JP2017134115A - Microscope device, and image display program - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、顕微鏡装置、及び画像表示プログラムに関する。 The present invention relates to a microscope apparatus and an image display program.
共焦点顕微鏡は、従来から、サンプルの表面形状を非接触で測定する3次元形状測定装置として利用されている。例えば、特許文献1には、複数の共焦点画像からサンプル表面の三次元形状を示す3D画像を生成し表示する共焦点顕微鏡が記載されている。複数の共焦点画像は、顕微鏡の利用者により指定された、サンプルに対する対物レンズの相対位置(以降、z位置と記す)の範囲(以降、z範囲)内で取得される。 The confocal microscope has been conventionally used as a three-dimensional shape measuring apparatus for measuring the surface shape of a sample in a non-contact manner. For example, Patent Document 1 describes a confocal microscope that generates and displays a 3D image indicating a three-dimensional shape of a sample surface from a plurality of confocal images. The plurality of confocal images are acquired within a range (hereinafter referred to as z range) of a relative position (hereinafter referred to as z position) of the objective lens with respect to the sample designated by the user of the microscope.
特許文献1に記載の共焦点顕微鏡では、指定されたz範囲と予め決められた移動ピッチから決定される全てのz位置で共焦点画像を取得した後に、3D画像が表示される。このため、利用者は、全てのz位置で共焦点画像が取得されるまで、サンプルの三次元形状に関する情報を得ることができず、三次元形状を把握することができない。
以上のような実情を踏まえ、本発明は、顕微鏡装置の利用者にサンプルの三次元形状に関する情報を早期に提供することを課題とする。
In the confocal microscope described in Patent Literature 1, a 3D image is displayed after acquiring confocal images at all z positions determined from a designated z range and a predetermined movement pitch. For this reason, the user cannot obtain information regarding the three-dimensional shape of the sample until the confocal images are acquired at all the z positions, and cannot grasp the three-dimensional shape.
In light of the above circumstances, an object of the present invention is to provide information regarding the three-dimensional shape of a sample to a user of a microscope apparatus at an early stage.
本発明の一態様は、サンプルに対する対物レンズの相対位置が前記対物レンズの光軸方向に異なる複数の状態の各々で、前記サンプルの二次元画像を取得する画像取得部と、前記複数の状態の各々で前記サンプルの二次元画像を取得する一連の処理を前記画像取得部が終了する前に、前記画像取得部が既に取得した2枚以上の二次元画像に基づいて、合成画像を生成する画像合成部と、前記一連の処理を前記画像取得部が終了する前に、前記画像合成部が生成した前記合成画像を表示装置に表示させる表示制御部と、を備える顕微鏡装置を提供する。 One aspect of the present invention is an image acquisition unit that acquires a two-dimensional image of the sample in each of a plurality of states in which the relative position of the objective lens with respect to the sample is different in the optical axis direction of the objective lens; An image for generating a composite image based on two or more two-dimensional images already acquired by the image acquisition unit before the image acquisition unit completes a series of processes for acquiring the two-dimensional images of the samples. A microscope apparatus is provided that includes a combining unit and a display control unit that displays the combined image generated by the image combining unit on a display device before the image acquisition unit completes the series of processes.
本発明の別の態様は、サンプルに対する顕微鏡装置の対物レンズの相対位置が前記対物レンズの光軸方向に異なる複数の状態の各々で前記サンプルの二次元画像を取得する一連の処理を前記顕微鏡装置が終了する前に、前記顕微鏡装置が既に取得した2枚以上の二次元画像に基づいて、前記サンプルの三次元形状を表す合成画像を生成し、前記一連の処理を前記顕微鏡装置が終了する前に、生成した前記合成画像を表示装置に表示させる処理をコンピュータに実行させる画像表示プログラムを提供する。 According to another aspect of the present invention, a series of processes for acquiring a two-dimensional image of the sample in each of a plurality of states in which the relative position of the objective lens of the microscope apparatus with respect to the sample is different in the optical axis direction of the objective lens is performed. Before the microscope apparatus ends, the composite image representing the three-dimensional shape of the sample is generated based on the two or more two-dimensional images already acquired by the microscope apparatus, and the series of processes is completed before the microscope apparatus ends. In addition, an image display program for causing a computer to execute processing for displaying the generated composite image on a display device is provided.
本発明によれば、顕微鏡装置の利用者にサンプルの三次元形状に関する情報を早期に提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the information regarding the three-dimensional shape of a sample can be provided to the user of a microscope apparatus at an early stage.
図1は、本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置1のハードウェア構成図である。顕微鏡装置1は、サンプルの三次元形状を測定可能な三次元形状測定装置である。顕微鏡装置1は、図1に示すように、共焦点顕微鏡本体100、制御装置120、表示装置130、及び入力装置140を備えている。サンプルは、例えば、半導体基板などである。図2は、サンプルの一例を示した図であり、以降では、図2に示すサンプル106を観察する場合を例に説明する。
FIG. 1 is a hardware configuration diagram of a microscope apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. The microscope apparatus 1 is a three-dimensional shape measuring apparatus that can measure the three-dimensional shape of a sample. As shown in FIG. 1, the microscope apparatus 1 includes a confocal microscope
共焦点顕微鏡本体100は、レーザ光源101、偏光ビームスプリッタ(以降、PBSと記す)102、二次元走査部103、1/4λ板104、対物レンズ105、結像レンズ107、ピンホール板108、光検出器109、AD変換器110、レボルバ111、X−Yステージ114、白色光源115、結像レンズ116、及び、カメラ117を備えている。
The confocal microscope
レボルバ111は、対物レンズを切り替える手段であるとともに、光路上に配置された対物レンズ105とサンプル106との間の相対距離を変更する手段でもある。顕微鏡装置1では、レボルバ111は、サンプル106を対物レンズ105の光軸方向に走査する走査手段であり、二次元走査部103は、サンプル106を光軸と直交する方向に走査する走査手段である。また、X−Yステージ114は、サンプル106を対物レンズ105に対して対物レンズ105の光軸と直交する方向に移動させる手段である。
The
レーザ光源101から出射したレーザ光は、PBS102を透過した後、二次元走査部103に入射する。二次元走査部103は、例えば、ガルバノミラーであり、レゾナントスキャナである。二次元走査部103で偏向されたレーザ光は、1/4λ板104で直線偏光から円偏光に変換された後に、レボルバ111に装着されている対物レンズ105を経由してサンプル106へ照射される。
Laser light emitted from the
共焦点顕微鏡本体100では、二次元走査部103は対物レンズ105の瞳位置と光学的に共役な位置又はその近傍に配置されている。このため、二次元走査部103がレーザ光を偏向させることで、レーザ光の集光位置が対物レンズ105の焦点面上を、対物レンズの光軸と直交するXY方向に移動し、これによって、サンプル106がレーザ光で二次元に走査される。
In the confocal microscope
二次元走査部103による二次元走査(XY走査)と、対物レンズ105の光軸方向(Z方向)へのレボルバ111の駆動(Z走査)は、制御装置120によって制御される。即ち、制御装置120は、走査手段を制御する走査制御手段である。二次元走査部103による二次元走査の手法としては、例えば、共焦点顕微鏡で一般的に使用されている、ラスタスキャンが採用される。また、レボルバ111の回転駆動により共焦点顕微鏡本体100の光路上に配置される対物レンズ105の切替と、対物レンズ105の光軸と直交する方向(XY方向)へのX−Yステージ114の駆動も、制御装置120によって制御される。
Two-dimensional scanning (XY scanning) by the two-
サンプル106の表面で反射したレーザ光(以降、反射光と記す)は、対物レンズ105を経由して入射する1/4λ板104で円偏光から直線偏光に変換される。その後に、二次元走査部103を経由してPBS102に入射する。このとき、PBS102に入射する反射光は、レーザ光源101側からPBS102に入射するレーザ光の偏光面とは直交する偏光面を有しているため、PBS102で反射して、結像レンズ107に導かれる。
Laser light reflected on the surface of the sample 106 (hereinafter referred to as reflected light) is converted from circularly polarized light to linearly polarized light by the ¼λ
結像レンズ107は、PBS102で反射した反射光を集光させる。PBS102からの反射光路上に設けられたピンホール板108には、対物レンズ105の焦点面に形成されるレーザ光の集光位置と光学的に共役な位置にピンホールが形成されている。このため、サンプル106表面のある部位が対物レンズ105によるレーザ光の集光位置にある場合には、この部位からの反射光は、ピンホールに集光されて当該ピンホールを通過する。その一方、サンプル106表面のある部位が対物レンズ105によるレーザ光の集光位置からずれている場合には、この部位からの反射光は、ピンホールに集光しないので、ピンホールを通過せず、ピンホール板108によって遮断される。
The
ピンホールを通過した光は、光検出器109で検出される。光検出器109は、例えば、光電子増倍管(PMT)である。光検出器109は、このピンホールを通過した光、すなわち、サンプル106の表面のうち対物レンズ105によるレーザ光の集光位置に位置する部位のみからの反射光を受光する。そして、二次元走査部103からの同期信号に基づいてその受光光量に応じた大きさの検出信号をサンプリングし、当該部位の輝度を示す輝度信号として出力する。アナログ信号であるこの輝度信号は、AD変換器110でアナログ−デジタル変換された上で、当該部位の輝度を示す輝度データとして制御装置120へ出力される。なお、輝度データは、一旦図示しないメモリに1フレーム分保存される。1フレーム分の輝度データ(つまり、画像データと記す)は、その後、図示しないスケールで測定されたx、y、zの各位置データとともに制御装置120へ出力される。これにより、制御装置120は、サンプル106の共焦点画像を取得する。なお、共焦点画像は二次元画像の一種である。
The light that has passed through the pinhole is detected by the
一方、白色光源115から出射した光(白色光)は、レボルバ111に装着されている対物レンズ105の瞳位置に集光して、その後、サンプル106に照射される。これにより、ケーラー照明によりサンプル106が照明される。サンプル106表面で反射した反射光は、結像レンズ116へ入射し、結像レンズ116は、この反射光をCCD(結合素子)カメラ117の受光面に集光する。
On the other hand, the light (white light) emitted from the
カメラ117は、対物レンズ105の焦点面と光学的に共役な位置に受光面を有するカメラであり、例えば、CCD(Charge-Coupled Device)イメージセンサを有するCCDカメラ、CMOS(Complementary MOS)イメージセンサを有するCMOSカメラである。カメラ117は、カラー画像を取得するように構成されていることが望ましい。カメラ117は受光面に集光された反射光によりサンプル106を撮像して、サンプル106の非共焦点画像を生成する。生成された非共焦点画像は制御装置120に送られる。なお、非共焦点画像は二次元画像の一種である。
The
また、この顕微鏡装置1は、以下に説明するようにして、サンプル106の合成画像を生成する。まず、制御装置120が、レボルバ111を対物レンズ105の光軸方向(z方向)に駆動させて対物レンズ105のz位置を変更する。そして、z位置が所定距離だけ変化する毎に、二次元走査部103でサンプル106を走査して共焦点画像を取得する。このようにして取得された複数の共焦点画像における同一位置の画素(xy平面上で同一位置の画素)の輝度を比較する。画素毎に、輝度が最大となるz位置と最大輝度を推定し、最大輝度を示す輝度データと、輝度が最大となるz位置を示す高さデータとを生成して、保存する。その後、この保存された輝度データ及び/又は高さデータを用いて、サンプル106の合成画像を生成する。なお、高さデータが示す対物レンズ105のz位置は、例えば、レボルバ111に設けられたスケールで測定されたz位置である。また、レボルバ111の駆動制御のために指定したz位置でもよい。
In addition, the microscope apparatus 1 generates a composite image of the
ここで、合成画像とは、例えば、高さ画像、全焦点画像(エクステンドフォーカス画像ともいう)であり、異なるz位置で取得された複数の画像に基づいて生成される画像である。高さ画像は、サンプル106の表面形状を表す三次元画像であり、各画素の高さデータに基づいて生成される。全焦点画像は、サンプル106の表面全体にピントが合った二次元画像であり、各画素の最大輝度を示す輝度データに基づいて生成される。全焦点画像は、共焦点画像の代わりに非共焦点画像に基づいて生成されてもよい。
Here, the composite image is, for example, a height image, an omnifocal image (also referred to as an extended focus image), and is an image generated based on a plurality of images acquired at different z positions. The height image is a three-dimensional image representing the surface shape of the
制御装置120は、生成された合成画像を表示装置130へ出力し、表示装置130に表示させる。より詳細には、制御装置120は、取得予定枚数の共焦点画像すべての取得が完了する前に、合成画像を生成し表示装置130に表示させる。これにより、顕微鏡装置1の利用者に、従来の三次元形状測定装置よりも早期にサンプル106の三次元形状に関する情報を提供することができる。
The
なお、合成画像は、所定枚数の共焦点画像が取得される毎に生成されてもよく、所定時間経過する毎に生成されてもよい。そして、合成画像が生成される毎に制御装置120が新たな合成画像を表示装置130に表示させる。これにより、合成画像が更新される毎により詳細な三次元形状に関する情報が利用者に提供されることになる。このため、利用者は、早期にサンプル106の三次元形状を把握することができる。
Note that the composite image may be generated every time a predetermined number of confocal images are acquired, or may be generated every time a predetermined time elapses. Each time a composite image is generated, the
さらに、この共焦点顕微鏡は、以下に説明するようにして、サンプル106の異なる複数の単位撮像領域に対して生成された複数の合成画像を貼り合わせて、貼り合わせ画像を生成する。
Further, the confocal microscope generates a composite image by combining a plurality of synthesized images generated for a plurality of unit imaging regions of the
まず、制御装置120が、ある単位撮像領域から異なる単位撮像領域へ顕微鏡装置1の視野を移す際に、隣接する単位撮像領域が一定量以上重複するように、X−Yステージ114を移動させる。そして、隣接する単位撮像領域について生成された合成画像の相対位置関係をパターンマッチングにより判断する。その後、得られた相対位置関係を用いて合成画像を貼り合わせることで、貼り合わせ合成画像を生成する。
First, when the
以上のように、顕微鏡装置1では、制御装置120が共焦点顕微鏡本体100を制御することで、共焦点画像、合成画像、貼り合わせ合成画像、及び、非共焦点画像が生成される。
As described above, in the microscope apparatus 1, the
図3は、本発明の一実施形態に係る制御装置120の構成の一例を示した図である。制御装置120は、顕微鏡装置1を制御する装置であり、例えば、制御プログラムを実行するコンピュータである。制御装置120は、図3に示すように、CPU121、メモリ122、入出力インタフェース(I/F)123、記憶装置124、可搬記録媒体126を収容する可搬記録媒体駆動装置125を備えている。それらはバス127で接続されることにより各種データが各要素間で授受可能となっている。そして、CPU121が記憶装置124または可搬記録媒体126に記憶された制御プログラムをメモリ122にロードして実行することで、制御装置120により、顕微鏡装置1の動作が制御され、後述する画像表示処理が行われる。
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the configuration of the
メモリ122は、例えば、RAM(Random Access Memory)である。入出力I/F123は、例えば、共焦点顕微鏡本体100、表示装置130、入力装置140などの装置との間でデータを授受するための装置である。記憶装置124は、制御プログラムや制御プログラムの実行に必要な情報を不揮発的に記憶するものであり、例えば、ハードディスク装置である。可搬記録媒体駆動装置125は、光ディスクやコンパクトフラッシュ(登録商標)などの可搬記録媒体126を収容するものであり、可搬記録媒体126は、記憶装置124と同様に、制御プログラムや制御プログラムの実行に必要な情報を不揮発的に記憶するものである。
The memory 122 is, for example, a RAM (Random Access Memory). The input / output I /
表示装置130は、例えば、液晶ディスプレイ、CRT(Cathode Ray Tube)ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ELディスプレイである。入力装置140は、例えば、マウスやキーボードなどである。表示装置130及び入力装置140は、タッチパネルディスプレイ装置として一体に構成されてもよい。
The
以下、各実施例について具体的に説明する。
[実施例1]
図4は、本実施例に係る顕微鏡装置1aの機能的構成の一例を示す図である。本実施例に係る顕微鏡装置1aは、所定枚数の共焦点画像を取得する度に、合成画像を生成し表示するように構成されている。顕微鏡装置1aのハードウェア構成は、図1に示す顕微鏡装置1と同様であるので、構成要素については同一の符号で参照する。
Each example will be specifically described below.
[Example 1]
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a functional configuration of the
顕微鏡装置1aは、サンプル106の二次元画像を取得する画像取得部2と、画像取得部2が取得した二次元画像に基づいて合成画像を生成する画像合成部3と、画像合成部3が生成した合成画像を表示装置130に表示させる表示制御部4を備えている。
The
画像取得部2は、サンプル106に対する対物レンズ105の相対位置が対物レンズ105の光軸方向に異なる複数の状態(つまり、z位置が異なる複数の状態)の各々で、サンプル106の二次元画像を取得する。ここで、二次元画像は、共焦点画像である。複数の状態は、例えば、利用者によって入力される画像取得条件に基づいて決定される。画像取得部2は、二次元画像を取得する度に、新たに取得した二次元画像を画像合成部3へ出力する。
The
画像合成部3は、一連の処理を画像取得部2が終了する前に、画像取得部2が既に取得した2枚以上の二次元画像に基づいて、合成画像を生成する。ここで、一連の処理とは、複数の状態の各々でサンプル106の二次元画像を取得する処理全体をいう。例えば、画像取得条件に基づいて10箇所のz位置が決定された場合であれば、10箇所のz位置で計10枚の二次元画像を取得する処理のことである。
The
画像合成部3は、画像取得部2が所定枚数の二次元画像を取得する毎に、新たな合成画像を生成する。以降では、画像取得部2が1枚の二次元画像を取得する毎に、画像合成部3が新たな合成画像を生成する場合を例に説明する。
The
表示制御部4は、上述した一連の処理を画像取得部2が終了する前に、画像合成部3が生成した合成画像を表示装置130に表示させる。より詳細には、表示制御部4は、画像取得部2が新たな二次元画像を取得し、画像合成部3が新たな合成画像を生成する度に、新たな合成画像を表示装置130に表示させる。
The
以下、図5から図7を参照しながら、合成画像を生成し表示する処理(以降、画像表示処理と記す)について詳細に説明する。図5は、本実施例に係る画像表示処理を示すフローチャートである。図6は、表示装置130に表示される画面の一例を示す図である。図7は、表示装置130に表示される画面の別の例を示す図である。画像表示処理は、例えば、図6に示すGUI画面200のボタン260が押下されることで開始される。
Hereinafter, a process for generating and displaying a composite image (hereinafter referred to as an image display process) will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 5 is a flowchart illustrating image display processing according to the present embodiment. FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a screen displayed on the
制御装置120は、画像表示処理が開始されると、まず、画像取得条件を取得する(ステップS10)。ここでは、制御装置120は、利用者がGUI画面200を通じて入力した画像取得条件を取得する。画像取得条件は、例えば、設定領域240に設定された対物レンズの倍率、設定領域250に設定された走査条件などである。図6には、対物レンズの倍率が10倍に、z走査範囲が80から100に、設定された例が示されている。
When the image display process is started, the
画像取得条件が取得されると、制御装置120は、初期z位置での二次元画像の取得を共焦点顕微鏡本体100に指示する(ステップS20)。ここでは、制御装置120は、まず、画像取得条件に基づいて画像を取得すべき複数のz位置を決定する。具体的には、顕微鏡装置1aの被写界深度に基づいてz位置間のピッチが算出され、z走査範囲と算出されたピッチに基づいて複数のz位置が決定される。図6に示す例では、例えば、ピッチが2と算出され、走査範囲内のz=80、82、84、・・・、100の11個のz位置が決定される。さらに、制御装置120は、初期z位置として、z=80を決定し、z=80の位置で共焦点画像が取得されるように共焦点顕微鏡本体100を制御する。これにより、共焦点顕微鏡本体100はレボルバ111をz=80の位置に移動した後に、二次元走査を開始し、共焦点画像を生成する。なお、初期z位置は、画像取得条件に基づいて決定された複数のz位置のうちの下限のz位置とは限らない。例えば、上限のz位置に決定されてもよく、それ以外のz位置に決定されてもよい。
When the image acquisition condition is acquired, the
制御装置120は、二次元画像を取得する(ステップS30)。ここでは、制御装置120は、共焦点顕微鏡本体100からz=80の位置でのサンプル106の共焦点画像を取得する。
The
その後、制御装置120は、次のz位置での二次元画像の取得を指示し(ステップS40)、再び二次元画像を取得する(ステップS50)。ステップS40とステップS50の処理は、z位置が異なる点を除き、ステップS20及びステップS30の処理と同様である。次のz位置は、例えば、ステップS20で決定された複数のz位置から昇順に従って決定されてもよく、降順に従って決定されてもよい。また、それ以外の方法で決定されてもよい。なお、この例では、昇順に従って次のz位置が決定される。
Thereafter, the
次に、制御装置120は、合成画像を生成する(ステップS60)。ここでは、制御装置120は、既に取得した2枚以上の共焦点画像に基づいて合成画像を生成する。なお、この実施例では、合成画像として高さ画像が生成される。さらに、高さ画像に加えて、全焦点画像も生成される。ステップS60の処理の詳細については、後述する。
Next, the
合成画像が生成されると、制御装置120は、合成画像の表示を指示する(ステップS70)。ここでは、制御装置120は、ステップS60で生成した合成画像を表示装置130に表示させる。これにより、三次元画像を表示するための表示領域210に、高さ画像が表示される。また、利用者が二次元画像を表示するための表示領域220を選択することで、図7に示すように、表示領域220に、全焦点画像が表示される。なお、表示領域220には、全焦点画像の代わりに取得した最新の共焦点画像が表示されてもよい。
When the composite image is generated, the
その後、制御装置120は、ステップS20で決定した全てのz位置で二次元画像を取得済みか否かを判定する(ステップS80)。そして、全てz位置で二次元画像が取得されるまでステップS40からステップS80の処理を繰り返し、図5に示す画像表示処理を終了する。
Thereafter, the
以下、図8から図10を参照しながら、画像表示処理に含まれる画像合成処理について詳細に説明する。図8は、本実施例に係る画像合成処理を示すフローチャートである。図9は、微小領域を説明するための図である。図10は、信頼度データを説明するための図である。 Hereinafter, the image composition process included in the image display process will be described in detail with reference to FIGS. 8 to 10. FIG. 8 is a flowchart illustrating image composition processing according to the present embodiment. FIG. 9 is a diagram for explaining a minute region. FIG. 10 is a diagram for explaining the reliability data.
図8に示す画像合成処理が開始されると、制御装置120は、微小領域6を選択する(ステップS61)。微小領域6とは、輝度データが割り当てられた単位領域であり、図9に示すように、二次元画像の画素に相当する。ここでは、制御装置120は、二次元画像を構成する複数の微小領域から1つの微小領域を選択する。微小領域6の数(画素数)は、例えば、走査線1本当たりのサンプリング回数と走査線数の積で算出される画像当たりのサンプリング回数である。ただし、ビニング処理が行われる場合や一画素当たりに複数回サンプリングが行われる場合などはこの限りではない。
When the image composition process shown in FIG. 8 is started, the
微小領域6が選択されると、制御装置120は、IZカーブを生成する(ステップS62)。ここでは、まず、取得済みの2枚以上の二次元画像の各々から、選択された微小領域6のIZ座標を取得する。IZ座標とは、サンプリングにより取得された微小領域6の輝度データが示す輝度と画像のz位置とで特定される座標である。IZ座標でのz位置は、レボルバ111のスケールで測定されたz位置でも、レボルバ111の駆動制御時に制御装置120が指定したz位置でもよい。次に、制御装置120は、2枚以上の二次元画像から取得した2つ以上のIZ座標をガウス関数でフィッティングして、微小領域6のIZカーブを生成する。例えば、取得したIZ座標のうちの輝度が最も大きいIZ座標とその近傍のIZ座標からIZカーブを生成してもよい。図10(a)、図10(b)は、取得した5つのIZ座標から、輝度が最も大きいIZ座標とその近傍の2つのIZ座標を選択し、選択した計3つのIZ座標に基づいてIZカーブ(IZカーブ11、IZカーブ12)を算出した例が示されている。
When the
IZカーブが生成されると、制御装置120は、微小領域を代表する輝度(最大輝度)を示す輝度データと高さデータを生成する(ステップS63)。ここでは、微小領域の輝度が最大となるz位置と最大輝度を推定し、最大輝度を示す輝度データと、輝度が最大となるz位置を示す高さデータとを生成する。
When the IZ curve is generated, the
輝度データと高さデータが生成されると、制御装置120は、信頼度データを生成する(ステップS64)。信頼度データは、ステップS63で生成した高さデータの信頼度を示すデータである。信頼度データは、IZカーブの形状に基づいて生成されてもよい。例えば、図10(a)に示すIZカーブ11と図10(b)に示すIZカーブ12を比較すると、IZカーブ12は、曲線のピークが低く曲線の曲がりも緩やかである。このような形状では、情報不足に起因して誤ったピークが検出されている可能性がある。このため、IZカーブ11の信頼度(ここでは、0.5)は、IZカーブ12の信頼度(ここでは、1.0)に比べて低いと判断できる。
When the luminance data and height data are generated, the
なお、図10(c)に示すように、2枚以上の二次元画像から取得されたIZ座標の組み合わせによっては、ステップS62でIZカーブが生成できない場合がある。このような場合には、ステップS63で、輝度不定の輝度データと高さ不定の輝度データを生成し、ステップS64で、信頼度が0の信頼度データを生成しても良い。 As shown in FIG. 10C, depending on the combination of IZ coordinates acquired from two or more two-dimensional images, an IZ curve may not be generated in step S62. In such a case, luminance data with indefinite luminance and luminance data with indefinite height may be generated in step S63, and reliability data with a reliability of 0 may be generated in step S64.
信頼度データが生成されると、制御装置120は、全ての微小領域を選択済みか否かを判定する(ステップS65)。そして、全て微小領域が選択されるまでステップS61からステップS65の処理を繰り返す。これにより、微小領域毎に、最大輝度を示す輝度データと、輝度が最大となるz位置を示す高さデータと、信頼度データが生成される。
When the reliability data is generated, the
最後に、制御装置120は、合成画像を生成し(ステップS66)、図8に示す画像合成処理を終了する。ここでは、制御装置120は、微小領域毎に生成された高さデータと輝度データに基づいて合成画像を生成する。具体的には、高さデータに基づいて三次元形状を生成し、三次元形状の表面に輝度データが示す最大輝度を割り当てた高さ画像を生成する。さらに、微小領域毎の最大輝度を示す輝度データに基づいて、全焦点画像を生成する。
Finally, the
顕微鏡装置1aが図5及び図8に示す処理を実行することにより、共焦点画像が生成される度に、高さ画像が生成されて三次元表示が更新される。このため、顕微鏡装置1aによれば、利用者は、高さ画像に基づいて、早期にサンプル106の三次元形状を把握することが可能となる。
When the
また、顕微鏡装置1aは、図6に示すように、高さ画像とともに進捗バー211、上限表示212、下限表示213を表示領域210に表示してもよい。進捗バーは、一連の処理(共焦点画像を繰り返し取得する処理)の進捗を表す進捗情報の一例である。進捗バーを表示することで、利用者は、三次元形状に関する情報とともに処理の進捗も把握することができる。このため、処理が正常に実行されていることを確認することができ、安心感を得ることができる。上限表示212と下限表示213は、それぞれ、二次元画像を取得すべき上限のz位置に対応する撮像面の位置情報、下限のz位置に対応する撮像面の位置情報である。進捗バー211を上限表示212と下限表示213とともに表示することで、画像取得の進捗をさらに直感的に把握することができる。
Further, as shown in FIG. 6, the
さらに、二次元画像が取得された最新の撮像面の位置情報である現在表示を表示領域210に表示してもよい。また、現在表示の代わりに最新の共焦点画像を高さ画像とともに表示領域210に表示してもよい。この場合、最新の共焦点画像を、高さ画像中の最新の撮像面の位置に重ねて表示することが望ましい。
Further, a current display that is position information of the latest imaging surface from which the two-dimensional image is acquired may be displayed in the
また、顕微鏡装置1aでは、高さ画像により三次元形状に関する情報が一連の処理の完了を待たずに随時提供される。このため、利用者は、例えば、走査範囲が適切でない、観察倍率が適切でない、などの不適切な画像取得条件の設定を、早期に認識することができる。従って、例えば、一連の処理の早い段階で、GUI画面200上のボタン270を押下して処理を中止することが可能であり、無駄になる処理時間を短く抑えることができる。
Further, in the
また、顕微鏡装置1aでは、信頼度データに応じて合成画像の表示を変更してもよい。例えば、利用者によって指定された信頼度を閾値に設定し、信頼度データに基づいて合成画像中の閾値未満の信頼度を有する画素(微小領域)を特定し、当該画素を表示領域210上で透明に表示してもよい。また、透明に表示する代わりに指定された色で表示してもよい。なお、閾値となる信頼度は製品出荷時に予め設定されてもよい。
In the
三次元形状の表面に最大輝度を割り当てた高さ画像を表示する例を示したが、最大輝度の代わりに高さに応じた色を三次元形状の表面に割り当てた高さ画像が表示領域210に表示されてもよい。この場合、制御装置120は、予め記憶装置124に記憶されているルックアップテーブル(以降、LUT)を参照して高さに応じた色を示す色データを取得する。そして、取得された色データと高さデータに基づいて高さ画像を生成する。また、最大輝度を表面に割り当てた高さ画像と高さに応じた色を表面に割り当てた高さ画像は、利用者の操作(例えば、右クリックなど)により任意に切り替えて表示されてもよい。
Although an example in which a height image with the maximum luminance assigned to the surface of the three-dimensional shape is displayed, a height image in which a color corresponding to the height is assigned to the surface of the three-dimensional shape instead of the maximum luminance is displayed in the
また、制御装置120は、図8に示す画像合成処理の代わりに、図11に示す画像合成処理を行ってもよい。図11に示す画像合成処理は、IZカーブを算出しない点、及び、信頼度データを生成しない点が、図8に示す画像合成処理と異なっている。さらに、ステップS92では、取得済みの二次元画像の各々から取得した微小領域6のIZ座標の中から輝度が最も大きいIZ座標が特定され、そのIZ座標から輝度データと高さデータが生成される。図11のステップS91、ステップS93、ステップS94の処理は、それぞれ、図8のステップS61、ステップS65、ステップS66の処理と同様である。
Further, the
図11に示す画像合成処理を実行することで、合成画像をより短時間で生成することが可能となる。また、図11に示す画像合成処理では、図12(a)、図12(b)、図12(c)に示すように、現在表示214の高さまでの三次元形状が順次確定する。従って、現在表示214の高さまでの三次元形状は高い精度で表示される。このため、処理を途中で中止した場合であっても、それまでに生成された合成画像をサンプルの形状の解析や測定レポートの作成に利用することができる。
By executing the image composition process shown in FIG. 11, a composite image can be generated in a shorter time. In the image composition processing shown in FIG. 11, the three-dimensional shape up to the height of the
[実施例2]
図13は、本実施例に係る顕微鏡装置1bの機能的構成の一例を示す図である。本実施例に係る顕微鏡装置1bは、所定枚数の共焦点画像を取得する度に、合成画像を生成し表示する点は、顕微鏡装置1aと同様である。顕微鏡装置1bは、カラー全焦点画像及びカラー合成画像を生成する点が、顕微鏡装置1aとは異なっている。顕微鏡装置1bのハードウェア構成は、顕微鏡装置1及び顕微鏡装置1aと同様であるので、構成要素については同一の符号で参照する。
[Example 2]
FIG. 13 is a diagram illustrating an example of a functional configuration of the
顕微鏡装置1bは、サンプル106の二次元画像を取得する2つの画像取得部(第1の画像取得部2a、第2の画像取得部2b)と、2つの画像取得部が取得した二次元画像に基づいてカラー合成画像を生成する画像合成部3と、画像合成部3が生成したカラー合成画像を表示装置130に表示させる表示制御部4を備えている。
The
第1の画像取得部2a、第2の画像取得部2bは、それぞれ、サンプル106に対する対物レンズ105の相対位置が対物レンズ105の光軸方向に異なる複数の状態(つまり、z位置が異なる複数の状態)の各々で、サンプル106の二次元画像を取得する。第1の画像取得部2aが取得する二次元画像は、共焦点画像である。第2の画像取得部2bが取得する二次元画像は、非共焦点画像であり、サンプル106の色彩を表すカラー画像である。画像合成部3は、共焦点画像に基づいて生成される高さデータと第2の画像取得部2bが取得したカラー画像に基づいて、サンプル106の三次元形状と色彩を表すカラー合成画像を生成する。
Each of the first image acquisition unit 2a and the second
以下、図14及び図15を参照しながら、画像表示処理について詳細に説明する。図14は、本実施例に係る画像表示処理を示すフローチャートである。図15は、本実施例に係る画像合成処理を示すフローチャートである。 Hereinafter, the image display process will be described in detail with reference to FIGS. 14 and 15. FIG. 14 is a flowchart illustrating image display processing according to the present embodiment. FIG. 15 is a flowchart illustrating the image composition processing according to the present embodiment.
制御装置120は、図14に示す画像表示処理が開始されると、まず、画像取得条件を取得する(ステップS100)。この処理は、図5のステップS10と同様である。画像取得条件が取得されると、制御装置120は、初期z位置でのカラー画像の取得を共焦点顕微鏡本体100に指示する(ステップS110)。ここでは、制御装置120は、まず、画像取得条件に基づいて決定された複数のz位置から初期z位置を決定する。その後、初期z位置でカラー画像が取得されるように共焦点顕微鏡本体100を制御する。これにより、共焦点顕微鏡本体100はレボルバ111を初期z位置に移動した後に、CCDカメラ117でサンプル106を撮像する。
When the image display process shown in FIG. 14 is started, the
制御装置120は、カラー画像を取得する(ステップS120)。ここでは、制御装置120は、CCDカメラ117から出力されたカラー画像を取得する。その後、制御装置120は、ステップS110で決定した全てのz位置でカラー画像を取得済みか否かを判定する(ステップS130)。未だカラー画像が取得されていないz位置がある場合には、次のz位置でのカラー画像の取得を指示し(ステップS140)、再びカラー画像を取得する(ステップS120)。そして、全てz位置でカラー画像が取得されるまでステップS120からステップS140の処理を繰り返す。
The
全てのz位置でカラー画像が取得されると、制御装置120は、カラー全焦点画像を生成する(ステップS150)。ここでは、制御装置120は、全てのz位置で取得した複数のカラー画像に基づいて、カラー全焦点画像を生成する。
When color images are acquired at all z positions, the
次に、制御装置120は、全てのz位置で共焦点画像が取得されるまで(ステップS220)、共焦点画像の取得(ステップS160からステップS190)、カラー合成画像の生成(ステップS200)、カラー合成画像の表示(ステップS210)を繰り返す。なお、ステップS160からステップS220の処理は、ステップS200を除き、図5のステップS20からステップS80の処理と同様である。
Next, until the confocal image is acquired at all z positions (step S220), the
ステップS200では、制御装置120は、図15に示す画像合成処理を行う。なお、図15に示す画像合成処理は、ステップS203で輝度データを生成しない点、及び、ステップS206でカラー合成画像を生成する点が、図8に示す画像合成処理と異なっている。ステップS201、ステップS202、ステップS204、ステップS205の各ステップは、それぞれステップS61、ステップS62、ステップS64、ステップS65の各ステップと同様である。
In step S200, the
ステップS203では、制御装置120は、高さデータを生成する。ここでは、制御装置120は、微小領域の輝度が最大となるz位置を特定し、当該z位置を示す高さデータを生成する。ステップS206では、制御装置120は、カラー合成画像を生成する。ここでは、制御装置120は、カラー全焦点画像と微小領域毎に生成された高さデータに基づいてカラーで表示される高さ画像を生成する。具体的には、高さデータに基づいて三次元形状を生成し、三次元形状の表面にカラー全焦点画像に含まれる対応する微小領域のカラー情報を割り当てる。
In step S203, the
本実施例に係る顕微鏡装置1bによれば、利用者は、カラー高さ画像に基づいて、早期にサンプル106の三次元形状を把握することが可能となる。また、三次元形状とともに、サンプル106のカラー情報を得ることができる。その他、進捗表示等が行われてもよい点は、顕微鏡装置1aと同様である。
According to the
高さデータを共焦点画像に基づいて算出する例を示したが、高さデータは、カラー画像に基づいて算出してもよい。その場合、例えば、図14のステップS100からステップS150を省略し、ステップS170及びステップS190でカラー画像を取得すればよい。その上で、図15のステップS202で、取得した2枚以上のカラー画像から、IZカーブの代わりに、微小領域毎のコントラストとz位置の関係を示す曲線(以降、CZカーブと記す。)を算出する。さらに、CZカーブに基づいてコントラストが最大となるz位置を微小領域毎に推定し、当該z位置を示す高さデータを生成する。なお、微小領域(画素)のコントラストは、例えば、当該微小領域の輝度と隣接する微小領域の輝度の差分に基づいて算出される。 Although an example in which the height data is calculated based on the confocal image has been shown, the height data may be calculated based on the color image. In that case, for example, steps S100 to S150 in FIG. 14 may be omitted, and a color image may be acquired in steps S170 and S190. Then, in step S202 of FIG. 15, from the two or more acquired color images, a curve indicating the relationship between the contrast and the z position for each minute region (hereinafter referred to as a CZ curve) is used instead of the IZ curve. calculate. Furthermore, the z position where the contrast is maximized is estimated for each minute region based on the CZ curve, and height data indicating the z position is generated. Note that the contrast of the minute area (pixel) is calculated based on, for example, the difference between the brightness of the minute area and the brightness of the adjacent minute area.
カラー画像から高さデータを生成することで、共焦点画像を取得することなく、カラー高さ画像を生成することができる。従って、利用者は、さらに早い段階でサンプル106の三次元形状を把握することが可能となる。
By generating height data from a color image, a color height image can be generated without acquiring a confocal image. Therefore, the user can grasp the three-dimensional shape of the
[実施例3]
本実施例に係る顕微鏡装置は、所定時間経過毎に、合成画像を生成し表示するように構成されている点が、顕微鏡装置1aとは異なっている。本実施例に係る顕微鏡装置のハードウェア構成は、実施例1及び実施例2の顕微鏡装置と同様であるので、構成要素については同一の符号で参照する。
[Example 3]
The microscope apparatus according to the present embodiment is different from the
図16は、本実施例に係る画像取得処理を示すフローチャートである。図17は、本実施例に係る画像表示処理を示すフローチャートである。本実施例は、画像取得処理が画像表示処理から独立して非同期で行われる点が、上述した実施例と異なる。 FIG. 16 is a flowchart illustrating image acquisition processing according to the present embodiment. FIG. 17 is a flowchart illustrating image display processing according to the present embodiment. This embodiment is different from the above-described embodiment in that the image acquisition process is performed asynchronously independently of the image display process.
本実施例に係る顕微鏡装置では、例えば、図6に示すGUI画面200のボタン260が押下されると、図16に示す画像取得処理と図17に示す画像表示処理がそれぞれ開始される。なお、図16に示す画像取得処理のステップS300からステップS350は、図5に示す画像表示処理のステップS10からステップS50及びステップS80と同様である。そのため、詳細な説明は割愛する。
In the microscope apparatus according to the present embodiment, for example, when the
制御装置120は、図17に示す画像表示処理が開始されると、まず、経過時間をカウントとするカウンタの動作を開始する(ステップS400)。その後、カウンタを監視して所定時間が経過するまで待機する(ステップS410)。所定時間経過すると、制御装置120は、合成画像を生成し(ステップS420)、合成画像の表示を指示する(ステップS430)。これらの処理は、図5のステップS60、ステップS70と同様である。
When the image display process shown in FIG. 17 is started, the
次に、制御装置120は、カウンタをリセットする(ステップS440)。その後、制御装置120は、図16に示す画像取得処理が終了したか否かを判定し(ステップS450)、終了するまでステップS410からステップS450の処理を繰り返す。
Next, the
本実施例に係る顕微鏡装置によれば、所定時間毎に高さ画像が生成されて更新されるため、利用者は、早期にサンプル106の三次元形状を把握することが可能となる。
According to the microscope apparatus according to the present embodiment, since the height image is generated and updated every predetermined time, the user can grasp the three-dimensional shape of the
[実施例4]
本実施例に係る顕微鏡装置は、顕微鏡装置の視野を複数のフィードに分割し、フィールド毎に共焦点画像を生成する点が、顕微鏡装置1aとは異なっている。本実施例に係る顕微鏡装置のハードウェア構成は、実施例1から実施例3の顕微鏡装置と同様であるので、構成要素については同一の符号で参照する。
[Example 4]
The microscope apparatus according to the present embodiment is different from the
図18は、視野を構成するフィールドを説明するための図である。本実施例では、顕微鏡装置は、顕微鏡装置の視野(二次走査範囲)を、複数のフィールド(フィールド21、フィールド22)に分割し、フィールド毎に複数の状態の各々でサンプル106の共焦点画像を取得する。なお、各フィールドには、走査線5が所定数おきに割り当てられる。図18では、フィールド21、フィールド22に、1つおきに走査線5が割り当てられている例が示されている。
FIG. 18 is a diagram for explaining the fields constituting the visual field. In this embodiment, the microscope apparatus divides the field of view (secondary scanning range) of the microscope apparatus into a plurality of fields (
図19は、本実施例に係る画像表示処理を示すフローチャートである。制御装置120は、図19に示す画像表示処理が開始されると、まず、画像取得条件を取得する(ステップS500)。この処理は、図5のステップS10と同様である。画像取得条件が取得されると、制御装置120は、撮像対象とするフィールドを共焦点顕微鏡本体100に指示する(ステップS510)ここでは、制御装置120は、例えば、フィールド21を指定する。その後、制御装置120は、全てのz位置で共焦点画像が取得されるまで(ステップS580)、共焦点画像の取得(ステップS520からステップS550)、合成画像の生成(ステップS560)、合成画像の表示(ステップS570)を繰り返す。なお、ステップS560の画像合成処理では、取得済みのフィールドの画素データを補間して、未取得のフィールドの画素データが生成される。
FIG. 19 is a flowchart illustrating image display processing according to the present embodiment. When the image display process shown in FIG. 19 is started, the
全てのz位置で共焦点画像が取得されると、制御装置120は、さらに、全てのフィールドで共焦点画像を取得済みか否かを判定する(ステップS590)。未だ共焦点画像を取得していないフィールドが存在する場合には、制御装置120は、フィールドの変更を指示し(ステップS600)、全てのフィールドで共焦点画像が取得されるまで、ステップS520からステップS600の処理を繰り返す。
When confocal images are acquired at all z positions, the
本実施例に係る顕微鏡装置によっても、共焦点画像が生成される度に、高さ画像(合成画像)が生成されて三次元表示が更新される。このため、利用者は、高さ画像に基づいて、早期にサンプル106の三次元形状を把握することができる。
Also with the microscope apparatus according to the present embodiment, every time a confocal image is generated, a height image (composite image) is generated and the three-dimensional display is updated. For this reason, the user can grasp the three-dimensional shape of the
また、本実施例に係る顕微鏡装置では、走査線5を間引いて共焦点画像が取得されるため、1枚の共焦点画像の取得に要する時間が短くなる。その結果、高さ画像が表示されるまでの時間も短縮される。また、あるフィールドで全てのz位置で共焦点画像を取得した後に、別のフィールドでの共焦点画像の取得が開始される。このため、z走査範囲全体を表示した高さ画像が顕微鏡装置1aよりも短時間で表示される。従って、顕微鏡装置1aよりも早期にサンプル106の三次元形状を把握することができる。また、最終的には全てのフィールドで共焦点画像が取得されるため、顕微鏡装置1aと同等の精度の高さ画像を得ることができる。
Further, in the microscope apparatus according to the present embodiment, since the confocal image is acquired by thinning the
上述した実施例は、発明の理解を容易にするために具体例を示したものであり、本発明は上述した実施例に限定されるものではない。顕微鏡装置及び画像表示プログラムは、特許請求の範囲に記載した本発明の範囲内で、さまざまな変形、変更が可能である。例えば、顕微鏡装置は、様々な追加の機能を有していてもよい。例えば、図20(a)に示すように、利用者が合成画像に対して切断面を指定することで、図20(b)に示すような、断面を表示する機能を有してもよい。断面部分は指定した色で表示するようにしてもよい。また、表示領域210に表示中の合成画像をマウス操作で移動させたり回転させたりできるようにしてもよい。さらに、合成画像は、表示領域210だけではなく、マップ画像を表示する表示領域230にも表示されてもよい。また、図1では、工業用途で使用される工業系の顕微鏡装置を例示したが、本願発明は、生物系の顕微鏡装置にも適用可能である。
The embodiments described above are specific examples for facilitating understanding of the invention, and the present invention is not limited to the embodiments described above. The microscope apparatus and the image display program can be variously modified and changed within the scope of the present invention described in the claims. For example, the microscope apparatus may have various additional functions. For example, as illustrated in FIG. 20A, the user may have a function of displaying a cross section as illustrated in FIG. 20B by designating a cut surface for the composite image. The cross section may be displayed in a designated color. Further, the composite image being displayed in the
一般に共焦点顕微鏡では、画像データとx、y、zの各位置データは、別々の転送路を介して制御装置120へ出力される。具体的には、画像データは、位置データよりも高速な転送路を介して制御装置120へ出力される。しかしながら、上述した顕微鏡装置では、位置データは、従来画像データの転送に利用されていた転送路を介して出力されてもよく、即ち、画像データと同じ転送路で転送されてもよい。位置データは、例えば、1フレームの期間を示すフレーム有効信号が「有効」に設定されている期間中であって、画像データを構成する最終ラインのデータを転送後に、画像データと同じ転送路で転送される。これにより、位置データが画像データから大きく遅れることなく制御装置120に転送されるため、高さ画像などの合成画像を、従来よりも高速に生成することが可能となる。
In general, in a confocal microscope, image data and x, y, and z position data are output to the
また、以上では1フレーム期間中はz位置が変化しない例を示したが、駆動効率向上のため、z位置が、フレーム期間中継続的に変化し、1フレーム期間経過する毎に1ピッチ分だけ変化するように制御されてもよい。この場合、z位置のデータは、測定精度を維持するため、フレーム毎ではなくライン毎に取得されることが望ましい。例えば、画像データを構成する各ラインのデータを転送後、次のラインのデータを転送する前に、そのラインに対応するz位置のデータをそのラインのデータと同じ転送路で転送してもよい。これにより、測定精度を維持したまま駆動効率を向上させることができる。また、位置データが画像データから大きく遅れることなく制御装置120に転送されるため、高さ画像などの合成画像を、従来よりも高速に生成することが可能となる。
In addition, although the example in which the z position does not change during one frame period has been described above, the z position continuously changes during the frame period and only one pitch is passed every frame period for improving the driving efficiency. It may be controlled to change. In this case, it is desirable that the z position data be acquired for each line, not for each frame, in order to maintain measurement accuracy. For example, after transferring the data of each line constituting the image data, before transferring the data of the next line, the data at the z position corresponding to the line may be transferred through the same transfer path as the data of the line. . As a result, it is possible to improve drive efficiency while maintaining measurement accuracy. In addition, since the position data is transferred to the
1、1a、1b・・・顕微鏡装置、2・・・画像取得部、2a・・・第1の画像取得部、2b・・・第2の画像取得部、3・・・画像合成部、4・・・表示制御部、5・・・走査線、6・・・微小領域、11、12・・・IZカーブ、21、22・・・フィールド、100・・・共焦点顕微鏡本体、101・・・レーザ光源、102・・・PBS、103・・・二次元走査部、104・・・1/4λ板、105・・・対物レンズ、106・・・サンプル、106a、106b、106c・・・表面、107・・・結像レンズ、108・・・ピンホール板、109・・・光検出器、110・・・AD変換器、111・・・レボルバ、114・・・X−Yステージ、115・・・白色光源、116・・・結像レンズ、117・・・カメラ、120・・・制御装置、121・・・CPU、122・・・メモリ、123・・・入出力I/F、124・・・記憶装置、125・・・可搬記録媒体駆動装置、126・・・可搬記憶媒体、127・・・バス、130・・・表示装置、140・・・入力装置、200・・・GUI画面、210、220、230・・・表示領域、211・・・進捗バー、212・・・上限表示、213・・・下限表示、214・・・現在表示、240、250・・・設定領域、260、270・・・ボタン
DESCRIPTION OF
Claims (17)
前記複数の状態の各々で前記サンプルの二次元画像を取得する一連の処理を前記画像取得部が終了する前に、前記画像取得部が既に取得した2枚以上の二次元画像に基づいて、合成画像を生成する画像合成部と、
前記一連の処理を前記画像取得部が終了する前に、前記画像合成部が生成した前記合成画像を表示装置に表示させる表示制御部と、を備える
ことを特徴とする顕微鏡装置。 In each of a plurality of states in which the relative position of the objective lens with respect to the sample is different in the optical axis direction of the objective lens, an image acquisition unit that acquires a two-dimensional image of the sample;
A series of processes for acquiring a two-dimensional image of the sample in each of the plurality of states is synthesized based on two or more two-dimensional images already acquired by the image acquisition unit before the image acquisition unit ends. An image composition unit for generating an image;
A microscope apparatus comprising: a display control unit configured to display on the display device the composite image generated by the image composition unit before the image acquisition unit ends the series of processes.
前記画像合成部は、
前記サンプルの微小領域毎に高さデータを生成し、
前記微小領域毎に生成された高さデータに基づいて、前記合成画像を生成する
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to claim 1, wherein
The image composition unit
Generate height data for each micro area of the sample,
The microscope apparatus, wherein the composite image is generated based on height data generated for each minute region.
前記画像合成部は、前記微小領域毎に生成された高さデータと当該微小領域を代表する輝度を示す輝度データとに基づいて、前記合成画像を生成する
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to claim 2, wherein
The microscope apparatus, wherein the image composition unit generates the composite image based on height data generated for each minute region and luminance data representing luminance representing the minute region.
前記画像合成部は、前記微小領域毎に生成された高さデータと当該微小領域を代表するコントラストを示すコントラストデータとに基づいて、前記合成画像を生成する
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to claim 2, wherein
The microscope apparatus, wherein the image composition unit generates the composite image based on height data generated for each minute region and contrast data representing contrast representing the minute region.
前記画像合成部は、前記微小領域毎に生成された高さデータと、高さに対して割り当てられた色を示す色データとに基づいて、前記合成画像を生成する
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to claim 2, wherein
The image synthesizing unit generates the synthesized image based on height data generated for each minute region and color data indicating a color assigned to the height. .
前記サンプルの色彩を表わすカラー画像を取得する第2の画像取得部を備え、
前記画像取得部は、共焦点画像を取得する第1の画像取得部であり、
前記画像合成部は、前記微小領域毎に生成された高さデータと前記第2の画像取得部が取得した前記カラー画像とに基づいて、前記サンプルの三次元形状及び色彩を表す前記合成画像を生成する
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to claim 2, further comprising:
A second image acquisition unit for acquiring a color image representing the color of the sample;
The image acquisition unit is a first image acquisition unit that acquires a confocal image,
The image synthesizing unit generates the synthesized image representing the three-dimensional shape and color of the sample based on the height data generated for each minute region and the color image acquired by the second image acquiring unit. The microscope apparatus characterized by producing | generating.
前記画像取得部が所定枚数の二次元画像を取得する毎に、又は、所定時間経過毎に、
前記画像合成部は、新たな合成画像を生成し、
前記表示制御部は、前記新たな合成画像を前記表示装置に表示させる
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to any one of claims 1 to 6,
Every time the image acquisition unit acquires a predetermined number of two-dimensional images, or every elapse of a predetermined time,
The image composition unit generates a new composite image,
The display device is configured to display the new composite image on the display device.
前記表示制御部は、前記一連の処理の進捗を表す進捗情報を前記表示装置に表示させる
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to any one of claims 1 to 7,
The microscope apparatus, wherein the display control unit causes the display device to display progress information indicating progress of the series of processes.
前記表示制御部は、前記画像取得部で二次元画像が取得された最新の撮像面の位置情報を前記合成画像とともに前記表示装置に表示させる
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to any one of claims 1 to 8,
The display control unit causes the display device to display the latest position information of the imaging surface from which the two-dimensional image has been acquired by the image acquisition unit together with the composite image.
前記表示制御部は、前記表示装置がマップ画像を表示する領域に前記合成画像を表示するように、前記表示装置を制御する
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to any one of claims 1 to 9,
The microscope apparatus, wherein the display control unit controls the display device so that the display device displays the composite image in a region where a map image is displayed.
前記表示制御部は、前記画像取得部が取得した最新の二次元画像を前記合成画像とともに前記表示装置に表示させる
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to any one of claims 1 to 10,
The display control unit causes the display device to display the latest two-dimensional image acquired by the image acquisition unit together with the composite image.
前記表示制御部は、前記画像取得部が取得した最新の二次元画像と前記合成画像とを切り替えて前記表示装置に表示させる
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to any one of claims 1 to 11,
The display control unit switches between the latest two-dimensional image acquired by the image acquisition unit and the composite image, and causes the display device to display the microscope device.
前記画像合成部は、前記合成画像に基づいて、前記サンプルの指定された断面での断面プロファイルを生成し、
前記表示制御部は、前記画像合成部が生成した前記断面プロファイルを前記表示装置に表示させる
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to any one of claims 1 to 12,
The image composition unit generates a cross-sectional profile at a designated cross section of the sample based on the composite image,
The microscope apparatus, wherein the display control unit causes the display device to display the cross-sectional profile generated by the image synthesis unit.
前記画像取得部の視野は、複数のフィールドで構成され、
前記画像取得部は、前記一連の処理を、前記視野を構成するフィールド毎に繰り返す
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to any one of claims 1 to 13,
The field of view of the image acquisition unit is composed of a plurality of fields,
The microscope apparatus, wherein the image acquisition unit repeats the series of processes for each field constituting the visual field.
前記画像合成部は、前記画像取得部が既に取得した前記複数の二次元画像に基づいて、前記サンプルの微小領域毎に高さデータと当該高さデータの信頼度を示す信頼度データとを生成する
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to claim 1, wherein
The image synthesis unit generates height data and reliability data indicating the reliability of the height data for each minute region of the sample based on the plurality of two-dimensional images already acquired by the image acquisition unit. A microscope apparatus characterized by:
前記表示制御部は、前記信頼度データに応じて前記合成画像の表示を変更する
ことを特徴とする顕微鏡装置。 The microscope apparatus according to claim 15,
The microscope apparatus, wherein the display control unit changes the display of the composite image according to the reliability data.
前記一連の処理を前記顕微鏡装置が終了する前に、生成した前記合成画像を表示装置に表示させる
処理をコンピュータに実行させる画像表示プログラム。 Before the microscope apparatus finishes a series of processes for acquiring a two-dimensional image of the sample in each of a plurality of states in which the relative position of the objective lens of the microscope apparatus with respect to the sample is different in the optical axis direction of the objective lens, the microscope Based on two or more two-dimensional images already acquired by the apparatus, a composite image representing the three-dimensional shape of the sample is generated,
An image display program for causing a computer to execute a process of displaying the generated composite image on a display device before the microscope apparatus ends the series of processes.
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