JP2017149133A - 基板切断用スクライブヘッド回転装置 - Google Patents
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Abstract
Description
基本的に、後述する本実施例に係る基板切断用スクライブヘッド回転装置11は、その下端部に切断ホイール45を有するスクライブヘッド43を迅速かつ正確に軸回転させるための専用モータ(ヘッド作動モータ35)と、これを駆動するための周辺要素などを含む構成を有する。
スクライブヘッド43を迅速かつ正確に軸回転できるとの意味は、切断ホイールの走行方向を精密に制御して、正確なスクライブラインを形成できるとの意味である。
図1を参照すると、本実施例に係る基板切断用スクライブヘッド回転装置11は、支持力を提供するメインボディ13と、メインボディ13の一側に固定され、垂直に延長されたガイド経路を有する垂直ガイダ25と、垂直ガイダ25に昇降可能に支持された昇降ホルダ27と、昇降ホルダ27の上部に位置し、昇降ホルダ27を垂直方向に移動させる上部モータ15及びリードスクリュー17と、昇降ホルダ27の下部に設置されるスクライブヘッド43と、スクライブヘッド43の上部に設置され、スクライブヘッド43を軸回転させるヘッド作動モータ35を含む。
垂直ガイダ25は、支持面13aに固定され、垂直に延長されたリニアガイダ(linear guider)であって、昇降ホルダ27の一部であるモータ支持部31の一部を収容支持する。モータ支持部31は、垂直ガイダ25に支持された状態で垂直方向に摺動する。
昇降ホルダ27に対する残りの説明は後述する。
13 メインボディ
13a 支持面
15 上部モータ
15a 固定アーム
17 リードスクリュー
19 回転ディスク
19a 収容溝
19b ベアリング
21 加圧ディスク
21a 係止段差
25 垂直ガイダ
27 昇降ホルダ
27a 内部空間
29 スクリュー結合部
31 モータ支持部
31a 垂直溝
33 受けブラケット
33a 支持突起
35 ヘッド作動モータ
35a モータカバー
35b 支持突起
37 モータ軸
37a テーパ部
39 スプリング
41 ヘッドホルダ
43 スクライブヘッド
43a トルク伝達溝
45 切断ホイール
47,49 センサ
Claims (6)
- メインボディ(13)と、
前記メインボディ(13)に固定され、垂直のガイド経路を提供する垂直ガイダ(25)と、
前記垂直ガイダ(25)に昇降可能に支持され、その下部にスクライブヘッド(43)を有する昇降部と、
前記昇降部を垂直方向に昇降運動させる昇降手段と、
前記昇降部に弾力支持された状態で前記昇降部が上昇するときに、下方に押されて前記スクライブヘッド(43)側に移動するヘッド作動モータ(35)と、
前記ヘッド作動モータ(35)を前記スクライブヘッド側に下向加圧するモータ加圧部を含むことを特徴とする基板切断用スクライブヘッド回転装置。 - 前記昇降手段は、
前記メインボディ(13)に支持される上部モータ(15)と、
前記上部モータ(15)により軸回転するものであって、前記ヘッド作動モータ(35)の鉛直上部に配置されるリードスクリュー(17)を含み、
前記昇降部は、
前記リードスクリュー(17)に螺合して前記リードスクリュー(17)の軸回転に応じて昇降するスクリュー結合部(29)と、
前記スクリュー結合部(29)に固定され、その一部が前記垂直ガイダ(25)に摺動可能に支持され、前記ヘッド作動モータ(35)を昇降可能に支持するモータ支持部(31)を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板切断用スクライブヘッド回転装置。 - 前記モータ加圧部は、
前記リードスクリュー(17)の下端部に固定され、下部に開放された収容溝(19a)を有する回転ディスク(19)と、
前記回転ディスク(19)の下部に位置し、その一部が前記回転ディスク(19)の収容溝(19a)の内部に挟まれた状態で回転可能であり、下降時に前記ヘッド作動モータ(35)を下向加圧する加圧ディスク(21)を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板切断用スクライブヘッド回転装置。 - 前記ヘッド作動モータ(35)は、
前記昇降部に支持された状態で弾力手段により上向弾力支持され、
鉛直下方に延長されたモータ軸(37)を有し、
前記スクライブヘッド(43)の上端部には、前記ヘッド作動モータ(35)の下降時に、前記モータ軸(37)の下端部を収容して前記モータ軸(37)から回転トルクを伝達されるトルク伝達溝(43a)が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の基板切断用スクライブヘッド回転装置。 - 前記モータ軸(37)と前記トルク伝達溝(43a)は、多角形の構造を有し、
前記トルク伝達溝(43a)は、前記モータ軸(37)が前記トルク伝達溝(43a)に挿入された状態で、その内側面が前記モータ軸(37)から離隔できるサイズを有することを特徴とする請求項4に記載の基板切断用スクライブヘッド回転装置。 - 前記スクライブヘッド(43)の周辺には、前記スクライブヘッド(43)の角度を感知するセンサ(47,49)が具備されたことを特徴とする請求項1に記載の基板切断用スクライブヘッド回転装置。
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