JP2017159319A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光源と加工対象物との間のレーザビームの経路に、ビーム整形器及びアッテネータが配置されている。ビームプロファイラが、ステージに保持された加工対象物の表面の位置におけるレーザビームの光強度分布を測定する。レーザ強度測定器が、ステージに保持された加工対象物に入射するレーザビームの強度を測定する。制御装置が、ビームプロファイラの測定結果、及びレーザ強度測定器の測定結果に基づいて、アッテネータの透過率を調整する。
【選択図】図5
Description
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザビームが入射する位置に加工対象物を保持するステージと、
前記レーザ光源と前記ステージに保持された加工対象物との間のレーザビームの経路に配置され、加工対象物の表面におけるビーム断面を整形するビーム整形器と、
前記レーザ光源と前記ステージに保持された加工対象物との間のレーザビームの経路に配置された透過率可変のアッテネータと、
前記ステージに保持された加工対象物の表面の位置におけるレーザビームの光強度分布を測定するビームプロファイラと、
前記ステージに保持された加工対象物に入射するレーザビームの強度を測定するレーザ強度測定器と、
前記ビームプロファイラの測定結果、及び前記レーザ強度測定器の測定結果に基づいて、前記アッテネータの透過率を調整する制御装置と
を有するレーザ加工装置が提供される。
Re=A1/(A1+A2)
と定義する。すなわち、有効パワー比は、ビームプロファイラ25で測定される光強度分布のうち、強度閾値Ith以上の光強度を示す部分の光強度の積分値A1と、全体の光強度分布の積分値A1+A2との比で定義される。有効パワー比は、加工対象物30(図1A)に入射するレーザパワーのうちアニールに有効に使用されるパワーの割合と考えることができる。
Pm=P0×Tm・・・(1)
と表される。
Pc=P0×Tc・・・(2)
と表される。
Pc×Rm=Pt×Rs・・・(3)
ここで、短時間ではビーム整形器12(図1)の特性が変化せず、有効パワー比が実質的に一定であると仮定している。
Tc=(Pt/Pm)×(Rs/Rm)×Tm・・・(4)
11 アッテネータ
12 ビーム整形器
13 折り返しミラー
14 対物レンズ
15 加工チャンバ
16 入射窓
17 窓
18 分岐装置
20 ステージ
21 ミラー
22 レンズ
23 チャック機構
25 ビームプロファイラ
30 加工対象物
33 ビーム断面
34 裾野部分
40 レーザ強度測定器
45 出口用パワーメータ
50 制御装置
Claims (5)
- レーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザビームが入射する位置に加工対象物を保持するステージと、
前記レーザ光源と前記ステージに保持された加工対象物との間のレーザビームの経路に配置され、加工対象物の表面におけるビーム断面を整形するビーム整形器と、
前記レーザ光源と前記ステージに保持された加工対象物との間のレーザビームの経路に配置された透過率可変のアッテネータと、
前記ステージに保持された加工対象物の表面の位置におけるレーザビームの光強度分布を測定するビームプロファイラと、
前記ステージに保持された加工対象物に入射するレーザビームの強度を測定するレーザ強度測定器と、
前記ビームプロファイラの測定結果、及び前記レーザ強度測定器の測定結果に基づいて、前記アッテネータの透過率を調整する制御装置と
を有するレーザ加工装置。 - 前記制御装置は、前記ビームプロファイラで測定された光強度分布のうち、強度閾値以上の光強度を示す部分と、全体の光強度分布との関係に基づいて、前記アッテネータの透過率を調整する請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御装置は、前記ビームプロファイラで測定される光強度分布のうち、強度閾値以上の光強度を示す部分の光強度の積分値と、全体の光強度分布の積分値との比である有効パワー比の測定値に基づいて、前記アッテネータの透過率を調整する請求項2に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御装置に、前記有効パワー比の標準値が記憶されており、
前記制御装置は、前記有効パワー比の標準値と測定値との比、及び測定時における前記アッテネータの透過率に基づいて、前記アッテネータの透過率の調整値を算出し、
透過率が前記調整値になるように、前記アッテネータの透過率を調整する請求項3に記載のレーザ加工装置。 - 前記ビーム整形器は、前記ステージに保持された加工対象物の表面におけるビーム断面形状を一方向に長い形状にし、
前記制御装置は、前記ビームプロファイラで測定された光強度分布として、ビーム断面の幅方向に関する光強度分布を用いる請求項2乃至4のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
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JP2016045386A JP6713203B2 (ja) | 2016-03-09 | 2016-03-09 | レーザ加工装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2020138267A1 (ja) | 2018-12-27 | 2020-07-02 | 国立大学法人東京大学 | レーザ加工におけるレーザ光強度への依存性の判定方法及びレーザ加工装置 |
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2016
- 2016-03-09 JP JP2016045386A patent/JP6713203B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2020138267A1 (ja) | 2018-12-27 | 2020-07-02 | 国立大学法人東京大学 | レーザ加工におけるレーザ光強度への依存性の判定方法及びレーザ加工装置 |
JP2020104136A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | 国立大学法人 東京大学 | レーザ加工におけるレーザ光強度への依存性の判定方法及びレーザ加工装置 |
JP7299597B2 (ja) | 2018-12-27 | 2023-06-28 | 国立大学法人 東京大学 | レーザ加工におけるレーザ光強度への依存性の判定方法及びレーザ加工装置 |
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