JP2017148690A - 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】溶剤供給部333,334と、コントローラ10とを備え、溶剤供給部333は、ノズル孔331eを介して塗布膜Rの周縁部R1に有機溶剤L1を吐出可能に構成されており、溶剤供給部334は、ノズル孔331fを介して塗布膜Rの周縁部R1に有機溶剤L2を吐出可能に構成されている塗布ユニット。有機溶剤L2が吐出されるノズル孔331fの開口面積は、有機溶剤L1が吐出されるノズル孔331eの開口面積よりも小さい。コントローラ10は、塗布膜Rの周縁部R1において凸状に盛り上がった***部のうち頂部よりも内側に位置する内側裾野部に対して有機溶剤L2を吐出させる第1の処理と、第1の処理の後に、当該***部の頂部に対して有機溶剤L1を吐出させる第2の処理とを実行する基板処理装置。
【選択図】図9
Description
図1に示されるように、基板処理システム1(基板処理装置)は、塗布現像装置2(基板処理装置)と、露光装置3と、コントローラ10(制御部)とを備える。露光装置3は、ウエハW(基板)の表面Wa(図7等参照)に形成された感光性レジスト膜の露光処理(パターン露光)を行う。具体的には、液浸露光等の方法により感光性レジスト膜(感光性被膜)の露光対象部分に選択的にエネルギー線を照射する。エネルギー線としては、例えばArFエキシマレーザー、KrFエキシマレーザー、g線、i線、又は極端紫外線(EUV:Extreme Ultraviolet)が挙げられる。
続いて、図4〜図11を参照して、塗布ユニットU1についてさらに詳しく説明する。以下では、BCTモジュール、HMCTモジュール及びCOTモジュールの塗布ユニットU1でそれぞれ形成される下層膜、中間膜及びレジスト膜をまとめて「塗布膜R」(図7等参照)と称する。
法の概要を説明する。
有機溶剤A:シクロヘキサノンとノルマルブチルとが所定割合で混合されたシン
ナー
有機溶剤B:シクロヘキサノン
有機溶剤C:PGMEとOK73シンナーとが所定割合で混合されたシンナー
コントローラ10は、図13に示されるように、機能モジュールとして、読取部M1と、記憶部M2と、処理部M3と、指示部M4とを有する。これらの機能モジュールは、コントローラ10の機能を便宜上複数のモジュールに区切ったものに過ぎず、コントローラ10を構成するハードウェアがこのようなモジュールに分かれていることを必ずしも意味するものではない。各機能モジュールは、プログラムの実行により実現されるものに限られず、専用の電気回路(例えば論理回路)、又は、これを集積した集積回路(ASIC:Application Specific Integrated Circuit)により実現されるものであってもよい。
続いて、図15を参照して、塗布ユニットU1によるウエハWの処理方法について説明する。
以上のような本実施形態では、開口面積がノズル孔331eよりも小さいノズル孔331fから内側裾野部R2bに対して有機溶剤L2を吐出している(ステップS12)。そのため、内側裾野部R2bに対してノズル孔331fから吐出される有機溶剤L2の吐出量(流量)が相対的に少ない。従って、有機溶剤L2の液圧によって塗布膜Rが変形して盛り上がり難いので、周縁部R1が除去された後の塗布膜Rの周縁にハンプが生じ難くなる。また、塗布膜RのうちウエハWの内側に位置する部分に有機溶剤L2が飛散し難いので、その後に形成されるレジストパターンに欠陥が生じ難くなる。
Claims (13)
- 基板の表面に形成された塗布膜のうち前記基板の周縁領域に位置する周縁部に有機溶剤を吐出可能に構成された第1及び第2の吐出ノズルを有する溶剤供給部と、
前記第1及び第2の吐出ノズルから吐出された有機溶剤及び前記塗布膜の溶解物を吸引可能に構成され、前記基板の周縁よりも外側に位置する吸引ノズルを有する吸引部と、
制御部とを備え、
前記第1の吐出ノズルの吐出口の開口面積は、前記第2の吐出ノズルの吐出口の開口面積よりも小さく、
前記制御部は、前記吸引部を制御して前記吸引ノズルを動作させつつ前記溶剤供給部を制御して、
前記塗布膜の前記周縁部において凸状に盛り上がった***部のうち頂部よりも内側に位置する内側裾野部に対して前記第1の吐出ノズルから有機溶剤を吐出させる第1の処理と、
前記第1の処理の後に、前記***部の前記頂部に対して前記第2の吐出ノズルから有機溶剤を吐出させる第2の処理とを実行する、基板処理装置。 - 前記溶剤供給部は、前記塗布膜の前記周縁部に有機溶剤を吐出可能に構成された第3の吐出ノズルを更に有し、
前記第3の吐出ノズルは、前記第1及び第2の吐出ノズルよりも前記吸引ノズル寄りに位置し、
前記制御部は、前記吸引部を制御して吸引ノズルを動作させつつ前記溶剤供給部を制御して、前記第2の処理の後に、前記***部のうち前記頂部よりも外側に位置する外側裾野部に対して前記第3の吐出ノズルから有機溶剤を吐出させる第3の処理を更に実行する、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記基板は矩形状を呈する角形基板である、請求項1又は2に記載の基板処理装置。
- 前記第1又は第2の吐出ノズルから吐出される有機溶剤の温度を調節可能に構成された温調部を更に備え、
前記制御部は、前記第1の処理において前記第1の吐出ノズルから吐出される有機溶剤の温度が、前記第2の処理において前記第2の吐出ノズルから吐出される有機溶剤の温度よりも高くなるように、前記温調部を制御する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記第1の吐出ノズルは第1の有機溶剤を吐出可能であり、
前記第2の吐出ノズルは第2の有機溶剤を吐出可能であり、
前記第2の有機溶剤における前記塗布膜の構成成分に対する溶解性は、前記第1の有機溶剤における前記塗布膜の構成成分に対する溶解性よりも高い、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記第1の処理における前記第1の吐出ノズルからの吐出量が、前記第2の処理における第2の吐出ノズルからの吐出量よりも小さくなるように、前記溶剤供給部を制御する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 基板の表面に形成された塗布膜のうち前記基板の周縁領域に位置する周縁部に対して第1の吐出ノズルから有機溶剤を吐出しつつ、前記第1の吐出ノズルから吐出された有機溶剤及び前記塗布膜の溶解物を前記基板の周縁よりも外側に位置する吸引ノズルによって吸引する第1の工程と、
前記第1の工程の後に、前記塗布膜の前記周縁部に対して第2の吐出ノズルから有機溶剤を吐出しつつ、前記第2の吐出ノズルから吐出された有機溶剤及び前記塗布膜の溶解物を前記吸引ノズルによって吸引する第2の工程とを含み、
前記第1の工程において前記第1の吐出ノズルから有機溶剤が吐出される位置は、前記塗布膜の前記周縁部において凸状に盛り上がった***部のうち頂部よりも内側に位置する内側裾野部であり、
前記第2の工程において前記第2の吐出ノズルから有機溶剤が吐出される位置は、前記***部の前記頂部であり、
前記第1の吐出ノズルの吐出口の開口面積は、前記第2の吐出ノズルの吐出口の開口面積よりも小さい、基板処理方法。 - 前記第2の工程の後に、前記塗布膜の前記周縁部に対して第3の吐出ノズルから有機溶剤を吐出しつつ、前記第3の吐出ノズルから吐出された有機溶剤及び前記塗布膜の溶解物を前記吸引ノズルによって吸引する第3の工程を更に含み、
前記第3の吐出ノズルは、前記第1及び第2の吐出ノズルよりも前記吸引ノズル寄りに位置し、
前記第3の工程において前記第3の吐出ノズルから有機溶剤が吐出される位置は、前記***部のうち前記頂部よりも外側に位置する外側裾野部である、請求項7に記載の基板処理方法。 - 前記基板は矩形状を呈する角形基板である、請求項7又は8に記載の基板処理方法。
- 前記第1の工程において前記第1の吐出ノズルから吐出される有機溶剤の温度は、前記第2の工程において前記第2の吐出ノズルから吐出される有機溶剤の温度よりも高い、請求項7〜9のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記第2の工程において前記第2の吐出ノズルから吐出される有機溶剤における前記塗布膜の構成成分に対する溶解性は、前記第1の工程において前記第1の吐出ノズルから吐出される有機溶剤における前記塗布膜の構成成分に対する溶解性よりも高い、請求項7〜10のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記第1の工程において前記第1の吐出ノズルから吐出される有機溶剤の吐出量は、前記第2の工程において前記第2の吐出ノズルから吐出される有機溶剤の吐出量よりも小さい、請求項7〜11のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 請求項7〜12のいずれか一項に記載の基板処理方法を基板処理装置に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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