JP2017130678A - 型押し加工のための構造体スタンプ、装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】構造体スタンプ5がマイクロパターン化またはナノパターン化されたスタンプ面を有するフレキシブルなスタンプ1と、該スタンプを張設するフレーム3とを備え、型押し面に型押しパターンを型押し加工する装置が構造体スタンプを収容しかつ運動させるスタンプ収容部と、構造体スタンプに対向して型押し材料6を収容しかつ配置する型押し材料収容部と、型押しエレメント8を構造体スタンプに沿って運動させる型押しエレメント駆動装置とを備えている。
【選択図】図3
Description
・ マイクロ−および/またはナノコンタクトプリンティング(μ/nCP)
・ レプリカモールディング(REM)
・ マイクロトランスファモールディング(μTM)またはナノインプリントリソグラフィ(NIL)
・ キャピラリ内マイクロモールディング(MIMIC)
・ 溶媒にたすけられたマイクロモールディング(SAMIM)および
・ 位相シフトリソグラフィ。
− スタンプ、特に前で説明したスタンプを収容しかつ運動させるスタンプ収容部と、
− 前記スタンプに対向して型押し材料を収容しかつ配置する型押し材料収容部と、
− 型押しエレメント、特に前で説明したように形成された型押しエレメントを前記スタンプに沿って運動させる型押しエレメント駆動装置と、
を備えていることを特徴とする、型押しパターンを型押し加工する装置が提供される。
− 型押し材料に対向して構造体スタンプ、特に上で説明した構造体スタンプのスタンプのスタンプ面を配置するステップと、
− 前記構造体スタンプに沿ってスタンプを介して型押しエレメントを運動させ、かつこのときに型押し材料をスタンプ面で負荷もしくは加圧することにより型押し材料を型押し加工するステップと、
を備えることを特徴とする、型押しパターンを型押し加工する方法が提供される。
2 スタンプ面
2e ナノ構造体
2o 型押し側
2u 加圧側
3 フレーム
4,4´ 張設条片
5 構造体スタンプ
6,6´ 型押し材料
6o 型押し面
6u 裏側
7 基板
8 型押しエレメント
9,9´ 案内条片
10,10´ 張設側
11 保持フレーム
12 ばね
13 ばねシステム
14 扁平プロファイル
15 扁平プロファイル
16 位置固定手段
E 表面平面
Claims (13)
- 構造体スタンプ(5)であって、
マイクロパターン化またはナノパターン化されたスタンプ面(2)に対応する型押し構造体を型押し面(6o)に型押し加工するための前記マイクロパターン化またはナノパターン化されたスタンプ面(2)有するフレキシブルなスタンプ(1)と、
該スタンプ(1)を張設するフレーム(3)と、
を備えていることを特徴とする構造体スタンプ(5)。 - スタンプ(1)が、前記フレーム(3)の少なくとも2つの互いに反対の側に位置する張設側(10,10´)に、特にばね(12)によってばね付勢されて張設されていて、特に2つの互いに反対の側に配置された2つの張設条片(4,4´)によって張設されている、請求項1記載の構造体スタンプ(5)。
- 前記フレーム(3)が、互いに反対の側に位置するように特に互いに平行に延びる2つの案内条片(9,9´)を有しており、該案内条片(9,9´)は、スタンプフィルム(1)の、前記スタンプ面(2)とは反対の側に配置された加圧側(2u)に沿って型押しエレメント(8)、特に型押しローラを案内するために用いられる、請求項1または2記載の構造体スタンプ(5)。
- スタンプ(1)は、該スタンプ(1)が、型押しエレメント(8)によって、前記フレーム(3)、特に前記案内条片(9,9´)により規定された表面平面(E)を越えて伸長可能となるようにフレキシブルに形成されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の構造体スタンプ。
- スタンプ(1)は、支持体と、該支持体上にモールドまたはホットスタンプされた、特にエラストマ(ただしこれに限定されるものではない)のスタンプ層とから形成されている、請求項1から4までのいずれか1項記載の構造体スタンプ。
- 前記フレーム(3)を、前記フレーム(3)の、前記スタンプ面(2)とは反対の側で収容する保持フレーム(11)が設けられている、請求項1から5までのいずれか1項記載の構造体スタンプ。
- 前記フレーム(3)に沿って案内される型押しエレメント(8)が設けられている、請求項1から6までのいずれか1項記載の構造体スタンプ。
- 前記型押しエレメント(8)は、前記保持フレーム(11)と前記フレーム(3)との間で、特に互いに反対の側に位置する前記張設側(4,4´)に対して平行に、前記型押しエレメント(8)がスタンプフィルム(1)に沿って案内可能となり、かつこのときにスタンプフィルム(1)を型押し力で加圧するように形成されるように案内されている、請求項6または7記載の構造体スタンプ。
- 型押し面(6o)に型押しパターンを型押し加工する装置であって、以下の特徴:
請求項1から8までのいずれか1項記載の構造体スタンプ(5)を収容しかつ運動させるスタンプ収容部と、
前記構造体スタンプ(5)に対向して型押し材料(6)を収容しかつ配置する型押し材料収容部と、
特に請求項3、4、7または8に記載の構成により形成された型押しエレメント(8)を前記構造体スタンプ(5)に沿って運動させる型押しエレメント駆動装置と、
を備えていることを特徴とする、型押しパターンを型押し加工する装置。 - 型押し材料の型押し面に型押しパターンを型押し加工する方法であって、以下のステップ、特に以下のシーケンス:
型押し材料に対向して、請求項1から8までのいずれか1項記載の構造体スタンプのスタンプ面を配置するステップと、
前記構造体スタンプに沿って型押しエレメントを運動させ、かつこのときに型押し材料をスタンプ面で加圧することにより型押し材料を型押し加工するステップと、
を備えることを特徴とする、型押しパターンを型押し加工する方法。 - スタンプをフレキシブルに形成し、該スタンプを、型押しエレメントによる型押し加工時に、前記フレーム、特に前記案内条片によって規定された表面平面を越えて伸長させる、請求項10記載の方法。
- 前記フレームを、そのスタンプ面とは反対の側で保持フレームにより収容する、請求項10または11記載の方法。
- 前記型押しエレメントを、前記保持フレームと前記フレームとの間で、特に互いに反対の側に位置する張設側に対して平行に、スタンプに沿って案内し、かつ該スタンプを型押し力で加圧する、請求項12記載の方法。
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