JP2017174610A - 任意スペクトル光源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2種類以上の形状の孔211が配列されてなるキャビティ構造21を表面に有する輻射体としてのフィラメント2を備え、キャビティ構造21は、紫外光領域から赤外光領域にかけての波長の輻射を増幅する任意スペクトル光源1。キャビティ構造21の少なくとも表面は金属で被覆され、孔211の形状は角孔状であることが好ましい。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施形態に係る任意スペクトル光源1を模式的に示す図である。
図1に示すように、本実施形態に係る任意スペクトル光源1は、輻射体としてのフィラメント2と、電源装置3と、を備える。
フィラメント2の材質は、一定の耐熱性を有する材質であることが好ましい。フィラメント2をより高温にすることで、フィラメント2から輻射される光のスペクトルはより短波長側である可視光側にシフトするため、任意スペクトル光源1の発光効率を高めることができる。従ってフィラメント2の材質としても、高温に耐え得る材質であることが好ましい。そのような材質としては、例えば、タングステン、モリブデン、タンタル等の高融点金属が挙げられる。
キャビティ構造21は、特定波長の光(電磁波)を共振により増幅させ輻射する孔211が多数配列された構造である。キャビティ構造21により増幅される光は、紫外光領域から赤外光領域にかけての特定の波長の光である。
例えば任意スペクトル光源1によって太陽光を模す場合、太陽光には紫外光や赤外光等、可視光以外の波長領域の光も含まれるため、これらの波長領域の光を増幅させることが有用な場合もある。一方、単なる光源として任意スペクトル光源1を用いる場合、キャビティ構造21に配列された孔211は、可視光領域の波長領域の光のみを増幅するものであればよい。かかる構成により任意スペクトル光源1のエネルギー効率を向上させることができる。
2種類以上の形状の孔211a、211b、211cにより、孔の形状に対応する各特定波長の光が増幅され輻射される。従って、各特定波長の光を重ね合わせることで、任意のスペクトルに近いスペクトルを有する光が得られる。孔の形状の種類は2種類以上であればよく、特に制限されない。しかし、孔の形状の種類が多いほど、孔の形状に対応して増幅される特定波長の光の種類も多くなるため、フィラメント2から輻射される光のスペクトルを、任意のスペクトルにより近づけることができる。このような特定波長の光の重ね合わせによるスペクトルの調整方法については、後段で詳述する。
図4中、縦軸は発光強度(単位は任意単位A.U.)を示し、横軸は波長(単位はnm)を示す。グラフ中、二点鎖線は孔211aによって増幅された赤色光を、一点鎖線は孔211bによって増幅された緑色光を、破線は孔211cによって増幅された青色光をそれぞれ示す。また、実線はキャビティ構造21を備えるフィラメント2全体から輻射される光のスペクトルを示す。
このように、それぞれ増幅する特定波長が異なる孔の数を増減することで、フィラメント2全体から得られる光のスペクトルを調整することができる。
電源装置3は、フィラメント2に通電可能な装置であれば特に制限されない。
キャビティ構造21を表面に有するフィラメント2の製造方法としては、特に制限されないが、例えばフォトリソグラフィによる方法が挙げられる。フォトリソグラフィによるキャビティ構造21の形成方法を以下に例示する。
次に、不要箇所のレジストを現像液により除去する。
次に、レジストが除去された箇所をドライエッチング、ウェットエッチング等によりエッチングする。この際のエッチング条件により、孔211のLZを調整できる。従って、2種類以上の形状の孔を設ける場合、孔の孔径(LX、LY)を露光パターンにより調整し、LZは同一として形状調整を行うことで容易に孔の形状を調整できる。
エッチング後、基材上に残ったレジストを除去することにより、キャビティ構造21を表面に有するフィラメント2が得られる。
これにより、各孔211の数を調整することで、各孔211により増幅される波長の輻射強度を調整できるため、複雑な制御や装置構成を要することなく単一の光源で任意のスペクトルに調整可能な任意スペクトル光源1が得られる。
これにより、キャビティ構造21により共振が起こりやすくなるため、より確実に特定波長の輻射の増幅と、特定波長以上の輻射の減衰が起こる任意スペクトル光源1が得られる。
これにより、フィラメント2をより高温にすることが可能となるため、より発光効率の良い任意スペクトル光源1が得られる。
これにより、キャビティ構造21において孔211を密に形成することができるため、特定波長の輻射の増幅効果が増大する。また、孔211の形状設計が容易となる。
これにより、フォトリソグラフィ等の方法により複数種類の孔211を製造する際に、孔211の種類ごとに深さLZの調整を行う必要が無く、製造方法を簡易化することができる。
これにより、単に光源として任意スペクトル光源1を用いる場合、可視光領域以上の波長領域の輻射エネルギーが減衰されて可視光領域の波長の輻射エネルギーが増幅されるため、エネルギー効率の良い任意スペクトル光源1が得られる。
2 輻射体(フィラメント)
21 キャビティ構造
211、211a、211b、211c 孔
Claims (6)
- 2種類以上の形状の孔が配列されてなるキャビティ構造を表面に有する輻射体を備え、
前記キャビティ構造は、紫外光領域から赤外光領域にかけての波長の輻射を増幅する任意スペクトル光源。 - 前記キャビティ構造の少なくとも表面は金属で被覆される請求項1に記載の任意スペクトル光源。
- 前記輻射体は金属製である、請求項1又は2に記載の任意スペクトル光源。
- 前記孔の形状は、角孔状である、請求項1から3いずれかに記載の任意スペクトル光源。
- 前記孔の形状は、それぞれ深さが同一であり、孔径形状が相違する請求項1から4いずれかに記載の任意スペクトル光源。
- 前記キャビティ構造は、可視光領域の波長の輻射を増幅する請求項1から5いずれかに記載の任意スペクトル光源。
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