JP2017090256A - Method for inspecting physical quantity sensor, physical quantity sensor, electronic apparatus, and mobile object - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、物理量センサーの検査方法、物理量センサー、電子機器および移動体に関するものである。 The present invention relates to a physical quantity sensor inspection method, a physical quantity sensor, an electronic device, and a moving object.
従来から、角速度および加速度を共に検出することのできる複合センサーとして、特許文献1の構成が知られている。特許文献1の複合センサーは、角速度センサー素子と、加速度センサー素子と、これらを収容するパッケージと、を有している。このような構成とすることで、センサー素子での封止とパッケージでの封止との2重の封止構造となるため、封止の信頼性を向上することができる。しかしながら、特許文献1の構成では、実際に封止がきちんと行われているか否かを確認する手段がない。
Conventionally, the configuration of
本発明の目的は、収容部の気密性が確保されているか否かを判定することのできる物理量センサーの検査方法、物理量センサー、電子機器および移動体を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an inspection method for a physical quantity sensor, a physical quantity sensor, an electronic device, and a moving body that can determine whether or not the airtightness of a storage unit is ensured.
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の物理量センサーの検査方法は、気密である収容部と、前記収容部に収容されている素子片と、を有する物理量センサー素子と、
気密であり、前記物理量センサー素子が収容されている素子収容部を有するパッケージと、を有し、
前記収容部内の気圧と前記素子収容部内の気圧とが異なっている物理量センサーの検査方法であって、
前記物理量センサー素子のインピーダンスに基づいて前記収容部の気密性を判定することを特徴とする。
これにより、収容部の気密性が確保されているか否かを簡単に判定することができる。
Such an object is achieved by the present invention described below.
The physical quantity sensor inspection method of the present invention includes a physical quantity sensor element having an airtight container and an element piece accommodated in the container.
An airtight package having an element accommodating portion in which the physical quantity sensor element is accommodated, and
An inspection method for a physical quantity sensor in which the air pressure in the housing portion and the air pressure in the element housing portion are different,
The airtightness of the housing portion is determined based on the impedance of the physical quantity sensor element.
Thereby, it can be determined easily whether the airtightness of the accommodating part is ensured.
本発明の物理量センサーの検査方法では、前記物理量センサー素子に接続されている電子部品を有し、
前記電子部品は、前記物理量センサー素子のインピーダンスに基づいて前記収容部の気密性を判定する気密性判定モードを備えていることが好ましい。
これにより、より簡単に、収容部の気密性が確保されているか否かを簡単に判定することができる。
In the physical quantity sensor inspection method of the present invention, it has an electronic component connected to the physical quantity sensor element,
It is preferable that the electronic component has an airtightness determination mode for determining the airtightness of the housing portion based on the impedance of the physical quantity sensor element.
As a result, it is possible to more easily determine whether or not the airtightness of the housing portion is ensured.
本発明の物理量センサーの検査方法では、前記気密性判定モードでは、前記インピーダンスから求められるQ値に基づいて、前記収容部の気密性を判定することが好ましい。
これにより、収容部の気密性が確保されているか否かを容易に判定することができる。
In the physical quantity sensor inspection method of the present invention, in the airtightness determination mode, it is preferable to determine the airtightness of the housing portion based on a Q value obtained from the impedance.
Thereby, it can be easily determined whether or not the airtightness of the accommodating portion is ensured.
本発明の物理量センサーの検査方法では、前記気密性判定モードでは、前記Q値と基準Q値との差が閾値内に収まっていれば、前記収容部の気密性が確保されていると判断し、前記差が前記閾値外であれば、前記収容部の気密性が破壊されていると判断することが好ましい。
これにより、簡単な方法で、収容部の気密性を判定することができる。
In the physical quantity sensor inspection method of the present invention, in the airtightness determination mode, if the difference between the Q value and the reference Q value is within a threshold value, it is determined that the airtightness of the housing portion is secured. If the difference is outside the threshold value, it is preferable to determine that the airtightness of the housing portion is broken.
Thereby, the airtightness of an accommodating part can be determined with an easy method.
本発明の物理量センサーの検査方法では、前記収容部は、第1収容部と、第2収容部と、を有し、
前記素子片は、前記第1収容部に収容されている第1素子片と、前記第2収容部に収容されている第2素子片と、を有し、
前記第1収容部内の気圧と前記第2収容部内の気圧と前記素子収容部の気圧とが互いに異なっていることが好ましい。
これにより、第1収容部と素子収容部との間でリークすれば第1収容部の気圧が変化するし、第2収容部と素子収容部との間でリークすれば第2収容部の気圧が変化するし、第1収容部と第2収容部の間でリークすれば第1収容部および第2収容部の気圧が共に変化する。そのため、気密性の判定をより正確に行うことができる。
In the physical quantity sensor inspection method of the present invention, the storage unit includes a first storage unit and a second storage unit,
The element piece includes a first element piece housed in the first housing portion and a second element piece housed in the second housing portion,
It is preferable that the air pressure in the first housing portion, the air pressure in the second housing portion, and the air pressure in the element housing portion are different from each other.
Thereby, if there is a leak between the first housing part and the element housing part, the air pressure in the first housing part changes, and if there is a leak between the second housing part and the element housing part, the air pressure in the second housing part. Change, and if there is a leak between the first housing part and the second housing part, the air pressures of the first housing part and the second housing part both change. Therefore, the airtightness can be determined more accurately.
本発明の物理量センサーの検査方法では、前記第1素子片は、角速度を検出する角速度検出素子片であり、
前記第2素子片は、加速度を検出する加速度検出素子片であることが好ましい。
これにより、利便性の高い物理量センサーとなる。
In the physical quantity sensor inspection method of the present invention, the first element piece is an angular velocity detection element piece that detects angular velocity,
The second element piece is preferably an acceleration detection element piece for detecting acceleration.
Thereby, it becomes a convenient physical quantity sensor.
本発明の物理量センサーの検査方法では、前記第1収容部内の気圧は、前記第2収容部内の気圧よりも低く、
前記素子収容部内の気圧は、前記第1収容部内の気圧よりも高く、前記第2収容部内の気圧よりも低いことが好ましい。
これにより、リークした際の第1収容部および第2収容部内の気圧の変化を大きくすることができる。そのため、気密性の判定をより正確に行うことができる。
In the physical quantity sensor inspection method of the present invention, the air pressure in the first housing portion is lower than the air pressure in the second housing portion,
It is preferable that the air pressure in the element housing portion is higher than the air pressure in the first housing portion and lower than the air pressure in the second housing portion.
Thereby, the change of the atmospheric | air pressure in the 1st accommodating part at the time of leaking and a 2nd accommodating part can be enlarged. Therefore, the airtightness can be determined more accurately.
本発明の物理量センサーの検査方法では、前記第1素子片は、検出軸が異なるように複数配置されており、
前記気密性判定モードでは、
複数の前記第1素子片の全ての前記差が前記閾値内であれば、前記第1収容部の気密性が確保されていると判断し、
複数の前記第1素子片の全ての前記差が前記閾値外であれば、前記第1収容部の気密性が破壊されていると判断し、
複数の前記第1素子片の一部の前記差が前記閾値外であれば、前記一部の第1素子片が故障していると判断することが好ましい。
これにより、第1収容部の気密性に加えて、第1素子片の故障を判定できるようになる。
In the physical quantity sensor inspection method of the present invention, a plurality of the first element pieces are arranged so that the detection axes are different,
In the airtightness determination mode,
If all the differences of the plurality of first element pieces are within the threshold value, it is determined that the airtightness of the first housing portion is secured,
If all the differences of the plurality of first element pieces are outside the threshold, it is determined that the airtightness of the first housing portion is broken,
If the difference between some of the plurality of first element pieces is outside the threshold value, it is preferable to determine that the some first element pieces are out of order.
Thereby, in addition to the airtightness of a 1st accommodating part, it becomes possible to determine the failure of a 1st element piece.
本発明の物理量センサーの検査方法では、前記第2素子片は、検出軸が異なるように複数配置されており、
前記気密性判定モードでは、
複数の前記第2素子片の全ての前記差が前記閾値内であれば、前記第2収容部の気密性が確保されていると判断し、
複数の前記第2素子片の全ての前記差が前記閾値外であれば、前記第2収容部の気密性が破壊されていると判断し、
複数の前記第2素子片の一部の前記差が前記閾値外であれば、前記一部の第2素子片が故障していると判断することが好ましい。
これにより、第2収容部の気密性に加えて、第2素子片の故障を判定できるようになる。
In the physical quantity sensor inspection method of the present invention, a plurality of the second element pieces are arranged so that the detection axes are different,
In the airtightness determination mode,
If all the differences of the plurality of second element pieces are within the threshold value, it is determined that the airtightness of the second accommodating portion is secured,
If all the differences of the plurality of second element pieces are outside the threshold, it is determined that the airtightness of the second housing portion has been destroyed,
If the difference between some of the plurality of second element pieces is outside the threshold value, it is preferable to determine that the some second element pieces are out of order.
Thereby, in addition to the airtightness of a 2nd accommodating part, it becomes possible to determine the failure of a 2nd element piece.
本発明の物理量センサーの検査方法では、前記電子部品は、前記素子片からの信号に基づいて物理量を検出する物理量検出モードを備えていることが好ましい。
これにより、より簡単に、物理量を検出することができる。
In the physical quantity sensor inspection method of the present invention, it is preferable that the electronic component has a physical quantity detection mode for detecting a physical quantity based on a signal from the element piece.
Thereby, a physical quantity can be detected more easily.
本発明の物理量センサーは、気密である収容部と、前記収容部に収容されている素子片と、を有する物理量センサー素子と、
気密であり、前記物理量センサー素子が収容されている素子収容部を有するパッケージと、
前記物理量センサー素子に電気的に接続された電子部品と、を有し、
前記収容部内の気圧と前記素子収容部内の気圧とが異なり、
前記電子部品は、前記素子片からの信号に基づいて物理量を検出する物理量検出モードと、前記素子片のインピーダンスに基づいて前記収容部の気密性を判定する気密性判定モードと、を有することを特徴とする。
これにより、収容部の気密性が確保されているか否かを判定することのできる物理量センサーが得られる。
The physical quantity sensor of the present invention is a physical quantity sensor element having an airtight housing part and an element piece housed in the housing part,
An airtight package having an element accommodating portion in which the physical quantity sensor element is accommodated;
An electronic component electrically connected to the physical quantity sensor element,
The air pressure in the housing portion and the air pressure in the element housing portion are different,
The electronic component has a physical quantity detection mode for detecting a physical quantity based on a signal from the element piece, and an airtightness determination mode for determining the airtightness of the housing portion based on the impedance of the element piece. Features.
Thereby, the physical quantity sensor which can determine whether the airtightness of the accommodating part is ensured is obtained.
本発明の物理量センサーでは、前記気密性判定モードでは、前記インピーダンスから求められるQ値に基づいて、前記収容部の気密性を判定することが好ましい。
これにより、収容部の気密性が確保されているか否かを容易に判定することができる。
In the physical quantity sensor of the present invention, in the airtightness determination mode, it is preferable to determine the airtightness of the housing portion based on a Q value obtained from the impedance.
Thereby, it can be easily determined whether or not the airtightness of the accommodating portion is ensured.
本発明の物理量センサーでは、前記気密性判定モードでは、前記Q値と基準Q値との差が閾値内に収まっていれば、前記収容部の気密性が確保されていると判断し、前記差が前記閾値外であれば、前記収容部の気密性が破壊されていると判断することが好ましい。
これにより、簡単な方法で、収容部の気密性を判定することができる。
In the physical quantity sensor of the present invention, in the airtightness determination mode, if the difference between the Q value and the reference Q value is within a threshold value, it is determined that the airtightness of the housing portion is secured, and the difference is determined. If is outside the threshold value, it is preferable to determine that the airtightness of the housing portion is broken.
Thereby, the airtightness of an accommodating part can be determined with an easy method.
本発明の物理量センサーでは、前記収容部は、第1収容部と、第2収容部と、を有し、
前記素子片は、前記第1収容部に収容されている第1素子片と、前記第2収容部に収容されている第2素子片と、を有し、
前記第1収容部内の気圧と前記第2収容部内の気圧と前記素子収容部内の気圧とが互いに異なっていることが好ましい。
これにより、第1収容部と素子収容部との間でリークすれば第1収容部の気圧が変化するし、第2収容部と素子収容部との間でリークすれば第2収容部の気圧が変化するし、第1収容部と第2収容部の間でリークすれば第1収容部および第2収容部の気圧が共に変化する。そのため、気密性の判定をより正確に行うことができる。
In the physical quantity sensor of the present invention, the storage unit includes a first storage unit and a second storage unit,
The element piece includes a first element piece housed in the first housing portion and a second element piece housed in the second housing portion,
It is preferable that the air pressure in the first housing portion, the air pressure in the second housing portion, and the air pressure in the element housing portion are different from each other.
Thereby, if there is a leak between the first housing part and the element housing part, the air pressure in the first housing part changes, and if there is a leak between the second housing part and the element housing part, the air pressure in the second housing part. Change, and if there is a leak between the first housing part and the second housing part, the air pressures of the first housing part and the second housing part both change. Therefore, the airtightness can be determined more accurately.
本発明の物理量センサーでは、前記第1素子片は、角速度を検出する角速度検出素子片であり、
前記第2素子片は、加速度を検出する加速度検出素子片であることが好ましい。
これにより、利便性の高い物理量センサーとなる。
In the physical quantity sensor of the present invention, the first element piece is an angular velocity detection element piece that detects angular velocity,
The second element piece is preferably an acceleration detection element piece for detecting acceleration.
Thereby, it becomes a convenient physical quantity sensor.
本発明の物理量センサーでは、前記第1収容部内の気圧は、前記第2収容部内の気圧よりも低く、
前記素子収容部内の気圧は、前記第1収容部内の気圧よりも高く、前記第2収容部内の気圧よりも低いことが好ましい。
これにより、リークした際の第1収容部および第2収容部内の気圧の変化を大きくすることができる。そのため、気密性の判定をより正確に行うことができる。
In the physical quantity sensor of the present invention, the air pressure in the first housing portion is lower than the air pressure in the second housing portion,
It is preferable that the air pressure in the element housing portion is higher than the air pressure in the first housing portion and lower than the air pressure in the second housing portion.
Thereby, the change of the atmospheric | air pressure in the 1st accommodating part at the time of leaking and a 2nd accommodating part can be enlarged. Therefore, the airtightness can be determined more accurately.
本発明の物理量センサーでは、前記第1素子片は、検出軸が異なるように複数配置されており、
前記気密性判定モードでは、
複数の前記第1素子片の全ての前記差が前記閾値内であれば、前記第1収容部の気密性が確保されていると判断し、
複数の前記第1素子片の全ての前記差が前記閾値外であれば、前記第1収容部の気密性が破壊されていると判断し、
複数の前記第1素子片の一部の前記差が前記閾値外であれば、前記一部の第1素子片が故障していると判断することが好ましい。
これにより、第1収容部の気密性に加えて、第1素子片の故障を判定できるようになる。
In the physical quantity sensor of the present invention, a plurality of the first element pieces are arranged so that the detection axes are different,
In the airtightness determination mode,
If all the differences of the plurality of first element pieces are within the threshold value, it is determined that the airtightness of the first housing portion is secured,
If all the differences of the plurality of first element pieces are outside the threshold, it is determined that the airtightness of the first housing portion is broken,
If the difference between some of the plurality of first element pieces is outside the threshold value, it is preferable to determine that the some first element pieces are out of order.
Thereby, in addition to the airtightness of a 1st accommodating part, it becomes possible to determine the failure of a 1st element piece.
本発明の物理量センサーでは、前記第2素子片は、検出軸が異なるように複数配置されており、
前記気密性判定モードでは、
複数の前記第2素子片の全ての前記差が前記閾値内であれば、前記第2収容部の気密性が確保されていると判断し、
複数の前記第2素子片の全ての前記差が前記閾値外であれば、前記第2収容部の気密性が破壊されていると判断し、
複数の前記第2素子片の一部の前記差が前記閾値外であれば、前記一部の第2素子片が故障していると判断することが好ましい。
これにより、第2収容部の気密性に加えて、第2素子片の故障を判定できるようになる。
In the physical quantity sensor of the present invention, a plurality of the second element pieces are arranged so that the detection axes are different,
In the airtightness determination mode,
If all the differences of the plurality of second element pieces are within the threshold value, it is determined that the airtightness of the second accommodating portion is secured,
If all the differences of the plurality of second element pieces are outside the threshold, it is determined that the airtightness of the second housing portion has been destroyed,
If the difference between some of the plurality of second element pieces is outside the threshold value, it is preferable to determine that the some second element pieces are out of order.
Thereby, in addition to the airtightness of a 2nd accommodating part, it becomes possible to determine the failure of a 2nd element piece.
本発明の電子機器は、本発明の物理量センサーを有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
The electronic device of the present invention includes the physical quantity sensor of the present invention.
As a result, a highly reliable electronic device can be obtained.
本発明の移動体は、本発明の物理量センサーを有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。
The moving body of the present invention has the physical quantity sensor of the present invention.
Thereby, a mobile body with high reliability is obtained.
以下、本発明の物理量センサーの検査方法、物理量センサー、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, a physical quantity sensor inspection method, a physical quantity sensor, an electronic device, and a moving body of the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the accompanying drawings.
図1は、本発明の好適な実施形態に係る物理量センサーの断面図である。図2は、物理量センサー素子の断面図である。図3ないし図5は、それぞれ、角速度センサー素子片の平面図である。図6ないし図8は、それぞれ、加速度センサー素子片の平面図である。図9は、ICのブロック図である。図10は、角速度用回路のブロック図である。図11は、加速度用回路のブロック図である。図12ないし図14は、それぞれ、気密性判断の手順を示すフローチャートである。なお、以下の説明では、互いに直交する3つの軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸に沿う方向を「X軸方向」とも言い、Y軸方向に沿う方向を「Y軸方向」とも言い、Z軸に沿う方向を「Z軸方向」とも言う。 FIG. 1 is a cross-sectional view of a physical quantity sensor according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the physical quantity sensor element. 3 to 5 are each a plan view of the angular velocity sensor element piece. 6 to 8 are plan views of the acceleration sensor element pieces, respectively. FIG. 9 is a block diagram of the IC. FIG. 10 is a block diagram of an angular velocity circuit. FIG. 11 is a block diagram of the acceleration circuit. FIG. 12 to FIG. 14 are flowcharts showing the procedure of airtightness determination. In the following description, three axes orthogonal to each other are referred to as an X axis, a Y axis, and a Z axis. A direction along the X axis is also referred to as an “X axis direction”, a direction along the Y axis direction is also referred to as a “Y axis direction”, and a direction along the Z axis is also referred to as a “Z axis direction”.
[物理量センサー]
図1に示す物理量センサー1は、角速度および加速度を検出することのできる複合センサーである。特に、本実施形態では、角速度として、X軸まわりの角速度ωx、Y軸まわりの角速度ωyおよびZ軸まわりの角速度ωzをそれぞれ独立して検出することができ、加速度として、X軸方向の加速度Ax、Y軸方向の加速度AyおよびZ軸方向の加速度Azをそれぞれ独立して検出することができる所謂「6軸検出複合センサー」である。このような物理量センサー1は、複数の物理量を検出でき、検出軸も多いため、極めて利便性に優れている。
[Physical quantity sensor]
A
物理量センサー1は、図1に示すように、パッケージ2と、パッケージ2に収容された物理量センサー素子3およびIC(電子部品)10と、を有している。
As illustrated in FIG. 1, the
(物理量センサー素子)
物理量センサー素子3は、図2に示すように、基板31と、基板31に接合された蓋体32と、を備えたパッケージ30を有し、パッケージ30内には内部空間(収容部)が形成されている。また、内部空間は、第1内部空間(第1収容部)S1と第2内部空間(第2収容部)S2とを有し、第1内部空間S1および第2内部空間S2は、それぞれ独立して形成され、かつ気密的に封止されている。そして、第1内部空間S1には3つの角速度センサー素子片(第1素子片)4、5、6が収容されており、第2内部空間S2には3つの加速度センサー素子片(第2素子片)7、8、9が収容されている。なお、基板31は、例えば、ガラス材料で構成されており、蓋体32は、例えば、シリコンで構成されている。なお、基板31には、後述する溝部が形成されているが、この溝部は、TEOS(テトラエトキシシラン)を用いたCVD法等で形成されたSiO2膜300によって塞がれている。
(Physical quantity sensor element)
As shown in FIG. 2, the physical
次に、角速度センサー素子片4、5、6について簡単に説明する。第1内部空間S1内には、基板31の上面に開放する3つの凹部34、35、36が設けられており、凹部34上に角速度センサー素子片4が配置され、凹部35上に角速度センサー素子片5が配置され、凹部36上に角速度センサー素子片6が配置されている。
Next, the angular velocity sensor element pieces 4, 5, 6 will be briefly described. In the first internal space S1, three
角速度センサー素子片4は、X軸まわりの角速度ωxを検出するセンサー素子片である。角速度センサー素子片4は、図3に示すように、Y軸方向に並んだ2つの構造体40(40a、40b)を有している。各構造体40は、振動部41と、駆動バネ部42と、固定部43と、可動駆動電極44と、固定駆動電極45、46と、検出用フラップ板47と、梁部48と、を有している。このような構造体40は、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成されている。
The angular velocity sensor element piece 4 is a sensor element piece that detects an angular velocity ωx about the X axis. As shown in FIG. 3, the angular velocity sensor element piece 4 has two structures 40 (40a, 40b) arranged in the Y-axis direction. Each
振動部41は、矩形の枠体であり、その4隅に駆動バネ部42の一端部が接続されている。駆動バネ部42の他端部は、固定部43に接続されており、固定部43は、基板31に固定されている。また、可動駆動電極44は、振動部41に設けられている。一方、固定駆動電極45、46は、基板31に固定されており、可動駆動電極44を間に挟んで設けられている。
The
検出用フラップ板47は、振動部41の内側に配置されており、梁部48によって振動部41に連結されている。検出用フラップ板47は、梁部48により形成された回動軸まわりに回動(傾倒)可能となっている。また、凹部34の底面には、検出用フラップ板47と対向して固定検出電極49が設けられており、検出用フラップ板47と固定検出電極49との間に静電容量が形成されている。
The detection flap plate 47 is disposed inside the
基板31の凹部34の周囲には溝部341、342、343、344、345が設けられており、溝部341、342、343、344、345内には配線L41、L42、L43、L44、L45が設けられている。配線L41は、導電性バンプB41を介して固定部43と電気的に接続されており、配線L42は、導電性バンプB42を介して固定駆動電極45と電気的に接続されており、配線L43は、導電性バンプB43を介して固定駆動電極46と電気的に接続されており、配線L44は、構造体40aの固定検出電極49と電気的に接続されており、配線L45は、構造体40bの固定検出電極49と電気的に接続されている。また、図示しないが、配線L41、L42、L43、L44、L45の一端部は、端子となっており、蓋体32の外側に位置している。これにより、端子を介して角速度センサー素子片4とIC10とを電気的に接続することができる。
以上のような角速度センサー素子片4は、次のようにして角速度ωxを検出することができる。まず、可動駆動電極44と固定駆動電極45、46との間に駆動電圧を印加し、2つの振動部41をY軸方向に互いに逆位相で振動させる。この状態で、物理量センサー1に角速度ωxが加わると、コリオリ力が働き、2つの検出用フラップ板47が回動軸まわりに互いに逆位相で変位する。検出用フラップ板47が変位することで、検出用フラップ板47と固定検出電極49とのギャップが変化し、それに伴ってこれらの間の静電容量が変化する。そのため、この静電容量の変化量に基づいて角速度ωxを検出することができる。
The angular velocity sensor element piece 4 as described above can detect the angular velocity ωx as follows. First, a drive voltage is applied between the
角速度センサー素子片5は、Y軸まわりの角速度ωyを検出するセンサー素子片である。角速度センサー素子片5は、図4に示すように、前述した角速度センサー素子片4の向きを90°回転させた以外(すなわち、X軸方向に構造体50a、50bが並ぶように配置した以外)は、角速度センサー素子片4と同様である。そのため、角速度センサー素子片5の詳細な説明は、省略する。 The angular velocity sensor element piece 5 is a sensor element piece that detects an angular velocity ωy about the Y axis. As shown in FIG. 4, the angular velocity sensor element piece 5 is other than the direction of the angular velocity sensor element piece 4 described above rotated by 90 ° (that is, other than the structure bodies 50 a and 50 b arranged in the X-axis direction). Is the same as the angular velocity sensor element piece 4. Therefore, detailed description of the angular velocity sensor element piece 5 is omitted.
角速度センサー素子片6は、Z軸まわりの角速度ωzを検出するセンサー素子片である。角速度センサー素子片6は、図5に示すように、X軸方向に並んだ2つの構造体60(60a、60b)を有している。構造体60は、振動部61と、可動部62と、検出バネ部63と、駆動バネ部64と、固定部65と、可動駆動電極66と、固定駆動電極671、672と、固定検出電極681、682と、を有している。このような構造体60は、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成されている。
The angular velocity sensor element piece 6 is a sensor element piece that detects an angular velocity ωz around the Z axis. As shown in FIG. 5, the angular velocity sensor element piece 6 has two structures 60 (60a, 60b) arranged in the X-axis direction. The
振動部61は、矩形の枠体であり、その4隅に駆動バネ部64の一端部が接続されている。駆動バネ部64の他端部は、固定部65に接続されており、固定部65は、基板31に固定されている。可動駆動電極66は、振動部61に設けられている。固定駆動電極671、672は、基板31に固定されており、可動駆動電極66を間に挟んで設けられている。
The
可動部62は、振動部61の内側に配置されており、検出バネ部63によって振動部61に連結されている。可動部62は、矩形の枠状をなす基部621と、基部621の内側に配置され、X軸方向に延在する可動検出電極622と、を有している。固定検出電極681、682は、基板31に固定されており、可動検出電極622を間に挟んで設けられている。そして、可動検出電極622と固定検出電極681との間、および、可動検出電極622と固定検出電極682との間には、それぞれ、静電容量が形成されている。
The
基板31の凹部36の周囲には溝部361、362、363、364、365が設けられており、溝部361、362、363、364、365内には配線L61、L62、L63、L64、L65が設けられている。配線L61は、導電性バンプB61を介して固定部65と電気的に接続されており、配線L62は、導電性バンプB62を介して固定駆動電極671と電気的に接続されており、配線L63は、導電性バンプB63を介して固定駆動電極672と電気的に接続されており、配線L64は、導電性バンプB64を介して固定検出電極681と電気的に接続されており、配線L65は、導電性バンプB65を介して固定検出電極682と電気的に接続されている。また、図示しないが、配線L61、L62、L63、L64、L65の一端部は、端子となっており、蓋体32の外側に位置している。これにより、端子を介して角速度センサー素子片6とIC10とを電気的に接続することができる。
以上のような角速度センサー素子片6は、次のようにして角速度ωzを検出することができる。まず、可動駆動電極66と固定駆動電極671、672との間に駆動電圧を印加し、駆動バネ部64を弾性変形させつつ、2つの振動部61をX軸方向に逆位相で振動させる。この状態で、物理量センサー1に角速度ωzが加わると、コリオリ力が働き、2つの可動部62が、検出バネ部63を弾性変形させつつY軸方向に逆位相で振動する。可動部62が振動することで、可動検出電極622と固定検出電極681とのギャップおよび可動検出電極622と固定検出電極682とのギャップが変化し、それに伴ってこれらの間の静電容量が変化する。そのため、この静電容量の変化量に基づいて角速度ωzを検出することができる。
The angular velocity sensor element piece 6 as described above can detect the angular velocity ωz as follows. First, a drive voltage is applied between the
以上、角速度センサー素子片4、5、6について説明した。このような角速度センサー素子片4、5、6が収容されている第1内部空間S1は、減圧状態(例えば、5×10−2〜5×10−4Pa程度。本実施形態では5×10−3Pa)となっている。これにより、粘性抵抗が減り、角速度センサー素子片4、5、6の振動部41、51、61を効率的にかつ安定して振動させることができる。そのため、角速度ωx、ωy、ωzの検出精度が向上する。
The angular velocity sensor element pieces 4, 5, and 6 have been described above. The first internal space S1 in which such angular velocity sensor element pieces 4, 5, and 6 are accommodated is in a reduced pressure state (for example, about 5 × 10 −2 to 5 × 10 −4 Pa. In this embodiment, 5 × 10. -3 Pa). Thereby, viscous resistance decreases and the
次に、加速度センサー素子片7、8、9について簡単に説明する。第2内部空間S2内には、基板31の上面に開放する3つの凹部37、38、39が設けられており、凹部37上に加速度センサー素子片7が配置され、凹部38上に加速度センサー素子片8が配置され、凹部39上に加速度センサー素子片9が配置されている。
Next, the acceleration
加速度センサー素子片7は、X軸方向の加速度Axを検出するセンサー素子片である。加速度センサー素子片7は、図6に示すように、構造体70を有している。構造体70は、可動部71と、バネ部72と、固定部73と、固定検出電極74、75と、を有している。このような構造体70は、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成されている。
The acceleration
可動部71は、基部711と、基部711からY軸方向両側に突出している複数の可動検出電極712と、を有している。そして、基部711の両端部にバネ部72の一端部が接続されている。バネ部72の他端部は、固定部73に接続されており、固定部73は、基板31に固定されている。また、固定検出電極74、75は、基板31に固定されており、可動検出電極712を間に挟んで設けられている。そして、可動検出電極712と固定検出電極74、75との間に、それぞれ、静電容量が形成されている。
The
基板31の凹部37の周囲には溝部371、372、373が設けられており、溝部371、372、373内には配線L71、L72、L73が設けられている。配線L71は、導電性バンプB71を介して固定部73と電気的に接続されており、配線L72は、導電性バンプB72を介して固定検出電極74と電気的に接続されており、配線L73は、導電性バンプB73を介して固定検出電極75と電気的に接続されている。また、図示しないが、配線L71、L72、L73の一端部は、端子となっており、蓋体32の外側に位置している。これにより、端子を介して加速度センサー素子片7とIC10とを電気的に接続することができる。
このような加速度センサー素子片7は、次のようにして加速度Axを検出することができる。加速度Axが物理量センサー1に加わると、加速度Axの大きさに基づいて、可動部71が、バネ部72を弾性変形させながら、X軸方向に変位する。可動部71が変位することで、可動検出電極712と固定検出電極74とのギャップおよび可動検出電極712と固定検出電極75とのギャップが変化し、それに伴ってこれらの間の静電容量が変化する。そのため、この静電容量の変化量に基づいて加速度Axを検出することができる。
Such an acceleration
加速度センサー素子片8は、Y軸方向の加速度Ayを検出するセンサー素子片である。加速度センサー素子片8は、図7に示すように、前述した加速度センサー素子片7の向きを90°回転させた以外は、加速度センサー素子片7と同様である。
The acceleration sensor element piece 8 is a sensor element piece for detecting the acceleration Ay in the Y-axis direction. As shown in FIG. 7, the acceleration sensor element piece 8 is the same as the acceleration
加速度センサー素子片9は、Z軸方向の加速度Azを検出するセンサー素子片である。加速度センサー素子片9は、図8に示すように、構造体90を有している。構造体90は、可動部91と、梁部92と、固定部93と、を有している。このような構造体90は、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成されている。
The acceleration sensor element piece 9 is a sensor element piece that detects the acceleration Az in the Z-axis direction. The acceleration sensor element piece 9 has a
可動部91は、梁部92によって固定部93に接続されており、固定部93は、基板31に固定されている。このような可動部91は、梁部92により形成された回動軸まわりにシーソー揺動するようになっている。また、可動部91は、回動軸の一方側に位置する可動検出電極911と、回動軸の他方側に位置する可動検出電極912と、を有し、可動検出電極911、912は、加速度Azが加わったときの回転モーメントが互いに異なっている。また、凹部39の底面には、可動検出電極911と対向する固定検出電極94と、可動検出電極912と対向する固定検出電極95と、が設けられている。そして、可動検出電極911と固定検出電極94、95との間に、それぞれ、静電容量が形成されている。
The
基板31の凹部39の周囲には溝部391、392、393が設けられており、溝部391、392、393内には配線L91、L92、L93が設けられている。配線L91は、導電性バンプB91を介して固定部93と電気的に接続されており、配線L92は、固定検出電極94と電気的に接続されており、配線L93は、固定検出電極95と電気的に接続されている。また、図示しないが、配線L91、L92、L93の一端部は、端子となっており、蓋体32の外側に位置している。これにより、端子を介して加速度センサー素子片9とIC10とを電気的に接続することができる。
このような加速度センサー素子片9は、次のようにして加速度Azを検出することができる。加速度Azが物理量センサー1に加わると、可動部91は、回動軸まわりにシーソー揺動する。このような可動部91のシーソー揺動によって、可動検出電極911と固定検出電極94とのギャップおよび可動検出電極912と固定検出電極95とのギャップが変化し、それに伴ってこれらの間の静電容量が変化する。そのため、この静電容量の変化量に基づいて加速度Azを検出することができる。
Such an acceleration sensor element piece 9 can detect the acceleration Az as follows. When the acceleration Az is applied to the
以上、加速度センサー素子片7、8、9について説明した。このような加速度センサー素子片7、8、9が収容されている第2内部空間S2は、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されて、ほぼ大気圧(例えば、20000〜200000Pa程度。本実施形態では58000Pa。)となっている。これにより、粘性抵抗が増し、加速度センサー素子片7、8、9の可動部71、81、91の振動を速やかに集束(停止)させることができる。そのため、加速度Ax、Ay、Azの検出精度が向上する。
The acceleration
(パッケージ)
パッケージ2は、図1に示すように、上面に開放する凹部211を有するキャビティ状のベース21と、凹部211の開口を塞いでベース21に接合された板状のリッド22と、を有している。そして、凹部211がリッド22によって塞がれることにより形成された収容空間(素子収容部)S3に物理量センサー素子3およびIC10が収容されている。
(package)
As shown in FIG. 1, the
収容空間S3は、気密封止されており、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されて、所定の気圧に維持されている。具体的には、収容空間S3内の気圧P3は、第1内部空間S1内の気圧P1(ほぼ真空)よりも高く、第2内部空間S2内の気圧P2(ほぼ大気圧)よりも低く(例えば、10〜1000Pa程度。本実施形態では100Paに)設定されている。すなわち、P1<P3<P2の関係を満足している。このように、気圧P3を気圧P1、P2と異ならせることで、後述するように、第1内部空間S1、第2内部空間S2の気密性が確保されているか否かを確認することができる。 The accommodation space S3 is hermetically sealed, and is filled with an inert gas such as nitrogen, helium, or argon, and is maintained at a predetermined atmospheric pressure. Specifically, the pressure P3 in the accommodation space S3 is higher than the pressure P1 (substantially vacuum) in the first internal space S1 and lower than the pressure P2 (substantially atmospheric pressure) in the second internal space S2 (for example, 10 to 1000 Pa. In this embodiment, it is set to 100 Pa). That is, the relationship P1 <P3 <P2 is satisfied. Thus, by making the atmospheric pressure P3 different from the atmospheric pressures P1 and P2, it is possible to confirm whether or not the airtightness of the first internal space S1 and the second internal space S2 is secured, as will be described later.
ベース21の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスを用いることができる。また、リッド22の構成材料としては、特に限定されないが、ベース21の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース21の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース21とリッド22の接合は、特に限定されず、例えば、接着材を介して接合してもよいし、シーム溶接等により接合してもよい。
The constituent material of the base 21 is not particularly limited, but various ceramics such as aluminum oxide can be used. The constituent material of the
以上のようなパッケージ2の凹部211の底面に物理量センサー素子3が固定されており、物理量センサー素子3上にIC10が固定されている。
The physical
(IC)
IC10は、図1に示すように、物理量センサー素子3の上面(蓋体32上)に固定されている。このようなIC10は、図9に示すように、角速度センサー素子片4、5、6用の角速度用回路11A、11B、11Cと、加速度センサー素子片7、8、9用の加速度用回路12A、12B、12Cと、シリアルインターフェース回路13と、を有している。シリアルインターフェース回路13による通信方式は、例えば、SPI(登録商標)(Serial Peripheral Interface)や、I2C(登録商標)(Inter-Integrated Circuit)を用いることができる。また、IC10は、入出力端子(SCL/SPC、SDA/SDI、SA0/SDO、CS)、テスト端子(TEST1、TEST2)を有している。
(IC)
As shown in FIG. 1, the
角速度用回路11A、11B、11Cは、互いに同様の構成であるため、以下では、角速度用回路11Aについて代表して説明する。また、加速度用回路12A、12B、12Cは、互いに同様の構成であるため、以下では、加速度用回路12Aについて代表して説明する。なお、回路構成は、以下に説明する構成に限定されず、例えば、マルチプレクサー(MUX)を用いて角速度センサー素子片4、5、6からの検出信号を時分割で処理することで、角速度用回路11A、11B、11Cを1つにまとめてもよい。同様に、マルチプレクサーを用いて加速度センサー素子片7、8、9からの検出信号を時分割で処理することで、加速度用回路12A、12B、12Cを1つにまとめてもよい。
Since the
角速度用回路11Aは、図10に示すように、角速度センサー素子片4を駆動する駆動回路111と、角速度ωx、ωy、ωzを検出する検出回路112と、を有している。
As shown in FIG. 10, the
駆動回路111は、I/V変換回路(電流/電圧変換回路)1111と、AC増幅回路1112と、自動利得制御回路(AGC)1113と、増幅回路1114と、を有している。
The
角速度センサー素子片4の振動部41が振動すると、容量変化に基づく電流がフィードバック信号として固定駆動電極45、46から出力され、I/V変換回路1111に入力される。I/V変換回路1111は、振動部41の振動周波数と同一の周波数の交流電圧信号を出力する。I/V変換回路1111から出力された交流電圧信号は、AC増幅回路1112に入力される。AC増幅回路1112は、入力された交流電圧信号を増幅して出力する。
When the
AC増幅回路1112から出力された交流電圧信号は、自動利得制御回路1113に入力される。自動利得制御回路1113は、入力された交流電圧信号の振幅を一定値に保持するように利得を制御し、利得制御後の交流電圧信号を増幅回路1114と検出回路112の同期検波回路1123(後述)に出力する。増幅回路1114は、入力される交流電圧信号を増幅して駆動信号を生成し、固定駆動電極45、46に出力する。この固定駆動電極45、46に入力される駆動信号(交流電圧信号)により角速度センサー素子片4が駆動される。
The AC voltage signal output from the
検出回路112は、オフセット調整容量1121と、Q/V変換回路(電荷/電圧変換回路)1122と、同期検波回路1123と、増幅回路1124と、A/D変換回路(アナログ/デジタル変換回路)1125と、フィルター回路1126と、レジスタ1127と、を有している。
The
Q/V変換回路1122は、角速度センサー素子片4の固定検出電極49からの電荷(検出信号)を電圧に変換する。角速度センサー素子片4からの出力は、差動信号であるから、Q/V変換回路1122は、差動増幅回路として機能する。なお、Q/V変換回路1122の手前にはオフセット調整容量1121が設けられており、固定容量間のオフセットが調整される。
The Q /
同期検波回路1123は、Q/V変換回路1122の出力信号を自動利得制御回路1113の出力信号に基づいて同期検波する。同期検波回路1123で抽出された角速度成分信号は、増幅回路1124に入力される。増幅回路1124は、同期検波回路1123の出力を設定されたゲインで増幅する。A/D変換回路1125は、増幅回路1124の出力をアナログ/デジタル変換する。A/D変換回路1125からの出力は、フィルター回路1126およびレジスタ1127で処理された後、シリアルインターフェース回路13を介して出力される。
The
加速度用回路12Aは、図11に示すように、加速度センサー素子片7を駆動する駆動回路121と、加速度Axを検出する検出回路122と、を有している。また、検出回路122は、オフセット調整容量1221と、Q/V変換回路(電荷/電圧変換回路)1222と、増幅回路1223と、A/D変換回路(アナログ/デジタル変換器)1224と、フィルター回路1225と、レジスタ1226と、を有している。
As shown in FIG. 11, the
Q/V変換回路1222は、加速度センサー素子片7の固定検出電極74、75からの電荷(検出信号)を電圧に変換する。加速度センサー素子片7からの出力は、差動信号であるから、Q/V変換アンプ1222は、差動増幅回路として機能する。なお、Q/V変換アンプ1222の手前にはオフセット調整容量1221が設けられており、固定容量間のオフセットが調整される。
The Q /
増幅回路1223は、Q/V変換回路1222の出力を設定されたゲインで増幅する。A/D変換回路1224は、増幅回路1223の出力をアナログ/デジタル変換する。A/D変換回路1224からの出力は、フィルター回路1225およびレジスタ1226で処理された後、シリアルインターフェース回路13を介して出力される。
The
以上のようなIC10は、角速度センサー素子片4、5、6および加速度センサー素子片7、8、9からの信号に基づいて角速度ωx、ωy、ωzおよび加速度Ax、Ay、Azを検出する物理量検出モードと、角速度センサー素子片4、5、6および加速度センサー素子片7、8、9のインピーダンスに基づいて第1内部空間S1および第2内部空間S2の気密性を判定する気密性判定モードと、を有し、これらのモードを切り替えられるようになっている。
The
物理量検出モードでは、上述したように、角速度センサー素子片4、5、6からの検出信号に基づいて角速度ωx、ωy、ωzを検出し、加速度センサー素子片7、8、9からの検出信号に基づいて加速度Ax、Ay、Azを検出するモードである。したがって、物理量検出モードの説明は、省略する。
In the physical quantity detection mode, as described above, the angular velocities ωx, ωy, and ωz are detected based on the detection signals from the angular velocity sensor element pieces 4, 5, and 6, and the detection signals from the acceleration
次に、気密性判定モードについて説明する。前述したように、第1内部空間S1の気圧P1、第2内部空間S2の気圧P2および収容空間S3の気圧P3は、P1<P3<P2の関係を満足している。そのため、仮に、第1内部空間S1の気密性が破れ、第1内部空間S1と収容空間S3とが連通してしまった場合には、第1内部空間S1の気圧P1が上昇する。また、第2内部空間S2の気密性が破れ、第2内部空間S2と収容空間S3とが連通してしまった場合には、第2内部空間S2の気圧P2が降下がる。また、第1、第2内部空間S1、S2の気密性が共に破れ、第1内部空間S1と第2内部空間S2とが連通してしまった場合には、第1内部空間S1の気圧P1が上昇し、第2内部空間S2の気圧P2が降下する。 Next, the airtightness determination mode will be described. As described above, the air pressure P1 in the first internal space S1, the air pressure P2 in the second internal space S2, and the air pressure P3 in the housing space S3 satisfy the relationship P1 <P3 <P2. Therefore, if the airtightness of the first internal space S1 is broken and the first internal space S1 and the accommodation space S3 communicate with each other, the air pressure P1 in the first internal space S1 increases. In addition, when the airtightness of the second internal space S2 is broken and the second internal space S2 and the accommodation space S3 communicate with each other, the air pressure P2 in the second internal space S2 drops. In addition, when the airtightness of both the first and second internal spaces S1 and S2 is broken and the first internal space S1 and the second internal space S2 communicate with each other, the pressure P1 in the first internal space S1 is The pressure P2 in the second internal space S2 rises and falls.
このように、第1内部空間S1の気密性が破れれば、第1内部空間S1の気圧P1が上昇し、第2内部空間S2に気密性が破れれば、第2内部空間S2の気圧P2が降下することが分かる。第1内部空間S1の気圧P1が高まれば、それに伴って、第1内部空間S1内に収容されている角速度センサー素子片4、5、6のインピーダンスが上昇し、インピーダンスが上昇すると、それに伴ってQ値が低下する。このQ値の低下(インピーダンスの上昇)に基づいて、第1内部空間S1の気密性が確保されているか否かを判定することができる。一方、第2内部空間S2の気圧P2が低下すれば、それに伴って、第2内部空間S2内に収容されている加速度センサー素子片7、8、9のインピーダンスが低下し、インピーダンスが低下すると、それに伴ってQ値が上昇する。このQ値の上昇(インピーダンスの低下)に基づいて、第2内部空間S2の気密性が確保されているか否かを判定することができる。以下、当該判定について、図12および図13に示すフローチャートに沿って詳細に説明する。
As described above, if the airtightness of the first internal space S1 is broken, the air pressure P1 of the first internal space S1 increases, and if the airtightness of the second internal space S2 is broken, the air pressure P2 of the second internal space S2 is broken. Can be seen to descend. If the pressure P1 in the first internal space S1 increases, the impedance of the angular velocity sensor element pieces 4, 5, 6 accommodated in the first internal space S1 increases accordingly, and the impedance increases accordingly. Q value decreases. Based on the decrease in the Q value (impedance increase), it can be determined whether or not the airtightness of the first internal space S1 is ensured. On the other hand, if the atmospheric pressure P2 in the second internal space S2 decreases, the impedance of the acceleration
このような気密性の判定は、例えば、物理量センサー1をテスト装置に接続した状態で行われる。テスト装置には、予め、第1内部空間S1の気密性が確保されている状態における角速度センサー素子片4、5、6のインピーダンスを測定して得られたQ値(基準Q値)Q4’、Q5’、Q6’と、第2内部空間S2の気密性が確保されている状態における加速度センサー素子片7、8、9のインピーダンスを測定して得られたQ値(基準Q値)Q7’、Q8’、Q9’と、が記憶されている。なお、センサー素子片4〜9のQ値は、前記テスト装置からセンサー素子片4〜9へ検査用信号を印加し、センサー素子片4〜9から出力される信号に基づいてインピーダンスの周波数特性を調べ、その結果から、Q値を求めることができる。
Such airtightness determination is performed, for example, in a state where the
この状態において、まず、角速度センサー素子片4のインピーダンスを測定し、測定したインピーダンスから角速度センサー素子片4のQ値Q4を求める(S11)。次に、角速度センサー素子片5のインピーダンスを測定し、測定したインピーダンスから角速度センサー素子片5のQ値Q5を求める(S12)。次に、角速度センサー素子片6のインピーダンスを測定し、測定したインピーダンスから角速度センサー素子片6のQ値Q6を求める(S13)。次に、Q4’とQ4の差ΔQ4=(Q4’−Q4)、Q5’とQ5の差ΔQ5(=Q5’−Q5)、Q6’とQ6の差ΔQ6(=Q6’−Q6)をそれぞれ求める(S14)。なお、ΔQ4、ΔQ5、ΔQ6を求めることができれば、S11〜S14の順序は、特に限定されない。 In this state, first, to measure the impedance of the angular velocity sensor element pieces 4, obtains the Q value Q 4 of the angular velocity sensor element pieces 4 from the measured impedance (S11). Next, to measure the impedance of the angular velocity sensor element pieces 5, obtains the Q value Q 5 of the angular velocity sensor element strip 5 from the measured impedance (S12). Next, to measure the impedance of the angular velocity sensor element pieces 6, obtains the Q value Q 6 of the angular velocity sensor element piece 6 from the measured impedance (S13). Then, Q 4 'and the difference between Q 4 ΔQ 4 = (Q 4 ' -Q 4), ' the difference ΔQ 5 (= Q 5 of Q 5 and' -Q 5) Q 5, Q 6 ' and the Q 6 A difference ΔQ 6 (= Q 6 '−Q 6 ) is obtained (S14). Note that the order of S11 to S14 is not particularly limited as long as ΔQ 4 , ΔQ 5 , and ΔQ 6 can be obtained.
次に、ΔQ4、ΔQ5、ΔQ6が、それぞれ、予め設定されている閾値内に収まっているか否かを判断する(S15)。そして、ΔQ4、ΔQ5、ΔQ6が、全て閾値内に収まっていれば、第1内部空間S1の気密性が確保されていると判定する。また、ΔQ4、ΔQ5、ΔQ6が、全て閾値外であれば、第1内部空間S1の気密性が破られていると判定する。また、ΔQ4、ΔQ5、ΔQ6の一部が閾値外であれば、第1内部空間S1の気密性は確保されているが、閾値外となっている角速度センサー素子片が破損、故障している(正常な状態ではない)と判定する。 Next, it is determined whether or not ΔQ 4 , ΔQ 5 , and ΔQ 6 are within preset threshold values (S 15). If ΔQ 4 , ΔQ 5 , and ΔQ 6 are all within the threshold value, it is determined that the airtightness of the first internal space S1 is secured. Further, if ΔQ 4 , ΔQ 5 , ΔQ 6 are all outside the threshold value, it is determined that the airtightness of the first internal space S1 is broken. Further, if some of ΔQ 4 , ΔQ 5 , ΔQ 6 are outside the threshold value, the airtightness of the first internal space S1 is ensured, but the angular velocity sensor element piece outside the threshold value is damaged or broken. It is determined that it is not normal.
以上のような第1内部空間S1の気密性の判定と同様にして、第2内部空間S2の気密性の判定を行う。具体的には、まず、加速度センサー素子片7のインピーダンスを測定し、測定したインピーダンスから加速度センサー素子片7のQ値Q7を求める(S21)。次に、加速度センサー素子片8のインピーダンスを測定し、測定したインピーダンスから加速度センサー素子片8のQ値Q8を求める(S22)。次に、加速度センサー素子片9のインピーダンスを測定し、測定したインピーダンスから加速度センサー素子片9のQ値Q9を求める(S23)。次に、Q7’とQ7の差ΔQ7=(Q7’−Q7)、Q8’とQ8の差ΔQ8(=Q8’−Q8)、Q9’とQ9の差ΔQ9(=Q9’−Q9)をそれぞれ求める(S24)。なお、ΔQ7、ΔQ8、ΔQ9を求めることができれば、S21〜S24の順序は、特に限定されない。
The airtightness of the second internal space S2 is determined in the same manner as the determination of the airtightness of the first internal space S1 as described above. Specifically, first, by measuring the impedance of the acceleration
次に、ΔQ7、ΔQ8、ΔQ9が、それぞれ、予め設定されている閾値内に収まっているか否かを判断する(S25)。そして、ΔQ7、ΔQ8、ΔQ9が、全て閾値内に収まっていれば、第2内部空間S2の気密性が確保されていると判定する。また、ΔQ7、ΔQ8、ΔQ9が、全て閾値外であれば、第2内部空間S2の気密性が破られていると判定する。また、ΔQ7、ΔQ8、ΔQ9の一部が閾値外であれば、第2内部空間S2の気密性は確保されているが、閾値外となっている加速度センサー素子片が破損、故障している(正常な状態ではない)と判定する。 Next, it is determined whether or not ΔQ 7 , ΔQ 8 , and ΔQ 9 are each within a preset threshold value (S 25). If ΔQ 7 , ΔQ 8 , and ΔQ 9 are all within the threshold value, it is determined that the airtightness of the second internal space S2 is secured. Further, if ΔQ 7 , ΔQ 8 , and ΔQ 9 are all outside the threshold value, it is determined that the airtightness of the second internal space S2 is broken. If some of ΔQ 7 , ΔQ 8 , and ΔQ 9 are outside the threshold value, the airtightness of the second internal space S2 is ensured, but the acceleration sensor element piece outside the threshold value is damaged or broken. It is determined that it is not normal.
このような検査方法によれば、電気的な手段で、第1、第2内部空間S1、S2の気密性を判定することができるため、物理量センサー1を製造した後、どの段階においても(例えば、信頼性試験終了後、外部装置に実装後等でも)検査を行うことができる。そのため、優れた利便性を発揮することができる。また、例えば、目視等による検査と比較して、より精度の高い検査を行うことができる。
According to such an inspection method, since the airtightness of the first and second internal spaces S1 and S2 can be determined by electrical means, the
以上、第1、第2内部空間S1、S2の気密性の検査方法について説明したが、気密性の検査方法は、上記の方法に限定されない。例えば、上記の検査方法では、第1内部空間S1の気密性の検査と、第2内部空間S2の気密性の検査と、を別々に行っているが、例えば、図14に示すように、これらを連続して行ってもよい。 Although the method for inspecting the airtightness of the first and second internal spaces S1 and S2 has been described above, the method for inspecting the airtightness is not limited to the above method. For example, in the above inspection method, the airtightness inspection of the first internal space S1 and the airtightness inspection of the second internal space S2 are performed separately. For example, as shown in FIG. May be performed continuously.
また、本実施形態では、第1内部空間S1の気圧P1、第2内部空間S2の気圧P2および収容空間S3の気圧P3が、P1<P3<P2の関係を満足しているが、P3がP1、P2と異なっていればよく、例えば、P1<P2<P3の関係を満足していてもよいし、P3<P1<P2の関係を満足していてもよい。また、本実施形態では、物理量センサー素子3が、第1内部空間S1および第2内部空間S2を有しているが、内部空間の数としては、特に限定されず、例えば、第1、第2内部空間S1、S2のいずれか一方を省略してもよいし、さらに、内部空間を有していてもよい。
In the present embodiment, the pressure P1 in the first internal space S1, the pressure P2 in the second internal space S2, and the pressure P3 in the accommodation space S3 satisfy the relationship P1 <P3 <P2, but P3 is P1. As long as it is different from P2, for example, the relationship P1 <P2 <P3 may be satisfied, or the relationship P3 <P1 <P2 may be satisfied. In the present embodiment, the physical
[電子機器]
次に、本発明の物理量センサーを備える電子機器について説明する。
[Electronics]
Next, an electronic device including the physical quantity sensor of the present invention will be described.
図15は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。 FIG. 15 is a perspective view showing the configuration of a mobile (or notebook) personal computer to which the electronic apparatus of the present invention is applied.
この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1108を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、物理量センサー1が内蔵されている。
In this figure, a
図16は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。 FIG. 16 is a perspective view showing a configuration of a mobile phone (including PHS) to which the electronic apparatus of the invention is applied.
この図において、携帯電話機1200は、アンテナ(図示せず)、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1208が配置されている。このような携帯電話機1200には、物理量センサー1が内蔵されている。
In this figure, a
図17は、本発明の電子機器を適用したデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。 FIG. 17 is a perspective view showing a configuration of a digital still camera to which the electronic apparatus of the present invention is applied.
デジタルスチールカメラ1300におけるケース1302の背面には表示部1310が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1310は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。そして、撮影者が表示部1310に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押すと、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ1300には、例えば、手振れ補正に用いられる物理量センサー1が内蔵されている。
A
このような電子機器は、物理量センサー1を備えているので、優れた信頼性を有している。
Since such an electronic apparatus includes the
なお、本発明の電子機器は、図15のパーソナルコンピューター、図16の携帯電話機、図17のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計(スマートウォッチを含む)、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、HMD(ヘッドマウントディスプレイ)等のウェアラブル端末、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、携帯端末用の基地局、フライトシュミレーター等に適用することができる。 In addition to the personal computer of FIG. 15, the mobile phone of FIG. 16, and the digital still camera of FIG. 17, the electronic apparatus of the present invention includes, for example, a smartphone, a tablet terminal, a watch (including a smart watch), an inkjet discharge Wearable terminals such as devices (for example, inkjet printers), HMDs (head-mounted displays), laptop personal computers, televisions, video cameras, video tape recorders, car navigation devices, pagers, electronic notebooks (including those with communication functions), electronic Dictionary, calculator, electronic game device, word processor, workstation, video phone, crime prevention TV monitor, electronic binoculars, POS terminal, medical device (eg electronic thermometer, blood pressure monitor, blood glucose meter, electrocardiogram measuring device, ultrasonic diagnostic device, Daughter endoscope), a fish finder, various measurement devices, gauges (e.g., vehicle, aircraft, ship instruments), the base station for the mobile terminal, can be applied to a flight simulator or the like.
[移動体]
次に、本発明の移動体について説明する。
図18は、本発明の移動体を適用した自動車を示す斜視図である。
[Moving object]
Next, the moving body of the present invention will be described.
FIG. 18 is a perspective view showing an automobile to which the moving body of the present invention is applied.
自動車1500には物理量センサー1が内蔵されており、例えば、物理量センサー1によって車体1501の姿勢を検出することができる。物理量センサー1の検出信号は、車体姿勢制御装置1502に供給され、車体姿勢制御装置1502は、その信号に基づいて車体1501の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪1503のブレーキを制御したりすることができる。
The
その他、このような姿勢制御は、二足歩行ロボットやラジコンヘリコプター(ドローンを含む)で利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、物理量センサー1が組み込まれる。
In addition, such posture control can be used by a biped robot or a radio controlled helicopter (including a drone). As described above, the
以上、本発明の物理量センサー、物理量センサーの検査方法、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。 As described above, the physical quantity sensor, the physical quantity sensor inspection method, the electronic apparatus, and the moving body of the present invention have been described based on the illustrated embodiment. However, the present invention is not limited to this, and the configuration of each part is the same. Any structure having a function can be substituted. In addition, any other component may be added to the present invention.
1…物理量センサー、10…IC、11A、11B、11C…角速度用回路、111…駆動回路、1111…I/V変換回路、1112…AC増幅回路、1113…自動利得制御回路、1114…増幅回路、112…検出回路、1121…オフセット調整容量、1122…Q/V変換回路、1123…同期検波回路、1124…増幅回路、1125…A/D変換回路、1126…フィルター回路、1127…レジスタ、12A、12B、12C…加速度用回路、121…駆動回路、122…検出回路、1221…オフセット調整容量、1222…Q/V変換回路、1223…増幅回路、1224…A/D変換回路、1225…フィルター回路、1226…レジスタ、13…シリアルインターフェース回路、2…パッケージ、21…ベース、211…凹部、22…リッド、3…物理量センサー素子、30…パッケージ、300…SiO2膜、31…基板、32…蓋体、34、35、36、37、38、39…凹部、341、342、343、344、345、361、362、363、364、365、371、372、373、391、392、393…溝部、4…角速度センサー素子片、40、40a、40b…構造体、41…振動部、42…駆動バネ部、43…固定部、44…可動駆動電極、45、46…固定駆動電極、47…検出用フラップ板、48…梁部、49…固定検出電極、5…角速度センサー素子片、50、50a、50b…構造体、6…角速度センサー素子片、60、60a、60b…構造体、61…振動部、62…可動部、621…基部、622…可動検出電極、63…検出バネ部、64…駆動バネ部、65…固定部、66…可動駆動電極、671、672…固定駆動電極、681、682…固定検出電極、7…加速度センサー素子片、70…構造体、71…可動部、711…基部、712…可動検出電極、72…バネ部、73…固定部、74、75…固定検出電極、8…加速度センサー素子片、9…加速度センサー素子片、90…構造体、91…可動部、911、912…可動検出電極、92…梁部、93…固定部、94、95…固定検出電極、1100…パーソナルコンピューター、1102…キーボード、1104…本体部、1106…表示ユニット、1108…表示部、1200…携帯電話機、1202…操作ボタン、1204…受話口、1206…送話口、1208…表示部、1300…デジタルスチールカメラ、1302…ケース、1304…受光ユニット、1306…シャッターボタン、1308…メモリー、1310…表示部、1500…自動車、1501…車体、1502…車体姿勢制御装置、1503…車輪、Ax、Ay、Az…加速度、B41、B42、B43、B61、B62、B63、B64、B65、B71、B72、B73、B91…導電性バンプ、L41、L42、L43、L44、L45、L61、L62、L63、L64、L65、L71、L72、L73、L91、L92、L93…配線、S1…第1内部空間、S2…第2内部空間、S3…収容空間、ωx、ωy、ωz…角速度
DESCRIPTION OF
Claims (20)
気密であり、前記物理量センサー素子が収容されている素子収容部を有するパッケージと、を有し、
前記収容部内の気圧と前記素子収容部内の気圧とが異なっている物理量センサーの検査方法であって、
前記物理量センサー素子のインピーダンスに基づいて前記収容部の気密性を判定することを特徴とする物理量センサーの検査方法。 A physical quantity sensor element having an airtight accommodating portion and an element piece accommodated in the accommodating portion;
An airtight package having an element accommodating portion in which the physical quantity sensor element is accommodated, and
An inspection method for a physical quantity sensor in which the air pressure in the housing portion and the air pressure in the element housing portion are different,
An inspection method for a physical quantity sensor, comprising: determining airtightness of the housing portion based on an impedance of the physical quantity sensor element.
前記電子部品は、前記物理量センサー素子のインピーダンスに基づいて前記収容部の気密性を判定する気密性判定モードを備えている請求項1に記載の物理量センサーの検査方法。 An electronic component connected to the physical quantity sensor element;
The physical quantity sensor inspection method according to claim 1, wherein the electronic component includes an airtightness determination mode for determining the airtightness of the housing portion based on an impedance of the physical quantity sensor element.
前記素子片は、前記第1収容部に収容されている第1素子片と、前記第2収容部に収容されている第2素子片と、を有し、
前記第1収容部内の気圧と前記第2収容部内の気圧と前記素子収容部の気圧とが互いに異なっている請求項4に記載の物理量センサーの検査方法。 The accommodating portion has a first accommodating portion and a second accommodating portion,
The element piece includes a first element piece housed in the first housing portion and a second element piece housed in the second housing portion,
The physical quantity sensor inspection method according to claim 4, wherein the air pressure in the first housing portion, the air pressure in the second housing portion, and the air pressure in the element housing portion are different from each other.
前記第2素子片は、加速度を検出する加速度検出素子片である請求項5に記載の物理量センサーの検査方法。 The first element piece is an angular velocity detection element piece for detecting angular velocity,
The physical quantity sensor inspection method according to claim 5, wherein the second element piece is an acceleration detection element piece that detects acceleration.
前記素子収容部内の気圧は、前記第1収容部内の気圧よりも高く、前記第2収容部内の気圧よりも低い請求項6に記載の物理量センサーの検査方法。 The atmospheric pressure in the first accommodating part is lower than the atmospheric pressure in the second accommodating part,
The physical quantity sensor inspection method according to claim 6, wherein the air pressure in the element housing portion is higher than the air pressure in the first housing portion and lower than the air pressure in the second housing portion.
前記気密性判定モードでは、
複数の前記第1素子片の全ての前記差が前記閾値内であれば、前記第1収容部の気密性が確保されていると判断し、
複数の前記第1素子片の全ての前記差が前記閾値外であれば、前記第1収容部の気密性が破壊されていると判断し、
複数の前記第1素子片の一部の前記差が前記閾値外であれば、前記一部の第1素子片が故障していると判断する請求項5ないし7のいずれか1項に記載の物理量センサーの検査方法。 A plurality of the first element pieces are arranged so that the detection axes are different,
In the airtightness determination mode,
If all the differences of the plurality of first element pieces are within the threshold value, it is determined that the airtightness of the first housing portion is secured,
If all the differences of the plurality of first element pieces are outside the threshold, it is determined that the airtightness of the first housing portion is broken,
8. The device according to claim 5, wherein if the difference between some of the plurality of first element pieces is outside the threshold value, it is determined that the some first element pieces are out of order. Inspection method of physical quantity sensor.
前記気密性判定モードでは、
複数の前記第2素子片の全ての前記差が前記閾値内であれば、前記第2収容部の気密性が確保されていると判断し、
複数の前記第2素子片の全ての前記差が前記閾値外であれば、前記第2収容部の気密性が破壊されていると判断し、
複数の前記第2素子片の一部の前記差が前記閾値外であれば、前記一部の第2素子片が故障していると判断する請求項5ないし8のいずれか1項に記載の物理量センサーの検査方法。 A plurality of the second element pieces are arranged so that the detection axes are different,
In the airtightness determination mode,
If all the differences of the plurality of second element pieces are within the threshold value, it is determined that the airtightness of the second accommodating portion is secured,
If all the differences of the plurality of second element pieces are outside the threshold, it is determined that the airtightness of the second housing portion has been destroyed,
9. The device according to claim 5, wherein if the difference between some of the plurality of second element pieces is outside the threshold value, it is determined that the some second element pieces are out of order. Inspection method of physical quantity sensor.
気密であり、前記物理量センサー素子が収容されている素子収容部を有するパッケージと、
前記物理量センサー素子に電気的に接続された電子部品と、を有し、
前記収容部内の気圧と前記素子収容部内の気圧とが異なり、
前記電子部品は、前記素子片からの信号に基づいて物理量を検出する物理量検出モードと、前記素子片のインピーダンスに基づいて前記収容部の気密性を判定する気密性判定モードと、を有することを特徴とする物理量センサー。 A physical quantity sensor element having an airtight accommodating portion and an element piece accommodated in the accommodating portion;
An airtight package having an element accommodating portion in which the physical quantity sensor element is accommodated;
An electronic component electrically connected to the physical quantity sensor element,
The air pressure in the housing portion and the air pressure in the element housing portion are different,
The electronic component has a physical quantity detection mode for detecting a physical quantity based on a signal from the element piece, and an airtightness determination mode for determining the airtightness of the housing portion based on the impedance of the element piece. Characteristic physical quantity sensor.
前記素子片は、前記第1収容部に収容されている第1素子片と、前記第2収容部に収容されている第2素子片と、を有し、
前記第1収容部内の気圧と前記第2収容部内の気圧と前記素子収容部内の気圧とが互いに異なっている請求項13に記載の物理量センサー。 The accommodating portion has a first accommodating portion and a second accommodating portion,
The element piece includes a first element piece housed in the first housing portion and a second element piece housed in the second housing portion,
The physical quantity sensor according to claim 13, wherein the air pressure in the first housing portion, the air pressure in the second housing portion, and the air pressure in the element housing portion are different from each other.
前記第2素子片は、加速度を検出する加速度検出素子片である請求項14に記載の物理量センサー。 The first element piece is an angular velocity detection element piece for detecting angular velocity,
The physical quantity sensor according to claim 14, wherein the second element piece is an acceleration detection element piece that detects acceleration.
前記素子収容部内の気圧は、前記第1収容部内の気圧よりも高く、前記第2収容部内の気圧よりも低い請求項15に記載の物理量センサー。 The atmospheric pressure in the first accommodating part is lower than the atmospheric pressure in the second accommodating part,
The physical quantity sensor according to claim 15, wherein the air pressure in the element housing portion is higher than the air pressure in the first housing portion and lower than the air pressure in the second housing portion.
前記気密性判定モードでは、
複数の前記第1素子片の全ての前記差が前記閾値内であれば、前記第1収容部の気密性が確保されていると判断し、
複数の前記第1素子片の全ての前記差が前記閾値外であれば、前記第1収容部の気密性が破壊されていると判断し、
複数の前記第1素子片の一部の前記差が前記閾値外であれば、前記一部の第1素子片が故障していると判断する請求項14ないし16のいずれか1項に記載の物理量センサー。 A plurality of the first element pieces are arranged so that the detection axes are different,
In the airtightness determination mode,
If all the differences of the plurality of first element pieces are within the threshold value, it is determined that the airtightness of the first housing portion is secured,
If all the differences of the plurality of first element pieces are outside the threshold, it is determined that the airtightness of the first housing portion is broken,
17. The device according to claim 14, wherein if the difference between some of the plurality of first element pieces is outside the threshold value, it is determined that the some first element pieces are out of order. Physical quantity sensor.
前記気密性判定モードでは、
複数の前記第2素子片の全ての前記差が前記閾値内であれば、前記第2収容部の気密性が確保されていると判断し、
複数の前記第2素子片の全ての前記差が前記閾値外であれば、前記第2収容部の気密性が破壊されていると判断し、
複数の前記第2素子片の一部の前記差が前記閾値外であれば、前記一部の第2素子片が故障していると判断する請求項14ないし17のいずれか1項に記載の物理量センサー。 A plurality of the second element pieces are arranged so that the detection axes are different,
In the airtightness determination mode,
If all the differences of the plurality of second element pieces are within the threshold value, it is determined that the airtightness of the second accommodating portion is secured,
If all the differences of the plurality of second element pieces are outside the threshold, it is determined that the airtightness of the second housing portion has been destroyed,
18. The device according to claim 14, wherein if the difference between some of the plurality of second element pieces is outside the threshold value, it is determined that the some second element pieces are out of order. Physical quantity sensor.
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