JP2017100356A - Liquid jet head, liquid jet recording device, and manufacturing method for liquid jet head - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jet head, a liquid jet recording device, and a manufacturing method for the liquid jet head which can facilitate a manufacturing process and prevent deterioration of liquid discharge performance.SOLUTION: A liquid jet head includes: a first actuator plate 40A and a second actuator plate 40B which are mutually laminated in a thickness direction; a plurality of grooved first discharge channels 71 and first non-discharge channels 75 which are formed in the first actuator plate 40A; a first common electrode 50a and a first individual electrode 52a which are formed in the channels 71 and 75; a plurality of grooved second discharge channels 72 and second non-discharge channels 76 which are formed in the second actuator plate; and a second common electrode 50b and a second individual electrode 52b which are formed together with the channels 72 and 76 in a joining section 73. In the joining section 73, the first common electrode 50a and the first individual electrode 52a and the second common electrode 50b and the second individual electrode 52b are laminated and formed.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

この発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a liquid jet head, a liquid jet recording apparatus, and a method of manufacturing a liquid jet head.

従来から、被記録媒体に液体（インク）を噴射する装置として、インク室の複数のノズル孔から被記録媒体に向かってインク滴を噴射する液体噴射記録装置が知られている。このような液体噴射記録装置の中には、いわゆるインクジェット方式が採用された液体噴射ヘッド（インクジェットヘッド）を備えたものがある。   2. Description of the Related Art Conventionally, as a device for ejecting liquid (ink) onto a recording medium, a liquid ejecting recording apparatus that ejects ink droplets from a plurality of nozzle holes in an ink chamber toward the recording medium is known. Some of such liquid jet recording apparatuses include a liquid jet head (ink jet head) employing a so-called ink jet method.

液体噴射ヘッドには、ヘッドチップが設けられている。ヘッドチップは、インクが充填される複数のチャネル（長溝）が形成されているアクチュエータプレート（圧電アクチュエータ）を備えている。各チャネルは、一列に並んで配置されている。また、ヘッドチップの端面には、ノズルプレートが設けられている。ノズルプレートには、各チャネルに対応するように、複数のノズル孔が一列に並んで形成されている。さらに、各チャネルの両駆動壁（側壁）には、それぞれ駆動電極が設けられている。これら駆動電極に所定の駆動電圧を印加すると駆動壁が変形し、チャネル内の容積が変化する。これにより、ノズル孔からインク滴が被記録媒体に向かって吐出される。   A head chip is provided in the liquid ejecting head. The head chip includes an actuator plate (piezoelectric actuator) in which a plurality of channels (long grooves) filled with ink are formed. Each channel is arranged in a line. A nozzle plate is provided on the end face of the head chip. In the nozzle plate, a plurality of nozzle holes are formed in a line so as to correspond to each channel. Further, drive electrodes are provided on both drive walls (side walls) of each channel. When a predetermined drive voltage is applied to these drive electrodes, the drive wall is deformed and the volume in the channel changes. As a result, ink droplets are ejected from the nozzle holes toward the recording medium.

ここで、アクチュエータプレートを率よく駆動壁を変形させたりするために、分極方向が厚さ方向で異なる２つのアクチュエータプレートを積層した、いわゆるシェブロン方式の積層プレートの使用が求められている。（例えば、特許文献１参照）。
このようなアクチュエータプレートの製造方法としては、２つのアクチュエータプレートにそれぞれ別々にチャネルを形成し、さらに、２つのアクチュエータプレートの各チャネルに、それぞれ予め駆動電極を形成しておく。この後、２つのアクチュエータプレートを、それぞれのチャネルが連通するように重ね合わせる。次いで、各チャネルに形成されている駆動電極の上からさらに導通電極を形成し、２つのアクチュエータプレートに別々に形成されている駆動電極同士を導通させる。 Here, in order to efficiently deform the drive wall of the actuator plate, it is required to use a so-called chevron type laminated plate in which two actuator plates having different polarization directions in the thickness direction are laminated. (For example, refer to Patent Document 1).
As a method for manufacturing such an actuator plate, channels are separately formed in the two actuator plates, and driving electrodes are formed in advance in the respective channels of the two actuator plates. Thereafter, the two actuator plates are overlapped so that the respective channels communicate with each other. Next, a conductive electrode is further formed on the drive electrode formed in each channel, and the drive electrodes separately formed on the two actuator plates are made conductive.

また、特許文献１では、２つのアクチュエータプレートの各チャネル同士の位置合わせを容易にするために、一方のアクチュエータプレートのチャネルの幅を、他方のアクチュエータプレートのチャネルの幅よりも幅広に形成している。このように構成することで、２つのアクチュエータプレートを重ね合わせる際に多少のズレが生じても、２つのアクチュエータプレートの各チャネル同士を重ね合わせることが可能になる。   Further, in Patent Document 1, in order to facilitate alignment between the channels of the two actuator plates, the channel width of one actuator plate is formed wider than the channel width of the other actuator plate. Yes. By configuring in this way, even if some deviation occurs when the two actuator plates are overlapped, the channels of the two actuator plates can be overlapped.

特開２００９−１０７２５０号公報JP 2009-107250 A

しかしながら、上述の従来技術にあっては、２つのアクチュエータプレートの各チャネルに、それぞれ予め駆動電極を形成し、これら２つのアクチュエータプレートを重ね合わせた後に、さらに導通電極を形成するので、液体噴射ヘッドの製造工程が煩雑になるという課題があった。
また、ノズルプレート側からみたチャネルの溝形状がいびつな形になってしまう。つまり、チャネルの溝形状が綺麗なコの字状にならない。このため、液体噴射ヘッドから吐出されるインクが偏向する等液体吐出性能が低下してしまう可能性があった。 However, in the above-described prior art, a drive electrode is formed in advance on each channel of the two actuator plates, and a conductive electrode is formed after the two actuator plates are overlaid. There has been a problem that the manufacturing process becomes complicated.
Further, the groove shape of the channel viewed from the nozzle plate side becomes an irregular shape. In other words, the channel groove shape does not become a beautiful U-shape. For this reason, there is a possibility that the liquid ejection performance is deteriorated, for example, the ink ejected from the liquid ejecting head is deflected.

そこで、この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、製造工程を容易化でき、かつ液体吐出性能の低下を防止できる液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法を提供するものである。   Accordingly, the present invention has been made in view of the above-described circumstances, and can simplify a manufacturing process and prevent a decrease in liquid discharge performance, a liquid jet recording apparatus, and a method of manufacturing a liquid jet head Is to provide.

上記の課題を解決するために、本発明に係る液体噴射ヘッドは、分極方向が厚さ方向で異なり、互いに厚さ方向で積層される第１アクチュエータプレートおよび第２アクチュエータプレートと、前記第１アクチュエータプレートに複数形成され、それぞれ間隔をあけて配置されている溝状の第１チャネルと、前記第１チャネルを含む前記第１アクチュエータプレートの表面に形成され、電圧が印加される第１駆動電極と、前記第２アクチュエータプレートに、前記第１チャネルに対応するように複数形成され、それぞれ対応する前記第１チャネルと連通する溝状の第２チャネルと、前記第２チャネルを含む前記第２アクチュエータプレートの表面、および該第２アクチュエータプレートと前記第１アクチュエータプレートとの接合部に形成され、電圧が印加される第２駆動電極と、を備え、前記接合部において、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極とが積層形成されていることを特徴とする。   In order to solve the above problems, a liquid jet head according to the present invention includes a first actuator plate and a second actuator plate that have different polarization directions in the thickness direction and are stacked in the thickness direction, and the first actuator. A plurality of groove-shaped first channels formed on the plate and spaced apart from each other; a first drive electrode formed on the surface of the first actuator plate including the first channel to which a voltage is applied; The second actuator plate includes a plurality of groove-shaped second channels that are formed in the second actuator plate so as to correspond to the first channel and communicate with the corresponding first channel, and the second channel. And a joint portion between the second actuator plate and the first actuator plate. , Comprising a second drive electrode to which a voltage is applied, and in the joint portion, and the first driving electrode and the second drive electrode is characterized in that it is laminated.

このように構成することで、チャネル全体への駆動電極の形成工程が、第１駆動電極を形成する工程と、第２駆動電極を形成する工程の２回の工程で完了する。このため、液体噴射ヘッドの製造を容易化できる。
また、第１アクチュエータプレートと第２アクチュエータプレートとを重ね合わせた状態で、液体を吐出させる側からみた（ノズルプレート側からみた）チャネルの溝形状を、綺麗なコの字状とすることができる。つまり、チャネルの溝形状がいびつにならないので、液体噴射ヘッドの液体吐出性能の低下を防止できる。 With this configuration, the process of forming the drive electrode over the entire channel is completed in two processes, the process of forming the first drive electrode and the process of forming the second drive electrode. For this reason, manufacture of a liquid ejecting head can be facilitated.
Further, the channel groove shape seen from the liquid discharge side (viewed from the nozzle plate side) in a state where the first actuator plate and the second actuator plate are overlaid can be made into a beautiful U-shape. . In other words, since the channel groove shape does not become irregular, it is possible to prevent the liquid ejection performance of the liquid ejecting head from being deteriorated.

本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記第１チャネルおよび前記第２チャネルは、それぞれ一端側に向かうに従い溝深さが浅くなるように切り上がり部が形成されており、少なくとも前記切り上がり部の前記接合部において、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極とが積層形成されていることを特徴とする。   In the liquid ejecting head according to the aspect of the invention, the first channel and the second channel are each formed with a rounded-up portion so that a groove depth becomes shallower toward one end side, and at least the rounded-up portion In the junction, the first drive electrode and the second drive electrode are stacked.

切り上がり部は、一端側に向かうに従い溝深さが浅くなるように形成されている。つまり、切り上がり部が形成されている箇所の面（各チャネルの一端側の面）は、各チャネルの内側面と比較してアクチュエータプレートの一面側（チャネルの開口側）に向いた状態になる。このため、例えば、各駆動電極を蒸着等により形成する場合、接合部に駆動電極を形成しやすくなる。よって、第１駆動電極と第２駆動電極とを確実に積層させることができる。   The rounded-up portion is formed so that the groove depth becomes shallower toward the one end side. That is, the surface of the portion where the rounded-up portion is formed (the surface on one end side of each channel) is in a state facing the one surface side (channel opening side) of the actuator plate compared to the inner surface of each channel. . For this reason, for example, when each drive electrode is formed by vapor deposition or the like, it becomes easier to form the drive electrode at the joint. Therefore, the first drive electrode and the second drive electrode can be reliably stacked.

本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記第１チャネルの長さよりも前記第２チャネルの長さが長くなるように、前記第２チャネルが形成されていることを特徴とする。   In the liquid ejecting head according to the aspect of the invention, the second channel is formed so that the length of the second channel is longer than the length of the first channel.

このように構成することで、第１アクチュエータプレートと第２アクチュエータプレートとの液体を吐出させる側ではない尾部側に段差面を形成することができる。この段差面を利用することで、第１駆動電極と第２駆動電極との積層形成をより容易、かつ確実に行うことができる。   By comprising in this way, a level | step difference surface can be formed in the tail part side which is not the side which discharges the liquid of a 1st actuator plate and a 2nd actuator plate. By using this stepped surface, the first drive electrode and the second drive electrode can be formed more easily and reliably.

本発明に係る液体噴射記録装置は、上記に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを走査させる走査手段と、液体を収容する液体収容体と、前記液体噴射ヘッドと前記液体収容体との間に敷設され、前記液体を流通させる液体供給管と、を備えたことを特徴とする。   A liquid jet recording apparatus according to the present invention includes the liquid jet head described above, a scanning unit that scans the liquid jet head, a liquid container that contains liquid, the liquid jet head, and the liquid container. And a liquid supply pipe which is laid between them and allows the liquid to flow therethrough.

このように構成することで、製造工程を容易化でき、かつ液体吐出性能の低下を防止可能な液体噴射記録装置を提供できる。   With this configuration, it is possible to provide a liquid jet recording apparatus that can facilitate the manufacturing process and prevent the liquid discharge performance from being deteriorated.

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、上記に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、前記第１アクチュエータプレートに前記第１チャネルを形成する第１チャネル形成工程と、前記第１チャネルを含む前記第１アクチュエータプレートの表面に、前記第１駆動電極を形成する第１電極形成工程と、前記第１電極形成工程の後、前記第１アクチュエータプレートの前記第１チャネルが形成されている側の面に、前記第２アクチュエータプレートを重ね合わせる積層工程と、前記積層工程の後、前記第１チャネルに沿うように、前記第２アクチュエータプレートに前記第２チャネルを形成する第２チャネル形成工程と、前記第２チャネル形成工程の後、前記第２チャネルを含む前記第２アクチュエータプレートの表面、および該第２アクチュエータプレートと前記第１アクチュエータプレートとの接合部に、前記第２駆動電極を形成する第２電極形成工程と、を有することを特徴とする。   A method of manufacturing a liquid jet head according to the present invention includes the first channel forming step of forming the first channel in the first actuator plate in the method of manufacturing a liquid jet head described above, and the first channel. A first electrode forming step for forming the first drive electrode on the surface of the first actuator plate, and a side of the first actuator plate on which the first channel is formed after the first electrode forming step. A stacking step of superimposing the second actuator plate on the surface, and a second channel forming step of forming the second channel on the second actuator plate along the first channel after the stacking step; After the second channel forming step, the surface of the second actuator plate including the second channel, and the second channel The junction of the Chu eta plate and the first actuator plate, and having a second electrode forming step of forming the second driving electrode.

このような製造方法とすることで、製造工程を容易化でき、かつ液体吐出性能の低下を防止可能な液体噴射ヘッドを提供できる。   By adopting such a manufacturing method, it is possible to provide a liquid ejecting head that can facilitate the manufacturing process and prevent a decrease in liquid discharge performance.

本発明によれば、チャネル全体への駆動電極の形成工程が、第１駆動電極を形成する工程と、第２駆動電極を形成する工程の２回の工程で完了する。このため、液体噴射ヘッドの製造を容易化できる。
また、第１アクチュエータプレートと第２アクチュエータプレートとを重ね合わせた状態で、液体を吐出させる側からみた（ノズルプレート側からみた）チャネルの溝形状を綺麗なコの字状とすることができる。つまり、チャネルの溝形状がいびつにならないので、液体噴射ヘッドの液体吐出性能の低下を防止できる。 According to the present invention, the process of forming the drive electrode on the entire channel is completed in two steps: the process of forming the first drive electrode and the process of forming the second drive electrode. For this reason, manufacture of a liquid ejecting head can be facilitated.
Further, the channel shape of the channel seen from the liquid ejection side (viewed from the nozzle plate side) can be made into a beautiful U-shape with the first actuator plate and the second actuator plate superimposed. In other words, since the channel groove shape does not become irregular, it is possible to prevent the liquid ejection performance of the liquid ejecting head from being deteriorated.

本発明の実施形態における液体噴射記録装置の斜視図である。1 is a perspective view of a liquid jet recording apparatus in an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態における液体噴射ヘッドの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a liquid ejecting head according to an embodiment of the invention. 本発明の実施形態におけるヘッドチップの斜視図である。It is a perspective view of a head chip in an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態におけるヘッドチップの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the head chip in the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態におけるアクチュエータプレートとカバープレートとを分解した拡大斜視図である。It is the expansion perspective view which decomposed | disassembled the actuator plate and cover plate in embodiment of this invention. 図３のＩ−Ｉ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the II line | wire of FIG. 図５のII−II線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the II-II line of FIG. 図５のIII矢視図である。FIG. 6 is a view taken in the direction of arrow III in FIG. 5. 本発明の実施形態におけるヘッドチップの製造工程を示す説明図であって、（ａ）〜（ｅ）は各工程を示す。It is explanatory drawing which shows the manufacturing process of the head chip in embodiment of this invention, Comprising: (a)-(e) shows each process. 本発明の実施形態の変形例におけるアクチュエータプレートの断面図である。It is sectional drawing of the actuator plate in the modification of embodiment of this invention.

次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（液体噴射記録装置）
図１は、液体噴射記録装置１の斜視図である。
図１に示すように、液体噴射記録装置１は、いわゆるインクジェットプリンタであって、紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送機構２，３と、被記録媒体Ｓにインク滴を噴射する液体噴射ヘッド４と、液体噴射ヘッド４にインクを供給する液体供給手段５と、被記録媒体Ｓの搬送方向（主走査方向）と直交する方向（副走査方向）に液体噴射ヘッド４を走査させる走査手段６と、を備えている。 (Liquid jet recording device)
FIG. 1 is a perspective view of the liquid jet recording apparatus 1.
As shown in FIG. 1, the liquid jet recording apparatus 1 is a so-called ink jet printer, and jets ink droplets onto the recording medium S and a pair of transport mechanisms 2 and 3 that transport the recording medium S such as paper. The liquid ejecting head 4, the liquid supply unit 5 that supplies ink to the liquid ejecting head 4, and the liquid ejecting head 4 are scanned in a direction (sub-scanning direction) orthogonal to the transport direction (main scanning direction) of the recording medium S. Scanning means 6.

なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
また、以下の説明において、副走査方向をＸ方向、主走査方向をＹ方向、そしてＸ方向、およびＹ方向に直交する方向をＺ方向として説明する。ここで、液体噴射記録装置１は、Ｘ方向、Ｙ方向が水平方向となるように、かつ、Ｚ方向が上下方向となるように載置して使用される。 In the drawings used for the following description, the scale of each member is appropriately changed in order to make each member a recognizable size.
In the following description, the sub-scanning direction will be described as the X direction, the main scanning direction as the Y direction, and the X direction and the direction perpendicular to the Y direction as the Z direction. Here, the liquid jet recording apparatus 1 is mounted and used such that the X direction and the Y direction are horizontal directions and the Z direction is an up and down direction.

一対の搬送機構２，３は、Ｙ方向に間隔をあけて配置される。一対の搬送機構２，３は、Ｘ方向に延びるグリッドローラ２ａ，３ａと、グリッドローラ２ａ，３ａに対して平行に配置されると共に、グリッドローラ２ａ，３ａとの間で被記録媒体Ｓを挟み込むピンチローラ２ｂ，３ｂと、グリッドローラ２ａ，３ａをその軸回りに回転動作させるモータ等の図示しない駆動機構と、を備えている。例えば、一対の搬送機構２，３のグリッドローラ２ａ，３ａを回転させることで、被記録媒体ＳをＹ方向に沿った矢印Ａ方向に搬送可能とされる。   The pair of transport mechanisms 2 and 3 are arranged with an interval in the Y direction. The pair of transport mechanisms 2 and 3 are arranged in parallel to the grid rollers 2a and 3a extending in the X direction and the grid rollers 2a and 3a, and sandwich the recording medium S between the grid rollers 2a and 3a. Pinch rollers 2b and 3b and a driving mechanism (not shown) such as a motor for rotating grid rollers 2a and 3a around their axes are provided. For example, by rotating the grid rollers 2a and 3a of the pair of transport mechanisms 2 and 3, the recording medium S can be transported in the arrow A direction along the Y direction.

液体供給手段５は、インクが収容される液体収容体１０と、液体収容体１０と液体噴射ヘッド４とを接続する液体供給管１１とを備えている。液体収容体１０は、複数設けられ、例えば、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の４色のインクを、それぞれ収容する液体収容体１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０ＢがＹ方向に並んで配置される。液体供給管１１は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースであり、液体噴射ヘッド４を支持するキャリッジ１６の動作（移動）に追従可能とされる。
なお、液体収容体１０は、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の４種類のインクを収容する液体収容体１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０Ｂに限らず、更に多色のインクを収容する液体収容体を備えてもよい。 The liquid supply means 5 includes a liquid container 10 that stores ink, and a liquid supply pipe 11 that connects the liquid container 10 and the liquid ejecting head 4. A plurality of liquid containers 10 are provided, for example, liquid containers 10Y, 10M, 10C, for storing four colors of ink of yellow (Y), magenta (M), cyan (C), and black (B), respectively. 10B are arranged side by side in the Y direction. The liquid supply pipe 11 is a flexible hose having flexibility, for example, and can follow the operation (movement) of the carriage 16 that supports the liquid ejecting head 4.
The liquid container 10 is not limited to the liquid containers 10Y, 10M, 10C, and 10B that store four types of inks of yellow (Y), magenta (M), cyan (C), and black (B). You may provide the liquid container which accommodates multicolor ink.

走査手段６は、Ｘ方向に延び、Ｙ方向に間隔をあけて互いに平行に配置される一対のガイドレール１５と、一対のガイドレール１５に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１６と、キャリッジ１６をＸ方向に移動させる駆動機構１７と、を備えている。
駆動機構１７は、一対のガイドレール１５の間に配置されると共にＸ方向に間隔をあけて配置される一対のプーリ１８と、一対のプーリ１８の間に巻回されてＸ方向に移動する無端ベルト１９と、一方のプーリ１８を回転駆動させる駆動モータ２０と、を備えている。 The scanning unit 6 extends in the X direction and is disposed in parallel with each other with a gap in the Y direction, a carriage 16 that is movably disposed along the pair of guide rails 15, and the carriage 16. And a drive mechanism 17 for moving the X in the X direction.
The drive mechanism 17 is disposed between the pair of guide rails 15 and spaced apart in the X direction. The drive mechanism 17 is wound between the pair of pulleys 18 and moves in the X direction. A belt 19 and a drive motor 20 that rotationally drives one pulley 18 are provided.

キャリッジ１６は、無端ベルト１９に連結され、一方のプーリ１８の回転駆動による無端ベルト１９の移動に伴ってＸ方向に移動可能とされる。また、キャリッジ１６には、複数の液体噴射ヘッド４がＸ方向に並んだ状態で搭載される。図示の例では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の各インクをそれぞれ噴射する４つの液体噴射ヘッド４、即ち液体噴射ヘッド４Ｙ、４Ｍ、４Ｃ、４Ｂがキャリッジ１６に搭載される。なお、上述した搬送機構２，３および走査手段６により、液体噴射ヘッド４と被記録媒体Ｓとを相対的に移動させる移動機構を構成している。   The carriage 16 is connected to an endless belt 19 and is movable in the X direction as the endless belt 19 is moved by the rotational drive of one pulley 18. A plurality of liquid jet heads 4 are mounted on the carriage 16 in a state of being arranged in the X direction. In the illustrated example, there are four liquid ejecting heads 4 that eject yellow (Y), magenta (M), cyan (C), and black (B) inks, that is, liquid ejecting heads 4Y, 4M, 4C, and 4B. Mounted on the carriage 16. The transport mechanisms 2 and 3 and the scanning unit 6 described above constitute a moving mechanism that relatively moves the liquid ejecting head 4 and the recording medium S.

（インクジェットヘッド）
次に、液体噴射ヘッド４について詳細に説明する。
図２は、液体噴射ヘッド４の斜視図である。なお、上述した各液体噴射ヘッド４は、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成を有するため、以下の説明では、一の液体噴射ヘッド４について説明する。 (Inkjet head)
Next, the liquid jet head 4 will be described in detail.
FIG. 2 is a perspective view of the liquid ejecting head 4. Each of the liquid ejecting heads 4 described above has the same configuration except for the color of the supplied ink. Therefore, in the following description, only one liquid ejecting head 4 will be described.

図２に示すように、液体噴射ヘッド４は、キャリッジ１６（図１参照）に固定される固定プレート２５と、固定プレート２５上に固定されるヘッドチップ２６と、液体供給手段５（図１参照）から供給されるインクを、ヘッドチップ２６の後述する共通インク室４１ａ（図３参照）にさらに供給するインク供給部２７と、ヘッドチップ２６に駆動電圧を印加するヘッド駆動部２８と、を備えている。   As shown in FIG. 2, the liquid ejecting head 4 includes a fixed plate 25 fixed to the carriage 16 (see FIG. 1), a head chip 26 fixed on the fixed plate 25, and the liquid supply means 5 (see FIG. 1). ) Is further provided to a common ink chamber 41a (see FIG. 3), which will be described later, of the head chip 26, and a head driving unit 28 that applies a driving voltage to the head chip 26. ing.

液体噴射ヘッド４は、駆動電圧が印加されることで、各色のインクを所定の噴出量で吐出する。このとき、図１に示すように、液体噴射ヘッド４が走査手段６によりＸ方向に移動することで、被記録媒体Ｓにおける所定範囲に記録を行うことができる。そして、この走査を搬送機構２，３により被記録媒体ＳをＹ方向に搬送しながら繰り返し行うことで、被記録媒体Ｓの全体に記録を行うことが可能となる。   The liquid ejecting head 4 ejects ink of each color with a predetermined ejection amount when a driving voltage is applied. At this time, as shown in FIG. 1, the liquid ejecting head 4 is moved in the X direction by the scanning unit 6, so that recording can be performed in a predetermined range on the recording medium S. By repeating this scanning while transporting the recording medium S in the Y direction by the transport mechanisms 2 and 3, it is possible to perform recording on the entire recording medium S.

図２に示すように、固定プレート２５には、アルミニウム等の金属製のベースプレート３０がＺ方向に沿って起立した状態で固定されると共に、ヘッドチップ２６の後述する共通インク室４１ａ（図３参照）にインクを供給する流路部材３１が固定される。流路部材３１の上方には、インクを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器３２がベースプレート３０に支持された状態で配置される。そして、流路部材３１と圧力緩衝器３２とは連結管３３を介して連結され、圧力緩衝器３２には液体供給管１１が接続される。   As shown in FIG. 2, a base plate 30 made of metal such as aluminum is fixed to the fixing plate 25 in a standing state along the Z direction, and a common ink chamber 41a (described later with reference to FIG. 3) of the head chip 26. ) Is fixed to the flow path member 31 for supplying ink. Above the flow path member 31, a pressure buffer 32 having a storage chamber for storing ink is disposed in a state supported by the base plate 30. The flow path member 31 and the pressure buffer 32 are connected via a connection pipe 33, and the liquid supply pipe 11 is connected to the pressure buffer 32.

圧力緩衝器３２は、液体供給管１１を介してインクが供給されると、インクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクを連結管３３および流路部材３１を介して共通インク室４１ａ（図３参照）に供給する。
なお、これら流路部材３１、圧力緩衝器３２および連結管３３により、インク供給部２７を構成している。 When ink is supplied via the liquid supply pipe 11, the pressure buffer 32 once stores the ink in the internal storage chamber, and then stores a predetermined amount of ink via the connecting pipe 33 and the flow path member 31. It supplies to the chamber 41a (refer FIG. 3).
The flow path member 31, the pressure buffer 32, and the connecting pipe 33 constitute an ink supply unit 27.

また、固定プレート２５には、ヘッドチップ２６を駆動するための集積回路等の制御回路（駆動回路）３５が搭載されたＩＣ基板３６が取り付けられる。制御回路３５と、ヘッドチップ２６の後述する共通電極５０および個別電極５２（図５参照）とは、図示しない配線パターンがプリント配線されたフレキシブル基板３７を介して電気接続される。これにより、制御回路３５は、フレキシブル基板３７を介して共通電極５０と個別電極５２との間に駆動電圧を印加することが可能とされる。
なお、これら制御回路３５が搭載されたＩＣ基板３６、およびフレキシブル基板３７により、ヘッド駆動部２８を構成している。 An IC substrate 36 on which a control circuit (drive circuit) 35 such as an integrated circuit for driving the head chip 26 is mounted is attached to the fixed plate 25. The control circuit 35 and a later-described common electrode 50 and individual electrode 52 (see FIG. 5) of the head chip 26 are electrically connected via a flexible substrate 37 on which a wiring pattern (not shown) is printed. Thereby, the control circuit 35 can apply a drive voltage between the common electrode 50 and the individual electrode 52 via the flexible substrate 37.
The head drive unit 28 is configured by the IC substrate 36 and the flexible substrate 37 on which the control circuit 35 is mounted.

（ヘッドチップ）
続いて、ヘッドチップ２６について詳細に説明する。
図３は、ヘッドチップ２６の斜視図であり、図４は、ヘッドチップ２６の分解斜視図である。
図３、図４に示すように、ヘッドチップ２６は、アクチュエータプレート４０（圧電プレート）と、カバープレート４１と、支持プレート４２と、ノズルプレート４３と、を備えている。ヘッドチップ２６は、後述する吐出チャネル４５Ａの長手方向端部に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされる。 (Head chip)
Next, the head chip 26 will be described in detail.
FIG. 3 is a perspective view of the head chip 26, and FIG. 4 is an exploded perspective view of the head chip 26.
As shown in FIGS. 3 and 4, the head chip 26 includes an actuator plate 40 (piezoelectric plate), a cover plate 41, a support plate 42, and a nozzle plate 43. The head chip 26 is of a so-called edge chute type that ejects ink from a nozzle hole 43a facing a longitudinal end of an ejection channel 45A described later.

なお、以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート４３側（一方側）を前側といい、ノズルプレート４３とは反対側（他方側）を後側という。また、アクチュエータプレート４０の側面のうち、ノズルプレート４３に対向する側面を前端面４０ａといい、前端面４０ａとはＺ方向の反対側に位置する側面を後端面４０ｂという。   In the following description, in the Z direction, the nozzle plate 43 side (one side) is referred to as a front side, and the opposite side (the other side) to the nozzle plate 43 is referred to as a rear side. Of the side surfaces of the actuator plate 40, the side surface facing the nozzle plate 43 is referred to as a front end surface 40a, and the side surface located on the opposite side of the front end surface 40a in the Z direction is referred to as a rear end surface 40b.

アクチュエータプレート４０は、第１アクチュエータプレート４０Ａ（第１圧電基板）および第２アクチュエータプレート４０Ｂ（第２圧電基板）の２枚のプレートを積層した、いわゆるシェブロン方式の積層プレート（積層基板）とされている。第１アクチュエータプレート４０Ａおよび第２アクチュエータプレート４０Ｂは、共に厚さ方向に分極処理された圧電基板、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミックス基板であり、互いの分極方向を反対に向けた状態で接合される。このアクチュエータプレート４０は、Ｙ方向に長く、Ｚ方向に短い、平面視長方形状に形成される。   The actuator plate 40 is a so-called chevron laminated plate (laminated substrate) in which two plates, a first actuator plate 40A (first piezoelectric substrate) and a second actuator plate 40B (second piezoelectric substrate) are laminated. Yes. The first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B are both piezoelectric substrates that are polarized in the thickness direction, for example, PZT (lead zirconate titanate) ceramic substrates, with the polarization directions of the substrates opposite to each other. Be joined. The actuator plate 40 is formed in a rectangular shape in plan view that is long in the Y direction and short in the Z direction.

このように、シェブロン方式のアクチュエータプレート４０を用いる場合、駆動電圧を印加することで上下両方の基板（第１アクチュエータプレート４０Ａおよび第２アクチュエータプレート４０Ｂ）を駆動させることができる。このため、１枚のプレートにより形成されるアクチュエータプレートを用いる場合と比較して、駆動壁を効率よく大きく変形させることができる。これにより、１枚のプレートにより形成されるアクチュエータプレートを用いる場合と比較して、駆動電圧を低下させつつ駆動壁の変形量を大きくすることができる。また、駆動壁の変形量を同じに設定すれば、１枚のプレートにより形成されるアクチュエータプレートを用いる場合と比較して、駆動電圧を低下することができ、消費電力を低減することができる。   As described above, when the chevron type actuator plate 40 is used, both the upper and lower substrates (the first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B) can be driven by applying the driving voltage. For this reason, compared with the case where the actuator plate formed with one plate is used, a drive wall can be greatly deformed efficiently. Thereby, compared with the case where the actuator plate formed by one plate is used, the deformation amount of the drive wall can be increased while lowering the drive voltage. Further, if the deformation amount of the drive wall is set to be the same, the drive voltage can be lowered and the power consumption can be reduced as compared with the case where the actuator plate formed by one plate is used.

図５は、ヘッドチップ２６における、アクチュエータプレート４０とカバープレート４１とを分解した拡大斜視図であり、図６は、図３のＩ−Ｉ線に沿う断面図である。
図５、図６に示すように、アクチュエータプレート４０の一方の主面（カバープレート４１が重なる面）４０ｃには、Ｙ方向に所定の間隔をあけて並んだ複数のチャネル４５（溝部）が形成される。複数のチャネル４５は、一方の主面４０ｃ側に開口した状態で第２方向Ｌ３に沿って直線状に延びるチャネルであり、長手方向の一方側がアクチュエータプレート４０の前端面４０ａ側に開口する。 5 is an enlarged perspective view of the head chip 26 in which the actuator plate 40 and the cover plate 41 are disassembled, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG.
As shown in FIGS. 5 and 6, a plurality of channels 45 (grooves) arranged at predetermined intervals in the Y direction are formed on one main surface (surface on which the cover plate 41 overlaps) 40 c of the actuator plate 40. Is done. The plurality of channels 45 are channels that extend linearly along the second direction L3 in a state opened to the one main surface 40c side, and one side in the longitudinal direction opens to the front end surface 40a side of the actuator plate 40.

複数のチャネル４５の間には、断面矩形状でＺ方向に延びる駆動壁４６が形成され、駆動壁４６によって各チャネル４５はそれぞれ区分けされる。
複数のチャネル４５は、インクが充填される吐出チャネル４５Ａ（液体噴射溝）と、インクが充填されない非吐出チャネル４５Ｂ（液体非噴射溝）と、に大別される。そして、これら吐出チャネル４５Ａと非吐出チャネル４５Ｂとは、Ｙ方向に交互に並んで配置される。 A drive wall 46 having a rectangular cross section and extending in the Z direction is formed between the plurality of channels 45, and each channel 45 is divided by the drive wall 46.
The plurality of channels 45 are roughly classified into discharge channels 45A (liquid ejection grooves) filled with ink and non-ejection channels 45B (liquid non-ejection grooves) not filled with ink. The discharge channels 45A and the non-discharge channels 45B are alternately arranged in the Y direction.

図７は、図５のII−II線に沿う断面図であり、図８は、図５のIII矢視図である。
図５〜図８に示すように、吐出チャネル４５Ａは、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂ側に開口することなく、前端面４０ａ側にだけ開口するように形成される。ここで、吐出チャネル４５Ａの形状は、第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂとで若干形状が異なっている。以下、具体的に説明する。 7 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. 5, and FIG. 8 is a view taken in the direction of arrow III in FIG.
As shown in FIGS. 5 to 8, the discharge channel 45 </ b> A is formed so as to open only to the front end surface 40 a side without opening to the rear end surface 40 b side of the actuator plate 40. Here, the shape of the discharge channel 45A is slightly different between the first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B. This will be specifically described below.

第１アクチュエータプレート４０Ａに形成されている吐出チャネル（以下、第１吐出チャネルという）７１は、溝深さが一様とされＺ方向に延びる延在部７１ａと、延在部７１ａの後端に設けられ、後側に向かうに従い溝深さが浅くなる切り上がり部７１ｂと、が連通形成されたものである。
一方、第２アクチュエータプレート４０Ｂに形成されている吐出チャネル（以下、第２吐出チャネルという）７２も、基本的構成は、第１吐出チャネル７１と同様である。すなわち、第２吐出チャネル７２は、溝深さが一様とされＺ方向に延びる延在部７２ａと、延在部７２ａの後端に設けられ後側に向かうに従い溝深さが浅くなる切り上がり部７２ｂと、が連通形成されたものである。 A discharge channel (hereinafter referred to as a first discharge channel) 71 formed in the first actuator plate 40A includes an extension portion 71a having a uniform groove depth and extending in the Z direction, and a rear end of the extension portion 71a. A cut-up portion 71b that is provided and has a groove depth shallower toward the rear side is formed in communication.
On the other hand, a discharge channel (hereinafter referred to as a second discharge channel) 72 formed in the second actuator plate 40 </ b> B has the same basic configuration as the first discharge channel 71. That is, the second discharge channel 72 has a groove depth that is uniform and extends in the Z direction, and is provided at the rear end of the extension portion 72a so that the groove depth becomes shallower toward the rear side. The part 72b is formed in communication.

ここで、第１吐出チャネル７１の延在部７１ａよりも第２吐出チャネル７２の延在部７２ａは、後方に長くなるように形成されている。一方、第１吐出チャネル７１および第２吐出チャネル７２のＹ方向における溝幅は、それぞれ同一に設定されている。
このため、吐出チャネル４５Ａの後側では、第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂとの接合部７３において、段差が形成される。そして、吐出チャネル４５Ａの後側では、第１アクチュエータプレート４０Ａの接合面４０ｄが僅かに露出している。 Here, the extending portion 72 a of the second discharge channel 72 is formed to be longer rearward than the extending portion 71 a of the first discharge channel 71. On the other hand, the groove widths in the Y direction of the first discharge channel 71 and the second discharge channel 72 are set to be the same.
For this reason, a step is formed on the rear side of the discharge channel 45A at the joint 73 between the first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B. Then, on the rear side of the discharge channel 45A, the joint surface 40d of the first actuator plate 40A is slightly exposed.

これに対し、吐出チャネル４５ＡのＹ方向で対向する内側面４６ａでは、第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂとの接合部７３において、段差が形成されない。すなわち、吐出チャネル４５Ａにおいて、第１アクチュエータプレート４０Ａの内側面と第２アクチュエータプレート４０Ｂとの内側面とが面一になっている。   On the other hand, no step is formed in the joint portion 73 between the first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B on the inner surface 46a facing the discharge channel 45A in the Y direction. That is, in the discharge channel 45A, the inner surface of the first actuator plate 40A and the inner surface of the second actuator plate 40B are flush with each other.

このように形成された吐出チャネル４５Ａの内側面４６ａおよび底面４６ｂには、共通電極５０が形成されている。共通電極５０は、第１吐出チャネル７１側に形成されている第１共通電極５０ａと、第２吐出チャネル７２側に形成されている第２共通電極５０ｂと、からなる。第１共通電極５０ａは、第１吐出チャネル７１の内面全体、および第１吐出チャネル７１の後部における第１アクチュエータプレート４０Ａの接合面４０ｄに形成されている。一方、第２共通電極５０ｂは、第２吐出チャネル７２の内面全体、および接合部７３周辺に形成されている。すなわち、接合部７３では、第１共通電極５０ａと第２共通電極５０ｂとが積層形成されている。換言すれば、接合部７３周辺に、第１共通電極５０ａと第２共通電極５０ｂとが積層された共通電極積層部８１が形成されている。   A common electrode 50 is formed on the inner side surface 46a and the bottom surface 46b of the discharge channel 45A thus formed. The common electrode 50 includes a first common electrode 50a formed on the first discharge channel 71 side and a second common electrode 50b formed on the second discharge channel 72 side. The first common electrode 50 a is formed on the entire inner surface of the first discharge channel 71 and the bonding surface 40 d of the first actuator plate 40 A at the rear portion of the first discharge channel 71. On the other hand, the second common electrode 50 b is formed on the entire inner surface of the second ejection channel 72 and around the joint portion 73. That is, in the joint portion 73, the first common electrode 50a and the second common electrode 50b are stacked. In other words, the common electrode laminated portion 81 in which the first common electrode 50a and the second common electrode 50b are laminated is formed around the joint portion 73.

したがって、共通電極５０全体としては、断面略コの字状に形成される。そして、共通電極５０は、吐出チャネル４５Ａに沿ってＺ方向に延び、アクチュエータプレート４０の後部側の一方の主面４０ｃ上に形成される共通端子５１に導通する。各共通端子５１はそれぞれ電気的に独立するようにパターン形成されている。   Therefore, the entire common electrode 50 is formed in a substantially U-shaped cross section. The common electrode 50 extends in the Z direction along the discharge channel 45 </ b> A and is electrically connected to the common terminal 51 formed on the one main surface 40 c on the rear side of the actuator plate 40. Each common terminal 51 is patterned so as to be electrically independent.

一方、図５に詳示するように、非吐出チャネル４５Ｂは、アクチュエータプレート４０の前端面４０ａ側だけでなく、後端面４０ｂ側にも開口するように形成される。第１アクチュエータプレート４０Ａに形成されている非吐出チャネル（以下、第１非吐出チャネルという）７５と、第２アクチュエータプレート４０Ｂに形成されている非吐出チャネル（以下、第２非吐出チャネルという）７６は、Ｚ方向の溝長さ、およびＹ方向の溝幅がそれぞれ同一となるように形成されている。このため、非吐出チャネル４５Ｂにおいて、第１アクチュエータプレート４０Ａの内側面と第２アクチュエータプレート４０Ｂとの内側面は、面一になっている。   On the other hand, as shown in detail in FIG. 5, the non-ejection channel 45B is formed so as to open not only on the front end face 40a side of the actuator plate 40 but also on the rear end face 40b side. A non-ejection channel (hereinafter referred to as a first non-ejection channel) 75 formed in the first actuator plate 40A and a non-ejection channel (hereinafter referred to as a second non-ejection channel) 76 formed in the second actuator plate 40B. Are formed such that the groove length in the Z direction and the groove width in the Y direction are the same. For this reason, in the non-ejection channel 45B, the inner surface of the first actuator plate 40A and the inner surface of the second actuator plate 40B are flush with each other.

このように形成された非吐出チャネル４５Ｂの内側面４６ａおよび底面４６ｂには、個別電極５２が形成されている。個別電極５２も基本的構成は共通電極５０と同様である。すなわち、個別電極５２は、第１非吐出チャネル７５側に形成されている第１個別電極５２ａと、第２非吐出チャネル７６側に形成されている第２個別電極５２ｂと、からなる。第１個別電極５２ａは、第１非吐出チャネルの内面全体に形成されている。一方、第２個別電極５２ｂは、第２非吐出チャネル７６の内面全体、および接合部７３周辺に形成されている。すなわち、接合部７３では、第１個別電極５２ａと第２個別電極５２ｂとが積層形成されている。換言すれば、接合部７３周辺に、第１個別電極５２ａと第２個別電極５２ｂとが積層された個別電極積層部８２が形成されている。   The individual electrodes 52 are formed on the inner side surface 46a and the bottom surface 46b of the non-ejection channel 45B formed in this way. The basic configuration of the individual electrode 52 is the same as that of the common electrode 50. That is, the individual electrode 52 includes a first individual electrode 52a formed on the first non-ejection channel 75 side and a second individual electrode 52b formed on the second non-ejection channel 76 side. The first individual electrode 52a is formed on the entire inner surface of the first non-ejection channel. On the other hand, the second individual electrode 52 b is formed on the entire inner surface of the second non-ejection channel 76 and around the joint 73. That is, in the joint portion 73, the first individual electrode 52a and the second individual electrode 52b are stacked. In other words, the individual electrode laminated portion 82 in which the first individual electrode 52 a and the second individual electrode 52 b are laminated is formed around the joint portion 73.

ここで、個別電極５２は、非吐出チャネル４５Ｂの底面４６ｂ（第１非吐出チャネル７５の底面）で分断されている。このため、各非吐出チャネル４５Ｂの一対の内側面４６ａに形成されている個別電極５２は、それぞれ電気的に切り離された状態になっている。
このように形成された個別電極５２は、非吐出チャネル４５Ｂに沿ってＺ方向に延び、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に形成される個別端子５３に導通する。 Here, the individual electrode 52 is divided at the bottom surface 46b of the non-ejection channel 45B (bottom surface of the first non-ejection channel 75). For this reason, the individual electrodes 52 formed on the pair of inner side surfaces 46a of the non-ejection channels 45B are electrically separated from each other.
The individual electrode 52 thus formed extends in the Z direction along the non-ejection channel 45 </ b> B and is electrically connected to the individual terminal 53 formed on one main surface 40 c of the actuator plate 40.

個別端子５３は、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上における後端面４０ｂ側に形成され、吐出チャネル４５Ａを挟んだ両側に位置する個別電極５２同士（異なる非吐出チャネル４５Ｂ内に形成された個別電極５２同士）を接続するように形成される。
個別端子５３は、一方の主面４０ｃ上において、共通端子５１よりも後端面４０ｂ側に離間した位置でＹ方向に延びることで、個別電極５２同士をブリッジ状に繋ぐように形成されている。 The individual terminals 53 are formed on the rear end surface 40b side on one main surface 40c of the actuator plate 40, and the individual electrodes 52 located on both sides of the discharge channel 45A (individual electrodes formed in different non-discharge channels 45B). The electrodes 52 are connected to each other.
The individual terminals 53 are formed so as to bridge the individual electrodes 52 in a bridge shape by extending in the Y direction at a position separated from the common terminal 51 on the rear end surface 40b side on the one main surface 40c.

このような構成のもと、フレキシブル基板３７を介して制御回路３５（図２参照）が共通端子５１および個別端子５３を通じて、共通電極５０と個別電極５２との間に駆動電圧を印加すると、駆動壁４６が変形し、吐出チャネル４５Ａ内に充填されたインクに圧力変動が生じる。これにより、吐出チャネル４５Ａ内のインクをノズル孔４３ａより吐出することができ、被記録媒体Ｓに文字や図形等の各種情報を記録することが可能となる。   Under such a configuration, when the control circuit 35 (see FIG. 2) applies a driving voltage between the common electrode 50 and the individual electrode 52 through the common terminal 51 and the individual terminal 53 via the flexible substrate 37, the driving is performed. The wall 46 is deformed, and a pressure fluctuation occurs in the ink filled in the ejection channel 45A. Accordingly, the ink in the ejection channel 45A can be ejected from the nozzle hole 43a, and various information such as characters and figures can be recorded on the recording medium S.

図３、図４に示すように、カバープレート４１は、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ（図５参照）上に重ね合わされる。このカバープレート４１には、アクチュエータプレート４０側に窪む共通インク室４１ａが、Ｙ方向に長い平面視矩形状に形成されている。共通インク室４１ａは、流路部材３１（図２参照）内に連通し、流路部材３１内のインクが流通するように構成される。   As shown in FIGS. 3 and 4, the cover plate 41 is superimposed on one main surface 40 c (see FIG. 5) of the actuator plate 40. In the cover plate 41, a common ink chamber 41a that is recessed toward the actuator plate 40 is formed in a rectangular shape in plan view that is long in the Y direction. The common ink chamber 41a communicates with the flow path member 31 (see FIG. 2), and is configured so that ink in the flow path member 31 flows.

図６に示すように、共通インク室４１ａには、インク導入板５５に形成される複数のスリット５５ａが連通する。スリット５５ａは、流路部材３１（図２参照）を介して供給されてきたインクを吐出チャネル４５Ａ内に導入させると共に、インクを非吐出チャネル４５Ｂ内に導入することを規制する。つまり、スリット５５ａは、吐出チャネル４５Ａに対応する位置に形成され、非吐出チャネル４５Ｂに対応する位置には形成されない。これにより、各吐出チャネル４５Ａ内のみにインクを充填することが可能とされる。   As shown in FIG. 6, a plurality of slits 55a formed in the ink introduction plate 55 communicate with the common ink chamber 41a. The slit 55a allows the ink supplied through the flow path member 31 (see FIG. 2) to be introduced into the ejection channel 45A and restricts the ink from being introduced into the non-ejection channel 45B. That is, the slit 55a is formed at a position corresponding to the discharge channel 45A and is not formed at a position corresponding to the non-discharge channel 45B. Thereby, it is possible to fill the ink only in each of the ejection channels 45A.

図５に示すように、スリット５５ａは、Ｚ方向に所定の長さを有し、Ｚ方向において、スリット５５ａの後端縁は吐出チャネル４５Ａの後端縁（吐出チャネル４５Ａのエンベロープ形状（切り上がり部７２ｂ）の終点Ｅｐ）に一致する。これにより、吐出チャネル４５Ａの後端側でインクが淀むことを抑制することができ、吐出チャネル４５Ａの内部に気泡が溜まることを抑制することができる。   As shown in FIG. 5, the slit 55a has a predetermined length in the Z direction. In the Z direction, the rear end edge of the slit 55a is the rear end edge of the discharge channel 45A (the envelope shape of the discharge channel 45A (rounded up). This coincides with the end point Ep) of the part 72b). Thereby, it is possible to suppress the ink from stagnating on the rear end side of the discharge channel 45A, and it is possible to suppress the accumulation of bubbles in the discharge channel 45A.

カバープレート４１は、例えばアクチュエータプレート４０と同じＰＺＴセラミックス基板で形成される。これにより、アクチュエータプレート４０と同じようにカバープレート４１を熱膨張させることができ、温度変化に対する反りや変形を抑制することができる。
なお、カバープレート４１の形成材料としては、アクチュエータプレート４０とは異なる材料を用いてもよいが、アクチュエータプレート４０の熱膨張係数と近い材料を用いることが好ましい。 The cover plate 41 is formed of the same PZT ceramic substrate as the actuator plate 40, for example. Thereby, the cover plate 41 can be thermally expanded like the actuator plate 40, and the curvature and deformation | transformation with respect to a temperature change can be suppressed.
As a material for forming the cover plate 41, a material different from that of the actuator plate 40 may be used, but it is preferable to use a material close to the thermal expansion coefficient of the actuator plate 40.

図３、図４に示すように、支持プレート４２は、重ね合わされたアクチュエータプレート４０およびカバープレート４１を支持すると共に、ノズルプレート４３を併せて支持する。支持プレート４２には、Ｙ方向に沿って嵌合孔４２ａが形成される。支持プレート４２は、重ね合わされたアクチュエータプレート４０およびカバープレート４１を嵌合孔４２ａ内に嵌め込んだ状態で支持する。支持プレート４２は、アクチュエータプレート４０の前端面４０ａと面一となるように組み合わされる。   As shown in FIGS. 3 and 4, the support plate 42 supports the actuator plate 40 and the cover plate 41 that are overlaid, and also supports the nozzle plate 43. A fitting hole 42a is formed in the support plate 42 along the Y direction. The support plate 42 supports the actuator plate 40 and the cover plate 41 that are overlaid in a state of being fitted in the fitting hole 42a. The support plate 42 is combined with the front end face 40a of the actuator plate 40 so as to be flush with the front end face 40a.

ノズルプレート４３は、支持プレート４２およびアクチュエータプレート４０の前端面４０ａに、例えば接着等により固定される。
ノズルプレート４３は、例えばポリイミド等のフィルム材により形成されるシートである。なお、ノズルプレート４３における被記録媒体Ｓに対向する対向面には、例えばインクの付着等を防止するための撥水膜等（不図示）がコーティングされる。 The nozzle plate 43 is fixed to the support plate 42 and the front end surface 40a of the actuator plate 40 by, for example, adhesion.
The nozzle plate 43 is a sheet formed of a film material such as polyimide. Note that a surface of the nozzle plate 43 facing the recording medium S is coated with, for example, a water repellent film (not shown) for preventing ink adhesion or the like.

ノズルプレート４３には、Ｙ方向に所定の間隔をあけて複数のノズル孔４３ａが一列に並んで形成される。各ノズル孔４３ａは、各吐出チャネル４５Ａに対してそれぞれ対向する位置に形成され、各吐出チャネル４５Ａ内に連通している。なお、通常時（非吐出時）にノズル孔４３ａからインクが吐出されないように、各ノズル孔４３ａにおいて適切なメニスカスが保たれる。   In the nozzle plate 43, a plurality of nozzle holes 43a are formed in a line at predetermined intervals in the Y direction. Each nozzle hole 43a is formed at a position facing each discharge channel 45A and communicates with each discharge channel 45A. It should be noted that an appropriate meniscus is maintained in each nozzle hole 43a so that ink is not ejected from the nozzle hole 43a during normal (non-ejection) time.

（インクジェットヘッドの動作方法）
次に、上述した液体噴射ヘッド４の動作方法について説明する。
図２、図５、図６に示すように、液体噴射ヘッド４では、フレキシブル基板３７を介して共通電極５０と個別電極５２との間に駆動電圧を印加することで、吐出チャネル４５Ａを画成する２つの駆動壁４６が圧電滑り効果により非吐出チャネル４５Ｂ側へ突出するように変形する。すなわち、アクチュエータプレート４０は、厚さ方向（Ｘ方向）に分極処理された２枚のプレートが積層したシェブロン方式を用いているため、駆動電圧を印加することで、駆動壁４６のＸ方向中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル４５Ａがあたかも膨らむように変形する。 (Inkjet head operation method)
Next, an operation method of the liquid jet head 4 described above will be described.
As shown in FIGS. 2, 5, and 6, in the liquid ejecting head 4, the ejection channel 45 </ b> A is defined by applying a driving voltage between the common electrode 50 and the individual electrode 52 via the flexible substrate 37. The two driving walls 46 are deformed so as to protrude toward the non-ejection channel 45B due to the piezoelectric sliding effect. That is, since the actuator plate 40 uses a chevron system in which two plates polarized in the thickness direction (X direction) are stacked, an intermediate position of the drive wall 46 in the X direction can be obtained by applying a drive voltage. Is bent and deformed into a V shape with the center at the center. Thereby, the discharge channel 45A is deformed so as to expand.

２つの駆動壁４６の変形によって、吐出チャネル４５Ａの容積が増大すると、共通インク室４１ａ内のインクがスリット５５ａを通って吐出チャネル４５Ａ内に誘導される。そして、吐出チャネル４５Ａの内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル４５Ａの内部に伝搬し、この圧力波がノズル孔４３ａに到達したタイミングで、駆動電圧をゼロにする。
これにより、駆動壁４６が復元し、一旦増大した吐出チャネル４５Ａの容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル４５Ａの内部の圧力が増加し、インクが加圧される。この結果、インクをノズル孔４３ａから吐出させることができる。この際、インクはノズル孔４３ａを通過する際に、液滴状のインク滴となって吐出される。 When the volume of the discharge channel 45A increases due to the deformation of the two drive walls 46, the ink in the common ink chamber 41a is guided into the discharge channel 45A through the slit 55a. The ink guided to the inside of the discharge channel 45A propagates as a pressure wave to the inside of the discharge channel 45A, and at the timing when this pressure wave reaches the nozzle hole 43a, the drive voltage is made zero.
As a result, the drive wall 46 is restored, and the volume of the discharge channel 45A once increased returns to the original volume. By this operation, the pressure inside the ejection channel 45A is increased and the ink is pressurized. As a result, ink can be ejected from the nozzle holes 43a. At this time, the ink is ejected as droplet-shaped ink droplets when passing through the nozzle holes 43a.

なお、液体噴射ヘッド４の動作方法は上述した内容に限られない。例えば、通常状態の駆動壁４６が吐出チャネル４５Ａの内側に変形し、吐出チャネル４５Ａがあたかも内側に凹むように構成しても構わない。この場合は、共通電極５０と個別電極５２との間に印加する駆動電圧を上述した電圧とは正負逆の電圧にするか、電圧の正負は変えない場合はアクチュエータプレート４０の圧電素子の分極方向を逆にすることで実現可能である。また、吐出チャネル４５Ａが外側に膨らむように変形させた後で、吐出チャネル４５Ａが内側に凹むように変形させ、吐出時のインクの加圧力を高めても構わない。   The operation method of the liquid ejecting head 4 is not limited to the above-described content. For example, the drive wall 46 in a normal state may be deformed inside the discharge channel 45A, and the discharge channel 45A may be configured to be recessed inside. In this case, the drive voltage applied between the common electrode 50 and the individual electrode 52 is set to a voltage opposite to the above-described voltage, or the polarization direction of the piezoelectric element of the actuator plate 40 when the voltage is not changed. It can be realized by reversing. Further, after the ejection channel 45A is deformed so as to swell outward, the ejection channel 45A may be deformed so as to be recessed inward to increase the pressure of ink during ejection.

また、液体噴射ヘッド４は、各吐出チャネル４５Ａの間に、インクが充填されない非吐出チャネル４５Ｂが配置されるため、全ての吐出チャネル４５Ａからインクを同時に吐出する、いわゆる１サイクル方式となっている。また、非吐出チャネル４５Ｂが配置されるため、各電極５０，５２がインクを介して短絡することがない。これにより、水性インク等の導電性を有するインクを含め多様なインクを用いることができ、利便性に優れるという効果がある。
なお、複数のチャネル４５が吐出チャネル４５Ａと非吐出チャネル４５Ｂとを含む構成に限らず、複数のチャネル４５が非吐出チャネル４５Ｂを含まない構成としてもよい。 Further, the liquid ejecting head 4 has a so-called one-cycle method in which ink is simultaneously ejected from all the ejection channels 45A because the non-ejection channels 45B that are not filled with ink are disposed between the ejection channels 45A. . Further, since the non-ejection channel 45B is arranged, the electrodes 50 and 52 do not short-circuit through the ink. As a result, various inks including conductive inks such as water-based inks can be used, which is advantageous in terms of convenience.
The plurality of channels 45 is not limited to the configuration including the ejection channels 45A and the non-ejection channels 45B, and the plurality of channels 45 may not include the non-ejection channels 45B.

（ヘッドチップの製造方法）
次に、図９に基づいて、ヘッドチップ２６の製造方法について説明する。
図９は、ヘッドチップ２６の製造工程を示す説明図であって、（ａ）〜（ｅ）は各工程を示す。
まず、図９（ａ）に示すように、第１アクチュエータプレート４０Ａにおける第２アクチュエータプレート４０Ｂとの接合面４０ｄに、図示しないダイシングブレード等により、第１吐出チャネル７１および第１非吐出チャネル７５を形成する（第１チャネル形成工程）。
この後、第１アクチュエータプレート４０Ａの接合面４０ｄに、所定のパターンに形成されたマスクを貼付け、その上から蒸着等により第１共通電極５０ａおよび第１個別電極５２ａを形成する（第１電極形成工程）。 (Head chip manufacturing method)
Next, a method for manufacturing the head chip 26 will be described with reference to FIG.
FIG. 9 is an explanatory view showing a manufacturing process of the head chip 26, and (a) to (e) show each process.
First, as shown in FIG. 9A, the first discharge channel 71 and the first non-discharge channel 75 are formed on the joint surface 40d of the first actuator plate 40A with the second actuator plate 40B by a dicing blade or the like (not shown). Form (first channel forming step).
Thereafter, a mask formed in a predetermined pattern is attached to the joint surface 40d of the first actuator plate 40A, and the first common electrode 50a and the first individual electrode 52a are formed thereon by vapor deposition or the like (first electrode formation) Process).

続いて、図９（ｂ）に示すように、第１アクチュエータプレート４０Ａからマスクを剥がし、第１アクチュエータプレート４０Ａの接合面４０ｄに、第２アクチュエータプレート４０Ｂを重ね合わせて接合する（積層工程）。
第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂは、互いの分極方向を反対にして重ね合わされる。これら２つのアクチュエータプレート４０Ａ，４０Ｂの接合は、例えば接着剤等を用いて行われる。 Subsequently, as shown in FIG. 9B, the mask is peeled off from the first actuator plate 40A, and the second actuator plate 40B is overlapped and joined to the joining surface 40d of the first actuator plate 40A (lamination step).
The first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B are overlaid with their polarization directions opposite to each other. The two actuator plates 40A and 40B are joined using, for example, an adhesive.

続いて、図９（ｃ）に示すように、図示しないダイシングブレード等により、第２アクチュエータプレート４０Ｂに第２吐出チャネル７２および第２非吐出チャネル７６を形成する。このとき、第１アクチュエータプレート４０Ａに形成されている第１吐出チャネル７１および第１非吐出チャネル７５に沿うようにダイシングブレードを作動させる。このようにすることで、第１吐出チャネル７１の形成位置と第２吐出チャネル７２の形成位置とを容易に一致させることができる。また、第１非吐出チャネル７５の形成位置と第２非吐出チャネル７６の形成位置とを容易に一致させることができる。
さらに、第２吐出チャネル７２を、第１吐出チャネル７１よりも後方に長くなるように形成する。 Subsequently, as shown in FIG. 9C, the second discharge channel 72 and the second non-discharge channel 76 are formed in the second actuator plate 40B by a dicing blade or the like (not shown). At this time, the dicing blade is operated along the first discharge channel 71 and the first non-discharge channel 75 formed in the first actuator plate 40A. By doing in this way, the formation position of the 1st discharge channel 71 and the formation position of the 2nd discharge channel 72 can be made to correspond easily. Further, the formation position of the first non-ejection channel 75 and the formation position of the second non-ejection channel 76 can be easily matched.
Further, the second discharge channel 72 is formed to be longer rearward than the first discharge channel 71.

ここで、第２アクチュエータプレート４０Ｂに第２吐出チャネル７２および第２非吐出チャネル７６を形成する際、第１アクチュエータプレート４０Ａの各チャネル７１，７５に沿うようにダイシングブレードを作動させるので、ダイシングブレードによって、第１アクチュエータプレート４０Ａの各電極５０ａ，５２ａのうち、接合部７３近傍が若干削り取られた形になる（図９（ｃ）におけるIV部参照）。   Here, when forming the second discharge channel 72 and the second non-discharge channel 76 in the second actuator plate 40B, the dicing blade is operated along the channels 71 and 75 of the first actuator plate 40A. As a result, of the electrodes 50a and 52a of the first actuator plate 40A, the vicinity of the joint 73 is slightly scraped (see IV in FIG. 9C).

次に、図９（ｄ）に示すように、第２アクチュエータプレート４０Ｂの表面（アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ）に、所定のパターンに形成されたマスクを貼付け、その上から蒸着等により第２共通電極５０ｂおよび第２個別電極５２ｂを形成する（第２電極形成工程）。
このとき、第２共通電極５０ｂおよび第２個別電極５２ｂは、ある程度の深さまで第１吐出チャネル７１および第１非吐出チャネル７６にも形成される。このため、仮にダイシングブレードによって接合部７３近傍の各電極５０ａ，５２ａが削り取られていたとしても、接合部７３の周辺では、第１共通電極５０ａと第２共通電極５０ｂとが積層形成され、共通電極積層部８１が形成される。また、接合部７３の周辺において、第１個別電極５２ａと第２個別電極５２ｂとが積層形成され、個別電極積層部８２が形成される。 Next, as shown in FIG. 9 (d), a mask formed in a predetermined pattern is attached to the surface of the second actuator plate 40B (one main surface 40c of the actuator plate 40), and vapor deposition or the like is applied thereon. The second common electrode 50b and the second individual electrode 52b are formed (second electrode forming step).
At this time, the second common electrode 50b and the second individual electrode 52b are also formed in the first ejection channel 71 and the first non-ejection channel 76 to a certain depth. For this reason, even if each electrode 50a, 52a in the vicinity of the joint 73 is scraped off by a dicing blade, the first common electrode 50a and the second common electrode 50b are laminated and formed around the joint 73. An electrode stack 81 is formed. In addition, the first individual electrode 52a and the second individual electrode 52b are laminated and formed around the joint portion 73, and the individual electrode laminated portion 82 is formed.

ここで、図７に詳示するように、第１吐出チャネル７１に形成されている切り上がり部７１ｂおよび第２吐出チャネル７２の切り上がり部７２ｂは、後側に向かうに従い溝深さが浅くなるように形成されている。つまり、各切り上がり部７１ｂ，７２ｂは、延在部７１ａ，７２ａの側面と比較して、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ（チャネル４５の開口）側に向いた状態になっている。このため、蒸着等による共通電極５０や個別電極５２の形成を容易にできる。この分、共通電極積層部８１や個別電極積層部８２の形成を容易にできる。   Here, as shown in detail in FIG. 7, the groove depth of the raised portion 71 b formed in the first discharge channel 71 and the raised portion 72 b of the second discharge channel 72 becomes shallower toward the rear side. It is formed as follows. That is, each of the raised portions 71b and 72b is in a state of facing the one main surface 40c (opening of the channel 45) of the actuator plate 40 as compared with the side surfaces of the extending portions 71a and 72a. For this reason, formation of the common electrode 50 and the individual electrode 52 by vapor deposition etc. can be made easy. Accordingly, the formation of the common electrode laminated portion 81 and the individual electrode laminated portion 82 can be facilitated.

しかも、第１吐出チャネル７１と比較して第２吐出チャネル７２が後方に長く形成されているので、吐出チャネル４５Ａの後側（吐出チャネル４５Ａの尾部側）では、第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂとの接合部７３において、段差が形成される。そして、吐出チャネル４５Ａの後側では、第１アクチュエータプレート４０Ａの接合面４０ｄが僅かに露出している。接合面４０ｄは、完全にチャネル４５の開口側に向いているので、蒸着等による共通電極５０や個別電極５２の形成を、さらに容易にできる。この分、共通電極積層部８１や個別電極積層部８２の形成を、さらに容易にできる。   In addition, since the second discharge channel 72 is formed longer rearward than the first discharge channel 71, the second actuator channel 40A and the second actuator plate 40A are connected to the rear side of the discharge channel 45A (the tail side of the discharge channel 45A). A step is formed at the joint 73 with the actuator plate 40B. Then, on the rear side of the discharge channel 45A, the joint surface 40d of the first actuator plate 40A is slightly exposed. Since the bonding surface 40d is completely directed to the opening side of the channel 45, it is possible to further easily form the common electrode 50 and the individual electrodes 52 by vapor deposition or the like. Accordingly, the formation of the common electrode laminated portion 81 and the individual electrode laminated portion 82 can be further facilitated.

次に、図９（ｅ）に示すように、第２共通電極５０ｂおよび第２個別電極５２ｂを形成した後、第２アクチュエータプレート４０Ｂからマスクを剥がす。そして、非吐出チャネル４５Ｂの底面４６ｂに形成された個別電極５２を、レーザ加工やダイシング加工、または底面からの研削加工等によって分断する。これにより、非吐出チャネル４５Ｂでは、一対の内側面４６ａ上にそれぞれ電気的に切り離された状態で個別電極５２が形成される。   Next, as shown in FIG. 9E, after the second common electrode 50b and the second individual electrode 52b are formed, the mask is peeled off from the second actuator plate 40B. Then, the individual electrode 52 formed on the bottom surface 46b of the non-ejection channel 45B is divided by laser processing, dicing processing, grinding processing from the bottom surface, or the like. Thereby, in the non-ejection channel 45B, the individual electrode 52 is formed in a state of being electrically separated from each other on the pair of inner side surfaces 46a.

このように上述の実施形態では、第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂとを積層したシェブロン方式のアクチュエータプレート４０において、各アクチュエータプレート４０Ａ，４０Ｂの接合部７３に、共通電極積層部８１や個別電極積層部８２を形成している。このため、ヘッドチップ２６に共通電極５０や個別電極５２を形成するにあたって、第１アクチュエータプレート４０Ａに第１共通電極５０ａおよび第１個別電極５２ａを形成する工程（第１電極形成工程）と、第２アクチュエータプレート４０Ｂに第２共通電極５０ｂおよび第２個別電極５２ｂを形成する工程（第２電極形成工程）と、の２回の工程で完了させることができる。よって、液体噴射ヘッド４の製造を容易化できる。   As described above, in the above-described embodiment, in the chevron type actuator plate 40 in which the first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B are stacked, the common electrode stacking portion 81 and the joint portion 73 of each actuator plate 40A, 40B The individual electrode laminated portion 82 is formed. For this reason, in forming the common electrode 50 and the individual electrode 52 on the head chip 26, a step of forming the first common electrode 50a and the first individual electrode 52a on the first actuator plate 40A (first electrode forming step), 2 The process can be completed in two steps: a step of forming the second common electrode 50b and the second individual electrode 52b on the actuator plate 40B (second electrode formation step). Therefore, the manufacture of the liquid jet head 4 can be facilitated.

また、従来のように第１吐出チャネル７１および第１非吐出チャネル７５のＹ方向の溝幅と、第２吐出チャネル７２および第２非吐出チャネル７６のＹ方向の溝幅と、を異ならせる必要がなく、確実に第１共通電極５０ａと第２共通電極５０ｂとを接続（積層）させることができると共に、第１個別電極５２ａと第２個別電極５２ｂとを接続（積層）させることができる。このため、各チャネル４５の溝形状がいびつにならないので、液体噴射ヘッド４の液体吐出性能の低下を防止できる。   Further, it is necessary to make the groove width in the Y direction of the first ejection channel 71 and the first non-ejection channel 75 different from the groove width in the Y direction of the second ejection channel 72 and the second non-ejection channel 76 as in the prior art. The first common electrode 50a and the second common electrode 50b can be reliably connected (laminated), and the first individual electrode 52a and the second individual electrode 52b can be connected (laminated). For this reason, since the groove shape of each channel 45 is not distorted, it is possible to prevent the liquid ejection performance of the liquid ejecting head 4 from being deteriorated.

さらに、第１吐出チャネル７１に切り上がり部７１ｂを形成すると共に、第２吐出チャネル７２に切り上がり部７２ｂを形成している。これら切り上がり部７１ｂ，７２ｂは、延在部７１ａ，７２ａの側面と比較して、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ（チャネル４５の開口）側に向いた状態になっている。このため、共通電極５０や個別電極５２を形成し易くすることができ、共通電極積層部８１や個別電極積層部８２を形成し易くすることができる。   Further, a rounded portion 71 b is formed in the first discharge channel 71, and a rounded portion 72 b is formed in the second discharge channel 72. These raised portions 71b and 72b are in a state facing the one main surface 40c (opening of the channel 45) of the actuator plate 40 as compared with the side surfaces of the extending portions 71a and 72a. For this reason, the common electrode 50 and the individual electrode 52 can be easily formed, and the common electrode laminated portion 81 and the individual electrode laminated portion 82 can be easily formed.

しかも、第１吐出チャネル７１と比較して第２吐出チャネル７２が後方に長く形成されているので、吐出チャネル４５Ａの後側（吐出チャネル４５Ａの尾部側）では、第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂとの接合部７３において、段差が形成される。そして、吐出チャネル４５Ａの後側では、第１アクチュエータプレート４０Ａの接合面４０ｄが僅かに露出している。接合面４０ｄは、完全にチャネル４５の開口側に向いているので、共通電極５０や個別電極５２の形成を容易にできる。このため、共通電極積層部８１や個別電極積層部８２の形成を、さらに容易にできる。   In addition, since the second discharge channel 72 is formed longer rearward than the first discharge channel 71, the second actuator channel 40A and the second actuator plate 40A are connected to the rear side of the discharge channel 45A (the tail side of the discharge channel 45A). A step is formed at the joint 73 with the actuator plate 40B. Then, on the rear side of the discharge channel 45A, the joint surface 40d of the first actuator plate 40A is slightly exposed. Since the bonding surface 40d is completely directed to the opening side of the channel 45, the common electrode 50 and the individual electrode 52 can be easily formed. For this reason, the formation of the common electrode laminated portion 81 and the individual electrode laminated portion 82 can be further facilitated.

なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述の実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
例えば、上述の実施形態では、アクチュエータプレート４０は、第１吐出チャネル７１と比較して第２吐出チャネル７２が後方に長く形成されている場合について説明した。そして、第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂとの接合部７３において、段差が形成される場合について説明した。
しかしながら、これに限られるものではなく、図１０に示すように、各吐出チャネル７１，７２の切り上がり部７１ｂ，７２ｂが滑らかに繋がるように、第２吐出チャネル７２を形成してもよい。この場合であっても、切り上がり部７１ｂ，７２ｂが形成されているので、共通電極積層部８１や個別電極積層部８２（何れも図１０では図示しない）を確実に形成することができる。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and includes various modifications made to the above-described embodiment without departing from the spirit of the present invention.
For example, in the above-described embodiment, the actuator plate 40 has been described with respect to the case where the second discharge channel 72 is formed longer in the rear than the first discharge channel 71. And the case where the level | step difference was formed in the junction part 73 of 40 A of 1st actuator plates and the 2nd actuator plate 40B was demonstrated.
However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 10, the second discharge channel 72 may be formed so that the raised portions 71b and 72b of the discharge channels 71 and 72 are smoothly connected. Even in this case, since the rounded-up portions 71b and 72b are formed, the common electrode laminated portion 81 and the individual electrode laminated portion 82 (both not shown in FIG. 10) can be reliably formed.

また、上述の実施形態では、第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂとを積層して接合（積層工程）した後、第２アクチュエータプレート４０Ｂに第２吐出チャネル７２および第２非吐出チャネル７６を形成する場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、予め第２アクチュエータプレート４０Ｂに第２吐出チャネル７２および第２非吐出チャネル７６を形成し、この後に第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂとを積層して接合してもよい。このような場合であっても、第１吐出チャネル７１と比較して第２吐出チャネル７２が後方に長く形成されているので、第１吐出チャネル７１および第１非吐出チャネル７５と第２吐出チャネル７２および第２非吐出チャネル７６のＺ方向が多少ずれても各チャネル４５の形状がいびつになることがない。このため、液体噴射ヘッド４の製造を容易化できる。   In the above-described embodiment, the first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B are stacked and joined (stacking step), and then the second discharge channel 72 and the second non-discharge channel 76 are connected to the second actuator plate 40B. The case of forming is described. However, the present invention is not limited to this, and the second discharge channel 72 and the second non-discharge channel 76 are formed in the second actuator plate 40B in advance, and then the first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B are stacked. May be joined. Even in such a case, since the second discharge channel 72 is formed longer in the rear than the first discharge channel 71, the first discharge channel 71, the first non-discharge channel 75, and the second discharge channel are formed. Even if the Z direction of 72 and the second non-ejection channel 76 is slightly shifted, the shape of each channel 45 is not distorted. For this reason, the manufacture of the liquid jet head 4 can be facilitated.

また、予め第２アクチュエータプレート４０Ｂに第２吐出チャネル７２および第２非吐出チャネル７６を形成する場合、以下のようにしてもよい。つまり、第１アクチュエータプレート４０Ａに第１共通電極５０ａを形成する際、第１アクチュエータプレート４０Ａの接合面４０ｄのうち、第１吐出チャネル７１の切り上がり部７１ｂの周囲にも第１共通電極５０ａを形成してもよい。
このようにすることで、第２共通電極５０ｂを形成する際、第１アクチュエータプレート４０Ａと第２アクチュエータプレート４０Ｂとの切り上がり部７１ｂ，７２ｂに形成される段差に、確実に共通電極積層部８１を形成することができる。このため、第１共通電極５０ａと第２共通電極５０ｂとを、より確実に接続することができる。 Further, when the second discharge channel 72 and the second non-discharge channel 76 are formed in advance in the second actuator plate 40B, the following may be performed. That is, when the first common electrode 50a is formed on the first actuator plate 40A, the first common electrode 50a is also formed around the raised portion 71b of the first discharge channel 71 in the joint surface 40d of the first actuator plate 40A. It may be formed.
In this way, when the second common electrode 50b is formed, the common electrode laminated portion 81 is surely formed at the step formed in the raised portions 71b and 72b between the first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B. Can be formed. For this reason, the 1st common electrode 50a and the 2nd common electrode 50b can be connected more reliably.

さらに上述の実施形態では、液体噴射記録装置１の一例として、インクジェットプリンタを例に挙げて説明したが、これに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
また、上述の実施形態では、液体噴射ヘッド４が複数搭載された複数色用の液体噴射記録装置１について説明したが、これに限られるものではない。例えば、液体噴射ヘッド４が一つの単色用のプリンタとしても構わない。 Furthermore, in the above-described embodiment, an ink jet printer has been described as an example of the liquid jet recording apparatus 1, but the present invention is not limited to this. For example, a fax machine or an on-demand printer may be used.
In the above-described embodiment, the liquid ejection recording apparatus 1 for a plurality of colors on which a plurality of liquid ejection heads 4 are mounted has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the liquid ejecting head 4 may be a single color printer.

さらに、本実施形態で用いられるインクとしては、水性インクや油性インク、ＵＶインク、微細金属粒子インク、炭素インク（カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン、グラフェン）等、種々の材料を用いることができる。なお、上述したインクのうち、水性インクや油性インク、ＵＶインクは複数色用の液体噴射記録装置１に好適に用いられ、微細金属粒子インク、炭素インクは液体噴射記録装置１に好適に用いられる。   Furthermore, as the ink used in the present embodiment, various materials such as water-based ink, oil-based ink, UV ink, fine metal particle ink, carbon ink (carbon black, carbon nanotube, fullerene, graphene) can be used. Among the inks described above, water-based ink, oil-based ink, and UV ink are preferably used for the liquid jet recording apparatus 1 for a plurality of colors, and the fine metal particle ink and carbon ink are preferably used for the liquid jet recording apparatus 1. .

また、上記実施形態では、エッジシュートタイプのヘッドチップ２６を例に挙げて説明したが、この場合に限定されず、吐出チャネル４５Ａの長手方向中央に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプとしても構わない。
この場合には、例えばアクチュエータプレート４０の他方の主面側にノズルプレート４３を重ね合せ、吐出チャネル４５Ａの長手方向中央部分にノズル孔４３ａに連通する連通口を形成する等すればよい。 In the above-described embodiment, the edge shoot type head chip 26 has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and so-called side discharge is performed by discharging ink from the nozzle hole 43a facing the center in the longitudinal direction of the discharge channel 45A. It does not matter as a shoot type.
In this case, for example, the nozzle plate 43 may be overlapped on the other main surface side of the actuator plate 40, and a communication port communicating with the nozzle hole 43a may be formed in the longitudinal center portion of the discharge channel 45A.

１…液体噴射記録装置、４…液体噴射ヘッド、６…走査手段、１０…液体収容体、１１…液体供給管、４０…アクチュエータプレート、４０Ａ…第１アクチュエータプレート、４０Ｂ…第２アクチュエータプレート、５０…共通電極、５０ａ…第１共通電極（第１駆動電極）、５０ｂ…第２共通電極（第２駆動電極）、５２…個別電極、５２ａ…第１個別電極（第１駆動電極）、５２ｂ…第２個別電極（第２駆動電極）、７１…第１吐出チャネル（第１チャネル）、７１ｂ，７２ｂ…切り上がり部、７２…第２吐出チャネル（第２チャネル）、７３…接合部、７５…第１非吐出チャネル（第１チャネル）、７６…第２非吐出チャネル（第２チャネル）、８１…共通電極積層部、８２…個別電極積層部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid jet recording apparatus, 4 ... Liquid jet head, 6 ... Scanning means, 10 ... Liquid container, 11 ... Liquid supply pipe | tube, 40 ... Actuator plate, 40A ... 1st actuator plate, 40B ... 2nd actuator plate, 50 ... Common electrode, 50a ... First common electrode (first drive electrode), 50b ... Second common electrode (second drive electrode), 52 ... Individual electrode, 52a ... First individual electrode (first drive electrode), 52b ... Second individual electrode (second drive electrode), 71... First discharge channel (first channel), 71b, 72b... Round-up portion, 72... Second discharge channel (second channel), 73. First non-ejection channel (first channel), 76 ... second non-ejection channel (second channel), 81 ... common electrode stack, 82 ... individual electrode stack

Claims (5)

分極方向が厚さ方向で異なり、互いに厚さ方向で積層される第１アクチュエータプレートおよび第２アクチュエータプレートと、
前記第１アクチュエータプレートに複数形成され、それぞれ間隔をあけて配置されている溝状の第１チャネルと、
前記第１チャネルを含む前記第１アクチュエータプレートの表面に形成され、電圧が印加される第１駆動電極と、
前記第２アクチュエータプレートに、前記第１チャネルに対応するように複数形成され、それぞれ対応する前記第１チャネルと連通する溝状の第２チャネルと、
前記第２チャネルを含む前記第２アクチュエータプレートの表面、および該第２アクチュエータプレートと前記第１アクチュエータプレートとの接合部に形成され、電圧が印加される第２駆動電極と、
を備え、
前記接合部において、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極とが積層形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 A first actuator plate and a second actuator plate that have different polarization directions in the thickness direction and are stacked in the thickness direction;
A plurality of groove-shaped first channels formed on the first actuator plate and spaced apart from each other;
A first drive electrode formed on a surface of the first actuator plate including the first channel and applied with a voltage;
A plurality of groove-shaped second channels that are formed in the second actuator plate so as to correspond to the first channels and communicate with the corresponding first channels,
A second drive electrode formed on a surface of the second actuator plate including the second channel, and a junction between the second actuator plate and the first actuator plate, to which a voltage is applied;
With
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the first driving electrode and the second driving electrode are stacked in the joint portion. 前記第１チャネルおよび前記第２チャネルは、それぞれ一端側に向かうに従い溝深さが浅くなるように切り上がり部が形成されており、
少なくとも前記切り上がり部の前記接合部において、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極とが積層形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。 The first channel and the second channel are each formed with a rounded-up portion so that the groove depth becomes shallower toward one end side,
2. The liquid jet head according to claim 1, wherein the first drive electrode and the second drive electrode are laminated at least at the joint portion of the rounded-up portion. 前記第１チャネルの長さよりも前記第２チャネルの長さが長くなるように、前記第２チャネルが形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the second channel is formed so that the length of the second channel is longer than the length of the first channel. 請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを走査させる走査手段と、
液体を収容する液体収容体と、
前記液体噴射ヘッドと前記液体収容体との間に敷設され、前記液体を流通させる液体供給管と、
を備えたことを特徴とする液体噴射記録装置。 The liquid jet head according to any one of claims 1 to 3,
Scanning means for scanning the liquid jet head;
A liquid container for containing a liquid;
A liquid supply pipe that is laid between the liquid ejecting head and the liquid container and distributes the liquid;
A liquid jet recording apparatus comprising: 請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記第１アクチュエータプレートに前記第１チャネルを形成する第１チャネル形成工程と、
前記第１チャネルを含む前記第１アクチュエータプレートの表面に、前記第１駆動電極を形成する第１電極形成工程と、
前記第１電極形成工程の後、前記第１アクチュエータプレートの前記第１チャネルが形成されている側の面に、前記第２アクチュエータプレートを重ね合わせる積層工程と、
前記積層工程の後、前記第１チャネルに沿うように、前記第２アクチュエータプレートに前記第２チャネルを形成する第２チャネル形成工程と、
前記第２チャネル形成工程の後、前記第２チャネルを含む前記第２アクチュエータプレートの表面、および該第２アクチュエータプレートと前記第１アクチュエータプレートとの接合部に、前記第２駆動電極を形成する第２電極形成工程と、
を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 In the manufacturing method of the liquid ejecting head according to any one of claims 1 to 3,
A first channel forming step of forming the first channel in the first actuator plate;
A first electrode forming step of forming the first drive electrode on a surface of the first actuator plate including the first channel;
After the first electrode forming step, a stacking step of superimposing the second actuator plate on the surface of the first actuator plate on the side where the first channel is formed;
A second channel forming step of forming the second channel on the second actuator plate along the first channel after the stacking step;
After the second channel forming step, the second drive electrode is formed on the surface of the second actuator plate including the second channel and the junction between the second actuator plate and the first actuator plate. A two-electrode forming step;
A method for manufacturing a liquid jet head, comprising:

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