JP2017120275A - Package, manufacturing method of package, and image display device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a package that can effectively protect the content of a package from humidity.SOLUTION: A package 701 comprises an exterior part 702 and a sealing glass plate 703. The exterior part 702 has an opening 702a for arranging an LCOS element 240 formed in an upper central part and has a rib 702b formed over the entire circumference of the outer peripheral part of a top surface. The sealing glass plate 703 is inserted into a space surrounded by the rib 702b. The gap between an undersurface of the sealing glass plate 703 and the top surface of the exterior part 702 is sealed by a first adhesive 704, and the gap between a side surface of the sealing glass plate 703 and the rib 702b is sealed by a second adhesive 705 having a denser molecular structure than that of the first adhesive 704.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、液晶表示素子を湿度から保護するためのパッケージ、当該パッケージの製造方法および当該パッケージで保護された液晶表示素子を備える画像表示装置に関する。   The present invention relates to a package for protecting a liquid crystal display element from humidity, a method for manufacturing the package, and an image display device including the liquid crystal display element protected by the package.

車載用などの画像表示装置において、光学ユニットから投射される画像表示光を変調する画像表示素子として、反射型の液晶表示素子が知られている。反射型の液晶表示素子を用いた画像表示装置では、液晶表示素子により空間的に変調された変調光を、投射レンズなどを介してスクリーンなどに投射する。特許文献１には、複数の画素電極が設けられた制御基板と、制御基板の主面上に設けられた液晶層と、液晶層の上に設けられた共通電極と、を備える反射型の液晶表示素子が記載されている。共通電極と画素電極との間に加わる印加電圧に応じて液晶分子の配向が変化する。共通電極と画素電極との間に加わる印加電圧を変化させることで液晶表示素子に入射する光源からの光を変調することができる。   2. Description of the Related Art A reflection type liquid crystal display element is known as an image display element that modulates image display light projected from an optical unit in an in-vehicle image display apparatus. In an image display device using a reflective liquid crystal display element, modulated light spatially modulated by the liquid crystal display element is projected onto a screen or the like via a projection lens or the like. Patent Document 1 discloses a reflective liquid crystal including a control substrate provided with a plurality of pixel electrodes, a liquid crystal layer provided on a main surface of the control substrate, and a common electrode provided on the liquid crystal layer. A display element is described. The orientation of the liquid crystal molecules changes according to the applied voltage applied between the common electrode and the pixel electrode. By changing the applied voltage applied between the common electrode and the pixel electrode, the light from the light source incident on the liquid crystal display element can be modulated.

特開２０１５−０５９９７９号公報JP2015-059979A

液晶は吸湿すると映像性能が低下する。このため、反射型の液晶表示素子を画像表示素子として用いる場合、湿度対策が不可欠である。図８は、既存の開発機における、反射型の液晶表示素子としてのＬＣＯＳ素子２４０を湿度から保護するためのパッケージ９０１の概略構成を示す断面図である。図８に示すように、パッケージ９０１は、中央上部にＬＣＯＳ素子２４０を配置するための開口部９０２ａが形成された外装部９０２と、外装部９０２の上面に配置された封止ガラス板９０３と、を備えている。なお、外装部９０２および封止ガラス板９０３において、図の上側の面を上面、下側の面を下面と呼ぶ。光源からの光は封止ガラス板９０３を透過してＬＣＯＳ素子２４０へと入射し（図中矢印Ｃ）、ＬＣＯＳ素子２４０で変調された後、再び封止ガラス板９０３を透過してパッケージ９０１の外に射出される（図中矢印Ｄ）。   When the liquid crystal absorbs moisture, the video performance deteriorates. For this reason, when a reflective liquid crystal display element is used as an image display element, a countermeasure against humidity is indispensable. FIG. 8 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a package 901 for protecting an LCOS element 240 as a reflective liquid crystal display element from humidity in an existing development machine. As shown in FIG. 8, the package 901 includes an exterior part 902 in which an opening 902a for arranging the LCOS element 240 is formed at the center upper part, a sealing glass plate 903 disposed on the upper surface of the exterior part 902, It has. In the exterior portion 902 and the sealing glass plate 903, the upper surface in the drawing is referred to as the upper surface, and the lower surface is referred to as the lower surface. The light from the light source passes through the sealing glass plate 903 and enters the LCOS element 240 (arrow C in the figure). After being modulated by the LCOS element 240, the light passes through the sealing glass plate 903 again and passes through the package 901. Injected outside (arrow D in the figure).

外装部９０２はセラミックス製の部材である。封止ガラス板９０３の下面と外装部９０２の上面との間は接着剤９０４で封止されている。セラミックス、ガラスは湿気を通さないため、湿気がパッケージ９０１内部へ侵入する経路は専ら接着剤９０４の部分からである。   The exterior portion 902 is a ceramic member. A space between the lower surface of the sealing glass plate 903 and the upper surface of the exterior portion 902 is sealed with an adhesive 904. Since ceramics and glass do not allow moisture to pass through, the path through which moisture enters the package 901 is exclusively from the adhesive 904 portion.

開口部９０２ａの開口外周から外装部９０２の外周部までの距離を接着幅Ｗとする。パッケージ９０１の内部に侵入する湿気の量は、接着幅Ｗおよび接着剤９０４の分子構造に依存する。接着幅Ｗが広くなればなるほど湿気が通過し難くなる。また、分子構造が密になればなるほど湿気が通過し難くなる。つまり、パッケージ９０１の耐湿性能を向上させるためには、接着幅Ｗを十分に広くするか、または分子構造が比較的密な接着剤を用いる必要がある。   The distance from the outer periphery of the opening 902a to the outer periphery of the exterior 902 is defined as an adhesive width W. The amount of moisture that penetrates into the package 901 depends on the adhesion width W and the molecular structure of the adhesive 904. As the bonding width W increases, moisture becomes difficult to pass. Also, the denser the molecular structure, the less difficult it is for moisture to pass through. That is, in order to improve the moisture resistance performance of the package 901, it is necessary to make the adhesive width W sufficiently wide or use an adhesive having a relatively dense molecular structure.

分子構造が密な接着剤は、一般的に粘性が低い。接着剤の粘性が低いと接着剤の硬化後に被接着物である封止ガラス板９０３において残留応力が発生する。封止ガラス板９０３の下面と外装部９０２の上面との間の接着によって封止ガラス板９０３に残留応力が発生した場合、封止ガラス板９０３を通過する光は複屈折する。反射型のＬＣＯＳ素子２４０を用いた画像表示装置では、封止ガラス板９０３を通過する光の複屈折を、投影される映像の画質に影響しない程度にまで抑える必要がある。つまり、画像表示装置の高画質化を図るためには、分子構造が比較的粗い（すなわち、粘性が比較的高い）接着剤を用い、封止ガラス板９０３の下面と外装部９０２の上面との間の接着によって封止ガラス板９０３に残留応力が発生するのをできるだけ抑える必要がある。   An adhesive having a dense molecular structure generally has a low viscosity. When the viscosity of the adhesive is low, residual stress is generated in the sealing glass plate 903 that is an adherend after the adhesive is cured. When residual stress is generated in the sealing glass plate 903 due to adhesion between the lower surface of the sealing glass plate 903 and the upper surface of the exterior portion 902, light passing through the sealing glass plate 903 is birefringent. In the image display device using the reflective LCOS element 240, it is necessary to suppress the birefringence of the light passing through the sealing glass plate 903 to such an extent that the image quality of the projected image is not affected. That is, in order to improve the image quality of the image display device, an adhesive having a relatively coarse molecular structure (that is, a relatively high viscosity) is used, and the lower surface of the sealing glass plate 903 and the upper surface of the exterior portion 902 are used. It is necessary to suppress as much as possible the occurrence of residual stress in the sealing glass plate 903 due to the adhesion therebetween.

上述のように、接着剤の特性において、耐湿性能と硬化後に被接着物に生じさせる残留応力とはトレードオフの関係にある。このため、パッケージの封止ガラス板に生じた残留応力に起因した複屈折の発生を抑えようとすると、パッケージの耐湿性能を十分に高めることができないという問題があった。   As described above, in the properties of the adhesive, there is a trade-off relationship between the moisture resistance and the residual stress generated in the adherend after curing. For this reason, when it was going to suppress generation | occurrence | production of the birefringence resulting from the residual stress which arose in the sealing glass plate of a package, there existed a problem that the moisture resistance performance of a package could not fully be improved.

本発明は、以上の背景に鑑みなされたものであり、パッケージの中身を湿度から効果的に保護することができるパッケージを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above background, and an object thereof is to provide a package that can effectively protect the contents of the package from humidity.

上述した課題を解決するために、本発明にかかるパッケージは、光を透過するガラス板と、前記ガラス板に対して下方に配置する外装部とを備え、前記外装部は、前記外装部の上面方向へ開口している開口部が形成されており、前記開口部の上面の外周を囲む突起した形状が形成され、前記ガラス板は、前記突起した形状で囲まれた空間内に挿入され、前記ガラス板の下面と前記外装部の上面との間は第１接着剤で封止され、前記ガラス板の側面と前記突起した形状との間は前記第１接着剤よりも分子構造が密である第２接着剤で封止されたことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, a package according to the present invention includes a glass plate that transmits light and an exterior portion that is disposed below the glass plate, and the exterior portion is an upper surface of the exterior portion. An opening that is open in a direction is formed, a protruding shape surrounding the outer periphery of the upper surface of the opening is formed, and the glass plate is inserted into a space surrounded by the protruding shape, The lower surface of the glass plate and the upper surface of the exterior part are sealed with a first adhesive, and the molecular structure is denser than the first adhesive between the side surface of the glass plate and the protruding shape. Sealed with a second adhesive.

上述した課題を解決するために、本発明にかかるパッケージの製造方法は、光を透過するガラス板と、前記ガラス板に対して下方に配置する外装部を備えるパッケージの製造方法であって、前記外装部の上面方向へ開口している開口部が形成されており、前記開口部の上面の外周を囲む突起した形状が形成された外装部の上面部分に第１接着剤を塗布するステップと、前記突起した形状で囲まれた空間内にガラス板を挿入するステップと、前記第１接着剤を硬化させる処理を行うステップと、前記ガラス板の側面と前記突起した形状との間に前記第１接着剤よりも分子構造が密である第２接着剤を封入するステップと、前記第２接着剤を硬化させる処理を行うステップとを有することを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, a manufacturing method of a package according to the present invention is a manufacturing method of a package including a glass plate that transmits light and an exterior part that is disposed below the glass plate, An opening is formed in the upper surface direction of the exterior part, and a step of applying a first adhesive to the upper surface part of the exterior part formed with a protruding shape surrounding the outer periphery of the upper surface of the opening part; The step of inserting a glass plate into the space surrounded by the protruding shape, the step of curing the first adhesive, and the first surface between the side surface of the glass plate and the protruding shape. The method includes a step of encapsulating a second adhesive having a molecular structure denser than that of the adhesive, and a step of performing a process of curing the second adhesive.

本発明によれば、パッケージの中身を湿度から効果的に保護することができる。   According to the present invention, the contents of the package can be effectively protected from humidity.

ＨＵＤの設置態様について模式的に示す図である。It is a figure which shows typically about the installation aspect of HUD. ＨＵＤ本体の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of a HUD main body. プロジェクションユニットの概略構成について示す図である。It is a figure shown about schematic structure of a projection unit. ＬＣＯＳ素子の構造を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of a LCOS element. 本実施の形態にかかる、反射型の液晶表示素子としてのＬＣＯＳ素子を湿度から保護するためのパッケージの概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the package for protecting the LCOS element as a reflection type liquid crystal display element concerning this Embodiment from humidity. 図５のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the VI-VI line of FIG. 本実施の形態にかかる、反射型の液晶表示素子としてのＬＣＯＳ素子を湿度から保護するためのパッケージの製造方法の処理の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of a process of the manufacturing method of the package for protecting the LCOS element as a reflection-type liquid crystal display element concerning this Embodiment from humidity. 既存の開発機における、反射型の液晶表示素子を湿度から保護するためのパッケージの概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of the package for protecting a reflective liquid crystal display element from humidity in the existing development machine.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
本実施の形態にかかる、反射型の液晶表示素子としてのＬＣＯＳ素子（Ｌｉｑｕｉｄ ｃｒｙｓｔａｌ ｏｎ ｓｉｌｉｃｏｎ）を湿気から保護するパッケージについて説明する前に、ＬＣＯＳ素子を備えた画像表示装置としてのヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ：Ｈｅａｄ−Ｕｐ Ｄｉｓｐｌａｙ）の概略構成について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
Before describing a package for protecting an LCOS element (Liquid crystal on silicon) as a reflective liquid crystal display element according to the present embodiment from moisture, a head-up display (HUD) as an image display apparatus including the LCOS element will be described. : Head-Up Display) will be described.

図１は、ＨＵＤ１０の設置態様について模式的に示す図である。図１に示すように、ＨＵＤ１０は車両のダッシュボードを利用して設置されている。ＨＵＤ１０は、ＨＵＤ本体１００と、制御装置５０と、を含む。制御装置５０はＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などを備え、ＨＵＤ本体１００に表示させるための画像信号を生成する。ＨＵＤ本体１００は、制御装置５０が生成した画像信号をもとに、ウィンドウシールド４１０に虚像４５０として表示させる画像表示光を生成する。   FIG. 1 is a diagram schematically showing an installation mode of the HUD 10. As shown in FIG. 1, the HUD 10 is installed using a dashboard of a vehicle. The HUD 10 includes a HUD main body 100 and a control device 50. The control device 50 includes a CPU (Central Processing Unit) and the like, and generates an image signal to be displayed on the HUD main body 100. The HUD main body 100 generates image display light to be displayed as a virtual image 450 on the window shield 410 based on the image signal generated by the control device 50.

ＨＵＤ１０では、車外から入る光を透過すると共に、車内に配置されたＨＵＤ本体１００から投射された画像を車両のウィンドウシールド４１０に反射させる。ウィンドウシールド４１０に反射された光は運転者の目Ｅに入ることとなる。これにより、運転者はウィンドウシールド４１０越しに虚像４５０を見ることができる。走行速度や交差点における右左折の指示といった運転補助情報を虚像４５０として表示させることで、車外の景色を視認している運転者は視線や焦点をほとんど変化させることなく運転補助情報を認識することができる。   The HUD 10 transmits light that enters from the outside of the vehicle and reflects an image projected from the HUD main body 100 disposed in the vehicle to the window shield 410 of the vehicle. The light reflected by the window shield 410 enters the driver's eyes E. As a result, the driver can see the virtual image 450 through the window shield 410. By displaying driving assistance information such as the driving speed and instructions for turning left and right at the intersection as a virtual image 450, a driver who is viewing the scenery outside the vehicle can recognize the driving assistance information with almost no change in the line of sight or focus. it can.

図２は、ＨＵＤ本体１００の概略構成を示す図である。図２に示すように、ＨＵＤ本体１００は、プロジェクションユニット２１０と、折り返しミラー３５０と、中間像形成部３６０と、凹面鏡４００と、筐体１１０と、を備えている。プロジェクションユニット２１０は、光源としての発光ダイオード（ＬＥＤ）、液晶表示素子としてのＬＣＯＳ素子、各種光学レンズなどを備え、制御装置５０（図１参照）が出力した画像信号に基づいて画像表示光を生成し投射する。なお、プロジェクションユニット２１０の概略構成については後述する。   FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of the HUD main body 100. As shown in FIG. 2, the HUD main body 100 includes a projection unit 210, a folding mirror 350, an intermediate image forming unit 360, a concave mirror 400, and a housing 110. The projection unit 210 includes a light emitting diode (LED) as a light source, an LCOS element as a liquid crystal display element, various optical lenses, and the like, and generates image display light based on an image signal output from the control device 50 (see FIG. 1). Then project. The schematic configuration of the projection unit 210 will be described later.

折り返しミラー３５０は、プロジェクションユニット２１０から投射された画像表示光を中間像形成部３６０へと反射する。中間像形成部３６０は、折り返しミラー３５０で反射された画像表示光を中間像として結像するものである。凹面鏡４００は、中間像形成部３６０を透過した画像表示光を適切な大きさに拡大しウィンドウシールド４１０（図１参照）に投影するものである。筐体１１０は、プロジェクションユニット２１０、折り返しミラー３５０、中間像形成部３６０、凹面鏡４００などの部品を固定するものである。なお、筐体１１０は、車両のダッシュボードである。   The folding mirror 350 reflects the image display light projected from the projection unit 210 to the intermediate image forming unit 360. The intermediate image forming unit 360 forms image display light reflected by the folding mirror 350 as an intermediate image. The concave mirror 400 enlarges the image display light transmitted through the intermediate image forming unit 360 to an appropriate size and projects it onto the window shield 410 (see FIG. 1). The housing 110 fixes components such as the projection unit 210, the folding mirror 350, the intermediate image forming unit 360, and the concave mirror 400. The housing 110 is a vehicle dashboard.

図３は、プロジェクションユニット２１０の概略構成について示す図である。図３に示すように、プロジェクションユニット２１０は、ＬＥＤ光学ユニット２３０ａ、ＬＥＤ光学ユニット２３０ｂ、ＬＥＤ光学ユニット２３０ｃ（以下、これらを総称してＬＥＤ光学ユニット２３０ともいう）、合成プリズム２４４、反射鏡２３６、フィールドレンズ２３７、ＬＣＯＳ素子２４０、偏光ビームスプリッタ２３８、位相差板２３９、検光子２４１、及び投射レンズ群２４２を備える。   FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of the projection unit 210. As shown in FIG. 3, the projection unit 210 includes an LED optical unit 230a, an LED optical unit 230b, an LED optical unit 230c (hereinafter collectively referred to as the LED optical unit 230), a combining prism 244, a reflecting mirror 236, A field lens 237, an LCOS element 240, a polarizing beam splitter 238, a phase difference plate 239, an analyzer 241, and a projection lens group 242 are provided.

ＬＥＤ光学ユニット２３０は、内部にＬＥＤを有し、ＬＥＤが発する光を合成プリズム２４４へと効率よく導くためのユニットである。なお、ＬＥＤ光学ユニット２３０ａは赤色（Ｒ）のＬＥＤを、ＬＥＤ光学ユニット２３０ｂは緑色（Ｇ）のＬＥＤを、ＬＥＤ光学ユニット２３０ｃは青色（Ｂ）のＬＥＤを、それぞれ有する。   The LED optical unit 230 has a LED inside, and is a unit for efficiently guiding light emitted from the LED to the combining prism 244. The LED optical unit 230a has a red (R) LED, the LED optical unit 230b has a green (G) LED, and the LED optical unit 230c has a blue (B) LED.

合成プリズム２４４は、ＬＥＤ光学ユニット２３０ａ、ＬＥＤ光学ユニット２３０ｂ、ＬＥＤ光学ユニット２３０ｃから入射するＲＧＢの三色を合成して白色光とし、光路を1つにして反射鏡２３６へと射出する光学部品である。反射鏡２３６では、合成プリズム２４４からの白色光の光路を９０度変更する。フィールドレンズ２３７では、反射鏡２３６によって反射された光を集光してＬＣＯＳ素子２４０へと射出する。   The combining prism 244 is an optical component that combines the three colors of RGB incident from the LED optical unit 230a, the LED optical unit 230b, and the LED optical unit 230c into white light and emits it to the reflecting mirror 236 with a single optical path. is there. The reflecting mirror 236 changes the optical path of white light from the combining prism 244 by 90 degrees. In the field lens 237, the light reflected by the reflecting mirror 236 is collected and emitted to the LCOS element 240.

ＬＣＯＳ素子２４０は、入力信号に応じて液晶に電圧を加え、入射する光の偏光状態を変調するものである。ＬＣＯＳ素子２４０は、画素毎にＲ、ＧおよびＢのカラーフィルタを備えている。なお、ＬＣＯＳ素子２４０の構造については後述する。ＬＣＯＳ素子２４０に照射された光は、各画素に対応する色となり、ＬＣＯＳ素子２４０の備える液晶組成物によって変調が施され、位相差板２３９を介して偏光ビームスプリッタ２３８に向けて射出される。位相差板２３９は、ＬＣＯＳ素子２４０で黒色の光に変調させたときに、液晶層２７８の透過により生じたＳ偏光成分を除去するためのものである。つまり、位相差板２３９は、Ｓ偏光の残留による光漏れを抑制し画質を向上させるためのものである。   The LCOS element 240 applies a voltage to the liquid crystal according to an input signal and modulates the polarization state of incident light. The LCOS element 240 includes R, G, and B color filters for each pixel. The structure of the LCOS element 240 will be described later. The light applied to the LCOS element 240 has a color corresponding to each pixel, is modulated by the liquid crystal composition included in the LCOS element 240, and is emitted toward the polarization beam splitter 238 through the phase difference plate 239. The phase difference plate 239 is for removing the S-polarized light component generated by the transmission of the liquid crystal layer 278 when modulated to black light by the LCOS element 240. That is, the phase difference plate 239 is for suppressing light leakage due to residual S-polarized light and improving image quality.

偏光ビームスプリッタ２３８は、ＬＣＯＳ素子２４０で変調された画像表示光の光路を投射レンズ群２４２の方に変えるものである。Ｐ偏光となってＬＣＯＳ素子２４０に入射した光は、ＬＣＯＳ素子２４０で変調され、Ｓ偏光の画像表示光となって偏光ビームスプリッタ２３８に射出される。偏光ビームスプリッタ２３８は、入射した光のＰ偏光成分を透過しＳ偏光成分を反射するので、入射したＳ偏光の画像表示光を投射レンズ群２４２の方に反射する。   The polarization beam splitter 238 changes the optical path of the image display light modulated by the LCOS element 240 toward the projection lens group 242. The light that has entered the LCOS element 240 as P-polarized light is modulated by the LCOS element 240 and is emitted to the polarization beam splitter 238 as S-polarized image display light. Since the polarization beam splitter 238 transmits the P-polarized component of the incident light and reflects the S-polarized component, it reflects the incident S-polarized image display light toward the projection lens group 242.

偏光ビームスプリッタ２３８で反射された光は、検光子２４１を通過した後に投射レンズ群２４２へと入射する。投射レンズ群２４２は、ＬＣＯＳ素子２４０からの画像表示光を中間像へ拡大、結像させるためのレンズ群である。投射レンズ群２４２を透過した画像表示光は、さらに折り返しミラー３５０に入射する。   The light reflected by the polarization beam splitter 238 enters the projection lens group 242 after passing through the analyzer 241. The projection lens group 242 is a lens group for enlarging and forming the image display light from the LCOS element 240 into an intermediate image. The image display light transmitted through the projection lens group 242 further enters the folding mirror 350.

図４は、ＬＣＯＳ素子２４０の構造を模式的に示す図である。ＬＣＯＳ素子２４０は、透明基板２７４、共通電極２７６、液晶層２７８、制御基板２８０、複数の画素電極２８２、を備える。透明基板２７４は、ガラスなどで構成される透明な平板である。透明基板２７４の、制御基板２８０に対向する面には、共通電極２７６が設けられている。共通電極２７６は、透明導電性酸化物（ＴＣＯ）により形成される透明電極層である。共通電極２７６には、制御装置５０（図１参照）からの制御信号に基づいて電圧が印加される。   FIG. 4 is a diagram schematically showing the structure of the LCOS element 240. The LCOS element 240 includes a transparent substrate 274, a common electrode 276, a liquid crystal layer 278, a control substrate 280, and a plurality of pixel electrodes 282. The transparent substrate 274 is a transparent flat plate made of glass or the like. A common electrode 276 is provided on the surface of the transparent substrate 274 facing the control substrate 280. The common electrode 276 is a transparent electrode layer formed of a transparent conductive oxide (TCO). A voltage is applied to the common electrode 276 based on a control signal from the control device 50 (see FIG. 1).

制御基板２８０は、シリコンなどの半導体基板で構成され、制御装置５０からの制御信号に基づいてそれぞれの画素電極２８２に印加する電圧を制御する。画素電極２８２は、アルミニウムなどの可視光の反射率が高い金属材料で構成される。画素電極２８２は、制御基板２８０の面上にマトリックス状に配列されている。   The control substrate 280 is made of a semiconductor substrate such as silicon, and controls the voltage applied to each pixel electrode 282 based on a control signal from the control device 50. The pixel electrode 282 is made of a metal material having high visible light reflectance such as aluminum. The pixel electrodes 282 are arranged in a matrix on the surface of the control substrate 280.

液晶層２７８は、共通電極２７６と制御基板２８０との間に封止され、ＬＣＯＳ素子２４０に入射した光（図中矢印Ａ）の偏光方向を回転させる液晶分子を有する。液晶層２７８では、共通電極２７６と画素電極２８２との間に加わる印加電圧ＶＬＣに応じて液晶分子の配向が変化する。Ｐ偏光となってＬＣＯＳ素子２４０に入射した光の一部は、配向が変化した液晶分子により偏光方向が回転される。このため、ＬＣＯＳ素子２４０から射出される光（図中矢印Ｂ）にはＳ偏光成分が含まれる。ＬＣＯＳ素子２４０から射出される光におけるＳ偏光成分の割合は、印加電圧ＶＬＣを変えることにより変化させることができる。つまり、印加電圧ＶＬＣを変えることにより投射レンズ群２４２（図３参照）に射出される画像表示光の明るさを変えることができる。   The liquid crystal layer 278 is sealed between the common electrode 276 and the control substrate 280 and includes liquid crystal molecules that rotate the polarization direction of the light (arrow A in the figure) incident on the LCOS element 240. In the liquid crystal layer 278, the orientation of liquid crystal molecules changes according to the applied voltage VLC applied between the common electrode 276 and the pixel electrode 282. The polarization direction of a part of the light incident on the LCOS element 240 as P-polarized light is rotated by the liquid crystal molecules whose orientation has changed. For this reason, the light emitted from the LCOS element 240 (arrow B in the figure) contains an S-polarized component. The ratio of the S-polarized component in the light emitted from the LCOS element 240 can be changed by changing the applied voltage VLC. That is, the brightness of the image display light emitted to the projection lens group 242 (see FIG. 3) can be changed by changing the applied voltage VLC.

ここで、本実施の形態にかかる、反射型の液晶表示素子としてのＬＣＯＳ素子を湿気から保護するパッケージについて説明する。
図５は、本実施の形態にかかる、反射型の液晶表示素子としてのＬＣＯＳ素子２４０を湿度から保護するためのパッケージ７０１の概略構成を示す斜視図である。また、図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。 Here, a package for protecting the LCOS element as a reflective liquid crystal display element from moisture according to the present embodiment will be described.
FIG. 5 is a perspective view showing a schematic configuration of a package 701 for protecting the LCOS element 240 as a reflective liquid crystal display element from humidity according to the present embodiment. 6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI in FIG.

図５および図６に示すように、パッケージ７０１は、外装部７０２と、封止ガラス板７０３と、を備えている。なお、外装部７０２および封止ガラス板７０３において、図の上側の面を上面、下側の面を下面と呼ぶ。外装部７０２は、例えばセラミックス製の部材である。外装部７０２は、中央上部にはＬＣＯＳ素子２４０を配置するために、中央に上面方向へ開口している開口部７０２ａが形成され開口部７０２ａの上面の外周（詳細には図５及び図６に示す７０２ｃである開口部の縁）を囲むリブ７０２ｂが形成されている。リブ７０２ｂは、封止ガラス板７０３を設置するために設けられている。リブ７０２ｂは、理想的には、外装部７０２の上面に対して直角になるように設けられた突起した形状であるが、直角でなくもともよい。また、リブ７０２ｂは、外装部７０２を成形することで一体として形成されていてもよく、外装部７０２に突起した部材を取り付けることで形成されてもよい。封止ガラス板７０３は、リブ７０２ｂで囲まれた空間内に挿入されている。封止ガラス板７０３は、精密部品であるＬＣＯＳ素子２４０が外気又は湿気触れないために用いる。封止ガラス板７０３は、光の短波長と透過する高い透過性及び熱に強い耐熱性を有するガラス板が好ましく、例えば合成石英ガラスやホウケイ酸塩ガラスなどである。   As shown in FIGS. 5 and 6, the package 701 includes an exterior part 702 and a sealing glass plate 703. In the exterior portion 702 and the sealing glass plate 703, the upper surface in the drawing is referred to as the upper surface, and the lower surface is referred to as the lower surface. The exterior part 702 is, for example, a ceramic member. The exterior portion 702 has an opening 702a that opens in the upper surface direction in the center in order to place the LCOS element 240 at the center upper portion, and the outer periphery of the upper surface of the opening 702a (see FIGS. 5 and 6 for details) A rib 702b is formed surrounding the edge of the opening 702c shown in FIG. The rib 702b is provided for installing the sealing glass plate 703. Ideally, the rib 702b has a protruding shape provided so as to be perpendicular to the upper surface of the exterior portion 702, but may not be perpendicular. Further, the rib 702b may be integrally formed by molding the exterior portion 702, or may be formed by attaching a protruding member to the exterior portion 702. The sealing glass plate 703 is inserted into a space surrounded by the ribs 702b. The sealing glass plate 703 is used so that the LCOS element 240 which is a precision component does not come into contact with outside air or moisture. The sealing glass plate 703 is preferably a glass plate having a short wavelength of light and a high transmittance that transmits light and heat resistance that is strong against heat, such as synthetic quartz glass or borosilicate glass.

図６に示すように、封止ガラス板７０３の下面と外装部７０２の上面との間は第１接着剤７０４で封止されている。また、封止ガラス板７０３の側面とリブ７０２ｂとの間は第１接着剤７０４よりも分子構造が密である第２接着剤７０５で封止されている。パッケージ７０１内において、ＬＣＯＳ素子２４０は、ＬＣＯＳ素子２４０の透明基板２７４（図４参照）が封止ガラス板７０３の下面と対向するように、外装部７０２における開口部７０２ａの底面に固定される。光は、封止ガラス板７０３を透過してＬＣＯＳ素子２４０に入射し（図中矢印Ｃ）、ＬＣＯＳ素子２４０で変調された後、再び封止ガラス板７０３を透過してパッケージ７０１の外に射出される（図中矢印Ｄ）。   As shown in FIG. 6, the first adhesive 704 is sealed between the lower surface of the sealing glass plate 703 and the upper surface of the exterior portion 702. Further, the side surface of the sealing glass plate 703 and the rib 702 b are sealed with a second adhesive 705 having a molecular structure denser than that of the first adhesive 704. In the package 701, the LCOS element 240 is fixed to the bottom surface of the opening 702a in the exterior portion 702 such that the transparent substrate 274 (see FIG. 4) of the LCOS element 240 faces the lower surface of the sealing glass plate 703. The light passes through the sealing glass plate 703 and enters the LCOS element 240 (arrow C in the figure). After being modulated by the LCOS element 240, the light passes through the sealing glass plate 703 again and is emitted outside the package 701. (Arrow D in the figure).

第１接着剤７０４は、例えばＵＶ光と熱によって硬化するエポキシ樹脂系の材料で構成されている。また、第１接着剤７０４には、スペーサボールが適量添加されている。本実施形態において、スペーサボールは物体同士を接着させた際に、物体同士に挟まれる接着剤の厚みを所定の幅に保つために用いるボールである。スペーサボールは、例えばＳｉＯ２からなる球状の物体である。スペーサボールは、ある程度の硬度が必要とされるため、結晶状態が密であり、第１接着剤７０４よりも透湿性は低い。第１接着剤７０４にスペーサボールが添加されていると、外装部７０２の上面と封止ガラス板７０３の下面との間にスペーサボールが挟まれるので、第１接着剤７０４の厚さをスペーサボールの直径程度に制御することができる。例えば、封止ガラス板７０３が、３０ｍｍ角で厚さ１ｍｍである場合、第１接着剤７０４の厚さは１０μｍ程度にする必要がある。第１接着剤７０４の厚さを１０μｍ程度にするためには、直径１０μｍ程度のスペーサボールを添加すればよい。なお、封止ガラス板７０３が、３０ｍｍ角で厚さ１ｍｍである場合に、封止ガラス板７０３が第１接着剤７０４によって接着されている部分の幅（接着幅Ｗ１）は５ｍｍ程度である。 The first adhesive 704 is made of, for example, an epoxy resin material that is cured by UV light and heat. A suitable amount of spacer balls is added to the first adhesive 704. In the present embodiment, the spacer ball is a ball used to keep the thickness of the adhesive sandwiched between the objects at a predetermined width when the objects are bonded together. The spacer ball is a spherical object made of, for example, SiO 2 . Since the spacer ball needs a certain degree of hardness, the crystallized state is dense, and the moisture permeability is lower than that of the first adhesive 704. When the spacer ball is added to the first adhesive 704, the spacer ball is sandwiched between the upper surface of the exterior portion 702 and the lower surface of the sealing glass plate 703. Therefore, the thickness of the first adhesive 704 is set to the spacer ball. Can be controlled to about the diameter of. For example, when the sealing glass plate 703 is 30 mm square and 1 mm thick, the thickness of the first adhesive 704 needs to be about 10 μm. In order to make the thickness of the first adhesive 704 about 10 μm, a spacer ball having a diameter of about 10 μm may be added. When the sealing glass plate 703 is 30 mm square and 1 mm thick, the width (adhesion width W1) of the portion where the sealing glass plate 703 is bonded by the first adhesive 704 is about 5 mm.

外装部７０２の材料であるセラミックス、および封止ガラス板７０３の材料であるガラスは湿気を通さない。このため、湿気がパッケージ７０１内部へ侵入する経路は、第１接着剤７０４および第２接着剤７０５の部分からである。すなわち、パッケージ７０１の外部の湿気は、まず第２接着剤７０５を通過し（図中矢印Ｐ）、続いて第１接着剤７０４を通過して（図中矢印Ｑ）、パッケージ７０１の内部に侵入する。   The ceramic that is the material of the exterior portion 702 and the glass that is the material of the sealing glass plate 703 are impermeable to moisture. For this reason, the path through which moisture enters the package 701 is from the first adhesive 704 and the second adhesive 705. That is, moisture outside the package 701 first passes through the second adhesive 705 (arrow P in the figure), then passes through the first adhesive 704 (arrow Q in the figure) and enters the inside of the package 701. To do.

接着剤の特性として、分子構造が密になればなるほど湿気が通過し難くなる。一方、接着剤の分子構造が密になると、一般的に粘性は低くなる。封止ガラス板７０３の下面と外装部７０２の上面との間の接着において粘性が比較的低い接着剤を用いると、接着剤の硬化後に封止ガラス板７０３に大きな残留応力を生じさせる。封止ガラス板７０３に残留応力が生じると、封止ガラス板７０３の、上面および下面を通過する光が複屈折されるので投影される映像の画質に悪影響を及ぼす。封止ガラス板７０３に残留応力が発生するのをできるだけ抑えるため、第１接着剤７０４には、分子構造が比較的粗い（すなわち、粘性が比較的高い）ものを用いる。第１接着剤７０４の粘度（硬さ）は、例えば米国材料試験協会規格ＡＳＴＭ Ｄ ２２４０のタイプＡ（中硬さ用）のデュロメータ(Ｄｕｒｏｍｅｔｅｒ)において２０である。   As a characteristic of the adhesive, moisture becomes difficult to pass as the molecular structure becomes denser. On the other hand, when the molecular structure of the adhesive becomes dense, the viscosity generally decreases. When an adhesive having a relatively low viscosity is used for bonding between the lower surface of the sealing glass plate 703 and the upper surface of the exterior portion 702, a large residual stress is generated in the sealing glass plate 703 after the adhesive is cured. When residual stress is generated in the sealing glass plate 703, the light passing through the upper surface and the lower surface of the sealing glass plate 703 is birefringent, which adversely affects the image quality of the projected image. In order to suppress the occurrence of residual stress in the sealing glass plate 703 as much as possible, the first adhesive 704 has a relatively coarse molecular structure (that is, a relatively high viscosity). The viscosity (hardness) of the first adhesive 704 is, for example, 20 in a Durometer of Type A (for medium hardness) of the American Society for Testing and Materials Standard ASTM D 2240.

一方、第２接着剤７０５には、第１接着剤７０４と比べて分子構造が密なもの（すなわち、第１接着剤７０４と比べて粘性が低いもの）を用いる。第２接着剤７０５の粘度（硬さ）は、例えばＡＳＴＭ Ｄ ２２４０のタイプＤ（高硬さ用）のデュロメータにおいて８４である。封止ガラス板７０３の側面とリブ７０２ｂとの間を接着する接着剤として粘性が比較的低いものを用いると、封止ガラス板７０３の側面において残留応力が発生する。封止ガラス板７０３において、残留応力が生じる位置が中央部に近ければ近いほど、封止ガラス板７０３の上面および下面を通過する光が複屈折されやすくなる。封止ガラス板７０３の側面は、封止ガラス板７０３の中央部から最も遠い位置にある。また、封止ガラス板７０３の側面は、封止ガラス板７０３の下面における第１接着剤７０４によって接着されている部分よりも総面積が小さい。このため、封止ガラス板７０３の側面に残留応力が発生しても、封止ガラス板７０３の上面および下面を通過する光はほとんど複屈折されないので投影される映像の画質にほとんど悪影響を及ぼさない。   On the other hand, as the second adhesive 705, one having a dense molecular structure compared to the first adhesive 704 (that is, one having a lower viscosity than the first adhesive 704) is used. The viscosity (hardness) of the second adhesive 705 is 84 in a durometer of type D (for high hardness) of ASTM D 2240, for example. If an adhesive having a relatively low viscosity is used as an adhesive for bonding between the side surface of the sealing glass plate 703 and the rib 702b, residual stress is generated on the side surface of the sealing glass plate 703. In the sealing glass plate 703, the closer the position where the residual stress is generated to the central portion, the more easily light passing through the upper and lower surfaces of the sealing glass plate 703 is birefringent. The side surface of the sealing glass plate 703 is located farthest from the central portion of the sealing glass plate 703. Further, the side surface of the sealing glass plate 703 has a smaller total area than the portion of the lower surface of the sealing glass plate 703 bonded by the first adhesive 704. For this reason, even if residual stress is generated on the side surface of the sealing glass plate 703, light passing through the upper and lower surfaces of the sealing glass plate 703 is hardly birefringent, so that the image quality of the projected image is hardly adversely affected. .

第２接着剤７０５として、第１接着剤７０４と比べて分子構造が密なもの（すなわち、第１接着剤７０４と比べて粘性が低いもの）を用いると、パッケージ７０１の外部の湿気は第２接着剤７０５を通過し難くなる。これにより、パッケージ７０１の内部に湿気が侵入し難くすることができる。   When a second adhesive 705 having a dense molecular structure compared to the first adhesive 704 (that is, a material having a lower viscosity than the first adhesive 704) is used, the humidity outside the package 701 is second. It becomes difficult to pass through the adhesive 705. This makes it difficult for moisture to enter the package 701.

上述したスペーサボールを第２接着剤７０５に添加してもよい。スペーサボールは、ある程度の硬度を必要とするので結晶状態が密であり、第２接着剤７０５よりも透湿性が低い。第２接着剤７０５の厚さを制御する必要はないが、スペーサボールは第２接着剤７０５よりも透湿性が低いため、スペーサボールを第２接着剤７０５に添加することで、第２接着剤７０５の透湿性をより低くすることができる。   The spacer balls described above may be added to the second adhesive 705. Since the spacer ball requires a certain degree of hardness, the crystal state is dense, and the moisture permeability is lower than that of the second adhesive 705. Although it is not necessary to control the thickness of the second adhesive 705, the spacer ball has lower moisture permeability than the second adhesive 705, so that the second adhesive can be added by adding the spacer ball to the second adhesive 705. The moisture permeability of 705 can be further reduced.

また、第２接着剤７０５に添加するスペーサボールの量を第１接着剤７０４に添加するスペーサボールの量より多くしてもよい。スペーサボールを添加すると接着性能が落ちる。外装部７０２と封止ガラス板７０３との間を接着する第１接着剤７０４には十分な接着性能が求められるため、第１接着剤７０４に添加するスペーサボールの量はあまり増やすことができない。これに対し、封止ガラス板７０３とリブ７０２ｂとの間を接着する第２接着剤７０５には、第１接着剤７０４ほどの接着性能は要求されない。第２接着剤７０５に添加するスペーサボールの量を第１接着剤７０４に添加するスペーサボールの量より多くすることで第２接着剤７０５の透湿性がより低くなるので、パッケージ７０１の内部への湿気の侵入をより抑制することができる。   Further, the amount of spacer balls added to the second adhesive 705 may be larger than the amount of spacer balls added to the first adhesive 704. When spacer balls are added, the bonding performance is lowered. Since sufficient adhesive performance is required for the first adhesive 704 for bonding between the exterior portion 702 and the sealing glass plate 703, the amount of spacer balls added to the first adhesive 704 cannot be increased so much. On the other hand, the second adhesive 705 that bonds between the sealing glass plate 703 and the rib 702b is not required to have the same adhesive performance as the first adhesive 704. Since the amount of the spacer ball added to the second adhesive 705 is larger than the amount of the spacer ball added to the first adhesive 704, the moisture permeability of the second adhesive 705 becomes lower. Invasion of moisture can be further suppressed.

また、本実施形態では、封止ガラス板７０３の上面及び下面の形が四角形である場合について説明しているが、封止ガラス板７０３の上面及び下面の形は円形、三角形、又は多角形でもよい。その場合には、上述の封止ガラス板７０３がリブ７０２ｂで囲まれた空間内に挿入できるように、リブ７０２ｂを形成すればよい。   In this embodiment, the case where the shape of the upper surface and the lower surface of the sealing glass plate 703 is a quadrangle is described, but the shape of the upper surface and the lower surface of the sealing glass plate 703 may be a circle, a triangle, or a polygon. Good. In that case, the rib 702b may be formed so that the sealing glass plate 703 described above can be inserted into a space surrounded by the rib 702b.

次に、パッケージ７０１の製造方法について以下で説明する。
図７は、パッケージ７０１の製造方法の処理の流れを示すフローチャートである。図７に示すように、まず、外装部７０２の上面部分に第１接着剤７０４を塗布する（ステップＳ１）。次に、リブ７０２ｂで囲まれた空間内に封止ガラス板７０３を挿入する（ステップＳ２）。 Next, a method for manufacturing the package 701 will be described below.
FIG. 7 is a flowchart showing a processing flow of the manufacturing method of the package 701. As shown in FIG. 7, first, the first adhesive 704 is applied to the upper surface portion of the exterior portion 702 (step S1). Next, the sealing glass plate 703 is inserted into the space surrounded by the ribs 702b (step S2).

ステップＳ２に続いて、第１接着剤７０４を硬化させる処理を行う（ステップＳ３）。第１接着剤７０４を硬化させる処理は、具体的には、まず、外装部７０２に対する封止ガラス板７０３の位置決めをした状態で、第１接着剤７０４にＵＶ光を照射し第１接着剤７０４を仮硬化させる。そして、加熱炉にて熱を加えて第１接着剤７０４を本硬化させる。   Subsequent to step S2, a process of curing the first adhesive 704 is performed (step S3). Specifically, the first adhesive 704 is cured by first irradiating the first adhesive 704 with UV light in a state where the sealing glass plate 703 is positioned with respect to the exterior portion 702. Is temporarily cured. Then, heat is applied in a heating furnace to fully cure the first adhesive 704.

ステップＳ３に続いて、封止ガラス板７０３の側面とリブ７０２ｂとの間に第２接着剤７０５を封入する（ステップＳ４）。続いて、第２接着剤７０５を硬化させる処理を行う（ステップＳ５）。なお、第２接着剤７０５を硬化させる処理では、外装部７０２に対する封止ガラス板７０３の位置決めは既になされているので、ＵＶ光の照射による仮硬化の処理は必要なく、はじめから加熱炉で熱を加えて第２接着剤７０５を本硬化させる。   Subsequent to step S3, the second adhesive 705 is sealed between the side surface of the sealing glass plate 703 and the rib 702b (step S4). Then, the process which hardens the 2nd adhesive agent 705 is performed (step S5). In the process of curing the second adhesive 705, the sealing glass plate 703 has already been positioned with respect to the exterior portion 702, and therefore, the provisional curing process by irradiation with UV light is not necessary, and heat is applied in the heating furnace from the beginning. Is added to fully cure the second adhesive 705.

以上より、本発明にかかるパッケージでは、複屈折の発生を抑えつつ液晶表示素子を湿度から保護することができる。   As described above, in the package according to the present invention, the liquid crystal display element can be protected from humidity while suppressing the occurrence of birefringence.

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention.

２４０ ＬＣＯＳ素子
７０１ パッケージ
７０２ 外装部
７０２ａ 開口部
７０２ｂ リブ
７０３ 封止ガラス板
７０４ 第１接着剤
７０５ 第２接着剤 240 LCOS element 701 package 702 exterior 702a opening 702b rib 703 sealing glass plate 704 first adhesive 705 second adhesive

Claims (6)

光を透過するガラス板と、
前記ガラス板に対して下方に配置する外装部と、を備え、
前記外装部は、前記外装部の上面方向へ開口している開口部が形成されており、前記開口部の上面の外周を囲む突起した形状が形成され、
前記ガラス板は、前記突起した形状で囲まれた空間内に挿入され、
前記ガラス板の下面と前記外装部の上面との間は第１接着剤で封止され、前記ガラス板の側面と前記突起した形状との間は前記第１接着剤よりも分子構造が密である第２接着剤で封止された、
ことを特徴とするパッケージ。 A glass plate that transmits light;
An exterior part disposed below the glass plate,
The exterior part is formed with an opening that is open in the upper surface direction of the exterior part, and a protruding shape surrounding the outer periphery of the upper surface of the opening part is formed,
The glass plate is inserted into a space surrounded by the protruding shape,
Between the lower surface of the glass plate and the upper surface of the exterior part is sealed with a first adhesive, and the molecular structure is denser than the first adhesive between the side surface of the glass plate and the protruding shape. Sealed with a second adhesive,
Package characterized by that. 前記第１接着剤および前記第２接着剤には、前記第１接着剤および前記第２接着剤よりも透湿性が低い材料からなるボールが添加されている、請求項１に記載のパッケージ。   The package according to claim 1, wherein a ball made of a material having a moisture permeability lower than that of the first adhesive and the second adhesive is added to the first adhesive and the second adhesive. 前記第２接着剤に添加されたボールの量は、前記第１接着剤に添加されたボールの量よりも多い、請求項２に記載のパッケージ。   The package of claim 2, wherein the amount of balls added to the second adhesive is greater than the amount of balls added to the first adhesive. 請求項１〜３のいずれか一項に記載のパッケージを備える画像表示装置であって、
光源と、
表示させるための画像信号を生成する制御装置と、
前記パッケージの前記開口部に配置された液晶表示素子と、
前記画像信号に基づき、前記液晶表示素子によって、前記光源から射出された光を変調した光を外部に投射する投射レンズと、
を備えることを特徴とする画像表示装置。 An image display device comprising the package according to any one of claims 1 to 3,
A light source;
A control device for generating an image signal for display;
A liquid crystal display element disposed in the opening of the package;
Based on the image signal, the liquid crystal display element, and a projection lens that projects the light modulated from the light emitted from the light source to the outside,
An image display device comprising: 光を透過するガラス板と、前記ガラス板に対して下方に配置する外装部を備えるパッケージの製造方法であって、
前記外装部の上面方向へ開口している開口部が形成されており、前記開口部の上面の外周を囲む突起した形状が形成された外装部の上面部分に第１接着剤を塗布するステップと、
前記突起した形状で囲まれた空間内にガラス板を挿入するステップと、
前記第１接着剤を硬化させる処理を行うステップと、
前記ガラス板の側面と前記突起した形状との間に前記第１接着剤よりも分子構造が密である第２接着剤を封入するステップと、
前記第２接着剤を硬化させる処理を行うステップと、
を有することを特徴とするパッケージの製造方法。 A manufacturing method of a package comprising a glass plate that transmits light, and an exterior part that is disposed below the glass plate,
A first adhesive is applied to the upper surface portion of the exterior portion in which an opening that is open toward the upper surface of the exterior portion is formed and a protruding shape surrounding the outer periphery of the upper surface of the opening is formed; ,
Inserting a glass plate into the space surrounded by the protruding shape;
Performing a process of curing the first adhesive;
Encapsulating a second adhesive having a molecular structure denser than the first adhesive between a side surface of the glass plate and the protruding shape;
Performing a process of curing the second adhesive;
A method for manufacturing a package, comprising: 前記第１接着剤を硬化させる処理を行うステップは、光を照射して前記第１接着剤を硬化させる処理を行った後に、熱を加えて前記第１接着剤をさらに硬化させる処理を行う、請求項５に記載のパッケージの製造方法。   The step of performing the process of curing the first adhesive performs the process of further curing the first adhesive by applying heat after performing the process of curing the first adhesive by irradiating light. The manufacturing method of the package of Claim 5.
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