JP2017096826A - Torque measurement sensor and bearing with sensor - Google Patents

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晃之 中村
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博久 佐野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a torque measurement sensor having a structure that allows for improving reliability of torque measurement.SOLUTION: A detection unit 4 consists of eight coil layers 6-9, 6-9 stacked in a direction opposite a detection target unit 3. A torque measurement bridge circuit is configured using four impedance units comprising detection coils constituting four coil layers 6-9 located on a side closer to the detection target unit 3, and another torque measurement bridge circuit is configured using four impedance units comprising detection coils constituting four coil layers 6-9 located on a side further from the detection target unit 3.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、各種機械装置に組み込んで使用され、被検出部材に加わるトルクを測定可能とした磁歪式のトルク測定用センサ、及び、センサ付軸受に関する。   The present invention relates to a magnetostrictive torque measurement sensor and a sensor-equipped bearing that are used by being incorporated in various mechanical devices and are capable of measuring torque applied to a member to be detected.

自動車の分野では、近年、パワートレイン(動力伝達機構)を構成するトルク伝達部材により伝達しているトルクを測定し、その測定結果を利用して動力源(エンジン、電動モータ)の出力制御や変速機の変速制御を実行するシステムの開発が進んでいる。   In the field of automobiles, in recent years, torque transmitted by a torque transmission member that constitutes a powertrain (power transmission mechanism) is measured, and output control and shift control of a power source (engine, electric motor) are performed using the measurement results. The development of a system that executes gear shift control of aircraft is in progress.

一方、特許文献1には、回転軸により伝達しているトルクを、前記回転軸に生じる逆磁歪効果を利用して測定する、磁歪式のトルク測定用センサが記載されている。この様な特許文献1に記載されたトルク測定用センサは、前記回転軸に所定方向のトルクが負荷された場合にインダクタンスを増大させる複数ずつの検出コイルから成る1対のインピーダンス部と、前記回転軸に所定方向のトルクが負荷された場合にインダクタンスを減少させる複数ずつの検出コイルから成る1対のインピーダンス部との、合計4つのインピーダンス部を四辺に配置した、ブリッジ回路を備えている。そして、前記ブリッジ回路に交流電圧を印加した状態での、前記ブリッジ回路の中点電位差に基づいて、前記トルクを測定できる様にしている。   On the other hand, Patent Document 1 describes a magnetostrictive torque measurement sensor that measures the torque transmitted by a rotating shaft using the inverse magnetostrictive effect generated in the rotating shaft. Such a torque measurement sensor described in Patent Document 1 includes a pair of impedance units each including a plurality of detection coils that increase inductance when torque in a predetermined direction is applied to the rotation shaft, and the rotation A bridge circuit is provided in which a total of four impedance parts are arranged on four sides, including a pair of impedance parts each consisting of a plurality of detection coils that reduce inductance when torque in a predetermined direction is applied to the shaft. Then, the torque can be measured based on a midpoint potential difference of the bridge circuit in a state where an AC voltage is applied to the bridge circuit.

前記特許文献1に記載されたトルク測定用センサの場合には、前記ブリッジ回路が故障すると、トルク測定を継続する事ができなくなる。   In the case of the torque measurement sensor described in Patent Document 1, if the bridge circuit fails, the torque measurement cannot be continued.

特許4888015号公報Japanese Patent No. 4888015

本発明は、上述の様な事情に鑑み、磁歪式のトルク測定用センサに関して、1つのブリッジ回路が故障した場合でも、トルク測定を継続して行える構造を実現すべく発明したものである。   In view of the circumstances as described above, the present invention has been invented to realize a structure capable of continuously performing torque measurement even when one bridge circuit fails, with respect to a magnetostrictive torque measuring sensor.

本発明のトルク測定用センサは、トルクを負荷される被検出部材に設けられ、前記トルクに応じた捩り応力が加わる事により透磁率を変化させる被検出部に対向する、複数のコイル層を備える。
前記各コイル層は、前記被検出部との対向方向に積層配置されている。
又、前記各コイル層は、それぞれ(例えば、前記被検出部材の円周方向に並べて配置された)複数個の検出コイルを備えている。
又、前記各コイル層を構成する各検出コイルのうちの一部の検出コイルから成る4つのインピーダンス部を四辺に配置したブリッジ回路と、前記各コイル層を構成する各検出コイルのうちの残りの検出コイルから成る4つのインピーダンス部を四辺に配置したブリッジ回路とが構成されている。
そして、前記各ブリッジ回路は、交流電圧を印加した状態で、前記被検出部材に負荷されるトルクに応じた中点電位差をそれぞれ発生する。
A torque measurement sensor according to the present invention includes a plurality of coil layers that are provided on a detected member to which torque is applied, and that are opposed to a detected portion that changes magnetic permeability by applying torsional stress according to the torque. .
Each of the coil layers is laminated in a direction facing the detected portion.
Each of the coil layers includes a plurality of detection coils (for example, arranged in the circumferential direction of the detected member).
In addition, a bridge circuit in which four impedance portions including a part of detection coils among the detection coils constituting each coil layer are arranged on four sides and the remaining of the detection coils constituting each coil layer. A bridge circuit in which four impedance parts including detection coils are arranged on four sides is configured.
Each bridge circuit generates a midpoint potential difference corresponding to the torque applied to the detected member in a state where an AC voltage is applied.

本発明のトルク測定用センサを実施する場合には、例えば請求項2に記載した発明の様に、前記コイル層の総数を8つにすると共に、前記インピーダンス部を前記コイル層ごとに1つずつ構成する事ができる。
この場合には、例えば、前記各ブリッジ回路に関して、4つのインピーダンス部(4つのコイル層)のうち、2つのインピーダンス部を構成する(2つのコイル層を構成する)各検出コイルを、前記被検出部材に所定方向のトルクが負荷された場合にインダクタンスを増大させるものとし、残りの2つのインピーダンス部を構成する(残りの2つのコイル層を構成する)各検出コイルを、前記被検出部材に所定方向のトルクが負荷された場合にインダクタンスを減少させるものとする事ができる。
When implementing the torque measurement sensor according to the present invention, for example, as in the invention described in claim 2, the total number of the coil layers is set to eight, and the impedance section is set to one for each coil layer. Can be configured.
In this case, for example, with respect to each bridge circuit, each of the detection coils constituting two impedance parts (constituting two coil layers) among the four impedance parts (four coil layers) is detected by the detected circuit. When the member is loaded with a torque in a predetermined direction, the inductance is increased, and each of the detection coils constituting the remaining two impedance portions (which constitutes the remaining two coil layers) is predetermined on the member to be detected. Inductance can be reduced when directional torque is applied.

又、本発明のトルク測定用センサを実施する場合には、例えば、前記コイル層の総数を4つにすると共に、前記インピーダンス部を前記コイル層ごとに2つずつ構成する事もできる。
この場合には、例えば、前記各ブリッジ回路に関して、4つのインピーダンス部(2つのコイル層)のうち、2つのインピーダンス部を構成する(1つのコイル層を構成する)各検出コイルを、前記被検出部材に所定方向のトルクが負荷された場合にインダクタンスを増大させるものとし、残りの2つのインピーダンス部を構成する(残りの1つのコイル層を構成する)各検出コイルを、前記被検出部材に所定方向のトルクが負荷された場合にインダクタンスを減少させるものとする事ができる。
When the torque measuring sensor according to the present invention is implemented, for example, the total number of the coil layers may be four, and two impedance portions may be formed for each of the coil layers.
In this case, for example, with respect to each bridge circuit, each of the detection coils constituting two impedance parts (constituting one coil layer) out of four impedance parts (two coil layers) is to be detected. Inductance is increased when torque in a predetermined direction is applied to the member, and each of the detection coils constituting the remaining two impedance portions (forming the remaining one coil layer) is predetermined on the detected member. Inductance can be reduced when directional torque is applied.

又、本発明のトルク測定用センサを実施する場合に、前記各コイル層を、前記被検出部材の軸方向側面に設けられた前記被検出部に対し、前記被検出部材の軸方向に対向させるものとする場合には、例えば、前記被検出部材に所定方向のトルクが負荷された場合にインダクタンスを増大させる検出コイルを、前記被検出部材の中心軸を中心とする放射方向に対し、前記放射方向の外側に向かう程、前記被検出部材の円周方向片側に向かう方向に(好ましくは40〜50゜、より好ましくは45゜)傾斜した片側傾斜辺部を有するものとする事ができる。これと共に、前記被検出部材に所定方向のトルクが負荷された場合にインダクタンスを減少させる検出コイルを、前記被検出部材の中心軸を中心とする放射方向に対し、前記放射方向の外側に向かう程、前記被検出部材の円周方向他側に向かう方向に(好ましくは40〜50゜、より好ましくは45゜)傾斜した他側傾斜辺部を有するものとする事ができる。   When the torque measuring sensor of the present invention is implemented, the coil layers are opposed to the detected portion provided on the axial side surface of the detected member in the axial direction of the detected member. In this case, for example, a detection coil that increases the inductance when a torque in a predetermined direction is applied to the detected member, and the radiation of the detection coil with respect to a radial direction centered on the central axis of the detected member. The one-side inclined side portion inclined in the direction toward one side in the circumferential direction of the member to be detected (preferably 40 to 50 °, more preferably 45 °) can be provided toward the outside in the direction. At the same time, the detection coil that reduces the inductance when a torque in a predetermined direction is applied to the detected member is more outward from the radial direction with respect to the radial direction centered on the central axis of the detected member. The other side inclined side portion inclined in the direction toward the other circumferential side of the member to be detected (preferably 40 to 50 °, more preferably 45 °) can be provided.

又、本発明のトルク測定用センサを実施する場合に、前記各コイル層を、前記被検出部材の周面に設けられた前記被検出部に対し、前記被検出部材の中心軸を中心とする放射方向(径方向)に対向させるものとする場合には、例えば、前記被検出部材に所定方向のトルクが負荷された場合にインダクタンスを増大させる検出コイルを、前記被検出部材の軸方向に対し、前記軸方向の片側に向かう程、前記被検出部材の円周方向片側に向かう方向に(好ましくは40〜50゜、より好ましくは45゜)傾斜した片側傾斜辺部を有するものとする事ができる。これと共に、前記被検出部材に所定方向のトルクが負荷された場合にインダクタンスを減少させる検出コイルを、前記被検出部材の軸方向に対し、前記軸方向の片側に向かう程、前記被検出部材の円周方向他側に向かう方向に(好ましくは40〜50゜、より好ましくは45゜)傾斜した他側傾斜辺部を有するものとする事ができる。   Further, when the torque measuring sensor of the present invention is implemented, the coil layers are centered on the central axis of the detected member with respect to the detected portion provided on the peripheral surface of the detected member. When facing the radial direction (radial direction), for example, a detection coil that increases the inductance when a torque in a predetermined direction is applied to the detected member, with respect to the axial direction of the detected member. Further, the one-side inclined side portion which is inclined toward the one side in the circumferential direction of the member to be detected (preferably 40 to 50 °, more preferably 45 °) toward one side in the axial direction. it can. At the same time, the detection coil that reduces the inductance when a torque in a predetermined direction is applied to the detected member, the further toward the one side in the axial direction with respect to the axial direction of the detected member, It may have an other side inclined side portion inclined in the direction toward the other side in the circumferential direction (preferably 40 to 50 °, more preferably 45 °).

又、本発明のセンサ付軸受は、軸受と、前記軸受のうち、使用時にも回転しない部分(例えば、静止輪)に対して支持された、上述の様な本発明のトルク測定用センサとを備える。   The sensor-equipped bearing of the present invention comprises a bearing and the torque measuring sensor of the present invention as described above, which is supported on a portion of the bearing that does not rotate during use (for example, a stationary wheel). Prepare.

上述の様に構成する本発明のトルク測定用センサ及びセンサ付軸受の場合には、トルクを測定する為のブリッジ回路を2つ備えている。この為、何れか一方のブリッジ回路が故障した場合でも、他方のブリッジ回路により、トルクの測定を継続する事ができる。   In the case of the torque measuring sensor and the sensor-equipped bearing of the present invention configured as described above, two bridge circuits for measuring torque are provided. Therefore, even when one of the bridge circuits fails, the torque measurement can be continued by the other bridge circuit.

本発明の実施の形態の第1例に関する、トルク測定用センサを使用状態で模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the sensor for torque measurement regarding the 1st example of embodiment of this invention in use condition. 同じく、トルク測定用センサの検出部を構成する8つのコイル層を、図1の右方から見た図。Similarly, the figure which looked at eight coil layers which comprise the detection part of the sensor for torque measurement from the right side of FIG. 同じく、トルク測定用センサの検出部を構成する8つのコイル層の分解斜視図。Similarly, the exploded perspective view of the eight coil layers which comprise the detection part of the sensor for torque measurement. 同じく、第一〜第四コイル層をそれぞれ単体の状態で図1の右方から見た図。Similarly, the figure which looked at the 1st-4th coil layer from the right side of Drawing 1 in the state of a simple substance, respectively. 同じく、図4の(A)(D)の上端部を拡大して示す図(A)、及び、図4の(B)(C)の上端部を拡大して示す図(B)。Similarly, the figure (A) which expands and shows the upper end part of (A) and (D) of Drawing 4, and the figure (B) which expands and shows the upper end part of (B) and (C) of Drawing 4. 同じく、トルク測定用センサを構成する2つのブリッジ回路を示す図。Similarly, the figure which shows the two bridge circuits which comprise the sensor for torque measurement. 本発明の実施の形態の第2例に関する、トルク測定用センサを使用状態で模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the sensor for torque measurement regarding the 2nd example of embodiment of this invention in use condition. 同じく、トルク測定用センサの検出部を構成する4つのコイル層を、図7の右方から見た図。Similarly, the figure which looked at the four coil layers which comprise the detection part of the sensor for torque measurement from the right side of FIG. 同じく、トルク測定用センサの検出部を構成する4つのコイル層の分解斜視図。Similarly, the disassembled perspective view of four coil layers which comprise the detection part of the sensor for torque measurement. 同じく、第一、第二コイル層をそれぞれ単体の状態で図7の右方から見た図。Similarly, the figure which looked at the 1st and 2nd coil layer from the right side of Drawing 7 in the state of a simple substance, respectively. 本発明の実施の形態の第3例に関する、図10と同様の図。The figure similar to FIG. 10 regarding the 3rd example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態の第4例に関する、一部を省略して示す半部断面図。The half part sectional view which abbreviate | omits one part and is shown regarding the 4th example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態の第5例に関する、一部を省略して示す半部断面図。The half part sectional view which abbreviate | omits one part and is shown regarding the 5th example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態の第6例に関する、トルク測定用センサを使用状態で径方向外側から見た図(A)、及び、(A)を右方から見た図(B)。The figure (A) which looked at the sensor for torque measurement from the diameter direction outside in use state about the 6th example of an embodiment of the invention, and the figure (B) which looked at (A) from the right. 同じく、トルク測定用センサの検出部を構成する8つのコイル層を、径方向外側から見た展開図。Similarly, the expanded view which looked at eight coil layers which comprise the detection part of the sensor for torque measurement from the radial direction outer side. 同じく、第一〜第四コイル層をそれぞれ単体の状態で径方向外側から見た展開図。Similarly, the expanded view which looked at the 1st-4th coil layer from the radial direction outer side in the state of each single. 本発明の実施の形態の第7例に関する、トルク測定用センサを使用状態で径方向外側から見た図(A)、及び、(A)を右方から見た図(B)。The figure (A) which looked at the sensor for torque measurement about the 7th example of an embodiment of the invention from the diameter direction outside in use condition, and the figure (B) which looked at (A) from the right. 同じく、トルク測定用センサの検出部を構成する4つのコイル層を、径方向外側から見た展開図。Similarly, the expanded view which looked at four coil layers which comprise the detection part of the sensor for torque measurement from the radial direction outer side. 同じく、第一、第二コイル層をそれぞれ単体の状態で径方向外側から見た展開図。Similarly, the expanded view which looked at the 1st and 2nd coil layer from the radial direction outer side in the state of a single body, respectively. 本発明の実施の形態の第8例に関する、図19と同様の図。The figure similar to FIG. 19 regarding the 8th example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態の第9例に関する、一部を省略して示す半部断面図。The half part sectional view which abbreviate | omits one part and is shown regarding the 9th example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態の第10例に関する、一部を省略して示す半部断面図。Sectional drawing which abbreviate | omits and shows a 10th example of embodiment of this invention.

[実施の形態の第1例]
本発明の実施の形態の第1例に就いて、図1〜6を参照しつつ説明する。
本例のトルク測定用センサ1は、例えば図1に略示する様な被検出部材2と共に、トルク測定装置を構成する。
[First example of embodiment]
A first example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The torque measuring sensor 1 of this example constitutes a torque measuring device together with a member 2 to be detected as schematically shown in FIG.

前記被検出部材2は、各種機械装置を構成する(例えば、自動車のパワートレインを構成する)、歯車、プーリ、フライホイール、スプロケット、継手用フランジ、或いは、エンジンのクランクシャフトとトルクコンバータのケースとをトルク伝達可能に連結するドライブプレート等の、トルクを負荷される(伝達する)円盤状の部材であり、所定の使用箇所に組み付けられている。前記被検出部材2は、被検出部3を有しており、且つ、少なくとも前記被検出部3を含む一部分又は全体を、磁歪特性を有する材料により造られている。特に、本例の場合には、前記磁歪特性を有する材料として、磁歪特性の良い鉄鋼{純鉄や、SUS(ステンレス鋼)、SNCM(ニッケルクロムモリブデン鋼)等の鉄系合金鋼や、炭素鋼}を使用している。又、本例の場合には、前記被検出部材2の軸方向片側面(図1の右側面)の径方向一部分(図1の点P、Q同士の間に挟まれた、前記被検出部材2と同軸の部分)を、円周方向及び径方向に関して軸方向位置が変化しない円輪状の被検出部3としている。   The detected member 2 constitutes various mechanical devices (for example, constitutes a power train of an automobile), a gear, a pulley, a flywheel, a sprocket, a joint flange, or an engine crankshaft and a torque converter case. Is a disk-like member to which torque is applied (transmits), such as a drive plate that connects the two in a manner that allows torque transmission, and is assembled at a predetermined place of use. The detected member 2 has a detected portion 3, and at least a part or the whole including the detected portion 3 is made of a material having magnetostrictive characteristics. In particular, in the case of this example, as the material having the magnetostrictive characteristics, steels having good magnetostrictive characteristics {pure iron, ferrous alloy steels such as SUS (stainless steel) and SNCM (nickel chromium molybdenum steel), and carbon steels. } Is used. Further, in the case of this example, the detected member sandwiched between the points P and Q in FIG. 1 on one axial side surface (the right side surface in FIG. 1) of the detected member 2 in the radial direction. 2 is a ring-shaped detected portion 3 whose axial position does not change in the circumferential direction and the radial direction.

又、前記トルク測定用センサ1は、円輪状の検出部4と、前記検出部4を含んで構成される1対のブリッジ回路5a、5b(図6)とを備えている。この様なトルク測定用センサ1は、前記検出部4を前記被検出部3と同軸に配置すると共に、前記検出部4を前記被検出部3に対し軸方向に近接対向させた(全周に亙り軸方向間隔を一定とした)状態で、ハウジング等の使用時にも回転しない部分に支持されている。   The torque measuring sensor 1 includes a ring-shaped detection unit 4 and a pair of bridge circuits 5a and 5b (FIG. 6) configured to include the detection unit 4. In such a torque measuring sensor 1, the detection unit 4 is arranged coaxially with the detected unit 3, and the detection unit 4 is closely opposed in the axial direction to the detected unit 3 (on the entire circumference). It is supported by a portion that does not rotate when the housing or the like is used in a state in which the interval in the twisting axis direction is constant.

前記検出部4は、8つのコイル層(第一〜第四コイル層6〜9、及び、第一〜第四コイル層6〜9)を備える。これら8つのコイル層(第一〜第四コイル層6〜9、及び、第一〜第四コイル層6〜9)は、それぞれ円輪状に構成されると共に、互いに同軸に配置された状態で、軸方向に積層配置されている。これら8つのコイル層(第一〜第四コイル層6〜9、及び、第一〜第四コイル層6〜9)のうち、前記被検出部3に近い側(図1の左側)に位置する4つのコイル層(第一〜第四コイル層6〜9)から成る一方のコイル層グループと、前記被検出部3から遠い側(図1の右側)に位置する4つのコイル層(第一〜第四コイル層6〜9)から成る他方のコイル層グループとは、前記被検出部3からの軸方向距離が異なる点以外は、互いに同じ構成を有している。この為、本例の場合には、便宜上、前記一方のコイル層グループを構成する第一〜第四コイル層と、前記他方のコイル層グループを構成する第一〜第四コイル層とを、同じ符号6〜9で表す事にする。
又、前記両ブリッジ回路5a、5bのうち、一方のブリッジ回路5aは、前記一方のコイル層グループに就いて構成されており、他方のブリッジ回路5bは、前記他方のコイル層グループに就いて構成されている。
The detection unit 4 includes eight coil layers (first to fourth coil layers 6 to 9 and first to fourth coil layers 6 to 9). These eight coil layers (first to fourth coil layers 6 to 9 and first to fourth coil layers 6 to 9) are each configured in an annular shape and arranged coaxially with each other, Laminated in the axial direction. Of these eight coil layers (first to fourth coil layers 6 to 9 and first to fourth coil layers 6 to 9), the coil layer is located on the side close to the detected portion 3 (left side in FIG. 1). One coil layer group composed of four coil layers (first to fourth coil layers 6 to 9) and four coil layers (first to fourth) located on the side far from the detected portion 3 (right side in FIG. 1). The other coil layer group consisting of the fourth coil layers 6 to 9) has the same configuration except that the axial distance from the detected portion 3 is different. For this reason, in the case of this example, for convenience, the first to fourth coil layers constituting the one coil layer group and the first to fourth coil layers constituting the other coil layer group are the same. These are represented by reference numerals 6-9.
Of the bridge circuits 5a and 5b, one bridge circuit 5a is configured for the one coil layer group, and the other bridge circuit 5b is configured for the other coil layer group. Has been.

前記両コイル層グループを構成する、前記第一〜第四コイル層6〜9は、軸方向に関して前記被検出部3に近い側から、第一コイル層6、第二コイル層7、第三コイル層8、第四コイル層9の順に並べた状態で積層配置されている。又、前記第一コイル層6と前記第二コイル層7とは、図示しない1枚の基板(フレキシブル基板を含む)の片側面と他側面とに分けて成形されている。又、前記第三コイル層8と前記第四コイル層9とは、図示しない別の1枚の基板(フレキシブル基板を含む)の片側面と他側面とに分けて成形されている。又、前記第二コイル層7と前記第三コイル層8との間には、図示しない絶縁層が設けられている。更に、前記一方のコイル層グループの第四コイル層9と、前記他方のコイル層グループの第一コイル層6との間にも、図示しない絶縁層が設けられている。   The first to fourth coil layers 6 to 9 constituting both the coil layer groups are, from the side close to the detected portion 3 in the axial direction, the first coil layer 6, the second coil layer 7, and the third coil. The layers 8 and the fourth coil layer 9 are stacked and arranged in this order. The first coil layer 6 and the second coil layer 7 are formed separately on one side and the other side of a single substrate (including a flexible substrate) (not shown). The third coil layer 8 and the fourth coil layer 9 are formed separately on one side and the other side of another substrate (including a flexible substrate) (not shown). An insulating layer (not shown) is provided between the second coil layer 7 and the third coil layer 8. Furthermore, an insulating layer (not shown) is also provided between the fourth coil layer 9 of the one coil layer group and the first coil layer 6 of the other coil layer group.

又、図4の(A){(B)、(C)、(D)}に示す様に、前記第一コイル層6(前記第二コイル層7、前記第三コイル層8、前記第四コイル層9)は、複数個の第一検出コイル10、10(第二検出コイル11、11、第三検出コイル12、12、第四検出コイル13、13)を備える。これら各第一検出コイル10、10(第二検出コイル11、11、第三検出コイル12、12、第四検出コイル13、13)は、それぞれの軸方向を前記被検出部3の軸方向に一致させた状態で、前記被検出部3と軸方向に対向可能な円周上に、円周方向に関して等ピッチに並べて配置されている。又、前記各第一検出コイル10、10(第二検出コイル11、11、第三検出コイル12、12、第四検出コイル13、13)は、円周方向に隣り合うもの同士{但し、円周方向の何れか1箇所で互いに隣り合う1対の第一検出コイル10、10(第二検出コイル11、11、第三検出コイル12、12、第四検出コイル13、13)同士を除く。}がそれぞれ直列に接続される事により、前記ブリッジ回路5a(5b)を構成する第一インピーダンス部18(第二インピーダンス部19、第三インピーダンス部20、第四インピーダンス部21)を構成している。尚、図2〜5では、円周方向に隣り合う第一検出コイル10、10(第二検出コイル11、11、第三検出コイル12、12、第四検出コイル13、13)同士を接続する配線(ビアを含む配線構造)の図示を省略している。   Further, as shown in (A) {(B), (C), (D)} of FIG. 4, the first coil layer 6 (the second coil layer 7, the third coil layer 8, the fourth coil layer). The coil layer 9) includes a plurality of first detection coils 10, 10 (second detection coils 11, 11, third detection coils 12, 12, and fourth detection coils 13, 13). Each of these first detection coils 10, 10 (second detection coils 11, 11, third detection coils 12, 12, fourth detection coils 13, 13) has their respective axial directions in the axial direction of the detected part 3. In a state of being matched, they are arranged side by side at an equal pitch in the circumferential direction on the circumference that can face the detected portion 3 in the axial direction. The first detection coils 10 and 10 (second detection coils 11 and 11, third detection coils 12 and 12, and fourth detection coils 13 and 13) are adjacent to each other in the circumferential direction. A pair of first detection coils 10 and 10 (second detection coils 11 and 11, third detection coils 12 and 12, and fourth detection coils 13 and 13) adjacent to each other at any one position in the circumferential direction are excluded. } Are connected in series to form the first impedance part 18 (second impedance part 19, third impedance part 20, fourth impedance part 21) constituting the bridge circuit 5a (5b). . 2 to 5, the first detection coils 10 and 10 (second detection coils 11 and 11, third detection coils 12 and 12, and fourth detection coils 13 and 13) adjacent in the circumferential direction are connected to each other. Illustration of wiring (wiring structure including vias) is omitted.

尚、前記第一コイル層6を構成する第一検出コイル10、10の総数と、前記第二コイル層7を構成する第二検出コイル11、11の総数と、前記第三コイル層8を構成する第三検出コイル12、12の総数と、前記第四コイル層9を構成する第四検出コイル13、13の総数とを、互いに等しくしている。又、本例の場合には、前記第一〜第四コイル層6〜9同士で、前記第一〜第四検出コイル10〜13の円周方向に関する配置の位相を互いに一致させている。   The total number of first detection coils 10 and 10 constituting the first coil layer 6, the total number of second detection coils 11 and 11 constituting the second coil layer 7, and the third coil layer 8 are constituted. The total number of the third detection coils 12 and 12 and the total number of the fourth detection coils 13 and 13 constituting the fourth coil layer 9 are made equal to each other. In the case of this example, the first to fourth coil layers 6 to 9 have the same arrangement phase in the circumferential direction of the first to fourth detection coils 10 to 13.

又、前記第一〜第四検出コイル10〜13の平面視形状(軸方向から見た形状)は、それぞれ略菱形である。即ち、前記第一〜第四検出コイル10〜13は、前記第一〜第四コイル層6〜9の径方向に関して両側に存在する1対の径方向側辺部(14a、14b、14c、14d)、(15a、15b、15c、15d)と、前記第一〜第四コイル層6〜9の円周方向に関して両側に存在する1対の円周方向側辺部(16a、16b、16c、16d)、(17a、17b、17c、17d)とを備える。このうちの各径方向側辺部(14a、14b、14c、14d)、(15a、15b、15c、15d)の平面視形状は、それぞれ前記第一〜第四コイル層6〜9の中心軸を中心とする円弧状、又は、当該円弧に接する直線状になっている。又、前記各円周方向側辺部(16a、16b、16c、16d)、(17a、17b、17c、17d)の平面視形状は、それぞれ前記第一〜第四コイル層6〜9の中心軸を中心とする放射方向に対し、45゜傾斜した直線状になっている。但し、前記第一、第四各検出コイル10、13を構成する円周方向側辺部(16a、16d)、(17a、17d)と、前記第二、第三各検出コイル11、12を構成する円周方向側辺部(16b、16c)、(17b、17c)とで、前記放射方向に対する45゜の傾斜方向が、互いに逆になっている。即ち、前記第一、第四各検出コイル10、13を構成する円周方向側辺部(16a、16d)、(17a、17d)は、前記放射方向に対し、前記放射方向の外側に向かう程円周方向片側(図2〜5の時計方向)に向かう方向に45゜傾斜(前記放射方向に対し+45゜傾斜)している。これに対し、前記第二、第三各検出コイル11、12を構成する円周方向側辺部(16b、16c)、(17b、17c)は、前記放射方向に対し、前記放射方向の外側に向かう程円周方向他側(図2〜5の反時計方向)に向かう方向に45゜傾斜(前記放射方向に対し−45゜傾斜)している。   Moreover, the planar view shape (shape seen from the axial direction) of said 1st-4th detection coils 10-13 is a substantially rhombus, respectively. That is, the first to fourth detection coils 10 to 13 have a pair of radial side portions (14a, 14b, 14c, and 14d) that exist on both sides with respect to the radial direction of the first to fourth coil layers 6 to 9. ), (15a, 15b, 15c, 15d) and a pair of circumferential side portions (16a, 16b, 16c, 16d) existing on both sides in the circumferential direction of the first to fourth coil layers 6-9. ), (17a, 17b, 17c, 17d). Of these, the shape in plan view of each radial side portion (14a, 14b, 14c, 14d), (15a, 15b, 15c, 15d) is the central axis of the first to fourth coil layers 6-9, respectively. It has a circular arc shape at the center or a straight line shape in contact with the circular arc. Further, the shape of each of the circumferential side edges (16a, 16b, 16c, 16d) and (17a, 17b, 17c, 17d) in plan view is the central axis of the first to fourth coil layers 6-9, respectively. It is a straight line inclined by 45 ° with respect to the radial direction centered at. However, the circumferential side portions (16a, 16d), (17a, 17d) constituting the first and fourth detection coils 10, 13 and the second and third detection coils 11, 12 are constituted. In the circumferential side portions (16b, 16c), (17b, 17c), the inclination directions of 45 ° with respect to the radial direction are opposite to each other. That is, the circumferential side portions (16a, 16d) and (17a, 17d) constituting the first and fourth detection coils 10 and 13 are closer to the outside in the radial direction than the radial direction. It is inclined 45 ° (inclined + 45 ° with respect to the radial direction) toward one side in the circumferential direction (clockwise in FIGS. 2 to 5). On the other hand, the circumferential side portions (16b, 16c), (17b, 17c) constituting the second and third detection coils 11, 12 are outside the radial direction with respect to the radial direction. As it goes, it is inclined 45 ° in the direction toward the other side in the circumferential direction (counterclockwise in FIGS. 2 to 5) (−45 ° with respect to the radial direction).

前記第一〜第四コイル層6〜9を構成する第一〜第四検出コイル10〜13は、互いの電気的な接触(短絡)を防止された状態で、円輪板状や円板状等の平板状に形成された、前記各基板の片側面及び他側面に支持固定されている。尚、前記各基板をフレキシブル基板とする場合には、前記フレキシブル基板を、例えば非導電性を有すると共に前記検出部4の形状を保持する為に必要な強度を備えた円輪板状や円板状等の支持部材の側面(前記被検出部3と対向する側面)に固定する事ができる。又、図示は省略するが、前記第一〜第四コイル層6〜9の背面側(軸方向に関して前記被検出部3と反対側である、図1の右側)に、円輪板状や円板状等の磁心を隣接配置する事もできる。又、前記磁心を、前記支持部材とする事もできる。   The first to fourth detection coils 10 to 13 constituting the first to fourth coil layers 6 to 9 are in the form of an annular plate or a disc in a state where electrical contact (short circuit) is prevented. Are supported and fixed to one side surface and the other side surface of each of the substrates. When each of the substrates is a flexible substrate, the flexible substrate is, for example, an annular plate or disk having non-conductivity and sufficient strength to maintain the shape of the detection unit 4. It can fix to the side surface (side surface facing the said to-be-detected part 3) of support members, such as a shape. Moreover, although illustration is abbreviate | omitted, on the back side of said 1st-4th coil layers 6-9 (on the opposite side to the said to-be-detected part 3 regarding the axial direction, the right side of FIG. 1) Plate-like magnetic cores can be arranged adjacent to each other. Further, the magnetic core can be used as the support member.

又、前述した様に、前記両ブリッジ回路5a、5bのうち、一方のブリッジ回路5aは、前記一方のコイル層グループに就いて構成されており、他方のブリッジ回路5bは、前記他方のコイル層グループに就いて構成されている。これら両ブリッジ回路5a、5bはそれぞれ、図6に示す様に、ブリッジ部22と、発振器23と、ロックイン増幅器24とを備えている。   Further, as described above, one of the bridge circuits 5a and 5b, one bridge circuit 5a is configured with respect to the one coil layer group, and the other bridge circuit 5b is configured with the other coil layer. It consists of groups. Each of the bridge circuits 5a and 5b includes a bridge unit 22, an oscillator 23, and a lock-in amplifier 24 as shown in FIG.

このうちのブリッジ部22は、前記第一インピーダンス部18と前記第三インピーダンス部20とを直列に接続したものと、前記第二インピーダンス部19と前記第四インピーダンス部21とを直列に接続したものとを、並列に接続して成る回路要素である。本例の場合、前記ブリッジ部22の2組の対向辺(α、β)(γ、δ)のうち、1組の対向辺α、βに、前記第一インピーダンス部18と前記第二インピーダンス部19とが配置されており、他の1組の対向辺γ、δに、前記第三インピーダンス部20と前記第四インピーダンス部21とが配置されている。   Of these, the bridge portion 22 is one in which the first impedance portion 18 and the third impedance portion 20 are connected in series, and the second impedance portion 19 and the fourth impedance portion 21 are connected in series. Are circuit elements that are connected in parallel. In the case of this example, among the two sets of opposing sides (α, β) (γ, δ) of the bridge portion 22, the first impedance unit 18 and the second impedance unit are connected to one set of opposing sides α, β. 19 is arranged, and the third impedance part 20 and the fourth impedance part 21 are arranged on another set of opposing sides γ and δ.

又、前記発振器23は、前記ブリッジ部22の両端に交流電圧を印加するものである。
又、前記ロックイン増幅器24は、前記ブリッジ部22の中点電位差(二辺α、γ同士の間の点Xと、二辺β、δ同士の間の点Yとの間の電位差)を検出・増幅して出力Vを発生するものである。尚、本発明を実施する場合、前記中点電位差を検出する電位差検出素子としては、ロックイン増幅器24以外のものを使用する事もできる。
又、本例の場合、前記発振器23及び前記ロックイン増幅器24は、前記第一〜第四コイル層6〜9を支持固定した各基板のうちの何れかの基板に支持固定されている。但し、本発明を実施する場合、前記発振器23及び前記ロックイン増幅器24は、前記第一〜第四コイル層6〜9を支持固定した各基板とは異なる基板等に支持固定する事もできる。
The oscillator 23 applies an AC voltage to both ends of the bridge portion 22.
The lock-in amplifier 24 detects the midpoint potential difference (potential difference between the point X between the two sides α and γ and the point Y between the two sides β and δ). Amplifies and generates output V. When the present invention is carried out, a device other than the lock-in amplifier 24 can be used as the potential difference detecting element for detecting the midpoint potential difference.
In the case of this example, the oscillator 23 and the lock-in amplifier 24 are supported and fixed to any one of the substrates that support and fix the first to fourth coil layers 6 to 9. However, when the present invention is implemented, the oscillator 23 and the lock-in amplifier 24 can be supported and fixed on a substrate different from the substrates on which the first to fourth coil layers 6 to 9 are supported and fixed.

又、本例の場合、前記発振器23により、前記ブリッジ部22の両端に交流電圧を印加する事によって、前記第一〜第四インピーダンス部18〜21(前記第一〜第四検出コイル10〜13)に交流電流を流した場合に、円周方向に隣り合う第一検出コイル10、10(第二検出コイル11、11、第三検出コイル12、12、第四検出コイル13、13)を流れる電流の向きが、図4の(A)(D)及び図5の(A)に矢印イ、ロで示す様に、又は、図4の(B)(C)及び図5の(B)に矢印ハ、二で示す様に、互いに逆向きとなる様にしている。これにより、円周方向に隣り合う第一検出コイル10、10(第二検出コイル11、11、第三検出コイル12、12、第四検出コイル13、13)のうち、円周方向に隣接配置された互いの円周方向側辺部16a、17a{(16b、17b)(16c、17c)(16d、17d)}を流れる電流の向きが、互いに同じ向きとなる様にしている。本例の場合には、以上の様な電流の流れ(向き)を実現する為に、前記第一〜第四検出コイル10〜13に関する、導線の巻き方向や、円周方向に隣り合う検出コイル同士の直列接続の仕方を規制している。又、本例の場合、前記被検出部材2にトルクが負荷されていない中立状態では、前記ブリッジ部22が平衡状態(中点電位差が0の状態)となる様に、前記第一〜第四インピーダンス部18〜21の構成を規制している。   In the case of this example, the oscillator 23 applies an alternating voltage to both ends of the bridge portion 22, so that the first to fourth impedance portions 18 to 21 (the first to fourth detection coils 10 to 13). ) Flows through the first detection coils 10 and 10 (second detection coils 11 and 11, third detection coils 12 and 12, and fourth detection coils 13 and 13) that are adjacent to each other in the circumferential direction. The direction of the current is shown by arrows A and B in FIGS. 4A and 4D and 5A, or in FIGS. 4B and 4C and 5B. As indicated by arrows c and 2, the directions are opposite to each other. Thereby, among the first detection coils 10 and 10 (second detection coils 11 and 11, third detection coils 12 and 12, and fourth detection coils 13 and 13) adjacent to each other in the circumferential direction, they are arranged adjacent to each other in the circumferential direction. The directions of the currents flowing through the circumferential side portions 16a, 17a {(16b, 17b) (16c, 17c) (16d, 17d)} are made the same. In the case of this example, in order to realize the current flow (direction) as described above, the detection coils adjacent to each other in the winding direction of the conductive wire and the circumferential direction regarding the first to fourth detection coils 10 to 13. It regulates how to connect each other in series. In the case of this example, in the neutral state in which no torque is applied to the detected member 2, the first to fourth so that the bridge portion 22 is in an equilibrium state (a state in which the midpoint potential difference is 0). The structure of the impedance parts 18-21 is regulated.

上述の様に構成する本例のトルク測定装置の場合、使用時には、前記両ブリッジ回路5a、5bのそれぞれに関して、前記発振器23により、前記ブリッジ部22の両端に交流電圧を印加する事によって、前記第一〜第四インピーダンス部18〜21(前記第一〜第四検出コイル10〜13)に交流電流を流す事により、前記第一〜第四検出コイル10〜13の周囲に磁場を発生させる。この状態で、前記被検出部材2にトルクTが負荷されると、前記ブリッジ部22の平衡状態が崩れて、前記ブリッジ部22の中点電位差が、前記トルクTに応じた分だけ変化する。この点に就いて、以下、具体的に説明する。   In the case of the torque measuring device of this example configured as described above, in use, the oscillator 23 applies an AC voltage to both ends of the bridge portion 22 for each of the bridge circuits 5a and 5b. A magnetic field is generated around the first to fourth detection coils 10 to 13 by passing an alternating current through the first to fourth impedance units 18 to 21 (the first to fourth detection coils 10 to 13). In this state, when a torque T is applied to the member 2 to be detected, the equilibrium state of the bridge portion 22 collapses, and the midpoint potential difference of the bridge portion 22 changes by an amount corresponding to the torque T. This point will be specifically described below.

先ず、前記被検出部材2に、図5に示す様なトルクTが負荷されると、前記被検出部3には、前記トルクTに応じた捩り応力が加わる。即ち、前記被検出部3には、前記被検出部材2の中心軸を中心とする放射方向に対して+45゜方向の引っ張り応力(+σ)と、前記放射方向に対して−45゜方向の圧縮応力(−σ)とが作用する。そして、前記引っ張り応力(+σ)が作用する方向である+45゜方向では、前記被検出部3の透磁率が増加し、前記圧縮応力(−σ)が作用する方向である−45゜方向では、前記被検出部3の透磁率が減少する(逆磁歪効果)。   First, when a torque T as shown in FIG. 5 is applied to the detected member 2, a torsional stress corresponding to the torque T is applied to the detected portion 3. That is, the detected portion 3 includes a tensile stress (+ σ) in the + 45 ° direction with respect to the radial direction around the central axis of the detected member 2 and a compression in the −45 ° direction with respect to the radial direction. Stress (−σ) acts. In the + 45 ° direction, which is the direction in which the tensile stress (+ σ) acts, the permeability of the detected portion 3 increases, and in the −45 ° direction, in which the compressive stress (−σ) acts, The magnetic permeability of the detected part 3 decreases (inverse magnetostrictive effect).

一方、前記トルク測定用センサ1の検出部4を構成する(前記第一〜第四インピーダンス部18〜21を構成する)、前記第一〜第四検出コイル10〜13のうち、第一、第四検出コイル(+45゜コイル)10、13の円周方向側辺部(16a、16d)、(17a、17d)は、前記第一、第四コイル層6、9の中心軸(前記被検出部3の中心軸)を中心とする放射方向に対して+45゜傾斜している。即ち、前記第一、第四検出コイル10、13の円周方向側辺部(16a、16d)、(17a、17d)は、前記被検出部3の透磁率が減少する方向(前記放射方向に対して−45゜方向)を磁束が通過する様に(前記第一、第四検出コイル10、13のインダクタンスが減少する様に)設置されている。これに対し、前記第二、第三検出コイル(−45゜コイル)11、12の円周方向側辺部(16b、16c)、(17b、17c)は、前記第二、第三コイル層7、8の中心軸(前記被検出部3の中心軸)を中心とする放射方向に対して−45゜傾斜している。即ち、前記第二、第三検出コイル11、12の円周方向側辺部(16b、16c)、(17b、17c)は、前記被検出部3の透磁率が増大する方向(前記放射方向に対して+45゜方向)を磁束が通過する様に(前記第二、第三検出コイル11、12のインダクタンスが増大する様に)設置されている。   On the other hand, among the first to fourth detection coils 10 to 13 constituting the detection unit 4 of the torque measuring sensor 1 (which constitutes the first to fourth impedance units 18 to 21), the first and fourth The circumferential sides (16a, 16d), (17a, 17d) of the four detection coils (+ 45 ° coils) 10, 13 are the central axes of the first and fourth coil layers 6, 9 (the detected portion). 3), and is inclined + 45 ° with respect to the radial direction centered on 3). That is, the circumferential side portions (16a, 16d), (17a, 17d) of the first and fourth detection coils 10, 13 are in the direction in which the magnetic permeability of the detected portion 3 decreases (in the radial direction). On the other hand, it is installed so that the magnetic flux passes through (−45 ° direction) (so that the inductance of the first and fourth detection coils 10 and 13 decreases). On the other hand, the circumferential side portions (16b, 16c), (17b, 17c) of the second and third detection coils (−45 ° coils) 11 and 12 are the second and third coil layers 7. , And the central axis of 8 (the central axis of the detected portion 3) is inclined by −45 ° with respect to the radial direction. That is, the circumferential side portions (16b, 16c), (17b, 17c) of the second and third detection coils 11, 12 are in the direction in which the permeability of the detected portion 3 increases (in the radial direction). On the other hand, it is installed so that the magnetic flux passes through (+ 45 ° direction) (so that the inductance of the second and third detection coils 11 and 12 increases).

この為、前記被検出部材2に上述の様なトルクTが負荷されると、前記第一〜第四検出コイル10〜13のインダクタンス(前記第一〜第四インピーダンス部18〜21のインピーダンス)が、前記トルクTに応じた分だけ変化する。これにより、前記ブリッジ部22の平衡状態が崩れ、前記ブリッジ部22の中点電位差が、前記トルクTに応じた分だけ変化する。この為、前記中点電位差を、前記ロックイン増幅器24により検出・増幅する事によって、前記トルクTに応じた出力Vを得られる。   For this reason, when the torque T as described above is applied to the detected member 2, the inductances of the first to fourth detection coils 10 to 13 (impedances of the first to fourth impedance portions 18 to 21) are increased. , And changes according to the torque T. As a result, the equilibrium state of the bridge portion 22 collapses, and the midpoint potential difference of the bridge portion 22 changes by an amount corresponding to the torque T. Therefore, the output V corresponding to the torque T can be obtained by detecting and amplifying the midpoint potential difference by the lock-in amplifier 24.

又、前記被検出部材2に負荷されるトルクTの向きが、図5に示す向きと逆になる場合には、上述の場合とは逆に、前記第一、第四検出コイル10、13のインダクタンスが増加すると共に、前記第二、第三検出コイル11、12のインダクタンスが減少する。そして、この場合も、前記出力Vは、前記トルクTに応じたものとなる。尚、前記出力Vの極性は、前記被検出部材2に負荷されるトルクTの向きによって反転する。
従って、予め、前記出力Vと前記トルクTとの関係を調べておけば、前記関係を利用して、前記出力Vから前記トルクTの向き及び大きさを求められる。
Further, when the direction of the torque T applied to the detected member 2 is opposite to the direction shown in FIG. 5, the first and fourth detection coils 10, 13 are contrary to the above case. As the inductance increases, the inductances of the second and third detection coils 11 and 12 decrease. In this case as well, the output V corresponds to the torque T. Note that the polarity of the output V is reversed depending on the direction of the torque T applied to the detected member 2.
Therefore, if the relationship between the output V and the torque T is examined in advance, the direction and magnitude of the torque T can be obtained from the output V using the relationship.

特に、本例の場合には、前記第一、第四検出コイル10、13の円周方向側辺部(16a、16d)、(17a、17d)が前記放射方向に対して+45゜傾斜していると共に、前記第二、第三検出コイル11、12の円周方向側辺部(16b、16c)、(17b、17c)が前記放射方向に対して−45゜傾斜した構成を採用している。これと共に、前記第一〜第四検出コイル10〜13を、それぞれ前記被検出部3に対して軸方向に対向可能な円周上に、全周に亙り等ピッチで配置する構成を採用している。この為、これらの構成を採用する事によって、単位トルク当たりの、前記第一〜第四インピーダンス部18〜21のインピーダンス変化を大きくする事ができる。従って、単位トルク当たりの、前記ブリッジ部22の中点電位差及び前記出力Vの変化量を大きくする事ができる。この結果、本例の場合には、前記被検出部材2の軸方向側面のうち、前記被検出部3を設けた部分の形状を特別工夫しなくても{例えば、前記被検出部3を設けた部分に複数のリブ(単位トルク当たりの透磁率変化を大きくする為の部位)を形成する様な、加工コストが嵩む構成を採用しなくても}、前記被検出部材2に負荷されるトルクTを感度良く測定する事ができる。   In particular, in the case of this example, the circumferential sides (16a, 16d), (17a, 17d) of the first and fourth detection coils 10, 13 are inclined + 45 ° with respect to the radiation direction. In addition, the circumferential side portions (16b, 16c), (17b, 17c) of the second and third detection coils 11, 12 are inclined by −45 ° with respect to the radial direction. . At the same time, the first to fourth detection coils 10 to 13 are respectively arranged on the circumference that can be opposed to the detected portion 3 in the axial direction at equal pitches over the entire circumference. Yes. For this reason, by adopting these configurations, it is possible to increase the impedance change of the first to fourth impedance portions 18 to 21 per unit torque. Accordingly, the midpoint potential difference of the bridge portion 22 and the amount of change in the output V per unit torque can be increased. As a result, in the case of this example, the shape of the portion provided with the detected portion 3 on the side surface in the axial direction of the detected member 2 is not specially devised {for example, the detected portion 3 is provided. Torque applied to the member 2 to be detected, even if a configuration in which a plurality of ribs (parts for increasing the permeability change per unit torque) is formed is not used, such as a configuration with high processing cost}. T can be measured with high sensitivity.

更に、本例のトルク測定用センサ1は、前記被検出部材2に負荷されるトルクTを測定する為のブリッジ回路5a、5bを2つ備えている。この為、何れか一方のブリッジ回路5a(5b)が故障した場合でも、他方のブリッジ回路5b(5a)により、前記トルクTの測定を継続する事ができる。又、本例の場合には、例えば、前記2つのブリッジ回路5a、5bによる前記トルクTの測定値の平均を取る事により、測定誤差を改善する事もできる。更に、例えば前記2つのブリッジ回路5a、5bによる前記トルクTの測定値を比較する事で、ブリッジ回路5a、5bの故障の有無を判定する事もできる。   Further, the torque measuring sensor 1 of this example includes two bridge circuits 5a and 5b for measuring the torque T loaded on the detected member 2. Therefore, even when one of the bridge circuits 5a (5b) fails, the measurement of the torque T can be continued by the other bridge circuit 5b (5a). In the case of this example, for example, the measurement error can be improved by taking an average of the measured values of the torque T by the two bridge circuits 5a and 5b. Further, for example, by comparing the measured values of the torque T by the two bridge circuits 5a and 5b, it is possible to determine whether or not the bridge circuits 5a and 5b are out of order.

[実施の形態の第2例]
本発明の実施の形態の第2例に就いて、図7〜10を参照しつつ説明する。
本例の場合には、トルク測定用センサ1aの検出部4aを構成するコイル層の総数を4つとしている。これら4つのコイル層(第一、第二コイル層6a、7a、及び、第一、第二コイル層6a、7a)のうち、被検出部3に近い側(図7の左側)に位置する2つのコイル層(第一、第二コイル層6a、7a)から成る一方のコイル層グループと、前記被検出部3から遠い側(図7の右側)に位置する2つのコイル層(第一、第二コイル層6a、7a)から成る他方のコイル層グループとは、前記被検出部3からの軸方向距離が異なる点以外は、互いに同じ構成を有している。
又、本例の場合も、前記一方のコイル層グループに就いて1つのブリッジ回路5a{図6の(A)参照}が構成されており、又、前記他方のコイル層グループに就いて1つのブリッジ回路5b{図6の(B)参照}が構成されている。
[Second Example of Embodiment]
A second example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the case of this example, the total number of coil layers constituting the detection unit 4a of the torque measurement sensor 1a is four. Of these four coil layers (first and second coil layers 6a and 7a, and first and second coil layers 6a and 7a), 2 located on the side closer to the detected portion 3 (left side in FIG. 7). One coil layer group consisting of two coil layers (first and second coil layers 6a and 7a) and two coil layers (first and second coils) located on the side far from the detected portion 3 (right side in FIG. 7) The other coil layer group composed of the two coil layers 6a and 7a) has the same configuration except that the axial distance from the detected portion 3 is different.
Also in this example, one bridge circuit 5a {refer to FIG. 6A} is constructed for the one coil layer group, and one bridge circuit 5a is constructed for the other coil layer group. A bridge circuit 5b {see FIG. 6B} is configured.

前記両コイル層グループを構成する、第一、第二コイル層6a、7aは、軸方向に関して前記被検出部3に近い側から、第一コイル層6a、第二コイル層7aの順に並べた状態で積層配置されている。又、前記第一コイル層6aと前記第二コイル層7aとは、1枚の基板(フレキシブル基板を含む)の片側面と他側面とに分けて成形されている。更に、前記一方のコイル層グループの第二コイル層7aと、前記他方のコイル層グループの第一コイル層6aとの間には、絶縁層が設けられている。   The first and second coil layers 6a and 7a constituting both the coil layer groups are arranged in the order of the first coil layer 6a and the second coil layer 7a from the side close to the detected portion 3 in the axial direction. Are arranged in layers. The first coil layer 6a and the second coil layer 7a are formed separately on one side and the other side of a single substrate (including a flexible substrate). Furthermore, an insulating layer is provided between the second coil layer 7a of the one coil layer group and the first coil layer 6a of the other coil layer group.

又、本例の場合、前記第一コイル層6aは、第一検出コイル10、10と第四検出コイル13、13とを、円周方向に関して1個ずつ交互に且つ等ピッチに並べて配置する事により構成されている。前記各第一検出コイル10、10は、円周方向に隣り合うもの同士(但し、円周方向の何れか1箇所で互いに隣り合う1対の第一検出コイル10、10同士を除く。)がそれぞれ直列に接続される事により、前記ブリッジ回路5a(5b)を構成する第一インピーダンス部18を構成している。又、前記各第四検出コイル13、13は、円周方向に隣り合うもの同士(但し、円周方向の何れか1箇所で互いに隣り合う1対の第四検出コイル13、13同士を除く。)がそれぞれ直列に接続される事により、前記ブリッジ回路5a(5b)を構成する第四インピーダンス部21を構成している。又、トルクを測定する際に、前記各第一検出コイル10、10と前記各第四検出コイル13、13とを流れる電流の向きが、図10の(A)に矢印イ、ロで示す様に、互いに逆向きとなる様にしている。この為に、前記第一、第四各検出コイル10、13に関する、導線の巻き方向や、円周方向に隣り合う各第一検出コイル10、10同士及び各第四検出コイル13、13同士の直列接続の仕方を規制している。尚、図8〜10では、円周方向に隣り合う第一検出コイル10、10同士及び第四検出コイル13、13同士を接続する配線(ビアを含む配線構造)の図示を省略している。   In the case of this example, the first coil layer 6a is arranged such that the first detection coils 10 and 10 and the fourth detection coils 13 and 13 are alternately arranged at equal pitches in the circumferential direction. It is comprised by. The first detection coils 10 and 10 are adjacent to each other in the circumferential direction (excluding the pair of first detection coils 10 and 10 adjacent to each other at any one position in the circumferential direction). By connecting them in series, the first impedance unit 18 constituting the bridge circuit 5a (5b) is formed. The fourth detection coils 13 and 13 are adjacent to each other in the circumferential direction (however, a pair of the fourth detection coils 13 and 13 adjacent to each other at any one position in the circumferential direction is excluded. ) Are connected in series to form the fourth impedance section 21 constituting the bridge circuit 5a (5b). Further, when measuring the torque, the directions of the currents flowing through the first detection coils 10 and 10 and the fourth detection coils 13 and 13 are indicated by arrows a and b in FIG. In addition, the directions are opposite to each other. For this purpose, the first and fourth detection coils 10 and 13 are connected to each other in the winding direction of the conductive wire and in the circumferential direction between the first detection coils 10 and 10 and between the fourth detection coils 13 and 13. Regulates how to connect in series. In FIGS. 8 to 10, illustration of wirings (wiring structures including vias) connecting the first detection coils 10 and 10 and the fourth detection coils 13 and 13 adjacent to each other in the circumferential direction is omitted.

これに対し、前記第二コイル層7aは、第二検出コイル11、11と第三検出コイル12、12とを、円周方向に関して1個ずつ交互に且つ等ピッチに並べて配置する事により構成されている。そして、前記各第二検出コイル11、11は、円周方向に隣り合うもの同士(但し、円周方向の何れか1箇所で互いに隣り合う1対の第二検出コイル11、11同士を除く。)がそれぞれ直列に接続される事により、前記ブリッジ回路5a(5b)を構成する第二インピーダンス部19を構成している。又、前記各第三検出コイル12、12は、円周方向に隣り合うもの同士(但し、円周方向の何れか1箇所で互いに隣り合う1対の第三検出コイル12、12同士を除く。)がそれぞれ直列に接続される事により、前記ブリッジ回路5a(5b)を構成する第三インピーダンス部20を構成している。又、トルクを測定する際に、前記各第二検出コイル11、11と前記各第三検出コイル12、12とを流れる電流の向きが、図10の(B)に矢印ハ、ニで示す様に、互いに逆向きとなる様にしている。この為に、前記第二、第三各検出コイル11、12に関する、導線の巻き方向や、円周方向に隣り合う各第二検出コイル11、11同士及び各第三検出コイル12、12同士の直列接続の仕方を規制している。尚、図8〜10では、円周方向に隣り合う第二検出コイル11、11同士及び第三検出コイル12、12同士を接続する配線(ビアを含む配線構造)の図示を省略している。   On the other hand, the second coil layer 7a is configured by arranging the second detection coils 11 and 11 and the third detection coils 12 and 12 alternately and at equal pitches in the circumferential direction. ing. The second detection coils 11 and 11 are adjacent to each other in the circumferential direction (however, a pair of second detection coils 11 and 11 adjacent to each other at any one position in the circumferential direction is excluded. ) Are connected in series to form the second impedance section 19 constituting the bridge circuit 5a (5b). The third detection coils 12 and 12 are adjacent to each other in the circumferential direction (however, a pair of third detection coils 12 and 12 adjacent to each other at any one position in the circumferential direction is excluded. ) Are connected in series to form the third impedance unit 20 constituting the bridge circuit 5a (5b). Further, when measuring the torque, the direction of the current flowing through each of the second detection coils 11 and 11 and each of the third detection coils 12 and 12 is indicated by arrows C and D in FIG. In addition, the directions are opposite to each other. For this purpose, the second and third detection coils 11 and 12, each of the second detection coils 11 and 11 and the third detection coils 12 and 12 adjacent to each other adjacent to each other in the winding direction or the circumferential direction of the conductor. Regulates how to connect in series. 8 to 10, the illustration of wirings (wiring structures including vias) that connect the second detection coils 11 and 11 and the third detection coils 12 and 12 that are adjacent to each other in the circumferential direction is omitted.

尚、前記第一コイル層6aを構成する第一、第四検出コイル10、13の総数と、前記第二コイル層7aを構成する第二、第三検出コイル11、12の総数とを、互いに等しくしている。又、本例の場合には、前記第一コイル層6aを構成する前記第一、第四各検出コイル10、13の円周方向に関する配置の位相と、前記第二コイル層7aを構成する前記第二、第三各検出コイル11、12の円周方向に関する配置の位相とを、互いに一致させている。   The total number of the first and fourth detection coils 10 and 13 constituting the first coil layer 6a and the total number of the second and third detection coils 11 and 12 constituting the second coil layer 7a are mutually equal. Are equal. In the case of this example, the phase of the arrangement of the first and fourth detection coils 10 and 13 constituting the first coil layer 6a in the circumferential direction and the second coil layer 7a The phase of the arrangement in the circumferential direction of the second and third detection coils 11 and 12 is made to coincide with each other.

この様な構成を有する本例のトルク測定用センサ1aの場合も、被検出部材2に負荷されるトルクTを測定する為のブリッジ回路5a、5bを2つ備えている為、何れか一方のブリッジ回路5a(5b)が故障した場合でも、他方のブリッジ回路5b(5a)により、前記トルクTの測定を継続する事ができる。
又、本例の場合には、1つのブリッジ回路5a(5b)を構成する為のコイル層の数が、4つではなく、2つになる為、前記検出部4aの薄型化や、製造コストの低減を図り易い。
その他の構成及び作用は、上述した実施の形態の第1例の場合と同様である。
The torque measuring sensor 1a of this example having such a configuration also includes two bridge circuits 5a and 5b for measuring the torque T loaded on the member 2 to be detected. Even when the bridge circuit 5a (5b) fails, the measurement of the torque T can be continued by the other bridge circuit 5b (5a).
In the case of this example, since the number of coil layers for constituting one bridge circuit 5a (5b) is two instead of four, the detection unit 4a can be made thinner and the manufacturing cost can be reduced. Is easy to reduce.
Other configurations and operations are the same as those in the first example of the embodiment described above.

[実施の形態の第3例]
本発明の実施の形態の第3例に就いて、図11を参照しつつ説明する。
本例のトルク測定用センサの場合には、1対のブリッジ回路5a、5b(図6参照)を構成する為の1対のコイル層グループを構成する、第一コイル層6b及び第二コイル層7bの構成(各検出コイルの配置の仕方)が、上述した実施の形態の第2例の場合と異なる。
[Third example of embodiment]
A third example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the case of the torque measuring sensor of this example, the first coil layer 6b and the second coil layer that constitute a pair of coil layer groups for constituting a pair of bridge circuits 5a and 5b (see FIG. 6). The configuration of 7b (how to arrange each detection coil) is different from the case of the second example of the embodiment described above.

本例の場合、第一コイル層6bは、円周方向に二等分割された1対の半円弧状範囲のうち、一方{図11の(A)の左方}の半円弧状範囲に各第一検出コイル10、10を、他方{図11の(A)の右方}の半円弧状範囲に各第四検出コイル13、13を、それぞれ円周方向に等ピッチに並べて配置する事により構成されている。又、トルクを測定する際に、前記第一コイル層6bを構成する各第一検出コイル10、10及び各第四検出コイル13、13のうち、円周方向に隣り合う2つの検出コイルを流れる電流の向きが、図11の(A)に矢印イ、ロで示す様に、互いに逆向きとなる様にしている。この為に、前記第一、第四各検出コイル10、13に関する、導線の巻き方向や、円周方向に隣り合う各第一検出コイル10、10同士及び各第四検出コイル13、13同士の直列接続の仕方を規制している。   In the case of this example, the first coil layer 6b is divided into one semicircular arc range of one {left side of FIG. 11A} out of a pair of semicircular arc ranges that are equally divided in the circumferential direction. By arranging the first detection coils 10 and 10 in the semicircular arc range on the other side (the right side of FIG. 11A), the fourth detection coils 13 and 13 are arranged at equal pitches in the circumferential direction. It is configured. Further, when the torque is measured, the first detection coils 10 and 10 and the fourth detection coils 13 and 13 constituting the first coil layer 6b flow through two detection coils adjacent in the circumferential direction. The directions of the currents are opposite to each other as indicated by arrows a and b in FIG. For this purpose, the first and fourth detection coils 10 and 13 are connected to each other in the winding direction of the conductive wire and in the circumferential direction between the first detection coils 10 and 10 and between the fourth detection coils 13 and 13. Regulates how to connect in series.

又、本例の場合、第二コイル層7bは、円周方向に二等分割された1対の半円弧状範囲のうち、一方{図11の(B)の左方}の半円弧状範囲に各第二検出コイル11、11を、他方{図11の(B)の右方}の半円弧状範囲に各第三検出コイル12、12を、それぞれ円周方向に等ピッチに並べて配置する事により構成されている。又、トルクを測定する際に、前記第二コイル層7bを構成する各第二検出コイル11、11及び各第三検出コイル12、12のうち、円周方向に隣り合う2つの検出コイルを流れる電流の向きが、図11の(B)に矢印ハ、ニで示す様に、互いに逆向きとなる様にしている。この為に、前記第二、第三各検出コイル11、12に関する、導線の巻き方向や、円周方向に隣り合う各第二検出コイル11、11同士及び各第三検出コイル12、12同士の直列接続の仕方を規制している。   In the case of this example, the second coil layer 7b has one half arc-shaped range of {one left of Fig. 11B} out of a pair of semi-arc shaped ranges that are equally divided in the circumferential direction. The second detection coils 11 and 11 are arranged in a semicircular arc range on the other side (the right side of FIG. 11B), and the third detection coils 12 and 12 are arranged at equal pitches in the circumferential direction. Consists of things. Moreover, when measuring torque, it flows through two detection coils adjacent in the circumferential direction among the second detection coils 11 and 11 and the third detection coils 12 and 12 constituting the second coil layer 7b. The directions of the currents are opposite to each other as shown by arrows C and D in FIG. For this purpose, the second and third detection coils 11 and 12, each of the second detection coils 11 and 11 and the third detection coils 12 and 12 adjacent to each other adjacent to each other in the winding direction or the circumferential direction of the conductor. Regulates how to connect in series.

上述の様に、本例の構造の場合には、前記第一コイル層6b(第二コイル層7b)が円周方向に二分割された1対の半円弧状範囲に分けられ、これら両半円弧状範囲に前記各第一検出コイル10、10と前記各第四検出コイル13、13とが(前記各第二検出コイル11、11と前記各第三検出コイル12、12とが)、それぞれ円周方向に並べて配置されている。この為、前記各第一検出コイル10、10同士を直列に接続する配線構造及び前記各第四検出コイル13、13同士を直列に接続する配線構造(前記各第二検出コイル11、11同士を直列に接続する配線構造及び前記各第三検出コイル12、12同士を直列に接続する配線構造)を簡素化し易くできる。従って、これら各配線構造の簡素化による小型化を図り易くできる。
その他の構成及び作用は、上述した実施の形態の第2例の場合と同様である。
As described above, in the case of the structure of this example, the first coil layer 6b (second coil layer 7b) is divided into a pair of semicircular arc ranges divided into two in the circumferential direction. The first detection coils 10, 10 and the fourth detection coils 13, 13 (the second detection coils 11, 11 and the third detection coils 12, 12) are arranged in arcuate ranges, respectively. They are arranged side by side in the circumferential direction. Therefore, a wiring structure for connecting the first detection coils 10 and 10 in series and a wiring structure for connecting the fourth detection coils 13 and 13 in series (the second detection coils 11 and 11 are connected to each other). The wiring structure connecting in series and the wiring structure connecting the third detection coils 12 and 12 in series can be easily simplified. Therefore, it is possible to easily reduce the size by simplifying each wiring structure.
Other configurations and operations are the same as those of the second example of the embodiment described above.

[実施の形態の第4例]
本発明の実施の形態の第4例に就いて、図12を参照しつつ説明する。
本例は、上述した実施の形態の第1〜3例のトルク測定用センサ1(1a)の具体的な使用態様を示すものである。
本例の使用態様では、エンジン25のクランクシャフト26とトルクコンバータ27の外殻を構成するケース28とをトルク伝達可能に連結する、磁歪特性を有する鉄系合金製で円環状のドライブプレート29を被検出部材として、前記ドライブプレート29に負荷されるトルクを、前記トルク測定用センサ1(1a)により測定する様にしている。この為に、前記ドライブプレート29の軸方向片側面のうち、径方向内端寄り部分に存在する円輪状の平坦面部分を、被検出部3aとしている。そして、前記被検出部3aに対して前記トルク測定用センサ1(1a)の検出部4(4a)を軸方向に対向させた状態で、前記トルク測定用センサ1(1a)を前記エンジン25のシリンダブロック30に対して支持固定している。
[Fourth Example of Embodiment]
A fourth example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This example shows a specific usage mode of the torque measurement sensor 1 (1a) of the first to third examples of the embodiment described above.
In the usage mode of this example, an annular drive plate 29 made of an iron-based alloy having magnetostrictive characteristics, which connects the crankshaft 26 of the engine 25 and the case 28 constituting the outer shell of the torque converter 27 so as to be able to transmit torque, is provided. The torque applied to the drive plate 29 as a member to be detected is measured by the torque measuring sensor 1 (1a). For this purpose, an annular flat surface portion present on the radially inner end portion of one side surface in the axial direction of the drive plate 29 is used as the detected portion 3a. The torque measuring sensor 1 (1a) is connected to the engine 25 in a state where the detecting unit 4 (4a) of the torque measuring sensor 1 (1a) is opposed to the detected portion 3a in the axial direction. The cylinder block 30 is supported and fixed.

[実施の形態の第5例]
本発明の実施の形態の第5例に就いて、図13を参照しつつ説明する。
本例も、上述した実施の形態の第1〜3例のトルク測定用センサ1(1a)の具体的な使用態様を示すものである。
本例の場合、ドライブプレート29aの被検出部3aに対して軸方向に対向させた前記トルク測定用センサ1(1a)は、転がり軸受31と組み合わされる事により、センサ付軸受を構成している。
前記転がり軸受31は、使用時にも回転しない静止輪である外輪32と、使用時に回転する回転輪である内輪33と、前記外輪32の内周面に形成された外輪軌道と前記内輪33の外周面に形成された内輪軌道との間に転動自在に設けられた複数個の転動体(図示の例では玉)34とを備える。そして、前記外輪32を、シリンダブロック30に設けられた保持凹部35に内嵌固定すると共に、前記内輪33を、前記ドライブプレート29aの径方向内端寄り部分に設けられた円筒部36に外嵌固定する事により、前記シリンダブロック30に対して前記ドライブプレート29aを回転自在に支持している。
前記トルク測定用センサ1(1a)は、前記外輪32の軸方向片端部(図11の左端部)に、円環状のホルダ37を介して支持固定されている。
その他の構成及び作用は、上述した実施の形態の第4例の場合と同様である。
[Fifth Example of Embodiment]
A fifth example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This example also shows a specific usage mode of the torque measuring sensor 1 (1a) of the first to third examples of the embodiment described above.
In the case of this example, the torque measuring sensor 1 (1a) opposed to the detected portion 3a of the drive plate 29a in the axial direction constitutes a sensor-equipped bearing by being combined with the rolling bearing 31. .
The rolling bearing 31 includes an outer ring 32 that is a stationary ring that does not rotate even when used, an inner ring 33 that is a rotating wheel that rotates when used, an outer ring raceway formed on the inner circumferential surface of the outer ring 32, and an outer circumference of the inner ring 33. A plurality of rolling elements (balls in the illustrated example) 34 are provided so as to be freely rollable between the inner ring raceway formed on the surface. The outer ring 32 is fitted and fixed to a holding recess 35 provided in the cylinder block 30 and the inner ring 33 is fitted to a cylindrical portion 36 provided near the radially inner end of the drive plate 29a. By fixing, the drive plate 29a is rotatably supported with respect to the cylinder block 30.
The torque measuring sensor 1 (1a) is supported and fixed to an axial end portion (left end portion in FIG. 11) of the outer ring 32 via an annular holder 37.
Other configurations and operations are the same as in the case of the fourth example of the embodiment described above.

[実施の形態の第6例]
本発明の実施の形態の第6例に就いて、図14〜16を参照しつつ説明する。
上述した各実施の形態のトルク測定用センサが、何れもアキシアル対向型であった(被検出部材に対して軸方向に対向していた)のに対し、本例のトルク測定用センサは、ラジアル対向型である(被検出部材に対して径方向に対向させる)。
[Sixth Example of Embodiment]
A sixth example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
While the torque measurement sensors of the above-described embodiments are all axially opposed (opposed to the detected member in the axial direction), the torque measurement sensor of this example is radial. Opposite type (to be opposed to the member to be detected in the radial direction).

本例のトルク測定用センサ1bは、例えば図14に略示する様な被検出部材2aと共に、トルク測定装置を構成する。   The torque measuring sensor 1b of this example constitutes a torque measuring device together with a member 2a to be detected as schematically shown in FIG.

前記被検出部材2aは、各種機械装置を構成する(例えば、自動車のパワートレインやステアリング装置を構成する)、トルクを負荷される(伝達する)回転軸であり、所定の使用箇所に組み付けられている。この様な被検出部材2aは、円筒状の外周面を被検出部3bとしている。前記被検出部材2aは、少なくとも前記被検出部3bを含む一部分又は全体を、磁歪特性を有する材料により造られている。特に、本例の場合には、前記磁歪特性を有する材料として、磁歪特性の良い鉄鋼{純鉄や、SUS(ステンレス鋼)、SNCM(ニッケルクロムモリブデン鋼)等の鉄系合金鋼や、炭素鋼}を使用している。   The detected member 2a is a rotating shaft that constitutes various mechanical devices (for example, constitutes a power train or steering device of an automobile) and is loaded (transmitted) with torque, and is assembled at a predetermined use location. Yes. Such a detected member 2a has a cylindrical outer peripheral surface as a detected portion 3b. The detected member 2a is made of a material having magnetostrictive characteristics at least partially or entirely including the detected portion 3b. In particular, in the case of this example, as the material having the magnetostrictive characteristics, steels having good magnetostrictive characteristics {pure iron, ferrous alloy steels such as SUS (stainless steel) and SNCM (nickel chromium molybdenum steel), and carbon steels. } Is used.

又、前記トルク測定用センサ1bは、前記被検出部3bの径方向外側に、前記被検出部3bと同軸に配置された円筒状の検出部4bと、内周面に前記検出部4bを保持した円筒状の磁心38と、前記検出部4bを含んで構成される1対のブリッジ回路5a、5b(図6参照)とを備えており、ハウジング等の使用時にも回転しない部分に支持されている。   Further, the torque measuring sensor 1b holds a cylindrical detection portion 4b disposed coaxially with the detected portion 3b on the outer side in the radial direction of the detected portion 3b, and the detection portion 4b on the inner peripheral surface. And a pair of bridge circuits 5a and 5b (see FIG. 6) configured to include the detection unit 4b, and are supported by a portion that does not rotate even when a housing or the like is used. Yes.

前記磁心38は、1対の半円筒状の磁心素子39、39の円周方向両端面同士を突き合わせる事により、円筒状に構成されている。   The magnetic core 38 is formed in a cylindrical shape by abutting the circumferential end surfaces of a pair of semi-cylindrical magnetic core elements 39, 39.

前記検出部4bは、8つのコイル層(第一〜第四コイル層6c〜9c、及び、第一〜第四コイル層6c〜9c)を備える。これら8つのコイル層(第一〜第四コイル層6c〜9c、及び、第一〜第四コイル層6c〜9c)は、それぞれ円筒状に構成されると共に、互いに同軸に配置された状態で、径方向に積層配置されている。これら8つのコイル層(第一〜第四コイル層6c〜9c、及び、第一〜第四コイル層6c〜9c)のうち、前記被検出部3bに近い側(径方向内側)に位置する4つのコイル層(第一〜第四コイル層6c〜9c)から成る一方のコイル層グループと、前記被検出部3bから遠い側(径方向外側)に位置する4つのコイル層(第一〜第四コイル層6c〜9c)から成る他方のコイル層グループとは、前記被検出部3bからの径方向距離(径寸法)が異なる点以外は、互いに同じ構成を有している。この為、本例の場合には、便宜上、前記一方のコイル層グループを構成する第一〜第四コイル層と、前記他方のコイル層グループを構成する第一〜第四コイル層とを、同じ符号6c〜9cで表す事にする。
又、前記両ブリッジ回路5a、5bのうち、一方のブリッジ回路5aは、前記一方のコイル層グループに就いて構成されており、他方のブリッジ回路5bは、前記他方のコイル層グループに就いて構成されている。
The detection unit 4b includes eight coil layers (first to fourth coil layers 6c to 9c and first to fourth coil layers 6c to 9c). These eight coil layers (first to fourth coil layers 6c to 9c and first to fourth coil layers 6c to 9c) are each configured in a cylindrical shape and arranged coaxially with each other. Laminated in the radial direction. Of these eight coil layers (first to fourth coil layers 6c to 9c and first to fourth coil layers 6c to 9c), 4 is located on the side closer to the detected portion 3b (in the radial direction). One coil layer group composed of one coil layer (first to fourth coil layers 6c to 9c), and four coil layers (first to fourth) located on the side farther from the detected portion 3b (radially outside). The other coil layer group consisting of the coil layers 6c to 9c) has the same configuration except that the radial distance (diameter dimension) from the detected portion 3b is different. For this reason, in the case of this example, for convenience, the first to fourth coil layers constituting the one coil layer group and the first to fourth coil layers constituting the other coil layer group are the same. These are represented by reference numerals 6c to 9c.
Of the bridge circuits 5a and 5b, one bridge circuit 5a is configured for the one coil layer group, and the other bridge circuit 5b is configured for the other coil layer group. Has been.

前記両コイル層グループを構成する、前記第一〜第四コイル層6c〜9cは、径方向に関して前記被検出部3bに近い側(径方向内側)から、第一コイル層6c、第二コイル層7c、第三コイル層8c、第四コイル層9cの順に並べた状態で積層配置されている。又、前記第一コイル層6cと前記第二コイル層7cとは、図示しない帯状のフレキシブル基板の片側面と他側面とに分けて成形されていると共に、該フレキシブル基板を円筒状に丸める事により、円筒状に構成されている。又、前記第三コイル層8cと前記第四コイル層9cとは、図示しない別の帯状のフレキシブル基板の片側面と他側面とに分けて成形されていると共に、該フレキシブル基板を円筒状に丸める事により、円筒状に構成されている。又、前記第二コイル層7cと前記第三コイル層8cとの間には、絶縁層が設けられている。更に、前記一方のコイル層グループの第四コイル層9cと、前記他方のコイル層グループの第一コイル層6cとの間にも、絶縁層が設けられている。   The first to fourth coil layers 6c to 9c constituting both the coil layer groups are arranged in the radial direction from the side closer to the detected part 3b (in the radial direction), the first coil layer 6c and the second coil layer. 7c, the third coil layer 8c, and the fourth coil layer 9c are stacked and arranged in this order. The first coil layer 6c and the second coil layer 7c are formed separately on one side and the other side of a strip-shaped flexible substrate (not shown), and by rolling the flexible substrate into a cylindrical shape. It is configured in a cylindrical shape. The third coil layer 8c and the fourth coil layer 9c are formed separately on one side surface and the other side surface of another strip-shaped flexible substrate (not shown), and the flexible substrate is rolled into a cylindrical shape. By the thing, it is comprised by the cylindrical shape. An insulating layer is provided between the second coil layer 7c and the third coil layer 8c. Furthermore, an insulating layer is also provided between the fourth coil layer 9c of the one coil layer group and the first coil layer 6c of the other coil layer group.

図15は、前記両コイル層グループを径方向外側から見た展開図を示しており、又、図16の(A)〜(D)は、前記第一〜第四コイル層6c〜9cの径方向外側から見た展開図を示している。   FIG. 15 shows a developed view of the two coil layer groups as viewed from the outside in the radial direction, and FIGS. 16A to 16D show the diameters of the first to fourth coil layers 6c to 9c. The development view seen from the direction outside is shown.

前記第一コイル層6c(前記第二コイル層7c、前記第三コイル層8c、前記第四コイル層9c)は、図16の(A){(B)、(C)、(D)}に示す様に、複数個の第一検出コイル10a、10a(第二検出コイル11a、11a、第三検出コイル12a、12a、第四検出コイル13a、13a)を備える。これら各第一検出コイル10a、10a(第二検出コイル11a、11a、第三検出コイル12a、12a、第四検出コイル13a、13a)は、それぞれ自身のコイル面を前記第一コイル層6c(前記第二コイル層7c、前記第三コイル層8c、前記第四コイル層9c)の径方向(前記被検出部3bとの対向方向)に向けた状態で、円周方向に関して等ピッチに並べて配置されている。   The first coil layer 6c (the second coil layer 7c, the third coil layer 8c, and the fourth coil layer 9c) is formed as shown in (A) {(B), (C), (D)} of FIG. As shown, a plurality of first detection coils 10a, 10a (second detection coils 11a, 11a, third detection coils 12a, 12a, fourth detection coils 13a, 13a) are provided. Each of these first detection coils 10a, 10a (second detection coils 11a, 11a, third detection coils 12a, 12a, fourth detection coils 13a, 13a) has their own coil surfaces on the first coil layer 6c (described above). The second coil layer 7c, the third coil layer 8c, and the fourth coil layer 9c are arranged in an equal pitch with respect to the circumferential direction in a state of being directed in the radial direction (opposite direction to the detected portion 3b). ing.

又、前記各第一検出コイル10a、10a(第二検出コイル11a、11a、第三検出コイル12a、12a、第四検出コイル13a、13a)は、円周方向に隣り合うもの同士{但し、前記フレキシブル基板の両端縁を挟んで互いに隣り合う1対の第一検出コイル10a、10a(第二検出コイル11a、11a、第三検出コイル12a、12a、第四検出コイル13a、13a)同士を除く。}がそれぞれ直列に接続される事により、前記ブリッジ回路5a(5b)を構成する第一インピーダンス部18(第二インピーダンス部19、第三インピーダンス部20、第四インピーダンス部21)を構成している。尚、図15〜16では、円周方向に隣り合う第一検出コイル10a、10a(第二検出コイル11a、11a、第三検出コイル12a、12a、第四検出コイル13a、13a)同士を接続する配線(ビアを含む配線構造)の図示を省略している。   The first detection coils 10a, 10a (second detection coils 11a, 11a, third detection coils 12a, 12a, fourth detection coils 13a, 13a) are adjacent to each other in the circumferential direction {however, A pair of first detection coils 10a and 10a (second detection coils 11a and 11a, third detection coils 12a and 12a, and fourth detection coils 13a and 13a) adjacent to each other across both edges of the flexible substrate are excluded. } Are connected in series to form the first impedance part 18 (second impedance part 19, third impedance part 20, fourth impedance part 21) constituting the bridge circuit 5a (5b). . 15 to 16, the first detection coils 10a and 10a (second detection coils 11a and 11a, third detection coils 12a and 12a, and fourth detection coils 13a and 13a) adjacent in the circumferential direction are connected to each other. Illustration of wiring (wiring structure including vias) is omitted.

尚、前記第一コイル層6cを構成する第一検出コイル10a、10aの総数と、前記第二コイル層7cを構成する第二検出コイル11a、11aの総数と、前記第三コイル層8cを構成する第三検出コイル12a、12aの総数と、前記第四コイル層9cを構成する第四検出コイル13a、13aの総数とを、互いに等しくしている。又、本例の場合には、前記第一〜第四コイル層6c〜9c同士で、前記第一〜第四検出コイル10a〜13aの円周方向に関する配置の位相を互いに一致させている。   The total number of first detection coils 10a and 10a constituting the first coil layer 6c, the total number of second detection coils 11a and 11a constituting the second coil layer 7c, and the third coil layer 8c are constituted. The total number of the third detection coils 12a, 12a and the total number of the fourth detection coils 13a, 13a constituting the fourth coil layer 9c are equal to each other. Further, in the case of this example, the first to fourth coil layers 6c to 9c have the same arrangement phase in the circumferential direction of the first to fourth detection coils 10a to 13a.

前記第一〜第四検出コイル10a〜13aは、円周方向側辺部40a、40b、40c、40dが、前記第一〜第四コイル層6c〜9cの軸方向に対し、45゜傾斜している。但し、前記第一、第四検出コイル10a、13aの円周方向側辺部40a、40dと、前記第二、第三検出コイル11a、12aの円周方向側辺部40b、40cとで、前記軸方向に対する45゜の傾斜方向が、互いに逆になっている。即ち、前記第一、第四検出コイル10a、13aの円周方向側辺部40a、40dは、前記軸方向に対し、前記軸方向の片側(図15〜16の右側)に向かう程円周方向片側(図15〜16の上側)に向かう方向に45゜傾斜(前記軸方向に対し+45゜傾斜)している。これに対し、前記第二、第三検出コイル11a、12aの円周方向側辺部40b、40cは、前記軸方向に対し、前記軸方向の片側(図15〜16の右側)に向かう程円周方向他側(図15〜16の下側)に向かう方向に45゜傾斜(前記軸方向に対し−45゜傾斜)している。   In the first to fourth detection coils 10a to 13a, circumferential side portions 40a, 40b, 40c, and 40d are inclined by 45 ° with respect to the axial direction of the first to fourth coil layers 6c to 9c. Yes. However, the circumferential side portions 40a and 40d of the first and fourth detection coils 10a and 13a and the circumferential side portions 40b and 40c of the second and third detection coils 11a and 12a, The inclination directions of 45 ° with respect to the axial direction are opposite to each other. That is, the circumferential side portions 40a and 40d of the first and fourth detection coils 10a and 13a are circumferentially directed toward one side of the axial direction (the right side in FIGS. 15 to 16) with respect to the axial direction. It is inclined 45 ° (inclined + 45 ° with respect to the axial direction) toward one side (the upper side in FIGS. 15 to 16). On the other hand, the circumferential side portions 40b and 40c of the second and third detection coils 11a and 12a are circular toward the one side of the axial direction (the right side in FIGS. 15 to 16) with respect to the axial direction. It is inclined by 45 ° in the direction toward the other side in the circumferential direction (the lower side in FIGS. 15 to 16) (−45 ° with respect to the axial direction).

又、前述した様に、前記両ブリッジ回路5a、5b(図6参照)のうち、一方のブリッジ回路5aは、前記一方のコイル層グループに就いて構成されており、他方のブリッジ回路5bは、前記他方のコイル層グループに就いて構成されている。本例の場合も、前述した実施の形態の第1例の場合と同様、前記各ブリッジ回路5a、5bは、前記4つのインピーダンス部18〜21を四辺に配置したブリッジ部22と、前記ブリッジ部22の両端に交流電圧を印加する為の発振器23と、前記ブリッジ部22の中点電位差を検出・増幅して出力Vを発生するロックイン増幅器24とを備えている。   Also, as described above, one of the bridge circuits 5a and 5b (see FIG. 6), one bridge circuit 5a is configured for the one coil layer group, and the other bridge circuit 5b is The other coil layer group is configured. Also in the case of this example, as in the case of the first example of the above-described embodiment, each of the bridge circuits 5a and 5b includes a bridge unit 22 in which the four impedance units 18 to 21 are arranged on four sides, and the bridge unit. An oscillator 23 for applying an alternating voltage to both ends of 22 and a lock-in amplifier 24 for detecting and amplifying the midpoint potential difference of the bridge portion 22 to generate an output V are provided.

そして、本例の場合も、前述した実施の形態の第1例の場合と同様、前記発振器23により、前記ブリッジ部22の両端に交流電圧を印加する事によって、前記第一〜第四インピーダンス部18〜21(前記第一〜第四検出コイル10a〜13a)に交流電流を流した場合に、円周方向に隣り合う第一検出コイル10a、10a(第二検出コイル11a、11a、第三検出コイル12a、12a、第四検出コイル13a、13a)を流れる電流の向きが、図16の(A)(D)及びに矢印イ、ロで示す様に、又は、図16の(B)(C)に矢印ハ、二で示す様に、互いに逆向きとなる様にしている。この為に、本例の場合も、前記第一〜第四検出コイル10a〜13aに関する、導線の巻き方向や、円周方向に隣り合う検出コイル同士の直列接続の仕方を規制している。又、本例の場合も、前記被検出部材2aにトルクが負荷されていない中立状態では、前記ブリッジ部22が平衡状態(中点電位差が0の状態)となる様に、前記第一〜第四インピーダンス部18〜21の構成を規制している。   And also in the case of this example, like the case of the 1st example of embodiment mentioned above, by applying an alternating voltage to the both ends of the bridge part 22 by the oscillator 23, the first to fourth impedance parts When an alternating current is passed through 18 to 21 (the first to fourth detection coils 10a to 13a), the first detection coils 10a and 10a (second detection coils 11a and 11a, third detection adjacent to each other in the circumferential direction). The direction of the current flowing through the coils 12a and 12a and the fourth detection coils 13a and 13a) is as shown by arrows A and B in FIGS. 16A and 16D, or as shown in FIGS. ) In opposite directions as indicated by arrows C and II. For this reason, also in the case of this example, the winding direction of the conducting wire and the way of series connection of the detection coils adjacent in the circumferential direction are restricted with respect to the first to fourth detection coils 10a to 13a. Also in the case of this example, the first to second states are set so that the bridge portion 22 is in an equilibrium state (a state in which the midpoint potential difference is 0) in a neutral state where no torque is applied to the detected member 2a. The configuration of the four impedance portions 18 to 21 is regulated.

上述の様に構成する本例のトルク測定装置の場合も、使用時には、前記両ブリッジ回路5a、5bのそれぞれに関して、前記発振器23により、前記ブリッジ部22の両端に交流電圧を印加する事によって、前記第一〜第四インピーダンス部18〜21(前記第一〜第四検出コイル10a〜13a)に交流電流を流す事により、前記第一〜第四検出コイル10a〜13aの周囲に磁場を発生させる。この状態で、前記被検出部材2aにトルクTが負荷されると、前述した実施の形態の第1例の場合と同様の原理により、前記ブリッジ部22の平衡状態が崩れて、前記ブリッジ部22の中点電位差が、前記トルクTに応じた分だけ変化する。この為、前記中点電位差を、前記ロックイン増幅器24により検出・増幅する事によって、前記トルクTに応じた出力Vを得られる。   Also in the case of the torque measuring device of the present example configured as described above, by applying an AC voltage to both ends of the bridge portion 22 by the oscillator 23 for each of the both bridge circuits 5a and 5b, A magnetic field is generated around the first to fourth detection coils 10a to 13a by passing an alternating current through the first to fourth impedance units 18 to 21 (the first to fourth detection coils 10a to 13a). . In this state, when the torque T is applied to the member 2a to be detected, the equilibrium state of the bridge portion 22 is broken by the same principle as in the first example of the embodiment described above, and the bridge portion 22 Is changed by an amount corresponding to the torque T. Therefore, the output V corresponding to the torque T can be obtained by detecting and amplifying the midpoint potential difference by the lock-in amplifier 24.

更に、本例の場合も、前記被検出部材2aに負荷されるトルクTを測定する為のブリッジ回路5a、5bを2つ備えている。この為、何れか一方のブリッジ回路5a(5b)が故障した場合でも、他方のブリッジ回路5b(5a)により、前記トルクTの測定を継続する事ができる。又、本例の場合も、例えば、前記2つのブリッジ回路5a、5bによる前記トルクTの測定値の平均を取る事により、測定誤差を改善する事もできる。   Furthermore, also in this example, two bridge circuits 5a and 5b for measuring the torque T applied to the detected member 2a are provided. Therefore, even when one of the bridge circuits 5a (5b) fails, the measurement of the torque T can be continued by the other bridge circuit 5b (5a). Also in this example, the measurement error can be improved by taking the average of the measured values of the torque T by the two bridge circuits 5a and 5b, for example.

[実施の形態の第7例]
本発明の実施の形態の第7例に就いて、図17〜19を参照しつつ説明する。
本例の場合には、トルク測定用センサ1cの検出部4cを構成するコイル層の総数を4つとしている。これら4つのコイル層(第一、第二コイル層6d、7d、及び、第一、第二コイル層6d、7d)のうち、被検出部3bに近い側(径方向内側)に位置する2つのコイル層(第一、第二コイル層6d、7d)から成る一方のコイル層グループと、前記被検出部3bから遠い側(径方向外側)に位置する2つのコイル層(第一、第二コイル層6d、7d)から成る他方のコイル層グループとは、前記被検出部3bからの径方向距離(径寸法)が異なる点以外は、互いに同じ構成を有している。
又、本例の場合も、前記一方のコイル層グループに就いて1つのブリッジ回路5a{図6の(A)参照}が構成されており、又、前記他方のコイル層グループに就いて1つのブリッジ回路5b{図6の(B)参照}が構成されている。
[Seventh example of embodiment]
A seventh example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the case of this example, the total number of coil layers constituting the detection unit 4c of the torque measurement sensor 1c is four. Of these four coil layers (first and second coil layers 6d and 7d, and first and second coil layers 6d and 7d), two of the four coil layers located on the side closer to the detected portion 3b (in the radial direction) One coil layer group consisting of coil layers (first and second coil layers 6d and 7d) and two coil layers (first and second coils) located on the side farther from the detected portion 3b (radially outside) The other coil layer group composed of the layers 6d and 7d) has the same configuration except that the radial distance (diameter dimension) from the detected portion 3b is different.
Also in this example, one bridge circuit 5a {refer to FIG. 6A} is constructed for the one coil layer group, and one bridge circuit 5a is constructed for the other coil layer group. A bridge circuit 5b {see FIG. 6B} is configured.

前記両コイル層グループを構成する、第一、第二コイル層6d、7dは、径方向に関して前記被検出部3bに近い側(径方向内側)から、第一コイル層6d、第二コイル層7dの順に並べた状態で積層配置されている。又、前記第一コイル層6dと前記第二コイル層7dとは、図示しない帯状のフレキシブル基板の片側面と他側面とに分けて成形されていると共に、該フレキシブル基板を円筒状に丸める事により、円筒状に構成されている。又、前記一方のコイル層グループの第二コイル層7dと、前記他方のコイル層グループの第一コイル層6dとの間には、図示しない絶縁層が設けられている。   The first and second coil layers 6d and 7d constituting both the coil layer groups are arranged in the radial direction from the side closer to the detected portion 3b (in the radial direction), the first coil layer 6d and the second coil layer 7d. Are arranged in a stacked state in this order. The first coil layer 6d and the second coil layer 7d are formed separately on one side and the other side of a strip-shaped flexible substrate (not shown), and by rolling the flexible substrate into a cylindrical shape. It is configured in a cylindrical shape. An insulating layer (not shown) is provided between the second coil layer 7d of the one coil layer group and the first coil layer 6d of the other coil layer group.

図18は、前記両コイル層グループを径方向外側から見た展開図を示しており、又、図19の(A)(B)は、第一、第二コイル層6d、7dの径方向外側から見た展開図を示している。   FIG. 18 is a developed view of the two coil layer groups as viewed from the radially outer side, and FIGS. 19A and 19B show the radially outer sides of the first and second coil layers 6d and 7d. The development view seen from is shown.

本例の場合、前記第一コイル層6dは、第一検出コイル10a、10aと第四検出コイル13a、13aとを、円周方向に関して1個ずつ交互に且つ等ピッチに並べて配置する事により構成されている。又、前記各第一検出コイル10a、10aは、円周方向に隣り合うもの同士(但し、前記フレキシブル基板の両端縁を挟んで互いに隣り合う1対の第一検出コイル10a、10a同士を除く。)がそれぞれ直列に接続される事により、前記ブリッジ回路5a(5b)を構成する第一インピーダンス部18を構成している。又、前記各第四検出コイル13a、13aは、円周方向に隣り合うもの同士(但し、前記フレキシブル基板の両端縁を挟んで互いに隣り合う1対の第四検出コイル13a、13a同士を除く。)がそれぞれ直列に接続される事により、前記ブリッジ回路5a(5b)を構成する第四インピーダンス部21を構成している。尚、図18〜19では、円周方向に隣り合う第一検出コイル10a、10a同士及び第四検出コイル13a、13a同士を接続する配線(ビアを含む配線構造)の図示を省略している。   In the case of this example, the first coil layer 6d is configured by arranging the first detection coils 10a and 10a and the fourth detection coils 13a and 13a alternately and at equal pitches in the circumferential direction one by one. Has been. The first detection coils 10a and 10a are adjacent to each other in the circumferential direction (however, a pair of first detection coils 10a and 10a adjacent to each other across both end edges of the flexible substrate are excluded. ) Are connected in series to form the first impedance section 18 constituting the bridge circuit 5a (5b). The fourth detection coils 13a and 13a are adjacent to each other in the circumferential direction (however, a pair of the fourth detection coils 13a and 13a adjacent to each other across both end edges of the flexible substrate are excluded. ) Are connected in series to form the fourth impedance section 21 constituting the bridge circuit 5a (5b). 18 to 19, illustration of wirings (wiring structures including vias) connecting the first detection coils 10a and 10a adjacent to each other in the circumferential direction and the fourth detection coils 13a and 13a is omitted.

これに対し、前記第二コイル層7dは、第二検出コイル11a、11aと第三検出コイル12a、12aとを、円周方向に関して1個ずつ交互に且つ等ピッチに並べて配置する事により構成されている。又、前記各第二検出コイル11a、11aは、円周方向に隣り合うもの同士(但し、前記フレキシブル基板の両端縁を挟んで互いに隣り合う1対の第二検出コイル11a、11a同士を除く。)がそれぞれ直列に接続される事により、前記ブリッジ回路5a(5b)を構成する第二インピーダンス部19を構成している。又、前記各第三検出コイル12a、12aは、円周方向に隣り合うもの同士(但し、前記フレキシブル基板の両端縁を挟んで互いに隣り合う1対の第三検出コイル12a、12a同士を除く。)がそれぞれ直列に接続される事により、前記ブリッジ回路5a(5b)を構成する第三インピーダンス部20を構成している。尚、図18〜19では、円周方向に隣り合う第二検出コイル11a、11a同士及び第三検出コイル12a、12a同士を接続する配線(ビアを含む配線構造)の図示を省略している。   On the other hand, the second coil layer 7d is configured by arranging the second detection coils 11a, 11a and the third detection coils 12a, 12a alternately and at equal pitches in the circumferential direction. ing. The second detection coils 11a and 11a are adjacent to each other in the circumferential direction (however, a pair of second detection coils 11a and 11a adjacent to each other across both end edges of the flexible substrate are excluded. ) Are connected in series to form the second impedance section 19 constituting the bridge circuit 5a (5b). The third detection coils 12a and 12a are adjacent to each other in the circumferential direction (however, a pair of third detection coils 12a and 12a adjacent to each other across both end edges of the flexible substrate are excluded. ) Are connected in series to form the third impedance unit 20 constituting the bridge circuit 5a (5b). 18 to 19, illustration of wirings (wiring structures including vias) that connect the second detection coils 11a and 11a adjacent to each other in the circumferential direction and the third detection coils 12a and 12a are omitted.

尚、前記第一コイル層6dを構成する第一、第四検出コイル10a、13aの総数と、前記第二コイル層7dを構成する第二、第三検出コイル11a、12aの総数とを、互いに等しくしている。又、本例の場合には、前記第一コイル層6dを構成する前記第一、第四各検出コイル10a、13aの円周方向に関する配置の位相と、前記第二コイル層7dを構成する第二、第三検出コイル11a、12aの円周方向に関する配置の位相とを、互いに一致させている。   The total number of first and fourth detection coils 10a and 13a constituting the first coil layer 6d and the total number of second and third detection coils 11a and 12a constituting the second coil layer 7d are mutually equal. Are equal. In the case of this example, the phase of the arrangement of the first and fourth detection coils 10a, 13a constituting the first coil layer 6d in the circumferential direction and the second coil layer 7d constituting the second coil layer 7d. The phases of the arrangement of the second and third detection coils 11a and 12a in the circumferential direction are made to coincide with each other.

この様な構成を有する本例のトルク測定用センサ1cの場合も、被検出部材2aに負荷されるトルクTを測定する為のブリッジ回路5a、5bを2つ備えている為、何れか一方のブリッジ回路5a(5b)が故障した場合でも、他方のブリッジ回路5b(5a)により、前記トルクTの測定を継続する事ができる。
又、本例の場合には、1つのブリッジ回路5a(5b)を構成する為のコイル層の数が、4つではなく、2つになる為、前記検出部4cの薄型化や、製造コストの低減を図り易い。
その他の構成及び作用は、上述した実施の形態の第1例、第2例及び第6例の場合と同様である。
The torque measuring sensor 1c of this example having such a configuration also includes two bridge circuits 5a and 5b for measuring the torque T applied to the detected member 2a. Even when the bridge circuit 5a (5b) fails, the measurement of the torque T can be continued by the other bridge circuit 5b (5a).
In the case of this example, since the number of coil layers for constituting one bridge circuit 5a (5b) is two instead of four, the detection unit 4c can be made thinner and the manufacturing cost can be reduced. Is easy to reduce.
Other configurations and operations are the same as those of the first example, the second example, and the sixth example of the embodiment described above.

[実施の形態の第8例]
本発明の実施の形態の第8例に就いて、図20を参照しつつ説明する。
本例のトルク測定用センサの場合には、1対のブリッジ回路5a、5b(図6参照)を構成する為の1対のコイル層グループを構成する、第一コイル層6e及び第二コイル層7eの構成(各検出コイルの配置の仕方)が、上述した実施の形態の第7例の場合と異なる。
[Eighth Example of Embodiment]
An eighth example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the case of the torque measurement sensor of this example, the first coil layer 6e and the second coil layer that constitute a pair of coil layer groups for constituting a pair of bridge circuits 5a and 5b (see FIG. 6). The configuration of 7e (how to arrange each detection coil) is different from that of the seventh example of the above-described embodiment.

本例の場合、第一コイル層6eは、円周方向に二等分割された1対の半円筒状範囲のうち、一方の半円筒状範囲{図20の(A)の上半部に位置する範囲}に各第一検出コイル10a、10aを、他方の半円筒状範囲{図20の(A)の下半部に位置する範囲}に各第四検出コイル13a、13aを、それぞれ円周方向に並べて配置する事により構成されている。又、トルクを測定する際に、前記第一コイル層6eを構成する各第一検出コイル10a、10a及び各第四検出コイル13a、13aのうち、円周方向に隣り合う2つの検出コイルを流れる電流の向きが、図20の(A)に矢印イ、ロで示す様に、互いに逆向きとなる様にしている。この為に、前記第一、第四各検出コイル10a、13aに関する、導線の巻き方向や、円周方向に隣り合う各第一検出コイル10a、10a同士及び各第二検出コイル13a、13a同士の直列接続の仕方を規制している。   In the case of this example, the first coil layer 6e is located in one half-cylindrical range {the upper half of FIG. 20A) among a pair of semi-cylindrical ranges that are equally divided in the circumferential direction. The first detection coils 10a and 10a are arranged in the range to be performed}, and the fourth detection coils 13a and 13a are arranged in the other semi-cylindrical range {the range located in the lower half of FIG. It is configured by arranging them side by side. Further, when the torque is measured, the first detection coils 10a and 10a and the fourth detection coils 13a and 13a constituting the first coil layer 6e flow through two detection coils adjacent in the circumferential direction. The directions of current are set to be opposite to each other as indicated by arrows a and b in FIG. For this purpose, the first and fourth detection coils 10a and 13a are connected to each other between the first detection coils 10a and 10a and the second detection coils 13a and 13a that are adjacent to each other in the winding direction and the circumferential direction. Regulates how to connect in series.

又、本例の場合、第二コイル層7eは、円周方向に二等分割された1対の半円筒状範囲のうち、一方の半円筒状範囲{図20の(B)の上半部に位置する範囲}に各第二検出コイル11a、11aを、他方の半円筒状範囲{図20の(B)の下半部に位置する範囲}に各第三検出コイル12a、12aを、それぞれ円周方向に並べて配置する事により構成されている。又、トルクを測定する際に、前記第二コイル層7eを構成する各第二検出コイル11a、11a及び各第三検出コイル12a、12aのうち、円周方向に隣り合う2つの検出コイルを流れる電流の向きが、図20の(B)に矢印ハ、ニで示す様に、互いに逆向きとなる様にしている。この為に、前記第二、第三各検出コイル11a、12aに関する、導線の巻き方向や、円周方向に隣り合う各第二検出コイル11a、11a同士及び各第三検出コイル12a、12a同士の直列接続の仕方を規制している。   Further, in the case of this example, the second coil layer 7e is one of the semi-cylindrical ranges of the pair of semi-cylindrical ranges divided in the circumferential direction {the upper half of FIG. The second detection coils 11a and 11a are in the range located in the second half, and the third detection coils 12a and 12a are in the other semi-cylindrical range (the range located in the lower half of FIG. 20B), respectively. It is configured by arranging them in the circumferential direction. Moreover, when measuring torque, it flows through two detection coils adjacent in the circumferential direction among the second detection coils 11a and 11a and the third detection coils 12a and 12a constituting the second coil layer 7e. The directions of the currents are opposite to each other as indicated by arrows C and D in FIG. For this purpose, the second and third detection coils 11a and 12a, the winding direction of the conductive wire, the second detection coils 11a and 11a adjacent to each other in the circumferential direction, and the third detection coils 12a and 12a. Regulates how to connect in series.

上述の様に、本例の構造の場合には、前記第一コイル層6e(第二コイル層7e)が円周方向に二分割された1対の半円筒状範囲に分けられ、これら両半円筒状範囲に前記各第一検出コイル10a、10aと前記各第三検出コイル13a、13aとが(前記各第二検出コイル11a、11aと前記各第三検出コイル12a、12aとが)、それぞれ円周方向に並べて配置されている。この為、前記各第一検出コイル10a、10a同士を直列に接続する配線構造及び前記各第四検出コイル13a、13a同士を直列に接続する配線構造(前記各第二検出コイル11a、11a同士を直列に接続する配線構造及び前記各第三検出コイル12a、12a同士を直列に接続する配線構造)を簡素化し易くできる。従って、これら各配線構造の簡素化による小型化を図り易くできる。
その他の構成及び作用は、上述した実施の形態の第7例の場合と同様である。
As described above, in the case of the structure of this example, the first coil layer 6e (second coil layer 7e) is divided into a pair of semi-cylindrical regions divided into two in the circumferential direction. The first detection coils 10a, 10a and the third detection coils 13a, 13a (the second detection coils 11a, 11a and the third detection coils 12a, 12a) are respectively in cylindrical ranges. They are arranged side by side in the circumferential direction. Therefore, a wiring structure for connecting the first detection coils 10a and 10a in series and a wiring structure for connecting the fourth detection coils 13a and 13a in series (the second detection coils 11a and 11a are connected to each other). The wiring structure connecting in series and the wiring structure connecting the third detection coils 12a and 12a in series can be easily simplified. Therefore, it is possible to easily reduce the size by simplifying each wiring structure.
Other configurations and operations are the same as those of the seventh example of the embodiment described above.

[実施の形態の第9例]
本発明の実施の形態の第9例に就いて、図21を参照しつつ説明する。
本例は、上述した実施の形態の第6〜8例のトルク測定用センサ1b(1c)の具体的な使用態様を示すものである。
本例の使用態様では、エンジン25のクランクシャフト26とトルクコンバータ27の外殻を構成するケース28とをトルク伝達可能に連結する、磁歪特性を有する鉄系合金製で円環状のドライブプレート29bを被検出部材として、前記ドライブプレート29bに負荷されるトルクを、前記トルク測定用センサ1b(1c)により測定する様にしている。この為に、前記ドライブプレート29bの径方向内端寄り部分に設けられた円筒部36aの外周面を、被検出部3cとしている。そして、前記被検出部3cに対して前記トルク測定用センサ1b(1c)の検出部4b(4c)を径方向に対向させた状態で、前記トルク測定用センサ1b(1c)を前記エンジン25のシリンダブロック30に対して支持固定している。
[Ninth Embodiment]
A ninth example of the embodiment of the invention will be described with reference to FIG.
This example shows a specific usage mode of the torque measuring sensor 1b (1c) of the sixth to eighth examples of the above-described embodiment.
In the usage mode of this example, an annular drive plate 29b made of an iron-based alloy having magnetostrictive characteristics, which connects the crankshaft 26 of the engine 25 and the case 28 constituting the outer shell of the torque converter 27 so as to transmit torque, is provided. The torque applied to the drive plate 29b as the member to be detected is measured by the torque measuring sensor 1b (1c). For this purpose, the outer peripheral surface of the cylindrical portion 36a provided near the radially inner end of the drive plate 29b is the detected portion 3c. The torque measuring sensor 1b (1c) is connected to the engine 25 in a state where the detection unit 4b (4c) of the torque measuring sensor 1b (1c) is opposed to the detected portion 3c in the radial direction. The cylinder block 30 is supported and fixed.

[実施の形態の第10例]
本発明の実施の形態の第10例に就いて、図22を参照しつつ説明する。
本例も、上述した実施の形態の第6〜8例のトルク測定用センサ1b(1c)の具体的な使用態様を示すものである。
本例の場合、ドライブプレート29bの被検出部3cに対して径方向に対向させた前記トルク測定用センサ1b(1c)は、転がり軸受31と組み合わされる事により、センサ付軸受を構成している。
前記転がり軸受31は、使用時にも回転しない静止輪である外輪32と、使用時に回転する回転輪である内輪33と、前記外輪32の内周面に形成された外輪軌道と前記内輪33の外周面に形成された内輪軌道との間に転動自在に設けられた複数個の転動体(図示の例では玉)34とを備える。そして、前記外輪32を、シリンダブロック30に設けられた保持凹部35aに内嵌固定すると共に、前記内輪33を、前記ドライブプレート29bのうち、円筒部36aの基端部(図20の右端部)及び基端側の隣接部分に外嵌固定する事により、前記シリンダブロック30に対して前記ドライブプレート29bを回転自在に支持している。
前記トルク測定用センサ1b(1c)は、前記外輪32の軸方向片端部(図22の左端部)に、円環状のホルダ37aを介して支持固定されている。
その他の構成及び作用は、上述した実施の形態の第9例の場合と同様である。
[Tenth example of embodiment]
A tenth example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This example also shows a specific usage mode of the torque measuring sensor 1b (1c) of the sixth to eighth examples of the above-described embodiment.
In the case of this example, the torque measurement sensor 1b (1c) opposed to the detected portion 3c of the drive plate 29b in the radial direction constitutes a sensor-equipped bearing by being combined with the rolling bearing 31. .
The rolling bearing 31 includes an outer ring 32 that is a stationary ring that does not rotate even when used, an inner ring 33 that is a rotating wheel that rotates when used, an outer ring raceway formed on the inner circumferential surface of the outer ring 32, and an outer circumference of the inner ring 33. A plurality of rolling elements (balls in the illustrated example) 34 are provided so as to be freely rollable between the inner ring raceway formed on the surface. The outer ring 32 is fitted and fixed in a holding recess 35a provided in the cylinder block 30, and the inner ring 33 is fixed to the base end portion (right end portion in FIG. 20) of the cylindrical portion 36a of the drive plate 29b. The drive plate 29b is rotatably supported with respect to the cylinder block 30 by being externally fitted and fixed to an adjacent portion on the base end side.
The torque measuring sensor 1b (1c) is supported and fixed to one end of the outer ring 32 in the axial direction (left end in FIG. 22) via an annular holder 37a.
Other configurations and operations are the same as those of the ninth example of the embodiment described above.

本発明のトルク測定用センサを、自動車のパワートレインに組み込んで使用する場合、対象となる装置は、特に問わない。例えば、オートマチックトランスミッション(AT)、ベルト式無段変速機、トロイダル型無段変速機、オートマチックマニュアルトランスミッション(AMT)、ダブルクラッチトランスミッション(DCT)等の車側の制御で変速を行うトランスミッション、又はトランスファーを対象とする事ができる。又、対象となる車両の駆動方式(FF、FR等)も、特に問わない。
又、本発明のトルク測定用センサは、自動車のパワートレインに限らず、風車、鉄道車両、圧延機、工作機械、建設機械、農業機械、家庭用電気器具等、各種機械装置に組み込んで使用する事ができる。
又、本発明のセンサ付軸受を構成する軸受は、転がり軸受に限らず、滑り軸受であっても良い。又、転がり軸受としては、ニードル軸受、深溝玉軸受、アンギュラ玉軸受、円すいころ軸受、円筒ころ軸受、自動調心ころ軸受等、各種のものを使用する事ができる。更に、当該転がり軸受は、単列転がり軸受に限らず、複列転がり軸受であっても良い。
又、本発明を実施する場合、被検出部材の軸方向側面や周面に設ける被検出部は、前記被検出部材の軸方向側面や周面そのものとする他、これら軸方向側面や周面に固定した磁歪材とする事もできる。
When the torque measurement sensor of the present invention is used by being incorporated in a power train of an automobile, the target device is not particularly limited. For example, automatic transmission (AT), belt type continuously variable transmission, toroidal type continuously variable transmission, automatic manual transmission (AMT), double clutch transmission (DCT), etc. Can be targeted. Further, the driving method (FF, FR, etc.) of the target vehicle is not particularly limited.
Further, the torque measuring sensor of the present invention is not limited to the power train of an automobile, and is used by being incorporated in various mechanical devices such as a windmill, a railway vehicle, a rolling mill, a machine tool, a construction machine, an agricultural machine, and a household electric appliance. I can do things.
Moreover, the bearing which comprises the bearing with a sensor of this invention is not restricted to a rolling bearing, A sliding bearing may be sufficient. Various types of rolling bearings such as needle bearings, deep groove ball bearings, angular ball bearings, tapered roller bearings, cylindrical roller bearings, and self-aligning roller bearings can be used. Further, the rolling bearing is not limited to a single row rolling bearing, and may be a double row rolling bearing.
When the present invention is carried out, the detected portion provided on the axial side surface or the peripheral surface of the detected member is the axial side surface or the peripheral surface itself of the detected member. It can also be a fixed magnetostrictive material.

1、1a、1b、1c トルク測定用センサ
2、2a 被検出部材
3、3a、3b、3c 被検出部
4、4a、4b、4c 検出部
5a、5b ブリッジ回路
6、6a、6b、6c、6d、6e 第一コイル層
7、7a、7b、7c、7d、7e 第二コイル層
8、8c 第三コイル層
9、9c 第四コイル層
10、10a 第一検出コイル
11、11a 第二検出コイル
12、12a 第三検出コイル
13、13a 第四検出コイル
14a、14b、14c、14d 径方向側辺部
15a、15b、15c、15d 径方向側辺部
16a、16b、16c、16d 円周方向側辺部
17a、17b、17c、17d 円周方向側辺部
18 第一インピーダンス部
19 第二インピーダンス部
20 第三インピーダンス部
21 第四インピーダンス部
22 ブリッジ部
23 発振器
24 ロックイン増幅器
25 エンジン
26 クランクシャフト
27 トルクコンバータ
28 ケース
29、29a、29b ドライブプレート
30 シリンダブロック
31 転がり軸受
32 外輪
33 内輪
34 転動体
35、35a 保持凹部
36、36a 円筒部
37、37a ホルダ
38 磁心
39 磁心素子
40a、40b、40c、40d 円周方向側辺部
1, 1a, 1b, 1c Torque measuring sensor 2, 2a Detected member 3, 3a, 3b, 3c Detected part 4, 4a, 4b, 4c Detecting part 5a, 5b Bridge circuit 6, 6a, 6b, 6c, 6d 6e 1st coil layer 7, 7a, 7b, 7c, 7d, 7e 2nd coil layer 8, 8c 3rd coil layer 9, 9c 4th coil layer 10, 10a 1st detection coil 11, 11a 2nd detection coil 12 , 12a Third detection coil 13, 13a Fourth detection coil 14a, 14b, 14c, 14d Radial side parts 15a, 15b, 15c, 15d Radial side parts 16a, 16b, 16c, 16d Circumferential side parts 17a, 17b, 17c, 17d Circumferential side portions 18 First impedance portion 19 Second impedance portion 20 Third impedance portion 21 Fourth impedance portion 22 Ridge part 23 Oscillator 24 Lock-in amplifier 25 Engine 26 Crankshaft 27 Torque converter 28 Case 29, 29a, 29b Drive plate 30 Cylinder block 31 Rolling bearing 32 Outer ring 33 Inner ring 34 Rolling element 35, 35a Holding recess 36, 36a Cylindrical part 37, 37a Holder 38 Magnetic core 39 Magnetic core element 40a, 40b, 40c, 40d Circumferential side part

Claims (3)

トルクを負荷される被検出部材に設けられ、前記トルクに応じた捩り応力が加わる事により透磁率を変化させる被検出部に対向する、複数のコイル層を備え、
前記各コイル層は、前記被検出部との対向方向に積層配置されており、
前記各コイル層は、それぞれ複数個の検出コイルを備えており、
前記各コイル層を構成する各検出コイルのうちの一部の検出コイルから成る4つのインピーダンス部を四辺に配置したブリッジ回路と、前記各コイル層を構成する各検出コイルのうちの残りの検出コイルから成る4つのインピーダンス部を四辺に配置したブリッジ回路とが構成されており、
前記各ブリッジ回路は、交流電圧を印加した状態で、前記被検出部材に負荷されるトルクに応じた中点電位差をそれぞれ発生するものである
トルク測定用センサ。
A plurality of coil layers provided on a member to be detected to which a torque is applied and facing a portion to be detected that changes a magnetic permeability by applying a torsional stress according to the torque;
Each of the coil layers is laminated and disposed in a direction opposite to the detected part,
Each of the coil layers includes a plurality of detection coils,
A bridge circuit in which four impedance portions composed of a part of detection coils of the detection coils constituting the coil layers are arranged on four sides, and the remaining detection coils of the detection coils constituting the coil layers And a bridge circuit with four impedance parts arranged on four sides.
Each of the bridge circuits generates a midpoint potential difference corresponding to the torque applied to the detected member in a state where an AC voltage is applied. Torque measuring sensor.
前記コイル層の総数が8つであり、
前記インピーダンス部が前記コイル層ごとに1つずつ構成されている、
請求項1に記載したトルク測定用センサ。
The total number of coil layers is 8,
The impedance part is configured for each of the coil layers,
The torque measurement sensor according to claim 1.
軸受と、
前記軸受のうち、使用時にも回転しない部分に対して支持された、請求項1〜2のうちの何れか1項に記載したトルク測定用センサとを備えた
センサ付軸受。
A bearing,
A sensor-equipped bearing comprising: the torque measuring sensor according to claim 1, wherein the bearing is supported against a portion of the bearing that does not rotate during use.
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Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6432135A (en) * 1987-07-29 1989-02-02 Nissan Motor Magnetostrictive stress measuring instrument
JPH01170823A (en) * 1987-12-26 1989-07-05 Daido Steel Co Ltd Torque sensor
JPH06194239A (en) * 1992-11-06 1994-07-15 Mitsubishi Electric Corp Torque detector and torque detection element
JPH06273247A (en) * 1993-03-24 1994-09-30 Omron Corp Magnetostrictive type stress sensor
JP2003240653A (en) * 2002-02-21 2003-08-27 Toshiba Corp Torque sensor
JP2006194360A (en) * 2005-01-14 2006-07-27 Ntn Corp Constant velocity universal joint device with torque detecting function
JP2006267045A (en) * 2005-03-25 2006-10-05 Nsk Ltd Torque sensor
JP2007086017A (en) * 2005-09-26 2007-04-05 Hitachi Cable Ltd Magnetostrictive torque sensor
JP2007086018A (en) * 2005-09-26 2007-04-05 Hitachi Cable Ltd Magnetostrictive torque sensor
US20090001974A1 (en) * 2007-06-12 2009-01-01 Jentek Sensors, Inc. Torque and load monitoring using magnetic sensor arrays
DE202015105090U1 (en) * 2015-02-18 2015-11-23 Methode Electronics Malta Ltd. Redundant torque sensor - multiple band arrangement

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6432135A (en) * 1987-07-29 1989-02-02 Nissan Motor Magnetostrictive stress measuring instrument
JPH01170823A (en) * 1987-12-26 1989-07-05 Daido Steel Co Ltd Torque sensor
JPH06194239A (en) * 1992-11-06 1994-07-15 Mitsubishi Electric Corp Torque detector and torque detection element
JPH06273247A (en) * 1993-03-24 1994-09-30 Omron Corp Magnetostrictive type stress sensor
JP2003240653A (en) * 2002-02-21 2003-08-27 Toshiba Corp Torque sensor
JP2006194360A (en) * 2005-01-14 2006-07-27 Ntn Corp Constant velocity universal joint device with torque detecting function
JP2006267045A (en) * 2005-03-25 2006-10-05 Nsk Ltd Torque sensor
JP2007086017A (en) * 2005-09-26 2007-04-05 Hitachi Cable Ltd Magnetostrictive torque sensor
JP2007086018A (en) * 2005-09-26 2007-04-05 Hitachi Cable Ltd Magnetostrictive torque sensor
US20090001974A1 (en) * 2007-06-12 2009-01-01 Jentek Sensors, Inc. Torque and load monitoring using magnetic sensor arrays
DE202015105090U1 (en) * 2015-02-18 2015-11-23 Methode Electronics Malta Ltd. Redundant torque sensor - multiple band arrangement

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022070581A1 (en) 2020-09-30 2022-04-07 日本精工株式会社 Torque load member and method for producing same, and torque measurement device
US11698312B2 (en) 2020-09-30 2023-07-11 Nsk Ltd. Torque load member and method for manufacturing same, and torque measuring device

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