JP2017097121A - 分光デバイス及び撮像装置 - Google Patents
分光デバイス及び撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017097121A JP2017097121A JP2015228116A JP2015228116A JP2017097121A JP 2017097121 A JP2017097121 A JP 2017097121A JP 2015228116 A JP2015228116 A JP 2015228116A JP 2015228116 A JP2015228116 A JP 2015228116A JP 2017097121 A JP2017097121 A JP 2017097121A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- light
- slits
- optical filter
- polarizing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title claims abstract description 19
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 45
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 139
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 71
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 71
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 43
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 109
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 9
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910016570 AlCu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/204—Filters in which spectral selection is performed by means of a conductive grid or array, e.g. frequency selective surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0224—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using polarising or depolarising elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2823—Imaging spectrometer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
- G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
- G02B5/3058—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/10—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths
- H04N23/11—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths for generating image signals from visible and infrared light wavelengths
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J2003/1213—Filters in general, e.g. dichroic, band
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2823—Imaging spectrometer
- G01J2003/2826—Multispectral imaging, e.g. filter imaging
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
- G02B27/286—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising for controlling or changing the state of polarisation, e.g. transforming one polarisation state into another
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
【課題】複数のスリットが所定の周期で形成された金属層を含み、特定の波長域の光を主に透過するスリット型の光学フィルタを備える分光デバイスにおいて、光の透過特性を向上させる。【解決手段】分光デバイス(12)は、偏光フィルタ(20)と、光学フィルタ(22)とを備える。偏光フィルタは、入射する光のうち、特定の偏光成分を有する光を透過する。偏光フィルタに入射した光は、偏光フィルタを通過することにより、直線偏光になる。光学フィルタには、偏光フィルタを通過した光が入射する。光学フィルタは、特定の周波数域の光を透過する。光学フィルタは、金属層(24)と、誘電体層(26)とを含む。誘電体層は、金属層に接して形成されている。金属層には、複数のスリット(25)が形成されている。複数のスリットは、所定の方向に等間隔に並んでいる。複数のスリットが延びる方向は、偏光フィルタを通過した光の偏光方向に垂直である。【選択図】図1
Description
本発明は、分光デバイスに関し、詳しくは、複数のスリットが所定の周期で形成された金属層を含み、特定の波長域の光を主に透過するスリット型の光学フィルタを備える分光デバイスに関する。
近年、複数のスリットが所定の周期で形成された金属層により、特定の波長域の光を主に透過する光学フィルタ(スリット型の光学フィルタ)が提案されている。スリット型の光学フィルタは、例えば、特表2013−525863号公報に開示されている。
光学フィルタを使用するときには、反射波や、隣の画素から回り込む光、意図しない隙間から漏れる光、意図しない共鳴波等は、全てノイズとなる。ノイズの影響を受けると、被写体の真のスペクトル特性がわからなくなる。これは、選択波長域が狭い分光デバイスを備える撮像装置(例えば、マルチスペクトルカメラ)にとって、問題になる。加えて、上記のようなスリット型の光学フィルタでは、意図しない共鳴波や反射波によって、FWHM(Full Width at Half Maximum)が広くなってしまう。
本発明の目的は、複数のスリットが所定の周期で形成された金属層を含み、特定の波長域の光を主に透過するスリット型の光学フィルタを備える分光デバイスにおいて、光の透過特性を向上させることである。
本発明の実施の形態による分光デバイスは、偏光フィルタと、光学フィルタとを備える。偏光フィルタは、入射する光のうち、特定の偏光成分を有する光を透過する。偏光フィルタに入射した光は、偏光フィルタを通過することにより、直線偏光になる。光学フィルタには、偏光フィルタを通過した光が入射する。光学フィルタは、特定の周波数域の光を透過する。光学フィルタは、金属層と、誘電体層とを含む。誘電体層は、金属層に接して形成されている。金属層には、複数のスリットが形成されている。複数のスリットは、所定の方向に等間隔に並んでいる。複数のスリットが延びる方向は、偏光フィルタを通過した光の偏光方向に垂直である。
本発明の実施の形態による分光デバイスは、光の透過特性を向上させることができる。
本発明の実施の形態による分光デバイスは、偏光フィルタと、光学フィルタとを備える。偏光フィルタは、入射する光のうち、特定の偏光成分を有する光を透過する。偏光フィルタに入射した光は、偏光フィルタを通過することにより、直線偏光になる。光学フィルタには、偏光フィルタを通過した光が入射する。光学フィルタは、特定の周波数域の光を透過する。光学フィルタは、金属層と、誘電体層とを含む。誘電体層は、金属層に接して形成されている。金属層には、複数のスリットが形成されている。複数のスリットは、所定の方向に等間隔に並んでいる。複数のスリットが延びる方向は、偏光フィルタを通過した光の偏光方向に垂直である。
上記分光デバイスでは、偏光フィルタを通過した光の偏光方向は、前記複数のスリットが延びる方向に垂直である。そのため、光学フィルタを通過した光には、ノイズ成分が含まれ難くなる。その結果、分光デバイスにおける光の透過特性が向上する。
上記分光デバイスにおいて、光学フィルタは、好ましくは、第1フィルタと、第2フィルタとを含む。第2フィルタは、第1フィルタの隣に配置されている。第1フィルタにおける複数のスリットの間隔は、第2フィルタにおける複数のスリットの間隔と異なっている。
この場合、第1フィルタが透過する光の波長域と、第2フィルタが透過する光の波長域とが異なる。その結果、分光デバイスは、複数の波長域の光を透過することができる。
上記分光デバイスにおいて、光学フィルタは、第1フィルタと、第2フィルタとを含んでいてもよい。第2フィルタは、第1フィルタの隣に配置される。第1フィルタに形成された複数のスリットが延びる方向は、第2フィルタに形成された複数のスリットが延びる方向と異なっている。
この場合、偏光フィルタは、好ましくは、光学フィルタに対して回転可能に配置される。偏光フィルタの光学フィルタに対する位置は、第1位置と、第2位置とを含む。第1位置では、第1フィルタに形成された複数のスリットが延びる方向は、偏光フィルタを通過した光の偏光方向に垂直となる。第2位置では、第2フィルタに形成された複数のスリットが延びる方向は、偏光フィルタを通過した光の偏光方向に垂直となる。
この場合、偏光フィルタを光学フィルタに対して回転することにより、偏光フィルタの光学フィルタに対する位置を変更することができる。例えば、第1フィルタと、第2フィルタとで、複数のスリットの間隔が異なる場合には、偏光フィルタの光学フィルタに対する位置に応じて、透過する光の波長域を変更することができる。
本発明の実施の形態による撮像装置は、分光デバイスと、分光デバイスを通過した光を検出する受光部とを備える。分光デバイスは、偏光フィルタと、光学フィルタとを備える。偏光フィルタは、入射する光のうち、特定の偏光成分を有する光を透過する。偏光フィルタに入射した光は、偏光フィルタを通過することにより、直線偏光になる。光学フィルタには、偏光フィルタを通過した光が入射する。光学フィルタは、特定の周波数域の光を透過する。光学フィルタは、金属層と、誘電体層とを含む。誘電体層は、金属層に接して形成されている。金属層には、複数のスリットが形成されている。複数のスリットは、所定の方向に等間隔に並んでいる。複数のスリットが延びる方向は、偏光フィルタを通過した光の偏光方向に垂直である。
上記撮像装置においては、分光デバイスの光を透過する特性が向上するので、得られる画像の質が向上する。
撮像装置は、好ましくは、第1レンズをさらに備える。第1レンズは、光学フィルタに対して、光が入射する側に配置される。第1レンズに入射した光は、第1レンズを通過することにより、平面波になる。この場合、光学フィルタにおける光の透過特性が向上する。
撮像装置は、好ましくは、第2レンズをさらに備える。第2レンズは、光学フィルタと受光部との間に配置される。第2レンズに入射した光は、第2レンズを通過することにより、受光部に向かって集光される。この場合、受光部が光を検出しやすくなる。
撮像装置が撮影する被写体は、光学フィルタよりも光の入射側に配置されていればよい。例えば、被写体は、偏光フィルタを通過した光が照射される位置に配置される。光学フィルタは、被写体に照射された光のうち、被写体によって反射された光が入射する位置に配置される。この場合、撮像装置は、好ましくは、光源をさらに備える。光源は、被写体に向かって光を発する。光源は、偏光フィルタにおける光の入射側に配置される。
受光部は、第1受光部と、第2受光部とを備える。第2受光部は、第1受光部の隣に配置されている。光学フィルタは、第1フィルタと、第2フィルタとを含む。第2フィルタは、第1フィルタの隣に配置されている。第1フィルタに形成された複数のスリットが延びる方向は、第2フィルタに形成された複数のスリットが延びる方向と異なっている。撮像装置は、さらに、差分演算部と、スペクトル特性演算部とを含む。差分演算部は、第1受光部の検出値と、第2受光部の検出値との差分を演算する。スペクトル特性演算部は、差分演算部の演算結果を用いて、受光部が検出した光のスペクトル特性を演算する。
この場合、ノイズを低減することができる。
以下、本発明のより具体的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。
[第1の実施の形態]
図1は、本発明の第1の実施の形態による撮像装置10の概略構成を示す模式図である。図1中の矢印は、光の進行方向を示す。図示はしていないが、偏光フィルタ20の外側(光の入射側)には、被写体が存在する。撮像装置10は、被写体を撮影し、被写体のスペクトル特性を得る。
図1は、本発明の第1の実施の形態による撮像装置10の概略構成を示す模式図である。図1中の矢印は、光の進行方向を示す。図示はしていないが、偏光フィルタ20の外側(光の入射側)には、被写体が存在する。撮像装置10は、被写体を撮影し、被写体のスペクトル特性を得る。
撮像装置10は、分光デバイス12と、アウターレンズ14と、インナーレンズ16と、受光部18とを備える。分光デバイス12は、偏光フィルタ20と、光学フィルタ22とを備える。
偏光フィルタ20は、入射する光のうち、特定の偏光成分を有する光(つまり、特定の方向に振動する光)を透過する。偏光フィルタ20は、入射した光を直線偏光に変換する。つまり、偏光フィルタ20に入射した光は、偏光フィルタ20を通過することにより、直線偏光となる。偏光フィルタ20は、入射する光を直線偏光に変換するものであれば、特に限定されない。例えば、スリット型偏光板等が採用される。
光学フィルタ22は、偏光フィルタ20を通過した光が入射する位置に配置されている。光学フィルタ22は、特定の波長域の光を主に透過する。
図2は、光学フィルタ22の概略構成を示す平面図である。光学フィルタ22は、複数のフィルタ部22Aと、複数のフィルタ部22Bとを備える。なお、図2では、フィルタ部22Aとフィルタ部22Bとの境界は、一点鎖線で示している。図2において、破線で示す領域は、後述する受光部に対応する領域である。
フィルタ部22A及びフィルタ部22Bは、平面視で矩形形状(本実施の形態では、正方形状)を有する。光学フィルタ22では、フィルタ部22Aとフィルタ部22Bとが、行方向及び列方向(図2中のX方向及びY方向)に交互に並んでいる。フィルタ部22Aには、複数のスリット25Aが形成されている。フィルタ部22Bには、複数のスリット25Bが形成されている。フィルタ部22Aに形成されているスリット25Aは、フィルタ部22Nに形成されているスリット25Bと同じ方向に延びている。フィルタ部22Aに形成されているスリット25Aの数は、フィルタ部22Bに形成されているスリット25Bの数よりも多い。フィルタ部22Aに形成されている複数のスリット25Aの間隔は、フィルタ部22Bに形成されている複数のスリット25Bの間隔よりも狭い。
図3は、光学フィルタ22のうち、フィルタ部22Aの概略構成を示す模式図である。図3を参照しながら、フィルタ部22Aについて説明する。なお、フィルタ部22Bは、フィルタ部22Aと比べて、スリット25Bの数が異なっているが、それ以外は同じである。そこで、フィルタ部22Bについての詳細な説明は省略する。
フィルタ部22Aは、2つの金属層24と、1つの誘電体層26とを備える。なお、図3では、各層24、26の幅方向をX方向とし、長さ方向をY方向とし、厚さ方向(法線方向)をZ方向としている。
2つの金属層24のうち、一方の金属層24(以下、金属層241とする)は、図示しない支持基板上に形成される。支持基板は、下地層と、ベース基板とを含む。下地層は、例えば、シリコン酸化膜である。ベース基板は、光を透過する。ベース基板は、例えば、ガラス基板である。撮像装置10をイメージングデバイスとして使用する場合には、撮像素子として、CMOS及びCCDの何れかを用いる。この場合、コンタクトホールを形成する工程又は配線を形成する工程で形成される層間膜を下地層として使うことが望ましい。この場合、必要に応じて、CMP等の平坦化工程を実施してもよい。
2つの金属層24のうち、他方の金属層24(以下、金属層242とする)は、金属層241から離れて配置されている。金属層242は、光の進行方向で金属層241から離れて配置されている。
金属層24は、Alを主成分とする。金属層24は、例えば、Ag、Au、Pt、Ti、TiN、Cu、AlCu等からなるものであってもよい。金属層24の屈折率は、好ましくは、可視光域において、0.35〜4.0である。本実施の形態では、金属層24の屈折率は、550nmの波長を有する光に対して、0.74である。
金属層24の厚みは、加工の都合上、好ましくは、20〜100nmである。本実施の形態では、金属層24の厚みは、40nmである。2つの金属層24の厚みは同じであってもよいし、異なっていてもよい。本実施の形態では、2つの金属層24の厚みは同じである。
金属層24には、複数のスリット25Aが形成されている。複数のスリット25Aは、所定の方向(図3に示す例では、X方向、つまり、金属層24の幅方向)に等間隔に形成されている。各金属層24において、複数のスリット25Aは、同じ位置に形成されている。複数のスリット25Aが形成された周期C1は、好ましくは、140〜1120nmである。本実施の形態では、周期C1は、300nmである。
スリット25Aの幅S1は、フィルタ部22Aが透過すべき光の波長(選択波長)に応じて、適宜、設定される。幅S1は、好ましくは、80〜200nmである。本実施形態では、幅S1は、100nmである。幅S1は、好ましくは、周期C1の10〜50%である。本実施の形態では、幅S1は周期C1の約33%である。図3に示す例では、幅S1は、スリット25Aの長さ方向(図3に示すY方向)の全長に亘って同じである。なお、厳密な意味において、幅S1は、スリット25Aの長さ方向の全長に亘って同じでなくてもよい。図3に示す例では、各スリット25Aの幅S1は、同じである。
スリット25Aの長さ(図3に示すY方向での長さ)は、フィルタ部22Aの長さよりも短くてもよいし、フィルタ部22Aの長さと同じであってもよい。スリット25Aの長さは、周期C1と幅S1との差分L1の10倍以上であることが好ましい。これにより、十分な透過率を確保することができる。
誘電体層26は、金属層24に接して形成される。誘電体層26の一部は、スリット25A内に存在する。誘電体層26の材料は、例えば、SiN、ZnSe、SiO2、MgF等である。誘電体層26のうち、2つの金属層24の間に存在する部分(光の進行方向、つまり、図3中の上下方向で2つの金属層24の間に位置する部分)の材料は、スリット25A内に存在する部分の材料と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
誘電体層26の厚み(具体的には、誘電体層26のうち、2つの金属層24の間に存在する部分の厚み)は、光学フィルタ22が透過すべき光の波長(選択波長)に応じて、適宜、設定される。誘電体層26の厚みは、好ましくは、40〜200nmである。本実施の形態では、誘電体層26の厚みは、100nmである。誘電体層26の厚みは、好ましくは、金属層24の厚みの1〜5倍である。本実施の形態では、誘電体層26の厚みは、金属層24の厚みの2.5倍である。
誘電体層26の屈折率(具体的には、誘電体層26のうち、2つの金属層24の間に存在する部分の屈折率)は、フィルタ部22Aが透過すべき光の波長(選択波長)に応じて、適宜、設定される。誘電体層26の屈折率は、例えば、誘電体層26の材料を変更することで、設定することができる。誘電体層26の屈折率は、好ましくは、1.4よりも大きく、且つ、3.0以下である。
フィルタ部22Aは、金属層24と誘電体層26との界面の共鳴現象に類似する現象を利用して、入射した光のうち、特定の波長域の光を主に透過する。当該現象に関連するパラメータ(例えば、金属層24の厚みや、金属層24に形成されたスリット25Aの幅、スリット25Aの周期、誘電体層26の厚み、誘電体層26の屈折率等)を最適化することにより、フィルタ部22Aによる光の透過特性を向上させることができる。
金属層24及び誘電体層26の厚みや、スリット25Aの幅S1、スリット25Aの周期C1は、各層24、26を形成する材料の特性(特に、屈折率)や選択波長によって変える必要がある。特に、屈折率は、波長依存性があるため、予めシミュレーションをして、選択波長ごとに値を算出しておくことが好ましい。選択波長は、差分L1と、誘電体層26の厚みとに依存する。
各層24、26を形成する材料は、上記のものに限定されない。金属層24と誘電体層26との界面でのプラズモン共鳴が発生する材料であればよい。具体的には、金属層24は、負の誘電率を持つ材料であればよい。誘電体層26の屈折率は、金属層241が接する下地層(シリコン酸化膜)の屈折率(1.4)よりも高ければよい。
続いて、光学フィルタ22の製造方法について説明する。
先ず、図4Aに示すように、金属層241、誘電体層26及び金属層242を、この順番で、支持基板上に順次形成する。具体的には、金属層241は、スパッタリングにより、支持基板上に形成する。誘電体層26は、CVD法により、金属層241上に形成する。金属層242は、スパッタリングにより、誘電体層26上に形成する。
続いて、図4Bに示すように、フォトリソグラフィ法により、金属層241、誘電体層26及び金属層242にスリット25を形成する。その後、スリット25を埋めるようにして、誘電体層26Aを形成する。その結果、図4Cに示すように、光学フィルタ22が製造される。なお、図4Cに示すのは、光学フィルタ22のうち、フィルタ部22Aである。図4Cにおいて、金属層242のうち、金属層241側の面、つまり、誘電体層26に接する面とは反対側の面は、誘電体層で覆われていてもよい。
再び、図1を参照しながら、説明する。アウターレンズ14は、偏光フィルタ20と、光学フィルタ22との間に配置されている。つまり、偏光フィルタ20を通過した光は、アウターレンズ14に入射する。アウターレンズ14を通過した光は、光学フィルタ22に入射する。アウターレンズ14は、偏光フィルタ20を通過した光を平面波の光に変換する。つまり、アウターレンズ14を通過した光は、平面波の光になっている。光学フィルタ22には、平面波の光が照射される。
インナーレンズ16は、光学フィルタ22と受光部18との間に配置されている。つまり、光学フィルタ22を通過した光は、インナーレンズ16に入射する。インナーレンズ16を通過した光は、受光部18に入射する。インナーレンズ16は、入射した光を受光部18に向けて集光する。
受光部18は、インナーレンズ16を通過した光を受光する。受光部18は、撮像素子である。
受光部18は、図5に示すように、複数の画素18Aを含む。複数の画素18Aは、行方向及び列方向(図5中のX方向及びY方向)に並んで配置されている。画素18Aは、図2及び図5に示すように、2行2列に配置された合計4個のフィルタ部22A及びフィルタ部22Bと同じ大きさを有する。画素18Aは、例えば、フォトダイオードを含む。
光学フィルタ22では、図5に示すように、光学フィルタ22に形成されたスリット25A及びスリット25Bが延びる方向は、偏光フィルタ20に形成されたスリット20Aが延びる方向と直交している。そのため、光学フィルタ22を通過した光には、ノイズが含まれ難くなっている。その理由は、以下のとおりである。
図6は、受光部が検出した光のスペクトル特性を示すグラフである。図6において、グラフGL1は、光学フィルタに形成されたスリットが延びる方向と、偏光フィルタに形成されたスリットが延びる方向とが直交している場合に、受光部が検出した光のスペクトル特性を示す。図6において、グラフGL2は、光学フィルタに形成されたスリットが延びる方向と、偏光フィルタに形成されたスリットが延びる方向とが平行である場合に、受光部が検出した光のスペクトル特性を示す。図6において、グラフGL3は、偏光フィルタが設けられていない場合に、受光部が検出した光のスペクトル特性を示す。
図6に示すように、光学フィルタに形成されたスリットが延びる方向と、偏光フィルタに形成されたスリットが延びる方向とが直交している場合(グラフGL1)には、光学フィルタに形成されたスリットが延びる方向と、偏光フィルタに形成されたスリットが延びる方向とが平行である場合(グラフGL2)よりも、450nm付近のノイズピークが小さくなる(図6において、破線で囲んだ部分を参照)また、640nm付近のメインピークが大きくなる(図6において、一点鎖線で囲んだ部分を参照)。光学フィルタに形成されたスリットと偏光フィルタに形成されたスリットとを直交させることにより、分光デバイス12は、ノイズに強いバンドパスフィルタとして機能する。
光学フィルタ22においては、波長と偏光方向とを同時に選択することができる。ここで、波長は、スリット25A、25Bの間隔と相関関係がある。偏光方向は、スリット25A、25Bが延びる方向と相関関係がある。それぞれのパラメータは、互いに独立して設計することができる。
光学フィルタ22を製造するとき、スリット25A、25Bの間隔や、スリット25A、25Bが延びる方向は、1枚の露光マスクで規定することができる。そのため、光学フィルタ22において、フィルタ部の種類(つまり、選択波長の種類)が増えても、基本的に、露光工程は、一回で済む。そのため、有機膜や多層膜で光学フィルタを形成する場合と比べて、金型や工程数を大幅に削減することができる。
また、露光マスクのレイアウトを変更すれば、任意の選択波長や偏光方向に変更することができる。
加えて、アルミニウムやシリコン等の従来の半導体プロセスで用いられている材料で形成することができる。
撮像装置10においては、アウターレンズ14が設けられている。そのため、光学フィルタ22における分光特性が向上する。その理由は、以下のとおりである。
光学フィルタ22においては、光が斜めに入射すると、分光特性(つまり、特定の波長域の光を透過する特性)が低下する。そこで、アウターレンズ14を設けて、光学フィルタ22に入射する光を平面波にすることで、光学フィルタ22における分光特性が向上する。
撮像装置10においては、インナーレンズ16が設けられている。そのため、受光部18による光の検出感度が向上する。その理由は、以下のとおりである。
光学フィルタ22を通過した光は、球面波になっている。そこで、インナーレンズ16を設けて、光学フィルタ22を通過した光を受光部18に向かって集光させることで、受光部18による光の検出感度が向上する。
撮像装置10においては、上記のように、アウターレンズ14及びインナーレンズ16が設けられている。そのため、得られる画像のコントラストを向上させることができる。
[第1の実施の形態の変形例1]
図7は、第1の実施の形態の変形例1に係る撮像装置10Aを示す。撮像装置10Aは、撮像装置10と比べて、アウターレンズ14の配置が異なっている。撮像装置10Aでは、偏光フィルタ20よりも光の入射側に配置されている。このような位置にアウターレンズ14を配置していても、第1の実施の形態と同様な効果を得ることができる。
図7は、第1の実施の形態の変形例1に係る撮像装置10Aを示す。撮像装置10Aは、撮像装置10と比べて、アウターレンズ14の配置が異なっている。撮像装置10Aでは、偏光フィルタ20よりも光の入射側に配置されている。このような位置にアウターレンズ14を配置していても、第1の実施の形態と同様な効果を得ることができる。
[第1の実施の形態の変形例2]
図8は、第1の実施の形態の変形例2に係る撮像装置で採用される光学フィルタ221の概略構成を示す平面図である。なお、図8では、フィルタ部22Aとフィルタ部22Bとの境界は、一点鎖線で示している。図8において、破線で示す領域は、後述する受光部に対応する領域である。
図8は、第1の実施の形態の変形例2に係る撮像装置で採用される光学フィルタ221の概略構成を示す平面図である。なお、図8では、フィルタ部22Aとフィルタ部22Bとの境界は、一点鎖線で示している。図8において、破線で示す領域は、後述する受光部に対応する領域である。
図8に示す光学フィルタ221は、図2に示す光学フィルタ22と比べて、フィルタ部22A及びフィルタ部22Bのそれぞれのサイズが、画素18Aのサイズと同じである。この場合、スリット25A、25Bの長さを、図2に示す場合と比べて、約2倍にすることができる。また、スリット25A、25Bの数を、図2に示す場合と比べて、約2倍にすることができる。図8に示す例では、フィルタ部22A及びフィルタ部22Bは、画素18Aと対応する位置ではなく、行方向及び列方向(図8中のX方向及びY方向)のそれぞれに、1/2ずつずれた位置に配置されている。図8に示す例では、画素18Aのサイズが小さくなっても、光の透過強度を確保することができるので、図2に示す場合と同様な分光特性を得ることができる。また、異なるパターンで形成されたフィルタ部間の干渉ノイズも軽減することができる。
[第1の実施の形態の変形例3]
例えば、図9に示すように、光学フィルタのうち、1つの画素18Aと対応する領域において、9つのフィルタ部22C1〜22C9が3行3列に配置されていてもよい。また、各フィルタ部22C1〜22C9に形成されたスリット25Cは、互いに同じ方向に延びていてもよいし、互いに異なる方向に延びていてもよい。各フィルタ部22C1〜22C9に形成されたスリット25Cのうち、少なくとも同じ方向に延びるスリット25Cについては、互いに異なる間隔で形成されている。各フィルタ部22C1〜22C9に形成されたスリットが互いに異なる方向に延びている場合、偏光フィルタ20は、光学フィルタ22に対して、回転可能に配置される。複数のフィルタ部22C1〜22C9から使用するフィルタ部22C1〜22C9を選択し、選択したフィルタ部22C1〜22C9のスリット25Cが延びる方向と、偏光フィルタ20のスリット20Aが延びる方向とが直交するように、偏光フィルタ20を光学フィルタ22に対して回転させればよい。
例えば、図9に示すように、光学フィルタのうち、1つの画素18Aと対応する領域において、9つのフィルタ部22C1〜22C9が3行3列に配置されていてもよい。また、各フィルタ部22C1〜22C9に形成されたスリット25Cは、互いに同じ方向に延びていてもよいし、互いに異なる方向に延びていてもよい。各フィルタ部22C1〜22C9に形成されたスリット25Cのうち、少なくとも同じ方向に延びるスリット25Cについては、互いに異なる間隔で形成されている。各フィルタ部22C1〜22C9に形成されたスリットが互いに異なる方向に延びている場合、偏光フィルタ20は、光学フィルタ22に対して、回転可能に配置される。複数のフィルタ部22C1〜22C9から使用するフィルタ部22C1〜22C9を選択し、選択したフィルタ部22C1〜22C9のスリット25Cが延びる方向と、偏光フィルタ20のスリット20Aが延びる方向とが直交するように、偏光フィルタ20を光学フィルタ22に対して回転させればよい。
[第1の実施の形態の変形例4]
例えば、偏光フィルタ20を光学フィルタ22に対して回転可能に配置する場合、偏光フィルタ20において、スリットの延びる方向や間隔が互いに異なる複数のフィルタ部を形成してもよい。この場合、光学フィルタ22において、スリットの延びる方向や間隔が互いに異なる複数のフィルタ部を形成しなくてもよい。そのため、光学フィルタ22にスリットを形成するときの露光マスクのレイアウトが簡素化される。その結果、設計マージンが広がる。
例えば、偏光フィルタ20を光学フィルタ22に対して回転可能に配置する場合、偏光フィルタ20において、スリットの延びる方向や間隔が互いに異なる複数のフィルタ部を形成してもよい。この場合、光学フィルタ22において、スリットの延びる方向や間隔が互いに異なる複数のフィルタ部を形成しなくてもよい。そのため、光学フィルタ22にスリットを形成するときの露光マスクのレイアウトが簡素化される。その結果、設計マージンが広がる。
[第1の実施の形態の変形例5]
第1の実施の形態では、光学フィルタ22のうち、1つの画素18Aに対応する領域には、フィルタ部22A及びフィルタ部22Bが2つずつ、つまり、同じ選択波長を有するフィルタ部が2つずつ配置されていたが、例えば、光学フィルタ22のうち、1つの画素18Aに対応する領域に配置される複数のフィルタ部の各々が、互いに異なる選択波長を有するようにしてもよい。
第1の実施の形態では、光学フィルタ22のうち、1つの画素18Aに対応する領域には、フィルタ部22A及びフィルタ部22Bが2つずつ、つまり、同じ選択波長を有するフィルタ部が2つずつ配置されていたが、例えば、光学フィルタ22のうち、1つの画素18Aに対応する領域に配置される複数のフィルタ部の各々が、互いに異なる選択波長を有するようにしてもよい。
[第1の実施の形態の変形例6]
第1の実施の形態では、1つの画素18Aに対応する領域に配置される複数のフィルタ部の各々にスリットが形成されていたが、例えば、図10及び図11に示すように、1つの画素18Aに対応する領域に配置される複数のフィルタ部は、スリット25Fが形成されたフィルタ部22Fと、開口25Gが形成されたフィルタ部22Gとを含んでいてもよい。
第1の実施の形態では、1つの画素18Aに対応する領域に配置される複数のフィルタ部の各々にスリットが形成されていたが、例えば、図10及び図11に示すように、1つの画素18Aに対応する領域に配置される複数のフィルタ部は、スリット25Fが形成されたフィルタ部22Fと、開口25Gが形成されたフィルタ部22Gとを含んでいてもよい。
複数のフィルタ部22Fが含まれている場合、各フィルタ部22Fに形成されたスリット25Fが延びる方向は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。また、複数のフィルタ部22Fが含まれている場合、各フィルタ部22Fに形成されたスリット25Fの間隔は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。
フィルタ部22Gに形成された開口25Gの形状は、特に限定されない。例えば、図10及び図11に示すように、正方形であってもよいし、他の多角形であってもよいし、円形であってもよい。フィルタ部22Gを透過する光の偏光特性は、偏光フィルタ20の偏光特性と同じである。
フィルタ部22Gの透過率がフィルタ部22Fの透過率よりも高くなり過ぎる場合には、開口25Gの面積を調整することで、任意の透過率を得ることができる。例えば、図10及び図11に示す例では、開口25Gの各辺の長さL1を変更して、開口25Gの面積を調整すればよい。
図10及び図11に示す態様は、偏光バンドパスフィルタと、偏光エッジパスフィルタとを同一フレーム内で演算する場合に、特に有効である。例えば、光沢の強い被写体について分光評価をする場合等に有効である。その理由は、光沢を偏光で低減しながら、波長特性をリアルタイムで捉えることができるからである。
なお、フィルタ部22Gの透過率とフィルタ部22Fの透過率とを調整する方法は、上記のように、開口25の面積を調整する方法に限定されない。例えば、開口25の面積を調整するだけでなく、必要に応じて、スリット25Fの長さを調整してもよい。場合によっては、スリット25Fの長さを調整するだけでもよい。
複数のフィルタ部22Gが含まれている場合、各フィルタ部22Gに形成された開口25Gの大きさは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。
[第1の実施の形態の変形例7]
例えば、第1の実施の形態において、撮像装置10は、アウターレンズ14及びインナーレンズ16を備えていなくてもよい。
例えば、第1の実施の形態において、撮像装置10は、アウターレンズ14及びインナーレンズ16を備えていなくてもよい。
[第2の実施の形態]
図12を参照しながら、本発明の第2の実施の形態について説明する。図12は、本実施の形態で採用される光学フィルタ222のフィルタ部22Aの概略構成を示す模式図である。光学フィルタ222は、光学フィルタ22と比べて、金属層242を備えていない。
図12を参照しながら、本発明の第2の実施の形態について説明する。図12は、本実施の形態で採用される光学フィルタ222のフィルタ部22Aの概略構成を示す模式図である。光学フィルタ222は、光学フィルタ22と比べて、金属層242を備えていない。
図13は、光学フィルタ22の透過スペクトルを示すシミュレーションの結果である。具体的には、光学フィルタ22のスリット25A、25Bに垂直な偏光と平行な偏光とが入射された場合の透過スペクトルを示すグラフGL4と、光学フィルタ22のスリット25A、25Bに垂直な偏光のみが入射された場合の透過スペクトルを示すグラフGL5とを示す。
図14は、光学フィルタ222の透過スペクトルを示すシミュレーションの結果である。具体的には、光学フィルタ222のスリット25Aに垂直な偏光と平行な偏光とが入射された場合の透過スペクトルを示すグラフGL6と、光学フィルタ222のスリット25Aに垂直な偏光のみが入射された場合の透過スペクトルを示すグラフGL7とを示す。
何れのシミュレーションもFDTD法(時間領域差分法)を用いて行った。図13及び図14でピーク波長が異なるのは、光学フィルタ22と光学フィルタ222の構造が異なるからである。
図13に示すように、光学フィルタ22では、500nm付近の意図しない共鳴ピークを除去することができる(破線で囲んだ部分を参照)。図14に示すように、光学フィルタ222では、520nm付近の共鳴ピークを除去することができる(破線で囲んだ部分を参照)。加えて、光学フィルタ222では、700nm以上の長波長側での漏れ光も低減することができる(一点鎖線で囲んだ部分を参照)。
光学フィルタ222は、光学フィルタ22と比べて、金属層242を備えていない。そのため、スリットを形成するときに、金属層241の形状が安定し易い。その結果、光学フィルタ22と比べて、歩留まりが向上する。
[第3の実施の形態]
図15を参照しながら、本発明の第3の実施の形態の撮像装置10Bについて説明する。図15は、撮像装置10Bの概略構成を示す模式図である。
図15を参照しながら、本発明の第3の実施の形態の撮像装置10Bについて説明する。図15は、撮像装置10Bの概略構成を示す模式図である。
撮像装置10Bは、撮像装置10と比べて、光源32を備える。光源32からの光は、偏光フィルタ20を通過する。偏光フィルタ20を通過した光は、被写体34に照射され、被写体34で反射される。被写体34で反射された光は、光学フィルタ22に入射する。光学フィルタ22に入射した光は、受光部18に入射する。これにより、被写体34のスペクトルが得られる。
被写体34の表面を観察する場合には、光学フィルタ22のスリットが延びる方向を偏光フィルタ20のスリットが延びる方向に対して垂直にすればよい。
被写体34の内部の情報を得る場合には、光路差を考慮して、偏光フィルタ20のスリットが延びる方向と、光学フィルタ22のスリットが延びる方向とを調整する。被写体34の内部の情報は、拡散反射成分である。偏光された鏡面反射成分(例えば、S波やP波)は、拡散反射成分にとって、ノイズとなる。そこで、偏光フィルタ20のスリットが延びる方向と、光学フィルタ22のスリットが延びる方向とを調整して、このノイズを低減する。具体的には、偏光フィルタ20がスリットの延びる方向と、光学フィルタ22のスリットが延びる方向とを垂直にする。
偏光フィルタ20は、光源32に設けてもよいし、被写体34に設けてもよい。
[第4の実施の形態]
図14は、本発明の第4の実施の形態で採用される光学フィルタ223の概略構成を示す平面図である。光学フィルタ223では、隣り合う2つのフィルタ部22D、22Eのスリット25D、25Eの延びる方向が互いに直交している。つまり、本実施の形態では、フィルタ部22Dのスリット25Dが延びる方向は、偏光フィルタ20のスリット20Aが延びる方向に直交しているが、フィルタ部22Eのスリット25Eが延びる方向は、偏光フィルタ20のスリット20Aが延びる方向に平行となっている。なお、本実施の形態において、受光部18は、光学フィルタ223に形成された複数のフィルタ部22D、22Eの各々と対応する領域に、画素を有する。
図14は、本発明の第4の実施の形態で採用される光学フィルタ223の概略構成を示す平面図である。光学フィルタ223では、隣り合う2つのフィルタ部22D、22Eのスリット25D、25Eの延びる方向が互いに直交している。つまり、本実施の形態では、フィルタ部22Dのスリット25Dが延びる方向は、偏光フィルタ20のスリット20Aが延びる方向に直交しているが、フィルタ部22Eのスリット25Eが延びる方向は、偏光フィルタ20のスリット20Aが延びる方向に平行となっている。なお、本実施の形態において、受光部18は、光学フィルタ223に形成された複数のフィルタ部22D、22Eの各々と対応する領域に、画素を有する。
図15は、本実施の形態の撮像装置が備える制御部40を示すブロック図である。制御部40は、差分演算部40Aと、スペクトル特性演算部40Bとを含む。差分演算部40Aは、フィルタ部22Dを透過し、且つ、フィルタ部22Dと対応する領域に配置された画素で検出された光の検出値と、フィルタ部22Eを通過し、且つ、フィルタ部22Eと対応する領域に配置された画素で検出された光の検出値との差分を算出する。スペクトル特性演算部40Bは、差分演算部40Aの演算結果に基づいて、受光部18が検出した光のスペクトル特性を算出する。
図16は、受光部18が検出した光のスペクトル特性を示すグラフである。具体的には、グラフGL8は、偏光フィルタ20を備えていない場合の受光部18が検出した光のスペクトル特性を示す。グラフGL9は、スペクトル特性演算部40Bの演算結果を示す。図16に示すように、本実施の形態では、450nm付近のノイズを除去することができる。なお、上記のように差分を演算するのみでは対応できない場合には、光源を工夫したり、補助的なフィルタを使用してもよい。また、図16では、500nm以下で負の値が算出されるので、負の値を扱うことができない場合には、例えば、ブルーカットフィルタで500nm以下の波長を有する光をカットしてもよい。
以上、本発明の実施形態について、詳述してきたが、これらはあくまでも例示であって、本発明は、上述の実施形態によって、何等、限定されない。
10:撮像装置、12:分光デバイス、14:アウターレンズ、16:インナーレンズ、18:受光部、20:偏光フィルタ、20A:スリット、22:光学フィルタ、24:金属層、25A:スリット、25B:スリット、26:誘電体層、32:光源
Claims (9)
- 入射する光のうち、特定の偏光成分を有する光を透過する偏光フィルタと、
前記偏光フィルタを通過した光が入射し、且つ、特定の周波数域の光を透過する光学フィルタとを備え、
前記偏光フィルタに入射した光は、前記偏光フィルタを通過することにより、直線偏光になり、
前記光学フィルタは、
所定の方向に等間隔に並ぶ複数のスリットが形成された金属層と、
前記金属層に接して形成された誘電体層とを含み、
前記複数のスリットが延びる方向は、前記偏光フィルタを通過した光の偏光方向に垂直である、分光デバイス。 - 請求項1に記載の分光デバイスであって、
前記光学フィルタは、
第1フィルタと、
前記第1フィルタの隣に配置された第2フィルタとを含み、
前記第1フィルタにおける前記複数のスリットの間隔は、前記第2フィルタにおける前記複数のスリットの間隔と異なっている、分光デバイス。 - 請求項1に記載の分光デバイスであって、
前記光学フィルタは、
第1フィルタと、
前記第1フィルタの隣に配置された第2フィルタとを含み、
前記第1フィルタにおける前記複数のスリットが延びる方向は、前記第2フィルタにおける前記複数のスリットが延びる方向と異なっている、分光デバイス。 - 請求項3に記載の分光デバイスであって、
前記偏光フィルタは、前記光学フィルタに対して回転可能に配置されており、
前記偏光フィルタの前記光学フィルタに対する位置は、
前記第1フィルタにおける前記複数のスリットの延びる方向が、前記偏光フィルタを通過した光の偏光方向に垂直となる第1位置と、
前記第2フィルタにおける前記複数のスリットの延びる方向が、前記偏光フィルタを通過した光の偏光方向に垂直となる第2位置とを含む、分光デバイス。 - 分光デバイスと、
前記分光デバイスを通過した光を検出する受光部とを備え、
前記分光デバイスは、
入射する光のうち、特定の偏光成分を有する光を透過する偏光フィルタと、
前記偏光フィルタを通過した光が入射し、且つ、特定の周波数域の光を透過する光学フィルタとを備え、
前記偏光フィルタに入射した光は、前記偏光フィルタを通過することにより、直線偏光になり、
前記光学フィルタは、
所定の方向に等間隔に並ぶ複数のスリットが形成された金属層と、
前記金属層に接して形成された誘電体層とを含み、
前記複数のスリットが延びる方向は、前記偏光フィルタを通過した光の偏光方向に垂直である、撮像装置。 - 請求項5に記載の撮像装置であって、さらに、
前記光学フィルタに対して、光が入射する側に配置された第1レンズを備え、
前記第1レンズに入射した光は、前記第1レンズを通過することにより、平面波になる、撮像装置。 - 請求項6に記載の撮像装置であって、さらに、
前記光学フィルタと前記受光部との間に配置された第2レンズを備え、
前記第2レンズに入射した光は、前記第2レンズを通過することにより、前記受光部に向かって集光される、撮像装置。 - 請求項5〜7の何れか1項に記載の撮像装置であって、さらに、
被写体に向かって光を発する光源を備え、
前記光源は、前記偏光フィルタにおける光の入射側に配置され、
前記被写体は、前記偏光フィルタを通過した光が照射される位置に配置され、
前記光学フィルタは、前記被写体に照射された光のうち、前記被写体によって反射された光が入射する位置に配置されている、撮像装置。 - 請求項5〜8の何れか1項に記載の撮像装置であって、
受光部は、
第1受光部と、
前記第1受光部の隣に配置される第2受光部とを備え、
前記光学フィルタは、
第1フィルタと、
前記第1フィルタの隣に配置された第2フィルタとを含み、
前記第1フィルタにおける前記複数のスリットが延びる方向は、前記第2フィルタにおける前記複数のスリットが延びる方向と異なっており、
前記撮像装置は、さらに、
前記第1受光部の検出値と、前記第2受光部の検出値との差分を演算する差分演算部と、
前記差分演算部の演算結果を用いて、前記受光部が検出した光のスペクトル特性を演算するスペクトル特性演算部とを含む、撮像装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015228116A JP2017097121A (ja) | 2015-11-20 | 2015-11-20 | 分光デバイス及び撮像装置 |
US15/341,063 US20170146707A1 (en) | 2015-11-20 | 2016-11-02 | Spectral device and image-pickup device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015228116A JP2017097121A (ja) | 2015-11-20 | 2015-11-20 | 分光デバイス及び撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017097121A true JP2017097121A (ja) | 2017-06-01 |
Family
ID=58721710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015228116A Pending JP2017097121A (ja) | 2015-11-20 | 2015-11-20 | 分光デバイス及び撮像装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20170146707A1 (ja) |
JP (1) | JP2017097121A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11656386B2 (en) * | 2015-07-05 | 2023-05-23 | Purdue Research Foundation | Tunable plasmonic color device and method of making the same |
CN110703375B (zh) * | 2019-10-11 | 2020-11-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种像元级多光谱滤光片的制备方法 |
CN110864807B (zh) * | 2019-11-26 | 2021-06-25 | 北华航天工业学院 | 一种无人机载轻小型多光谱成像***及其成像方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004054130A (ja) * | 2002-07-23 | 2004-02-19 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置、及び電子機器 |
JP2007232456A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Canon Inc | 光学素子、屈折率センサ、および化学センサ |
US20130228687A1 (en) * | 2010-09-17 | 2013-09-05 | Centre National De La Recherche Scientifique-Cnrs | Spectral band-pass filter having high selectivity and controlled polarization |
JP2013187812A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Ricoh Co Ltd | 撮像装置、分光情報作成方法 |
JP2014010093A (ja) * | 2012-07-02 | 2014-01-20 | Seiko Epson Corp | 分光画像撮像装置 |
CN104792417A (zh) * | 2015-04-10 | 2015-07-22 | 中国科学院光电研究院 | 一种完全偏振高光谱紧凑轻便型成像装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5709040B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2015-04-30 | 株式会社リコー | 分光画像撮像装置 |
JP2015106107A (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-08 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学モジュール、および電子機器 |
-
2015
- 2015-11-20 JP JP2015228116A patent/JP2017097121A/ja active Pending
-
2016
- 2016-11-02 US US15/341,063 patent/US20170146707A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004054130A (ja) * | 2002-07-23 | 2004-02-19 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置、及び電子機器 |
JP2007232456A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Canon Inc | 光学素子、屈折率センサ、および化学センサ |
US20130228687A1 (en) * | 2010-09-17 | 2013-09-05 | Centre National De La Recherche Scientifique-Cnrs | Spectral band-pass filter having high selectivity and controlled polarization |
JP2013187812A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Ricoh Co Ltd | 撮像装置、分光情報作成方法 |
JP2014010093A (ja) * | 2012-07-02 | 2014-01-20 | Seiko Epson Corp | 分光画像撮像装置 |
CN104792417A (zh) * | 2015-04-10 | 2015-07-22 | 中国科学院光电研究院 | 一种完全偏振高光谱紧凑轻便型成像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170146707A1 (en) | 2017-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5620576B2 (ja) | 特に多重チャンネルの周波数選択的測定のための光学的バンドパスフィルタシステム | |
TWI686939B (zh) | 具有串擾抑制濾光器陣列的背照式彩色影像感測器及其製造方法 | |
CN103196562B (zh) | 包括集成至少一个衍射光栅的封装的红外检测器 | |
US20170059754A1 (en) | Optical filtering device including fabry-perot cavities comprising a structured layer and having different thicknesses | |
US9658372B2 (en) | Optical filtering structure in the visible and/or infrared domain | |
JP7396898B2 (ja) | 赤外マルチスペクトル撮像用の装置及び方法 | |
US9929206B2 (en) | Integrated circuit and method for manufacturing integrated circuit | |
JP7326581B2 (ja) | 撮像装置及び方法 | |
US10566377B2 (en) | Self-aligned optical grid on image sensor | |
FI125690B (en) | Mirror for Fabry-Perot interferometer and method for its manufacture | |
CN113841034A (zh) | 用宽带滤光片与光强探测器集成的高动态范围光学传感器 | |
US11650099B2 (en) | Spectral sensor system with spatially modified center wavelengths | |
CN107192349B (zh) | 光检测装置 | |
JP2017097121A (ja) | 分光デバイス及び撮像装置 | |
JP2022002407A (ja) | 導波路型フィルタ付き光学部品 | |
CN116034480A (zh) | 成像装置和电子装置 | |
JPWO2016103365A1 (ja) | 固体撮像装置および撮像装置 | |
CN109429025B (zh) | 图像传感器和成像装置 | |
US10139339B2 (en) | Colour sensor with angle-selective structures | |
US20230280210A1 (en) | Spectral sensor system with spatially modified center wavelengths | |
JP2016219566A (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
US10818711B2 (en) | Narrowband light filters | |
KR102605694B1 (ko) | 다중 투과 광필터 | |
WO2021161961A1 (ja) | 光学フィルタ及びその製造方法、光センサ並びに固体撮像素子 | |
KR100649030B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190730 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200225 |