JP2017106738A - タンクの気密検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査チャンバ10内にタンク80を配置して検査チャンバ10を密閉し、検査チャンバ10内の温度を所定温度まで上昇させると共に、または上昇させた後に、検査チャンバ10内の圧力を負圧とする。タンク80の圧力が所定の圧力となるまでタンク80に検査用ガスを充填し、検査用ガスの充填が完了した後、検査チャンバ10における検査用ガスの漏れ量を測定する。
【選択図】図1
Description
本実施形態に係る気密検査システム100は、検査チャンバ10、検査用ガス供給部20、負圧ポンプ30、加熱空気供給部40、検査用ガス検出器50、チャンバ内圧力調整器60を備えている。
図6を参照して、第2の実施形態に係る気密検査システム100aについて説明する。図6は第2の実施形態において用いられる気密検査システムを概略的に示す説明図である。第2の実施形態に係る気密検査システム100aは、加熱空気供給部40並びに加熱空気供給部40に関わる開口部、加熱空気用配管41に代えて、加熱器40aを検査チャンバ10内に備える点において第1の実施形態に係る気密検査システム100と異なっている。なお、第2の実施形態に係る気密検査システム100aが備えるその他の構成は、第1の実施形態に係る気密検査システム100が備える構成と同様であるから、第1の実施形態に係る気密検査システム100に対して用いた符号と同一の符号を付してその説明を省略する。
11…扉
12…微差圧計
13…連結部
14a…内部ガス充填管
14b…内部ガス排出管
20…検査用ガス供給部
21a…充填管
21b…排出管
30…負圧ポンプ
31…負圧用配管
40…加熱空気供給部
40a…加熱器
40b…加熱器
41…加熱空気用配管
50…検査用ガス検出器
51…検査用ガス配管
60…チャンバ内圧力調整器
61…圧力調整配管
81…温度センサ
100、100a、100b…気密検査システム
P1…圧力計
P2…圧力計
Claims (1)
- タンクの気密検査方法であって、
検査チャンバ内に前記タンクを配置して前記検査チャンバを密閉し、
前記検査チャンバ内の温度を所定温度まで上昇させると共に、または上昇させた後に、前記検査チャンバ内の圧力を負圧とし、
前記タンクの圧力が所定の圧力となるまで前記タンクに検査用ガスを充填し、
前記タンクに対する前記検査用ガスの充填が完了した後、前記検査チャンバにおける前記検査用ガスの漏れ量を測定する、気密検査方法。
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---|---|---|---|
JP2015238542A JP2017106738A (ja) | 2015-12-07 | 2015-12-07 | タンクの気密検査方法 |
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JP2015238542A JP2017106738A (ja) | 2015-12-07 | 2015-12-07 | タンクの気密検査方法 |
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Family Applications (1)
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2015
- 2015-12-07 JP JP2015238542A patent/JP2017106738A/ja active Pending
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