JP2017154439A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル密度が高密度化すると金属膜の振動板では剛性が高くなりすぎて変形効率の低下を生じることを抑制できる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズルと、ノズルが通じる個別液室と、個別液室の一部の壁面を形成する変形可能な振動領域である振動板３０を含む振動板部材３を備え、振動板部材３は第１層３Ａ〜３Ｃの３層構造であり、振動板３０を形成する第１層３Ａは金属膜１３１であり、金属膜１３１に設けられた貫通穴４１内に樹脂１３２が埋まっている。
【選択図】図４

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

液体を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）として、ノズルが通じる個別液室の一部の壁面を変形可能な振動領域を有する振動板で形成したものがある。

従来、振動板としては、金属膜の表面に有機樹脂膜を形成したものが知られている（特許文献１）。

特開平０８−１９５０号公報

ところで、ノズルを高密度に配置するに従って個別液室のノズル配列方向（短手方向）の幅が狭くなり、振動板の短手方向の幅が狭くなって吐出に必要な振動領域の変位量を確保できなくなる。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、振動板の幅が狭くなっても変位量を確保できるようにことを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するノズルが通じる個別液室の一部の壁面を形成する振動板を有し、
前記振動板は、金属膜であり、
前記金属膜には樹脂が埋まっている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
構成とした。

本発明によれば、振動板の幅が狭くなっても変位量を確保できる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の外観斜視説明図である。 図１のＡ―Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。 図１のＢ−Ｂ線に沿うノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。 本発明の第１実施形態における振動板部材の振動板部分の断面説明図である。 本発明の第２実施形態における振動板部材の振動板部分の断面説明図である。 本発明の第３実施形態における振動板部材の振動板部分の断面説明図である。 第１実施形態に係る振動板部材の製造方法の一例の説明に供する説明図である。 図９ないし図１６で示す領域の説明に供する平面説明図である。 樹脂のパターン形状及び配置の第１例の説明に供する振動板部分の平面説明図である。 同じく第２例の説明に供する振動板部分の平面説明図である。 同じく第３例の説明に供する振動板部分の平面説明図である。 同じく第４例の説明に供する振動板部分の平面説明図である。 同じく第５例の説明に供する振動板部分の平面説明図である。 同じく第６例の説明に供する振動板部分の平面説明図である。 同じく第７例の説明に供する振動板部分の平面説明図である。 同じく第８例の説明に供する振動板部分の平面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図３を参照して説明する。図１は同ヘッドの外観斜視説明図、図２は図１のＡ―Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図、図３は図１のＢ−Ｂ線に沿うノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての薄膜部材からなる振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３を変位させる圧電アクチュエータ１１と、共通液室部材としてのフレーム部材２０とを備えている。

ノズル板１、流路板２及び振動板部材３によって、液体を吐出する複数のノズル４が通じる個別流路５を形成している。個別流路５は、ノズル４側を下流側とするとき、下流側からノズル４が通じる個別液室６と、個別液室６に液体を供給する流体抵抗部７と、流体抵抗部７に通じる液導入部８とで構成される。

そして、フレーム部材２０の共通流路としての共通液室１０から振動板部材３に形成した導入口部（供給口）９を通じて、個別流路５に液体が導入され、液導入部８、流体抵抗部７を経て個別液室６に液体が供給される。なお、導入口部９にはフィルタが設けられても良い。

ここで、ノズル板１は、ノズル基材となるＳＵＳ基板にプレス加工でノズル４となるノズル孔を形成している。ノズル板１の吐出側面には撥液膜が設けられている。

流路板２は、ＳＵＳ基板をエッチングして、個別液室６、流体抵抗部７、液導入部８などの個別流路５を形成する貫通部（あるいは溝部でもよい。）を形成している。

振動板部材３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する壁面部材である。この振動板部材３は第１層３Ａ、第２層３Ｂ、第３層３Ｃの３層構造（１層、２層、４層以上でもよい。）としている。そして、流路板２側の第１層３Ａで個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域（振動板）３０を形成している。

この振動板部材３は、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したものを用いている。これに限らず、その他の金属部材を用いることができる。

そして、この振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動板３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。

この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接着剤接合した複数の積層型圧電部材１２を有し、圧電部材１２にはハーフカットダイシングによって溝加工して１つの圧電部材１２に対して所要数の柱状の圧電素子（圧電柱）１２Ａ、１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成している。

圧電部材１２の圧電素子１２Ａ、１２Ｂは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電素子１２Ａと、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電素子１２Ｂとしている。

そして、圧電素子１２Ａを振動板部材３の振動板３０に形成した島状の厚肉部である凸部３０ａに接合している。また、圧電素子１２Ｂを振動板部材３の厚肉部である凸部３０ｂに接合している。

この圧電部材１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、圧電素子１２Ａの外部電極に駆動信号を与えるための可撓性を有するフレキシブル配線部材としてのＦＰＣ１５が接続されている。

フレーム部材２０は、例えばエポキシ系樹脂或いは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイト等で射出成形により形成し、ヘッドタンクや液体カートリッジから液体が供給される共通液室１０が形成されている。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって圧電素子１２Ａが収縮し、振動板３０が下降して個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。

その後、圧電素子１２Ａに印加する電圧を上げて圧電素子１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板３０をノズル４方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させる。これにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出（噴射）される。

そして、圧電素子１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から個別液室６内に液体が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。

次に、本発明の第１実施形態について図４を参照して説明する。図４は同実施形態における振動板部材の振動板部分の断面説明図である。図４はノズル配列方向における１つの振動板の一部を示している。

本実施形態では、前述したように、振動板部材３は、Ｎｉ電鋳で形成した第１層３Ａ〜３Ｃで構成される３層構造の部材である。

そして、振動板３０を形成している第１層３Ａは、金属膜（ここでは、Ｎｉ電鋳膜）１３１からなる。金属膜１３１の貫通穴４１内には樹脂１３２が埋まっている。

これにより、振動板３０の剛性は金属膜１３１の部分と樹脂１３２の部分とによって規定されるので、剛性を低下させることができて、短手方向（ノズル配列方向と直交する方向）の幅を狭くしても変位量を確保することができる。

次に、本発明の第２実施形態について図５を参照して説明する。図５は同実施形態における振動板部材の振動板部分の断面説明図である。

本実施形態では、振動板３０の金属膜１３１の個別液室６とは反対側（圧電素子側）に凹み部４２を設け、凹み部４２に樹脂１３２を埋めている。

このように、個別液室６と反対側の凹み部４２に樹脂１３２を埋めることで、樹脂１３２に耐液性がないものも使用することができる。

また、振動板３０を構成する金属膜１３１に凹み部４２を設けるだけで、振動板３０の剛性を下げ、個別液室６の壁面を形成できるが、金属膜１３１が変形を繰り返すことで、凹み部４２の角部分に応力集中が発生して破損し易くなる。そこで、本実施形態では、凹み部４２に樹脂１３２を埋めることで、振動板３０の剛性の低下と強度の確保を両立している。

次に、本発明の第３実施形態について図６を参照して説明する。図６は同実施形態における振動板部材の振動板部分の断面説明図である。

本実施形態では、振動板３０の金属膜１３１の個別液室６とは反対側（圧電素子側）に凹み部４２を設け、凹み部４２に樹脂１３２を埋めている。

このように、樹脂１３２として耐液性の樹脂材料を使用すれば、個別液室６側に配置して、剛性を低下することもできる。

なお、上述した樹脂１３２としては、ポリイミド樹脂やポリアミド樹脂を使用することで耐液性が向上し、シランカップリング材を使用することで、接着剤との接合性が向上する。

次に、上記第１実施形態に係る振動板部材の製造方法の一例について図７を参照して説明する。図７は同説明に供する説明図である。

図７（ａ）に示すように、Ｎｉ電鋳で第１層３Ａ、第２層３Ｂ，第３層３Ｃを積層した部材１３０を形成する。このとき、第１層３Ａには樹脂を埋め込む部分に貫通穴４１が形成されている。

そして、図７（ｂ）に示すように、第１層３Ａを形成する金属膜（ここでは、Ｎｉ電鋳膜）１３１に感光性樹脂１４０をコーティングし、貫通穴４１を樹脂１４０で埋める。

次いで、図７（ｃ）に示すように、貫通穴４１に対応する部分が開口したマスク１４１を使用して露光して、感光性樹脂１４０を硬化させ（ネガ反応する感光性樹脂を使用した場合）、樹脂１３２を形成する。

その後、図７（ｄ）に示すように、未露光（未反応）部分の樹脂１３２についてはリンス処理によって除去する。

これにより、第１層３Ａを形成する金属膜１３１の貫通穴４１に樹脂１３２が埋め込まれた状態になる。

次に、上記各実施形態における樹脂のパターンの異なる例について図８ないし図１６を参照して説明する。なお、図８は図９ないし図１６で示す領域の説明に供する平面説明図、図９ないし図１６は図８の領域Ｓの振動板部分の平面説明図である。また、流体抵抗部側からノズル側への液体の流れの方向をＸ方向とする。

図９に示す第１例は、平面形状で円形状をなす樹脂１３２のパターンを複数配列している。すべての樹脂１３２を合わせた面積は振動板３の面積の１／２としている。

図１０に示す第２例は、平面形状で楕円形状をなす樹脂１３２のパターンを複数配列している。すべての樹脂１３２を合わせた面積は振動板３の面積の１／２以上とし、第１例よりも材質が同じとすると変形しやすくなる。

図１１に示す第３例は、平面形状でＸ方向（長手方向）に沿った矩形状をなす樹脂１３２のパターンをＸ方向と直交する方向（短手方向）に複数配列している。樹脂１３２を長手方向の全域にわたって設けることで、短手方向の変形がし易くなる。

図１２に示す第４例は、平面形状でＸ方向と直交する方向（短手方向）に沿った矩形状をなす樹脂１３２のパターンをＸ方向に複数配列している。液体の流れ方向に対して剛性の低い樹脂の部分が全長に亘っており、長手方向での剛性のバラつきが低減して、液室体積の変形が安定して吐出が安定する。

図１３に示す第５例は、平面形状で円形状をなす樹脂１３２のパターンをランダムに複数配列している。

図１４に示す第６例は、平面形状で長方形をなす樹脂１３２のパターンを液体の流れの方向であるＸ方向に対して傾け配列している。

図１５に示す第７例は、平面形状でＸ方向と直交する方向（短手方向）に沿った矩形状をなす樹脂１３２のパターンをＸ方向に複数配列し、パターンの長さＬは液体の流れの方向であるＸ方向において徐々に短くしている。パターンの長さが短くなることで面積は小さくなる。

この場合、振動板３０の剛性がノズル側に向かって高くなり、変形量がノズル側に向かって少なくなることで、液体にノズル側に向かって押し出されるような流れが発生して、効率的な吐出を行うことができる。

図１６に示す第８例は、平面形状でＸ方向と（長手方向）に沿った台形状をなす樹脂１３２のパターンをＸ方向と直交する方向に複数配列し、パターンの幅Ｗは液体の流れの方向であるＸ方向において徐々に狭くしている。パターンの幅が狭くなることで面積は小さくなる。

この場合も第７例と同様な作用効果を得ることができる。

なお、前記各実施形態においては、金属膜がＮｉ電鋳膜である例で説明しているが、金属膜はこれに限るものではない。例えば、Ｃｕ、Ｐｂ、パラジウム合金、Ｎｉ及びニッケル合金、Ｃｏ、コバルト合金などの膜を挙げることができる。

また、樹脂として感光性樹脂を使用した例で説明しているが、樹脂はこれに限るものではない。例えば、熱硬化性樹脂、反応性樹脂なども挙げることができる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１７及び図１８を参照して説明する。図１７は同装置の要部平面説明図、図１８は同装置の要部側面説明図である。

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。

供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。

この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１９を参照して説明する。図１９は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図２０を参照して説明する。図２０は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ ノズル板
２ 流路板
３ 振動板部材
４ ノズル
６ 個別液室
１０ 共通液室
１２ 圧電部材
２０ フレーム部材
３０ 振動板
１３１ 金属膜
１３２ 樹脂
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４４０ 液体吐出ユニット

Claims (9)

1. 液体を吐出するノズルが通じる個別液室の一部の壁面を形成する振動板を有し、
   前記振動板は、金属膜であり、
   前記金属膜には樹脂が埋まっている
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記振動板は、前記金属膜の前記個別液室と反対側の面に凹み部を有し、
   前記凹み部に前記樹脂が埋まっている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記振動板は、前記金属膜の前記個別液室側の面に凹み部を有し、
   前記凹み部に前記樹脂が埋まっている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記樹脂が埋め込まれている面積は、前記個別液室の液体の流れの方向において、前記ノズル側の面積が前記ノズル側と反対側の面積よりも小さい
   ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記樹脂が、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂である
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記樹脂が、シランカップリング材である
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
8. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
   ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ユニット。
9. 請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項７若しくは８に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。

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