JP2017135398A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱処理装置1は、アウターチューブ4と、ボート11と、閉塞部材14と、ガス供給装置10とを有している。ボート11は、被処理物100を保持しており、アウターチューブ4に出し入れ可能である。閉塞部材14は、アウターチューブの下端部4bを塞ぐために設けられており、ボート11と上下方向X1に同行移動可能である。ガス供給装置10は、アウターチューブ4内の被処理物100に熱処理用ガスを供給する。ガス供給装置10の可動部28は、閉塞部材14と上下方向X1に同行移動可能である。可動部28のノズル部37,38は、熱処理用ガスを被処理物100に供給する。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の第1実施形態にかかる熱処理装置1の側面図であり、一部を断面で示している。図1を参照して、熱処理装置1は、被処理物100の表面に熱処理を施すことが可能に構成されている。より具体的には、熱処理装置1は、被処理物100に向けて加熱されたガス(熱処理用ガス)を供給することで、被処理物100の表面に熱処理を施すことが可能に構成されている。本実施形態において、熱処理装置1は、縦型炉である。
図7は、本発明の第2実施形態の側面図であり、一部を断面で示している。図8は、本発明の第2実施形態の主要部の拡大図である。なお、以下では、第1実施形態と異なる点について主に説明し、第1実施形態と同様の構成には、図に同様の符号を付して説明を省略する。
4 チューブ
4a 上端部(チューブの一端部)
4b 下端部(チューブの他端部)
10,10A ガス供給装置
11 ボート
14 閉塞部材
27 固定部
28 可動部
31 第2ガス管(接続端部)
31a フランジ部(接続端部)
32 加圧力調整機構(変位機構)
36 筒状部
36a 内周部
36b 外周部
36f,36g チャンバ
37,38 ノズル部
43 Oリング(シール部材)
100 被処理物
P1 閉塞位置
X1 上下方向(長手方向)
(2)好ましくは、前記加圧力調整機構は、前記閉塞部材に固定されるベース管と、このベース管に対して前記可動管を軸方向に相対位置調整可能な態様でねじ結合によって連結する締結部材と、をさらに有している。
Claims (8)
- 一端部が閉じられ且つ他端部が開放された形状を有するチューブと、
被処理物を保持するために設けられ、前記チューブの延びる長手方向に沿って変位されることで前記チューブに出し入れされるボートと、
前記ボートと前記長手方向に同行移動可能に構成され、前記ボートが前記チューブ内に配置された状態において前記チューブの前記他端部を塞ぐための閉塞部材と、
前記チューブ内の前記被処理物に熱処理用ガスを供給するためのガス供給装置と、を備え、
前記ガス供給装置は、前記閉塞部材と前記長手方向に同行移動可能な可動部を含み、
前記可動部は、前記熱処理用ガスを前記被処理物に供給するためのノズル部を含んでいることを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置であって、
前記ガス供給装置は、前記可動部へ前記熱処理用ガスを送るための固定部をさらに含み、
前記チューブの前記他端部を閉塞するための閉塞位置に前記閉塞部材が位置することで、前記可動部と前記固定部とが接続され、
前記閉塞部材が前記閉塞位置から変位することで、前記可動部と前記固定部との接続が解除されることを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項2に記載の熱処理装置であって、
前記可動部は、前記閉塞部材が前記閉塞位置に配置されているときにおいて前記固定部に接続される接続端部を有し、
前記ガス供給装置は、前記固定部と前記接続端部の互いの対向部間に配置されるシール部材をさらに有していることを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項3に記載の熱処理装置であって、
前記ガス供給装置は、前記接続端部を前記固定部に向けて加圧する加圧力を調整するための加圧力調整機構をさらに有していることを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項4に記載の熱処理装置であって、
前記加圧力調整機構は、前記接続端部を変位させるための変位機構を有しており、前記接続端部の位置を調整することによって、前記加圧力を調整することを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項1〜請求項5の何れか1項に記載の熱処理装置であって、
前記可動部は、前記ボートを取り囲むように構成された筒状部をさらに有し、
前記ノズル部は、前記筒状部に形成されており、前記ボートに保持された前記被処理物へ向けて熱処理用ガスを供給するように構成されていることを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項6に記載の熱処理装置であって、
前記ノズル部は、前記筒状部の軸方向および周方向の少なくとも一方に関して複数箇所に形成されていることを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項6または請求項7に記載の熱処理装置であって、
前記筒状部は、前記ノズル部が設けられた内周部と、この内周部を取り囲む外周部と、これら内周部および外周部間に形成され前記熱処理用ガスが通過するためのチャンバと、を含むことを特徴とする、熱処理装置。
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CN107740191A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-02-27 | 浙江海洋大学 | 一种热处理装置 |
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