JP2017100110A

JP2017100110A - Functional membrane manufacturing system, functional membrane manufacturing method, fuel cell manufacturing system and fuel cell manufacturing method

Info

Publication number: JP2017100110A
Application number: JP2015237617A
Authority: JP
Inventors: 太島井; Futoshi Shimai; 小此木　浩史; Hiroshi Okonogi; 浩史小此木; 沼尾　康弘; Yasuhiro Numao; 康弘沼尾; 隆行平尾; Takayuki Hirao; 西村　公男; Kimio Nishimura; 公男西村
Original assignee: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd; Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd; Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 2015-12-04
Filing date: 2015-12-04
Publication date: 2017-06-08
Anticipated expiration: 2035-12-04
Also published as: JP6623052B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily and reliably manufacture high quality functional membrane (laminated membrane) with a plurality of functional layers appropriately laminated.SOLUTION: A system 1, to manufacture a laminated membrane (functional membrane) 4 with a first functional layer 2 and a second functional layer 3 laminated, comprises: a frame formation unit 8 which forms a frame section 6 in a manner that surrounds a partial region of a sheet 5 including the first functional layer 2; an application unit 9 which has an application section 29 to apply liquid 7, to form the second layer 3, to at least one surface of the sheet 5 with the frame section 6 formed thereon; and a reduced-pressure drying unit 10 which has a chamber section to form a space including the sheet 5 with the liquid 7 applied thereto by the application unit 9 and a suction section to dry the liquid 7 by reducing pressure in the space.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、機能膜製造システム、機能膜製造方法、燃料電池製造システム、及び燃料電池の製造方法に関する。 The present invention relates to a functional membrane manufacturing system, a functional membrane manufacturing method, a fuel cell manufacturing system, and a fuel cell manufacturing method.

機能膜は、化学、電気、エネルギー分野などの幅広い産業分野で利用され、高性能化や小型化のため、薄膜化が要求される。機能膜は、複数の機能層を積層した積層膜として提供される場合がある。このような積層膜としては、例えば、燃料電池における膜電極接合体や、光学フィルタ、積層コンデンサ等が挙げられる。例えば、膜電極接合体の場合、ベースとなる電解質膜に触媒層を転写する方法（例えば特許文献１参照）や、ベースとなる電解質膜に触媒インクを塗布して乾燥させる方法（例えば特許文献２参照）により製造される。 Functional films are used in a wide range of industrial fields such as the chemical, electrical, and energy fields, and thinning is required for high performance and miniaturization. The functional film may be provided as a laminated film in which a plurality of functional layers are laminated. Examples of such a laminated film include a membrane electrode assembly in a fuel cell, an optical filter, and a laminated capacitor. For example, in the case of a membrane electrode assembly, a method of transferring a catalyst layer to a base electrolyte membrane (see, for example, Patent Document 1), or a method of applying a catalyst ink to a base electrolyte membrane and drying (for example, Patent Document 2). Manufactured by reference).

特開２０１０−２５１０１２号公報JP 2010-251012 A 特開２０１０−０３３７３１号公報JP 2010-033731 A

上記した特許文献１は、転写の工程が加わるため工程数が多くなり、積層膜の製造に時間がかかるだけでなく、製造コストの増加を招くといった問題がある。さらに、プレス等により圧着して転写するため、機能層同士が十分に接触しない場合があり、積層膜の性能を低下させる可能性がある。また、上記した特許文献２は、ベースとなる機能膜が薄膜の場合、触媒インクの塗布が難しいだけでなく、塗布後にベースの機能膜が膨潤して、積層膜に皺やひび割れなどの変形を生じさせるといった問題がある。 The above-described Patent Document 1 has a problem that the number of processes increases because a transfer process is added, and it takes time to manufacture a laminated film and also causes an increase in manufacturing cost. Furthermore, since the transfer is performed by pressure bonding with a press or the like, the functional layers may not be sufficiently in contact with each other, which may reduce the performance of the laminated film. Further, in Patent Document 2 described above, when the base functional film is a thin film, not only is it difficult to apply the catalyst ink, but the base functional film swells after application, and the laminated film undergoes deformation such as wrinkles and cracks. There is a problem of causing it.

本発明は、上記の事情に鑑みなされたものであり、複数の機能層が適切に積層された高品質の機能膜（積層膜）を容易かつ確実に製造することができ、さらにはこの機能膜を用いることにより発電効率が向上した燃料電池を容易に製造することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and can easily and reliably manufacture a high-quality functional film (laminated film) in which a plurality of functional layers are appropriately laminated. An object of the present invention is to easily manufacture a fuel cell with improved power generation efficiency.

本発明の第１の態様は、第１機能層と第２機能層とを積層した機能膜製造システムであって、第１機能層を含むシートの一部領域を囲むように枠部を形成する枠形成ユニットと、枠部が形成されたシートの少なくとも一方の面に、第２機能層を形成するための液体を塗布する塗布部を有する塗布ユニットと、塗布ユニットにより液体が塗布されたシートを含んだ空間を形成可能なチャンバ部を備え、かつ空間を減圧して液体を乾燥させる吸引部を備える減圧乾燥ユニットと、を備える。 1st aspect of this invention is a functional film manufacturing system which laminated | stacked the 1st functional layer and the 2nd functional layer, Comprising: A frame part is formed so that the partial area | region of the sheet | seat containing a 1st functional layer may be enclosed. A frame forming unit, an application unit having an application part for applying a liquid for forming the second functional layer on at least one surface of the sheet on which the frame part is formed, and a sheet on which the liquid is applied by the application unit And a vacuum drying unit that includes a chamber part that can form a contained space, and a suction part that decompresses the space to dry the liquid.

本発明の第２の態様は、燃料電池を製造するシステムであって、上記した機能膜製造システムを含む。 A second aspect of the present invention is a system for manufacturing a fuel cell, and includes the functional membrane manufacturing system described above.

本発明の第３の態様は、第１機能層と第２機能層とを積層した機能膜を製造する方法であって、第１機能層を含むシートの一部領域を囲むように枠部を形成することと、枠部が形成されたシートの少なくとも一方の面に、第２機能層を形成するための液体を塗布部により塗布することと、液体が塗布されたシートを含んだ空間をチャンバ部により形成することと、空間を吸引部により減圧して液体を乾燥させることと、を含む。 A third aspect of the present invention is a method of manufacturing a functional film in which a first functional layer and a second functional layer are laminated, and a frame portion is provided so as to surround a partial region of the sheet including the first functional layer. Forming, applying a liquid for forming the second functional layer on at least one surface of the sheet on which the frame part is formed by the application unit, and a space including the sheet coated with the liquid in the chamber Forming by the portion and drying the liquid by decompressing the space by the suction portion.

本発明の第４の態様は、燃料電池を製造する方法であって、上記した機能膜製造方法を含む。 A fourth aspect of the present invention is a method for manufacturing a fuel cell, including the above-described functional membrane manufacturing method.

本発明は、上記の事情に鑑みなされたものであり、剛性が高く高品質の機能膜（積層膜）を効率よく製造することができ、さらにはこの機能膜を用いることにより発電効率が高い燃料電池を容易に製造することができる。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and can efficiently produce a high-quality functional film (laminated film) having high rigidity, and furthermore, a fuel having high power generation efficiency by using this functional film. The battery can be easily manufactured.

第１実施形態に係る機能膜製造システムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the functional film manufacturing system which concerns on 1st Embodiment. （Ａ）及び（Ｂ）は、枠形成ユニットの一例を示す図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図である。(A) And (B) is a figure which shows an example of a frame formation unit, (A) is a side view, (B) is a top view. （Ａ）〜（Ｅ）は、枠形成ユニットの動作を示す図である。(A)-(E) are figures which show operation | movement of a frame formation unit. 塗布ユニット及び減圧乾燥ユニットの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a coating unit and a reduced pressure drying unit. 図４に示す塗布ユニット及び減圧乾燥ユニットの平面図である。FIG. 5 is a plan view of the coating unit and the vacuum drying unit shown in FIG. 4. （Ａ）は保持部の一例を示す断面図である。（Ｂ）は、塗布部の一例を示す斜視図である。(A) is sectional drawing which shows an example of a holding | maintenance part. (B) is a perspective view which shows an example of an application part. （Ａ）は減圧乾燥ユニットの一例を示す斜視図である。（Ｂ）は蓋部の一例を示す斜視図である。(A) is a perspective view showing an example of a vacuum drying unit. (B) is a perspective view which shows an example of a cover part. 機能膜製造方法の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of a functional film manufacturing method. （Ａ）及び（Ｂ）は、機能膜製造システムの動作を説明する図である。(A) And (B) is a figure explaining operation | movement of a functional film manufacturing system. 図９に続いて、機能膜製造システムの動作を説明する図である。FIG. 10 is a diagram for explaining the operation of the functional film manufacturing system following FIG. 9. 第２実施形態に係る機能膜製造システムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the functional film manufacturing system which concerns on 2nd Embodiment. 第３実施形態に係る機能膜製造システムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the functional film manufacturing system which concerns on 3rd Embodiment. 第４実施形態に係る機能膜製造システムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the functional film manufacturing system which concerns on 4th Embodiment. 第５実施形態に係る機能膜製造システムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the functional film manufacturing system which concerns on 5th Embodiment. 機能膜製造方法の他の例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the other example of a functional film manufacturing method. 第６実施形態に係る機能膜製造システムの一例を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）はシートの他の例を示す平面図である。It is a figure which shows an example of the functional film manufacturing system which concerns on 6th Embodiment, (A) is a top view, (B) is a top view which shows the other example of a sheet | seat. 図１６に示す機能膜製造システムの側面図である。It is a side view of the functional film manufacturing system shown in FIG. 機能膜製造方法の他の例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the other example of a functional film manufacturing method. （Ａ）は塗布ユニット及び減圧乾燥ユニットの一例を示す図、（Ｂ）は塗布ユニット及び減圧乾燥ユニットの他の例を示す図である。(A) is a figure which shows an example of a coating unit and a reduced pressure drying unit, (B) is a figure which shows the other example of a coating unit and a reduced pressure drying unit. 減圧乾燥ユニットの一例を示す図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は側面図である。It is a figure which shows an example of a reduced pressure drying unit, (A) is a perspective view, (B) is a side view. 第７実施形態に係る機能膜製造システムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the functional film manufacturing system which concerns on 7th Embodiment. 第８実施形態に係る機能膜製造システムの一例を示す図であり、（Ａ）は枠部形成シート部分の拡大図、（Ｂ）は側面図である。It is a figure which shows an example of the functional film manufacturing system which concerns on 8th Embodiment, (A) is an enlarged view of a frame part formation sheet | seat part, (B) is a side view. 第９実施形態に係る枠形成ユニットの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the frame formation unit which concerns on 9th Embodiment. 第１０実施形態に係る機能膜（積層膜）の一例を示す図であり、（Ｂ）は他の例に係る機能膜を示す図である。It is a figure which shows an example of the functional film (laminated film) which concerns on 10th Embodiment, (B) is a figure which shows the functional film which concerns on another example. 第１１実施形態に係る機能膜製造システムの一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of the functional film manufacturing system which concerns on 11th Embodiment. 第１２実施形態に係る枠部の一例を示す図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は断面図である。It is a figure which shows an example of the frame part which concerns on 12th Embodiment, (A) is a perspective view, (B) is sectional drawing. 枠部の他の例を示す図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は断面図である。It is a figure which shows the other example of a frame part, (A) is a perspective view, (B) is sectional drawing. （Ａ）は実施形態に係る燃料電池製造システムの一例を示すブロック図、（Ｂ）は燃料電池のセルの一例を示す図である。1A is a block diagram illustrating an example of a fuel cell manufacturing system according to an embodiment, and FIG. 1B is a diagram illustrating an example of a fuel cell. 実施形態に係る燃料電池の製造方法の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the manufacturing method of the fuel cell which concerns on embodiment.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面に平行な任意の方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向（上下方向）はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to this. Further, in the drawings, in order to describe the embodiment, the scale is appropriately changed and expressed by partially enlarging or emphasizing the description. In the following drawings, directions in the drawings will be described using an XYZ coordinate system. In this XYZ coordinate system, a plane parallel to the horizontal plane is defined as an XY plane. An arbitrary direction parallel to the XY plane is expressed as an X direction, and a direction orthogonal to the X direction is expressed as a Y direction. A direction perpendicular to the XY plane (up and down direction) is referred to as a Z direction. In each of the X direction, the Y direction, and the Z direction, the direction of the arrow in the figure is the + direction, and the direction opposite to the arrow direction is the − direction.

［第１実施形態］
第１実施形態について、図面を参照して説明する。図１は、第１実施形態に係る機能膜製造システムの一例を示す図である。なお、以下の各実施形態において「機能膜製造システム」を「システム」と称す。システム１は、第１機能層２と第２機能層３とが積層された積層膜（機能膜）４を製造する。システム１は、第１機能層２を含むシート５に枠部６を形成し、第２機能層３を形成するための液体７をシート５に塗布して乾燥させることにより積層膜４を製造する。システム１は、図１に示すように、枠形成ユニット８と、塗布ユニット９と、減圧乾燥ユニット１０と、保管ユニット１１、１２、１３と、を備える。 [First Embodiment]
A first embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a functional film manufacturing system according to the first embodiment. In the following embodiments, “functional film manufacturing system” is referred to as “system”. The system 1 manufactures a laminated film (functional film) 4 in which a first functional layer 2 and a second functional layer 3 are laminated. The system 1 forms the laminated film 4 by forming the frame portion 6 on the sheet 5 including the first functional layer 2, applying the liquid 7 for forming the second functional layer 3 to the sheet 5, and drying it. . As shown in FIG. 1, the system 1 includes a frame forming unit 8, a coating unit 9, a vacuum drying unit 10, and storage units 11, 12, and 13.

システム１は、処理の流れに沿って上流側から＋Ｘ方向に、保管ユニット１１、枠形成ユニット８、保管ユニット１２、塗布ユニット９、減圧乾燥ユニット１０、保管ユニット１３の順に配置される。なお、本システム１は、保管ユニット１１、１２、１３を配置するか否かは任意であり、保管ユニット１１、１２、１３がなくてもよい。また、システム１は、上記各ユニットを統括的に制御する不図示の制御装置を備えてもよい。以下、各ユニットについて順に説明する。 The system 1 is arranged in the order of the storage unit 11, the frame forming unit 8, the storage unit 12, the coating unit 9, the reduced pressure drying unit 10, and the storage unit 13 in the + X direction from the upstream side along the flow of processing. In the present system 1, whether or not the storage units 11, 12, and 13 are arranged is arbitrary, and the storage units 11, 12, and 13 may not be provided. Further, the system 1 may include a control device (not shown) that controls the above-described units in an integrated manner. Hereinafter, each unit will be described in order.

保管ユニット１１は、枠部ストッカであり、複数の枠部６を保管して順次枠部６を枠形成ユニット８に供給する。保管ユニット１１は、複数の収容部１６を備える。それぞれの収容部１６は、例えば、複数の枠部６を積み重ねた状態で収容するが、枠部６ごとに収容可能な棚を備えてもよい。複数の収容部１６は、不図示の駆動装置によって待機位置ＰＡから供給位置ＰＢに向けてＺ軸周りの周回方向に移動可能に形成される。収容部１６の移動は、不図示の制御装置により制御されてもよく、また作業者によりマニュアル操作されてもよい。 The storage unit 11 is a frame part stocker, stores a plurality of frame parts 6, and sequentially supplies the frame parts 6 to the frame forming unit 8. The storage unit 11 includes a plurality of storage units 16. Each accommodating portion 16 accommodates, for example, a plurality of frame portions 6 in a stacked state, but may include a shelf that can be accommodated for each frame portion 6. The plurality of accommodating portions 16 are formed so as to be movable in the circumferential direction around the Z axis from the standby position PA toward the supply position PB by a drive device (not shown). The movement of the accommodating portion 16 may be controlled by a control device (not shown) or may be manually operated by an operator.

なお、収容部１６は、Ｚ軸周りに周回移動させるが、これに限定されない。また、待機位置ＰＡは３カ所に限定されず、１カ所または４カ所以上であってもよい。供給位置ＰＢは、収容部１６から枠形成ユニット８に枠部６を移送可能な位置である。供給位置ＰＢにある収容部１６から、例えば、ロボットハンドやマニュピレータ等の搬送装置により枠部６を＋Ｘ方向に移送して枠形成ユニット８に供給する。なお、保管ユニット１１は、枠部６を順次枠形成ユニット８に供給可能であれば、図示のものに限定されず、任意の構成を用いることができる。また、本システム１において、保管ユニット１１はなくてもよい。その場合、例えば、作業者による手作業で枠部６を枠形成ユニット８に供給してもよい。 In addition, although the accommodating part 16 is moved around the Z axis | shaft, it is not limited to this. Further, the standby position PA is not limited to three places, and may be one place or four places or more. The supply position PB is a position where the frame portion 6 can be transferred from the housing portion 16 to the frame forming unit 8. From the accommodating portion 16 at the supply position PB, for example, the frame portion 6 is transferred in the + X direction by a transfer device such as a robot hand or a manipulator and supplied to the frame forming unit 8. The storage unit 11 is not limited to that shown in the figure as long as the frame 6 can be sequentially supplied to the frame forming unit 8, and any configuration can be used. Further, in the present system 1, the storage unit 11 may not be provided. In that case, for example, the frame portion 6 may be supplied to the frame forming unit 8 manually by an operator.

枠形成ユニット８は、長尺のシート５Ａが巻かれたロール体Ｒ１からシート５Ａを−Ｙ方向に引き出し、シート５Ａの上面（＋Ｚ側の面）の一部に枠部６を形成し、枠部６ごとにシート５Ａを切断して枚葉のシート５を形成する。シート５Ａの引出方向は、例えば、枠部６が供給される方向と直交する。枠部６は、シート５Ａの一部領域を囲むように形成される。枠部６は、例えば、＋Ｚ側から見て、長方形状に形成され、内側に開口部分を有する。枠部６の短手方向（Ｘ方向）の長さは、例えば、シート５Ａの幅（Ｘ方向）の長さとほぼ同一に設定されている。なお、枠部６の形状は、シート５Ａから切断されたシート５の形状に対応して設定され、例えば、枠部６は、シート５から外側にはみ出すような大きさのものが使用されてもよい。 The frame forming unit 8 draws the sheet 5A in the −Y direction from the roll body R1 around which the long sheet 5A is wound, and forms the frame portion 6 on a part of the upper surface (the surface on the + Z side) of the sheet 5A. The sheet 5A is cut for each portion 6 to form a sheet 5 of sheets. The drawing direction of the sheet 5A is orthogonal to the direction in which the frame portion 6 is supplied, for example. The frame portion 6 is formed so as to surround a partial region of the sheet 5A. For example, the frame 6 is formed in a rectangular shape when viewed from the + Z side, and has an opening on the inside. The length of the frame 6 in the short direction (X direction) is set, for example, substantially the same as the length of the width (X direction) of the sheet 5A. Note that the shape of the frame portion 6 is set corresponding to the shape of the sheet 5 cut from the sheet 5A. For example, the frame portion 6 having a size that protrudes outward from the sheet 5 is used. Good.

枠部６は、シート５の剛性を向上させ、かつシート５を広げたまま保持するために用いられる。枠部６の材料は任意であり、例えば、電気絶縁性を有する樹脂材料等の他に、金属材料、ガラス等が用いられる。枠部６は、例えば、非フッ素系樹脂（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド等。）、含フッ素樹脂（ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ等。）等の樹脂材料が用いられてもよい。枠部６の厚さは、例えば数十μｍ〜数１００μｍに設定されるが、特に厚さを限定するものではない。なお、枠部６の形状は、シート５Ａの一部領域を囲むものであれば、図示のようにシート５Ａの一部領域を４方から囲むものに限定されず、例えば、シート５Ａの一部領域の４辺のうち１辺〜３辺に沿って枠部６を形成するものでもよい。また、枠部６は、燃料電池等に使用されるガスの流入出孔や、組み立てる際に用いられるねじ穴や位置決め用の穴などの貫通孔を備えてもよい。 The frame portion 6 is used for improving the rigidity of the sheet 5 and holding the sheet 5 in an unfolded state. The material of the frame portion 6 is arbitrary, and for example, a metal material, glass, or the like is used in addition to a resin material having electrical insulation. The frame portion 6 is made of, for example, a resin material such as a non-fluorine-based resin (polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethylene, polypropylene, polyimide, etc.) or a fluorine-containing resin (PTFE, ETFE, FEP, PFA, etc.). Also good. The thickness of the frame portion 6 is set to, for example, several tens of μm to several hundreds of μm, but the thickness is not particularly limited. As long as the shape of the frame 6 surrounds a partial region of the sheet 5A, the shape of the frame portion 6 is not limited to that surrounding the partial region of the sheet 5A as shown in the figure. The frame portion 6 may be formed along one to three sides of the four sides of the region. Moreover, the frame part 6 may be provided with through-holes, such as a gas inflow / outflow hole used for a fuel cell or the like, and a screw hole or a positioning hole used for assembly.

図２は、枠形成ユニット８の一例を示す図であり、（Ａ）は−Ｘ方向から見た側面図、（Ｂ）は＋Ｚ側から見た平面図である。枠形成ユニット８は、保管ユニット１１から供給された枠部６を長尺のシート５Ａに接着し、さらに枠部６ごとにシート５Ａを切断して枚葉のシート５を形成する。枠形成ユニット８は、図２に示すように、ダンサローラ１８と、固定ローラ１９と、第１保持部２０と、カット台２１と、第２保持部２２と、可動ホルダ２３と、切断部２４と、を備える。 2A and 2B are diagrams showing an example of the frame forming unit 8, in which FIG. 2A is a side view seen from the −X direction, and FIG. 2B is a plan view seen from the + Z side. The frame forming unit 8 adheres the frame portion 6 supplied from the storage unit 11 to the long sheet 5 A, and further cuts the sheet 5 A for each frame portion 6 to form a single sheet 5. As shown in FIG. 2, the frame forming unit 8 includes a dancer roller 18, a fixed roller 19, a first holding unit 20, a cut table 21, a second holding unit 22, a movable holder 23, and a cutting unit 24. .

枠形成ユニット８は、ロール体Ｒ１が＋Ｙ側に配置され、このロール体Ｒ１から長尺のシート５Ａが−Ｙ方向に引き出されて供給される。ロール体Ｒ１は、不図示の軸部に回転可能に支持され、シート５Ａが引き出されることにより回転する。なお、ロール体Ｒ１は、不図示の駆動装置により、シート５Ａの引き出しに対応して回転させてもよい。ロール体Ｒ１から−Ｙ方向に引き出されたシート５Ａは、ダンサローラ１８と、固定ローラ１９と、に架け渡される。 In the frame forming unit 8, the roll body R1 is disposed on the + Y side, and a long sheet 5A is drawn out from the roll body R1 in the -Y direction and supplied. The roll body R1 is rotatably supported by a shaft portion (not shown), and rotates when the sheet 5A is pulled out. Note that the roll body R1 may be rotated corresponding to the drawing-out of the sheet 5A by a driving device (not shown). The sheet 5 A pulled out from the roll body R 1 in the −Y direction is bridged between the dancer roller 18 and the fixed roller 19.

ダンサローラ１８は、例えば、Ｚ方向に移動可能に形成され、所定の荷重がかけられている。固定ローラ１９は、例えば、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に移動しないように固定された従動ローラである。ダンサローラ１８及び固定ローラ１９は、いずれもＸ方向に沿って配置され、ダンサローラ１８が固定ローラ１９より下方に配置される。これらダンサローラ１８及び固定ローラ１９により、長尺のシート５Ａに対して一定の張力を付与し、シート５Ａのたるみを抑制している。また、例えば、後述する可動ホルダ２３によってシート５Ａが引っ張られた場合、ダンサローラ１８が＋Ｚ方向に移動することによりシート５Ａに過大な張力が作用しないようにしている。 The dancer roller 18 is formed to be movable in the Z direction, for example, and a predetermined load is applied thereto. The fixed roller 19 is a driven roller fixed so as not to move in the X, Y, and Z directions, for example. The dancer roller 18 and the fixed roller 19 are both disposed along the X direction, and the dancer roller 18 is disposed below the fixed roller 19. The dancer roller 18 and the fixed roller 19 apply a constant tension to the long sheet 5A to suppress the sagging of the sheet 5A. For example, when the sheet 5A is pulled by the movable holder 23 described later, the dancer roller 18 moves in the + Z direction so that excessive tension is not applied to the sheet 5A.

なお、固定ローラ１９は、例えば、第１保持部２０に対してシート５Ａを水平に（Ｙ方向に）移送する高さに設定される。なお、ダンサローラ１８及び固定ローラ１９の配置や構成は、図示のものに限定されず、ロール体Ｒ１からシート５Ａを案内するものであれば、任意の構成を適用することができる。例えば、ダンサローラ１８がなく固定ローラ１９のみの構成でもよい。また、シート５Ａの張力を一定に保持する機構は、ダンサローラ１８を用いる機構以外のものを備えてもよい。 The fixed roller 19 is set to a height at which the sheet 5 A is transferred horizontally (in the Y direction) with respect to the first holding unit 20, for example. The arrangement and configuration of the dancer roller 18 and the fixed roller 19 are not limited to those shown in the drawing, and any configuration can be applied as long as it guides the sheet 5A from the roll body R1. For example, the configuration may be such that there is no dancer roller 18 and only the fixed roller 19 is used. Further, the mechanism for keeping the tension of the sheet 5 A constant may include a mechanism other than the mechanism using the dancer roller 18.

第１保持部２０は、図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、固定ローラ１９の−Ｙ側に配置される。第１保持部２０は、Ｘ方向に伸びる棒状に形成され、シート５Ａを裏面側から保持する。第１保持部２０は、例えば、不図示の吸引装置等に接続され、吸引によりシート５Ａの裏面の一部を吸着して保持する。第１保持部２０によるシート５Ａの保持のタイミングや、保持力（吸引力）等は、不図示の制御装置により制御されてもよい。 As shown in FIGS. 2A and 2B, the first holding unit 20 is disposed on the −Y side of the fixed roller 19. The first holding unit 20 is formed in a rod shape extending in the X direction, and holds the sheet 5A from the back side. The first holding unit 20 is connected to, for example, a suction device (not shown) and sucks and holds a part of the back surface of the sheet 5A by suction. The timing of holding the sheet 5A by the first holding unit 20, the holding force (suction force), and the like may be controlled by a control device (not shown).

カット台２１は、第１保持部２０の−Ｙ側に配置されている。なお、カット台２１は、後述する第２保持部２２と一体に形成されてもよい。カット台２１は、Ｘ方向に延びる板状であって、後述する切断部２４の移動経路に沿って配置される。また、カット台２１は、Ｚ方向に移動可能に形成され、シート５Ａの裏面にほぼ接触する上昇位置と、シート５Ａの裏面から−Ｚ方向に退避した退避位置との間を移動する。なお、カット台２１が第２保持部２２と一体に形成される場合は、第２保持部２２の移動に伴ってＺ方向に移動させてもよい。カット台２１は、シート５Ａの移動時や切断部２４による切断時には−Ｚ方向に移動して退避するように設定される。なお、カット台２１を設けるか否かは任意であり、カット台２１はなくてもよい。 The cut table 21 is disposed on the −Y side of the first holding unit 20. Note that the cut table 21 may be formed integrally with a second holding portion 22 described later. The cutting table 21 is a plate extending in the X direction, and is arranged along the movement path of the cutting unit 24 described later. The cut table 21 is formed so as to be movable in the Z direction, and moves between a raised position almost in contact with the back surface of the sheet 5A and a retreat position retracted in the −Z direction from the back surface of the sheet 5A. In addition, when the cut stand 21 is formed integrally with the second holding part 22, it may be moved in the Z direction as the second holding part 22 moves. The cut table 21 is set so as to move and retract in the −Z direction when the sheet 5 A moves or is cut by the cutting unit 24. Note that whether or not to provide the cut table 21 is arbitrary, and the cut table 21 may not be provided.

第２保持部２２は、カット台２１の−Ｙ側に隣接して配置される。第２保持部２２は、矩形板状に形成され、シート５Ａの裏面を吸着することにより保持する。シート５Ａの吸着は、例えば、吸引により行う。第２保持部２２は、不図示の駆動装置によりＺ方向に移動可能に形成される。第２保持部２２は、第１保持部２０とほぼ水平の上昇位置と、−Ｚ方向に退避した退避位置との間を移動する。第２保持部２２は、シート５Ａを保持する際に不図示の駆動装置により上昇位置に移動し、シート５Ａを移動する際時に退避位置に移動する。 The second holding unit 22 is disposed adjacent to the −Y side of the cut table 21. The second holding unit 22 is formed in a rectangular plate shape, and holds it by adsorbing the back surface of the sheet 5A. The adsorption of the sheet 5A is performed by suction, for example. The second holding portion 22 is formed to be movable in the Z direction by a driving device (not shown). The second holding unit 22 moves between a substantially horizontal rising position with the first holding unit 20 and a retracted position retracted in the −Z direction. The second holding unit 22 is moved to a raised position by a driving device (not shown) when holding the sheet 5A, and is moved to a retracted position when moving the sheet 5A.

可動ホルダ２３は、シート５Ａを＋Ｘ方向に移動させる。可動ホルダ２３は、ロッド２６と、ホルダ２７と、を備える。ロッド２６は、不図示のガイドによりＹ方向に移動可能に形成され、不図示の駆動装置によってＹ方向に移動する。ホルダ２７は、ロッド２６の＋Ｙ側端部に形成される。ホルダ２７は、シート５Ａの−Ｙ側の端部の一部を挟んでまたは吸着して保持可能に形成される。可動ホルダ２３は、ホルダ２７が第１保持部２０に保持されたシート５の端部を保持可能な位置と、シート５Ａを−Ｙ方向に引き出して第２保持部２２によりシート５Ａを保持可能な位置との間を移動する。なお、ホルダ２７は、図示のものに限定されず、シート５を保持可能な任意の構成のものを適用することができる。ホルダ２７は、シート５Ａを保持する部分は２カ所に限定されず、１カ所または３カ所以上でもよい。 The movable holder 23 moves the sheet 5A in the + X direction. The movable holder 23 includes a rod 26 and a holder 27. The rod 26 is formed so as to be movable in the Y direction by a guide (not shown), and is moved in the Y direction by a driving device (not shown). The holder 27 is formed at the + Y side end of the rod 26. The holder 27 is formed so as to be able to hold a part of the end portion on the −Y side of the sheet 5 A by sandwiching or adsorbing it. The movable holder 23 can hold the end of the sheet 5 held by the first holding unit 20 by the holder 27 and can hold the sheet 5A by the second holding unit 22 by pulling out the sheet 5A in the -Y direction. Move between positions. Note that the holder 27 is not limited to the illustrated one, and an arbitrary configuration that can hold the sheet 5 can be applied. The holder 27 is not limited to two portions for holding the sheet 5A, but may be one or three or more locations.

切断部２４は、カッタ等の刃部を有し、第２保持部２２に保持されたシート５Ａの−Ｘ側を切断する。切断部２４は、カット台２１の上面に沿ってＸ方向に移動可能に形成される。切断部２４は、カット台２１の＋Ｘ側に退避しており、不図示の駆動装置により−Ｘ方向に移動することでシート５Ａの所定部分を切断する。切断部２４によりシート５Ａを切断する際は、カット台２１が上昇位置に配置されている。なお、切断部２４は、Ｘ方向に移動してシート５Ａを切断することに代えて、シート５ＡをＺ方向に挟み込んで切断するものでもよい。 The cutting part 24 has a blade part such as a cutter and cuts the −X side of the sheet 5 A held by the second holding part 22. The cutting part 24 is formed to be movable in the X direction along the upper surface of the cut table 21. The cutting unit 24 is retracted to the + X side of the cut table 21 and cuts a predetermined portion of the sheet 5A by moving in the −X direction by a driving device (not shown). When cutting the sheet 5 A by the cutting unit 24, the cut table 21 is disposed at the raised position. Note that the cutting unit 24 may be configured to sandwich and cut the sheet 5A in the Z direction instead of moving in the X direction and cutting the sheet 5A.

図３は、枠形成ユニット８の動作を示す図である。以下の動作は、不図示の制御装置が制御してもよく、全部または一部の動作について作業者がマニュアル操作を行ってもよい。図３（Ａ）に示すように、シート５の−Ｙ側の端部が第１保持部２０に保持された状態から開始する。この状態で、可動ホルダ２３は、ロッド２６を＋Ｙ方向に移動させ、ホルダ２７によりシート５の−Ｙ側の端部を保持する。この際、カット台２１及び第２保持部２２は、−Ｚ方向に退避している。 FIG. 3 is a diagram illustrating the operation of the frame forming unit 8. The following operations may be controlled by a control device (not shown), or an operator may perform manual operations for all or some of the operations. As shown in FIG. 3A, the process starts from a state in which the −Y side end of the sheet 5 is held by the first holding unit 20. In this state, the movable holder 23 moves the rod 26 in the + Y direction, and the holder 27 holds the end portion on the −Y side of the sheet 5. At this time, the cut table 21 and the second holding unit 22 are retracted in the −Z direction.

次に、第１保持部２０によるシート５の保持を停止した後、図３（Ｂ）に示すように、可動ホルダ２３は、ホルダ２７でシート５を保持したまま−Ｙ方向に移動する。このとき、ダンサローラ１８によってシート５Ａの張力がほぼ一定の維持されている。可動ホルダ２３がシート５Ａを＋Ｘ方向に所定量を引き出した後、カット台２１及び第２保持部２２を上昇位置まで移動させ、第１保持部２０に対してほぼ水平になるように設定する。続いて、第２保持部２２は、吸引等によりシート５Ａを保持する。これにより、シート５Ａは広がった状態で第２保持部２２に保持される。 Next, after stopping the holding of the sheet 5 by the first holding unit 20, the movable holder 23 moves in the −Y direction while holding the sheet 5 with the holder 27, as shown in FIG. At this time, the tension of the sheet 5 A is maintained substantially constant by the dancer roller 18. After the movable holder 23 pulls out a predetermined amount of the sheet 5A in the + X direction, the cut table 21 and the second holding part 22 are moved to the raised position and set to be substantially horizontal with respect to the first holding part 20. Subsequently, the second holding unit 22 holds the sheet 5A by suction or the like. Thereby, the sheet 5A is held by the second holding unit 22 in a spread state.

次に、図３（Ｃ）に示すように、可動ホルダ２３は、シート５Ａの保持を解除して−Ｙ方向に移動し、第２保持部２２から退避する。続いて、切断部２４は、カット台２１に沿って−Ｘ方向に移動することにより、シート５Ａから短尺のシート５を形成する。切断後のシート５のサイズは、枠部６の外縁とほぼ同様または枠部６の外縁より小さいサイズに設定される。切断部２４は、シート５Ａの切断後、＋Ｘ方向に移動して退避位置に戻る。また、カット台２１も、シート５Ａの切断後、−Ｚ方向に移動して退避位置に戻る。 Next, as shown in FIG. 3C, the movable holder 23 releases the holding of the sheet 5 A, moves in the −Y direction, and retracts from the second holding unit 22. Subsequently, the cutting unit 24 forms the short sheet 5 from the sheet 5 A by moving in the −X direction along the cut table 21. The size of the sheet 5 after cutting is set to be substantially the same as the outer edge of the frame portion 6 or smaller than the outer edge of the frame portion 6. After cutting the sheet 5A, the cutting unit 24 moves in the + X direction and returns to the retracted position. Further, after the cutting of the sheet 5A, the cutting table 21 also moves in the −Z direction and returns to the retracted position.

次に、図３（Ｄ）に示すように、不図示の搬送装置により保管ユニット１１から枠部６が供給される（図２（Ａ）参照）。枠部６の搬送中において、不図示の接着剤塗布部により枠部６の接着対象面、またはシート５のうち枠部接着面に接着剤を塗布し、この枠部６を第２保持部２２に保持されるシート５に押し付けることにより、枠部６をシート５に固定する。これにより、シート５に枠部６が形成される。シート５は、第２保持部２２上で広がった状態で保持されるので、枠部６をシート５に対して正確かつ適切に形成することができる。また、枠部６が形成されたシート５は、枠部６により広がった状態が維持され、変形が抑制される。 Next, as shown in FIG. 3D, the frame portion 6 is supplied from the storage unit 11 by a not-shown transport device (see FIG. 2A). During conveyance of the frame part 6, an adhesive is applied to the surface to be bonded of the frame part 6 or the frame part adhesive surface of the sheet 5 by an adhesive application unit (not shown), and the frame part 6 is attached to the second holding part 22. The frame portion 6 is fixed to the sheet 5 by being pressed against the sheet 5 held on the sheet 5. Thereby, the frame portion 6 is formed on the sheet 5. Since the sheet 5 is held in a state of being spread on the second holding part 22, the frame part 6 can be accurately and appropriately formed with respect to the sheet 5. In addition, the sheet 5 on which the frame portion 6 is formed is maintained in a state of being spread by the frame portion 6, and deformation is suppressed.

なお、上記した接着剤としては、任意の接着剤が用いられる。また、接着剤を用いずに、枠部６の一部を溶融させてシート５に接着させてもよい。また、シート５と枠部６との位置合わせのため、シート５の一部（例えばシート５の外縁など）にアライメント用のマークが形成され、このマークを光学式のセンサ等で認識してシート５に対する枠部６の位置合わせを行ってもよい。また、図３では、長尺のシート５Ａを切断して短尺のシート５とした後に枠部６を形成しているが、これに代えて、先に長尺のシート５Ａに枠部６を形成し、続いて枠部６ごとに切断してシート５としてもよい。 In addition, arbitrary adhesives are used as an above-mentioned adhesive agent. Alternatively, a part of the frame portion 6 may be melted and bonded to the sheet 5 without using an adhesive. For alignment between the sheet 5 and the frame portion 6, an alignment mark is formed on a part of the sheet 5 (for example, the outer edge of the sheet 5). The mark is recognized by an optical sensor or the like. The frame 6 may be aligned with respect to 5. In FIG. 3, the frame 6 is formed after the long sheet 5A is cut into the short sheet 5. Instead, the frame 6 is first formed on the long sheet 5A. Then, the sheet 5 may be cut by cutting every frame portion 6.

次に、図３（Ｅ）に示すように、可動ホルダ２３は、−Ｙ方向に移動してシート５を保持する。このとき、可動ホルダ２３は、剛性の高い枠部６を保持してもよく、またシート５をしてもよい。続いて、第２保持部２２によるシート５の保持が解除された後、可動ホルダ２３によりシート５が搬送される。なお、図３（Ｅ）ではシート５が−Ｙ方向に搬送されるように図示しているが、図１に示すように＋Ｘ方向に搬送されて保管ユニット１２に収容される。なお、保管ユニット１２へのシート５の搬送は、可動ホルダ２３により行うことに代えて、他の搬送装置が使用されてもよい。 Next, as illustrated in FIG. 3E, the movable holder 23 moves in the −Y direction and holds the sheet 5. At this time, the movable holder 23 may hold the rigid frame portion 6 or the sheet 5. Subsequently, after the holding of the sheet 5 by the second holding unit 22 is released, the sheet 5 is conveyed by the movable holder 23. 3E, the sheet 5 is illustrated as being conveyed in the −Y direction, but is conveyed in the + X direction and accommodated in the storage unit 12 as illustrated in FIG. In addition, instead of performing the conveyance of the sheet 5 to the storage unit 12 by the movable holder 23, another conveyance device may be used.

なお、上記した枠形成ユニット８は、枠部６をシート５の一方の面に形成しているが、シート５の両面に枠部６が形成されてもよい。また、上記では、枠部６をシート５に接着しているが、これに限定されない。例えば、シート５の上面において、熱硬化性または光硬化性などの樹脂材料を塗布し、この樹脂材料を適宜硬化させることにより枠部６が形成されてもよい。また、上記では、ロール体Ｒ１から長尺のシート５Ａが枠形成ユニット８に供給されるが、これに限定されない。例えば、予め切断された枚葉のシート５が枠形成ユニット８に供給され、このシート５に枠部６を形成するものでもよい。 In the frame forming unit 8 described above, the frame portion 6 is formed on one surface of the sheet 5, but the frame portion 6 may be formed on both surfaces of the sheet 5. Moreover, although the frame part 6 is adhere | attached on the sheet | seat 5 in the above, it is not limited to this. For example, the frame portion 6 may be formed by applying a thermosetting or photocurable resin material on the upper surface of the sheet 5 and curing the resin material as appropriate. In the above description, the long sheet 5A is supplied from the roll body R1 to the frame forming unit 8, but the present invention is not limited to this. For example, a sheet 5 cut in advance may be supplied to the frame forming unit 8, and the frame portion 6 may be formed on the sheet 5.

このように、枠形成ユニット８によれば、シート５に枠部６を容易に形成することができる。また、シート５は、枠部６により剛性が向上するので、例えばシート５が１０数μｍ程度と極めて薄い場合でも、その後の搬送や組み立てなどのハンドリング性を向上させることができる。また、枠部６によってシート５が広がった状態で維持するので、シート５に対する各種処理の際に皺やひび割れ等の変形が生じるのを防止することができる。 As described above, according to the frame forming unit 8, the frame portion 6 can be easily formed on the sheet 5. Further, since the rigidity of the sheet 5 is improved by the frame portion 6, for example, even when the sheet 5 is as thin as about several tens of μm, handling properties such as subsequent conveyance and assembly can be improved. Further, since the sheet 5 is maintained in a state of being spread by the frame portion 6, it is possible to prevent deformation such as wrinkles and cracks during various processing on the sheet 5.

図１に戻り、保管ユニット１２は、枠形成ユニット８から搬送された枠部６付きの複数のシート５を収容する。保管ユニット１２は、例えば、枠形成ユニット８の処理速度が後段の塗布ユニット９や減圧乾燥ユニット１０より速い場合、シート５を塗布ユニット９に送る前に一時的に保管することで各ユニットの処理速度の相違を吸収するように働く。保管ユニット１２は、シート５を重ねた状態で保管してもよく、また、シート５を１枚ごとまたは複数枚ごとに収容可能な棚（スロット）を備えてもよい。なお、保管ユニット１２を配置するか否かは任意であり、保管ユニット１２はなくてもよい。 Returning to FIG. 1, the storage unit 12 accommodates the plurality of sheets 5 with the frame portion 6 conveyed from the frame forming unit 8. For example, when the processing speed of the frame forming unit 8 is faster than the coating unit 9 and the vacuum drying unit 10 in the subsequent stage, the storage unit 12 temporarily stores the sheet 5 before sending it to the coating unit 9 to process each unit. Works to absorb the speed difference. The storage unit 12 may store the sheets 5 in a stacked state, and may include a shelf (slot) that can store the sheets 5 one by one or a plurality of sheets. Note that whether or not the storage unit 12 is disposed is arbitrary, and the storage unit 12 may not be provided.

図４は、塗布ユニット９及び減圧乾燥ユニット１０を−Ｘ方向から見た図である。図５は、塗布ユニット９及び減圧乾燥ユニット１０を＋Ｚ方向から見た平面図である。塗布ユニット９は、図４に示すように、シート５の少なくとも一方の面に、第２機能層３を形成するための液体７を塗布する。塗布ユニット９は、図４及び図５に示すように、保持部２８と、塗布部２９と、を有する。保持部２８及び塗布部２９は、メインフレーム３０により支持される。 FIG. 4 is a view of the coating unit 9 and the vacuum drying unit 10 as viewed from the −X direction. FIG. 5 is a plan view of the coating unit 9 and the vacuum drying unit 10 as viewed from the + Z direction. As shown in FIG. 4, the application unit 9 applies a liquid 7 for forming the second functional layer 3 to at least one surface of the sheet 5. As shown in FIGS. 4 and 5, the coating unit 9 includes a holding unit 28 and a coating unit 29. The holding unit 28 and the application unit 29 are supported by the main frame 30.

メインフレーム３０は、Ｚ方向の複数の支持フレーム３２と、支持フレーム３２間に配置された複数の水平フレーム３３、３４、及びテーブル３５と、で構成される。ただし、メインフレーム３０は、図示のものに限定されず、保持部２８等を支持可能な任意の形状を適用できる。また、メインフレーム３０の下面にキャスタ等が設けられ、塗布ユニット９及び減圧乾燥ユニット１０を移動可能としてもよい。 The main frame 30 includes a plurality of support frames 32 in the Z direction, and a plurality of horizontal frames 33 and 34 and a table 35 disposed between the support frames 32. However, the main frame 30 is not limited to the illustrated one, and any shape that can support the holding portion 28 and the like can be applied. Further, a caster or the like may be provided on the lower surface of the main frame 30 so that the coating unit 9 and the vacuum drying unit 10 can be moved.

保持部２８は、シート５を保持する。保持部２８は、吸着部３８と、基部３９と、吸着用吸引部４０と、を備える。吸着部３８は、シート５及び枠部６の少なくとも一方を吸引することによりシート５を保持する。吸着部３８は、例えば、外形が矩形平板状であり、基部３９の上側（＋Ｚ側）に支持される。吸着部３８としては、例えば、セラミック製、樹脂製、カーボン製等の多孔質部材が用いられる。吸着部３８の外形や大きさは、枠部６の外縁より大きいものであれば、図示のものに限定されず、種々の形状や大きさのものを適用することができる。基部３９は、後述する減圧乾燥ユニット１０のベース部７２の上に配置される。吸着用吸引部４０は、例えば、所定の吸引力を発生させる吸引ポンプ等が用いられる。吸着用吸引部４０は、基部３９を介して吸着部３８の上面側に吸引力を作用させる。 The holding unit 28 holds the sheet 5. The holding unit 28 includes an adsorption unit 38, a base 39, and an adsorption suction unit 40. The suction part 38 holds the sheet 5 by sucking at least one of the sheet 5 and the frame part 6. For example, the suction part 38 has a rectangular flat plate shape and is supported on the upper side (+ Z side) of the base part 39. As the adsorption part 38, for example, a porous member made of ceramic, resin, carbon or the like is used. The outer shape and size of the suction portion 38 are not limited to those shown in the drawings as long as they are larger than the outer edge of the frame portion 6, and various shapes and sizes can be applied. The base 39 is disposed on the base portion 72 of the vacuum drying unit 10 described later. For example, a suction pump that generates a predetermined suction force is used as the suction unit 40 for suction. The suction part 40 for suction applies a suction force to the upper surface side of the suction part 38 via the base 39.

図６（Ａ）は保持部２８の一例を示す図であり、図５に示すＡ−Ａ線に沿った断面図である。図６（Ａ）は、説明のため、特徴部分を大きくして記載している。また、図６（Ａ）には、塗布ユニット９による液体７の塗布も併せて記載している。図６（Ａ）に示すように、吸着部３８は、上面側を吸着面として用い、吸着面と下面（−Ｚ側の面）とを貫通する複数の孔部４２を備える。吸着部３８の吸着面は、例えば、ほぼ水平に配置されるが、これに限定されず、いずれかの方向に傾いた状態で配置されてもよい。孔部４２は、例えばその孔径が０．１μｍ〜数ｍｍ程度に形成されるが、この孔径を特に限定するものではない。孔部４２の開口形状は、円形状、楕円形状、長円形状、多角形状のいずれであってもよい。 FIG. 6A is a view showing an example of the holding portion 28, and is a cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. In FIG. 6A, the characteristic part is enlarged for description. FIG. 6A also shows application of the liquid 7 by the application unit 9. As shown in FIG. 6A, the suction portion 38 includes a plurality of holes 42 that penetrate the suction surface and the lower surface (the −Z side surface) using the upper surface side as the suction surface. For example, the suction surface of the suction portion 38 is disposed substantially horizontally, but is not limited thereto, and may be disposed in a state inclined in any direction. The hole 42 is formed with a hole diameter of, for example, about 0.1 μm to several mm, but the hole diameter is not particularly limited. The opening shape of the hole 42 may be any of a circular shape, an elliptical shape, an oval shape, and a polygonal shape.

また、孔部４２は、単位面積あたりの個数が吸着部３８の全面にわたって一定に形成されるが、これに限定されない。例えば、吸着対象となるシート５の枠部６に対応する箇所にのみ配置されてもよく、また、枠部６に対応する孔部４２の単位面積あたりの個数を増加させ、シート５に対応する孔部４２の個数を減少させてもよく、逆に、シート５に対応する孔部４２の個数を増加させ、枠部６に対応する孔部４２の個数を減少させてもよい。また、吸着部３８の吸着面に複数の溝部が形成され、この溝部に孔部４２が接続されるものでもよい。 In addition, the number of the hole portions 42 is constant over the entire surface of the suction portion 38, but the number is not limited to this. For example, it may be arranged only at a position corresponding to the frame portion 6 of the sheet 5 to be attracted, and the number of hole portions 42 corresponding to the frame portion 6 per unit area is increased to correspond to the sheet 5. The number of hole portions 42 may be decreased, and conversely, the number of hole portions 42 corresponding to the sheet 5 may be increased and the number of hole portions 42 corresponding to the frame portion 6 may be decreased. Further, a plurality of groove portions may be formed on the suction surface of the suction portion 38, and the hole portion 42 may be connected to the groove portions.

基部３９は、図６（Ａ）に示すように、吸着部３８を上面側で支持するとともに、吸着部３８の下面側に空間部４３を備える。基部３９は、空間部４３と吸着用吸引部４０とを接続する接続孔４４が設けられる。吸着用吸引部４０から接続孔４４までは、例えば不図示の管状部材等により接続される。従って、吸着用吸引部４０を駆動することにより空間部４３内が吸引されて減圧し、空間部４３と連通する孔部４２を介して吸着部３８の吸着面に吸着力を作用させる。吸着部３８の吸着力は、吸着用吸引部４０の駆動により設定される。吸着用吸引部４０による吸着力の大きさや駆動タイミングは、不図示の制御装置により制御されてもよく、また作業者によりマニュアル操作されてもよい。 As shown in FIG. 6A, the base 39 supports the suction portion 38 on the upper surface side, and includes a space portion 43 on the lower surface side of the suction portion 38. The base portion 39 is provided with a connection hole 44 that connects the space portion 43 and the suction portion 40 for suction. The suction portion 40 for suction and the connection hole 44 are connected by, for example, a tubular member (not shown). Accordingly, by driving the suction portion 40 for suction, the space portion 43 is sucked and decompressed, and the suction force is applied to the suction surface of the suction portion 38 through the hole portion 42 communicating with the space portion 43. The suction force of the suction part 38 is set by driving the suction part 40 for suction. The magnitude and driving timing of the suction force by the suction part 40 for suction may be controlled by a control device (not shown) or may be manually operated by an operator.

吸着部３８の上面には、シート部材４６が配置される。従って、シート５は、シート部材４６を挟んで吸着部３８に吸着される。シート部材４６は、その表裏間で通気可能な部材が用いられ、例えば、樹脂製多孔質シート、和紙等の紙部材、不織布、メンブレンフィルタ等が用いられる。シート部材４６は、吸着部３８の孔部４２の孔径より小さいものが用いられる。なお、シート部材４６の孔径は平均孔径を意味する。シート部材４６が配置されることにより、シート５の吸着する際の吸引力によりシート５に与えるダメージを抑制することができる。また、シート部材４６が弾性を有する場合、シート５を強く吸引したときでも弾性によりシート５を受け止めることができ、吸着部３８により吸引したダメージをさらに抑制することができる。なお、吸着部３８の上面にシート部材４６を配置するか否かは任意であり、シート部材４６を配置しなくてもよい。 A sheet member 46 is disposed on the upper surface of the suction portion 38. Accordingly, the sheet 5 is adsorbed by the adsorbing portion 38 with the sheet member 46 interposed therebetween. As the sheet member 46, a member that can be ventilated between the front and back surfaces thereof is used. For example, a resin porous sheet, a paper member such as Japanese paper, a nonwoven fabric, a membrane filter, or the like is used. The sheet member 46 having a smaller diameter than the hole 42 of the suction portion 38 is used. The hole diameter of the sheet member 46 means an average hole diameter. By disposing the sheet member 46, it is possible to suppress damage to the sheet 5 due to the suction force when the sheet 5 is adsorbed. Further, when the sheet member 46 has elasticity, even when the sheet 5 is strongly sucked, the sheet 5 can be received by elasticity, and damage sucked by the suction portion 38 can be further suppressed. Note that whether or not the sheet member 46 is disposed on the upper surface of the suction portion 38 is arbitrary, and the sheet member 46 may not be disposed.

保持部２８は、吸着部３８に吸着したシート５を加熱するための加熱部４７を備える（図６（Ａ）参照）。加熱部４７は、例えば、電気ヒータ等の熱源が用いられる。この加熱部４７を駆動することにより、基部３９及び吸着部３８を介してシート５を所定温度で加熱することができる。これにより、後述するシート５に塗布された液体７の乾燥時間を短縮することができる。加熱部４７による加熱温度や加熱タイミングは、不図示の制御装置により制御されてもよく、また作業者によりマニュアル操作されてもよい。加熱部４７による加熱タイミングの一例として、後述する塗布ユニット９によりシート５に液体７を塗布したタイミングや、後述する減圧乾燥ユニット１０により液体７を減圧乾燥する際又は減圧乾燥の後のタイミングなどがある。 The holding unit 28 includes a heating unit 47 for heating the sheet 5 adsorbed to the adsorption unit 38 (see FIG. 6A). For the heating unit 47, for example, a heat source such as an electric heater is used. By driving the heating unit 47, the sheet 5 can be heated at a predetermined temperature via the base 39 and the suction unit 38. Thereby, the drying time of the liquid 7 apply | coated to the sheet | seat 5 mentioned later can be shortened. The heating temperature and the heating timing by the heating unit 47 may be controlled by a control device (not shown) or may be manually operated by an operator. As an example of the heating timing by the heating unit 47, the timing at which the liquid 7 is applied to the sheet 5 by the coating unit 9 described later, the timing when the liquid 7 is vacuum-dried by the vacuum drying unit 10 described later, or the timing after the vacuum drying, etc. is there.

なお、加熱部４７は、図示のように基部３９等を介してシート５を加熱するものに限定されず、遠赤外線等を用いた輻射熱によりシート５を加熱するものでもよい。輻射熱を用いた加熱部４７の場合、吸着部３８の上方に加熱部４７が配置され、シート５の全面にわたって赤外領域の波長の光を照射するものが用いられる。なお、加熱部４７を備えるか否かは任意であり、加熱部４７がなくてもよい。また、保持部２８は、加熱部４７に代えて、または加熱部４７に加えて冷却装置を備えてもよい。 In addition, the heating part 47 is not limited to what heats the sheet | seat 5 via the base 39 etc. as shown in figure, The thing which heats the sheet | seat 5 by the radiant heat using far infrared rays etc. may be used. In the case of the heating unit 47 using radiant heat, the heating unit 47 is disposed above the adsorption unit 38 and irradiates light having a wavelength in the infrared region over the entire surface of the sheet 5. In addition, it is arbitrary whether the heating part 47 is provided, and the heating part 47 may not be provided. The holding unit 28 may include a cooling device instead of the heating unit 47 or in addition to the heating unit 47.

このように、保持部２８は、吸着部３８からの吸引によって枠部６付きのシート５を保持する。これにより、後述する塗布ユニット９によって液体７を塗布する際や、減圧乾燥ユニット１０によって液体７を減圧乾燥する際においてもシート５を確実に保持し、液体７の塗布ムラが生じることや、シート５や第２機能層３に皺やひび割れ等の変形が生じるのを防止することができる。 As described above, the holding unit 28 holds the sheet 5 with the frame unit 6 by suction from the suction unit 38. Accordingly, even when the liquid 7 is applied by the application unit 9 to be described later, or when the liquid 7 is vacuum-dried by the reduced-pressure drying unit 10, the sheet 5 is reliably held, and uneven application of the liquid 7 occurs, 5 and the second functional layer 3 can be prevented from being deformed such as wrinkles and cracks.

なお、保持部２８は、吸着部３８からの吸引によりシート５を保持するものに限定されず、シート５を保持可能であれば任意の構成が適用可能である。例えば、保持部２８は、静電チャックを利用してシート５を保持するものでもよい。また、保持部２８は、剥離可能な接着剤または接着テープが配置され、この接着作用によりシート５を保持するものでもよい。また、保持部２８は、吸引や静電チャック、接着剤等の２つ以上を組み合わせてシート５を保持するものでもよい。また、塗布ユニット９が保持部２８を備えるか否かは任意であり、保持部２８はなくてもよい。 The holding unit 28 is not limited to the one that holds the sheet 5 by suction from the suction unit 38, and any configuration can be applied as long as the sheet 5 can be held. For example, the holding unit 28 may hold the sheet 5 using an electrostatic chuck. Further, the holding portion 28 may be one in which a peelable adhesive or adhesive tape is disposed and the sheet 5 is held by this adhesive action. Further, the holding unit 28 may hold the sheet 5 by combining two or more of suction, electrostatic chuck, adhesive, and the like. Further, whether or not the coating unit 9 includes the holding unit 28 is arbitrary, and the holding unit 28 may not be provided.

図４及び図５に戻り、塗布部２９は、シート５の少なくとも一方の面に、第２機能層３を形成するための液体７を塗布する。塗布部２９は、キャリッジ５０と、タンク５１と、ポンプ５２と、ノズル５３と、を備える。キャリッジ５０は、水平方向に配置される矩形板状の下部プレート５４と、下部プレート５４の±Ｙ側から起立する２枚の鉛直プレート５５と、２枚の鉛直プレート５５の上端間に配置される上部プレート５６と、上部プレート５６から下方に延びるノズル支持プレート５７と、を有する。 Returning to FIGS. 4 and 5, the application unit 29 applies the liquid 7 for forming the second functional layer 3 to at least one surface of the sheet 5. The application unit 29 includes a carriage 50, a tank 51, a pump 52, and a nozzle 53. The carriage 50 is disposed between a rectangular plate-shaped lower plate 54 arranged in the horizontal direction, two vertical plates 55 standing from the ± Y side of the lower plate 54, and upper ends of the two vertical plates 55. The upper plate 56 has a nozzle support plate 57 extending downward from the upper plate 56.

下部プレート５４は、メインフレーム３０のテーブル３５の下方に配置される。２枚の鉛直プレート５５のそれぞれは、テーブル３５にＸ方向に形成された２つの開口部５８（図５参照）を貫通した状態で、上部がテーブル３５の上方に位置するように配置される。上部プレート５６は、タンク５１及びポンプ５２を支持する。ノズル支持プレート５７は、ノズル５３を支持する。タンク５１は、ポンプ５２の上方に設けられており、液体７を格納する。タンク５１は、ノズル５３に液体７を供給する際、一時的に保管するものとして用いられる。なお、タンク５１への液体７の供給は、メインフレーム３０の外側等に配置されたインク保管容器等から、不図示のチューブ等を介してタンク５１に液体７が供給される。また、タンク５１は、格納した液体７の温度を調節する温度調節機構を備えてもよい。 The lower plate 54 is disposed below the table 35 of the main frame 30. Each of the two vertical plates 55 is arranged so that the upper part is positioned above the table 35 in a state where the two openings 58 (see FIG. 5) formed in the X direction in the table 35 are penetrated. The upper plate 56 supports the tank 51 and the pump 52. The nozzle support plate 57 supports the nozzle 53. The tank 51 is provided above the pump 52 and stores the liquid 7. The tank 51 is used as a temporary storage when supplying the liquid 7 to the nozzle 53. The liquid 7 is supplied to the tank 51 from an ink storage container or the like disposed outside the main frame 30 through a tube (not shown) or the like. The tank 51 may include a temperature adjustment mechanism that adjusts the temperature of the stored liquid 7.

タンク５１とノズル５３との間は、不図示のチューブ等によって接続されている。ポンプ５２は、タンク５１に格納された液体７を、チューブ等を介してノズル５３に供給する。ポンプ５２は、ロータリーポンプなど、液体７を送ることが可能な任意のポンプが使用可能である。ノズル５３に供給する液体７の量は、例えば、不図示の制御装置によって制御される。なお、タンク５１及びポンプ５２の配置は一例であり、図示の形態に限定するものではない。また、タンク５１及びポンプ５２をキャリッジ５０に配置することに限定されない。例えば、キャリッジ５０以外にタンク５１及びポンプ５２が配置され、このタンク５１からチューブ等を介してノズル５３に液体７が供給されてもよい。 The tank 51 and the nozzle 53 are connected by a tube or the like (not shown). The pump 52 supplies the liquid 7 stored in the tank 51 to the nozzle 53 via a tube or the like. As the pump 52, any pump capable of feeding the liquid 7 such as a rotary pump can be used. The amount of the liquid 7 supplied to the nozzle 53 is controlled by a control device (not shown), for example. In addition, arrangement | positioning of the tank 51 and the pump 52 is an example, and is not limited to the form of illustration. Further, the tank 51 and the pump 52 are not limited to being arranged on the carriage 50. For example, a tank 51 and a pump 52 may be disposed in addition to the carriage 50, and the liquid 7 may be supplied from the tank 51 to the nozzle 53 via a tube or the like.

ノズル５３は、液体７を吐出する。ノズル５３は、ノズル支持プレート５７に設けられた不図示のガイドによって上下方向（Ｚ方向）に移動可能に取り付けられており、不図示の駆動装置によりＺ方向に移動可能である。これにより、液体７を塗布する際に、ノズル５３とシート５との間隔を調整することができる。なお、塗布ユニット９は、シート５とノズル５３との間隔を測定可能なセンサを備えてもよい。このセンサとしては光学式等の非接触式センサや、プローブ等を用いた接触式センサのいずれでもよい。ノズル５３のＺ方向の移動は、例えば、不図示の制御装置によって制御される。ノズル５３は、タンク５１から送られた液体７を収容する不図示の収容部と、この収容部の液体７を吐出する吐出口６０（図６（Ｂ）参照）と、を備える。 The nozzle 53 discharges the liquid 7. The nozzle 53 is attached so as to be movable in the vertical direction (Z direction) by a guide (not shown) provided on the nozzle support plate 57, and can be moved in the Z direction by a driving device (not shown). Thereby, when apply | coating the liquid 7, the space | interval of the nozzle 53 and the sheet | seat 5 can be adjusted. The coating unit 9 may include a sensor that can measure the distance between the sheet 5 and the nozzle 53. As this sensor, either a non-contact sensor such as an optical sensor, or a contact sensor using a probe or the like may be used. The movement of the nozzle 53 in the Z direction is controlled by a control device (not shown), for example. The nozzle 53 includes a storage unit (not shown) that stores the liquid 7 sent from the tank 51 and a discharge port 60 (see FIG. 6B) that discharges the liquid 7 in the storage unit.

図６（Ｂ）は、塗布部２９が液体７を塗布する一例を示している。吐出口６０は、ノズル５３の下端（−Ｚ側の端部）にシート５と対向するように形成される。吐出口６０は、Ｘ方向に延びるスリット状に形成される。吐出口６０の幅（Ｙ方向の長さ）は、液体７の粘性や吐出量に応じて設定される。吐出口６０のＸ方向の長さは、シート５に塗布する液体７の幅に応じて設定される。なお、ノズル５３は、液体７の温度を調節する温度調節機構を備えてもよい。また、ノズル５３は、ノズル支持プレート５７に取り外し可能に形成され、交換可能としてもよい。また、ノズル５３のうち、吐出口６０の部分が取り外し可能に形成され、交換可能とするものでもよい。 FIG. 6B shows an example in which the application unit 29 applies the liquid 7. The discharge port 60 is formed at the lower end (end on the −Z side) of the nozzle 53 so as to face the sheet 5. The discharge port 60 is formed in a slit shape extending in the X direction. The width of the discharge port 60 (the length in the Y direction) is set according to the viscosity of the liquid 7 and the discharge amount. The length of the discharge port 60 in the X direction is set according to the width of the liquid 7 applied to the sheet 5. The nozzle 53 may include a temperature adjustment mechanism that adjusts the temperature of the liquid 7. Further, the nozzle 53 may be detachably formed on the nozzle support plate 57 and may be replaceable. Moreover, the part of the discharge port 60 among the nozzles 53 may be formed so as to be removable and replaceable.

図４及び図５に戻り、塗布部２９は、塗布部駆動部６１によりＹ方向に移動可能に形成される。塗布部駆動部６１は、Ｙ方向に離間して配置される駆動ローラ６２及び従動ローラ６３と、駆動ローラ６２及び従動ローラ６３に架け渡されるベルト６４と、を備える。駆動ローラ６２は、水平フレーム３４上において−Ｙ側に配置され、不図示の駆動装置により駆動する。従動ローラ６３は、水平フレーム３４上において＋Ｙ側に配置される。ベルト６４は、ステンレス製、樹脂製、布製のものが用いられ、＋Ｚ側の面にキャリッジ５０の下部プレート５４が固定されている。 Returning to FIG. 4 and FIG. 5, the application unit 29 is formed to be movable in the Y direction by the application unit driving unit 61. The application unit driving unit 61 includes a driving roller 62 and a driven roller 63 that are spaced apart from each other in the Y direction, and a belt 64 that spans the driving roller 62 and the driven roller 63. The driving roller 62 is disposed on the −Y side on the horizontal frame 34 and is driven by a driving device (not shown). The driven roller 63 is disposed on the + Y side on the horizontal frame 34. The belt 64 is made of stainless steel, resin, or cloth, and the lower plate 54 of the carriage 50 is fixed to the + Z side surface.

駆動ローラ６２を駆動してベルト６４を移動させることにより、キャリッジ５０はＹ方向に移動する。また、駆動ローラ６２の駆動を停止することにより、キャリッジ５０をＹ方向の任意の位置に配置することができる。なお、塗布部駆動部６１は、上記したベルト６４等を用いた構成に限定されず、例えば、ボールねじ機構やラックアンドピニオン機構が用いられてもよい。また、塗布ユニット９は、キャリッジ５０ごとＹ方向に移動するものに限定されない。例えば、ノズル５３がロボットアームやマニュピレータ等に保持され、このロボットアーム等を駆動することによりノズル５３をＹ方向やＺ方向等に移動可能としてもよい。 By driving the driving roller 62 and moving the belt 64, the carriage 50 moves in the Y direction. Further, by stopping the driving of the driving roller 62, the carriage 50 can be disposed at an arbitrary position in the Y direction. In addition, the application part drive part 61 is not limited to the structure using the above-mentioned belt 64 etc. For example, a ball screw mechanism and a rack and pinion mechanism may be used. Further, the coating unit 9 is not limited to one that moves in the Y direction together with the carriage 50. For example, the nozzle 53 may be held by a robot arm, a manipulator, or the like, and the nozzle 53 may be movable in the Y direction, the Z direction, or the like by driving the robot arm or the like.

塗布部２９の移動や停止位置は、不図示の制御装置により制御されてもよく、また作業者によりマニュアル操作されてもよい。塗布部２９は、Ｙ方向に移動することにより、図４に示すように、シート５に液体７を塗布可能な対向位置Ｐ１と、後述する減圧乾燥ユニット１０の外側に退避した退避位置Ｐ２と、の間を移動可能である。退避位置Ｐ２は、減圧乾燥ユニット１０と干渉しないように減圧乾燥ユニット１０のサイズに応じて設定される。なお、退避位置Ｐ２は、図示の位置に限定されず、減圧乾燥ユニット１０の外側の任意の位置に設定することができる。 The movement and stop position of the application unit 29 may be controlled by a control device (not shown) or may be manually operated by an operator. As shown in FIG. 4, the application unit 29 moves in the Y direction, and as shown in FIG. 4, a facing position P 1 where the liquid 7 can be applied to the sheet 5, a retreat position P 2 retreated outside the vacuum drying unit 10 described later It is possible to move between. The retreat position P2 is set according to the size of the vacuum drying unit 10 so as not to interfere with the vacuum drying unit 10. The retreat position P2 is not limited to the illustrated position, and can be set to an arbitrary position outside the reduced-pressure drying unit 10.

塗布部２９は、対向位置Ｐ１において、保持部２８に保持されたシート５におけるシート５に対して相対的にＹ方向に移動し、その際、ノズル５３の吐出口６０からシート５上の枠部６の内側において液体７を吐出する（図６参照）。このとき、シート５は、上記のように保持部２８の吸着部３８によって保持され、かつ枠部６によって広がっているので、液体７をムラなくシート５上に塗布することができる。吐出口６０からシート５上に液体７を吐出する際、ノズル５３の高さ（Ｚ方向位置）は、塗布に適した位置に調整されている。なお、液体７を塗布する際、ノズル５３をＹ方向に移動させることに限定されない。例えば、ノズル５３を固定し、保持部２８をＹ方向に移動させて液体７を塗布してもよく、また、ノズル５３及び保持部２８をそれぞれＹ方向の反対向きに移動させて液体７を塗布してもよい。 The application unit 29 moves in the Y direction relative to the sheet 5 of the sheet 5 held by the holding unit 28 at the facing position P1, and at this time, the frame portion on the sheet 5 from the discharge port 60 of the nozzle 53. The liquid 7 is discharged inside 6 (see FIG. 6). At this time, since the sheet 5 is held by the suction unit 38 of the holding unit 28 and spreads by the frame unit 6 as described above, the liquid 7 can be applied onto the sheet 5 without unevenness. When the liquid 7 is discharged onto the sheet 5 from the discharge port 60, the height (Z direction position) of the nozzle 53 is adjusted to a position suitable for application. In addition, when apply | coating the liquid 7, it is not limited to moving the nozzle 53 to a Y direction. For example, the nozzle 53 may be fixed, and the liquid 7 may be applied by moving the holding unit 28 in the Y direction. Alternatively, the liquid 7 may be applied by moving the nozzle 53 and the holding unit 28 in opposite directions in the Y direction. May be.

塗布ユニット９は、図４及び図５に示すように、ノズル５３をメンテナンスするための、ノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７を備えている。ノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７は、保持部２８の＋Ｙ側に、Ｙ方向に並んで配置され、減圧乾燥ユニット１０と干渉しないように設置される。また、ノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７は、退避位置Ｐ２の塗布ユニット９のノズル５３がそれぞれ接続可能に配置される。 As shown in FIGS. 4 and 5, the coating unit 9 includes a nozzle immersion unit 66 and a preliminary discharge unit 67 for maintaining the nozzle 53. The nozzle immersion unit 66 and the preliminary discharge unit 67 are arranged side by side in the Y direction on the + Y side of the holding unit 28 and are installed so as not to interfere with the vacuum drying unit 10. Moreover, the nozzle immersion part 66 and the preliminary discharge part 67 are arrange | positioned so that the nozzle 53 of the coating unit 9 of the retracted position P2 can be connected, respectively.

ノズル浸漬部６６は、＋Ｚ方向が開口する容器を備え、ノズル５３の先端部分が＋Ｚ方向から挿入可能に形成される。容器内には、例えば、液体７や、液体７を形成する溶液等が溜められている。シート５に液体７を塗布しない間、ノズル５３の先端部分をノズル浸漬部６６の溶液等に浸すことにより、ノズル５３の吐出口６０の乾燥防止や、ノズル５３の洗浄を行うことができる。 The nozzle immersion portion 66 includes a container that opens in the + Z direction, and the tip portion of the nozzle 53 is formed to be insertable from the + Z direction. In the container, for example, the liquid 7, a solution that forms the liquid 7, and the like are stored. While the liquid 7 is not applied to the sheet 5, the discharge port 60 of the nozzle 53 can be prevented from being dried and the nozzle 53 can be cleaned by immersing the tip portion of the nozzle 53 in the solution of the nozzle immersion unit 66.

予備吐出部６７は、ノズル５３により液体７の予備吐出を行うために設けられる。予備吐出部６７は、例えば＋Ｚ方向が開口する容器で、ノズル５３の先端部分が＋Ｚ方向から挿入可能に形成される。容器内に、液体７を予備吐出させるための被吐出面が形成されてもよい。ノズル５３による液体７の最初の吐出は、吐出量にばらつきが生じる場合がある。シート５への塗布に先だって、予備吐出部６７によりノズル５３の予備吐出を行うことにより、液体７の吐出量を安定させることができる。 The preliminary discharge unit 67 is provided for performing preliminary discharge of the liquid 7 by the nozzle 53. The preliminary discharge unit 67 is, for example, a container that opens in the + Z direction, and is formed so that the tip portion of the nozzle 53 can be inserted from the + Z direction. An ejection target surface for preliminary ejection of the liquid 7 may be formed in the container. In the first discharge of the liquid 7 by the nozzle 53, the discharge amount may vary. Prior to the application to the sheet 5, by performing preliminary discharge of the nozzle 53 by the preliminary discharge unit 67, the discharge amount of the liquid 7 can be stabilized.

なお、ノズル５３をメンテナンスするため、ノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７以外の処理部が設けられてもよい。また、ノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７は、保持部２８の＋Ｙ側に配置されることに限定されず、保持部２８の−Ｙ側や、塗布ユニット９の＋Ｘ側または−Ｘ側に配置されてもよい。また、ノズル洗浄時にノズル５３がノズル浸漬部６６等に移動することに代えて、ノズル洗浄時にノズル浸漬部６６等がノズル５３まで移動するものでもよい。この場合、ノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７は移動可能に形成され、例えば通常時はノズル５３に対してＸ方向またはＺ方向に退避し、ノズル５３のメンテナンスの際に、ノズル５３まで移動させるような任意の構成が採用される。また、ノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７を備えるか否かは任意であり、ノズル浸漬部６６等を備えないものでもよい。 In order to maintain the nozzle 53, a processing unit other than the nozzle immersion unit 66 and the preliminary discharge unit 67 may be provided. Further, the nozzle immersion unit 66 and the preliminary discharge unit 67 are not limited to be arranged on the + Y side of the holding unit 28, and are arranged on the −Y side of the holding unit 28, the + X side or the −X side of the coating unit 9. May be. Further, instead of the nozzle 53 moving to the nozzle immersion part 66 or the like during nozzle cleaning, the nozzle immersion part 66 or the like may move to the nozzle 53 during nozzle cleaning. In this case, the nozzle immersion part 66 and the preliminary discharge part 67 are formed so as to be movable. For example, the nozzle immersion part 66 and the preliminary discharge part 67 are normally retracted in the X direction or Z direction with respect to the nozzle 53 and moved to the nozzle 53 during maintenance of the nozzle 53. Such an arbitrary configuration is adopted. Further, whether or not the nozzle immersion unit 66 and the preliminary discharge unit 67 are provided is arbitrary, and the nozzle immersion unit 66 or the like may not be provided.

なお、塗布部２９は、上記した構成に限定されず、液体７を吐出可能な任意の構成を適用することができる。例えば、ノズル５３に代えて、インクジェット法やスプレー法により液体７をシート５に塗布するものでもよい。また、ディスペンサ等により液体７をシート５に吐出し、この液体７をスキージ等によりシート５上に拡げるものでもよい。 The application unit 29 is not limited to the above-described configuration, and any configuration that can discharge the liquid 7 can be applied. For example, instead of the nozzle 53, the liquid 7 may be applied to the sheet 5 by an ink jet method or a spray method. Alternatively, the liquid 7 may be discharged onto the sheet 5 with a dispenser or the like, and the liquid 7 may be spread on the sheet 5 with a squeegee or the like.

減圧乾燥ユニット１０は、図４及び図５に示すように、保持部２８を含んで密閉した空間６８を形成する。この空間６８は、吸引により減圧可能な空間である。減圧乾燥ユニット１０は、空間６８を形成可能なチャンバ部７０を備え、かつ空間６８を減圧して液体７を乾燥させる吸引部７１を備える。チャンバ部７０は、メインフレーム３０のテーブル３５上に配置される。吸引部７１は、メインフレーム３０に支持されるか否かは任意である。チャンバ部７０は、ベース部７２と、蓋部７３と、を備える。ベース部７２は、下面側がテーブル３５に固定され、かつ上面側に保持部２８の基部３９を固定している。ベース部７２は、矩形板状の部材が用いられる。なお、図示しないが、ベース部７２は、基部３９に備える接続孔４４（図６（Ａ）参照）と連通する接続孔が設けられており、吸着用吸引部４０の吸引力が吸着部３８に至るまでの経路を確保している。蓋部７３は、ベース部７２の上面に当接して、空間６８を形成可能な凹状に形成される。 As shown in FIGS. 4 and 5, the vacuum drying unit 10 forms a sealed space 68 including the holding portion 28. This space 68 is a space that can be decompressed by suction. The reduced-pressure drying unit 10 includes a chamber unit 70 that can form a space 68, and a suction unit 71 that depressurizes the space 68 to dry the liquid 7. The chamber unit 70 is disposed on the table 35 of the main frame 30. Whether or not the suction part 71 is supported by the main frame 30 is arbitrary. The chamber part 70 includes a base part 72 and a lid part 73. The base portion 72 has a lower surface side fixed to the table 35 and a base portion 39 of the holding portion 28 fixed to the upper surface side. The base portion 72 is a rectangular plate member. Although not shown, the base portion 72 is provided with a connection hole communicating with the connection hole 44 (see FIG. 6A) provided in the base portion 39, and the suction force of the suction suction portion 40 is applied to the suction portion 38. The route to reach is secured. The lid part 73 is in contact with the upper surface of the base part 72 and is formed in a concave shape capable of forming the space 68.

図７（Ａ）は、減圧乾燥ユニット１０の一例を示す斜視図、（Ｂ）は、蓋部７３の一例を示す斜視図である。図７（Ａ）に示すように、ベース部７２の上面の略中央の領域に保持部２８が固定される。蓋部７３は、ベース部７２上面の−Ｙ側において２か所のヒンジ部７４によりベース部７２に接続されている。蓋部７３は、保持部２８を覆うような小さな空間６８を形成するので、後述する吸引部７１により空間６８の減圧に要する時間を短縮することができる。 FIG. 7A is a perspective view showing an example of the reduced pressure drying unit 10, and FIG. 7B is a perspective view showing an example of the lid 73. FIG. As shown in FIG. 7A, the holding portion 28 is fixed to a substantially central region on the upper surface of the base portion 72. The lid portion 73 is connected to the base portion 72 by two hinge portions 74 on the −Y side of the upper surface of the base portion 72. Since the lid part 73 forms a small space 68 that covers the holding part 28, the time required for decompression of the space 68 can be shortened by the suction part 71 described later.

蓋部７３は、図７（Ａ）に示すように、ヒンジ部７４によりＸ軸回りに回転可能に形成され、保持部２８を含んだ空間６８を形成する空間形成位置と、保持部２８を開放した保持部開放位置との間を回転移動する。なお、保持部開放位置は、上記した塗布ユニット９が蓋部７３に干渉しない位置に設定される。蓋部７３は、上記した塗布ユニット９により保持部２８のシート５に液体７を塗布する際は保持部開放位置に配置（図７（Ａ）の二点鎖線で示す蓋部５７を参照）され、後述する吸引部７１により空間６８を吸引して減圧する際は空間形成位置に配置（図７（Ａ）の実線で示す蓋部５７を参照）される。なお、ヒンジ部７４は、ベース部７２の−Ｙ側に配置されることに代えて、ベース部７２の＋Ｘ側または−Ｘ側に配置されてもよい。 As shown in FIG. 7A, the lid portion 73 is formed to be rotatable around the X axis by a hinge portion 74, and a space forming position for forming a space 68 including the holding portion 28 and the holding portion 28 are opened. Rotate and move between the holding part open position. The holding portion opening position is set to a position where the above-described coating unit 9 does not interfere with the lid portion 73. The lid portion 73 is disposed at the holding portion opening position when the liquid 7 is applied to the sheet 5 of the holding portion 28 by the coating unit 9 (see the lid portion 57 indicated by a two-dot chain line in FIG. 7A). When the space 68 is sucked and depressurized by a suction portion 71 described later, the space 68 is disposed at a space forming position (see the lid portion 57 shown by a solid line in FIG. 7A). The hinge portion 74 may be disposed on the + X side or the −X side of the base portion 72 instead of being disposed on the −Y side of the base portion 72.

ベース部７２は、貫通孔７６が設けられている。貫通孔７６は、ベース部７２の＋Ｚ側から−Ｚ側に貫通するように設けられている。貫通孔７６は、蓋部７３が空間形成位置にある場合、空間６８と接続するように形成される。貫通孔７６は、例えば、チューブ等の管状部材（不図示）により吸引部７１と接続されている。従って、吸引部７１を駆動することにより、空間６８内を吸引して減圧することができる。なお、貫通孔７６は、空間６８に接続するものであれば、その個数や配置は任意である。例えば、２以上の貫通孔７６が形成され、それぞれ吸引部７１に接続されるものでもよい。また、ベース部７２の貫通孔７６を介して吸引部７１が接続されることに限定されず、例えば、蓋部７３の一部に開口部が設けられ、この開口部と吸引部７１とがチューブ等を介して接続され、蓋部７３側から空間６８内を吸引するものでもよい。 The base portion 72 is provided with a through hole 76. The through hole 76 is provided so as to penetrate from the + Z side of the base portion 72 to the −Z side. The through hole 76 is formed so as to be connected to the space 68 when the lid 73 is in the space forming position. The through hole 76 is connected to the suction portion 71 by a tubular member (not shown) such as a tube, for example. Therefore, by driving the suction part 71, the space 68 can be sucked and decompressed. The number and arrangement of the through holes 76 are arbitrary as long as they are connected to the space 68. For example, two or more through holes 76 may be formed and each connected to the suction portion 71. Further, the suction portion 71 is not limited to being connected through the through hole 76 of the base portion 72. For example, an opening is provided in a part of the lid portion 73, and the opening and the suction portion 71 are connected to the tube. The space 68 may be sucked from the lid 73 side.

蓋部７３は、図７（Ｂ）に示すように、中央部分に内部を目視可能な窓部７３ａが形成されてもよい。窓部７３ａとしては、透明または半透明な板状ガラス、アクリル板などの板状の樹脂が用いられる。窓部７３ａにより、作業者等が液体７の乾燥状態を目視で確認することが可能となる。ただし、窓部７３ａを形成するか否かは任意である。また、蓋部７３は、空間形成位置において、ベース部７２との密着性を向上させるために、ゴム等の弾性部材が縁部に取り付けられてもよい。 As shown in FIG. 7B, the lid portion 73 may be formed with a window portion 73a whose inside can be visually observed at the center portion. As the window portion 73a, a plate-like resin such as a transparent or translucent plate-like glass or an acrylic plate is used. The window portion 73a allows an operator or the like to visually confirm the dry state of the liquid 7. However, it is arbitrary whether or not the window 73a is formed. In addition, the lid 73 may be attached to an edge with an elastic member such as rubber in order to improve adhesion to the base 72 at the space forming position.

減圧乾燥ユニット１０は、蓋部７３を回転駆動するための蓋部駆動部７５を備えている。蓋部駆動部７５の駆動は、不図示の制御装置により制御されてもよく、また作業者によりマニュアル操作されてもよい。また、蓋部駆動部７５を備えるか否かは任意である。蓋部駆動部７５がない場合は、作業者が蓋部７３の開閉操作を行ってもよい。また、蓋部７３は、ヒンジ部７４により開閉可能に形成されることに限定されない。例えば、蓋部７３は、上下方向（Ｚ方向）に移動可能に形成されてもよい。また、蓋部７３は、ロボットアームやマニュピレータに保持され、このロボットアームを駆動することにより開閉可能としてもよい。 The reduced pressure drying unit 10 includes a lid driving unit 75 for driving the lid 73 to rotate. The driving of the lid drive unit 75 may be controlled by a control device (not shown) or may be manually operated by an operator. Further, whether or not the lid driving unit 75 is provided is arbitrary. When the lid driving unit 75 is not provided, the operator may perform an opening / closing operation of the lid 73. Further, the lid portion 73 is not limited to be formed to be opened and closed by the hinge portion 74. For example, the lid 73 may be formed so as to be movable in the vertical direction (Z direction). The lid 73 may be held by a robot arm or manipulator, and may be opened and closed by driving the robot arm.

吸引部７１は、塗布ユニット９によりシート５に液体７が塗布され、減圧乾燥ユニット１０が空間６８を形成した後に、空間６８を吸引して減圧する。これにより、液体７は、シート５上において減圧乾燥される。吸引部７１は、例えば、所定の吸引力を発生する真空ポンプ等、任意のポンプが適用可能である。吸引部７１による吸着力の大きさや駆動タイミングは、不図示の制御装置により制御されてもよく、また作業者によりマニュアル操作されてもよい。このとき、制御装置は、吸引部７１による吸着力が、保持部２８の吸着用吸引部４０の吸引力より小さくなるように制御してもよい。吸着用吸引部４０の吸引力が吸引部７１の吸着力より大きくすることにより、空間６８を吸引したときでもシート５が吸着部３８から外れることを抑制できる。 The suction unit 71 applies the liquid 7 to the sheet 5 by the coating unit 9 and the vacuum drying unit 10 forms the space 68, and then sucks and decompresses the space 68. As a result, the liquid 7 is dried under reduced pressure on the sheet 5. As the suction unit 71, for example, an arbitrary pump such as a vacuum pump that generates a predetermined suction force is applicable. The magnitude and driving timing of the suction force by the suction unit 71 may be controlled by a control device (not shown) or may be manually operated by an operator. At this time, the control device may control the suction force by the suction unit 71 to be smaller than the suction force of the suction suction unit 40 of the holding unit 28. By making the suction force of the suction part 40 for suction larger than the suction force of the suction part 71, it is possible to prevent the sheet 5 from coming off the suction part 38 even when the space 68 is sucked.

液体７が減圧乾燥されることにより、シート５上に第２機能層３が形成される。なお、シート５は、第１機能層２を含むまたは第１機能層２そのものであるため、液体７の乾燥により第１機能層２と第２機能層３とが積層された枠部６付きの積層膜４が形成される。この積層膜４は、図１に示すように、減圧乾燥ユニット１０から不図示の搬送装置によって保管ユニット１３に搬送される。 The second functional layer 3 is formed on the sheet 5 by drying the liquid 7 under reduced pressure. Since the sheet 5 includes the first functional layer 2 or is the first functional layer 2 itself, the sheet 5 has a frame portion 6 in which the first functional layer 2 and the second functional layer 3 are laminated by drying the liquid 7. A laminated film 4 is formed. As shown in FIG. 1, the laminated film 4 is transported from the vacuum drying unit 10 to the storage unit 13 by a transport device (not shown).

保管ユニット１３は、複数の積層膜４を保管する。保管ユニット１３は、積層膜４を重ねた状態で保管してもよく、また、積層膜４を１枚ごとまたは複数枚ごとに収容可能な棚（スロット）を備えてもよい。また、保管ユニット１３は、後述する長尺の積層膜４Ｂを折りたたんだ状態で保管してもよい。積層膜４は、不図示の搬送装置などにより搬送されることに代えて、作業者の手作業により保管ユニット１３に保管されてもよい。なお、保管ユニット１３を配置するか否かは任意であり、保管ユニット１３がなくてもよい。また、保管ユニット１３の後段には燃料電池等の各種装置の製造ラインが接続されてもよい。 The storage unit 13 stores a plurality of laminated films 4. The storage unit 13 may store the stacked films 4 in a stacked state, and may include a shelf (slot) that can store the stacked films 4 one by one or plural sheets. Further, the storage unit 13 may store the long laminated film 4B described later in a folded state. The laminated film 4 may be stored in the storage unit 13 manually by an operator instead of being transported by a transport device (not shown). Note that whether or not the storage unit 13 is disposed is arbitrary, and the storage unit 13 may not be provided. Further, a production line for various devices such as a fuel cell may be connected to the subsequent stage of the storage unit 13.

ここで、積層膜４を構成する第１機能層２、第２機能層３、並びに第２機能層３を形成する液体７についてそれぞれ説明する。なお、以下に説明する内容は、他の実施形態についても同様である。なお、本明細書において「機能層」とは機能を有する層をいい、例えば、機能を有する膜（シート）は「機能層」に含まれる。第１機能層２及び第２機能層３は、同一の機能を有してもよく、また、異なる機能を有してもよい。また、第１機能層２及び第２機能層３は、部分的に機能を有するものでもよい。 Here, the first functional layer 2, the second functional layer 3, and the liquid 7 that forms the second functional layer 3 constituting the laminated film 4 will be described. The contents described below are the same for the other embodiments. In the present specification, the “functional layer” refers to a layer having a function. For example, a film (sheet) having a function is included in the “functional layer”. The 1st functional layer 2 and the 2nd functional layer 3 may have the same function, and may have a different function. Further, the first functional layer 2 and the second functional layer 3 may partially have a function.

積層膜４が、例えば、燃料電池における膜電極接合体として用いられる場合は、第１機能層２が電解質膜、第２機能層３が触媒層として製造される。このとき、触媒層（第２機能層３）を形成するために、液体７として触媒インクが塗布される。上記した実施形態により、第２機能層３である触媒層が多孔質形状となるため、高品質な膜電極接合体を製造することができる。第１機能層２である電解質膜は、例えば、プロトンを膜厚方向に選択的に透過させる機能を有するものであれば、特に限定されず、公知のものを用いることができる。電解質膜としては、例えば、構成材料であるイオン交換樹脂の種類によって大別され、フッ素系高分子電解質膜や、炭化水素系高分子電解質膜等を用いることができる。 For example, when the laminated film 4 is used as a membrane electrode assembly in a fuel cell, the first functional layer 2 is produced as an electrolyte membrane and the second functional layer 3 is produced as a catalyst layer. At this time, catalyst ink is applied as the liquid 7 in order to form the catalyst layer (second functional layer 3). According to the above-described embodiment, since the catalyst layer that is the second functional layer 3 has a porous shape, a high-quality membrane electrode assembly can be manufactured. The electrolyte membrane that is the first functional layer 2 is not particularly limited as long as it has a function of selectively allowing protons to permeate in the film thickness direction, and a known one can be used. The electrolyte membrane is roughly classified according to, for example, the type of ion exchange resin that is a constituent material, and a fluorine polymer electrolyte membrane, a hydrocarbon polymer electrolyte membrane, or the like can be used.

フッ素系高分子電解質膜を構成するイオン交換樹脂としては、例えば、ナフィオン（登録商標、デュポン社製）、アシプレックス（登録商標、旭化成株式会社製）、フレミオン（登録商標、旭硝子株式会社製）等のパーフルオロカーボンスルホン酸系ポリマー、パーフルオロカーボンホスホン酸系ポリマー、トリフルオロスチレンスルホン酸系ポリマー、エチレンテトラフルオロエチレン−ｇ−スチレンスルホン酸系ポリマー、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体、ポリビニリデンフルオリド−パーフルオロカーボンスルホン酸系ポリマーなどが挙げられる。なお、耐熱性、化学的安定性などの発電性能を向上させるという観点からは、これらのフッ素系高分子電解質膜が用いられ、特にパーフルオロカーボンスルホン酸系ポリマーから構成されるフッ素系高分子電解質膜が用いられる。 Examples of ion exchange resins constituting the fluorine-based polymer electrolyte membrane include Nafion (registered trademark, manufactured by DuPont), Aciplex (registered trademark, manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.), Flemion (registered trademark, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), and the like. Perfluorocarbon sulfonic acid polymer, perfluorocarbon phosphonic acid polymer, trifluorostyrene sulfonic acid polymer, ethylene tetrafluoroethylene-g-styrene sulfonic acid polymer, ethylene-tetrafluoroethylene copolymer, polyvinylidene fluoride- Examples include perfluorocarbon sulfonic acid polymers. From the viewpoint of improving power generation performance such as heat resistance and chemical stability, these fluorine-based polymer electrolyte membranes are used, and in particular, fluorine-based polymer electrolyte membranes composed of perfluorocarbon sulfonic acid polymers. Is used.

また、炭化水素系電解質膜を構成するイオン交換樹脂としては、例えば、スルホン化ポリエーテルスルホン（Ｓ−ＰＥＳ）、スルホン化ポリアリールエーテルケトン、スルホン化ポリベンズイミダゾールアルキル、ホスホン化ポリベンズイミダゾールアルキル、スルホン化ポリスチレン、スルホン化ポリエーテルエーテルケトン（Ｓ−ＰＥＥＫ）、スルホン化ポリフェニレン（Ｓ−ＰＰＰ）などが挙げられる。これらのイオン交換樹脂により形成される炭化水素系高分子電解質膜は、原料が安価で製造工程が簡便であり、かつ材料の選択性が高いといった製造上の利点がある。なお、上述したイオン交換樹脂は、１種のみが単独で用いられてもよいし、２種以上が併用されてもよい。また、上述した材料のみに制限されず、その他の材料が用いられてもよい。 Examples of the ion exchange resin constituting the hydrocarbon electrolyte membrane include sulfonated polyethersulfone (S-PES), sulfonated polyaryletherketone, sulfonated polybenzimidazole alkyl, phosphonated polybenzimidazole alkyl, Examples include sulfonated polystyrene, sulfonated polyetheretherketone (S-PEEK), and sulfonated polyphenylene (S-PPP). Hydrocarbon polymer electrolyte membranes formed from these ion exchange resins have manufacturing advantages such as low cost raw materials, simple manufacturing processes, and high material selectivity. In addition, as for the ion exchange resin mentioned above, only 1 type may be used independently and 2 or more types may be used together. Moreover, it is not restricted only to the material mentioned above, Other materials may be used.

電解質膜の厚さは、燃料電池の特性を考慮して適宜決定すればよく、特に制限されない。電解質膜の厚さは、通常は５〜１００μｍ程度である。電解質膜の厚さがこのような範囲内の値であると、製膜時の強度や使用時の耐久性および使用時の出力特性のバランスが適切となる。なお、電解質膜は、剥離可能な基材シート（例えば図２５の基材シートＳなど）に積層されたものを用いてもよい。これにより、電解質膜のハンドリングが容易になる。このような基材シートとしては、例えば、液体７における導電性担体等の種類に応じて適宜選択され、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）シート、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シート、ポリエステルシート等の樹脂製のシートを用いることができる。 The thickness of the electrolyte membrane may be appropriately determined in consideration of the characteristics of the fuel cell, and is not particularly limited. The thickness of the electrolyte membrane is usually about 5 to 100 μm. When the thickness of the electrolyte membrane is within such a range, the balance between strength during film formation, durability during use, and output characteristics during use is appropriate. In addition, what was laminated | stacked on the base material sheet (For example, base material sheet S of FIG. 25 etc.) which can be peeled may be used for an electrolyte membrane. This facilitates handling of the electrolyte membrane. As such a base material sheet, for example, it is appropriately selected according to the type of the conductive carrier or the like in the liquid 7, and is made of a resin such as a polytetrafluoroethylene (PTFE) sheet, a polyethylene terephthalate (PET) sheet, or a polyester sheet. A sheet can be used.

第２機能層３である触媒層は、燃料電池においてアノード側に用いられるアノード触媒層及び燃料電池においてカソード側に用いられるカソード触媒層のうち、少なくとも１つを有する。アノード触媒層は、例えば水素の酸化反応に触媒作用を有するものである。カソード触媒層は、例えば酸素の還元反応に触媒作用を有するものである。なお、触媒層は、アノード触媒層及びカソード触媒層の両方を備える場合、アノード側触媒層及びカソード側触媒層は、それぞれ、電解質膜の異なる面に形成される。 The catalyst layer as the second functional layer 3 has at least one of an anode catalyst layer used on the anode side in the fuel cell and a cathode catalyst layer used on the cathode side in the fuel cell. The anode catalyst layer has a catalytic action for, for example, an oxidation reaction of hydrogen. The cathode catalyst layer has a catalytic action for, for example, an oxygen reduction reaction. When the catalyst layer includes both the anode catalyst layer and the cathode catalyst layer, the anode side catalyst layer and the cathode side catalyst layer are respectively formed on different surfaces of the electrolyte membrane.

アノード側触媒層及びカソード側触媒層は、例えば、液体７として触媒インクを用いて形成することができる。アノード側触媒層を形成する触媒インク及びカソード側触媒層を形成する触媒インクは、それぞれ、上記した触媒作用を有するものであれば特に制限なく、公知のものを用いることができる。このような触媒インクとしては、例えば、特開２０１３−０６９６１４に開示される、触媒成分を２層のアイオノマ層で被覆した触媒を含むものを用いることができる。また、触媒インクとしては、例えば、導電性担体に触媒成分が担持された電極触媒、高分子電解質および溶剤を含むものを用いることができる。 The anode side catalyst layer and the cathode side catalyst layer can be formed using, for example, catalyst ink as the liquid 7. The catalyst ink for forming the anode side catalyst layer and the catalyst ink for forming the cathode side catalyst layer are not particularly limited as long as they have the above-described catalytic action, and known ones can be used. As such a catalyst ink, for example, an ink containing a catalyst in which a catalyst component is coated with two ionomer layers as disclosed in JP2013-0669614A can be used. Moreover, as a catalyst ink, what contains the electrode catalyst by which the catalyst component was carry | supported by the electroconductive support | carrier, a polymer electrolyte, and a solvent can be used, for example.

アノード触媒層に用いられる触媒成分は、水素の酸化反応に触媒作用を有するものであれば特に制限はなく公知の触媒を使用できる。また、カソード触媒層に用いられる触媒成分もまた、酸素の還元反応に触媒作用を有するものであれば特に制限はなく公知の触媒を使用できる。具体的には、白金、ルテニウム、イリジウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、タングステン、鉛、鉄、クロム、コバルト、ニッケル、マンガン、バナジウム、モリブデン、ガリウム、アルミニウム等の金属およびこれらの合金などから選択可能である。 The catalyst component used in the anode catalyst layer is not particularly limited as long as it has a catalytic action for the oxidation reaction of hydrogen, and a known catalyst can be used. The catalyst component used in the cathode catalyst layer is not particularly limited as long as it has a catalytic action for the oxygen reduction reaction, and a known catalyst can be used. Specifically, it can be selected from metals such as platinum, ruthenium, iridium, rhodium, palladium, osmium, tungsten, lead, iron, chromium, cobalt, nickel, manganese, vanadium, molybdenum, gallium, aluminum, and alloys thereof. is there.

これらのうち、触媒活性、一酸化炭素等に対する耐被毒性、耐熱性などを向上させるために、例えば、白金を含むものが用いられる。上記した合金の組成は、合金化する金属の種類にもよるが、例えば、白金の含有量を３０〜９０原子％とし、白金と合金化する金属の含有量を１０〜７０原子％としてもよい。なお、合金とは、一般に金属元素に１種以上の金属元素または非金属元素を加えたものであって、金属的性質をもっているものの総称である。合金の組織には、成分元素が別個の結晶となるいわば混合物である共晶合金、成分元素が完全に溶け合い固溶体となっているもの、成分元素が金属間化合物または金属と非金属との化合物を形成しているものなどがあり、本実施形態においては、いずれであってもよい。この際、アノード触媒層に用いられる触媒成分およびカソード触媒層に用いられる触媒成分は、上記の中から適宜選択可能である。 Among these, in order to improve catalyst activity, poisoning resistance to carbon monoxide, etc., heat resistance, etc., for example, those containing platinum are used. The composition of the alloy described above depends on the type of metal to be alloyed. For example, the platinum content may be 30 to 90 atomic%, and the metal content to be alloyed with platinum may be 10 to 70 atomic%. . In general, an alloy is a generic term for a metal element having one or more metal elements or non-metal elements added and having metallic properties. The alloy structure consists of a eutectic alloy, which is a mixture of the component elements as separate crystals, a component element completely melted into a solid solution, and a component element composed of an intermetallic compound or a compound of a metal and a nonmetal. In the present embodiment, any may be used. At this time, the catalyst component used for the anode catalyst layer and the catalyst component used for the cathode catalyst layer can be appropriately selected from the above.

触媒成分の形状や大きさは、特に制限されず公知の触媒成分と同様の形状および大きさが採用可能である。触媒成分の形状は、例えば、粒状、鱗片状、層状などのものが使用できる。この際、触媒粒子の平均粒子径は、例えば、１〜３０ｎｍ、１〜１０ｎｍ、１〜５ｎｍ、２〜４ｎｍなどである。触媒粒子の平均粒子径がこのような範囲内の値であると、電気化学反応が進行する有効電極面積に関連する触媒利用率と担持の簡便さとのバランスが適切となる。なお、触媒粒子の平均粒子径は、Ｘ線回折における触媒成分の回折ピークの半値幅より求められる結晶子径や、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）より調べられる触媒成分の粒子径の平均値として測定可能である。 The shape and size of the catalyst component are not particularly limited, and the same shape and size as known catalyst components can be employed. As the shape of the catalyst component, for example, a granular shape, a scale shape, a layer shape, or the like can be used. Under the present circumstances, the average particle diameter of a catalyst particle is 1-30 nm, 1-10 nm, 1-5 nm, 2-4 nm etc., for example. When the average particle diameter of the catalyst particles is within such a range, the balance between the catalyst utilization rate related to the effective electrode area where the electrochemical reaction proceeds and the ease of loading becomes appropriate. The average particle diameter of the catalyst particles is measured as the crystallite diameter obtained from the half-value width of the diffraction peak of the catalyst component in X-ray diffraction or the average value of the particle diameter of the catalyst component examined by a transmission electron microscope (TEM). Is possible.

導電性担体は、上述した触媒成分を担持するための担体、および触媒成分と他の部材との間での電子の授受に関与する電子伝導パスとして機能する。導電性担体としては、触媒粒子を所望の分散状態で担持させるための比表面積を有し、集電体として十分な電子導電性を有しているものであればよく、例えば、主成分がカーボン（炭素原子）のものが用いられる。例えば、カーボンブラック、活性炭、コークス、天然黒鉛、人造黒鉛などからなるカーボン粒子が挙げられる。なお、カーボンを主成分とするものは、炭素原子のみからなるもの、または実質的に炭素原子からなるもの、の双方を含む。また、燃料電池の特性を向上させるために、炭素原子以外の元素が含まれていてもよい。なお、実質的に炭素原子からなる場合、２〜３重量％程度以下の不純物の混入が許容される。 The conductive carrier functions as a carrier for supporting the above-described catalyst component and an electron conduction path involved in the transfer of electrons between the catalyst component and another member. Any conductive carrier may be used as long as it has a specific surface area for supporting catalyst particles in a desired dispersed state and has sufficient electronic conductivity as a current collector. (Carbon atoms) are used. Examples thereof include carbon particles made of carbon black, activated carbon, coke, natural graphite, artificial graphite and the like. In addition, what has carbon as a main component includes both what consists only of a carbon atom, or what consists of a carbon atom substantially. Moreover, in order to improve the characteristic of a fuel cell, elements other than a carbon atom may be contained. In addition, when substantially consisting of carbon atoms, mixing of impurities of about 2 to 3% by weight or less is allowed.

導電性担体のＢＥＴ比表面積は、触媒成分を高分散担持させるのに十分な比表面積であればよく、例えば、２０〜１６００ｍ２／ｇ、８０〜１２００ｍ２／ｇである。比表面積が上記したような範囲であれば、導電性担体への触媒成分および高分子電解質が十分分散して十分な発電性能が得られ、また、触媒成分および高分子電解質を十分有効に利用することができる。また、導電性担体の大きさは、特に限定されないが、担持の容易さ、触媒利用率、電極触媒層の厚みを適切な範囲とするなどの観点から、平均粒子径が、例えば、５〜２００ｎｍ、１０〜１００ｎｍ程度に設定される。 The BET specific surface area of the conductive carrier may be a specific surface area sufficient to carry the catalyst component in a highly dispersed manner, and is, for example, 20 to 1600 m 2 / g, 80 to 1200 m 2 / g. If the specific surface area is in the above range, the catalyst component and the polymer electrolyte are sufficiently dispersed on the conductive support to obtain sufficient power generation performance, and the catalyst component and the polymer electrolyte are sufficiently effectively used. be able to. In addition, the size of the conductive carrier is not particularly limited, but the average particle size is, for example, 5 to 200 nm from the viewpoint of easy loading, catalyst utilization, and electrode catalyst layer thickness within an appropriate range. , About 10 to 100 nm.

導電性担体に触媒成分が担持された電極触媒において、触媒成分の担持量は、電極触媒の全量に対して、例えば、１０〜８０重量％、３０〜７０重量％に設定される。触媒成分の担持量がこのような範囲内の値であると、触媒担体上での触媒成分の分散度と触媒性能とのバランスを適切となる。なお、触媒成分の担持量は、誘導結合プラズマ発光分光法（ＩＣＰ）によって調べることができる。 In the electrode catalyst in which the catalyst component is supported on the conductive support, the supported amount of the catalyst component is set to, for example, 10 to 80% by weight and 30 to 70% by weight with respect to the total amount of the electrode catalyst. When the supported amount of the catalyst component is within such a range, the balance between the degree of dispersion of the catalyst component on the catalyst carrier and the catalyst performance is appropriate. The amount of the catalyst component supported can be examined by inductively coupled plasma emission spectroscopy (ICP).

高分子電解質としては、例えば、上記したフッ素系高分子電解質膜や炭化水素系高分子電解質膜等を用いることができる。中でも、耐熱性、化学的安定性などに優れることから、フッ素原子を含むものが用いられる。例えば、ナフィオン（登録商標、デュポン社製）、アシプレックス（登録商標、旭化成株式会社製）、フレミオン（登録商標、旭硝子株式会社製）などのフッ素系電解質が用いられる。触媒層中の高分子電解質量の含有量は特に限定されるものではないが、電極触媒中のカーボンの量に対する高分子電解質量の比が例えば０．３〜１．２に設定される。 As the polymer electrolyte, for example, the above-described fluorine-based polymer electrolyte membrane or hydrocarbon-based polymer electrolyte membrane can be used. Among them, those containing a fluorine atom are used because of excellent heat resistance, chemical stability, and the like. For example, fluorine-based electrolytes such as Nafion (registered trademark, manufactured by DuPont), Aciplex (registered trademark, manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.), Flemion (registered trademark, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), and the like are used. The content of the polymer electrolysis mass in the catalyst layer is not particularly limited, but the ratio of the polymer electrolysis mass to the amount of carbon in the electrode catalyst is set to 0.3 to 1.2, for example.

溶剤としては、特に制限されず、触媒層を形成するのに使用される通常の溶剤が同様に使用可能である。例えば、水、シクロヘキサノール、エタノール、１-プロパノール、２−プロパノール等の低級アルコールが使用できる。また、溶剤の使用量もまた、特に制限されず公知と同様の量が使用できる。触媒インクにおいて、電極触媒は、所望の作用、即ち、水素の酸化反応（アノード側）および酸素の還元反応（カソード側）を触媒する作用を十分発揮できる量であればいずれの量で使用されてもよい。電極触媒が、触媒インク中に、例えば、５〜３０重量％、９〜２０重量％となるように設定される。 It does not restrict | limit especially as a solvent, The normal solvent used for forming a catalyst layer can be used similarly. For example, lower alcohols such as water, cyclohexanol, ethanol, 1-propanol, and 2-propanol can be used. Further, the amount of the solvent used is not particularly limited, and a known amount can be used. In the catalyst ink, the electrocatalyst is used in any amount as long as it can sufficiently exert the desired action, that is, the action of catalyzing the hydrogen oxidation reaction (anode side) and the oxygen reduction reaction (cathode side). Also good. An electrode catalyst is set so that it may become 5 to 30 weight% and 9 to 20 weight% in catalyst ink, for example.

次に、積層膜４の製造方法について、システム１の動作とともに図面を参照して説明する。ただし、以下の説明は一例であって、製造方法を限定するものではない。図８は、積層膜４の製造方法を示すフローチャートである。図９及び図１０は、システム１の動作を示す図である。なお、図８のフローチャートに沿って説明しつつ、図３や、図９及び図１０を適宜参照する。 Next, the manufacturing method of the laminated film 4 is demonstrated with reference to drawings with the operation | movement of the system 1. FIG. However, the following description is an example and does not limit the manufacturing method. FIG. 8 is a flowchart showing a method for manufacturing the laminated film 4. 9 and 10 are diagrams illustrating the operation of the system 1. In addition, referring to the flowchart of FIG. 8, FIG. 3, FIG. 9 and FIG. 10 are referred to as appropriate.

先ず、第１機能層２を含むシート５Ａを準備する。シート５Ａの作成は任意の方法が適用可能である。シート５Ａは、例えば、図３に示すように、ロール状に巻かれたロール体Ｒ１として準備される。次に、図８に示すように、シート５の一部領域を囲むように枠部６を形成する（ステップＳ１）。枠形成ユニット８は、上記のように、例えば、保管ユニット１１から枠部６が供給され、シート５Ａから切断されたシート５に枠部６を形成する。枠部６付きのシート５は、例えば、保管ユニット１２に搬送されて保管される。 First, a sheet 5A including the first functional layer 2 is prepared. Any method can be applied to create the sheet 5A. For example, as illustrated in FIG. 3, the sheet 5 A is prepared as a roll body R 1 wound in a roll shape. Next, as shown in FIG. 8, the frame part 6 is formed so as to surround a partial region of the sheet 5 (step S1). As described above, the frame forming unit 8 is supplied with the frame portion 6 from the storage unit 11, for example, and forms the frame portion 6 on the sheet 5 cut from the sheet 5A. The sheet 5 with the frame part 6 is conveyed to the storage unit 12 and stored, for example.

次に、図８に示すように、シート５を保持部２８により保持する（ステップＳ２）。シート５の保持は、図９（Ａ）に示すように、チャンバ部７０の蓋部７３を開いて保持部開放位置に配置させ、シート５を吸着部３８の上のシート部材４６の上に載置し、吸着用吸引部４０を駆動してシート５を吸引することにより行う。これにより、シート５は保持部２８に保持される。このとき、塗布ユニット９は、退避位置Ｐ２に位置している。 Next, as shown in FIG. 8, the sheet 5 is held by the holding unit 28 (step S2). As shown in FIG. 9A, the sheet 5 is held by opening the lid 73 of the chamber unit 70 and placing the sheet 5 on the sheet member 46 on the suction unit 38. And the suction unit 40 for suction is driven to suck the sheet 5. As a result, the sheet 5 is held by the holding unit 28. At this time, the coating unit 9 is located at the retracted position P2.

なお、シート５を保持部２８に載置する作業は、作業者が手作業で搬送してもよく、また各種搬送装置によって行ってもよい。また、吸着用吸引部４０の駆動タイミングは、シート５をシート部材４６に載置した後、または載置する前のいずれであってもよい。シート５をシート部材４６に載置する前に吸着用吸引部４０を駆動する場合、載置中は吸引力を弱く設定し、載置が完了した後に強く吸引するなど、多段階で吸引力を変化させてもよい。載置中に弱く吸引することにより、シート５の載置を容易にすることが可能となる。このような吸着用吸引部４０の吸引力の変化は、不図示の制御装置により制御してもよく、また作業者によりマニュアル操作してもよい。なお、ステップＳ２を行うか否かは任意であり、ステップＳ２は行わなくてもよい。 In addition, the operation | work which mounts the sheet | seat 5 in the holding | maintenance part 28 may be conveyed manually by an operator, and may be performed by various conveying apparatuses. Further, the drive timing of the suction unit for suction 40 may be either after the sheet 5 is placed on the sheet member 46 or before it is placed. When driving the suction unit 40 for suction before placing the sheet 5 on the sheet member 46, the suction force is set to be weak during the placement, and the suction force is strongly attracted after the placement is completed. It may be changed. It is possible to easily place the sheet 5 by sucking weakly during placement. Such a change in the suction force of the suction part for suction 40 may be controlled by a control device (not shown) or may be manually operated by an operator. Whether or not step S2 is performed is arbitrary, and step S2 may not be performed.

次に、図８に示すように、塗布部２９によってシート５に液体７を塗布する（ステップＳ３）。なお、塗布に先だって、ノズル５３をノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７によってメンテナンスを行ってもよい。塗布部２９は、塗布部駆動部６１（図４参照）を駆動することにより−Ｙ方向移動に移動し、退避位置Ｐ２から対向位置Ｐ１の＋Ｙ側に配置される。対向位置Ｐ１の＋Ｙ側の位置は、例えば、枠部６の内側におけるシート５の＋Ｙ側に対向する位置である。続いて、不図示の駆動部を駆動してノズル５３のＺ位置が調整される。ノズル５３のＺ位置は、吐出口６０とシート５との間隔が所定の間隔となるように設定される。なお、塗布部２９が退避位置Ｐ２から対向位置Ｐ１に移動する間に、ノズル５３のＺ位置を移動してもよい。 Next, as shown in FIG. 8, the liquid 7 is applied to the sheet 5 by the application unit 29 (step S3). Prior to application, the nozzle 53 may be maintained by the nozzle immersion unit 66 and the preliminary discharge unit 67. The application unit 29 moves in the −Y direction by driving the application unit driving unit 61 (see FIG. 4), and is disposed on the + Y side of the facing position P1 from the retracted position P2. The position on the + Y side of the facing position P 1 is, for example, a position facing the + Y side of the sheet 5 inside the frame portion 6. Subsequently, the drive unit (not shown) is driven to adjust the Z position of the nozzle 53. The Z position of the nozzle 53 is set so that the interval between the discharge port 60 and the sheet 5 is a predetermined interval. Note that the Z position of the nozzle 53 may be moved while the application unit 29 moves from the retracted position P2 to the facing position P1.

続いて、図９（Ｂ）に示すように、塗布部駆動部６１を駆動して、塗布部２９を−Ｙ方向に移動させる。このとき、ノズル５３の吐出口６０から液体７を吐出し、ノズル５３がシート５の−Ｙ側の所定位置に達した段階（塗布部２９が対向位置Ｐ１の−Ｙ側に達した段階）でノズル５３から液体７の吐出を停止する。これにより、シート５上の枠部６で囲まれた領域に液体７が塗布される。シート５は、枠部６によって広がった状態で維持されているため、液体７をムラなく適切に塗布することができる。 Subsequently, as illustrated in FIG. 9B, the application unit driving unit 61 is driven to move the application unit 29 in the −Y direction. At this time, when the liquid 7 is discharged from the discharge port 60 of the nozzle 53 and the nozzle 53 reaches the predetermined position on the −Y side of the sheet 5 (the stage where the application unit 29 reaches the −Y side of the facing position P1). The discharge of the liquid 7 from the nozzle 53 is stopped. Thereby, the liquid 7 is applied to the region surrounded by the frame portion 6 on the sheet 5. Since the sheet 5 is maintained in a state of being spread by the frame portion 6, the liquid 7 can be appropriately applied without unevenness.

ノズル５３から液体７を吐出するタイミングは、例えば、塗布部２９が一定速度でＹ方向に移動している段階で液体７の吐出を行ってもよい。すなわち、塗布部２９が−Ｙ方向に移動を開始した際、加速中は液体７を吐出せず、ほぼ一定速度となってから液体７の吐出を開始してもよい。例えば単位時間あたりの液体７の吐出量を一定に制御した場合、シート５に対するノズル５３の相対速度が変化すると、シート５の単位面積当たりの塗布量が変化してムラが生じてしまう。従って、塗布部２９がほぼ一定速度になってから液体７の吐出を開始することにより、シート５上において液体７のムラ、例えば塗布ムラ、乾燥ムラ等が生じるのを抑制でき、膜厚均一性の良好な膜を形成することができる。 For example, the liquid 7 may be discharged from the nozzle 53 when the application unit 29 is moving in the Y direction at a constant speed. That is, when the application unit 29 starts to move in the −Y direction, the liquid 7 may not be discharged during acceleration, and the discharge of the liquid 7 may be started after reaching a substantially constant speed. For example, when the discharge amount of the liquid 7 per unit time is controlled to be constant, if the relative speed of the nozzle 53 with respect to the sheet 5 changes, the amount of application per unit area of the sheet 5 changes and unevenness occurs. Therefore, by starting the discharge of the liquid 7 after the coating unit 29 reaches a substantially constant speed, it is possible to suppress the occurrence of unevenness of the liquid 7 on the sheet 5, for example, unevenness of application, unevenness of drying, and the like. Can be formed.

次に、図８に示すように、塗布部２９は、塗布部駆動部６１を駆動することにより＋Ｙ方向移動に移動し、チャンバ部７０の外側に退避する（ステップＳ４）。塗布部２９は、図１０（Ａ）に示すように、対向位置Ｐ１から退避位置Ｐ２に移動することにより、保持部２８から離れ、チャンバ部７０の外側に退避する。なお、このステップＳ４においても、吸着用吸引部４０によりシート５の吸引は継続している。また、塗布部２９を退避している間に、ノズル５３から液体７が漏れ落ちないように、ノズル５３の吐出口６０付近の液体７をノズル５３内に吸引させてもよい。なお、ステップＳ４を行うか否かは任意であり、ステップＳ４は行わなくてもよい。 Next, as shown in FIG. 8, the application unit 29 moves in the + Y direction by driving the application unit driving unit 61, and retreats to the outside of the chamber unit 70 (step S 4). As shown in FIG. 10A, the application unit 29 moves away from the holding unit 28 and retreats to the outside of the chamber unit 70 by moving from the facing position P1 to the retreat position P2. In step S4, the suction of the sheet 5 is continued by the suction unit 40 for suction. Further, the liquid 7 in the vicinity of the discharge port 60 of the nozzle 53 may be sucked into the nozzle 53 so that the liquid 7 does not leak from the nozzle 53 while the application unit 29 is retracted. Whether or not step S4 is performed is arbitrary, and step S4 may not be performed.

次に、図８に示すように、液体７が塗布されたシート５を含んだ空間６８をチャンバ部７０により形成する（ステップＳ５）。蓋部７３は、図１０（Ｂ）に示すように、蓋部駆動部７５を駆動して、保持部開放位置から空間形成位置に回転することによりベース部７２と密着し、密閉した空間６８を形成する。この空間６８には、保持部２８に保持された状態で液体７が塗布されたシート５が含まれる。なお、蓋部駆動部７５により蓋部７３を保持部開放位置から回転させるタイミングは、塗布部２９が退避位置Ｐ２に移動した後でもよいし、塗布部２９が対向位置Ｐ１から退避位置Ｐ２に移動中でもよい。 Next, as shown in FIG. 8, a space 68 including the sheet 5 coated with the liquid 7 is formed by the chamber unit 70 (step S5). As shown in FIG. 10B, the lid portion 73 drives the lid portion driving portion 75 to rotate from the holding portion opening position to the space forming position, thereby closely contacting the base portion 72 and forming a sealed space 68. Form. The space 68 includes the sheet 5 on which the liquid 7 is applied while being held by the holding unit 28. The timing at which the lid part 73 is rotated from the holding part open position by the lid part drive part 75 may be after the application part 29 has moved to the retracted position P2, or the application part 29 has moved from the facing position P1 to the retracted position P2. Above all.

次に、図８に示すように、吸引部７１を駆動することにより空間６８内を吸引して減圧する（ステップＳ６）。空間６８の減圧は、図１０（Ｂ）に示すように、空間６８が形成された後、吸引部７１を駆動することにより行われる。空間６８の減圧により、液体７が乾燥し、シート５上において第２機能層３が形成される。液体７を減圧乾燥するので、多孔質形状の第２機能層３を形成でき、第２機能層３の比表面積を大きくすることができる。また、チャンバ部７０の空間６８は、保持部２８を覆った小さな空間であるため、空間６８を減圧する時間を短縮できる。なお、吸引部７１による減圧の際、吸着用吸引部４０によるシート５の吸引力が、空間６８内に対する吸引力より大きく設定されてもよい。これにより、空間６８を減圧したときでもシート５を確実に保持部２８保持することができる。なお、シート５の吸引力を空間６８内に対する吸引力より大きくするか否かは任意である。 Next, as shown in FIG. 8, the interior of the space 68 is sucked and decompressed by driving the suction portion 71 (step S6). Decompression of the space 68 is performed by driving the suction part 71 after the space 68 is formed, as shown in FIG. Due to the reduced pressure in the space 68, the liquid 7 is dried, and the second functional layer 3 is formed on the sheet 5. Since the liquid 7 is dried under reduced pressure, the porous second functional layer 3 can be formed, and the specific surface area of the second functional layer 3 can be increased. Further, since the space 68 of the chamber part 70 is a small space that covers the holding part 28, the time for decompressing the space 68 can be shortened. Note that the suction force of the sheet 5 by the suction suction unit 40 may be set to be larger than the suction force with respect to the space 68 during the decompression by the suction unit 71. Thereby, even when the space 68 is decompressed, the sheet 5 can be reliably held by the holding portion 28. Whether or not the suction force of the sheet 5 is greater than the suction force with respect to the space 68 is arbitrary.

また、ステップＳ６において、液体７の減圧乾燥を行う際又は減圧乾燥を行った後に、加熱部４７によりシート５を所定の温度で加熱してもよい。これにより、液体７の乾燥時間を短縮することができる。また、加熱部４７によるシート５の加熱は、上記したステップＳ３において液体７の塗布中または塗布後に開始してもよい。また、加熱部４７によるシート５の加熱温度は、例えば液体７の乾燥の進行に合わせて変化させてもよい。なお、加熱部４７によりシート５を加熱するか否かは任意である。 In step S6, the sheet 5 may be heated at a predetermined temperature by the heating unit 47 when the liquid 7 is dried under reduced pressure or after the reduced pressure drying. Thereby, the drying time of the liquid 7 can be shortened. Further, the heating of the sheet 5 by the heating unit 47 may be started during or after the application of the liquid 7 in the above-described step S3. Further, the heating temperature of the sheet 5 by the heating unit 47 may be changed in accordance with the progress of drying of the liquid 7, for example. Note that whether or not the sheet 5 is heated by the heating unit 47 is arbitrary.

液体７が減圧乾燥されて第２機能層３が形成された後、吸引部７１の駆動が停止され、さらに蓋部駆動部７５により蓋部７３が保持部開放位置まで回転して保持部２８を開放する。なお、第２機能層３が形成されたか否かは、蓋部７３の窓部７３ａから作業者が目視にて確認してもよく、また予め設定された時間経過をもって判断してもよい。また、吸引部７１の駆動を停止した後、空間６８内に、シート５や第２機能層３に対して不活性なガス（例えば窒素ガスやアルゴンガスなど）を供給して空間６８をパージしてもよい。また、空間６８を減圧した状態から開放する際、例えば、シート５の一部（例えば枠部６の部分など）をフック等により吸着部３８に弾性的に押し付けるようにしてもよい。これにより、シート５（積層膜４）は、例えば空間６８を大気開放したときでも吸着部３８の吸引とフック等により確実に保持され、吸着部３８から剥がれることを防止できる。続いて、吸着用吸引部４０の駆動が停止されることにより、積層膜４を取り出すことが可能となる。なお、積層膜４の取り出しは、作業者による手作業の他に各種搬送装置が使用されてもよい。また、取り出した積層膜４は、例えば、保管ユニット１３に搬送されて保管されてもよい。以上のステップにより、シート５（第１機能層２）上に第２機能層３を積層した積層膜４が完成する。 After the liquid 7 is dried under reduced pressure and the second functional layer 3 is formed, the driving of the suction portion 71 is stopped, and the lid portion driving portion 75 rotates the lid portion 73 to the holding portion opening position so that the holding portion 28 is moved. Open. Whether or not the second functional layer 3 has been formed may be visually confirmed by the operator through the window 73a of the lid 73, or may be determined with the passage of a preset time. Further, after the driving of the suction portion 71 is stopped, an inert gas (for example, nitrogen gas or argon gas) is supplied into the space 68 with respect to the sheet 5 and the second functional layer 3 to purge the space 68. May be. Further, when the space 68 is released from the decompressed state, for example, a part of the sheet 5 (for example, a part of the frame part 6) may be elastically pressed against the suction part 38 by a hook or the like. Thereby, even when the space 68 is opened to the atmosphere, for example, the sheet 5 (laminated film 4) can be reliably held by the suction and hooks of the suction portion 38 and can be prevented from peeling off from the suction portion 38. Subsequently, when the driving of the suction unit for suction 40 is stopped, the laminated film 4 can be taken out. In addition, various conveyance apparatuses may be used for taking out the laminated film 4 in addition to the manual operation by the operator. Moreover, the taken-out laminated film 4 may be conveyed and stored by the storage unit 13, for example. Through the above steps, the laminated film 4 in which the second functional layer 3 is laminated on the sheet 5 (first functional layer 2) is completed.

なお、シート５の両面に第２機能層３を形成させる場合、先ず、シート５の一方の面に第２機能層３を形成した後、シート５の他方の面を上面として再度保持部２８に吸着させ、上記と同様の手順により他方の面に第２機能層３を形成することよりシート５の両面に第２機能層３を持った積層膜４を形成することができる。なお、シート５の両面に液体７を塗布する場合、片面ごとに液体７の成分を変え、異なる第２機能層３を形成してもよい。 In addition, when forming the 2nd functional layer 3 on both surfaces of the sheet | seat 5, after forming the 2nd functional layer 3 in one surface of the sheet | seat 5 first, the other surface of the sheet | seat 5 is made into the holding | maintenance part 28 again by making the other surface into an upper surface. By adsorbing and forming the second functional layer 3 on the other surface by the same procedure as described above, the laminated film 4 having the second functional layer 3 on both surfaces of the sheet 5 can be formed. In addition, when apply | coating the liquid 7 to both surfaces of the sheet | seat 5, the component of the liquid 7 may be changed for every one surface, and the different 2nd functional layer 3 may be formed.

また、上記したステップＳ２〜ステップＳ６を繰り返すことにより、第２機能層３を多層にしてもよい。この場合、同一の液体７を用いて第２機能層３を多層にしてもよく、異なる液体７を用いて第２機能層３を多層にしてもよい。同一の液体７を用いる場合は、同一材料による第２機能層３の厚さを容易に厚くすることができる。また、異なる液体７を用いる場合は、複数材料が積層された状態の第２機能層３を容易に形成することができる。 Further, the second functional layer 3 may be multilayered by repeating the above-described steps S2 to S6. In this case, the second functional layer 3 may be multilayered using the same liquid 7, and the second functional layer 3 may be multilayered using different liquids 7. When the same liquid 7 is used, the thickness of the second functional layer 3 made of the same material can be easily increased. Further, when different liquids 7 are used, the second functional layer 3 in a state where a plurality of materials are laminated can be easily formed.

このように、本実施形態によれば、枠形成ユニット８によってシート５に予め枠部６を形成するので、その後の液体７の塗布や減圧乾燥においてシート５の変形を抑制し、適切な積層膜４を効率よく製造できる。また、シート５に液体７を塗布した後、シート５を搬送することなく液体７の減圧乾燥を行うので、シート５が液体７中の水分を吸収して皺やゆがみ等の変形が生じるのを抑制し、変形等が少ない積層膜４を形成することができる。また、液体７の塗布後から短時間で減圧乾燥を行うので、多孔質形状の第２機能層３を形成することができる。これにより、第２機能層３の比表面積を大きくすることができ、第２機能層３の活性を高くすることができる。また、液体７の塗布から乾燥開始までの時間が短いので、液体７として塗布から乾燥までに短い時間が要求される材料を使用することができる。また、製造された積層膜４は、枠部６により剛性が向上しており、その後の搬送や組み立てなどのハンドリング性を向上させることができる。 Thus, according to this embodiment, since the frame part 6 is previously formed on the sheet 5 by the frame forming unit 8, the deformation of the sheet 5 is suppressed in the subsequent application of the liquid 7 and drying under reduced pressure, and an appropriate laminated film 4 can be manufactured efficiently. In addition, since the liquid 7 is dried under reduced pressure after the liquid 7 is applied to the sheet 5 without transporting the sheet 5, the sheet 5 absorbs moisture in the liquid 7 to cause deformation such as wrinkles and distortion. It is possible to form the laminated film 4 that is suppressed and has little deformation and the like. Moreover, since the drying under reduced pressure is performed in a short time after the application of the liquid 7, the porous second functional layer 3 can be formed. Thereby, the specific surface area of the 2nd functional layer 3 can be enlarged, and the activity of the 2nd functional layer 3 can be made high. Further, since the time from application of the liquid 7 to the start of drying is short, a material that requires a short time from application to drying can be used as the liquid 7. Further, the manufactured laminated film 4 has improved rigidity due to the frame portion 6, and can improve handling properties such as subsequent conveyance and assembly.

［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。本実施形態において、第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、第１実施形態において説明した事項のうち、第２実施形態に適用可能なものは全て第２実施形態で適用してもよい。 [Second Embodiment]
Next, a second embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the first embodiment, all items applicable to the second embodiment may be applied in the second embodiment.

図１１は、第２実施形態に係るシステム１００における減圧乾燥ユニット１１０を示す図である。本実施形態では、減圧乾燥ユニット１１０が第１実施形態と異なっている。減圧乾燥ユニット１１０は、吸引部１７１と、調整部１７２と、を備える。吸引部１７１は、第１実施形態と同様、例えば、所定の吸引力を発生する真空ポンプ等、任意のポンプが適用可能である。また、吸引部１７１による吸着力の大きさや駆動タイミングは、不図示の制御装置により制御されてもよく、また作業者によりマニュアル操作されてもよい。吸引部１７１は、調整部１７２を介してチューブ等の管状部材により吸着部３８及び空間６８の双方にそれぞれ接続される。 FIG. 11 is a diagram illustrating the reduced-pressure drying unit 110 in the system 100 according to the second embodiment. In the present embodiment, the reduced-pressure drying unit 110 is different from the first embodiment. The vacuum drying unit 110 includes a suction unit 171 and an adjustment unit 172. As in the first embodiment, for example, an arbitrary pump such as a vacuum pump that generates a predetermined suction force can be applied to the suction unit 171. Moreover, the magnitude | size and drive timing of the attraction | suction force by the suction part 171 may be controlled by a control apparatus not shown, and may be manually operated by the operator. The suction part 171 is connected to both the suction part 38 and the space 68 by a tubular member such as a tube via the adjustment part 172.

調整部１７２は、吸引部１７１による吸引を、吸着部３８の吸引と、空間６８の吸引とに振り分けて、それぞれ調整を行う。調整部１７２は、例えば、ガス流量を制御可能な真空バルブが用いられる。調整部１７２は、例えば、吸着部３８に対する吸引力が、空間６８に対する吸引力より大きくなるように調整する。なお、調整部１７２は、吸引部１７１と別に形成されることに限定されず、吸引部１７１の一部として形成されてもよい。また、調整部１７２による調整は、不図示の制御装置により制御してもよく、また作業者によりマニュアル操作してもよい。 The adjusting unit 172 distributes the suction performed by the suction unit 171 into the suction performed by the suction unit 38 and the suction performed by the space 68, and performs the respective adjustments. For example, a vacuum valve capable of controlling the gas flow rate is used as the adjustment unit 172. For example, the adjustment unit 172 adjusts so that the suction force with respect to the suction unit 38 is larger than the suction force with respect to the space 68. The adjustment unit 172 is not limited to being formed separately from the suction unit 171, and may be formed as a part of the suction unit 171. The adjustment by the adjustment unit 172 may be controlled by a control device (not shown) or may be manually operated by an operator.

以上のように、本実施形態によれば、１台の吸引部１７１によって吸着部３８の吸引及び空間６８の吸引の双方を行うため、第１実施形態のように吸着用吸引部４０が不要となる。これにより、吸引部（例えば真空ポンプ）の数を減らすことができ、装置コストを低減することができる。また、調整部１７２を操作することにより、吸着部３８の吸引力と、空間６８の吸引力とを容易に調整することができる。 As described above, according to the present embodiment, since the suction unit 38 and the space 68 are both sucked by one suction unit 171, the suction unit 40 for suction is not required as in the first embodiment. Become. Thereby, the number of suction parts (for example, vacuum pumps) can be reduced, and apparatus cost can be reduced. Further, by operating the adjustment unit 172, the suction force of the suction unit 38 and the suction force of the space 68 can be easily adjusted.

［第３実施形態］
次に、第３実施形態について説明する。本実施形態において、上記した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、上記した実施形態において説明した事項のうち、第３実施形態に適用可能なものは全て第３実施形態で適用してもよい。 [Third Embodiment]
Next, a third embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the above-described embodiment, all items applicable to the third embodiment may be applied in the third embodiment.

図１２は、第３実施形態に係るシステム２００における塗布ユニット２０９及び減圧乾燥ユニット２１０を示す図である。本実施形態では、塗布ユニット２０９及び減圧乾燥ユニット２１０が第１実施形態と異なっている。図１２に示すように、塗布ユニット２０９は、第１保持部２２８Ａと、第２保持部２２８Ｂと、塗布部２２９と、を備える。減圧乾燥ユニット２１０は、チャンバ部２７０を備える。複数の保持部２２８Ａ、２２８Ｂ、塗布部２２９、及びチャンバ部２７０は、メインフレーム２３０により支持される。メインフレーム２３０は、図４に示すメインフレーム３０に対して、Ｙ方向に長く形成される点を除いて、メインフレーム３０と同様である。 FIG. 12 is a diagram illustrating the coating unit 209 and the vacuum drying unit 210 in the system 200 according to the third embodiment. In the present embodiment, the coating unit 209 and the vacuum drying unit 210 are different from the first embodiment. As illustrated in FIG. 12, the application unit 209 includes a first holding unit 228 A, a second holding unit 228 B, and an application unit 229. The vacuum drying unit 210 includes a chamber unit 270. The plurality of holding units 228A, 228B, the application unit 229, and the chamber unit 270 are supported by the main frame 230. The main frame 230 is the same as the main frame 30 except that it is formed longer in the Y direction than the main frame 30 shown in FIG.

第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂは、それぞれ図１に示す保持部２８と同様の構成である。第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂは、チャンバ部２７０のベース部２７２上にＹ方向に並んで配置される。第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂは、それぞれ第１吸着用吸引部２４０Ａ、第２吸着用吸引部２４０Ｂと接続される。第１吸着用吸引部２４０Ａ及び第２吸着用吸引部２４０Ｂは、それぞれ図１に示す吸着用吸引部４０と同様の構成である。第１吸着用吸引部２４０Ａ及び第２吸着用吸引部２４０Ｂは、別に配置することに限定されず、例えば１台の吸着用吸引部２４０Ａ（または吸着用吸引部２４０Ｂ）を用いて複数の吸着部３８の吸引を行ってもよい。 The first holding unit 228A and the second holding unit 228B have the same configuration as the holding unit 28 shown in FIG. The first holding part 228A and the second holding part 228B are arranged side by side in the Y direction on the base part 272 of the chamber part 270. The first holding unit 228A and the second holding unit 228B are connected to the first suction unit 240A and the second suction unit 240B, respectively. The first suction suction section 240A and the second suction suction section 240B have the same configuration as the suction suction section 40 shown in FIG. The first suction suction part 240A and the second suction suction part 240B are not limited to be arranged separately. For example, a single suction suction part 240A (or suction suction part 240B) is used to form a plurality of suction parts. 38 suctions may be performed.

塗布部２２９は、第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂのそれぞれに保持されたシート５に対して液体７を塗布するようにＹ方向に移動可能である。これに伴い、対向位置Ｐ１の範囲も第１実施形態よりＹ方向に長くなっている。塗布部駆動部２６１は、塗布部２２９のＹ方向の移動を確保するため、第１実施形態のベルト６４よりＹ方向に長いベルト２６４が使用される。なお、塗布部２２９の他の構成は、図１に示す塗布部２９と同様である。ノズル５３をメンテナンスするノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７は、第１保持部２２８Ａの＋Ｙ側に配置される。 The application unit 229 is movable in the Y direction so as to apply the liquid 7 to the sheet 5 held on each of the first holding unit 228A and the second holding unit 228B. Accordingly, the range of the facing position P1 is also longer in the Y direction than in the first embodiment. The application unit driving unit 261 uses a belt 264 that is longer in the Y direction than the belt 64 of the first embodiment in order to ensure movement of the application unit 229 in the Y direction. In addition, the other structure of the application part 229 is the same as that of the application part 29 shown in FIG. The nozzle immersion part 66 and the preliminary discharge part 67 for maintaining the nozzle 53 are arranged on the + Y side of the first holding part 228A.

チャンバ部２７０は、第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂを支持するベース部２７２と、第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂを含む空間２６８を形成可能な蓋部２７３と、を備える。蓋部２７３は、不図示の駆動装置により、第１保持部２２８Ａ等を開放した保持部開放位置と、空間２６８を形成した空間形成位置と、を移動可能に形成される。蓋部２７３は、第１実施形態の蓋部７３と同様に、ヒンジ部７４によって回転可能に形成されてもよい。空間２６８は、吸引部７１に接続され、吸引部７１による吸引により減圧可能である。なお、チャンバ部２７０は、第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂの双方を含んだ空間２６８を形成することに代えて、第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂのそれぞれに対して個別に空間を形成してもよい。 The chamber part 270 includes a base part 272 that supports the first holding part 228A and the second holding part 228B, and a lid part 273 capable of forming a space 268 including the first holding part 228A and the second holding part 228B. . The lid portion 273 is formed by a driving device (not shown) so as to be movable between a holding portion opening position where the first holding portion 228A and the like are opened and a space forming position where the space 268 is formed. The lid portion 273 may be formed to be rotatable by the hinge portion 74, similarly to the lid portion 73 of the first embodiment. The space 268 is connected to the suction unit 71 and can be decompressed by suction by the suction unit 71. In addition, the chamber part 270 is individually provided for each of the first holding part 228A and the second holding part 228B instead of forming the space 268 including both the first holding part 228A and the second holding part 228B. A space may be formed.

以上のように、本実施形態によれば、第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂに保持された複数のシート５に対して、１つの塗布部２２９で液体７を塗布することができる。さらに、液体７を塗布した複数のシート５に対して１つの空間２６８を減圧することでまとめて乾燥させるので、積層膜４を効率よく製造することができる。なお、図１２では２つの第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂを使用するが、３つ以上の保持部が配置されてもよい。 As described above, according to the present embodiment, the liquid 7 can be applied by the single application unit 229 to the plurality of sheets 5 held by the first holding unit 228A and the second holding unit 228B. Furthermore, since the one space 268 is collectively reduced by reducing the pressure with respect to the plurality of sheets 5 coated with the liquid 7, the laminated film 4 can be manufactured efficiently. In FIG. 12, two first holding units 228A and second holding units 228B are used, but three or more holding units may be arranged.

また、本実施形態において、第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂの双方でシート５の一方の面に液体７を塗布する使用形態の他に、第１保持部２２８Ａによりシート５の一方の面に液体７を塗布し、次いで、第２保持部２２８Ｂによりシート５の他方の面に液体７を塗布する使用形態であってもよい。このとき、第１保持部２２８Ａから第２保持部２２８Ｂへのシート５の搬送は、作業者が手作業で行ってもよく、また各種搬送装置によって行ってもよい。 In the present embodiment, in addition to the usage mode in which the liquid 7 is applied to one surface of the sheet 5 by both the first holding unit 228A and the second holding unit 228B, the first holding unit 228A allows one of the sheets 5 to be applied. The usage form in which the liquid 7 is applied to the surface and then the liquid 7 is applied to the other surface of the sheet 5 by the second holding unit 228B may be employed. At this time, the conveyance of the sheet 5 from the first holding unit 228A to the second holding unit 228B may be performed manually by an operator or may be performed by various conveying devices.

［第４実施形態］
次に、第４実施形態について説明する。本実施形態において、上記した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、上記した実施形態において説明した事項のうち、第４実施形態に適用可能なものは全て第４実施形態で適用してもよい。 [Fourth Embodiment]
Next, a fourth embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the above-described embodiment, all items applicable to the fourth embodiment may be applied in the fourth embodiment.

図１３は、第４実施形態に係るシステム３００における塗布ユニット３０９及び減圧乾燥ユニット２１０を示す図である。本実施形態では、塗布ユニット３０９及び減圧乾燥ユニット２１０が第１実施形態と異なっている。塗布ユニット３０９の第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂ、並びに減圧乾燥ユニット２１０は、上記した第３実施形態に示すものと同様である。図１３に示すように、塗布ユニット３０９は、第１塗布部３２９Ａ及び第２塗布部３２９Ｂを備える。複数の保持部２２８Ａ、２２８Ｂ、第１塗布部３２９Ａ及び第２塗布部３２９Ｂ、及びチャンバ部２７０は、メインフレーム３３０により支持される。メインフレーム３３０は、図１や図１２に示すメインフレーム３０、２３０に対して、Ｙ方向に長く形成される点を除いて、メインフレーム３０、２３０と同様である。 FIG. 13 is a diagram illustrating the coating unit 309 and the vacuum drying unit 210 in the system 300 according to the fourth embodiment. In the present embodiment, the coating unit 309 and the reduced pressure drying unit 210 are different from the first embodiment. The first holding unit 228A, the second holding unit 228B, and the vacuum drying unit 210 of the coating unit 309 are the same as those described in the third embodiment. As shown in FIG. 13, the coating unit 309 includes a first coating unit 329A and a second coating unit 329B. The plurality of holding units 228A and 228B, the first application unit 329A and the second application unit 329B, and the chamber unit 270 are supported by the main frame 330. The main frame 330 is the same as the main frames 30 and 230 except that the main frame 330 is formed longer in the Y direction than the main frames 30 and 230 shown in FIGS.

第１塗布部３２９Ａは、第１保持部２２８Ａに保持されたシート５を塗布するのに使用される。第１塗布部３２９Ａは、第１実施形態の塗布部２９と同様の構成である。第１塗布部３２９Ａの退避位置Ｐ２Ａは、第１保持部２２８Ａの＋Ｙ側に設定される。第１塗布部３２９Ａのノズル５３をメンテナンスするノズル浸漬部３６６Ａ及び予備吐出部３６７Ａは、第１保持部２２８Ａの＋Ｙ側に配置される。第１塗布部３２９Ａは、退避位置Ｐ２Ａから−Ｙ方向に移動して対向位置Ｐ１Ａに配置可能である。第１塗布部３２９Ａの移動は、第１塗布部駆動部３６１Ａにより行う。第１塗布部駆動部３６１Ａは、駆動ローラ３６２Ａと、従動ローラ３６３Ａと、ベルト３６４Ａと、を備える。第１塗布部駆動部３６１Ａは、第１実施形態の塗布部駆動部６１の構成とほぼ同様である。 The first application unit 329A is used to apply the sheet 5 held by the first holding unit 228A. The first application unit 329A has the same configuration as the application unit 29 of the first embodiment. The retracted position P2A of the first application unit 329A is set on the + Y side of the first holding unit 228A. The nozzle immersion unit 366A and the preliminary discharge unit 367A that maintain the nozzle 53 of the first application unit 329A are disposed on the + Y side of the first holding unit 228A. The first application part 329A can be moved from the retracted position P2A in the −Y direction and disposed at the facing position P1A. The movement of the first application unit 329A is performed by the first application unit driving unit 361A. The first application unit driving unit 361A includes a driving roller 362A, a driven roller 363A, and a belt 364A. The first application unit drive unit 361A is substantially the same as the configuration of the application unit drive unit 61 of the first embodiment.

第２塗布部３２９Ｂは、第２保持部２２８Ｂに保持されたシート５を塗布するのに使用される。第２塗布部３２９Ｂは、第１実施形態の塗布部２９と同様の構成である。第２塗布部３２９Ｂの退避位置Ｐ２Ｂは、第２保持部２２８Ｂの−Ｙ側に設定される。第２塗布部３２９Ｂのノズル５３をメンテナンスするノズル浸漬部３６６Ｂ及び予備吐出部３６７Ｂは、第２保持部２２８Ｂの−Ｙ側に配置される。第２塗布部３２９Ｂは、退避位置Ｐ２Ｂから＋Ｙ方向に移動して対向位置Ｐ１Ｂに配置可能である。第２塗布部３２９Ｂの移動は、第２塗布部駆動部３６１Ｂにより行う。第２塗布部駆動部３６１Ｂは、駆動ローラ３６２Ｂと、従動ローラ３６３Ｂと、ベルト３６４Ｂと、を備える。第２塗布部駆動部３６１Ｂは、第１実施形態の塗布部駆動部６１の構成とほぼ同様である。 The second application unit 329B is used to apply the sheet 5 held by the second holding unit 228B. The 2nd application part 329B is the same composition as application part 29 of a 1st embodiment. The retracted position P2B of the second application unit 329B is set on the −Y side of the second holding unit 228B. The nozzle immersion unit 366B and the preliminary discharge unit 367B that maintain the nozzle 53 of the second application unit 329B are disposed on the −Y side of the second holding unit 228B. The second application unit 329B can move from the retracted position P2B in the + Y direction and be disposed at the facing position P1B. The movement of the second application unit 329B is performed by the second application unit driving unit 361B. The second application unit driving unit 361B includes a driving roller 362B, a driven roller 363B, and a belt 364B. The 2nd application part drive part 361B is as substantially the same as the composition of application part drive part 61 of a 1st embodiment.

以上のように、本実施形態によれば、第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂに保持された複数のシート５に対して、それぞれ第１塗布部３２９Ａ及び第２塗布部３２９Ｂで液体７を塗布するので、塗布時間を短縮できる。さらに、複数のシート５に対して１つの空間２６８により減圧乾燥するので、積層膜４を効率よく製造することができる。なお、図１３では２つの第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂを使用するが、３つ以上の保持部が配置され、保持部ごとに塗布部が配置されてもよい。 As described above, according to this embodiment, the liquid 7 is applied to the plurality of sheets 5 held by the first holding unit 228A and the second holding unit 228B in the first application unit 329A and the second application unit 329B, respectively. Application time can be shortened. Furthermore, since the plurality of sheets 5 are dried under reduced pressure in one space 268, the laminated film 4 can be manufactured efficiently. In FIG. 13, the two first holding units 228 A and the second holding unit 228 B are used, but three or more holding units may be arranged, and an application unit may be arranged for each holding unit.

また、本実施形態において、第３実施形態と同様、第１保持部２２８Ａ及び第２保持部２２８Ｂの双方でシート５の一方の面に液体７を塗布する使用形態の他に、第１保持部２２８Ａによりシート５の一方の面に液体７を塗布し、次いで、第２保持部２２８Ｂによりシート５の他方の面に液体７を塗布する使用形態であってもよい。このとき、第１保持部２２８Ａから第２保持部２２８Ｂへのシート５の搬送は、作業者が手作業で行ってもよく、また各種搬送装置によって行ってもよい。 In the present embodiment, as in the third embodiment, in addition to the usage mode in which the liquid 7 is applied to one surface of the sheet 5 by both the first holding unit 228A and the second holding unit 228B, the first holding unit The liquid 7 may be applied to one surface of the sheet 5 by 228A, and then the liquid 7 may be applied to the other surface of the sheet 5 by the second holding unit 228B. At this time, the conveyance of the sheet 5 from the first holding unit 228A to the second holding unit 228B may be performed manually by an operator or may be performed by various conveying devices.

また、本実施形態において、第１塗布部３２９Ａ及び第２塗布部３２９Ｂは、同一の液体７を塗布してもよく、また異なる液体７を塗布してもよい。この場合、第１塗布部３２９Ａによりシート５の一方の面に所定の液体７を塗布し、さらに、第２塗布部３２９Ｂによりシート５の他方の面に異なる液体７を塗布してもよい。これにより、シート５の一方の面と他方の面とで異なる第２機能層３を形成することができる。 In the present embodiment, the first application unit 329A and the second application unit 329B may apply the same liquid 7 or different liquids 7. In this case, the predetermined liquid 7 may be applied to one surface of the sheet 5 by the first application unit 329A, and the different liquid 7 may be applied to the other surface of the sheet 5 by the second application unit 329B. Thereby, the 2nd functional layer 3 which is different by the one surface and the other surface of the sheet | seat 5 can be formed.

［第５実施形態］
次に、第５実施形態について説明する。本実施形態において、上記した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、上記した実施形態において説明した事項のうち、第５実施形態に適用可能なものは全て第５実施形態で適用してもよい。 [Fifth Embodiment]
Next, a fifth embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the above-described embodiment, all items applicable to the fifth embodiment may be applied in the fifth embodiment.

図１４は、第５実施形態に係るシステム４００の一例を示す図である。システム４００は、シート５の両面に第２機能層３を形成した積層膜（機能膜）４Ａを製造する。システム４００は、図１４に示すように、第１塗布ユニット４０９Ａと、第２塗布ユニット４０９Ｂと、第１減圧乾燥ユニット４１０Ａと、第２減圧乾燥ユニット４１０Ｂと、反転部４１２と、保管ユニット１２、１３と、を備える。第１塗布ユニット４０９Ａは、第１保持部４２８Ａと、第１塗布部４２９Ａと、を備える。第２塗布ユニット４０９Ｂは、第２保持部４２８Ｂと、第２塗布部４２９Ｂと、を備える。 FIG. 14 is a diagram illustrating an example of a system 400 according to the fifth embodiment. The system 400 manufactures a laminated film (functional film) 4 A in which the second functional layer 3 is formed on both surfaces of the sheet 5. As shown in FIG. 14, the system 400 includes a first application unit 409A, a second application unit 409B, a first reduced pressure drying unit 410A, a second reduced pressure drying unit 410B, a reversing unit 412, a storage unit 12, 13. The first application unit 409A includes a first holding unit 428A and a first application unit 429A. The second application unit 409B includes a second holding unit 428B and a second application unit 429B.

第１保持部４２８Ａ及び第２保持部４２８Ｂは、それぞれ第１実施形態の保持部２８と同様の構成である。第１塗布部３２９Ａ及び第２塗布部４２９Ｂは、それぞれ第１実施形態の塗布部２９と同様の構成である。第１減圧乾燥ユニット４１０Ａは、第１塗布ユニット４０９Ａに対応して配置される。第２減圧乾燥ユニット４１０Ｂは、第２塗布ユニット４０９Ｂに対応して配置される。第１減圧乾燥ユニット４１０Ａ及び第２減圧乾燥ユニット４１０Ｂは、それぞれ第１実施形態の減圧乾燥ユニット１０と同様の構成である。第１塗布ユニット４０９Ａは、例えば、保管ユニット１２から、枠部６を備えるシート５が搬送される。第２塗布ユニット４０９Ｂは、後述する反転部４１２から、シート５の一方の面に第２機能層３が形成された積層膜４が搬送される。 The first holding unit 428A and the second holding unit 428B have the same configuration as the holding unit 28 of the first embodiment. The first application unit 329A and the second application unit 429B have the same configuration as the application unit 29 of the first embodiment. The first vacuum drying unit 410A is disposed corresponding to the first coating unit 409A. The second reduced pressure drying unit 410B is disposed corresponding to the second coating unit 409B. The first reduced pressure drying unit 410A and the second reduced pressure drying unit 410B have the same configuration as the reduced pressure drying unit 10 of the first embodiment. For example, the sheet 5 including the frame portion 6 is conveyed from the storage unit 12 to the first application unit 409A. In the second coating unit 409B, the laminated film 4 in which the second functional layer 3 is formed on one surface of the sheet 5 is conveyed from the reversing unit 412 described later.

第１塗布ユニット４０９Ａは、保管ユニット１２から搬送されたシート５に対して液体７を塗布する。第１塗布ユニット４０９Ａは、例えば、枠部６が形成されたシート５の面に対して液体７を塗布するが、これに限定されず、枠部６が形成されたシート５の他方の面に対して液体７を塗布してもよい。なお、第１塗布ユニット４０９Ａによるシート５への液体７の塗布や、第１減圧乾燥ユニット４１０Ａによる液体７の減圧乾燥については、上記した実施形態と同様である。第１塗布ユニット４０９Ａは、シート５の一方の面に第２機能層３が形成された積層膜４を、不図示の搬送装置等により反転部４１２に搬送する。なお、反転部４１２への搬送は、作業者による手作業で行ってもよい。 The first application unit 409A applies the liquid 7 to the sheet 5 conveyed from the storage unit 12. For example, the first application unit 409A applies the liquid 7 to the surface of the sheet 5 on which the frame portion 6 is formed. However, the first application unit 409A is not limited thereto, and is applied to the other surface of the sheet 5 on which the frame portion 6 is formed. On the other hand, the liquid 7 may be applied. Note that the application of the liquid 7 to the sheet 5 by the first application unit 409A and the reduced pressure drying of the liquid 7 by the first reduced pressure drying unit 410A are the same as in the above-described embodiment. The first application unit 409A conveys the laminated film 4 in which the second functional layer 3 is formed on one surface of the sheet 5 to the reversing unit 412 using a conveyance device (not shown). The conveyance to the reversing unit 412 may be performed manually by an operator.

反転部４１２は、第１塗布ユニット４０９Ａから搬送された積層膜４を反転させる。これにより、第２機能層３を上方に向けた積層膜４は、第２機能層３を下方に向けた状態となる。反転部４１２は、積層膜４を反転させる任意の機構が用いられ、例えば、積層膜４の一部をロボットアームやマニュピレータ等で保持し、ロボットアーム等を駆動することにより積層膜４の反転を行ってもよい。反転した積層膜４は、不図示の搬送装置によって第２塗布ユニット４０９Ｂに搬送される。上記したように、ロボットアーム等により積層膜４を反転させる場合は、そのままロボットアーム等により第２塗布ユニット４０９Ｂに積層膜４を搬送してもよい。また、反転部４１２を備えるか否かは任意であり、反転部４１２はなくてもよい。例えば、作業者が手作業で積層膜４を反転させてもよい。 The inversion unit 412 inverts the laminated film 4 conveyed from the first application unit 409A. Thereby, the laminated film 4 with the second functional layer 3 facing upward is in a state with the second functional layer 3 facing downward. The reversing unit 412 uses an arbitrary mechanism for inverting the laminated film 4. For example, a part of the laminated film 4 is held by a robot arm or a manipulator, and the robot film is driven to invert the laminated film 4. You may go. The inverted laminated film 4 is transferred to the second coating unit 409B by a transfer device (not shown). As described above, when the laminated film 4 is reversed by a robot arm or the like, the laminated film 4 may be transferred to the second coating unit 409B by the robot arm or the like as it is. Further, whether or not the inversion unit 412 is provided is arbitrary, and the inversion unit 412 may not be provided. For example, the laminated film 4 may be inverted manually by an operator.

第２塗布ユニット４０９Ｂは、反転部４１２から搬送されたシート５に対して液体７を塗布する。第２塗布ユニット４０９Ｂは、第２機能層３が形成されていないシート５上に液体７を塗布する。第２保持部４２８Ｂは、積層膜４を保持する際に、第２機能層３を吸着（吸引）することは避けて、枠部６を吸着させてもよい。これにより、積層膜４を保持する際に第２機能層３の破損を防止できる。なお、第２塗布ユニット４０９Ｂによるシート５への液体７の塗布や、第２減圧乾燥ユニット４１０Ｂによる液体７の減圧乾燥については、上記した実施形態と同様である。第２塗布ユニット４０９Ａは、シート５の両面に第２機能層３が形成された積層膜４Ａを、不図示の搬送装置等により保管ユニット１３に搬送する。なお、保管ユニット１３への搬送は、作業者による手作業で行ってもよい。 The second application unit 409 B applies the liquid 7 to the sheet 5 conveyed from the reversing unit 412. The second application unit 409B applies the liquid 7 on the sheet 5 on which the second functional layer 3 is not formed. The second holding unit 428B may adsorb (suck) the second functional layer 3 and hold the frame unit 6 when holding the laminated film 4. As a result, the second functional layer 3 can be prevented from being damaged when the laminated film 4 is held. The application of the liquid 7 to the sheet 5 by the second application unit 409B and the reduced pressure drying of the liquid 7 by the second reduced pressure drying unit 410B are the same as in the above-described embodiment. The second coating unit 409A transports the laminated film 4A in which the second functional layer 3 is formed on both surfaces of the sheet 5 to the storage unit 13 by a transport device (not shown). The conveyance to the storage unit 13 may be performed manually by an operator.

次に、シート５の両面に第２機能層３が形成された積層膜４Ａの製造方法について、図面を参照して説明する。ただし、以下の説明は一例であって、製造方法を限定するものではない。図１５は、積層膜４Ａの製造方法を示すフローチャートである。なお、図１５の説明において、図１４を適宜参照して行う。また、本製造方法は、図８に示すステップＳ１〜Ｓ６を含む。 Next, a manufacturing method of the laminated film 4A in which the second functional layer 3 is formed on both surfaces of the sheet 5 will be described with reference to the drawings. However, the following description is an example and does not limit the manufacturing method. FIG. 15 is a flowchart showing a method for manufacturing the laminated film 4A. Note that the description of FIG. 15 is performed with reference to FIG. 14 as appropriate. The manufacturing method includes steps S1 to S6 shown in FIG.

図１５に示すように、図８のステップＳ６によりシート５の一方の面に第２機能層３が形成された後、反転部４１２によって積層膜４（シート５）を反転させて、第２塗布ユニット４０９Ｂによりシート５上に液体７を塗布する（ステップＳ１１）。ステップＳ１〜Ｓ６により製造した積層膜４は、第２機能層３が上方に向いている。反転部４１２は、この積層膜４を反転させることにより、第２機能層３を下方に向け、第２機能層３が形成されていない面を上方に向けて積層膜４を第２塗布ユニット４０９Ｂに供給する。 As shown in FIG. 15, after the second functional layer 3 is formed on one surface of the sheet 5 in step S 6 of FIG. 8, the laminated film 4 (sheet 5) is reversed by the reversing unit 412 to perform the second coating. The liquid 7 is applied on the sheet 5 by the unit 409B (step S11). As for the laminated film 4 manufactured by step S1-S6, the 2nd functional layer 3 has faced upwards. The reversing unit 412 inverts the laminated film 4 so that the second functional layer 3 is directed downward, and the surface on which the second functional layer 3 is not formed is directed upward so that the laminated film 4 is directed to the second coating unit 409B. To supply.

第２塗布ユニット４０９Ｂは、反転した積層膜４を第２保持部４２８Ｂで保持し、第２塗布部４２９Ｂにより液体７を塗布する。第２保持部４２８Ｂが積層膜４を吸引して保持する場合、その吸引力は、第１塗布ユニット４０９Ａの第１保持部４２８Ａによる吸引力と同一であってもよく、また、例えば第１保持部４２８Ａより小さいまたは大きい吸引力にするなど、互いに異なってもよい。なお、第２保持部４２８Ｂにより積層膜４を保持するか否かは任意である。また、第２塗布ユニット４０９Ｂにより塗布する液体７は、第１塗布ユニット４０９Ａによりとする液体７と同一であってもよく、また異なってもよい。 The second application unit 409B holds the inverted laminated film 4 with the second holding unit 428B, and applies the liquid 7 with the second application unit 429B. When the second holding unit 428B sucks and holds the laminated film 4, the suction force may be the same as the suction force by the first holding unit 428A of the first application unit 409A, and for example, the first holding unit They may be different from each other, such as having a smaller or larger suction force than the portion 428A. Note that whether or not the laminated film 4 is held by the second holding unit 428B is arbitrary. Further, the liquid 7 applied by the second application unit 409B may be the same as or different from the liquid 7 used by the first application unit 409A.

次に、第２塗布部４２９Ｂは、チャンバ部７０（図４等参照）の外側に退避する（ステップＳ１２）。このステップＳ１２は、図８に示すステップＳ４と同様である。次に、第２減圧乾燥ユニット４１０Ｂのチャンバ部７０により、液体７を塗布後の積層膜４を含んだ空間６８を形成する（ステップＳ１３）。このステップＳ１３は、図８に示すステップＳ５と同様である。続いて、吸引部７１を駆動することにより、空間６８内を吸引して減圧する（ステップＳ１４）。このステップＳ１４は、図８に示すステップＳ６と同様である。これにより、シート５の両面に第２機能層３が形成された積層膜４Ａが完成する。 Next, the 2nd application part 429B retracts outside the chamber part 70 (refer to Drawing 4 etc.) (Step S12). This step S12 is the same as step S4 shown in FIG. Next, a space 68 including the laminated film 4 after the liquid 7 is applied is formed by the chamber part 70 of the second reduced pressure drying unit 410B (step S13). This step S13 is the same as step S5 shown in FIG. Subsequently, by driving the suction unit 71, the space 68 is sucked and decompressed (step S14). This step S14 is the same as step S6 shown in FIG. Thereby, the laminated film 4A in which the second functional layer 3 is formed on both surfaces of the sheet 5 is completed.

なお、第２減圧乾燥ユニット４１０Ｂによる空間６８内を吸引力は、第１減圧乾燥ユニット４１０Ａによる空間６８内の吸引力と同一でもよく、また、第１減圧乾燥ユニット４１０Ａに対して大きくまたは小さくするなど、異なってもよい。また、第１減圧乾燥ユニット４１０Ａでは、塗布された液体７の一部を減圧乾燥させ、第２減圧乾燥ユニット４１０Ｂにおいて新たに塗布された液体７とともに残りを減圧乾燥させてもよい。 The suction force in the space 68 by the second reduced pressure drying unit 410B may be the same as the suction force in the space 68 by the first reduced pressure drying unit 410A, and is made larger or smaller than the first reduced pressure drying unit 410A. And so on. Further, in the first reduced pressure drying unit 410A, a part of the applied liquid 7 may be dried under reduced pressure, and the remaining together with the newly applied liquid 7 in the second reduced pressure drying unit 410B may be dried under reduced pressure.

また、第１塗布ユニット４０９Ａ及び第２塗布ユニット４０９Ｂにおいて、液体７を塗布する際や、塗布した後、第１減圧乾燥ユニット４１０Ａ及び第２減圧乾燥ユニット４１０Ｂにおいて、空間６８内で減圧乾燥を行う際又は減圧乾燥の後に、積層膜４、４Ａを加熱部４７（図６（Ａ）参照）により所定の温度で加熱してもよい。これにより、液体７の乾燥時間を短縮することができる。なお、積層膜４、４Ａを加熱するか否かは任意である。 In addition, when applying the liquid 7 in the first application unit 409A and the second application unit 409B, or after application, the first reduced pressure drying unit 410A and the second reduced pressure drying unit 410B perform reduced pressure drying in the space 68. At this time or after drying under reduced pressure, the laminated films 4 and 4A may be heated at a predetermined temperature by the heating unit 47 (see FIG. 6A). Thereby, the drying time of the liquid 7 can be shortened. Note that whether or not to heat the laminated films 4 and 4A is arbitrary.

このように、本実施形態によれば、シート５におけるシート５の両面に第２機能層３が形成された積層膜４Ａを効率よく製造することができる。また、システム４００は、第１塗布ユニット４０９Ａ及び第２塗布ユニット４０９Ｂのそれぞれに対応した、第１減圧乾燥ユニット４１０Ａ、第２減圧乾燥ユニット４１０Ｂを備えるため、液体７の塗布後の減圧乾燥を効率よく行うことができ、高品質な積層膜４Ａを効率よく製造することができる。また、第１実施形態と同様、液体７の塗布から減圧乾燥までを短時間で行うので、多孔質形状の第２機能層３を持った積層膜４Ａを製造することができる。 Thus, according to this embodiment, the laminated film 4A in which the second functional layer 3 is formed on both surfaces of the sheet 5 in the sheet 5 can be efficiently manufactured. In addition, since the system 400 includes the first reduced pressure drying unit 410A and the second reduced pressure drying unit 410B corresponding to the first application unit 409A and the second application unit 409B, the reduced pressure drying after applying the liquid 7 is efficient. This can be performed well, and the high-quality laminated film 4A can be efficiently manufactured. Further, as in the first embodiment, since the application from the liquid 7 to the drying under reduced pressure is performed in a short time, the laminated film 4A having the porous second functional layer 3 can be manufactured.

［第６実施形態］
次に、第６実施形態について説明する。本実施形態において、上記した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、上記した実施形態において説明した事項のうち、第６実施形態に適用可能なものは全て第６実施形態で適用してもよい。 [Sixth Embodiment]
Next, a sixth embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the above-described embodiments, all those applicable to the sixth embodiment may be applied in the sixth embodiment.

図１６及び図１７は、第６実施形態に係るシステム５００の一例を示す図である。図１６（Ａ）は＋Ｚ方向から見た平面図、図１６（Ｂ）は＋Ｚ方向から見た他の例の平面図である。図１７は、図１６（Ａ）に示すシステム５００を−Ｙ方向から見た側面図である。システム５００は、長尺のシート５Ａに枠部６を形成し、枚葉のシート５ごとに切断しない状態で、枠部６ごとに液体７を塗布する。システム５００は、枠形成ユニット５０８と、塗布ユニット５０９と、減圧乾燥ユニット５１０と、切断ユニット５１１と、を備える。 16 and 17 are diagrams illustrating an example of a system 500 according to the sixth embodiment. FIG. 16A is a plan view seen from the + Z direction, and FIG. 16B is a plan view of another example seen from the + Z direction. FIG. 17 is a side view of the system 500 shown in FIG. The system 500 forms the frame portion 6 on the long sheet 5 A, and applies the liquid 7 to each frame portion 6 without cutting each sheet 5. The system 500 includes a frame forming unit 508, a coating unit 509, a vacuum drying unit 510, and a cutting unit 511.

システム５００は、長尺のシート５Ａがロール状に巻かれたロール体Ｒ１として供給される。ロール体Ｒ１は、軸部に回転可能に設置され、例えば、シート５Ａを挟んだ一対の駆動ローラによってシート５Ａが引き出される。なお、ロール体Ｒ１は、不図示の駆動装置により回転し、シート５Ａが引き出されることに同期してシート５Ａを＋Ｘ方向に送り出してもよい。この場合、ロール体Ｒ１を回転させるタイミング及び回転量（シート５Ａの移送タイミング及び移送量）は、不図示の制御装置によって制御してもよく、作業者のマニュアル操作によって行ってもよい。また、長尺のシート５ＡのＸ方向の長さや幅（Ｙ方向の長さ）は、特に制限されず、任意のものを用いることができる。 The system 500 is supplied as a roll body R1 in which a long sheet 5A is wound in a roll shape. The roll body R1 is rotatably installed on the shaft portion, and for example, the sheet 5A is pulled out by a pair of drive rollers that sandwich the sheet 5A. The roll body R1 may be rotated by a driving device (not shown), and the sheet 5A may be sent out in the + X direction in synchronization with the sheet 5A being pulled out. In this case, the timing and amount of rotation of the roll body R1 (the transfer timing and the transfer amount of the sheet 5A) may be controlled by a control device (not shown) or may be performed manually by an operator. Further, the length and width (the length in the Y direction) in the X direction of the long sheet 5A are not particularly limited, and an arbitrary one can be used.

枠形成ユニット５０８は、図１６（Ａ）及び図１７に示すように、ロール体Ｒ１から引き出されたシート５Ａに枠部６を形成する。枠形成ユニット５０８は、例えば、上記した第１実施形態の枠形成ユニット８と同様に、シート５Ａの一部に枠部６を接着する構成等が適用される。枠形成ユニット５０８は、例えば、保管ユニット１１から不図示の搬送装置により供給される枠部６をシート５Ａの一部に接着する。シート５Ａのうち、枠部６で囲まれた部分は広がった状態で維持される。枠形成ユニット５０８による枠部６の形成は、シート５Ａに対してＸ方向に所定間隔で行われる。 As shown in FIGS. 16A and 17, the frame forming unit 508 forms the frame portion 6 on the sheet 5A drawn from the roll body R1. For example, a configuration in which the frame portion 6 is bonded to a part of the sheet 5A is applied to the frame forming unit 508 in the same manner as the frame forming unit 8 of the first embodiment described above. For example, the frame forming unit 508 adheres the frame portion 6 supplied from the storage unit 11 by a conveyance device (not shown) to a part of the sheet 5A. Of the sheet 5A, the portion surrounded by the frame 6 is maintained in an expanded state. The frame portion 6 is formed by the frame forming unit 508 at a predetermined interval in the X direction with respect to the sheet 5A.

なお、枠部６が長方形である場合、シート５Ａに対して枠部６を形成する方向は、図１６（Ａ）に示すような、枠部６の長手方向がＹ方向になるように形成することに限定されない。例えば、図１６（Ｂ）に示すように、枠部６は、Ｘ方向に延びるシート５Ａに対して、枠部６の長手方向がＸ方向となるように形成されてもよい。また、本実施形態では、枠部６をシート５Ａの一方の面に形成しているが、シート５Ａの両面に枠部６を形成してもよい。また、シート５Ａに枠部６を形成する手法は第１実施形態の枠形成ユニット８と同様である。 In addition, when the frame part 6 is a rectangle, it forms so that the longitudinal direction of the frame part 6 may turn into the Y direction as shown in FIG. It is not limited to that. For example, as shown in FIG. 16B, the frame 6 may be formed such that the longitudinal direction of the frame 6 is the X direction with respect to the sheet 5A extending in the X direction. Moreover, in this embodiment, although the frame part 6 is formed in one surface of the sheet | seat 5A, you may form the frame part 6 in both surfaces of the sheet | seat 5A. The method for forming the frame portion 6 on the sheet 5A is the same as that of the frame forming unit 8 of the first embodiment.

枠部６が形成されたシート５Ａは切断されずに塗布ユニット５０９に移送される。塗布ユニット５０９は、保持部５２８と、塗布部５２９と、を備える。保持部５２８は、シート５Ａの裏面の一部を保持する。保持部５２８は、第１実施形態の保持部２８と同様に、シート５Ａ及び枠部６の少なくとも一方を吸着用吸引部４０で吸引することにより保持する。なお、保持部５２８とシート５Ａとの間に、図３に示すようなシート部材４６が配置されてもよい。なお、シート５Ａを吸引により保持するか否かは任意である。 The sheet 5A on which the frame portion 6 is formed is transferred to the coating unit 509 without being cut. The coating unit 509 includes a holding unit 528 and a coating unit 529. The holding unit 528 holds a part of the back surface of the sheet 5A. The holding unit 528 holds the at least one of the sheet 5A and the frame unit 6 by sucking with the suction unit 40 for suction, similarly to the holding unit 28 of the first embodiment. A sheet member 46 as shown in FIG. 3 may be disposed between the holding portion 528 and the sheet 5A. Whether or not the sheet 5A is held by suction is arbitrary.

保持部５２８の−Ｘ側及び＋Ｘ側のそれぞれには、ローラ５１４、５１５が設けられ、長尺のシート５Ａを案内する。ローラ５１４、５１５の高さは任意に設定可能であるが、例えば、保持部５２８とともにシート５Ａをほぼ水平に移送する高さに設定される。また、ローラ５１４、５１５に加えて他のローラを配置してもよい。また、ローラ５１４、５１５を配置するか否かは任意である。 Rollers 514 and 515 are provided on the −X side and the + X side of the holding portion 528, respectively, to guide the long sheet 5A. The heights of the rollers 514 and 515 can be arbitrarily set. For example, the heights of the rollers 514 and 515 are set to a height at which the sheet 5A is transported substantially horizontally together with the holding portion 528. In addition to the rollers 514 and 515, other rollers may be arranged. Further, whether or not the rollers 514 and 515 are arranged is arbitrary.

塗布部５２９は、保持部５２８に保持されたシート５Ａに液体７を塗布する。塗布部５２９は、図１に示す塗布部２９と同様である。塗布部５２９は、シート５Ａの移送方向と直交するＹ方向に移動可能に形成される。塗布部５２９は、保持部５２８に保持されたシート５Ａに対して液体７を塗布可能な対向位置Ｐ５０１と、保持部５２８の＋Ｙ側に設定された退避位置Ｐ５０２との間を移動可能である。なお、退避位置Ｐ５０２は、保持部５２８の−Ｙ側に設定されてもよい。また、塗布部５２９のノズル５３をメンテナンスするノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７（図４及び図５参照）は、保持部５２８の＋Ｙ側または−Ｙ側に配置されてもよい。 The application unit 529 applies the liquid 7 to the sheet 5 A held by the holding unit 528. The application part 529 is the same as the application part 29 shown in FIG. The application unit 529 is formed to be movable in the Y direction orthogonal to the transfer direction of the sheet 5A. The application unit 529 is movable between an opposing position P501 where the liquid 7 can be applied to the sheet 5A held by the holding unit 528 and a retreat position P502 set on the + Y side of the holding unit 528. The retreat position P502 may be set on the −Y side of the holding unit 528. Further, the nozzle immersion unit 66 and the preliminary discharge unit 67 (see FIGS. 4 and 5) that maintain the nozzle 53 of the application unit 529 may be arranged on the + Y side or the −Y side of the holding unit 528.

減圧乾燥ユニット５１０は、空間５６８を形成可能なチャンバ部５７０を備え、かつ空間５６８を減圧して液体７を乾燥させる吸引部７１を備える。チャンバ部５７０は、蓋部５７３を備える。蓋部５７３は、空間５６８を形成する空間形成位置と、シート５Ａに対して塗布部５２９により液体７を塗布可能な保持部開放位置との間をＺ方向に移動可能に形成される。蓋部５７３の移動は、不図示の駆動装置により行ってもよく、作業者が行ってもよい。蓋部５７３の移動を駆動装置で行う場合、移動のタイミング等は、不図示の制御装置により制御してもよく、または作業者がマニュアル操作により行ってもよい。 The vacuum drying unit 510 includes a chamber unit 570 capable of forming a space 568 and a suction unit 71 that decompresses the space 568 to dry the liquid 7. The chamber part 570 includes a lid part 573. The lid portion 573 is formed to be movable in the Z direction between a space forming position where the space 568 is formed and a holding portion opening position where the liquid 7 can be applied to the sheet 5A by the applying portion 529. The movement of the lid 573 may be performed by a driving device (not shown) or may be performed by an operator. When the lid 573 is moved by the driving device, the timing of movement or the like may be controlled by a control device (not shown), or may be manually operated by an operator.

蓋部５７３が空間形成位置にある場合、蓋部５７３の下端は、保持部５２８の上面と密着する。このとき、シート５Ａにおいて液体７の塗布領域から延びる両側は、蓋部５７３と保持部５２８とで挟まれた状態となる。すなわち、空間５６８を形成した状態では、シート５Ａは蓋部５７３によって保持された状態となる。なお、蓋部５７３の下端に弾性部材が取り付けられてもよい。これにより、シート５Ａを挟んだ場合でも、密閉した空間５６８を形成することができる。なお、空間５６８内が吸引部７１により減圧される点は、第１実施形態と同様である。また、蓋部５７３は、Ｚ方向に移動することに限定されず、例えば、第１実施形態のようにヒンジ部７４を用いて、例えばＸ方向を軸として回転可能に形成されてもよい。 When the lid portion 573 is in the space forming position, the lower end of the lid portion 573 is in close contact with the upper surface of the holding portion 528. At this time, both sides of the sheet 5 A extending from the application region of the liquid 7 are sandwiched between the lid portion 573 and the holding portion 528. That is, in a state where the space 568 is formed, the sheet 5A is held by the lid portion 573. An elastic member may be attached to the lower end of the lid 573. Thereby, even when the sheet 5A is sandwiched, a sealed space 568 can be formed. The point that the space 568 is decompressed by the suction portion 71 is the same as in the first embodiment. Further, the lid portion 573 is not limited to moving in the Z direction, and may be formed to be rotatable about the X direction as an axis, for example, using the hinge portion 74 as in the first embodiment.

切断ユニット５１１は、図１６及び図１７に示すように、減圧乾燥ユニット５１０から送られた積層膜４Ｂ（シート５Ａ）を枠部６が形成された部分ごとに切断する。これにより、長尺の積層膜４Ｂは、枠部６ごとに切断された枚葉の積層膜４となる。切断ユニット５１１は、塗布ユニット５０９及び減圧乾燥ユニット５１０の＋Ｘ側に配置される。切断ユニット５１１は、第１保持部５２０と、カット台５２１と、第２保持部５２２と、可動ホルダ５２３と、切断部５２４と、を備える。切断ユニット５１１の動作は、不図示の制御装置が制御してもよく、全部または一部の動作について作業者がマニュアル操作を行ってもよい。 As shown in FIGS. 16 and 17, the cutting unit 511 cuts the laminated film 4B (sheet 5A) sent from the reduced-pressure drying unit 510 for each portion where the frame portion 6 is formed. As a result, the long laminated film 4 B becomes a single laminated film 4 cut for each frame portion 6. The cutting unit 511 is disposed on the + X side of the coating unit 509 and the vacuum drying unit 510. The cutting unit 511 includes a first holding unit 520, a cut table 521, a second holding unit 522, a movable holder 523, and a cutting unit 524. The operation of the cutting unit 511 may be controlled by a control device (not shown), or an operator may perform manual operation for all or part of the operation.

なお、第１保持部５２０、カット台５２１、第２保持部５２２、可動ホルダ５２３、及び切断部５２４は、それぞれ、図２に示す枠形成ユニット８の、第１保持部２０、カット台２１、第２保持部２２、可動ホルダ２３、切断部２４と同様である。切断ユニット５１１の動作は次のとおりである。先ず、積層膜４Ｂの＋Ｘ端部が第１保持部５２０に保持された状態で、可動ホルダ５２３のホルダ５２７で積層膜４Ｂの＋Ｘ側の端部を保持する。続いて、第１保持部５２０による積層膜４Ｂの保持を停止した後、可動ホルダ２３のロッド５２６を＋Ｘ方向に所定量移動させ、第２保持部２２により積層膜４Ｂを保持する。続いて、カット台５２１上において切断部５２４が−Ｙ方向に移動して積層膜４Ｂを切断する。続いて、切断された積層膜４を可動ホルダ５２３で保持し、第２保持部２２による保持を停止した後に可動ホルダ５２３を＋Ｘ方向に移動させることにより積層膜４が搬送される。 In addition, the 1st holding | maintenance part 520, the cut stand 521, the 2nd holding | maintenance part 522, the movable holder 523, and the cutting | disconnection part 524 are respectively the 1st holding | maintenance part 20, the cut stand 21 of the frame formation unit 8 shown in FIG. The same as the second holding unit 22, the movable holder 23, and the cutting unit 24. The operation of the cutting unit 511 is as follows. First, in a state where the + X end portion of the laminated film 4B is held by the first holding portion 520, the end portion on the + X side of the laminated film 4B is held by the holder 527 of the movable holder 523. Subsequently, after the holding of the laminated film 4B by the first holding unit 520 is stopped, the rod 526 of the movable holder 23 is moved by a predetermined amount in the + X direction, and the laminated film 4B is held by the second holding unit 22. Subsequently, the cutting part 524 moves in the −Y direction on the cut table 521 to cut the laminated film 4B. Subsequently, the cut laminated film 4 is held by the movable holder 523, the holding by the second holding unit 22 is stopped, and then the movable holder 523 is moved in the + X direction so that the laminated film 4 is conveyed.

積層膜４は、切断ユニット５１１から例えば保管ユニット１３（図１参照）に搬送される。保管ユニット１３への搬送は、可動ホルダ５２３で行ってもよく、また、不図示の搬送装置や、作業者による手作業で行ってもよい。なお、カット台５２１及び第２保持部５２２は、図４に示すカット台２１及び第２保持部２２と同様に、Ｚ方向に移動可能であってもよい。切断ユニット５１１は、枠部６が形成された部分ごとに積層膜４Ｂ切断するものであれば、任意のものを適用できる。また、切断ユニット５１１を備えるか否かは任意であり、切断ユニット５１１はなくてもよい。切断ユニット５１１がない場合、例えば、減圧乾燥ユニット５１０から送られる長尺の積層膜４Ｂを折りたたんで保管ユニット１３に保管してもよく、また、長尺の積層膜４Ｂを他の装置等（例えば燃料電池の組み立て装置など）に供給して、適宜積層膜４ごとに切断してもよい。 The laminated film 4 is conveyed from the cutting unit 511 to, for example, the storage unit 13 (see FIG. 1). Transport to the storage unit 13 may be performed by the movable holder 523, or may be performed manually by a transport device (not shown) or an operator. Note that the cut table 521 and the second holding unit 522 may be movable in the Z direction, similarly to the cut table 21 and the second holding unit 22 shown in FIG. As the cutting unit 511, any unit can be applied as long as it cuts the laminated film 4 B for each portion where the frame portion 6 is formed. Further, whether or not the cutting unit 511 is provided is arbitrary, and the cutting unit 511 may not be provided. When the cutting unit 511 is not provided, for example, the long laminated film 4B sent from the vacuum drying unit 510 may be folded and stored in the storage unit 13, and the long laminated film 4B may be stored in another device or the like (for example, For example, a fuel cell assembling apparatus) and may be appropriately cut for each laminated film 4.

次に、システム５００を用いた積層膜４の製造方法について説明する。図１８は、積層膜４の製造方法の他の例を示すフローチャートである。図１９（Ａ）は、保持部５２８及び塗布部５２９の一例を示す斜視図、（Ｂ）は保持部２８及び塗布部５２９の他の例を示す斜視図である。図２０は、チャンバ部５７０の一例を示し、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は−Ｙ方向から見た側面図である。なお、図１８のフローチャートに沿って説明しつつ、図１９〜図２０を適宜参照する。 Next, a method for manufacturing the laminated film 4 using the system 500 will be described. FIG. 18 is a flowchart showing another example of the manufacturing method of the laminated film 4. 19A is a perspective view illustrating an example of the holding unit 528 and the application unit 529, and FIG. 19B is a perspective view illustrating another example of the holding unit 28 and the application unit 529. FIG. 20 shows an example of the chamber portion 570, where (A) is a perspective view and (B) is a side view seen from the -Y direction. In addition, referring to the flowchart of FIG. 18, FIGS. 19 to 20 will be referred to as appropriate.

先ず、ロール体Ｒ１からシート５Ａの始端が＋Ｘ方向に引き出されて、図１８に示すように、枠形成ユニット５０８によりシート５Ａの一部領域を囲むように枠部６が形成される（ステップＳ２１）。シート５Ａは、不図示の駆動ローラとうにより＋Ｘ方向に移送されてもよい。シート５Ａのうち、枠部６で囲まれた部分は、枠部６によって広がった状態が維持される。なお、枠部６は、シート５ＡのＸ方向に沿って所定間隔で形成されるが、この間隔は任意に設定可能である。 First, the starting end of the sheet 5A is pulled out from the roll body R1 in the + X direction, and the frame portion 6 is formed by the frame forming unit 508 so as to surround a partial region of the sheet 5A as shown in FIG. 18 (step S21). ). The sheet 5A may be transferred in the + X direction by a driving roller (not shown). Of the sheet 5 A, the portion surrounded by the frame portion 6 is maintained in a state of being expanded by the frame portion 6. The frame portions 6 are formed at predetermined intervals along the X direction of the sheet 5A, but this interval can be arbitrarily set.

次に、図１８に示すように、シート５Ａを保持部５２８により保持する（ステップＳ２２）。枠部６が形成されたシート５Ａの一部は、保持部５２８に吸着されて保持される。シート５Ａの吸着は、後述する塗布部５２９による液体７の塗布後まで行ってもよく、また、空間５６８の減圧の終了後まで行ってもよい。なお、ステップＳ２２により、シート５Ａを保持部５２８で保持するか否かは任意である。 Next, as shown in FIG. 18, the sheet 5A is held by the holding unit 528 (step S22). A part of the sheet 5A on which the frame part 6 is formed is adsorbed and held by the holding part 528. The adsorption of the sheet 5A may be performed until after the application of the liquid 7 by the application unit 529 described later, or may be performed until after the decompression of the space 568 is completed. Note that whether or not the sheet 5A is held by the holding unit 528 in step S22 is arbitrary.

次に、図１８に示すように、シート５Ａの少なくとも一方の面に、第２機能層３を形成するための液体７を塗布部５２９により塗布する（ステップＳ２３）。このステップＳ２３は、塗布部５２９が退避位置Ｐ５０２から対向位置Ｐ５０１（図１６参照）に移動し、図１９（Ａ）に示すように、塗布部５２９がＹ方向に移動することにより、枠部６の内側の所定領域に液体７を塗布する。なお、塗布部５２９は、Ｘ方向に移動してシート５Ａの所定領域に液体７を塗布してもよい。 Next, as shown in FIG. 18, the liquid 7 for forming the second functional layer 3 is applied to at least one surface of the sheet 5A by the application unit 529 (step S23). In step S23, the application unit 529 moves from the retracted position P502 to the facing position P501 (see FIG. 16), and the application unit 529 moves in the Y direction as shown in FIG. The liquid 7 is applied to a predetermined area inside the. The application unit 529 may move in the X direction and apply the liquid 7 to a predetermined region of the sheet 5A.

また、図１９（Ｂ）に示す塗布部５２９Ａのように、ノズル５３がＹ方向等に移動せず、シート５ＡがＸ方向に移動することを利用してシート５Ａに液体７を塗布するものでもよい。この塗布部５２９Ａは、図１９（Ｂ）に示すように、シート５Ａを案内するローラ５１６の上方にノズル５３を配置する。ノズル５３は、吐出口６０がローラ５１６に沿ったＹ方向に配置される。ノズル５３は、保持部２８（チャンバ部５７０）の−Ｘ側に配置され、シート５Ａの移送方向において保持部２８の上流側に配置される。ノズル５３は、Ｚ方向に移動可能に形成され、シート５との間隔を調整可能としてもよい。また、ノズル５３をメンテナンスするノズル浸漬部６６及び予備吐出部６７（図１参照）は、図示のノズル５３の位置から＋Ｙ側または−Ｙ側に配置されてもよい。図１９（Ｂ）に示すものでは、シート５Ａを＋Ｘ方向に移送するとともに、ノズル５３から液体７を吐出することによりシート５Ａの所定領域に液体７を塗布する。 Further, as in the application unit 529A shown in FIG. 19B, the liquid 5 is applied to the sheet 5A by utilizing the fact that the nozzle 53 does not move in the Y direction and the sheet 5A moves in the X direction. Good. As shown in FIG. 19B, the application unit 529A has a nozzle 53 disposed above a roller 516 that guides the sheet 5A. In the nozzle 53, the discharge port 60 is arranged in the Y direction along the roller 516. The nozzle 53 is arranged on the −X side of the holding unit 28 (chamber unit 570), and is arranged on the upstream side of the holding unit 28 in the transfer direction of the sheet 5A. The nozzle 53 may be formed so as to be movable in the Z direction, and the distance from the sheet 5 may be adjustable. Moreover, the nozzle immersion part 66 and the preliminary discharge part 67 (refer FIG. 1) which maintain the nozzle 53 may be arrange | positioned from the position of the nozzle 53 of illustration to the + Y side or -Y side. In the case shown in FIG. 19B, the sheet 5A is transferred in the + X direction, and the liquid 7 is applied to a predetermined region of the sheet 5A by discharging the liquid 7 from the nozzle 53.

次に、図１８に示すように、チャンバ部５７０により空間５６８を形成するのに先立って、塗布部５２９をチャンバ部５７０の外側に退避させる（ステップＳ２４）。このステップＳ２４は、例えば、図１９（Ａ）に示すように、塗布部５２９が＋Ｙ方向の退避位置向けて移動し、チャンバ部５７０の外側に退避することにより行う。なお、図１９（Ｂ）に示すものでは、塗布部５２９Ａは、保持部２８から離れて配置されているので、既に退避が完了した状態である。なお、ステップＳ２４により塗布部５２９を退避させるか否かは任意である。 Next, as shown in FIG. 18, prior to forming the space 568 by the chamber portion 570, the coating portion 529 is retracted to the outside of the chamber portion 570 (step S24). This step S24 is performed, for example, as shown in FIG. 19A by the application unit 529 moving toward the retracted position in the + Y direction and retracting outside the chamber unit 570. In the case shown in FIG. 19B, the application unit 529A is disposed away from the holding unit 28, and thus has already been retracted. Note that whether or not the application unit 529 is retracted in step S24 is arbitrary.

次に、図１８に示すように、液体７が塗布されたシート５Ａを含んだ空間５６８をチャンバ部５７０により形成する（ステップＳ２５）。このステップＳ２５は、例えば、図２０（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、蓋部５７３が、−Ｚ方向に移動して保持部５２８の上面と接触することにより空間５６８を形成する。このとき、液体７の塗布領域から＋Ｘ方向及び−Ｘ方向に延びるシート５Ａは、蓋部５７３と保持部５２８との間に挟まれた状態となる。なお、チャンバ部５７０は、保持部５２８を囲んだ小さな空間５６８を形成するので、空間５６８の減圧に要する時間を短くすることができる。 Next, as shown in FIG. 18, a space 568 including the sheet 5A coated with the liquid 7 is formed by the chamber unit 570 (step S25). In step S25, for example, as shown in FIGS. 20A and 20B, the lid portion 573 moves in the −Z direction to come into contact with the upper surface of the holding portion 528 to form a space 568. At this time, the sheet 5 A extending in the + X direction and the −X direction from the application region of the liquid 7 is in a state of being sandwiched between the lid portion 573 and the holding portion 528. Note that since the chamber portion 570 forms a small space 568 surrounding the holding portion 528, the time required for decompression of the space 568 can be shortened.

次に、図１８に示すように、空間５６８を減圧する（ステップＳ２６）。このステップＳ２６は、例えば、図２０（Ｂ）に示すように、空間５６８が形成された後、吸引部７１を駆動して空間５６８を吸引することにより行う。空間５６８を減圧することにより液体７が乾燥して第２機能層３を形成し、積層膜４Ｂが製造される。なお、空間５６８を吸引する際、シート５Ａの吸引力が空間５６８内に対する吸引力より大きくなるように設定してもよい。これにより、シート５Ａを確実に保持部５２８保持することができる。ただし、空間５６８を減圧する際、シート５Ａを保持部５２８に保持するか否かは任意である。 Next, as shown in FIG. 18, the space 568 is decompressed (step S26). For example, as shown in FIG. 20B, this step S26 is performed by driving the suction unit 71 and sucking the space 568 after the space 568 is formed. By reducing the pressure in the space 568, the liquid 7 is dried to form the second functional layer 3, and the laminated film 4B is manufactured. Note that when the space 568 is sucked, the suction force of the sheet 5A may be set to be larger than the suction force with respect to the space 568. Thereby, the sheet 5A can be reliably held by the holding portion 528. However, whether or not to hold the sheet 5A in the holding portion 528 is arbitrary when the space 568 is decompressed.

なお、図１９（Ｂ）に示すものでは、シート５Ａの移送とともに液体７を塗布し（ステップＳ２３）、塗布された液体７が位置Ｐ５０３に達した段階（ステップＳ２４の塗布部５２９の退避に相当する）でシート５Ａの移送を停止する。続いて、保持部５２８によりシート５Ａを保持し、続いて、位置Ｐ５０３を囲むように蓋部５７３が移動して空間５６８を形成させ（ステップＳ２５）、この空間５６８内を吸引部７１により吸引して減圧することにより液体７を減圧乾燥させる（ステップＳ２６）。なお、図１９（Ｂ）に示すものでは、保持部５２８上に塗布部５２９Ａが達しないので、蓋部５７３全体を移動させる必要がない。例えば、蓋部５７３は保持部５２８上に固定され、シート５Ａの出入り口部分だけを開口させて、この開口をシャッタ等により開閉することで空間５６８を形成させるものでもよい。 In the case shown in FIG. 19B, the liquid 7 is applied together with the transfer of the sheet 5A (step S23), and the applied liquid 7 reaches the position P503 (corresponding to the retreat of the application unit 529 in step S24). The transfer of the sheet 5A is stopped. Subsequently, the sheet 5A is held by the holding portion 528, and then the lid portion 573 is moved so as to surround the position P503 to form a space 568 (step S25), and the inside of the space 568 is sucked by the suction portion 71. The liquid 7 is dried under reduced pressure by reducing the pressure (step S26). In the case shown in FIG. 19B, since the application part 529A does not reach the holding part 528, it is not necessary to move the entire cover part 573. For example, the lid portion 573 may be fixed on the holding portion 528, and only the entrance / exit portion of the sheet 5A may be opened, and the space 568 may be formed by opening and closing the opening with a shutter or the like.

また、液体７を塗布する際や、塗布した後、空間５６８内で減圧乾燥を行う際又は減圧乾燥の後に、シート５Ａを加熱部４７（図１７参照）により所定の温度で加熱してもよい。これにより、液体７の乾燥時間を短縮することができる。なお、シート５Ａを加熱するか否かは任意である。 Further, when the liquid 7 is applied, or after the application, the sheet 5A may be heated at a predetermined temperature by the heating unit 47 (see FIG. 17) when the drying is performed in the space 568 under reduced pressure or after the reduced pressure drying. . Thereby, the drying time of the liquid 7 can be shortened. Note that whether or not to heat the sheet 5A is arbitrary.

ステップＳ２１〜Ｓ２６により、長尺のシート５Ａ上に所定の間隔で枠部６及び第２機能層３が形成された長尺の積層膜４Ｂが形成される。この長尺の積層膜４Ｂは、折りたたんで、図１に示す保管ユニット１３などに保管してもよいし、また、他の装置等（例えば燃料電池の組み立て装置など）に搬送して、適宜積層膜４ごとに切断して各積層膜４として使用してもよい。また、長尺の積層膜４Ｂは、枠部６の厚みが薄い場合、長尺の積層膜４Ｂが巻かれたロール体にしてもよい。また、第２機能層３を多層にする場合、上記ステップを繰り返して行い、積層膜４Ｂにおける第２機能層３に重ねて、液体７を塗布することにより行う。なお、多層の第２機能層３を形成する場合、層ごとに異なる液体７を用いてもよい。 Through steps S21 to S26, a long laminated film 4B in which the frame portion 6 and the second functional layer 3 are formed at a predetermined interval on the long sheet 5A is formed. The long laminated film 4B may be folded and stored in the storage unit 13 shown in FIG. 1 or the like, or transported to another device or the like (for example, a fuel cell assembling device or the like) and appropriately laminated. Each film 4 may be cut and used as each laminated film 4. Moreover, when the thickness of the frame part 6 is thin, you may make the elongate laminated film 4B into the roll body by which the elongate laminated film 4B was wound. Further, when the second functional layer 3 is formed in a multilayer, the above steps are repeated, and the liquid 7 is applied on the second functional layer 3 in the laminated film 4B. In addition, when forming the multilayer 2nd functional layer 3, you may use the liquid 7 different for every layer.

次に、液体７の乾燥後、積層膜４Ｂ（シート５Ａ）を枠部６ごとに切断する（ステップＳ２７）。長尺の積層膜４Ｂは、切断ユニット５１１により枠部６ごとに切断され、枚葉の積層膜４となる。積層膜４は、搬送されて例えば保管ユニット１３に保管されてもよい。なお、ステップＳ２７により、積層膜４Ｂ（シート５Ａ）を枠部６ごとに切断するか否かは任意であり、ステップＳ２７は行われなくてもよい。なお、切断ユニット５１１は、枠部６ごとに切断することに限定されない。例えば、２つ以上の枠部６が繋がった状態で切断されてもよい。 Next, after the liquid 7 is dried, the laminated film 4B (sheet 5A) is cut for each frame portion 6 (step S27). The long laminated film 4 B is cut for each frame portion 6 by the cutting unit 511 to be a single wafer laminated film 4. The laminated film 4 may be transported and stored, for example, in the storage unit 13. Note that whether or not the laminated film 4B (sheet 5A) is cut for each frame portion 6 in step S27 is arbitrary, and step S27 may not be performed. Note that the cutting unit 511 is not limited to cutting every frame portion 6. For example, you may cut | disconnect in the state in which the 2 or more frame part 6 was connected.

以上のように、本実施形態によれば、シート５Ａが巻かれたロール体Ｒ１を用いて、長尺の積層膜４Ｂ、または長尺の積層膜４Ｂを切断した枚葉お積層膜４を形成するので、積層膜４、４Ｂを効率よく製造することができる。なお、第１実施形態と同様、液体７の塗布から減圧乾燥までを短時間で行うので、多孔質形状の第２機能層３を持った積層膜４、４Ｂを製造することができる。 As described above, according to the present embodiment, the long laminated film 4B or the single wafer laminated film 4 obtained by cutting the long laminated film 4B is formed using the roll body R1 around which the sheet 5A is wound. Therefore, the laminated films 4 and 4B can be efficiently manufactured. As in the first embodiment, since the application of the liquid 7 to the drying under reduced pressure is performed in a short time, the laminated films 4 and 4B having the porous second functional layer 3 can be manufactured.

［第７実施形態］
次に、第７実施形態について説明する。本実施形態において、上記した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、上記した実施形態において説明した事項のうち、第７実施形態に適用可能なものは全て第７実施形態で適用してもよい。 [Seventh Embodiment]
Next, a seventh embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the above-described embodiments, all those applicable to the seventh embodiment may be applied in the seventh embodiment.

図２１は、第７実施形態に係るシステム６００の一例を示す−Ｙ方向から見た側面図である。システム６００は、図２１に示すように、第１枠形成ユニット６０８Ａと、第２枠形成ユニット６０８Ｂと、第１塗布ユニット６０９Ａと、第２塗布ユニット６０９Ｂと、第１減圧乾燥ユニット６１０Ａと、第２減圧乾燥ユニット６１０Ｂと、切断ユニット５１１と、を備える。なお、第１枠形成ユニット６０８Ａ及び第２枠形成ユニット６０８Ｂは、それぞれ第６実施形態の第１枠形成ユニット５０８と同様である。第１枠形成ユニット６０８Ａ及び第２枠形成ユニット６０８Ｂは、Ｘ方向に並んで配置される。 FIG. 21 is a side view of an example of a system 600 according to the seventh embodiment, viewed from the −Y direction. As shown in FIG. 21, the system 600 includes a first frame forming unit 608A, a second frame forming unit 608B, a first coating unit 609A, a second coating unit 609B, a first reduced pressure drying unit 610A, 2 vacuum drying unit 610B and cutting unit 511 are provided. The first frame forming unit 608A and the second frame forming unit 608B are the same as the first frame forming unit 508 of the sixth embodiment, respectively. The first frame forming unit 608A and the second frame forming unit 608B are arranged side by side in the X direction.

第１塗布ユニット６０９Ａは、第１保持部６２８Ａと、第１塗布部６２９Ａと、を備える。第２塗布ユニット６０９Ｂは、第２保持部６２８Ｂ、第２塗布部６２９Ｂと、を備える。第１塗布ユニット６０９Ａ及び第２塗布ユニット６０９Ｂは、それぞれ第６実施形態の塗布ユニット５０９と同様である。第１塗布ユニット６０９Ａ及び第２塗布ユニット６０９Ｂは、Ｘ方向に並んで配置される。第１減圧乾燥ユニット６１０Ａ及び第２減圧乾燥ユニット６１０Ｂは、それぞれ第１塗布ユニット６０９Ａ及び第２塗布ユニット６０９Ｂに対応して配置される。また、第１塗布ユニット６０９Ａ及び第２塗布ユニット６０９Ｂは、それぞれ第６実施形態の減圧乾燥ユニット５１０と同様である。 The first application unit 609A includes a first holding unit 628A and a first application unit 629A. The second application unit 609B includes a second holding unit 628B and a second application unit 629B. The first application unit 609A and the second application unit 609B are the same as the application unit 509 of the sixth embodiment, respectively. The first application unit 609A and the second application unit 609B are arranged side by side in the X direction. The first reduced pressure drying unit 610A and the second reduced pressure drying unit 610B are disposed corresponding to the first application unit 609A and the second application unit 609B, respectively. The first application unit 609A and the second application unit 609B are the same as the reduced pressure drying unit 510 of the sixth embodiment, respectively.

このシステム６００は、図２１に示すように、ロール体Ｒ１から＋Ｘ方向に引き出されたシート５Ａに対して、第１枠形成ユニット６０８Ａ及び第２枠形成ユニット６０８Ｂによってそれぞれ枠部６が形成される。続いて、シート５Ａが＋Ｘ方向に移送され、枠部６が形成された２カ所を第１保持部６２８Ａ及び第２保持部６２８Ｂで保持し、それぞれ第１塗布部６２９Ａ及び第２塗布部６２９Ｂによって液体７が枠部６の内側に塗布される。続いて、各第１保持部６２８Ａ及び第２保持部６２８Ｂにおいて、それぞれ蓋部５７３により形成された空間５６８（図１７参照）を吸引することにより、液体７を減圧乾燥させて第２機能層３を持つ積層膜４Ｂを形成する。なお、２つの空間に対する吸引を、１つの吸引部７１（図１７参照）で行ってもよい。その後、＋Ｘ方向に積層膜４Ｂを移送し、切断ユニット５１１により例えば枠部６ごとに切断して積層膜４を形成する。 In this system 600, as shown in FIG. 21, the frame portion 6 is formed by the first frame forming unit 608A and the second frame forming unit 608B on the sheet 5A pulled out from the roll body R1 in the + X direction. . Subsequently, the sheet 5A is transferred in the + X direction, and the two places where the frame part 6 is formed are held by the first holding part 628A and the second holding part 628B, and are respectively held by the first application part 629A and the second application part 629B. Liquid 7 is applied to the inside of frame portion 6. Subsequently, in each of the first holding unit 628A and the second holding unit 628B, the space 568 (see FIG. 17) formed by the lid portion 573 is sucked, whereby the liquid 7 is dried under reduced pressure, and the second functional layer 3 Is formed. In addition, you may perform attraction | suction with respect to two spaces with the one suction part 71 (refer FIG. 17). Thereafter, the laminated film 4B is transferred in the + X direction, and is cut by the cutting unit 511, for example, for each frame portion 6 to form the laminated film 4.

積層膜４は、例えば、保管ユニット１３に保管されてもよい。また、切断ユニット５１１を備えるか否かは任意である。切断ユニット５１１がない場合、長尺の積層膜４Ｂのまま保管されてもよく、また、長尺の積層膜４Ｂのまま他の装置に供給されてもよい。なお、上記では、２台ずつ同一構成のユニットを備えているが、これに限定されず、３台以上の同一構成ユニットを備えてもよい。 For example, the laminated film 4 may be stored in the storage unit 13. Further, whether or not the cutting unit 511 is provided is arbitrary. When there is no cutting unit 511, the long laminated film 4B may be stored as it is, or the long laminated film 4B may be supplied to another apparatus. In the above, two units having the same configuration are provided, but the present invention is not limited to this, and three or more same configuration units may be provided.

このように、本実施形態によれば、シート５Ａの２か所以上に対して同時に処理を行うので、積層膜４、４Ｂを効率よく製造することができる。また、第１実施形態と同様、液体７の塗布から減圧乾燥までを短時間で行うので、多孔質形状の第２機能層３を持った積層膜４、４Ｂを製造することができる。 Thus, according to this embodiment, since processing is simultaneously performed on two or more portions of the sheet 5A, the laminated films 4 and 4B can be efficiently manufactured. Further, as in the first embodiment, since the application from the liquid 7 to the drying under reduced pressure is performed in a short time, the laminated films 4 and 4B having the porous second functional layer 3 can be manufactured.

［第８実施形態］
次に、第８実施形態について説明する。本実施形態において、上記した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、上記した実施形態において説明した事項のうち、第８実施形態に適用可能なものは全て第８実施形態で適用してもよい。 [Eighth Embodiment]
Next, an eighth embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the above-described embodiments, all those applicable to the eighth embodiment may be applied in the eighth embodiment.

図２２は、第８実施形態に係るシステム７００の一例を示し、（Ａ）は＋Ｚ方向から見たシート５Ａの拡大図、（Ｂ）はシステム７００を−Ｙ方向から見た側面図である。第８実施形態に係るシステム７００は、長尺のシート５Ａの一方の面だけでなく、他方の面について第２機能層３を形成する。図２３（Ａ）に示すように、長尺のシート５Ａには、枠部６ごとにマークＭが形成される。このマークＭは、各枠部６との位置関係が予め設定されている。マークＭは、光学式等の非接触センサ、または接触式プローブによる接触式センサなどの検出装置により検出可能であれば、任意の形状、色等を適用できる。また、マークＭは、シート５の一部に形成された貫通穴であってもよく、また、枠部６に形成されてもよい。また、マークＭは、機能層３の一部に形成されてもよい。マークＭの形成は、専用のマーク形成装置が使用されてもよく、また、液体７を用いてマークＭを形成してもよい。また、マークＭは、第２機能層３が形成された面に形成されることに代えて、第２機能層３が形成されていない面に形成されてもよい。なお、マークＭを形成するか否かは任意である。 22A and 22B show an example of a system 700 according to the eighth embodiment. FIG. 22A is an enlarged view of the sheet 5A viewed from the + Z direction, and FIG. 22B is a side view of the system 700 viewed from the −Y direction. The system 700 according to the eighth embodiment forms the second functional layer 3 not only on one surface of the long sheet 5A but also on the other surface. As shown in FIG. 23A, a mark M is formed for each frame portion 6 on the long sheet 5A. The mark M has a preset positional relationship with each frame 6. As long as the mark M can be detected by a detection device such as a non-contact sensor such as an optical sensor or a contact sensor using a contact probe, any shape, color, or the like can be applied. Further, the mark M may be a through hole formed in a part of the sheet 5 or may be formed in the frame portion 6. Further, the mark M may be formed on a part of the functional layer 3. For the formation of the mark M, a dedicated mark forming apparatus may be used, or the mark M may be formed using the liquid 7. Further, the mark M may be formed on the surface where the second functional layer 3 is not formed, instead of being formed on the surface where the second functional layer 3 is formed. Whether or not the mark M is formed is arbitrary.

システム７００は、図２３（Ｂ）に示すように、枠形成ユニット５０８と、第１塗布ユニット７０９Ａと、第２塗布ユニット７０９Ｂと、第１減圧乾燥ユニット７１０Ａと、第２減圧乾燥ユニット７１０Ｂと、複数の反転用のローラ７３０と、切断ユニット５１１と、を備える。第１塗布ユニット７０９Ａは、第２塗布ユニット７０９Ｂの＋Ｚ側に配置される。 As shown in FIG. 23B, the system 700 includes a frame forming unit 508, a first coating unit 709A, a second coating unit 709B, a first reduced pressure drying unit 710A, a second reduced pressure drying unit 710B, A plurality of reversing rollers 730 and a cutting unit 511 are provided. The first application unit 709A is disposed on the + Z side of the second application unit 709B.

第１塗布ユニット７０９Ａは、第１保持部７２８Ａと、第１塗布部７２９Ａと、を備える。第２塗布ユニット７０９Ｂは、第２保持部７２８Ｂ、第２塗布部７２９Ｂと、を備える。第１塗布ユニット７０９Ａ及び第２塗布ユニット７０９Ｂは、それぞれ第６実施形態の塗布ユニット５０９と同様である。第１減圧乾燥ユニット７１０Ａ及び第２減圧乾燥ユニット７１０Ｂは、それぞれ第１塗布ユニット７０９Ａ及び第２塗布ユニット７０９Ｂに対応して配置される。また、第１塗布ユニット７０９Ａ及び第２塗布ユニット７０９Ｂは、それぞれ第６実施形態の減圧乾燥ユニット５１０と同様である。 The first application unit 709A includes a first holding unit 728A and a first application unit 729A. The second application unit 709B includes a second holding unit 728B and a second application unit 729B. The first application unit 709A and the second application unit 709B are the same as the application unit 509 of the sixth embodiment, respectively. The first reduced pressure drying unit 710A and the second reduced pressure drying unit 710B are disposed corresponding to the first application unit 709A and the second application unit 709B, respectively. The first application unit 709A and the second application unit 709B are the same as the reduced pressure drying unit 510 of the sixth embodiment, respectively.

このシステム７００は、図２２に示すように、ロール体Ｒ１から＋Ｘ方向に引き出されたシート５Ａに対して、枠形成ユニット５０８によって枠部６が形成された後、シート５Ａが＋Ｘ方向に移送され、第１保持部７２８Ａによりシート５Ａを保持し、第１塗布部７２９Ａによって液体７が枠部６の内側に塗布される。続いて、第１保持部７２８Ａにおいて、蓋部５７３により形成された空間５６８（図１７参照）を吸引することにより、液体７を減圧乾燥させて第２機能層３を持つ積層膜４Ｂを形成する。 As shown in FIG. 22, in the system 700, after the frame portion 6 is formed by the frame forming unit 508 with respect to the sheet 5A pulled out from the roll body R1, the sheet 5A is transferred in the + X direction. The sheet 5A is held by the first holding part 728A, and the liquid 7 is applied to the inside of the frame part 6 by the first application part 729A. Subsequently, in the first holding portion 728A, the space 568 (see FIG. 17) formed by the lid portion 573 is sucked to dry the liquid 7 under reduced pressure, thereby forming the laminated film 4B having the second functional layer 3. .

第１保持部７２８Ａから移送された積層膜４Ｂは、複数のローラ７３０により案内されて反転し、−Ｘ方向に向けて移送される。なお、図示では３本のローラ７３０で積層膜４Ｂを反転させているが、１本のローラ７３０で積層膜４Ｂを反転させてもよい。−Ｘ方向に移送された積層膜４Ｂは、第２保持部７２８Ｂにおいて、第２機能層３が形成された面が下方になり、第２機能層３が形成されていない面が上方になる状態で移送される。 The laminated film 4B transferred from the first holding unit 728A is guided and reversed by the plurality of rollers 730, and is transferred toward the −X direction. In the drawing, the laminated film 4B is inverted by three rollers 730, but the laminated film 4B may be inverted by one roller 730. The laminated film 4B transferred in the −X direction has a state in which the surface on which the second functional layer 3 is formed is downward and the surface on which the second functional layer 3 is not formed is upward in the second holding portion 728B. It is transported by.

システム７００は、マークＭを検出する不図示の検出装置を備えている。この検出装置は、マークＭを認識した場合、例えば、認識結果を不図示の制御装置に送信する。制御装置は、この認識結果から−Ｚ面の枠部６の位置を判断し、この枠部６の位置に第２保持部７２８Ｂを合わせるように積層膜４Ｂの移送を制御する。積層膜４Ｂは、第２保持部７２８Ｂにより保持され、第２塗布部７２９Ｂによって、第２機能層３が形成されていない面（他方の面）に液体７が塗布される。続いて、第２減圧乾燥ユニット７１０Ｂにより液体７が減圧乾燥され、シート５Ａの両面に第２機能層３が形成された積層膜４Ｃが形成される。続いて、積層膜４Ｃは、−Ｘ方向に移送され、切断ユニット５１１により枠部６ごとに切断されて積層膜４となる。 The system 700 includes a detection device (not shown) that detects the mark M. When the detection device recognizes the mark M, for example, the detection device transmits a recognition result to a control device (not shown). The control device determines the position of the frame portion 6 on the −Z plane from the recognition result, and controls the transfer of the laminated film 4B so that the second holding portion 728B is aligned with the position of the frame portion 6. The laminated film 4B is held by the second holding unit 728B, and the liquid 7 is applied to the surface (the other surface) where the second functional layer 3 is not formed by the second application unit 729B. Subsequently, the liquid 7 is dried under reduced pressure by the second reduced pressure drying unit 710B, and a laminated film 4C in which the second functional layer 3 is formed on both surfaces of the sheet 5A is formed. Subsequently, the laminated film 4 C is transferred in the −X direction, and is cut into the laminated film 4 for each frame portion 6 by the cutting unit 511.

積層膜４は、例えば、保管ユニット１３に保管されてもよい。また、切断ユニット５１１を備えるか否かは任意である。切断ユニット５１１がない場合、長尺の積層膜４Ｃのまま保管されてもよく、また、長尺の積層膜４Ｂのまま他の装置に供給されてもよい。なお、積層膜４Ｃは、＋Ｚ面側及び−Ｚ面側で同一の液体７により同一の第２機能層３が形成されてもよく、また、異なる液体７により異なる第２機能層３が形成されてもよい。なお、上記ではマークＭを検出して液体７の塗布位置を制御しているが、これに限定されない。例えば、先に形成された第２機能層３又は枠部６を＋Ｚ面側から認識可能な場合は、この第２機能層３又は枠部６のエッジを検出装置等により検出して液体７の塗布位置を制御してもよい。また、液体７の塗布位置を不図示の検出装置を用いて制御装置により制御することに代えて、作業者が目視等により液体７の塗布位置を設定してもよい。 For example, the laminated film 4 may be stored in the storage unit 13. Further, whether or not the cutting unit 511 is provided is arbitrary. When there is no cutting unit 511, the long laminated film 4C may be stored as it is, or the long laminated film 4B may be supplied to another apparatus. In the laminated film 4C, the same second functional layer 3 may be formed of the same liquid 7 on the + Z plane side and the −Z plane side, and different second functional layers 3 may be formed of different liquids 7. May be. In the above, the mark M is detected and the application position of the liquid 7 is controlled. However, the present invention is not limited to this. For example, when the previously formed second functional layer 3 or frame portion 6 can be recognized from the + Z plane side, the edge of the second functional layer 3 or frame portion 6 is detected by a detection device or the like, and the liquid 7 The application position may be controlled. Moreover, instead of controlling the application position of the liquid 7 by a control device using a detection device (not shown), the operator may set the application position of the liquid 7 by visual observation or the like.

以上のように、本実施形態によれば、長尺のシート５Ａの両面に対して第２機能層３を有する積層膜４、４Ｃを効率よく製造できる。なお、シート５の両面に形成される第２機能層３は、同一の大きさ（面積）であることに限定されず、異なる大きさであってもよい。各第２機能層３の大きさは、第１塗布部７２９Ａ又は第２塗布部７２９Ｂによる塗布領域をそれぞれが設定することで、互いに同一または異なる大きさに設定される。 As described above, according to the present embodiment, the laminated films 4 and 4C having the second functional layer 3 can be efficiently manufactured on both surfaces of the long sheet 5A. In addition, the 2nd functional layer 3 formed in both surfaces of the sheet | seat 5 is not limited to being the same magnitude | size (area), A different magnitude | size may be sufficient. The size of each second functional layer 3 is set to the same or different size by setting the application region by the first application part 729A or the second application part 729B.

また、上記では、第１塗布ユニット７０９Ａが、第２塗布ユニット７０９Ｂの＋Ｚ側に配置されるが、逆に、第２塗布ユニット７０９Ｂが、第１塗布ユニット７０９Ａの＋Ｚ側に配置されてもよい。また、本実施形態では、長尺の積層膜４Ｂの移送方向をローラ７３０により逆向きとすることで反転させているが、これに限定されない。例えば、積層膜４Ｂを＋Ｘ方向に移送しながら、Ｘ方向の軸まわりに積層膜４Ｂを徐々に回転させるようにローラを配置して反転させてもよい。 In the above description, the first coating unit 709A is disposed on the + Z side of the second coating unit 709B. Conversely, the second coating unit 709B may be disposed on the + Z side of the first coating unit 709A. . Moreover, in this embodiment, although the transfer direction of the elongate laminated film 4B is reversed by making it reverse direction with the roller 730, it is not limited to this. For example, a roller may be disposed and reversed so as to gradually rotate the laminated film 4B around the axis in the X direction while transferring the laminated film 4B in the + X direction.

［第９実施形態］
次に、第９実施形態について説明する。本実施形態において、上記した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、上記した実施形態において説明した事項のうち、第９実施形態に適用可能なものは全て第９実施形態で適用してもよい。 [Ninth Embodiment]
Next, a ninth embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the above-described embodiments, all those applicable to the ninth embodiment may be applied in the ninth embodiment.

図２３は、第９実施形態に係るシステム８００に使用される枠形成ユニット８０８を示す図である。この枠形成ユニット８０８は、枠部６に相当する部分が連続して形成された長尺の枠部６Ａと、上記と同様の長尺のシート５Ａと、が供給される。枠部６Ａは、長尺である点以外は、枠部６と同様であり、例えば、非フッ素系樹脂（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド等。）、含フッ素樹脂（ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ等。）等の樹脂材料が用いられる。枠形成ユニット８０８は、シート５Ａのロール体Ｒ１と、枠部６Ａがロール状に巻かれたロール体Ｒ２と、が配置される。また、枠形成ユニット８０８は、Ｙ方向に移動して枠部６Ａ等を切断可能な切断部８２４を備えている。 FIG. 23 is a diagram showing a frame forming unit 808 used in the system 800 according to the ninth embodiment. The frame forming unit 808 is supplied with a long frame portion 6A in which portions corresponding to the frame portion 6 are continuously formed, and a long sheet 5A similar to the above. The frame portion 6A is the same as the frame portion 6 except that it is long. For example, a non-fluorine resin (polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethylene, polypropylene, polyimide, etc.), fluorine-containing resin (PTFE, A resin material such as ETFE, FEP, PFA, etc.) is used. In the frame forming unit 808, a roll body R1 of the sheet 5A and a roll body R2 in which the frame portion 6A is wound in a roll shape are arranged. In addition, the frame forming unit 808 includes a cutting portion 824 that can move in the Y direction and cut the frame portion 6A and the like.

枠形成ユニット８０８は、ロール体Ｒ１から＋Ｘ方向に引き出されたシート５Ａ上に、ロール体Ｒ２から＋Ｘ方向に引き出された枠部６Ａを接着し、これを切断部８２４で枠部６ごとに切断することにより、枠部６が形成された枚葉のシート５を形成する。シート５Ａに枠部６Ａが接着される前に、不図示の接着剤塗布部により枠部６Ａの接着対象面、またはシート５Ａの枠部接着面に接着剤を塗布する。なお、両者が接着された後に、両者を挟み込む一対のローラが配置されてもよい。また、接着剤としては、任意の接着剤が用いられる。また、接着剤を用いずに、枠部６Ａの一部を溶融させてシート５Ａに接着させてもよい。 The frame forming unit 808 adheres the frame portion 6A drawn in the + X direction from the roll body R2 to the sheet 5A drawn in the + X direction from the roll body R1, and cuts the frame portion 6 for each frame portion 6 by the cutting portion 824. By doing so, the sheet | seat 5 of the sheet | seat in which the frame part 6 was formed is formed. Before the frame portion 6A is bonded to the sheet 5A, an adhesive is applied to the bonding target surface of the frame portion 6A or the frame portion bonding surface of the sheet 5A by an adhesive application unit (not shown). A pair of rollers that sandwich the two may be disposed after the two are bonded. Moreover, arbitrary adhesives are used as an adhesive agent. Alternatively, a part of the frame 6A may be melted and bonded to the sheet 5A without using an adhesive.

枠部６Ａが接着されたシート５Ａは、＋Ｘ方向に移送され、所定位置で保持されて切断部８２４により枠部６ごとに切断される。切断部８２４は、カッタ等の刃部を有し、不図示のガイドに沿って−Ｙ方向に移動することにより、枠部６Ａが接着されたシート５Ａを切断する。なお、シート５Ａの保持や、切断部８２４の構成、及び切断後のシート５の搬送等は、第１実施形態の枠形成ユニット８の構成が適用される。また、切断部８２４は、枠部６Ａが形成されたシート５Ａを切断可能であれば、任意のものを適用することができる。例えば、シート５ＡをＺ方向に挟んで切断するものでもよい。また、切断されたシート５は、例えば、不図示の搬送装置により、保管ユニット１２（図１参照）に保管してもよい。 The sheet 5A to which the frame portion 6A is bonded is transferred in the + X direction, held at a predetermined position, and cut by the cutting portion 824 for each frame portion 6. The cutting part 824 has a blade part such as a cutter, and cuts the sheet 5A to which the frame part 6A is bonded by moving in the −Y direction along a guide (not shown). The configuration of the frame forming unit 8 of the first embodiment is applied to the holding of the sheet 5A, the configuration of the cutting unit 824, the conveyance of the sheet 5 after cutting, and the like. Moreover, as long as the cutting part 824 can cut | disconnect the sheet | seat 5A in which the frame part 6A was formed, arbitrary things can be applied. For example, the sheet 5A may be cut while being sandwiched in the Z direction. Moreover, you may store the cut | disconnected sheet | seat 5 in the storage unit 12 (refer FIG. 1) by the conveyance apparatus not shown, for example.

このように、本実施形態によれば、個別の枠部６を作成して枠形成ユニット８０８に供給することが不要となり、長尺のシート５Ａに長尺の枠部６Ａを接着して切断するといった簡単な手順で、枠部６を有するシート５を効率よく製造することができる。 As described above, according to the present embodiment, it is not necessary to create the individual frame portion 6 and supply it to the frame forming unit 808, and the long frame portion 6A is bonded to the long sheet 5A and cut. The sheet 5 having the frame portion 6 can be efficiently manufactured by such a simple procedure.

［第１０実施形態］
次に、第１０実施形態について説明する。本実施形態において、上記した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、上記した実施形態において説明した事項のうち、第１０実施形態に適用可能なものは全て第１０実施形態で適用してもよい。 [Tenth embodiment]
Next, a tenth embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the above-described embodiment, all those applicable to the tenth embodiment may be applied in the tenth embodiment.

図２４（Ａ）は、第１０実施形態に係る積層膜４Ｄの一例を示す図、（Ｂ）は、他の例に係る積層膜４Ｅの一例を示す図である。図２４（Ａ）に示すように、シート５は、−Ｚ側の面に剥離可能な基材シートＳを備えている。このシート５は、一方の面に基材シートＳを接着剤または静電力等により接合して形成されてもよく、また、基材シートＳ上にシート５を形成するための液体を塗布し、この液体を乾燥等させることにより基材シートＳ上にシート５が形成されたものでもよい。このシート５の＋Ｚ側の面に枠部６及び第２機能層３を形成する手段は、上記した各実施形態が適用可能である。 FIG. 24A shows an example of a laminated film 4D according to the tenth embodiment, and FIG. 24B shows an example of a laminated film 4E according to another example. As shown in FIG. 24A, the sheet 5 includes a peelable base sheet S on the −Z side surface. The sheet 5 may be formed by bonding the base sheet S to one surface with an adhesive or an electrostatic force, or by applying a liquid for forming the sheet 5 on the base sheet S, The sheet 5 may be formed on the base sheet S by drying the liquid. As the means for forming the frame portion 6 and the second functional layer 3 on the + Z side surface of the sheet 5, the above-described embodiments can be applied.

シート５上に枠部６及び第２機能層３を形成した積層膜４Ｄは、−Ｚ側から順に基材シートＳ、シート５、第２機能層３の３層構造となる。この積層膜４Ｄは、図２４（Ａ）に示すように、裏面の基材シートＳを剥がすことにより、使用可能な積層膜４となる。なお、基材シートＳは、シート５から剥離可能であれば任意の材料のシートを用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）シート、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シート、ポリエステルシート等の樹脂製のシートを用いることができる。 The laminated film 4D in which the frame portion 6 and the second functional layer 3 are formed on the sheet 5 has a three-layer structure of the base sheet S, the sheet 5, and the second functional layer 3 in this order from the −Z side. As shown in FIG. 24A, the laminated film 4D becomes a usable laminated film 4 by peeling off the base material sheet S on the back surface. In addition, the base material sheet S can use the sheet | seat of arbitrary materials, if it can peel from the sheet | seat 5. FIG. For example, a resin-made sheet such as a polytetrafluoroethylene (PTFE) sheet, a polyethylene terephthalate (PET) sheet, or a polyester sheet can be used.

なお、本実施形態において、基材シートＳの剥離は、専用の剥離装置が使用されてもよく、また、作業者が手作業により行ってもよい。また、本実施形態において、基材シートＳを有する積層膜４Ｄの状態で保管されてもよく、また、各積層膜４Ｅから基材シートＳを剥離した状態で保管されてもよい。 In the present embodiment, the base sheet S can be peeled off by using a dedicated peeling device or by an operator by hand. Moreover, in this embodiment, you may store in the state of laminated film 4D which has the base material sheet S, and may be stored in the state which peeled the base material sheet S from each laminated film 4E.

また、図２４（Ｂ）に示すように、長尺のシート５Ａは、−Ｚ側の面に剥離可能な長尺な基材シートＳＡを備えており、ロール体Ｒ３として供給されてもよい。このシート５Ａは、上記と同様に、長尺のシート５Ａの一方の面に基材シートＳＡを接合して形成されてもよく、また、長尺の基材シートＳＡ上に所定の液体を塗布して形成されたものでもよい。ロール体Ｒ３から引き出されたシート５Ａの＋Ｚ側の面に適宜枠部６や第２機能層３を形成する手段は、上記した各実施形態が適用可能である。基材シートＳＡの材料は、上記した基材シートＳと同様である。 Also, as shown in FIG. 24B, the long sheet 5A includes a long base sheet SA that can be peeled off on the surface on the −Z side, and may be supplied as a roll body R3. Similarly to the above, the sheet 5A may be formed by bonding the base sheet SA to one surface of the long sheet 5A, and a predetermined liquid is applied onto the long base sheet SA. It may also be formed. The above-described embodiments can be applied as means for appropriately forming the frame portion 6 and the second functional layer 3 on the + Z side surface of the sheet 5A drawn from the roll body R3. The material of the base sheet SA is the same as that of the base sheet S described above.

シート５Ａ上に第２機能層３を形成した長尺の積層膜４Ｅは、第２機能層３を形成した部分において−Ｚ側から順に基材シートＳＡ、シート５Ａ、第２機能層３の３層構造となる。この積層膜４Ｅは、図２４（Ｂ）に示すように、移送経路の一部において基材シートＳＡが連続してシート５Ａから剥離される。基材シートＳＡを剥離する位置に楔状の部材が配置され、この楔状の部材により基材シートＳＡの剥離を行ってもよい。なお、剥離した基材シートＳＡは、巻き取られてロール体Ｒ４を形成する。このロール体Ｒ５は、基材シートＳＡが巻かれたものであり、再度シート５Ａを形成するなど、再利用が可能である。 The long laminated film 4E in which the second functional layer 3 is formed on the sheet 5A has the base sheet SA, the sheet 5A, and the second functional layer 3 in order from the −Z side in the portion where the second functional layer 3 is formed. It becomes a layer structure. As shown in FIG. 24B, in the laminated film 4E, the base sheet SA is continuously peeled from the sheet 5A in a part of the transfer path. A wedge-shaped member may be disposed at a position where the base sheet SA is peeled off, and the base sheet SA may be peeled off by the wedge-shaped member. The peeled substrate sheet SA is wound up to form a roll body R4. The roll body R5 is formed by winding the base sheet SA, and can be reused, for example, by forming the sheet 5A again.

基材シートＳＡが剥がされた積層膜４Ｅは、積層膜４Ｂとなる。なお、積層膜４Ｅは、基材シートＳＡを剥離する前に枠部６ごとに切断されてもよい。積層膜４Ｅが枠部６ごとに切断されることにより、図２４（Ａ）に示す積層膜４Ｄとなる。また、積層膜４Ｅは、基材シートＳＡを剥離せずに折りたたんで保管してもよい。また、積層膜４Ｅは、枠部６の厚みが薄い場合、ロール体にしてもよい。 The laminated film 4E from which the base sheet SA has been peeled becomes a laminated film 4B. Note that the laminated film 4E may be cut for each frame portion 6 before the base sheet SA is peeled off. By cutting the laminated film 4E for each frame portion 6, a laminated film 4D shown in FIG. The laminated film 4E may be stored by folding the base sheet SA without peeling off. Moreover, when the thickness of the frame part 6 is thin, you may make the laminated film 4E into a roll body.

以上のように、本実施形態によれば、シート５、５Ａに剥離可能な基材シートＳ、ＳＡが積層されるので、シート５、５Ａは基材シートＳ、ＳＡによって剛性が付与され、搬送等のハンドリング性を向上させることができる。また、基材シートＳ、ＳＡは、シート５、５Ａの下面を被覆するので、シート５、５Ａの下面に傷がつくことや、ほこりが付着することを抑制できる。なお、本実施形態では、シート５、５Ａに１枚の基材シートＳ、ＳＡを積層しているが、２枚以上の基材シートＳ、ＳＡを積層してもよい。また、基材シートＳ、ＳＡは、シート５からの剥離を容易にするため、一部がシート５、５Ａから突出して形成されてもよい。 As described above, according to the present embodiment, since the base sheets S and SA that can be peeled are laminated on the sheets 5 and 5A, the sheets 5 and 5A are given rigidity by the base sheets S and SA, and are conveyed. Etc. can be improved. Further, since the base sheets S and SA cover the lower surfaces of the sheets 5 and 5A, it is possible to prevent the lower surfaces of the sheets 5 and 5A from being scratched and dust from being attached. In the present embodiment, one base sheet S, SA is laminated on the sheets 5, 5A, but two or more base sheets S, SA may be laminated. Moreover, in order to make peeling from the sheet | seat 5 easy, base material sheet S and SA may protrude in part and protrude from the sheet | seats 5 and 5A.

［第１１実施形態］
次に、第１１実施形態について説明する。本実施形態において、上記した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、上記した実施形態において説明した事項のうち、第１１実施形態に適用可能なものは全て第１１実施形態で適用してもよい。 [Eleventh embodiment]
Next, an eleventh embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the above-described embodiment, all those applicable to the eleventh embodiment may be applied in the eleventh embodiment.

図２５は、第１１実施形態に係るシステム９００の一例を示す図である。システム９００は、複数の枠形成ユニット８と、保管ユニット１２と、複数の塗布ユニット９と、複数の減圧乾燥ユニット１０と、保管ユニット１３と、を備える。なお、枠形成ユニット８、保管ユニット１２、塗布ユニット９、減圧乾燥ユニット１０及び保管ユニット１３は、それぞれ、上記した第１実施形態に示すものであり、これに代えて他の実施形態に示すいずれかのものが使用されてもよい。 FIG. 25 is a diagram illustrating an example of a system 900 according to the eleventh embodiment. The system 900 includes a plurality of frame forming units 8, a storage unit 12, a plurality of coating units 9, a plurality of reduced-pressure drying units 10, and a storage unit 13. The frame forming unit 8, the storage unit 12, the coating unit 9, the reduced-pressure drying unit 10 and the storage unit 13 are those shown in the first embodiment described above, and any of them shown in the other embodiments instead. These may be used.

複数の枠形成ユニット８は、それぞれ、シート５に枠部６を形成したシート５を製造する。複数の枠形成ユニット８により製造されたシート５は、保管ユニット１２に保管される。なお、保管ユニット１２の数は、特に限定されず、複数配置されてもよい。保管ユニット１２に保管されたシート５は、複数の塗布ユニット９にそれぞれ搬送されて液体７が塗布され、さらに、対応する減圧乾燥ユニット１０により液体７が減圧乾燥されて積層膜４を形成し、保管ユニット１３に搬送される。なお、保管ユニット１３の数は、特に限定されず、複数配置されてもよい。 Each of the plurality of frame forming units 8 manufactures the sheet 5 in which the frame portion 6 is formed on the sheet 5. The sheet 5 manufactured by the plurality of frame forming units 8 is stored in the storage unit 12. The number of storage units 12 is not particularly limited, and a plurality of storage units 12 may be arranged. The sheets 5 stored in the storage unit 12 are respectively conveyed to a plurality of application units 9 and applied with the liquid 7, and further the liquid 7 is dried under reduced pressure by the corresponding reduced-pressure drying unit 10 to form the laminated film 4. It is conveyed to the storage unit 13. The number of storage units 13 is not particularly limited, and a plurality of storage units 13 may be arranged.

枠形成ユニット８の台数や、塗布ユニット９及び減圧乾燥ユニット１０の台数は、生産規模等に応じて任意に設定可能である。また、１台の枠形成ユニット８の処理速度や、塗布ユニット９及び減圧乾燥ユニット１０の処理速度に応じて、それぞれの台数が決定されてもよい。例えば、１枚のシート５に対して、枠形成ユニット８の処理速度が塗布ユニット９とうの処理速度の３倍である場合、ｎ台の塗布ユニット９等に対して３ｎ台の枠形成ユニット８を配置するなど、処理速度の速いユニットの台数を増やして、各ユニットの待機時間を減少させることが可能となる。 The number of frame forming units 8 and the number of coating units 9 and reduced-pressure drying units 10 can be arbitrarily set according to the production scale and the like. Further, the number of units may be determined according to the processing speed of one frame forming unit 8 and the processing speeds of the coating unit 9 and the vacuum drying unit 10. For example, when the processing speed of the frame forming unit 8 is three times the processing speed of the coating unit 9 for one sheet 5, 3n frame forming units 8 for the n coating units 9 and the like. It is possible to increase the number of units having a high processing speed, such as by arranging the number of units, and reduce the standby time of each unit.

このように、本実施形態によれば、枠形成ユニット８や、塗布ユニット９、減圧乾燥ユニット１０を並列して配置することにより、積層膜４を効率よく製造することができる。また、各ユニットの処理速度に応じてユニットの台数を設定することにより、各ユニットの稼働率（特に処理側だが早いユニットの稼働率）を向上させることができる。 Thus, according to this embodiment, the laminated film 4 can be efficiently manufactured by arranging the frame forming unit 8, the coating unit 9, and the vacuum drying unit 10 in parallel. In addition, by setting the number of units according to the processing speed of each unit, it is possible to improve the operating rate of each unit (especially the operating rate of the unit that is fast on the processing side).

［第１２実施形態］
次に、第１２実施形態について説明する。本実施形態において、上記した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。また、上記した実施形態において説明した事項のうち、第１２実施形態に適用可能なものは全て第１０実施形態で適用してもよい。 [Twelfth embodiment]
Next, a twelfth embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. In addition, among the matters described in the above-described embodiments, all those applicable to the twelfth embodiment may be applied in the tenth embodiment.

図２６は、第１２実施形態に係る枠部６Ｂの一例を示す図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は断面図である。図２７は、他の例に係る枠部６Ｃを示す図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は断面図である。図２６（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、矩形枠状の枠部６Ｂは、シート５の＋Ｚ側及び−Ｚ側の面のそれぞれに設けられ、シート５の縁部を挟むように形成される。さらに、この枠部６Ｂの内側においてシート５の＋Ｚ側及び−Ｚ側のそれぞれに第２機能層３が設けられて積層膜４Ｆが形成される。枠部６Ｂは、図２６（Ｂ）に示すように、枠部６Ｂの内側からＸ方向やＹ方向の外側に気体や液体等が漏れるのを防止し、かつ、外気が枠部６Ｂの内側に入り込むのを防止する、いわゆるガスケットの一部（サブガスケット）として機能する。 FIG. 26 is a diagram illustrating an example of a frame portion 6B according to the twelfth embodiment, where (A) is a perspective view and (B) is a cross-sectional view. 27A and 27B are views showing a frame portion 6C according to another example, in which FIG. 27A is a perspective view and FIG. 27B is a cross-sectional view. As shown in FIGS. 26A and 26B, the rectangular frame-shaped frame portion 6 B is provided on each of the surfaces of the sheet 5 on the + Z side and the −Z side, and is formed so as to sandwich the edge portion of the sheet 5. Is done. Further, the second functional layer 3 is provided on each of the + Z side and the −Z side of the sheet 5 on the inner side of the frame portion 6B to form the laminated film 4F. As shown in FIG. 26B, the frame portion 6B prevents gas, liquid, etc. from leaking from the inside of the frame portion 6B to the outside in the X direction or the Y direction, and the outside air enters the inside of the frame portion 6B. It functions as a part of a so-called gasket (sub-gasket) that prevents entry.

積層膜４Ｆは、例えば、燃料電池における膜電極接合体（ＭＥＡ）として用いられる。積層膜４Ｆは、例えば、図２６（Ａ）及び（Ｂ）の二点鎖線に示すように、＋Ｚ側及び−Ｚ側にガス拡散層Ｃ１（図２８（Ｂ）参照）が積層される。また、ガス拡散層Ｃ１を囲むようにサブガスケットＳＧが設けられてもよい。このサブガスケットＳＧは、枠部６Ｂに積層され、枠部６Ｂと同様に、気体や液体等が漏れるのを防止し、かつ、外気が枠部６Ｂの内側に入り込むのを防止する。 The laminated film 4F is used as, for example, a membrane electrode assembly (MEA) in a fuel cell. In the laminated film 4F, for example, gas diffusion layers C1 (see FIG. 28B) are laminated on the + Z side and the −Z side, as indicated by a two-dot chain line in FIGS. Further, a subgasket SG may be provided so as to surround the gas diffusion layer C1. This subgasket SG is laminated on the frame portion 6B, and prevents gas or liquid from leaking and prevents outside air from entering the inside of the frame portion 6B, similarly to the frame portion 6B.

シート５の縁部を挟むような枠部６Ｂは、図２６に示すものに限定されず、図２７に示すような枠部６Ｃであってもよい。図２７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、枠部６Ｃは、シート５の＋Ｚ側及び−Ｚ側の面のそれぞれに設けられ、シート５の縁部を挟むように形成される。さらに、この枠部６Ｃの内側においてシート５の＋Ｚ側及び−Ｚ側のそれぞれに第２機能層３が設けられて積層膜４Ｇが形成される。ただし、枠部６Ｃは、シート５の外側において枠部６Ｃ同士が接合している点で、図２６の枠部６Ｂと異なる。これにより、シート５の側方から気体や液体が漏れるのを防止することができる。なお、枠部６Ｃは、図２６の枠部６Ｂと同様、いわゆるガスケットの一部（サブガスケット）として機能する。また、枠部６Ｃにガス拡散層Ｃ１のサブガスケットＳＧが積層される点は、図２６の枠部６Ｂと同様である。 The frame portion 6B that sandwiches the edge portion of the sheet 5 is not limited to that shown in FIG. 26, and may be a frame portion 6C as shown in FIG. As shown in FIGS. 27A and 27B, the frame portion 6 C is provided on each of the + Z side surface and the −Z side surface of the sheet 5 and is formed so as to sandwich the edge portion of the sheet 5. Further, the second functional layer 3 is provided on each of the + Z side and the −Z side of the sheet 5 inside the frame portion 6 C to form a laminated film 4 G. However, the frame portion 6C is different from the frame portion 6B in FIG. 26 in that the frame portions 6C are joined to each other outside the sheet 5. Thereby, it is possible to prevent gas or liquid from leaking from the side of the sheet 5. The frame portion 6C functions as a part of a so-called gasket (sub-gasket), like the frame portion 6B of FIG. Further, the point that the subgasket SG of the gas diffusion layer C1 is laminated on the frame portion 6C is the same as the frame portion 6B of FIG.

なお、上記した枠部６Ｂ、６Ｃは、特開２００７−２０７６４４号公報に開示されるように、シート５との接着面に開口し、かつ接着面とは反対側の表面に達する多数の空気抜き孔を備えてもよい。この場合、枠部６Ｂ、６Ｃをシート５に接着する際、接着面同士の間の空気を、空気抜き孔を介して外部へ排出できるので、枠部６Ｂ、６Ｃとシート５との密着性を向上させることができる。 The frame portions 6B and 6C described above, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-207644, have a large number of air vent holes that open to the adhesive surface with the sheet 5 and reach the surface opposite to the adhesive surface. May be provided. In this case, when the frame portions 6B and 6C are bonded to the sheet 5, air between the bonding surfaces can be discharged to the outside through the air vent hole, so that the adhesion between the frame portions 6B and 6C and the sheet 5 is improved. Can be made.

なお、枠部６Ｂ、６Ｃは、気体や液体等がリークすることを防止できるものであれば、任意の材料を用いることができる。例えば、枠部６Ｂ、６Ｃは、上記した枠部６、６Ａと同様、非フッ素系樹脂（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド等。）、含フッ素樹脂（ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ等。）等の樹脂材料、ゴム材料、金属材料等を用いることができる。 Note that any material can be used for the frame portions 6B and 6C as long as gas, liquid, or the like can be prevented from leaking. For example, the frame portions 6B and 6C are similar to the above-described frame portions 6 and 6A, in that a non-fluorine resin (polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethylene, polypropylene, polyimide, etc.), fluorine-containing resin (PTFE, ETFE, FEP, A resin material such as PFA), a rubber material, a metal material, or the like can be used.

なお、シート５の＋Ｚ側及び−Ｚ側に、枠部６Ｂ、６Ｃを形成する方法は、上記した各実施形態が適用可能である。例えば、枠部６Ｂは、上記した枠形成ユニット８等が使用され、先ず長尺のシート５Ａの＋Ｚ側に設けられ、続いて、シート５Ａの−Ｚ側に設けられてもよいし、シート５Ａの＋Ｚ側及び−Ｚ側に同時に設けられてもよい。また、枠部６Ｃは、枚葉のシート５の＋Ｚ側及び−Ｚ側からシート５を挟むようにして設けられてもよい。また、シート５に枠部６Ｂ、６Ｃを形成する方法は、特開２００７−２０７６４４号公報に開示されるような、突起状接着剤等を用いて接着させる方法を採用してもよい。この場合、シート５と枠部６Ｂ、６Ｃとの接着面に空気が残ることを抑制することができ、枠部６Ｂ、６Ｃとシート５との密着性を向上させることができる。 The above-described embodiments can be applied to the method of forming the frame portions 6B and 6C on the + Z side and the −Z side of the sheet 5. For example, the frame portion 6B may use the above-described frame forming unit 8 or the like, and may first be provided on the + Z side of the long sheet 5A, and then may be provided on the −Z side of the sheet 5A. May be simultaneously provided on the + Z side and the −Z side. Further, the frame portion 6C may be provided so as to sandwich the sheet 5 from the + Z side and the −Z side of the single sheet 5. Further, as a method of forming the frame portions 6B and 6C on the sheet 5, a method of bonding using a protruding adhesive or the like as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-207644 may be employed. In this case, air can be suppressed from remaining on the bonding surface between the sheet 5 and the frame portions 6B and 6C, and the adhesion between the frame portions 6B and 6C and the sheet 5 can be improved.

なお、枠部６Ｂは、上記した長尺上のシート５Ａの＋Ｚ側及び−Ｚ側に形成してもよい。この場合、枠部６Ｂを形成する手段は、上記した各実施形態が適用可能である。また、枠部６Ｂは、例えば、上記した枠形成ユニット８等が使用され、先ずシート５の＋Ｚ側に設けられ、続いて、シート５の−Ｚ側に設けられてもよいし、シート５の＋Ｚ側及び−Ｚ側に同時に設けられてもよい。 The frame portion 6B may be formed on the + Z side and the −Z side of the above-described long sheet 5A. In this case, the above-described embodiments can be applied as means for forming the frame portion 6B. Further, for example, the above-described frame forming unit 8 or the like is used as the frame portion 6B. The frame portion 6B may be provided first on the + Z side of the sheet 5 and then on the −Z side of the sheet 5. It may be provided simultaneously on the + Z side and the −Z side.

なお、枠部６Ｂ、６Ｃの厚さ（Ｚ方向の長さ）は、第２機能層３の厚さとほぼ同一であることに限定されず第２機能層３より厚いものが使用されてもよい。この場合、枠部６Ｂ、６Ｃの厚さは、第２機能層３の厚さと、上記したガス拡散層Ｃ１の厚さとを加えた厚さに設定されてもよい。また、第２機能層３とガス拡散層Ｃ１との間に他の機能層（例えば補強層など）が形成されてもよい。また、積層膜４Ｆ、４Ｇは、燃料電池の膜電極接合体以外の用途にも用いることができる。 Note that the thickness (length in the Z direction) of the frame portions 6B and 6C is not limited to being substantially the same as the thickness of the second functional layer 3, and a thickness thicker than the second functional layer 3 may be used. . In this case, the thickness of the frame portions 6B and 6C may be set to a thickness obtained by adding the thickness of the second functional layer 3 and the thickness of the gas diffusion layer C1 described above. Further, another functional layer (for example, a reinforcing layer) may be formed between the second functional layer 3 and the gas diffusion layer C1. Moreover, the laminated films 4F and 4G can be used for applications other than the membrane electrode assembly of the fuel cell.

以上のように、本実施形態によれば、シート５の縁部を挟むように枠部６Ｂ、６Ｃが設けられるので、積層膜４Ｆ、４Ｇの剛性を一層向上させることができる。さらに、例えば、積層膜４Ｆ、４Ｇを膜電極接合体として使用する場合、枠部６Ｂ、６Ｃが燃料電池のガスケットの一部（サブガスケット）として機能するので、燃料電池を容易に製造することができる。 As described above, according to this embodiment, since the frame portions 6B and 6C are provided so as to sandwich the edge portion of the sheet 5, the rigidity of the laminated films 4F and 4G can be further improved. Furthermore, for example, when the laminated films 4F and 4G are used as membrane electrode assemblies, the frame portions 6B and 6C function as part of the gasket (subgasket) of the fuel cell, so that the fuel cell can be easily manufactured. it can.

［燃料電池製造システム及び燃料電池の製造方法］
次に、燃料電池製造システムＳＹＳ１の実施形態について、図面を参照して説明する。図２８（Ａ）は、燃料電池製造システムＳＹＳ１の一例を示すブロック図であり、（Ｂ）は燃料電池のセルＣの一例を示す分解斜視図である。燃料電池製造システムＳＹＳ１は、図２８（Ａ）に示すように、機能膜製造システム１と、ガス拡散層製造装置Ｄ１と、セパレータ製造装置Ｄ２と、組立装置Ｄ３と、を含み、図２８（Ｂ）に示すセルＣを製造する。なお、図２８（Ａ）に示す燃料電池製造システムＳＹＳ１は、一例であって他の装置を含んで構成されてもよく、また、ガス拡散層製造装置Ｄ１、セパレータ製造装置Ｄ２、及び組立装置Ｄ３のうち１つ以上を含まない構成であってもよい。機能膜製造システム１は、上記した第１実施形態に示すものであり、これに代えて他の実施形態に示すシステム１００〜９００のうちいずれかが使用されてもよい。 [Fuel cell manufacturing system and fuel cell manufacturing method]
Next, an embodiment of the fuel cell manufacturing system SYS1 will be described with reference to the drawings. FIG. 28A is a block diagram showing an example of the fuel cell manufacturing system SYS1, and FIG. 28B is an exploded perspective view showing an example of the cell C of the fuel cell. As shown in FIG. 28A, the fuel cell manufacturing system SYS1 includes a functional membrane manufacturing system 1, a gas diffusion layer manufacturing apparatus D1, a separator manufacturing apparatus D2, and an assembling apparatus D3. The cell C shown in FIG. The fuel cell manufacturing system SYS1 shown in FIG. 28A is an example and may be configured to include other devices, and also includes a gas diffusion layer manufacturing device D1, a separator manufacturing device D2, and an assembly device D3. The structure which does not contain one or more of them may be sufficient. The functional film manufacturing system 1 is shown in the first embodiment described above, and any one of the systems 100 to 900 shown in other embodiments may be used instead.

また、機能膜製造システム１、ガス拡散層製造装置Ｄ１、セパレータ製造装置Ｄ２、及び組立装置Ｄ３は、それぞれ１台で構成されることに限定されず、各装置の処理時間に応じて適宜複数台が配置されてもよい。また、各装置の配置は任意である。例えば、組立装置Ｄ３を中心として、その周囲に機能膜製造システム１、ガス拡散層製造装置Ｄ１、及びセパレータ製造装置Ｄ２が配置されてもよい。 Further, the functional membrane manufacturing system 1, the gas diffusion layer manufacturing apparatus D1, the separator manufacturing apparatus D2, and the assembly apparatus D3 are not limited to being configured by one unit, and a plurality of units are appropriately selected according to the processing time of each apparatus. May be arranged. Further, the arrangement of each device is arbitrary. For example, the functional film manufacturing system 1, the gas diffusion layer manufacturing apparatus D1, and the separator manufacturing apparatus D2 may be disposed around the assembly apparatus D3.

なお、本明細書において「燃料電池」とは、燃料の酸化還元反応を用いることにより電気を取り出すことのできる電池を意味し、例えば、電解質膜の少なくとも一方の面に触媒層を有する積層膜を備える電池は「燃料電池」に含まれる。 In the present specification, the term “fuel cell” means a battery that can take out electricity by using a redox reaction of a fuel. For example, a laminated film having a catalyst layer on at least one surface of an electrolyte film. The provided battery is included in the “fuel cell”.

本実施形態において、機能膜製造システム１は、セルＣに使用する積層膜（機能膜）４Ａを製造する。積層膜４Ａは、第１機能層２として燃料電池用の電解質膜（シート５）に枠部６が形成されている。枠部６は、電気的絶縁性を有する公知の樹脂材料が用いられる。電解質膜（シート５）の一方の面に、第２機能層３としてアノード触媒層が形成され、他方の面に、第２機能層３としてカソード触媒層が形成される。なお、積層膜４Ａは一例であって、機能膜製造システム１により、燃料電池に使用可能な他の積層膜（燃料電池用の膜電極接合体）を形成することができる。 In the present embodiment, the functional film manufacturing system 1 manufactures a laminated film (functional film) 4A used for the cell C. In the laminated film 4 A, a frame portion 6 is formed on an electrolyte membrane (sheet 5) for a fuel cell as the first functional layer 2. A known resin material having electrical insulation is used for the frame portion 6. An anode catalyst layer is formed as the second functional layer 3 on one surface of the electrolyte membrane (sheet 5), and a cathode catalyst layer is formed as the second functional layer 3 on the other surface. The laminated film 4A is an example, and the functional film manufacturing system 1 can form another laminated film (a membrane electrode assembly for a fuel cell) that can be used for a fuel cell.

図２８（Ｂ）に示すように、燃料電池のセルＣは、積層膜４Ａの＋Ｚ面側及び−Ｚ面側にそれぞれガス拡散層Ｃ１が配置され、ガス拡散層Ｃ１の外側にそれぞれセパレータＣ２が配置されている。このセルが複数積層されて燃料電池スタックが形成される。なお、図示したセルＣは一例であって他の構成であってもよい。 As shown in FIG. 28 (B), in the cell C of the fuel cell, the gas diffusion layer C1 is disposed on the + Z surface side and the −Z surface side of the laminated film 4A, respectively, and the separator C2 is disposed outside the gas diffusion layer C1. Has been placed. A plurality of these cells are stacked to form a fuel cell stack. Note that the illustrated cell C is an example and may have other configurations.

図２８（Ａ）に示すガス拡散層製造装置Ｄ１は、セルＣに使用するガス拡散層Ｃ１を製造する。ガス拡散層Ｃ１は、例えば、セルＣにおいて、水素や酸素（空気）などのガスを触媒層に拡散させる機能や、電極での化学反応により生じた電子の集電等の機能を有する。ガス拡散層製造装置Ｄ１の構成は任意である。セパレータ製造装置Ｄ２は、セルＣに使用するセパレータＣ２を製造する。セパレータＣ２は、例えば、セルＣにおいて、水素などの燃料や空気の流路としての機能や、積層するセルＣ間の仕切りとしての機能、集電や電流の外部への伝達部としての機能等を有する。セパレータ製造装置Ｄ２の構成は任意である。組立装置Ｄ３は、セルＣを構成する部品を受け取り、これらを組み立てることにより複数のセルＣが積層した燃料電池を製造する。組立装置Ｄ３の構成は任意である。 The gas diffusion layer manufacturing apparatus D1 shown in FIG. 28 (A) manufactures the gas diffusion layer C1 used for the cell C. For example, in the cell C, the gas diffusion layer C1 has a function of diffusing a gas such as hydrogen or oxygen (air) into the catalyst layer, and a function of collecting electrons generated by a chemical reaction at the electrode. The configuration of the gas diffusion layer manufacturing apparatus D1 is arbitrary. Separator manufacturing apparatus D2 manufactures separator C2 used for cell C. For example, in the cell C, the separator C2 has a function as a flow path of fuel such as hydrogen or air, a function as a partition between cells C to be stacked, a function as a current collector or a current transmission unit, etc. Have. The configuration of the separator manufacturing apparatus D2 is arbitrary. The assembling apparatus D3 receives parts constituting the cell C and assembles them to manufacture a fuel cell in which a plurality of cells C are stacked. The configuration of the assembling apparatus D3 is arbitrary.

次に、燃料電池の製造方法について、図面を参照して説明する。図２９は、燃料電池の製造方法を示すフローチャートである。図２９に示すように、機能膜製造システム１による燃料電池用の積層膜４Ａ（膜電極接合体）の製造（ステップＳ３１）と、ガス拡散層製造装置Ｄ１によるガス拡散層Ｃ１の製造（ステップＳ３２）と、セパレータ製造装置Ｄ２によるセパレータＣ２の製造（ステップＳ３３）と、が行われる。これらステップＳ３１〜Ｓ３３は、並行して行ってもよく、また順番に行ってもよい。 Next, a method for manufacturing a fuel cell will be described with reference to the drawings. FIG. 29 is a flowchart showing a method for manufacturing a fuel cell. As shown in FIG. 29, the fuel cell laminated membrane 4A (membrane electrode assembly) is manufactured by the functional membrane manufacturing system 1 (step S31), and the gas diffusion layer C1 is manufactured by the gas diffusion layer manufacturing apparatus D1 (step S32). ) And manufacture of the separator C2 by the separator manufacturing apparatus D2 (step S33). These steps S31 to S33 may be performed in parallel or sequentially.

次に、ステップＳ３１〜Ｓ３３でそれぞれ形成された積層膜４Ａ、ガス拡散層Ｃ１、セパレータＣ２を用いて、組立装置Ｄ３によりセルＣの組み立て、及びセルＣを積層した燃料電気スタックの組み立てを行う（ステップＳ３４）。このステップＳ３４は、例えば、セパレータＣ２上に、ガス拡散層Ｃ１、機能膜４Ａ、ガス拡散層Ｃ１、セパレータＣ２の順に載置して、これを繰り返すことにより複数のセルが積層した燃料電池スタックが完成する。なお、燃料電池スタックの電極形成やセルＣ同士の電気的な接続等の処理は省略している。 Next, using the laminated film 4A, the gas diffusion layer C1, and the separator C2 respectively formed in steps S31 to S33, the assembly apparatus D3 assembles the cell C and the fuel-electric stack in which the cells C are stacked ( Step S34). In step S34, for example, a gas diffusion layer C1, a functional film 4A, a gas diffusion layer C1, and a separator C2 are placed in this order on the separator C2, and a fuel cell stack in which a plurality of cells are stacked is repeated. Complete. Note that processes such as electrode formation of the fuel cell stack and electrical connection between the cells C are omitted.

なお、上記した燃料電池の製造方法は一例であって他の方法でもよい。例えば、上記した方法は、積層膜４Ａ、ガス拡散層Ｃ１、及びセパレータＣ２がそれぞれ製造された後にこれらを組み立ててセルＣ及び燃料電池スタックを製造しているがこの方法に限定されない。例えば、先に積層膜４Ａを製造し、この積層膜４Ａの両面にガス拡散層製造装置Ｄ１によりガス拡散層Ｃ１を形成して複合膜とし、この複合膜とセパレータＣ２とを交互に積層して複数のセルＣを積層した燃料電池スタックが形成されてもよい。 The fuel cell manufacturing method described above is merely an example, and other methods may be used. For example, in the above-described method, the laminated film 4A, the gas diffusion layer C1, and the separator C2 are manufactured and then assembled to manufacture the cell C and the fuel cell stack. However, the method is not limited to this method. For example, the laminated film 4A is first manufactured, the gas diffusion layer C1 is formed on both surfaces of the laminated film 4A by the gas diffusion layer manufacturing apparatus D1 to form a composite film, and the composite film and the separator C2 are alternately stacked. A fuel cell stack in which a plurality of cells C are stacked may be formed.

このように、本実施形態によれば、機能膜製造システム１によって触媒効果が高い積層膜（機能膜）４Ａを効率よく製造するため、発電効率が向上したセルＣ（燃料電池）を効率よく製造することができる。 As described above, according to the present embodiment, the functional film manufacturing system 1 efficiently manufactures the laminated film (functional film) 4A having a high catalytic effect, and thus efficiently manufactures the cell C (fuel cell) with improved power generation efficiency. can do.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は、上記の実施形態あるいは変形例に限定されるものではない。例えば、上記の実施形態あるいは変形例で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上記の実施形態あるいは変形例で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, the technical scope of this invention is not limited to said embodiment or modification. For example, one or more of the requirements described in the above embodiments or modifications may be omitted. In addition, the requirements described in the above embodiments or modifications can be combined as appropriate.

１、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００…システム（機能膜製造システム）、２…第１機能層、３…第２機能層、４、４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄ、４Ｅ、４Ｆ、４Ｇ…積層膜（機能膜）、５、５Ａ…シート、６、６Ａ、６Ｂ、６Ｃ…枠部、７…液体、８、６０８Ａ、６０８Ｂ、８０８…枠形成ユニット、９、２０９、３０９、４０９Ａ、４０９Ｂ、５０９、６０９Ａ、６０９Ｂ、７０９Ａ、７０９Ｂ…塗布ユニット、１０、２１０、３１０、４１０、４１０Ａ、４２０Ｂ、５１０、６１０、６１０Ａ、６１０Ｂ、７１０Ａ、７１０Ｂ…減圧乾燥ユニット、１１、１２、１３…保管ユニット、２４、５２４、８２４…切断部、２８、２２８Ａ、２２８Ｂ、４２８Ａ、４２８Ｂ、５２８、６２８Ａ、６２８Ｂ、７２８Ａ、７２８Ｂ…保持部、２９、２２９、３２９Ａ、３２９Ｂ、４２９Ａ、４２９Ｂ、５２９、５２９Ａ、６２９Ａ、６２９Ｂ、７２９Ａ、７２９Ｂ…塗布部、３８…吸着部、４０、２４０Ａ、２４０Ｂ…吸着用吸引部、４２…孔部、４６…シート部材、４７…加熱部、６８、２６８、５６８…空間、７０、５７０…チャンバ部、７１…吸引部、１７２…調整部、４１２…反転部、５１１…切断ユニット、Ｐ１、Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂ、Ｐ５０１…対向位置、Ｐ２、Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂ、Ｐ５０２…退避位置、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４…ロール体、Ｍ…マーク、Ｓ、ＳＡ…基材シート、ＳＹＳ１…燃料電池製造システム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,200,300,400,500,600,700,800,900 ... system (functional film manufacturing system), 2 ... 1st functional layer, 3 ... 2nd functional layer 4, 4A, 4B, 4C, 4D, 4E, 4F, 4G ... laminated film (functional film), 5, 5A ... sheet, 6, 6A, 6B, 6C ... frame part, 7 ... liquid, 8, 608A, 608B, 808 ... frame forming unit, 9, 209, 309, 409A, 409B, 509, 609A, 609B, 709A, 709B ... coating unit 10, 210, 310, 410, 410A, 420B, 510, 610, 610A, 610B, 710A, 710B ... vacuum drying unit, 11, 12 , 13 ... Storage unit, 24, 524, 824 ... Cutting section, 28, 228A, 228B, 428A, 428B, 528, 628A, 628B, 72 A, 728B ... holding part, 29, 229, 329A, 329B, 429A, 429B, 529, 529A, 629A, 629B, 729A, 729B ... application part, 38 ... suction part, 40, 240A, 240B ... suction part for suction, 42 ... hole part, 46 ... sheet member, 47 ... heating part, 68, 268, 568 ... space, 70,570 ... chamber part, 71 ... suction part, 172 ... adjusting part, 412 ... inversion part, 511 ... cutting unit, P1, P1A, P1B, P501 ... facing position, P2, P2A, P2B, P502 ... retracted position, R1, R2, R3, R4 ... roll body, M ... mark, S, SA ... substrate sheet, SYS1 ... fuel cell manufacturing system

Claims

第１機能層と第２機能層とを積層した機能膜を製造するシステムであって、
前記第１機能層を含むシートの一部領域を囲むように枠部を形成する枠形成ユニットと、
前記枠部が形成された前記シートの少なくとも一方の面に、前記第２機能層を形成するための液体を塗布する塗布部を有する塗布ユニットと、
前記塗布ユニットにより前記液体が塗布された前記シートを含んだ空間を形成可能なチャンバ部を備え、かつ前記空間を減圧して前記液体を乾燥させる吸引部を備える減圧乾燥ユニットと、を備える、機能膜製造システム。 A system for manufacturing a functional film in which a first functional layer and a second functional layer are laminated,
A frame forming unit that forms a frame so as to surround a partial region of the sheet including the first functional layer;
An application unit having an application part for applying a liquid for forming the second functional layer on at least one surface of the sheet on which the frame part is formed;
A vacuum drying unit that includes a chamber capable of forming a space including the sheet coated with the liquid by the coating unit, and a suction unit that decompresses the space to dry the liquid. Membrane manufacturing system.

前記塗布ユニットは、前記枠部が形成された前記シートを保持する保持部を備える、請求項１記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to claim 1, wherein the coating unit includes a holding unit that holds the sheet on which the frame portion is formed.

前記保持部は、前記シート及び前記枠部の少なくとも一方を吸引することにより前記シートを保持する吸着部を有する、請求項２記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to claim 2, wherein the holding unit includes an adsorption unit that holds the sheet by sucking at least one of the sheet and the frame unit.

前記吸着部は、前記シート及び前記枠部の少なくとも一方を吸引するための吸着用吸引部を備える、請求項３記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to claim 3, wherein the suction part includes a suction part for suction for sucking at least one of the sheet and the frame part.

前記吸着部は、前記吸引部を用いて前記シート及び前記枠部の少なくとも一方を吸引する、請求項３記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to claim 3, wherein the suction part sucks at least one of the sheet and the frame part using the suction part.

前記吸引部は、前記空間及び前記吸着部に対するそれぞれの吸引力を調整する調整部を備える、請求項５記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to claim 5, wherein the suction unit includes an adjustment unit that adjusts each suction force with respect to the space and the suction unit.

前記吸着部による吸引力は、前記空間内に対する吸引力より大きい、請求項３〜請求項６のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to claim 3, wherein a suction force by the suction unit is larger than a suction force with respect to the space.

前記保持部は、前記シートを加熱する加熱部を備える、請求項３〜請求項７のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to claim 3, wherein the holding unit includes a heating unit that heats the sheet.

前記塗布部は、前記シートに前記液体を塗布可能な対向位置と、前記減圧乾燥ユニットの前記チャンバ部の外側に退避した退避位置との間を移動可能に形成される、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The application unit is formed to be movable between a facing position where the liquid can be applied to the sheet and a retracted position retracted to the outside of the chamber unit of the vacuum drying unit. 9. The functional film manufacturing system according to any one of 8 above.

前記塗布ユニットは、前記塗布部と前記シートとを相対的に移動させることにより前記液体を塗布する、請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to claim 1, wherein the coating unit applies the liquid by relatively moving the coating unit and the sheet.

前記塗布ユニットは、前記枠部が形成された前記シートの一方の面に前記液体を塗布する第１塗布部と、前記シートの他方の面に前記液体を塗布する第２塗布部と、を備え、
前記減圧乾燥ユニットは、前記第１塗布部及び前記第２塗布部のそれぞれに対応して配置される、請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The application unit includes a first application unit that applies the liquid to one surface of the sheet on which the frame portion is formed, and a second application unit that applies the liquid to the other surface of the sheet. ,
The functional film manufacturing system according to any one of claims 1 to 10, wherein the reduced-pressure drying unit is disposed corresponding to each of the first application unit and the second application unit.

前記塗布ユニットは、前記枠部が形成された前記シートを反転させる反転部を備える、請求項１〜請求項１１のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to claim 1, wherein the coating unit includes a reversing unit that reverses the sheet on which the frame portion is formed.

前記シートは、ロール状に巻かれたロール体として配置され、
前記枠形成ユニットは、前記ロール体から前記シートを引き出して前記枠部を形成する、請求項１〜請求項１２のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The sheet is arranged as a roll body wound in a roll shape,
The functional film manufacturing system according to claim 1, wherein the frame forming unit pulls out the sheet from the roll body to form the frame portion.

前記枠形成ユニットは、前記枠部が形成された部分ごとに前記シートを切断する切断部を備える、請求項１３記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to claim 13, wherein the frame forming unit includes a cutting portion that cuts the sheet for each portion where the frame portion is formed.

前記塗布ユニットは、前記枠形成ユニットから切断しない状態で送られた前記シートに対して前記枠部ごとに前記液体を塗布し、
前記減圧乾燥ユニットの前記チャンバ部は、前記シートのうち前記枠部から延びる両側を挟んだ状態で前記空間を形成可能である、請求項１３記載の機能膜製造システム。 The coating unit applies the liquid to each of the frame portions on the sheet that is sent without being cut from the frame forming unit,
The functional film manufacturing system according to claim 13, wherein the chamber portion of the vacuum drying unit is capable of forming the space in a state where both sides of the sheet extending from the frame portion are sandwiched.

前記塗布ユニットは、複数の前記枠部で囲まれた前記シート上の複数の領域に対してそれぞれ前記液体を塗布する複数の前記塗布部を備え、
前記減圧乾燥ユニットは、前記チャンバ部により前記複数の枠部をまとめて含む空間を形成可能である、請求項１５記載の機能膜製造システム。 The application unit includes a plurality of application units that apply the liquid to a plurality of regions on the sheet surrounded by the plurality of frame units, respectively.
The functional film manufacturing system according to claim 15, wherein the vacuum drying unit is capable of forming a space that collectively includes the plurality of frame portions by the chamber portion.

前記減圧乾燥ユニットから送られた前記シートを、前記枠部ごとに切断する切断ユニットを備える、請求項１５または請求項１６記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system of Claim 15 or Claim 16 provided with the cutting unit which cut | disconnects the said sheet | seat sent from the said reduced pressure drying unit for every said frame part.

前記シートは、剥離可能な基材シート上に積層される、請求項１〜請求項１７のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The said sheet | seat is a functional film manufacturing system of any one of Claims 1-17 laminated | stacked on the base material sheet which can be peeled.

前記枠形成ユニットから送られた前記シートを、前記塗布ユニットに送る前に保管する保管ユニットを備える、請求項１〜請求項１８のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to any one of claims 1 to 18, further comprising a storage unit that stores the sheet sent from the frame forming unit before sending the sheet to the coating unit.

前記第１機能層は、燃料電池用の電解質膜であり、
前記第２機能層は、燃料電池用の触媒層である、請求項１〜請求項１９のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The first functional layer is an electrolyte membrane for a fuel cell;
The functional film manufacturing system according to any one of claims 1 to 19, wherein the second functional layer is a catalyst layer for a fuel cell.

前記枠部は、電気絶縁性を有する絶縁材料で形成される、請求項１〜請求項２０のいずれか１項に記載の機能膜製造システム。 The functional film manufacturing system according to any one of claims 1 to 20, wherein the frame portion is formed of an insulating material having electrical insulation.

燃料電池を製造するシステムであって、
請求項１〜請求項２１のいずれか１項に記載の機能膜製造システムを含む、燃料電池製造システム。 A fuel cell manufacturing system comprising:
A fuel cell manufacturing system including the functional membrane manufacturing system according to any one of claims 1 to 21.

第１機能層と第２機能層とを積層した機能膜を製造する方法であって、
前記第１機能層を含むシートの一部領域を囲むように枠部を形成することと、
前記枠部が形成された前記シートの少なくとも一方の面に、前記第２機能層を形成するための液体を塗布部により塗布することと、
前記液体が塗布された前記シートを含んだ空間をチャンバ部により形成することと、
前記空間を吸引部により減圧して前記液体を乾燥させることと、を含む、機能膜製造方法。 A method for producing a functional film in which a first functional layer and a second functional layer are laminated,
Forming a frame portion so as to surround a partial region of the sheet including the first functional layer;
Applying a liquid for forming the second functional layer to at least one surface of the sheet on which the frame portion is formed by an application unit;
Forming a space including the sheet coated with the liquid by a chamber portion;
Decompressing the space with a suction part to dry the liquid.

前記塗布部により前記液体を塗布する際に、前記シートを保持部により保持することを含む、請求項２３記載の機能膜製造方法。 The functional film manufacturing method according to claim 23, comprising holding the sheet by a holding unit when applying the liquid by the applying unit.

前記保持部において、前記シート及び前記枠部の少なくとも一方を吸引することを含む、請求項２４記載の機能膜製造方法。 The functional film manufacturing method according to claim 24, comprising sucking at least one of the sheet and the frame part in the holding part.

前記シート及び前記枠部の少なくとも一方の吸引力は、前記空間内に対する吸引力より大きい、請求項２５記載の機能膜製造方法。 26. The functional film manufacturing method according to claim 25, wherein a suction force of at least one of the sheet and the frame portion is larger than a suction force with respect to the space.

前記塗布部と、前記シートとを相対的に移動させて、前記塗布部により前記シートに前記溶液を塗布する、請求項２３〜請求項２６のいずれか１項に記載の機能膜製造方法。 27. The functional film manufacturing method according to any one of claims 23 to 26, wherein the application unit and the sheet are relatively moved, and the solution is applied to the sheet by the application unit.

前記シートの一方の面に前記液体を塗布した後、前記シートを反転させて、前記シートの他方の面に前記液体を塗布することを含む、請求項２３〜請求項２７のいずれか１項に記載の機能膜製造方法。 28. The method according to any one of claims 23 to 27, comprising: applying the liquid to one surface of the sheet, then inverting the sheet, and applying the liquid to the other surface of the sheet. The functional film manufacturing method as described.

前記チャンバ部により前記空間を形成するのに先立って、前記塗布部を前記チャンバ部の外側に退避させることを含む、請求項２３〜請求項２８記載のいずれか１項に記載の機能膜製造方法。 The functional film manufacturing method according to any one of claims 23 to 28, further comprising retracting the application unit to the outside of the chamber unit prior to forming the space by the chamber unit. .

前記シートは、ロール状に巻かれたロール体から引き出されてその一部に前記枠部が形成される、請求項２３〜請求項２９記載のいずれか１項に記載の機能膜製造方法。 30. The method for producing a functional film according to any one of claims 23 to 29, wherein the sheet is drawn from a roll body wound in a roll shape and the frame portion is formed in a part thereof.

前記塗布部による前記液体の塗布に先だって、前記枠部が形成された部分ごとに前記シートを切断することを含む、請求項３０記載の機能膜製造方法。 31. The functional film manufacturing method according to claim 30, comprising cutting the sheet for each portion where the frame portion is formed prior to application of the liquid by the application portion.

切断しない状態で送られた前記シートに対して前記枠部ごとに前記液体を塗布することと、
前記シートのうち前記枠部から延びる両側を前記チャンバ部で挟むことにより前記空間を形成することと、を含む、請求項３０記載の機能膜製造方法。 Applying the liquid for each of the frame parts to the sheet sent without being cut;
The functional film manufacturing method according to claim 30, further comprising: forming the space by sandwiching both sides extending from the frame portion of the sheet with the chamber portion.

前記液体を乾燥させた後、前記シートを前記枠部ごとに切断することを含む、請求項３２記載の機能膜製造方法。 The functional film manufacturing method according to claim 32, comprising: cutting the sheet for each of the frame parts after drying the liquid.

前記枠部が形成された前記シートを、前記塗布部による前記液体の塗布前に保管することを含む、請求項２３〜請求項３３のいずれか１項に記載の機能膜製造方法。 The functional film manufacturing method according to claim 23, comprising storing the sheet on which the frame portion is formed before applying the liquid by the applying unit.

前記シートに前記液体を塗布した後、前記空間を減圧する際及び減圧した後の少なくとも一方において前記シートを加熱することを含む、請求項２３〜請求項３４のいずれか１項に記載の機能膜製造方法。 35. The functional film according to any one of claims 23 to 34, comprising: applying the liquid to the sheet, and heating the sheet in at least one of decompressing the space and decompressing the space. Production method.

燃料電池を製造する方法であって、
請求項２３〜請求項３５のいずれか１項に記載の機能膜製造方法を含む、燃料電池の製造方法。
A method of manufacturing a fuel cell, comprising:
36. A method for producing a fuel cell, comprising the method for producing a functional film according to any one of claims 23 to 35.