に記載の顕微ラマン分光装置は、カメラのレンズの光軸上にレーザー光用の半透過鏡（ハーフミラー）と観察用照明光源用のハーフミラーとが配置されている。つまり、ハーフミラーにより反射されたレーザー光の一部と別のハーフミラーにより反射された観察用照明光の一部をカメラとレンズを結ぶ光軸上に一致させている。これにより、特許文献１に記載の顕微ラマン分光装置は、レーザー光の照射位置の観察をより正確に行うことができ、試料からの反射光とレーザー光と観察用照明光とで各種レンズを共用することができる。   2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a Raman spectroscopic measurement apparatus that specifies the configuration of a substance using Raman scattered light generated when the substance is irradiated with laser light. The Raman scattered light is generated with a unique spectrum according to the molecular structure of the substance at the irradiation position of the laser beam. For this reason, the Raman spectroscopic measurement device includes a light source such as a laser beam that generates Raman scattered light, a camera for confirming the irradiation position of the laser beam in addition to a Raman spectrometer (detector), and an observation illumination for photographing. Some have a light source. For example, it is like patent document 1. In the microscopic Raman spectroscopic device described in Patent Document 1, a laser beam semi-transmission mirror (half mirror) and an observation illumination light source half mirror are arranged on the optical axis of a camera lens. That is, a part of the laser light reflected by the half mirror and a part of the observation illumination light reflected by another half mirror are made to coincide on the optical axis connecting the camera and the lens. As a result, the microscopic Raman spectroscopic device described in Patent Document 1 can more accurately observe the irradiation position of the laser light, and various lenses are shared between the reflected light from the sample, the laser light, and the illumination light for observation. can do.

しかし、特許文献１に記載の技術は、光源から照射されたレーザー光が複数のハーフミラーを透過して試料に照射される。同様に試料からの反射光が複数のハーフミラーを透過してカメラに入光される。このため、顕微ラマン分光装置は、レーザー光が光源から試料に至るまでの間にその一部がハーフミラーによって損失したり、試料からの反射光がカメラに至るまでの間にその一部がハーフミラーによって損失したりする場合があった。   However, in the technique described in Patent Document 1, laser light emitted from a light source passes through a plurality of half mirrors and is applied to a sample. Similarly, the reflected light from the sample passes through the plurality of half mirrors and enters the camera. For this reason, the microscopic Raman spectroscope is partially lost by the half mirror during the period from the light source to the sample, or part of the laser beam from the light source to the camera. In some cases, it was lost by the mirror.

特開２００６−２１４８９９号公報JP 2006-214899 A

本発明の目的は、光源からのビームが試料に至るまでの間に生じる損失および試料からの反射光がカメラに至るまでの間に生じる損失を抑制することができる分光測定装置、特にラマン分光測定装置の提供を目的とする。   An object of the present invention is to provide a spectroscopic measurement device, particularly Raman spectroscopic measurement, capable of suppressing loss that occurs while a beam from a light source reaches a sample and loss that occurs while reflected light from the sample reaches a camera. The purpose is to provide a device.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。   The problem to be solved by the present invention is as described above. Next, means for solving the problem will be described.

即ち、分光測定装置は、試料に照射して光を励起するビームの照射位置を画像によって認識可能な分光測定装置であって、所定波長のビームを発振するビーム光源と、分光器と、観察用カメラと、観察用照明光源と、ピンホールが形成されている全反射ミラーと、前記所定波長のビームのみを透過させるダイクロイックミラーと、を備え、前記全反射ミラーと前記ダイクロイックミラーとが前記ビームの光軸上に配置されており、前記ビーム光源からのビームが、前記全反射ミラーのピンホールを通過して試料に照射され、前記試料に照射されたビームによって励起される光が前記ダイクロイックミラーに反射されて前記分光器に入射され、前記観察用照明光源からの観察用照明光が、前記全反射ミラーに反射されて前記ビームの光軸に前記観察用照明光の光軸を一致させた状態で前記試料に照射され、前記試料から反射した観察用照明光が、その光軸を前記ビームの光軸に一致させた状態で前記全反射ミラーに反射されて前記観察用カメラに入射されるものである。   That is, the spectroscopic measurement device is a spectroscopic measurement device that can recognize, from an image, the irradiation position of a beam that irradiates a sample and excites light. A camera, an illumination light source for observation, a total reflection mirror in which a pinhole is formed, and a dichroic mirror that transmits only the beam of the predetermined wavelength, and the total reflection mirror and the dichroic mirror It is arranged on the optical axis, the beam from the beam light source passes through the pinhole of the total reflection mirror and is irradiated on the sample, and the light excited by the beam irradiated on the sample is applied to the dichroic mirror Reflected and incident on the spectrometer, the illumination light for observation from the illumination light source for observation is reflected by the total reflection mirror and is reflected on the optical axis of the beam. The observation illumination light that is irradiated onto the sample in a state where the optical axis of the observation illumination light is matched and reflected from the sample is applied to the total reflection mirror in a state where the optical axis is matched with the optical axis of the beam. The light is reflected and incident on the observation camera.

分光測定装置は、ビーム分割手段と、レンズと、をさらに備え、前記ビーム分割手段と前記レンズとが前記ビームの光軸上に配置されており、前記ビーム光源からビームが、ビーム分割手段によって複数のビームに分割され、前記分割された複数のビームが、レンズによって前記全反射ミラーのピンホール位置で集束されるものである。   The spectroscopic measurement apparatus further includes a beam splitting unit and a lens, wherein the beam splitting unit and the lens are disposed on an optical axis of the beam, and a plurality of beams from the beam light source are generated by the beam splitting unit. And the plurality of divided beams are focused by a lens at the pinhole position of the total reflection mirror.

分光測定装置は、前記分割された複数のビームによって照射位置毎に励起される光が前記ダイクロイックミラーに反射されて前記分光器に入射され、各照射位置の分光をそれぞれ測定するものである。   The spectroscopic measurement apparatus measures light that is excited at each irradiation position by the plurality of divided beams and is reflected by the dichroic mirror and incident on the spectroscope, thereby measuring the spectrum at each irradiation position.

本発明は、以下に示すような効果を奏する。   The present invention has the following effects.

分光測定装置においては、ビームの光軸上に配置された全反射ミラーとダイクロイックミラーとによってビームが遮蔽されない。また、試料から反射した光の光軸上に配置された全反射ミラーのピンホール以外の部分で反射される試料から反射した光が観察用カメラへ入射される。これにより、ビーム光源からのビームが試料に至るまでの間に生じる損失および試料から反射した光がカメラに至るまでの間に生じる損失を抑制することができる。   In the spectroscopic measurement apparatus, the beam is not shielded by the total reflection mirror and the dichroic mirror arranged on the optical axis of the beam. In addition, the light reflected from the sample reflected by a portion other than the pinhole of the total reflection mirror disposed on the optical axis of the light reflected from the sample is incident on the observation camera. Thereby, it is possible to suppress a loss that occurs before the beam from the beam light source reaches the sample and a loss that occurs while the light reflected from the sample reaches the camera.

分光測定装置においては、ビームが複数のビームに分割されてもビームの光軸上に配置された全反射ミラーとダイクロイックミラーとによってビームが遮蔽されない。これにより、ビーム光源からのビームが試料に至るまでの間に生じる損失および試料から反射した光がカメラに至るまでの間に生じる損失を抑制することができる。   In the spectroscopic measurement apparatus, even when the beam is divided into a plurality of beams, the beam is not shielded by the total reflection mirror and the dichroic mirror arranged on the optical axis of the beam. Thereby, it is possible to suppress a loss that occurs before the beam from the beam light source reaches the sample and a loss that occurs while the light reflected from the sample reaches the camera.

分光測定装置においては、分割された複数のビームが試料に照射され、各照射位置から発生する光がダイクロイックミラーによって分光器に入射される。これにより、光源からのビームが試料に至るまでの間に生じる損失を抑制することができる。   In a spectroscopic measurement apparatus, a plurality of divided beams are irradiated onto a sample, and light generated from each irradiation position is incident on a spectroscope by a dichroic mirror. As a result, it is possible to suppress a loss that occurs while the beam from the light source reaches the sample.

ラマン分光測定装置の一実施形態における全体構成を示す概略図。Schematic which shows the whole structure in one Embodiment of a Raman spectrometer. ラマン分光測定装置の一実施形態におけるレーザー光の照射態様を示す概略図。Schematic which shows the irradiation aspect of the laser beam in one Embodiment of a Raman spectrometer. ラマン分光測定装置の一実施形態におけるラマン散乱光の分光器への集光の態様を示す概略図。Schematic which shows the aspect of condensing the Raman scattered light to the spectrometer in one Embodiment of a Raman spectrometer. ラマン分光測定装置の一実施形態における観察用照明光の照射態様とその反射光の集光の態様とを示す概略図。Schematic which shows the irradiation aspect of the illumination light for observation in one Embodiment of a Raman spectroscopy measuring apparatus, and the aspect of condensing the reflected light. （ａ）ラマン分光測定装置の一実施形態における観察用カメラによるレーザー光照射点と試料の画像を示す図、（ｂ）図５（ａ）における照射点の２次元配列がマルチ光ファイバで１次元配列に再構成された状態の画像を示す図。(A) The figure which shows the laser beam irradiation point and sample image by the camera for observation in one embodiment of a Raman spectroscopic measurement apparatus, (b) The two-dimensional arrangement | sequence of the irradiation point in FIG. The figure which shows the image of the state reconfigure | reconstructed by the arrangement | sequence. 図５（ａ）における照射点のラマンスペクトルを表すグラフを示す図。The figure which shows the graph showing the Raman spectrum of the irradiation point in Fig.5 (a).

初めに、図１から図４を用いて、分光測定装置であるラマン分光測定装置の一実施形態であるラマン分光測定装置１について説明する。なお、本実施形態において、分光測定装置としてラマン分光測定装置１について具体的に説明するがこれに限定するものではなく、蛍光分光測定装置等の様々なビームを用いる分光測定装置においても同様である。   First, a Raman spectroscopic measurement apparatus 1 that is an embodiment of a Raman spectroscopic measurement apparatus that is a spectroscopic measurement apparatus will be described with reference to FIGS. 1 to 4. In the present embodiment, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 is specifically described as the spectroscopic measurement apparatus. However, the present invention is not limited to this, and the same applies to spectroscopic measurement apparatuses using various beams such as a fluorescence spectroscopic measurement apparatus. .

図１に示すように、ラマン分光測定装置１は、試料Ｓにビームの一種であるレーザー光Ｌ１を照射することで試料Ｓから発生するラマン散乱光Ｌ２を検出するものである。ラマン分光測定装置１は、レーザー光源２、レーザー光用第１レンズ３、レーザー光用第２レンズ５、全反射ミラー６、ダイクロイックミラー７、結像レンズ８、ラマン用結像レンズ９、ラマン分光器１０、ハーフミラー１１、観察用結像レンズ１２、観察用カメラ１３および観察用照明光源１４を具備している。   As shown in FIG. 1, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 detects Raman scattered light L2 generated from the sample S by irradiating the sample S with laser light L1 which is a kind of beam. The Raman spectroscopic measurement apparatus 1 includes a laser light source 2, a laser light first lens 3, a laser light second lens 5, a total reflection mirror 6, a dichroic mirror 7, an imaging lens 8, a Raman imaging lens 9, and a Raman spectroscopy. And a viewing mirror 13, an observation imaging lens 12, an observation camera 13, and an observation illumination light source 14.

レーザー光源２は、ラマン散乱光Ｌ２を発生させるためのレーザー光Ｌ１を発振するものである。レーザー光源２は、所定波長のレーザー光Ｌ１を発振する。本実施形態において、レーザー光源２は、短波長（４００ｎｍから６００ｎｍ）レーザー光Ｌ１を発振するものとする。なお、本実施形態においてレーザー光源２の媒質は、短波長のレーザー光Ｌ１を発振するものであればよい。   The laser light source 2 oscillates laser light L1 for generating Raman scattered light L2. The laser light source 2 oscillates laser light L1 having a predetermined wavelength. In the present embodiment, it is assumed that the laser light source 2 oscillates a short wavelength (400 nm to 600 nm) laser light L1. In the present embodiment, the medium of the laser light source 2 may be any medium that oscillates the short-wavelength laser light L1.

レーザー光用第１レンズ３は、入射された光線を平行光線にするレンズである。レーザー光用第１レンズ３は、レーザー光源２からのレーザー光Ｌ１が入射されるように、レーザー光Ｌ１の光軸上にレーザー光源２と隣り合うように配置されている。   The first lens 3 for laser light is a lens that converts incident light into parallel light. The first laser light lens 3 is disposed adjacent to the laser light source 2 on the optical axis of the laser light L1 so that the laser light L1 from the laser light source 2 is incident thereon.

ビーム分割手段であるマイクロレンズアレイ４は、入射されたレーザー光Ｌ１を複数のレーザー光に分割するものである。マイクロレンズアレイ４は、マイクロレンズが格子状に形成されている。マイクロレンズアレイ４は、レーザー光用第１レンズ３からのレーザー光Ｌ１が入射されるように、レーザー光Ｌ１の光軸上にレーザー光用第１レンズ３と隣り合うように配置されている。マイクロレンズアレイ４は、入射されるレーザー光Ｌ１を複数の光路に分割してマイクロレンズアレイ４から出射するように構成されている。なお、本実施形態において、ビーム分割手段がマイクロレンズアレイ４から構成されているがこれに限定するものではなく、回折光学素子やマルチ光ファイバなどの光路分割光学系であればよい。   The microlens array 4 serving as a beam splitting unit splits the incident laser beam L1 into a plurality of laser beams. In the microlens array 4, microlenses are formed in a lattice shape. The microlens array 4 is disposed on the optical axis of the laser light L1 so as to be adjacent to the first laser light lens 3 so that the laser light L1 from the first laser light lens 3 is incident thereon. The microlens array 4 is configured to divide the incident laser light L1 into a plurality of optical paths and emit the laser light from the microlens array 4. In the present embodiment, the beam splitting means is composed of the microlens array 4, but the invention is not limited to this, and any optical path splitting optical system such as a diffractive optical element or a multi-optical fiber may be used.

レーザー光用第２レンズ５は、入射されたレーザー光Ｌ１を集束させるレンズである。レーザー光用第２レンズ５は、マイクロレンズアレイ４からのレーザー光Ｌ１が入射されるように、レーザー光Ｌ１の光軸上にマイクロレンズアレイ４と隣り合うように配置されている。レーザー光用第２レンズ５は、入射される複数の光路に分割されたレーザー光Ｌ１が所定の集束位置Ｐを通過するようにレーザー光用第２レンズ５から出射するように構成されている。   The second lens 5 for laser light is a lens that focuses the incident laser light L1. The second lens 5 for laser light is disposed adjacent to the microlens array 4 on the optical axis of the laser light L1 so that the laser light L1 from the microlens array 4 is incident thereon. The second lens 5 for laser light is configured to emit from the second lens 5 for laser light so that the laser light L1 divided into a plurality of incident optical paths passes through a predetermined focusing position P.

全反射ミラー６は、入射されたレーザー光Ｌ１を反射するものである。全反射ミラー６は、中央にピンホール６ａが形成されている。全反射ミラー６は、レーザー光用第２レンズ５からのレーザー光Ｌ１が入射されるように、レーザー光Ｌ１の光軸上にレーザー光用第２レンズ５と隣り合うように配置されている。また、全反射ミラー６は、レーザー光用第２レンズ５を透過した複数の光路に分割されたレーザー光Ｌ１の集束位置Ｐとピンホール６ａの中心とが重複するように配置されている。つまり、全反射ミラー６は、複数の光路に分割されたレーザー光Ｌ１が全反射ミラー６のピンホール６ａの中心で集束して全反射ミラー６と干渉することなくピンホール６ａを通過するように構成されている。   The total reflection mirror 6 reflects the incident laser beam L1. The total reflection mirror 6 has a pinhole 6a at the center. The total reflection mirror 6 is disposed on the optical axis of the laser light L1 so as to be adjacent to the second laser light lens 5 so that the laser light L1 from the second laser light lens 5 is incident thereon. Further, the total reflection mirror 6 is disposed so that the converging position P of the laser light L1 divided into a plurality of optical paths transmitted through the second laser light lens 5 and the center of the pinhole 6a overlap. That is, the total reflection mirror 6 causes the laser light L1 divided into a plurality of optical paths to converge at the center of the pinhole 6a of the total reflection mirror 6 and pass through the pinhole 6a without interfering with the total reflection mirror 6. It is configured.

本実施形態において、全反射ミラー６は、レーザー光Ｌ１の光軸に対して４５度の傾斜角度になるように配置されている。全反射ミラー６は、レーザー光Ｌ１の光軸に対して９０度の方向から全反射ミラー６に向かって出射された光線をレーザー光Ｌ１の光軸と一致するように全反射ミラー６のピンホール６ａ以外の部分で反射させるように構成されている。一方、全反射ミラー６は、レーザー光Ｌ１の光軸方向から全反射ミラー６に向かって出射された光線をレーザー光Ｌ１の光軸に対して９０度の方向に全反射ミラー６のピンホール６ａ以外の部分で反射するように構成されている。なお、本実施形態において、全反射ミラー６、ダイクロイックミラー７およびハーフミラー１１の配置角度は、それぞれ４５度、９０度に限定されるものでは無く、機器構成上の適する配置にすればよい。   In the present embodiment, the total reflection mirror 6 is disposed so as to have an inclination angle of 45 degrees with respect to the optical axis of the laser light L1. The total reflection mirror 6 is a pinhole of the total reflection mirror 6 so that the light emitted from the direction of 90 degrees with respect to the optical axis of the laser light L1 toward the total reflection mirror 6 coincides with the optical axis of the laser light L1. It is comprised so that it may reflect in parts other than 6a. On the other hand, the total reflection mirror 6 emits a light beam emitted from the optical axis direction of the laser light L1 toward the total reflection mirror 6 in a direction of 90 degrees with respect to the optical axis of the laser light L1. It is comprised so that it may reflect in parts other than. In the present embodiment, the arrangement angles of the total reflection mirror 6, the dichroic mirror 7, and the half mirror 11 are not limited to 45 degrees and 90 degrees, respectively, and may be arranged appropriately in the device configuration.

波長選択ハーフミラーであるダイクロイックミラー７は、所定の波長のみを選択的に透過させるものである。本実施形態において、ダイクロイックミラー７は、レーザー光Ｌ１の波長である短波長の光線のみを選択的に透過するように構成されている。ダイクロイックミラー７は、全反射ミラー６のピンホール６ａを通過したレーザー光Ｌ１が入射するように、レーザー光Ｌ１の光軸上に全反射ミラー６と隣り合うように配置されている。また、ダイクロイックミラー７は、レーザー光Ｌ１の光軸に対して４５度の傾斜角度になるように配置されている。つまり、ダイクロイックミラー７は、長波長であるラマン散乱光Ｌ２をレーザー光Ｌ１の光軸に対して９０度の方向に反射するように構成されている。   The dichroic mirror 7 which is a wavelength selection half mirror selectively transmits only a predetermined wavelength. In the present embodiment, the dichroic mirror 7 is configured to selectively transmit only light having a short wavelength that is the wavelength of the laser light L1. The dichroic mirror 7 is disposed adjacent to the total reflection mirror 6 on the optical axis of the laser light L1 so that the laser light L1 that has passed through the pinhole 6a of the total reflection mirror 6 enters. Further, the dichroic mirror 7 is disposed so as to have an inclination angle of 45 degrees with respect to the optical axis of the laser light L1. In other words, the dichroic mirror 7 is configured to reflect the long-wavelength Raman scattered light L2 in a direction of 90 degrees with respect to the optical axis of the laser light L1.

結像レンズ８は、レーザー光Ｌ１の焦点を合わせるレンズである。結像レンズ８は、ダイクロイックミラー７からのレーザー光Ｌ１が入射するように、レーザー光Ｌ１の光軸上にダイクロイックミラー７と隣り合うように配置されている。また、結像レンズ８は、試料Ｓに照射されるレーザー光Ｌ１の照射点から発生するラマン散乱光Ｌ２が結像レンズ８の試料Ｓ側から入射される。   The imaging lens 8 is a lens that focuses the laser light L1. The imaging lens 8 is disposed adjacent to the dichroic mirror 7 on the optical axis of the laser light L1 so that the laser light L1 from the dichroic mirror 7 enters. Further, the imaging lens 8 receives Raman scattered light L2 generated from the irradiation point of the laser light L1 applied to the sample S from the sample S side of the imaging lens 8.

ラマン用結像レンズ９は、ラマン散乱光Ｌ２を集光してラマン分光器１０に集光するレンズである。ラマン用結像レンズ９は、ダイクロイックミラー７からの光線が入射するように、レーザー光Ｌ１の光軸に対して９０度の位置にダイクロイックミラー７と隣り合うようにして配置されている。つまり、ラマン用結像レンズ９は、ダイクロイックミラー７によってレーザー光Ｌ１の光軸に対して９０度の方向に反射されたラマン散乱光Ｌ２が入射するように配置されている。   The Raman imaging lens 9 is a lens that condenses the Raman scattered light L2 and condenses it on the Raman spectrometer 10. The Raman imaging lens 9 is disposed adjacent to the dichroic mirror 7 at a position of 90 degrees with respect to the optical axis of the laser beam L1 so that the light beam from the dichroic mirror 7 enters. That is, the Raman imaging lens 9 is arranged so that the Raman scattered light L2 reflected by the dichroic mirror 7 in the direction of 90 degrees with respect to the optical axis of the laser light L1 is incident.

ラマン分光器１０は、ラマン散乱光Ｌ２からラマンスペクトルを検出するものである。ラマン分光器１０は、例えばマルチ光ファイバ、回折格子、エリアセンサとレンズ、ミラー等から構成されている。ラマン分光器１０は、ラマン用結像レンズ９からのラマン散乱光Ｌ２が入射するように、ラマン用結像レンズ９の光軸上にラマン用結像レンズ９と隣り合うように配置されている。   The Raman spectroscope 10 detects a Raman spectrum from the Raman scattered light L2. The Raman spectroscope 10 includes, for example, a multi optical fiber, a diffraction grating, an area sensor and a lens, a mirror, and the like. The Raman spectroscope 10 is arranged on the optical axis of the Raman imaging lens 9 so as to be adjacent to the Raman imaging lens 9 so that the Raman scattered light L2 from the Raman imaging lens 9 enters. .

ハーフミラー１１は、光線のうち一部分を透過させて残りを反射させるものである。ハーフミラー１１は、全反射ミラー６で反射される光線が入射するように、レーザー光Ｌ１の光軸に対して９０度の位置に全反射ミラー６と隣り合うように配置されている。また、ハーフミラー１１は、レーザー光Ｌ１の光軸に対して４５度の傾斜角度になるように配置されている。つまり、ハーフミラー１１は、全反射ミラー６によって反射された光線の光軸に対して９０度の方向に光線を反射させる。   The half mirror 11 transmits a part of the light beam and reflects the rest. The half mirror 11 is disposed adjacent to the total reflection mirror 6 at a position of 90 degrees with respect to the optical axis of the laser beam L1 so that the light beam reflected by the total reflection mirror 6 enters. The half mirror 11 is arranged so as to have an inclination angle of 45 degrees with respect to the optical axis of the laser light L1. That is, the half mirror 11 reflects the light beam in the direction of 90 degrees with respect to the optical axis of the light beam reflected by the total reflection mirror 6.

観察用結像レンズ１２は、観察用カメラ１３に集光するレンズである。観察用結像レンズ１２は、ハーフミラー１１によって反射された光線が入射するように、レーザー光Ｌ１の光軸に対して平行な方向にハーフミラー１１と隣り合うようにして配置されている。観察用結像レンズ１２は、観察用カメラ１３に集光するように構成されている。   The observation imaging lens 12 is a lens that collects light on the observation camera 13. The observation imaging lens 12 is arranged so as to be adjacent to the half mirror 11 in a direction parallel to the optical axis of the laser light L1 so that the light beam reflected by the half mirror 11 is incident thereon. The observation imaging lens 12 is configured to condense on the observation camera 13.

観察用カメラ１３は、レーザー光Ｌ１の照射位置と試料Ｓの状態と観察するものである。観察用カメラ１３は、ＣＣＤカメラ等から構成されている。観察用カメラ１３は、観察用結像レンズ１２からの光線が入射するように観察用結像レンズ１２と隣り合ってレーザー光Ｌ１の光軸と平行な方向に配置されている。観察用カメラ１３は、レーザー光Ｌ１の照射点および試料Ｓの表面状態を視認することができる。   The observation camera 13 observes the irradiation position of the laser beam L1 and the state of the sample S. The observation camera 13 is composed of a CCD camera or the like. The observation camera 13 is arranged adjacent to the observation imaging lens 12 in a direction parallel to the optical axis of the laser light L1 so that the light beam from the observation imaging lens 12 is incident. The observation camera 13 can visually recognize the irradiation point of the laser light L1 and the surface state of the sample S.

観察用照明光源１４は、観察用照明光Ｌ３を発生させるものである。観察用照明光源１４は、全反射ミラー６に観察用照明光Ｌ３を照射するように、レーザー光Ｌ１の光軸に対して９０度の位置にハーフミラー１１と隣り合うように配置されている。観察用照明光源１４は、観察用照明光用レンズ１４ａ、ハーフミラー１１を介して全反射ミラー６に向かって観察用照明光Ｌ３を出射するように構成されている。   The observation illumination light source 14 generates observation illumination light L3. The observation illumination light source 14 is disposed adjacent to the half mirror 11 at a position of 90 degrees with respect to the optical axis of the laser light L1 so as to irradiate the total illumination mirror 6 with the observation illumination light L3. The observation illumination light source 14 is configured to emit observation illumination light L3 toward the total reflection mirror 6 via the observation illumination light lens 14a and the half mirror 11.

このように構成されるラマン分光測定装置１は、レーザー光源２から照射されるレーザー光Ｌ１がマイクロレンズアレイ４によって複数の光路に分割された状態で試料Ｓに照射される。合わせて、ラマン分光測定装置１は、観察用照明光源１４からの観察用照明光Ｌ３が全反射ミラー６を介して試料Ｓに照射される。レーザー光Ｌ１の照射により試料Ｓから発生したラマン散乱光Ｌ２は、ダイクロイックミラー７によってラマン分光器１０に入射される。一方、観察用照明光源１４から試料Ｓに照射された観察用照明光Ｌ３は、試料Ｓに到達すると試料Ｓからの反射した光（以下、単に「反射光Ｌ４」と記す）になる。試料Ｓからの反射光Ｌ４は、全反射ミラー６に反射されて観察用カメラ１３に入射される。   In the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 configured as described above, the sample S is irradiated with the laser light L1 irradiated from the laser light source 2 being divided into a plurality of optical paths by the microlens array 4. In addition, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 irradiates the sample S with the observation illumination light L <b> 3 from the observation illumination light source 14 through the total reflection mirror 6. The Raman scattered light L2 generated from the sample S by the irradiation of the laser light L1 is incident on the Raman spectroscope 10 by the dichroic mirror 7. On the other hand, the observation illumination light L3 irradiated to the sample S from the observation illumination light source 14 becomes light reflected from the sample S (hereinafter simply referred to as “reflected light L4”) when reaching the sample S. The reflected light L4 from the sample S is reflected by the total reflection mirror 6 and enters the observation camera 13.

次に、図２を用いて、ラマン分光測定装置１におけるレーザー光Ｌ１の光路について具体的に説明する。   Next, the optical path of the laser beam L1 in the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 will be specifically described with reference to FIG.

図２に示すように、ラマン分光測定装置１は、レーザー光源２で発振されたレーザー光Ｌ１（薄墨部分参照）がレーザー光用第１レンズ３に入射される。レーザー光Ｌ１は、無限遠にある点光源からの平行光線としてレーザー光用第１レンズ３から出射される。レーザー光用第１レンズ３から出射されたレーザー光Ｌ１は、マイクロレンズアレイ４に入射される。レーザー光Ｌ１は、複数の光路に分割されてマイクロレンズアレイ４から出射される。マイクロレンズアレイ４から出射された複数の光路に分割されたレーザー光Ｌ１は、レーザー光用第２レンズ５に入射される。   As shown in FIG. 2, in the Raman spectroscopic measurement device 1, laser light L <b> 1 oscillated by the laser light source 2 (see the thin ink portion) is incident on the first lens 3 for laser light. The laser beam L1 is emitted from the first lens 3 for laser beam as a parallel beam from a point light source at infinity. The laser light L1 emitted from the first laser light lens 3 is incident on the microlens array 4. The laser light L1 is divided into a plurality of optical paths and emitted from the microlens array 4. The laser light L1 divided into a plurality of optical paths emitted from the microlens array 4 is incident on the second lens 5 for laser light.

複数の光路からなるレーザー光Ｌ１は、全反射ミラー６のピンホール６ａ位置で集束するようにレーザー光用第２レンズ５から出射される。レーザー光用第２レンズ５から出射されたレーザー光Ｌ１は、全反射ミラー６と干渉することなくピンホール６ａを通過する。全反射ミラー６を通過したレーザー光Ｌ１は、ダイクロイックミラー７に入射される。短波長レーザー光であるレーザー光Ｌ１は、長波長を反射するダイクロイックミラー７に反射されることなく透過する。ダイクロイックミラー７を透過したレーザー光Ｌ１は、結像レンズ８に入射される。レーザー光Ｌ１は、光線毎に試料Ｓの表面に集光するように結像レンズ８から出射される。レーザー光Ｌ１は、試料Ｓの複数の箇所に照射される。これにより、レーザー光Ｌ１は、試料Ｓの照射箇所からその分子構造に応じたスペクトルを有するラマン散乱光Ｌ２を発生させる。   The laser light L1 composed of a plurality of optical paths is emitted from the second laser light lens 5 so as to be focused at the position of the pinhole 6a of the total reflection mirror 6. The laser light L1 emitted from the second lens 5 for laser light passes through the pinhole 6a without interfering with the total reflection mirror 6. The laser beam L 1 that has passed through the total reflection mirror 6 is incident on the dichroic mirror 7. The laser light L1 which is a short wavelength laser light is transmitted without being reflected by the dichroic mirror 7 which reflects the long wavelength. The laser beam L 1 that has passed through the dichroic mirror 7 is incident on the imaging lens 8. The laser light L1 is emitted from the imaging lens 8 so as to be condensed on the surface of the sample S for each light beam. The laser beam L1 is irradiated to a plurality of locations on the sample S. Thereby, the laser beam L1 generates Raman scattered light L2 having a spectrum corresponding to the molecular structure from the irradiated portion of the sample S.

このように、ラマン分光測定装置１は、レーザー光Ｌ１が複数の光路に分割されてもレーザー光用第２レンズ５によって集束されて全反射ミラー６のピンホール６ａを干渉することなく通過するように構成されている。また、ラマン分光測定装置１は、ラマン散乱光Ｌ２を反射するダイクロイックミラー７によってレーザー光Ｌ１の一部が反射されないように構成されている。つまり、ラマン分光測定装置１においては、レーザー光Ｌ１の光軸上に配置された全反射ミラー６とダイクロイックミラー７とによってレーザー光Ｌ１が遮蔽されない。これにより、光源からのレーザー光Ｌ１が試料Ｓに至るまでの間に生じる損失を抑制することができる。   As described above, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 is focused by the second laser light lens 5 and passes through the pinhole 6a of the total reflection mirror 6 without interference even when the laser light L1 is divided into a plurality of optical paths. It is configured. Further, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 is configured such that a part of the laser light L1 is not reflected by the dichroic mirror 7 that reflects the Raman scattered light L2. That is, in the Raman spectroscopic measurement apparatus 1, the laser beam L1 is not shielded by the total reflection mirror 6 and the dichroic mirror 7 arranged on the optical axis of the laser beam L1. Thereby, it is possible to suppress a loss that occurs before the laser light L1 from the light source reaches the sample S.

次に、図３を用いて、ラマン分光測定装置１におけるラマン散乱光Ｌ２の光路について具体的に説明する。   Next, the optical path of the Raman scattered light L2 in the Raman spectrometer 1 will be specifically described with reference to FIG.

図３に示すように、ラマン分光測定装置１は、試料Ｓに短波長レーザー光Ｌ１（図２参照）を照射することで試料Ｓの照射箇所から長波長のラマン散乱光Ｌ２がそれぞれ発生する。ラマン散乱光Ｌ２は、結像レンズ８に試料Ｓ側から入射される（以下、結像レンズ８にラマン散乱光Ｌ２が試料Ｓ側から入射される場合、単に「試料Ｓ側レンズ８」と記す）。すなわち、複数の光路からなるラマン散乱光Ｌ２は、試料Ｓ側レンズ８に入射される。ラマン散乱光Ｌ２は、試料Ｓ側レンズ８から出射される。   As shown in FIG. 3, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 irradiates the sample S with the short-wavelength laser light L1 (see FIG. 2) to generate long-wavelength Raman scattered light L2 from the irradiated portion of the sample S, respectively. The Raman scattered light L2 is incident on the imaging lens 8 from the sample S side (hereinafter, when the Raman scattered light L2 is incident on the imaging lens 8 from the sample S side, it is simply referred to as “sample S side lens 8”. ). That is, the Raman scattered light L <b> 2 composed of a plurality of optical paths is incident on the sample S side lens 8. The Raman scattered light L2 is emitted from the sample S side lens 8.

試料Ｓ側レンズ８から出射されたラマン散乱光Ｌ２は、ダイクロイックミラー７に入射される。長波長のラマン散乱光Ｌ２は、長波長を反射するダイクロイックミラー７によって反射される。すなわち、複数の光路からなるラマン散乱光Ｌ２は、がダイクロイックミラー７によってラマン用結像レンズ９に入射される。ラマン散乱光Ｌ２は、ラマン分光器１０の入射面に結像するようにラマン用結像レンズ９から出射される。これにより、試料Ｓのレーザー光Ｌ１照射箇所からそれぞれ発生したラマン散乱光Ｌ２は、ラマン分光器１０によって照射箇所毎にラマンスペクトルが検出される。   The Raman scattered light L2 emitted from the sample S side lens 8 is incident on the dichroic mirror 7. The long wavelength Raman scattered light L2 is reflected by the dichroic mirror 7 that reflects the long wavelength. That is, the Raman scattered light L <b> 2 composed of a plurality of optical paths is incident on the Raman imaging lens 9 by the dichroic mirror 7. The Raman scattered light L2 is emitted from the Raman imaging lens 9 so as to form an image on the incident surface of the Raman spectrometer 10. As a result, the Raman spectrum of the Raman scattered light L2 generated from the laser light L1 irradiated portion of the sample S is detected for each irradiated portion by the Raman spectroscope 10.

このように構成することで、ラマン分光測定装置１は、複数の光路に分割されているレーザー光Ｌ１によって複数の光路からなるラマン散乱光Ｌ２が発生してもダイクロイックミラー７によってのラマン散乱光Ｌ２のみをラマン分光器１０にむかって反射させる。つまり、ラマン分光測定装置１においては、発生した複数の光路からなるラマン散乱光Ｌ２をラマン分光器１０に入射させることができる。これにより、ラマン散乱光Ｌ２がラマン分光器１０に至るまでの間に生じる損失を抑制することができる。   With this configuration, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 can detect the Raman scattered light L2 from the dichroic mirror 7 even if the Raman scattered light L2 having a plurality of optical paths is generated by the laser light L1 divided into the plurality of optical paths. Is reflected toward the Raman spectrometer 10. That is, in the Raman spectrometer 1, the Raman scattered light L <b> 2 composed of a plurality of generated optical paths can be incident on the Raman spectrometer 10. Thereby, it is possible to suppress a loss that occurs before the Raman scattered light L2 reaches the Raman spectrometer 10.

次に、図４を用いて、ラマン分光測定装置１における観察用の光路について具体的に説明する。   Next, the optical path for observation in the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 will be specifically described with reference to FIG.

図４に示すように、ラマン分光測定装置１は、ハーフミラー１１に向かって観察用照明光源１４から観察用照明光Ｌ３が出射される。観察用照明光Ｌ３は、その一部がハーフミラー１１を透過して全反射ミラー６に向かって出射される。全反射ミラー６に向かって出射された観察用照明光Ｌ３は、レーザー光Ｌ１の光軸と一致するように全反射ミラー６のピンホール６ａ以外の部分で反射される。全反射ミラー６で反射された観察用照明光Ｌ３は、レーザー光Ｌ１の光軸に沿って長波長を反射するダイクロイックミラー７に入射される。観察用照明光Ｌ３は、短波長領域の光のみがダイクロイックミラー７を透過して結像レンズ８に入射される。ダイクロイックミラー７を透過した観察用照明光Ｌ３の短波長領域の光は、試料Ｓの表面に集光するように結像レンズ８から出射される。   As shown in FIG. 4, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 emits observation illumination light L <b> 3 from the observation illumination light source 14 toward the half mirror 11. Part of the observation illumination light L3 passes through the half mirror 11 and is emitted toward the total reflection mirror 6. The observation illumination light L3 emitted toward the total reflection mirror 6 is reflected by a portion other than the pinhole 6a of the total reflection mirror 6 so as to coincide with the optical axis of the laser light L1. The observation illumination light L3 reflected by the total reflection mirror 6 is incident on a dichroic mirror 7 that reflects a long wavelength along the optical axis of the laser light L1. Only the light in the short wavelength region of the observation illumination light L3 is transmitted through the dichroic mirror 7 and is incident on the imaging lens 8. The light in the short wavelength region of the observation illumination light L3 transmitted through the dichroic mirror 7 is emitted from the imaging lens 8 so as to be condensed on the surface of the sample S.

レーザー光Ｌ１（図２参照）と観察用照明光Ｌ３の短波長領域の光は、試料Ｓに照射されるとともに試料Ｓの表面に反射する。レーザー光Ｌ１と観察用照明光Ｌ３の短波長領域の光との試料Ｓからの反射光Ｌ４は、結像レンズ８に試料Ｓ側から入射される。すなわち、試料Ｓからの反射光Ｌ４は、試料Ｓ側レンズ８に入射される。試料Ｓからの反射光Ｌ４は、無限遠にある点光源がからの光線として試料Ｓ側レンズ８から出射される。   The light in the short wavelength region of the laser light L1 (see FIG. 2) and the observation illumination light L3 is irradiated on the sample S and reflected on the surface of the sample S. The reflected light L4 from the sample S of the laser light L1 and the light in the short wavelength region of the observation illumination light L3 enters the imaging lens 8 from the sample S side. That is, the reflected light L4 from the sample S is incident on the sample S side lens 8. The reflected light L4 from the sample S is emitted from the sample S side lens 8 as a light beam from a point light source at infinity.

試料Ｓ側レンズ８から出射された試料Ｓからの反射光Ｌ４は、長波長を反射するダイクロイックミラー７に入射される。短波長領域の光である試料Ｓからの反射光Ｌ４は、ダイクロイックミラー７を透過する。すなわち、試料Ｓからの反射光Ｌ４は、全反射ミラー６に向かって出射される。全反射ミラー６に向かって出射された試料Ｓからの反射光Ｌ４は、全反射ミラー６によってハーフミラー１１に向かって反射される。試料Ｓからの反射光Ｌ４は、その一部がハーフミラー１１によって観察用カメラ１３に向かって反射される。   The reflected light L4 from the sample S emitted from the sample S side lens 8 is incident on the dichroic mirror 7 that reflects a long wavelength. The reflected light L4 from the sample S, which is light in the short wavelength region, passes through the dichroic mirror 7. That is, the reflected light L 4 from the sample S is emitted toward the total reflection mirror 6. The reflected light L4 from the sample S emitted toward the total reflection mirror 6 is reflected toward the half mirror 11 by the total reflection mirror 6. A part of the reflected light L4 from the sample S is reflected by the half mirror 11 toward the observation camera 13.

このように構成することで、ラマン分光測定装置１は、試料Ｓからの反射光Ｌ４がダイクロイックミラー７によって反射されないように構成されている。また、ラマン分光測定装置１は、試料Ｓからの反射光Ｌ４が全反射ミラー６のピンホール６ａ以外の部分で反射される。つまり、マン分光測定装置においては、レーザー光Ｌ１の光軸上に配置された全反射ミラー６とダイクロイックミラー７とによって試料Ｓからの反射光Ｌ４が阻害されない。これにより、試料Ｓからの反射光Ｌ４がカメラに至るまでの間に生じる損失を抑制することができる。なお、本実施形態において、観察用照明光源１４からの観察用照明光Ｌ３と試料Ｓからの反射光Ｌ４とはハーフミラー１１によって同じ光軸になるように構成されているがこれに限定されるものではなく、観察用カメラ１３と観察用照明光源１４とを一体的に構成してハーフミラー１１を省略した構成でもよい。   With this configuration, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 is configured such that the reflected light L4 from the sample S is not reflected by the dichroic mirror 7. In the Raman spectroscopic measurement apparatus 1, the reflected light L <b> 4 from the sample S is reflected by a portion other than the pinhole 6 a of the total reflection mirror 6. That is, in the Man spectroscopic measurement apparatus, the reflected light L4 from the sample S is not inhibited by the total reflection mirror 6 and the dichroic mirror 7 arranged on the optical axis of the laser light L1. Thereby, it is possible to suppress a loss that occurs before the reflected light L4 from the sample S reaches the camera. In the present embodiment, the observation illumination light L3 from the observation illumination light source 14 and the reflected light L4 from the sample S are configured to have the same optical axis by the half mirror 11, but this is not limitative. Instead of this, the observation camera 13 and the observation illumination light source 14 may be configured integrally and the half mirror 11 may be omitted.

次に、図５と図６とを用いて、ラマン分光測定装置１における観察用カメラ１３の画像Ｖおよびラマン分光器１０の検出結果について説明する。   Next, the image V of the observation camera 13 and the detection result of the Raman spectrometer 10 in the Raman spectrometer 1 will be described with reference to FIGS. 5 and 6.

図５（ａ）に示すように、観察用カメラ１３（図４参照）は、反射光Ｌ４から画像Ｖを生成する。画像Ｖには、試料Ｓとレーザー光Ｌ１の照射点ｓ１・ｓ２・ｓ３・・・ｓ１６が同時に表示されている。さらに画像Ｖには、試料Ｓのうち物質Ｓａの部分と物質Ｓｂ（薄墨部分）の部分とが表示されている。
図５（ｂ）に示すように、ラマン分光測定装置１のラマン分光器１０は、例えばマルチ光ファイバ、回折格子、エリアセンサとレンズ、ミラー等から構成されている。ラマン分光測定装置１は、レーザー光Ｌ１の照射点ｓ１・ｓ２・ｓ３・・・ｓ１６からのラマン散乱光Ｌ２を、マルチ光ファイバ１５の一端である二次元配列部分で受光する。ラマン分光測定装置１は、マルチ光ファイバ１５の一端で受光した２次配列を１次元配列に変換してマルチ光ファイバ１５の他端から回析格子に出射する。出射された１次元配列に変換されたラマン散乱光Ｌ２が回折格子を介してエリアセンサに導かれるように構成されている。これにより、ラマン分光測定装置１は、複数の照射点ｓ１・ｓ２・ｓ３・・・ｓ１６のラマン分光スペクトルをラマン分光器１０で測定することができる。 As shown in FIG. 5A, the observation camera 13 (see FIG. 4) generates an image V from the reflected light L4. In the image V, the irradiation points s1, s2, s3,... S16 of the sample S and the laser beam L1 are displayed at the same time. Further, in the image V, the portion of the substance Sa and the portion of the substance Sb (light ink portion) in the sample S are displayed.
As shown in FIG. 5B, the Raman spectroscope 10 of the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 includes, for example, a multi-optical fiber, a diffraction grating, an area sensor and a lens, a mirror, and the like. The Raman spectroscopic measurement device 1 receives the Raman scattered light L2 from the irradiation points s1, s2, s3,... S16 of the laser light L1 at a two-dimensional array portion that is one end of the multi optical fiber 15. The Raman spectroscopic measurement device 1 converts the secondary array received at one end of the multi-optical fiber 15 into a one-dimensional array, and emits it from the other end of the multi-optical fiber 15 to the diffraction grating. The emitted Raman scattered light L2 converted into a one-dimensional array is guided to the area sensor via the diffraction grating. Thereby, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 can measure the Raman spectroscopic spectrum of the plurality of irradiation points s1, s2, s3,.

図６に示すように、ラマン分光器１０は、照射点のラマン散乱光Ｌ２（図３参照）のラマンスペクトルを出力する。図６は照射点ｓ１から照射点ｓ５についてのラマンスペクトルを示す。照射点ｓ１から照射点ｓ５のうち照射点ｓ４と照射点ｓ５との波形の傾向およびピーク位置が照射点ｓ１から照射点ｓ３の波形の傾向およびピーク位置と異なる。この結果より、ラマン分光測定装置１は、照射点ｓ１から照射点ｓ３（図５（ａ）における黒点位置）における試料Ｓを構成している物質Ｓｂと、照射点ｓ４と照射点ｓ５（図５（ａ）における白点位置）における試料Ｓが構成している物質Ｓａと、が異なる物質であることを示すことができる。このように、ラマン分光測定装置１は、複数の照射点ｓ１から照射点ｓ１６の試料Ｓの表面状態とラマン散乱光のラマンスペクトルとを同時に確認することができる。   As shown in FIG. 6, the Raman spectrometer 10 outputs a Raman spectrum of the Raman scattered light L2 (see FIG. 3) at the irradiation point. FIG. 6 shows a Raman spectrum from the irradiation point s1 to the irradiation point s5. Of the irradiation points s1 to s5, the waveform trends and peak positions of the irradiation points s4 and s5 are different from the waveform trends and peak positions of the irradiation points s1 to s3. From this result, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 has the substance Sb constituting the sample S, the irradiation point s4, and the irradiation point s5 (FIG. 5) from the irradiation point s1 to the irradiation point s3 (black point position in FIG. 5A). It can be shown that the substance Sa constituting the sample S at the white spot position in (a) is a different substance. Thus, the Raman spectroscopic measurement apparatus 1 can simultaneously confirm the surface state of the sample S from the plurality of irradiation points s1 to s16 and the Raman spectrum of the Raman scattered light.

以上、ラマン分光測定装置の一実施形態であるラマン分光測定装置１は、複数の光路に分割したレーザー光Ｌ１を試料Ｓの照射する構成としているがこれに限定されるものではない。また、レーザー光Ｌ１の光路を基準として、レーザー光源２側の位置に観察用の光路が設けられ、試料Ｓ側の位置にラマン散乱光Ｌ２の光路が設けられているがこれに限定するものではない。ラマン分光測定装置１は、レーザー光Ｌ１の光路を基準として、全反射ミラー６を用いて観察用の光路を合流させ、ダイクロイックミラー７を用いてラマン散乱光Ｌ２の光路を合流させる構成であればよい。上述の実施形態は、代表的な形態を示したに過ぎず、一実施形態の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。   As described above, the Raman spectrometer 1 which is an embodiment of the Raman spectrometer is configured to irradiate the sample S with the laser beam L1 divided into a plurality of optical paths, but is not limited thereto. Further, with the optical path of the laser light L1 as a reference, an optical path for observation is provided at a position on the laser light source 2 side, and an optical path of Raman scattered light L2 is provided at a position on the sample S side. However, the present invention is not limited to this. Absent. The Raman spectroscopic measurement device 1 has a configuration in which the optical path for observation is combined using the total reflection mirror 6 and the optical path of the Raman scattered light L2 is combined using the dichroic mirror 7 with the optical path of the laser light L1 as a reference. Good. The above-described embodiments are merely representative, and various modifications can be made without departing from the scope of one embodiment. It goes without saying that the present invention can be embodied in various forms, and the scope of the present invention is indicated by the description of the scope of claims, and the equivalent meanings of the scope of claims, and all the scopes within the scope of the claims. Includes changes.

１ 分光測定装置
２ ビーム光源
６ 全反射ミラー
７ ダイクロイックミラー
１０ 分光器
１３ 観察用カメラ
１４ 観察用照明光源
Ｌ１ レーザー光
Ｌ２ ラマン散乱光 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spectrometer 2 Beam light source 6 Total reflection mirror 7 Dichroic mirror 10 Spectroscope 13 Observation camera 14 Observation illumination light source L1 Laser light L2 Raman scattered light

Claims (3)

試料に照射して光を励起するビームの照射位置を画像によって認識可能な分光測定装置であって、
所定波長のビームを発振するビーム光源と、
分光器と、
観察用カメラと、
観察用照明光源と、
ピンホールが形成されている全反射ミラーと、
前記所定波長のビームのみを透過させるダイクロイックミラーと、を備え、
前記全反射ミラーと前記ダイクロイックミラーとが前記ビームの光軸上に配置されており、
前記ビーム光源からのビームが、前記全反射ミラーのピンホールを通過して試料に照射され、
前記試料に照射されたビームによって励起される光が前記ダイクロイックミラーに反射されて前記分光器に入射され、
前記観察用照明光源からの観察用照明光が、前記全反射ミラーに反射されて前記ビームの光軸に前記観察用照明光の光軸を一致させた状態で前記試料に照射され、
前記試料から反射した観察用照明光が、その光軸を前記ビームの光軸に一致させた状態で前記全反射ミラーに反射されて前記観察用カメラに入射される分光測定装置。 A spectroscopic measurement device that can recognize an irradiation position of a beam that irradiates a sample and excites light by an image,
A beam light source that oscillates a beam of a predetermined wavelength;
A spectroscope,
An observation camera,
An illumination light source for observation;
A total reflection mirror in which a pinhole is formed;
A dichroic mirror that transmits only the beam of the predetermined wavelength,
The total reflection mirror and the dichroic mirror are disposed on an optical axis of the beam;
The beam from the beam light source passes through the pinhole of the total reflection mirror and is irradiated onto the sample.
Light excited by the beam irradiated on the sample is reflected by the dichroic mirror and incident on the spectroscope,
The illumination light for observation from the illumination light source for observation is reflected on the total reflection mirror and irradiated on the sample in a state in which the optical axis of the illumination light for observation coincides with the optical axis of the beam.
The spectroscopic measurement apparatus in which the illumination light for observation reflected from the sample is reflected by the total reflection mirror and incident on the observation camera in a state where the optical axis of the illumination light coincides with the optical axis of the beam. ビーム分割手段と、
レンズと、をさらに備え、
前記ビーム分割手段と前記レンズとが前記ビームの光軸上に配置されており、
前記ビーム光源からビームが、ビーム分割手段によって複数のビームに分割され、
前記分割された複数のビームが、レンズによって前記全反射ミラーのピンホール位置で集束される請求項１に記載の分光測定装置。 Beam splitting means;
A lens, and
The beam splitting means and the lens are disposed on an optical axis of the beam;
The beam from the beam light source is split into a plurality of beams by a beam splitting means,
The spectroscopic measurement apparatus according to claim 1, wherein the plurality of divided beams are focused at a pinhole position of the total reflection mirror by a lens. 前記分割された複数のビームによって照射位置毎に励起される光が前記ダイクロイックミラーに反射されて前記分光器に入射され、各照射位置の分光をそれぞれ測定する請求項２に記載の分光測定装置。   The spectroscopic measurement apparatus according to claim 2, wherein light excited at each irradiation position by the plurality of divided beams is reflected by the dichroic mirror and incident on the spectroscope to measure the spectrum at each irradiation position.

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