JP2017180676A - Foil bearing - Google Patents
Foil bearing Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017180676A JP2017180676A JP2016069044A JP2016069044A JP2017180676A JP 2017180676 A JP2017180676 A JP 2017180676A JP 2016069044 A JP2016069044 A JP 2016069044A JP 2016069044 A JP2016069044 A JP 2016069044A JP 2017180676 A JP2017180676 A JP 2017180676A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foil
- bearing
- region
- rigidity
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C27/00—Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement
- F16C27/02—Sliding-contact bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
- F16C17/024—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with flexible leaves to create hydrodynamic wedge, e.g. radial foil bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/04—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only
- F16C17/042—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only with flexible leaves to create hydrodynamic wedge, e.g. axial foil bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/23—Gas turbine engines
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Support Of The Bearing (AREA)
Abstract
Description
本発明は、フォイル軸受に関する。 The present invention relates to a foil bearing.
ホワールが生じ難く、かつ温度変化の大きい環境下でも軸受隙間の隙間幅管理を容易にできる軸受としてフォイル軸受が知られている。フォイル軸受は、曲げに対して剛性の低い可撓性を有する金属薄板(フォイル)で軸受面を構成し、この軸受面のたわみを許容することで荷重を支持するものであり、軸受隙間が運転条件等に応じた適切な幅に自動調整されるという特徴を有する。例えば下記の特許文献1に、ラジアル荷重を支持するラジアルフォイル軸受の一例として、バンプ型と呼ばれるフォイル軸受が開示されている。 A foil bearing is known as a bearing that can easily manage the gap width of a bearing gap even in an environment in which a whirl is not easily generated and a temperature change is large. A foil bearing consists of a thin metal plate (foil) that has low rigidity against bending and supports the load by allowing the bearing surface to bend. It is characterized by being automatically adjusted to an appropriate width according to conditions and the like. For example, Patent Document 1 below discloses a foil bearing called a bump type as an example of a radial foil bearing that supports a radial load.
特許文献1に記載のフォイル軸受は、円筒状のトップフォイルと、トップフォイルを弾性的に支持するバックフォイル(バンプフォイル)と、トップフォイルおよびバックフォイルが取り付けられた軸受ホルダとを有する。このバンプ型フォイル軸受では、トップフォイルが荷重を受けた際にバックフォイルが弾性変形するため、トップフォイルの撓みが許容されるようになっている。 The foil bearing described in Patent Document 1 includes a cylindrical top foil, a back foil (bump foil) that elastically supports the top foil, and a bearing holder to which the top foil and the back foil are attached. In this bump type foil bearing, since the back foil is elastically deformed when the top foil receives a load, the top foil is allowed to bend.
ところで、バンプ型フォイル軸受のバックフォイルは、図26に示すように軸方向(矢印方向)に延びる凸部200を周方向に配置した波板状の形態を有する。バックフォイルの弾性変形時には、各凸部200を押し広げるように変形することになるが、その際の変形抵抗が大きく、バックフォイルが全体的に高剛性となるため、トップフォイルの柔軟性が不足する傾向にある。トップフォイルの柔軟性が不足すると、軸受隙間の自動調整機能が損なわれ、軸とトップフォイルが接触し易くなる等の不具合を招く。
By the way, the back foil of the bump type foil bearing has a corrugated form in which
そこで、本発明は、トップフォイルの柔軟性を高めたフォイル軸受を提供することを目的とする。 In view of the above, an object of the present invention is to provide a foil bearing in which the flexibility of the top foil is increased.
上記の課題を解決するため、本発明は、支持すべき軸と対向する軸受面を備えたトップフォイル部と、トップフォイル部の背後でトップフォイル部を弾性的に支持するバックフォイル部とを備え、軸と軸受面との間の軸受隙間に生じる流体膜で、相対回転する軸を非接触に支持するフォイル軸受において、前記バックフォイル部に、平坦な中間部と、中間部の表側および裏側に突出する複数の突出部とを設け、トップフォイル部の軸受面のうち突出部と対向する対向領域と、当該突出部との間に、前記対向領域の剛性を強化する剛性強化部を設けたことを特徴とするものである。 In order to solve the above problems, the present invention includes a top foil portion having a bearing surface facing a shaft to be supported, and a back foil portion that elastically supports the top foil portion behind the top foil portion. In a foil bearing that supports a relatively rotating shaft in a non-contact manner with a fluid film generated in a bearing gap between the shaft and the bearing surface, the back foil portion has a flat middle portion, and a front side and a back side of the middle portion. Providing a plurality of projecting portions that project, and providing a rigidity reinforcing portion that reinforces the rigidity of the facing region between the projecting portion and the facing region facing the projecting portion of the bearing surface of the top foil portion It is characterized by.
かかる構成では、軸受運転中の軸受隙間で生じる流体圧力により、バックフォイルにトップフォイルを介して流体圧力の作用方向(ラジアル軸受では半径方向、スラスト軸受では軸方向)の圧縮力が作用する。バックフォイルに、平坦な中間部と、中間部の表側および裏側に突出する複数の突出部とを設けることで、中間部がバックフォイルの中でも圧縮力に対する剛性の低い部分となる。そのため、バックフォイルに圧縮力が負荷された際には、中間部が変形して圧縮力を吸収する。従って、そのような平坦部分を有しない、既存のバンプ型フォイル軸受のバックフォイル部に比べ、バックフォイル全体の剛性が小さくなる。これにより、トップフォイルの柔軟性を高めることが可能となる。 In such a configuration, a compressive force acting in the direction of the fluid pressure (radial direction in the radial bearing and axial direction in the thrust bearing) acts on the back foil via the top foil due to the fluid pressure generated in the bearing gap during the bearing operation. By providing the back foil with a flat intermediate portion and a plurality of protrusions protruding on the front side and the back side of the intermediate portion, the intermediate portion becomes a portion having low rigidity against compressive force in the back foil. Therefore, when a compressive force is applied to the back foil, the intermediate portion is deformed to absorb the compressive force. Therefore, the rigidity of the entire back foil is reduced as compared with the back foil portion of the existing bump type foil bearing which does not have such a flat portion. Thereby, the flexibility of the top foil can be increased.
かかる構成では、バックフォイル部の突出部は、中間部に比べて高剛性の部分となる。従って、前記圧縮力の作用下で突出部がトップフォイル部と接触した際にも、突出部は変形せず、専らトップフォイル部が突出部の頂部に倣うように凸状に変形する。この場合、軸受面のうち、突出部と対向する対向領域では、トップフォイル部の弾性変形が許容されない状態となるため、トップフォイル部が軸と接触し易くなり、トップフォイル部が偏摩耗するおそれがある。 In such a configuration, the protruding portion of the back foil portion is a portion having higher rigidity than the intermediate portion. Therefore, even when the projecting portion comes into contact with the top foil portion under the action of the compressive force, the projecting portion is not deformed, and the top foil portion is deformed into a convex shape so as to follow the top portion of the projecting portion. In this case, since the elastic deformation of the top foil portion is not allowed in the region of the bearing surface that faces the protruding portion, the top foil portion easily comes into contact with the shaft, and the top foil portion may be unevenly worn. There is.
これに対し、トップフォイル部の軸受面のうち突出部と対向する対向領域と、当該突出部との間に、前記対向領域の剛性を強化する剛性強化部を設ければ、圧縮力が作用した際にも軸受面の対向領域の変形が抑制される。従って、対向領域でのトップフォイル部の弾性変形が許容された状態となる。そのため、軸の変位に対して軸受面全体が追従変形し易くなり、軸との接触によるトップフォイル部の偏摩耗を防止することができる。 On the other hand, if a rigidity enhancement part that reinforces the rigidity of the opposing region is provided between the opposing region of the bearing surface of the top foil portion that faces the protruding portion and the protruding portion, a compressive force is applied. Even in this case, deformation of the opposed region of the bearing surface is suppressed. Therefore, the elastic deformation of the top foil part in the facing region is allowed. For this reason, the entire bearing surface is easily deformed following the displacement of the shaft, and uneven wear of the top foil portion due to contact with the shaft can be prevented.
剛性強化部は、突出部とトップフォイルとの間に配置した中間フォイルで形成することができる。 The stiffness enhancing portion can be formed by an intermediate foil disposed between the protrusion and the top foil.
この場合、中間フォイルのうち、バックフォイルの中間部と対向する部分に孔を設ければ、軸受面の対向領域を除く領域が弾性変形し易くなるので、軸受面全体の柔軟性を確保することができる。 In this case, if a hole is provided in a portion of the intermediate foil that faces the intermediate portion of the back foil, the region excluding the opposed region of the bearing surface is easily elastically deformed, so that the flexibility of the entire bearing surface is ensured. Can do.
剛性強化部は、対向領域でトップフォイルを他所よりも厚肉にすることにより構成することもできる。 The rigidity reinforcing part can also be configured by making the top foil thicker than the other part in the opposed region.
このように本発明によれば、バックフォイル部の突出部と対向する領域を含む軸受面全体の柔軟性を高めることができる。これにより、軸受隙間の自動調整機能が良好に発揮されるため、軸とトップフォイル部の接触を確実に防止し、フォイル軸受の負荷容量を高めることが可能となる。 Thus, according to this invention, the softness | flexibility of the whole bearing surface including the area | region facing the protrusion part of a back foil part can be improved. As a result, the automatic adjustment function of the bearing gap is satisfactorily exhibited, so that the contact between the shaft and the top foil portion can be reliably prevented, and the load capacity of the foil bearing can be increased.
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1に、マイクロガスタービンにおけるロータの支持構造の一例を概念的に示す。この支持構造では、軸6の周囲にラジアル軸受10が配置され、軸6に設けたフランジ部6bの軸方向両側にそれぞれスラスト軸受30が配置される。これらラジアル軸受10およびスラスト軸受30により、軸6がラジアル方向およびスラスト両方向に回転自在に支持される。この支持構造において、タービン1と圧縮機2の間の領域は、高温・高圧のガスで回転されるタービン1に隣接している関係上高温雰囲気となる。加えて、軸6は、数万rpm以上の回転速度で回転する。そのため、この支持構造で使用する軸受10,30としては、空気動圧軸受、特にフォイル軸受が適合する。
FIG. 1 conceptually shows an example of a rotor support structure in a micro gas turbine. In this support structure, the
上記のマイクロガスタービン用のラジアル軸受10に適合するフォイル軸受の一例として、多円弧型と呼ばれるものが使用される。以下、この多円弧型フォイル軸受の基本的構成を図2〜図7に基づいて説明する。
As an example of the foil bearing suitable for the
[多円弧型フォイル軸受の基本的構成]
図2に示すように、多円弧型のラジアルフォイル軸受10は、円筒面状の内周面11aを有するフォイルホルダ11と、フォイルホルダ11の内周面11a上で、軸6の回転方向の複数箇所に配置されたフォイル12とを有する。図示例のフォイル軸受10は、内周面11aの三カ所にフォイル12を配置した場合を例示している。各フォイル12の内径側に軸6が挿入されている。
[Basic configuration of multi-arc foil bearing]
As shown in FIG. 2, the multi-arc radial foil bearing 10 includes a
フォイルホルダ11は、例えば焼結金属や溶製材等の金属(例えば鋼材)で形成することができる。フォイルホルダ11の内周面11aのうち、回転方向Rに離隔した複数箇所(フォイル数と同数)には、各フォイル12の取り付け部となる軸方向溝11bが形成されている。
The
各フォイル12を構成するフォイル材は、ばね性に富み、かつ加工性のよい金属、例えば鋼材料や銅合金からなる厚さ20μm〜200μm程度の帯状フォイルを、プレス加工等により所定形状に加工することで形成される。鋼材料や銅合金の代表例として、炭素鋼や黄銅を挙げることができるが、一般的な炭素鋼では、雰囲気に潤滑油が存在せず油による防錆効果が期待できないため、錆による腐食が発生し易くなる。また、黄銅では加工ひずみによる置き割れを生じることがある(黄銅中のZnの含有量が多いほどこの傾向が強まる)。そのため、帯状フォイルとしては、ステンレス鋼もしくは青銅製のものを使用するのが好ましい。
The foil material that constitutes each
図3に示すように、フォイル12は、軸6の回転方向R側の第一領域12aと、反回転方向側の第二領域12bとを有する。
As shown in FIG. 3, the
第一領域12aは、軸受面Xを形成するトップフォイル部Tfと、トップフォイル部Tfの表面に沿い、かつ回転方向Rと直交する方向N(以下、単に「直交方向N」と呼ぶ)の複数箇所に設けられ、かつ、それぞれ回転方向R側に突出する方向に延びた凸部12a2とを有する。本実施形態では、前記直交方向の三カ所に凸部12a2を形成した場合を例示している。各凸部12a2の基端部には、フォイル縁部から反回転方向に延びる微小な切り込み12a3が設けられている。
The
第二領域12bの後端12d(反回転方向側の端部)には、前記直交方向Nに離隔して、回転方向Rに向けて凹んだ二つの切り欠き部12b2が形成される。各切り欠き部12b2の前記直交方向Nにおける幅寸法は、回転方向Rに向けて徐々に縮小している。本実施形態では、切り欠き部12b2全体を円弧状に形成した場合を例示しているが、各切り欠き部12b2は、頂部を尖端状とした略V字状に形成することもできる。各切り欠き部12b2の前記直交方向Nの両側には、それぞれ反回転方向に突出する突出部12b1が形成されている。
At the
第一領域12aと第二領域12bの境界部で、かつ前記直交方向Nの複数箇所(凸部12a2と同数)には、隣接するフォイル12の凸部12a2が差し込まれる、スリット状の差込口12c1が設けられる。このうち、両端の差込口12c1は、前記直交方向Nに直線状に延びて、フォイル12の両端部にそれぞれ開口している。中央の差込口12c1は、前記直交方向Nに沿って延びる直線状の切り欠き部分と、該切り欠き部分から反回転方向側に延び、その先端を円弧状とした幅広の切り欠き部分とからなる。
A slit-like insertion port into which the convex portions 12a2 of the adjacent foils 12 are inserted at a boundary portion between the
図4に示すように、一方のフォイル12の各凸部12a2を、隣接するフォイル12の差込口12c1にそれぞれ差し込むことにより、2枚のフォイル12を連結する事ができる。同図中では、組み合わせ後の二つのフォイル12のうち、一方のフォイル12にグレーの色を付している。
As shown in FIG. 4, the two foils 12 can be connected by inserting each
そして、図5に示すように、3枚のフォイル12を図4と同様の結合手法により周状に連結する事で、各フォイル12を仮組みの状態にする事ができる。この仮組体を、図6に示すように、筒状にしてフォイルホルダ11の内周に矢印B2の方向へ挿入する事で、フォイル軸受10が組み立てられる。具体的には、3枚のフォイル12の仮組体をフォイルホルダ11の内周に挿入しながら、各フォイル12の凸部12a2を、フォイルホルダ11の一方の端面に開口した軸方向溝11b(図7参照)に軸方向一方側から差込む。以上により、3枚のフォイル12が、フォイルホルダ11の内周面11aに回転方向Rに並べた状態で取り付けられる。
And as shown in FIG. 5, each
図7に示すように、各フォイル12をフォイルホルダ11に取り付けた状態では、隣接する二つのフォイル12同士が交差した状態となる。この交差部分よりも回転方向R側では、一方のフォイル12の凸部12a2が、他方のフォイル12の差込口12c1を介して他方のフォイル12の背後に回り込み、フォイルホルダ11の軸方向溝11bに挿入されている。また、他方のフォイル12のトップフォイル部Tfが軸受面Xを構成している。交差部分よりも反回転方向側では、一方のフォイル12のトップフォイル部Tfが軸受面Xを構成し、他方のフォイルの第二領域12bが一方のフォイル12の背後に回り込んでバックフォイル部Bfを構成する。このバックフォイル部Bfの反回転方向側の端部は自由端であり、当該端部の位置は、バックフォイル部Bfの弾性変形に応じて周方向(回転方向および反回転方向)に変動する。バックフォイル部Bfの回転方向R側の端部は、前記交差部分で他のフォイル12(前記一方のフォイル)と周方向で係合した状態にある。
As shown in FIG. 7, when the
トップフォイル部Tfとバックフォイル部Bfが重なり合った部分で、フォイル同士が重複したフォイル重複部Wが構成される。このフォイル重複部Wは、回転方向Rの複数箇所(フォイル12と同数であり、本実施形態では三カ所)に形成される。
A foil overlap portion W in which the foils overlap each other is formed at the portion where the top foil portion Tf and the back foil portion Bf overlap. The foil overlapped portion W is formed at a plurality of locations in the rotation direction R (the same number as the
このフォイル軸受10では、各フォイル12の回転方向R側の一端(凸部12a2)がフォイルホルダ11に取り付けられると共に、反回転方向側の領域が他のフォイル12と周方向で係合した状態にある。これにより、隣接するフォイル12同士が周方向で互いに突っ張り合った状態となるため、各フォイル12のトップフォイル部Tfがフォイルホルダ11側に張り出し、フォイルホルダ11の内周面11aに沿った形状に湾曲する。各フォイル12の回転方向R側への移動は、各フォイル12の凸部12a2が軸方向溝11bに突き当たるために規制されるが、各フォイル12の反回転方向側への移動は規制されず、各フォイル12は、バックフォイル部Bfの自由端も含めて反回転方向に移動可能である。
In this foil bearing 10, one end (
図7に示すように、軸方向溝11bがフォイルホルダ11の内周面の接線方向に対して角度θ1だけ僅かに傾斜して設けられるため、軸方向溝11に挿入された凸部12a2の近傍では、トップフォイル部Tfがフォイル12全体の湾曲方向(フォイルホルダ11の内周面11aの湾曲方向)と逆方向に湾曲しようとする。また、トップフォイル部Tfは、バックフォイル部Bfに乗り上げることで、フォイルホルダ11の内周面11aから離反する方向に傾斜した状態で立ち上がる。従って、トップフォイル部Tfの軸受面Xと軸6の外周面の間に楔空間が形成される。また、トップフォイル部Tfは弾性変形可能なバックフォイル部Bfに弾性的に支持された状態となる。
As shown in FIG. 7, since the
軸6の一方向回転中は、楔空間に生じた空気膜が高圧となるため、軸6が浮上力を受ける。そのため、図2に示すように、各フォイル12の軸受面Xと軸6の間に環状のラジアル軸受隙間Cが形成され、軸6がフォイル12に対して非接触の状態で回転自在に支持される。トップフォイル部Tfの弾性変形により、ラジアル軸受隙間Cの隙間幅は運転条件等に応じた適正幅に自動調整されるため、軸6の回転が安定的に支持される。なお、図2においては理解の容易化のためラジアル軸受隙間Cの隙間幅を誇張して描いている(図14、図22、図23、図25も同じ)。
While the
軸6の回転中は、流体圧力により、トップフォイル部Tfがバックフォイル部Bfに押さえ付けられて弾性変形するため、バックフォイル部Bfに乗り上げたトップフォイル部Tfには、軸受隙間Cの幅方向の段差が形成される。図4に示すように、各フォイル12の第二領域12bの後端12dに切り欠き部12b2を設けた場合には、この段差は、切り欠き部12b2の形状に対応したヘリングボーン形状となる。トップフォイル部Tfに沿って流れる流体は、上記のヘリングボーン形状の段差に沿って流れるため(矢印を参照)、軸受隙間Cのうち、前記直交方向Nの二カ所に流体の圧力発生部が形成される。これにより、軸6の浮上効果を高めつつモーメント荷重を支持することが可能となる。本実施形態では、図3に示すように、トップフォイル部Tfに微小な切り込み12a3を形成してトップフォイル部Tfの剛性を低下させているため、トップフォイル部Tfが切り欠き部12b2に沿って変形する際にも、その変形がスムーズに行われる。
While the
以上に説明したフォイル軸受10では、各フォイル12のバックフォイル部Bfが図8および図9に示す凹凸フォイル20で形成される。凹凸フォイル20は、バックフォイル部Bfの表側(例えば軸受面X側)に突出する複数の第一突出部21と、裏側(例えば軸受面Xと反対側)に突出する複数の第二突出部22と、各突出部21,22を結合する平坦な中間部23とを一体に有する。第一突出部21は中間部23からその表側に向かって突出し、第二突出部22は中間部23からその裏側に向けて突出している。第一突出部21および第二突出部22は、その周囲全周が中間部23につながっている。
In the foil bearing 10 described above, the back foil portion Bf of each
図10に凹凸フォイル20の断面を拡大して表す。図10に示すように、第一突出部21、第二突出部22、および中間部23は均一な肉厚を有する。第一突出部21および第二突出部22は、何れも概略半球状に形成される。第一突出部21および第二突出部22の内側は中空状になっているため、フォイル12を表裏の一方側、例えば表側から見た場合、第二突出部22が存在する領域は凹部となる。
FIG. 10 shows an enlarged cross section of the
この凹凸フォイル20は、フォイル素材をプレス加工することで形成される。例えば、図3に示すように、各フォイル12に、トップフォイル部Tfおよびバックフォイル部Bfを形成する場合、図11に示すように、バックフォイル部Bfの領域に限ってプレス加工を施して第一突出部21(白抜き円で示す)、第二突出部22(ハッチング付きの円で示す)、および中間部23を形成することで、凹凸フォイル20と、そのような凹凸を有しない平滑なトップフォイル部Tfとを一体に有するフォイル12が得られる(図11のフォイル12では、図3に示す切り欠き部12b2が省略されている)。なお、図11に示す第一突出部21および第二突出部22の配置パターンは例示にすぎず、必要に応じて図11とは異なる任意の配置パターンを採用することができる。
The
三枚のフォイル12を図4〜図6と同様の手順で組み立ててアセンブリとし、このアセンブリをフォイルホルダ11に取り付けることにより、図2に示すように、各バックフォイル部Bf(散点模様で示す)を凹凸フォイル20で形成したラジアルフォイル軸受10が完成する。図10に示すように、この状態では、バックフォイル部Bfの第一突出部21がトップフォイル部Tfに接触し、バックフォイル部Bfの第二突出部22がフォイルホルダ11の内周面11aに接触する。
The three foils 12 are assembled in the same procedure as in FIGS. 4 to 6 to form an assembly, and this assembly is attached to the
軸6の回転中は、図10に示すように、軸受隙間Cで生じる空気圧によりトップフォイル部Tfが圧縮力Pを受けるため、バックフォイル部Bfには、トップフォイル部Tfを介して圧縮力と同方向の荷重が作用する。中間部23は圧縮力Pの方向と直交する方向に延びる薄板状であるため、バックフォイル部Bfの中でも圧縮力に対する剛性の低い部分となる。そのため、バックフォイル部Bfに圧縮力が負荷されると、図10に二点鎖線で示すように先ず中間部23が変形して圧縮力を吸収する。従って、そのような平坦部分を有しない、既存のバンプ型フォイル軸受のバックフォイル部(図23参照)に比べ、バックフォイル部Bf全体の剛性を小さくすることができる。これにより、軸受面Xの柔軟性が高まるため、軸6の変位等に対して軸受面Xが追従変形し易くなり、軸6とトップフォイル部Tfの接触を確実に防止することが可能となる。
During the rotation of the
また、図11から明らかなように、各突出部21,22はバックフォイル部Bfの全体に分散して配置されている。具体的には、各突出部21,22とトップフォイル部Tfおよびフォイルホルダ11との接触部は、一定方向に連続した帯状ではなく、点状に形成される。すなわち、この接触部は、軸受面Xに沿う少なくとも直交二方向(例えば回転方向Rおよび前記直交方向N)で、より好ましくは軸受面Xに沿うあらゆる方向で、間欠的に形成される。従って、バックフォイル部Bfの変形時には、隣接する同種の突出部(中間部23からの突出方向を共通にする突出部)間でも相対移動を許容することが可能となり、バックフォイル部Bfの剛性をさらに低くすることができる。因みに、既存のバンプ型フォイル軸受のバックフォイル部では、凸部が軸方向(前記直交方向N)に延びているため、凸部の軸方向各部間では、このような相対移動を許容することができない。
Further, as is apparent from FIG. 11, the projecting
ところで、軸受面Xに必要とされる剛性の最適値は、軸受面Xの各部で異なると考えられる。従って、軸受面X全体を柔軟にしただけでは、部位によっては軸受面Xの剛性が不足し、却って軸受性能が低下するおそれがある。 By the way, it is considered that the optimum value of rigidity required for the bearing surface X is different in each part of the bearing surface X. Therefore, if the entire bearing surface X is made flexible, the rigidity of the bearing surface X may be insufficient depending on the portion, and the bearing performance may be deteriorated.
これに対し、上記凹凸フォイル20において、図12に示すように、第一突出部21および第二突出部22の分布密度を変えれば軸受面Xの剛性を部分的にコントロールすることが可能となる。例えばバックフォイル部Bfに第一突出部21および第二突出部22が密に分布した領域を設ければ、隣接する突出部21,22間の支持スパンS(図10参照)が小さくなるため、当該領域の剛性を高くすることができる。これとは逆に、両突出部21,22の分布を疎にした領域を設ければ、当該領域の剛性を低くすることができる。従って、バックフォイル部Bfの各部の剛性、延いては軸受面Xの各部の剛性をコントロールすることが可能となる。
On the other hand, in the concavo-
以下、軸受面Xの剛性をコントロールした具体例を図13に基づいて説明する。
図13は、フォイル12のうち、バックフォイル部Bfに、第一突出部21および第二突出部22を密に分布させた高密度領域H(クロスハッチングで示す)を帯状かつ楕円状に形成したものである。この際、高密度領域Hの回転方向R側に向かうほど突出部21,22を密に分布させ、かつ前記直交方向Nの両端から中央側に向かうほど突出部21,22を密に分布させる。第二領域12bのこれ以外の領域には、高密度領域Hよりも突出部21,22を疎に分布させた低密度領域L(ハッチングで示す)が形成される。
Hereinafter, a specific example in which the rigidity of the bearing surface X is controlled will be described with reference to FIG.
FIG. 13 shows that a high-density region H (indicated by cross-hatching) in which the
軸6の回転中は、図14に示すように、フォイル重複部Wにおいてトップフォイル部Tfと軸6の間に楔空間が形成される。この際、バックフォイル部Bfに、図13に示す密度パターンで突出部21,22を形成することにより、トップフォイル部Tfの楔空間を形成する領域には、バックフォイル部Bfの剛性差を受けて、図15に示すように、前記直交方向Nの中央部が凹んだ凹部24が形成される。この凹部24の前記直交方向Nの両側ではトップフォイル部Tfが高剛性となって変形しにくいため、楔空間の空気が前記直交方向Nに逃げ難くなる。また、楔空間は回転方向R側ほど高圧となるが、バックフォイル部Bfの剛性差により、楔空間の最高圧力部付近でトップフォイル部Tfの剛性が最大となるため、最高圧力部からも空気が逃げ難くなる。従って、バックフォイル部Bfに図13に示す密度パターンで突出部21,22を形成することで、楔空間における空気膜の形成効率を向上させることができ、軸6とフォイル12の接触を確実に防止することが可能となる。
During the rotation of the
既存の多円弧型フォイル軸受では、図3に示すように、バックフォイル部Bfとなる第二領域12bの後端12bに切り欠き部12b1を設けることにより、楔空間に前記凹部に相当する部分を形成しているが、上記のようにバックフォイル部Bfに剛性差を設ければ、第二領域12bの後端12dにそのような切り欠き部12b1を形成せずとも(図11参照)、同形態の凹部24を形成することが可能となる。もちろん、フォイル12の後端12dに切り欠き部12b1を設けた上で、第二領域12bに上記のような突出部21,22の密度差を設けても構わない。
In the existing multi-arc type foil bearing, as shown in FIG. 3, by providing a notch portion 12b1 at the
以上に述べた説明では、バックフォイル部Bfの第一突出部21および第二突出部22を全て同じ大きさにしているが、バックフォイル部Bfの表側および裏側のどちらか一方又は双方に、他とは大きさの異なる突出部を形成することもできる。図16はその一例を示すもので、表側の第一突出部21として大突出部21aおよび小突出部21bを設け、裏側の第二突出部22として大突出部22aおよび小突出部22bを設けたものである。大突出部21a,22aと小突出部21b、22bでは、中間部23からの突出量が異なる。
In the above description, the first projecting
図16に示すバックフォイル部Bfにおいて、これに与える圧縮力(軸受隙間Cの幅方向の圧縮荷重)を徐々に増加させると、中間部23が変形してから大突出部21a,22aが変形し、最後に小突出部21b、22bが変形するようになる。従って、圧縮荷重が小さい時には、荷重の増加量に対するバックフォイル部Bfの変形量が大きくなり、圧縮荷重が大きい時は、荷重の増加量に対するバックフォイル部Bfの変形量が小さくなる。すなわち、バックフォイル部Bfのばね特性に非線形性を与えることができる。
In the backfoil portion Bf shown in FIG. 16, when the compression force (compression load in the width direction of the bearing gap C) applied thereto is gradually increased, the
このようにバックフォイル部Bfのばね特性が非線形性を有する場合、圧縮荷重が低い時はトップフォイル部Tfが変形し易くなるため、空気膜の圧力が低い状態(軸6の回転開始直後や停止直前)でも楔空間が形成され易くなる。その一方で、圧縮荷重が高い時はトップフォイル部Tfが変形し難くなるため、空気膜の圧力が高い状態(軸6の定常回転状態)でもトップフォイル部Bfの変形を抑えて楔空間からの空気の漏れを防止することができる。従って、低速回転および高速回転を問わず、軸6を安定して支持することが可能となる。
As described above, when the spring characteristic of the back foil portion Bf is nonlinear, the top foil portion Tf is easily deformed when the compressive load is low, so that the pressure of the air film is low (immediately after the rotation of the
図17は、図8に示すバックフォイル部Bfの中間部23に多数の開口部26を設けることで中間部23の剛性を低下させたものである。これにより、中間部23がより柔軟となるため、バックフォイル部Bfの剛性をさらに低下させ、トップフォイル部Tfの変形自由度を向上させることができる。図17に示す実施形態では、各突出部21、22から放射状に中間部23を延ばして各中間部23を隣接する突出部21、22に結合している。この場合、開口部26の面積や数を調整して開口部26の分布状態を変更することで、中間部23の剛性、さらにバックフォイル部Bfの剛性を各部でコントールすることが可能になる。
FIG. 17 shows that the rigidity of the
以上に述べたバックフォイル部Bfのばね特性を変更する手段、すなわち突出部21,22の分布密度の変更(図12)、突出部21,22の大きさの変更(図16)、および開口部26の分布状態の変更(図17)、のうち何れか一つの手段を選択し、もしくは二以上の手段を適宜組み合わせることにより、バックフォイル部Bfの各部のばね特性を最適化することができる。これにより、軸受面Xの各部を、軸受機能上、最適な剛性に設定することが可能となり、軸受設計の自由度が飛躍的に高まる。突出部21,22として半球状(断面円弧状)のものを例示したが、突出部21,22の形態は任意であり、例えば断面を多角形状にすることもできる。このように突出部21,22の形状(断面形状)を変化させることで、バックフォイル部Bfの剛性やばね特性を変化させることができる。
Means for changing the spring characteristics of the back foil portion Bf described above, that is, changing the distribution density of the
[本発明の特徴的構成]
次に本発明の特徴的構成を説明する。
バックフォイル部Bfに凹凸フォイル20を使用した構成では、圧縮力Pに対する突出部21,22の剛性が平坦部23よりも大きいため、圧縮力Pでトップフォイル部Tfがバックフォイル部Bfに押し付けられた際にも、図18に示すように、トップフォイル部Tfと接触した第一突出部21はほとんど変形しない。そのため、トップフォイル部Tfが第一突出部21の頂部に倣うように変形し、軸受面Xの第一突出部21と対向する領域X1(以下、「対向領域」と称する)に曲率半径の小さい凸部が形成される。この状態では、対向領域X1でのトップフォイル部Tfの弾性変形が規制されるため、軸受面Xの対向領域X1が軸6と摺動し易くなり、トップフォイル部Tfが偏摩耗するおそれがある。
[Characteristic configuration of the present invention]
Next, the characteristic configuration of the present invention will be described.
In the configuration in which the
この対策として、本発明では、図19に示すように、トップフォイル部Tfとバックフォイル部Bfの間に中間フォイル40を介在させている。中間フォイル40は、バックフォイル部Bfの第一突出部21に対応して設けられた複数の接触部41と、隣接する接触部21を連結する柱部42とを一体に有する。複数の柱部42で囲まれた領域には孔43が形成される。この孔43は中間フォイル40の複数箇所に設けられ、何れもバックフォイル部Bfの中間部23および第二突起部22と対向する位置にある。
As a countermeasure against this, in the present invention, as shown in FIG. 19, an
中間フォイル40の回転方向R側の端部には、取り付け部44が形成される。取り付け部44と、接触部41および柱部42の集合体である本体部45とは、連結部46を介して連結されている。中間フォイル40の本体部45は、少なくとも隣接するフォイル12のバックフォイル部Bfを覆う形状および寸法を有する。
An
中間フォイル40は、トップフォイル部Tfと重ねた状態でフォイルホルダ11(図2参照)に取り付けられる。この取り付けは、トップフォイル部Tfの凸部12a2と中間フォイル40の取り付け部44とを重ね、重ねた凸部12a2および取り付け部44をフォイルホルダ11の軸方向溝11b(図7参照)に挿入することで行われる。
The
かかる構成では、図20に示すように、トップフォイル部Tfとバックフォイル部Bfの第一突出部21との間に中間フォイル40の接触部41が配置される。圧縮力Pでトップフォイル部Tfがバックフォイル部Bf側に押しつけられると、中間フォイル40の接触部41が第一突出部21と接触する。この際、中間フォイル40の接触部41が軸受面Xの対向領域X1の変形を抑制するため、対向領域X1は曲率半径の大きい凸部となり、軸受面Xは対向領域X1を含む全体で滑らかに連続した形態に変形する(トップフォイル部Tfと中間フォイル40の接触部41との間に僅かな隙間Yが形成される)。この状態では、接触部41が第一突出部21と密着せずに点接触もしくはそれに近似した接触状態となるため、対向領域X1でのトップフォイル部Tfの弾性変形が許容された状態にある。従って、トップフォイル部Tf全体の柔軟性を確保して、軸6との接触によるトップフォイル部Tfの偏摩耗を防止することが可能となる。このように中間フォイル40の接触部41は、軸受面Xのうち、第一突出部21と対向する対向領域X1の剛性を強化する剛性強化部として機能する。
In such a configuration, as shown in FIG. 20, the
以上に述べた効果は、軸受面Xの対向領域X1と第一突出部21との間に対向領域X1の剛性を強化する剛性強化部を設け、軸受面Xの対向領域X1の変形を抑制することにより達成できる。例えば、図21に示すように、中間フォイル40の接触部41をトップフォイル部Tfと一体化した場合、すなわち中間フォイル40を用いることなく、トップフォイル部Tfの裏側(第一突出部21と接触する部分)を部分的に突出させることにより、トップフォイル部Tfを部分的に厚肉に形成した場合にも、対向領域X1でのトップフォイル部Tfの変形が抑制される。従って、対向領域X1を含む軸受面Xの全体を弾性変形させることができ、上記と同様にトップフォイル部Tfの偏摩耗を防止することが可能となる。この実施形態では、トップフォイル部Tfの厚肉となった部分41が、対向領域X1の剛性を強化する剛性強化部として機能する。このように裏面に凸状の剛性強化部41を形成したトップフォイル部Tfは、例えばエッチング等の方法で製作することができる。
The above-described effect is that a rigidity reinforcing portion that reinforces the rigidity of the facing region X1 is provided between the facing region X1 of the bearing surface X and the first protruding
なお、図19に示す実施形態において、中間フォイル40を孔43のない一枚板状に形成した場合にも、軸受面Xの対向領域X1での変形を抑制して軸6との接触によるトップフォイル部Tfの偏摩耗を防止できると考えられる。その一方で、かかる構成では、軸受面Xの対向領域X1だけでなく、対向領域X1以外の部分(バックフォイル部Bfの中間部23と対向する部分)でも軸受面Xの剛性が強化されて変形し難くなる。そのため、軸受面X全体の柔軟性が低下し、軸受隙間の自動調整機能が損なわれるおそれがある。
In the embodiment shown in FIG. 19, even when the
以上の説明では、フォイル軸受10として、いわゆる多円弧型のラジアルフォイル軸受を例示したが、本発明を適用可能なフォイル軸受の形態はこれに限られない。例えば、図22に示すいわゆるリーフ型のラジアルフォイル軸受10にも本発明を適用することができる。リーフ型フォイル軸受は、回転方向R側の一端を自由端とし、反回転方向側の他端を固定端とした複数のフォイル12(リーフ)を軸6の回転方向Rに配置したもので、各フォイル12の回転方向R側の領域がトップフォイル部Tfとして機能し、反回転方向側の領域がバックフォイル部Bfとして機能する。このリーフ型のラジアルフォイル軸受において、各リーフ12のバックフォイル部Bf(散点模様で示す)を凹凸フォイル20で形成し、さらに図20に示すように中間フォイル40を使用し、あるいは図21に示すようにトップフォイル部Tfを部分的に厚肉に形成することにより、上記と同様の効果を得ることができる。
In the above description, a so-called multi-arc radial foil bearing has been exemplified as the foil bearing 10, but the form of the foil bearing to which the present invention is applicable is not limited thereto. For example, the present invention can be applied to a so-called leaf-type radial foil bearing 10 shown in FIG. The leaf type foil bearing is configured by arranging a plurality of foils 12 (leafs) in the rotation direction R of the
また、図23に示すいわゆるバンプ型のラジアルフォイル軸受10にも本発明を適用することもできる。バンプ型のフォイル軸受10では、バックフォイル部Bfの全体を凹凸フォイル20で形成し、さらに図20に示す中間フォイル40(図23での図示は省略)を使用し、あるいは図21に示す部分的に厚肉にしたトップフォイル部Tfを使用することにより、上記と同様の効果を得ることができる。図23では、バックフォイル部Bfをフォイルホルダ11の内周面11aの全周にわたって連続させているが、バックフォイル部Bfを周方向の一個所もしくは複数箇所で分割することもできる。この場合、分割した個々の要素が凹凸フォイル20で形成される。
The present invention can also be applied to a so-called bump-type radial foil bearing 10 shown in FIG. In the bump
さらに図24に示すスラストフォイル軸受30にも本発明を適用することもできる。図24はスラストフォイル軸受30の一例として、リーフ型のスラストフォイル軸受を示している。このスラストフォイル軸受においても、図25に示すように、各リーフ12のバックフォイル部Bf(散点模様で示す)を凹凸フォイル20で形成し、さらに図20に示す中間フォイル40(図24での図示は省略)を使用するか、もしくは図21に示す部分的に厚肉にしたトップフォイル部Tfを使用することにより、上記と同様の効果を得ることができる。
Furthermore, the present invention can also be applied to the thrust foil bearing 30 shown in FIG. FIG. 24 shows a leaf-type thrust foil bearing as an example of the thrust foil bearing 30. Also in this thrust foil bearing, as shown in FIG. 25, the back foil portion Bf (indicated by the dotted pattern) of each
なお、以上の説明では、軸6を回転側部材とし、フォイルホルダ11を固定側部材とした場合を例示したが、これとは逆に軸6を固定側部材とし、フォイルホルダ11を回転側部材とする場合にも本発明を適用することができる。但し、この場合はフォイル12が回転側部材となるので、遠心力によるフォイル12全体の変形を考慮してフォイル12の設計を行う必要がある。
In the above description, the case where the
また、本発明にかかるフォイル軸受は、上述したガスタービンに限られず、例えば過給機をはじめとするターボ機械のロータを支持するフォイル軸受としても使用することができる。以上の例示に限らず、本発明にかかるフォイル軸受は、自動車等の車両用軸受、さらには産業機器用の軸受として広く使用することが可能である。また、本実施形態の各フォイル軸受は、圧力発生流体として空気を使用した空気動圧軸受であるが、これに限らず、圧力発生流体としてその他のガスを使用することもでき、あるいは水や油などの液体を使用することも可能である。 The foil bearing according to the present invention is not limited to the gas turbine described above, and can be used as a foil bearing that supports a rotor of a turbomachine including a supercharger, for example. The foil bearing according to the present invention is not limited to the above examples, and can be widely used as a bearing for a vehicle such as an automobile and further as a bearing for industrial equipment. Further, each foil bearing of the present embodiment is an air dynamic pressure bearing using air as a pressure generating fluid, but is not limited thereto, and other gases can be used as the pressure generating fluid, or water or oil It is also possible to use a liquid such as
6 軸
10 フォイル軸受
11 フォイルホルダ
11a 内周面
12 フォイル
20 凹凸フォイル
21 突出部(第一突出部)
22 突出部(第二突出部)
23 中間部
40 中間フォイル
41 剛性強化部(接触部)
42 柱部
43 孔
C 軸受隙間
X 軸受面
X1 対向領域
6
22 Protrusion (second protrusion)
23
42
Claims (4)
前記バックフォイル部に、平坦な中間部と、中間部の表側および裏側に突出する複数の突出部とを設け、トップフォイル部の軸受面のうち突出部と対向する対向領域と、当該突出部との間に、前記対向領域の剛性を強化する剛性強化部を設けたことを特徴とするフォイル軸受。 A top foil portion having a bearing surface facing the shaft to be supported, and a back foil portion for elastically supporting the top foil portion behind the top foil portion, in a bearing gap between the shaft and the bearing surface In the foil bearing that supports the relative rotating shaft in a non-contact manner with the resulting fluid film,
The back foil portion is provided with a flat intermediate portion and a plurality of protruding portions protruding on the front side and the back side of the intermediate portion, a facing region facing the protruding portion of the bearing surface of the top foil portion, and the protruding portion A foil bearing characterized in that a stiffness enhancing portion for enhancing the stiffness of the facing region is provided between the two.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016069044A JP6654081B2 (en) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | Foil bearing |
PCT/JP2017/011067 WO2017169936A1 (en) | 2016-03-30 | 2017-03-17 | File bearing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016069044A JP6654081B2 (en) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | Foil bearing |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017180676A true JP2017180676A (en) | 2017-10-05 |
JP6654081B2 JP6654081B2 (en) | 2020-02-26 |
Family
ID=59965233
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016069044A Expired - Fee Related JP6654081B2 (en) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | Foil bearing |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6654081B2 (en) |
WO (1) | WO2017169936A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022549054A (en) * | 2019-07-01 | 2022-11-24 | ブレイドン ジェッツ ホールディングス リミテッド | Compliant foil thrust bearing |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58191319A (en) * | 1982-05-01 | 1983-11-08 | Yasushi Itoga | Middle low speed no-lubrication bearing device |
JPS6136726U (en) * | 1984-08-10 | 1986-03-07 | トヨタ自動車株式会社 | Dynamic thrust gas bearing |
US6752533B2 (en) * | 2002-11-15 | 2004-06-22 | Honeywell International Inc. | Foil thrust bearing cooling |
JP6372062B2 (en) * | 2013-09-19 | 2018-08-15 | 株式会社Ihi | Thrust bearing |
-
2016
- 2016-03-30 JP JP2016069044A patent/JP6654081B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2017
- 2017-03-17 WO PCT/JP2017/011067 patent/WO2017169936A1/en active Application Filing
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022549054A (en) * | 2019-07-01 | 2022-11-24 | ブレイドン ジェッツ ホールディングス リミテッド | Compliant foil thrust bearing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6654081B2 (en) | 2020-02-26 |
WO2017169936A1 (en) | 2017-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6644855B2 (en) | Air foil journal bearing | |
EP2693017B1 (en) | Turbocharger and method for manufacturing floating bush | |
US6726365B2 (en) | Foil type fluid bearing | |
JP4046733B2 (en) | Foil type hydrodynamic journal bearing and manufacturing method thereof. | |
WO2015087675A1 (en) | Foil bearing, and foil bearing unit and turbo machine each having same | |
WO2015087677A1 (en) | Thrust foil bearing, radial foil bearing, and method for manufacturing said thrust and radial foil bearings | |
JP6899235B2 (en) | Bearing pads for tilting pad bearings, tilting pad bearings and rotating machinery | |
JP2008241015A (en) | Multirobe foil fluid bearing and its manufacturing method | |
CN108138843B (en) | Foil bearing | |
WO2017094501A1 (en) | Foil bearing | |
JP2018013162A (en) | Foil bearing | |
WO2017169936A1 (en) | File bearing | |
JP6615573B2 (en) | Thrust foil bearing | |
JP6622058B2 (en) | Thrust foil bearing, method for manufacturing the same, and intermediate product of thrust foil bearing | |
JP6651397B2 (en) | Foil bearing | |
WO2017169842A1 (en) | File bearing | |
JP2017227240A (en) | Foil bearing | |
WO2019087890A1 (en) | Tilting pad bearing | |
JP6692670B2 (en) | Washer | |
JP2017180685A (en) | Foil bearing | |
WO2018051929A1 (en) | Foil bearing | |
JP6798810B2 (en) | Foil bearing | |
JP7064071B2 (en) | Shaft sealing device and rotary machine equipped with this shaft sealing device | |
JP6622054B2 (en) | Foil bearing | |
JP6629042B2 (en) | Foil bearing |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191002 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6654081 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |