JP2017085218A - 圧電振動デバイスおよびその実装構造 - Google Patents

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Abstract

【課題】圧電振動子の位置ずれやリード端子の押圧力の変動による特性劣化が抑制された圧電振動デバイスおよびその実装構造を提供する。【解決手段】圧電振動子1A,1B、フレキシブル基板2およびケース3を備える。フレキシブル基板2は、圧電振動子1A,1Bの外部電極が接続される素子実装用端子と、配線基板200に接続される外部接続用端子と、を備える。ケース3は配線基板200への固定部32Sと、天井部と、を有し、固定部32Sは、配線基板200への実装状態で、天井部と配線基板200との間に、圧電振動子1A,1Bとフレキシブル基板2とを収容する空間を形成する。圧電振動子1A,1Bは保持部材を介してケース3の天井部に吊り下げられる。【選択図】図1

Description

本発明は、圧電振動デバイスに関し、特に、配線基板に実装される圧電振動デバイスおよびその実装構造に関する。
圧電トランス等の圧電振動デバイスにおいては、圧電振動子の機械的振動阻害の抑制、小型化、製造の容易性等を考慮して圧電振動子とケースの構造が設計される。例えば特許文献1に示される圧電トランスは、圧電振動子と、これを収容するキャビティを有する樹脂ケースとを備える。樹脂ケースのキャビティ底面には枕部が形成されていて、キャビティ内に圧電振動子が収容された状態で、圧電振動子の機械的振動のノードが上記枕部で支持される。また、圧電振動子の入出力電極に可撓性板バネ状リード端子が接することにより電気的に接続される。
特開2002−26414号公報
しかし、特許文献1に示されるような従来の圧電振動デバイスにおいては、ケースに対する圧電振動子の搭載位置がずれたり、リード端子による押圧力が設計値からずれたりすると、圧電振動素子の機械的振動が妨げられ、圧電振動デバイスの特性が劣化する。例えば圧電トランスの場合には電力変換効率が低下してしまう。
本発明の目的は、圧電振動子の位置ずれやリード端子の押圧力の変動による特性劣化が抑制された圧電振動デバイスおよびその実装構造を提供することにある。
(1)本発明の圧電振動デバイスは、
圧電振動子、フレキシブル基板およびケースを備え、
前記圧電振動子は、圧電素子と、前記圧電素子の表面に形成された外部電極とを有し、
前記フレキシブル基板は、前記圧電振動子の前記外部電極が接続される素子実装用端子と、配線基板に接続される外部接続用端子と、を備え、
前記ケースは前記配線基板への固定部と、天井部と、を有し、
前記固定部は、前記配線基板への実装状態で、前記天井部と前記配線基板との間に、前記圧電振動子と前記フレキシブル基板とを収容する空間を形成し、
前記圧電振動子の前記外部電極は前記フレキシブル基板の前記素子実装用端子に接続され、前記圧電振動子は保持部材を介して、前記ケース内で前記ケースの前記天井部に吊り下げられたことを特徴とする。
上記構成により、圧電振動子は、電気的にはフレキシブル基板を介して、実装先の配線基板に接続され、機械的には保持部材を介してケースの天井に吊り下げられる。したがって、フレキシブル基板への圧電振動子の実装位置のずれに対する機械的振動阻害への影響が少ないので、実装位置のばらつきに対する特性のばらつきが少ない。また、固定部は、圧電振動デバイスの配線基板への実装状態で、ケースの天井と配線基板との間に、圧電振動子とフレキシブル基板とを収容する空間を形成するので、圧電振動子と配線基板との間にフレキシブル基板だけが介在するにもかかわらず、圧電振動子の機械的振動阻害が抑制される。
(2)上記(1)において、前記外部電極は前記圧電素子の第1面に形成されており、前記圧電素子の前記第1面に対向する第2面が前記ケースの前記天井部に保持されることが好ましい。これにより、ケースの天井とフレキシブル基板とは平行に配置され、低背の圧電振動デバイスが得られる。
(3)上記(2)において、前記保持部材は前記圧電振動子の機械的振動のノードと前記天井部との間に配置されることが好ましい。これにより、圧電振動子の機械的振動阻害が効果的に抑制される。
(4)上記(2)または(3)において、前記外部電極は、前記第1面のうち、機械的振動のノードで導電性接合材を介して前記素子実装用端子に接続されていることが好ましい。これにより、圧電振動子の機械的振動阻害が効果的に抑制される。
(5)上記(1)から(4)のいずれかにおいて、前記ケースは、前記天井部を有する第1ケース部と、前記固定部を有する第2ケース部と、で構成され、前記第1ケース部は前記第2ケース部に保持されることが好ましい。これにより、天井部および固定部のそれぞれに適した材料でケースを構成できる。
(6)上記(5)において、前記第1ケース部は樹脂成形体であり、前記第2ケースは金属成形体であることが好ましい。これにより、第1ケース部によって第1ケース部と圧電振動子との電気的絶縁が容易に確保される。
(7)上記(1)から(6)のいずれかにおいて、前記圧電振動子は例えば圧電トランスである。これにより、電力変換効率の高い変圧回路が構成できる。
(8)上記(7)において、前記圧電トランスは直方体形状の圧電素子の長手方向の一方に入力振動部、他方に出力振動部を備え、前記圧電振動子は縦振動モードで振動することが好ましい。これにより、入力振動部と出力振動部の両方について、外部電極を圧電素子の第1面に容易に形成できる。
(9)上記(1)から(8)のいずれかにおいて、前記フレキシブル基板はフレームと、前記フレームから引き出された引出部とを有し、前記素子実装用端子は前記引出部に形成され、前記外部接続用端子は前記フレームに形成されることが好ましい。これにより、限られた面積のフレキシブル基板でありながら、外部接続用端子を覆うことなく圧電振動子の実装が容易となる。また、外部接続用端子はフレキシブル基板の外周部に配置できるので、配線基板に対するフレキシブル基板の外部接続用端子の接続が容易となる。
(10)上記(9)において、前記引出部は、根元部で前記フレームに接続され、前記素子実装用端子は前記引出部の先端部に形成されることが好ましい。これにより、機械的振動阻害が抑制される。
(11)本発明の圧電振動デバイスの実装構造は、
圧電振動子、フレキシブル基板およびケースを有する圧電振動デバイスと、前記圧電振動デバイスが実装される配線基板とを備え、
前記圧電振動子は、圧電素子と、前記圧電素子の表面に形成された外部電極とを有し、
前記フレキシブル基板は、前記圧電振動子の前記外部電極が接続される素子実装用端子と、前記配線基板上の電極に接続される外部接続用端子と、を備え、
前記ケースは前記配線基板への固定部と、天井部と、を有し、
前記固定部は、前記配線基板への実装状態で、前記天井部と前記配線基板との間に、前記圧電振動子と前記フレキシブル基板とを収容する空間を形成し、
前記圧電振動子の前記外部電極は前記フレキシブル基板の前記素子実装用端子に接続され、前記圧電振動子は保持部材を介して、前記ケース内で前記ケースの前記天井部に吊り下げられたことを特徴とする。
上記構成により、特性のばらつきが少なく、圧電振動子の機械的振動阻害が抑制された、圧電振動デバイスの実装構造が得られる。
本発明によれば、圧電振動子の位置ずれや圧電振動子の保持のための押圧力の変動による特性劣化の問題が回避され、特性の安定した圧電振動デバイスおよびその実装構造が得られる。
図1は本発明の第1の実施形態に係る圧電トランスモジュール101と、それが実装される配線基板200の構成を示す斜視図である。 図2は配線基板200に対する圧電トランスモジュール101の実装構造300を示す斜視図である。 図3はフレキシブル基板2の平面図である。 図4(A)(B)はいずれも圧電トランス1Aの斜視図である。 図5(A)〜(E)は、圧電トランスモジュール101の製造時の各工程での構造を示す斜視図である。 図6は、圧電トランスモジュール101の、外部接続用端子と2つの圧電トランス1A,1Bとの接続関係を示す図である。 図7は圧電トランスモジュール101およびその実装構造を示す縦断面図である。 図8は、配線基板200に対する圧電トランスモジュール101の実装状態での、固定部32S部分の断面図である。 図9は、圧電トランスモジュール101およびその実装構造を示す部分断面図である。 図10(A)は、圧電トランス1Aの平面図、図10(B)はその内部の構造を透視して表した斜視図である。 図11は、入力振動部10Aおよび出力振動部10Bの振動方向を説明するための図である。 図12は本発明の第2の実施形態に係る圧電トランスモジュールが備えるフレキシブル基板の平面図である。
《第1の実施形態》
図1は本発明の実施形態に係る圧電トランスモジュール101と、それが実装される配線基板200の構成を示す斜視図である。図2は配線基板200に対する圧電トランスモジュール101の実装構造300を示す斜視図である。図1、図2では、フレキシブル基板2形成されている各種端子や導体パターンの図示は省略している。
圧電トランスモジュール101は、圧電トランス1A,1Bと、フレキシブル基板2と、圧電トランス1A,1Bおよびフレキシブル基板2を保持するケース3とを備える。圧電トランス1A,1Bは本発明に係る「圧電振動子」の一例である。圧電トランスモジュール101は本発明に係る「圧電振動デバイス」の一例である。
圧電トランス1A,1Bは、圧電素子と、この圧電素子の表面に形成された外部電極(詳細は後述)とを有し、フレキシブル基板2は、圧電トランス1A,1Bの外部電極が接続される素子実装用端子と、配線基板200に接続される外部接続用端子と、を備える。
ケース3は、配線基板200への固定部32Sと天井部(詳細は後述)とを有し、固定部32Sは、配線基板200への実装状態で、天井部と配線基板200との間に、圧電トランス1A,1Bとフレキシブル基板2とを収容する空間を形成する。
ケース3は、上記天井部を有する第1ケース部31と、固定部32Sを有する第2ケース部32とで構成され、第1ケース部31は第2ケース部32に保持される。
配線基板200には、上記固定部32Sが挿入されるスロット232Sが形成されている。また、配線基板200には、フレキシブル基板2に形成されている外部接続用端子が接続される接続端子(ランド)225A,225B,226,227A,227B,228が形成されている。
配線基板200の接続端子225A,225B,226,227A,227B,228にクリームはんだを印刷塗布し、配線基板200のスロット232Sに圧電トランスモジュール101の固定部32Sを挿入し、リフローはんだ法ではんだ付けすることにより、図2に示した、圧電トランスモジュール101の実装構造300が構成される。
図3はフレキシブル基板2の平面図である。フレキシブル基板2は、圧電トランス1A,1Bの外部電極が接続される素子実装用端子21A,21B,22A,22B,23A,23B,24A,24Bと、配線基板に接続される外部接続用端子25A,25B,26,27A,27B,28と、を備える。
フレキシブル基板2は、矩形枠状のフレーム20Fと、フレーム20Fから内側にL字状に曲がりながら延伸された複数の引出部20Lとを有し、素子実装用端子21A,21B,22A,22B,23A,23B,24A,24Bは、引出部20Lに形成されている。本実施形態では、引出部20Lは、根元部20Rでフレーム20Fに接続され、素子実装用端子21A,21B,22A,22B,23A,23B,24A,24Bは引出部20Lの先端部に形成されている。すなわち、素子実装用端子21A,21B,22A,22B,23A,23B,24A,24Bは、フレキシブル基板2の機械的振動を阻害しにくい位置に形成されている。
フレキシブル基板2のフレーム20Fには外部接続用端子25A,25B,26,27A,27B,28が形成されている。本実施形態では特にフレーム20Fの外周部に外部接続用端子25A,25B,26,27A,27B,28が形成されている。
図4(A)(B)はいずれも圧電トランス1Aの斜視図である。図4(A)は圧電トランス1Aの第1面S1を上面にした斜視図であり、図4(B)は圧電トランス1Aの第2面S2を上面にした斜視図である。
圧電トランス1Aは、直方体形状の圧電素子10と、この圧電素子10の第1面S1の、互いに対向する2辺に沿って形成された外部電極11,12,13,14を備える。外部電極11,12は入力振動部の外部電極、外部電極13,14は出力振動部の外部電極である。圧電トランス1Aの第1面S1に対向する第2面S2には2つの保持部材4が設けられている。この保持部材4は、圧電振動子の振動を吸収し得る弾性部材であり、例えば微小な両面粘着テープである。保持部材4は、後に示す圧電トランス1Aの機械的振動のノードに貼付される。圧電トランス1Bの構成は、外部電極の極性が圧電トランス1Aとは鏡対称の関係にある。その他の構成は同じである。
図5(A)〜(E)は、上記圧電トランスモジュール101の製造時の各工程での構造を示す斜視図である。図5(A)〜(E)では、フレキシブル基板2形成されている各種端子や導体パターンの図示は省略している。
図5(A)はフレキシブル基板2の斜視図であり、図5(B)は、フレキシブル基板に圧電トランス1A,1Bを実装した状態での斜視図である。圧電トランス1A,1Bは、それらの第1面S1がフレキシブル基板2に対面する状態で接続される。具体的には、フレキシブル基板2の素子実装用端子21A,21B,22A,22B,23A,23B,24A,24Bにクリームはんだを印刷塗布し、フレキシブル基板2に圧電トランス1A,1Bを搭載し、リフローはんだ法によって接続する。この際、素子実装用端子21A,22A,23A,24Aは圧電トランス1Aの機械的振動のノードに接続されることが好ましい。同様に、素子実装用端子21B,22B,23B,24Bは圧電トランス1Bの機械的振動のノードに接続されることが好ましい。
図5(C)は、圧電トランス1A,1Bの第2面S2に保持部材4を貼付した状態である。
図5(D)はフレキシブル基板2の上部に第1ケース部31を被せた状態である。第1ケース部31は天板部31Tと4つの脚部31Sを有する。フレキシブル基板2の上部に第1ケース部31を被せた状態で、天板部31Tの内面(第1ケース部31の天井)とフレキシブル基板2の上面との間に圧電トランス1A,1Bを収める空間が構成される。
フレキシブル基板2の上部に第1ケース部31を被せることによって、圧電トランス1A,1Bの第2面S2は保持部材4を介して第1ケース部31の天井に貼付される。
図5(E)は、第1ケース部31に第2ケース部32が被せられた状態である。第2ケース部32は天板部32Tと4つの固定部32Sを有する。第2ケース部32は、2つの固定部32Fが第1ケース部31を抱えるように折り曲げられて、第1ケース部31と一体化される。
以上に示した部品を組み立てることにより、図1に示した圧電トランスモジュール101が構成される。
図6は、圧電トランスモジュール101の、外部接続用端子と2つの圧電トランス1A,1Bとの接続関係を示す図である。フレキシブル基板2に圧電トランス1A,1Bを実装した状態で、圧電トランス1Aの入力振動部の外部電極11,12は外部接続用端子28,27Aにそれぞれ接続され、圧電トランス1Aの出力振動部の外部電極13,14は外部接続用端子26,25Aにそれぞれ接続される。圧電トランス1Bの入力振動部の外部電極11,12は外部接続用端子28,27Bにそれぞれ接続され、圧電トランス1Bの出力振動部の外部電極13,14は外部接続用端子26,25Bにそれぞれ接続される。
本実施形態の圧電トランスモジュール101は、外部接続用端子28と外部接続用端子27A,27Bとの間にそれぞれ電圧が入力されると、外部接続用端子26と外部接続用端子25A,25Bとの間からそれぞれ電圧が出力される。
図7は圧電トランスモジュール101の縦断面図である。この図に表れているように、圧電トランス1Aの第1面S1は、はんだ5を介してフレキシブル基板2の素子実装用端子に接合されている。圧電トランス1Aの第2面S2は、保持部材4を介して第1ケース部31の天井部31Cに貼付されている。
図8は、配線基板200に対する圧電トランスモジュール101の実装状態での、固定部32S部分の断面図である。
第2ケース部32の固定部32Sは、その先端に屈曲された係合部32Eを有する。固定部32Sをスロット232Sに挿入することで、フレキシブル基板2が配線基板200に載置され、係合部32Eは配線基板200のスロット232Sに係合する。この状態で、固定部32Sは配線基板200の下面ではんだ付けされる。
このように、圧電トランスモジュール101を配線基板200へ実装した状態で、第1ケース部31の天井部31Cと配線基板200との間に高さH1の空間が形成される。この高さH1の空間に、圧電トランス1A,1Bとフレキシブル基板2が収容される。
図9は、配線基板200に対するフレキシブル基板2の接続部の構造、および圧電トランス1Aと配線基板200との位置関係を示す部分断面図である。
フレキシブル基板2には上下面に保護膜2Cが形成されている。また、フレキシブル基板2はフレームの周囲に形成された外部接続用端子(25A等)で配線基板200上の接続端子(225A等)に接続される。そのため、圧電トランス1A等が接続されているフレキシブル基板2の下面と配線基板200との間に間隙が生じ、素子実装用端子(21A,22A等)は機械的振動を阻害しにくい。したがって、圧電トランス1Aの機械的振動が阻害されにくい。
図10(A)は、圧電トランス1Aの平面図、図10(B)はその内部の構造を透視して表した斜視図である。
圧電素子10の第1面S1には、入力側第1外部電極11、入力側第2外部電極12、出力側第1外部電極13および出力側第2外部電極14が設けられている。いずれの外部電極11,12,13,14も、短辺および長辺からなる面を有する矩形状である。そして、外部電極11,12,13,14は、長辺がX軸方向、短辺がY軸方向に一致するように、圧電素子10の第1面S1に設けられている。
入力振動部10Aには、複数の入力側第1内部電極111と、複数の入力側第2内部電極121とが設けられている。入力側第1内部電極111は、円形状の主面を有し、入力側第1外部電極11と導通している。入力側第2内部電極121は、円形状の主面を有し、入力側第2外部電極12と導通している。
入力側第1内部電極111と入力側第2内部電極121とは、主面の法線方向がX軸方向となるように、X軸方向に沿って交互に設けられている。
出力振動部10Bには、複数の出力側第1内部電極131と,複数の出力側第2内部電極141とが設けられている。出力側第1内部電極131は、円形状の主面を有し、出力側第1外部電極13と導通している。出力側第2内部電極141は、円形状の主面を有し、出力側第2外部電極14と導通している。
出力側第1内部電極131と出力側第2内部電極141とは、主面の法線方向がX軸方向となるように、X軸方向に沿って交互に設けられている。
図11は、入力振動部10Aおよび出力振動部10Bの振動方向を説明するための図である。図11に示す矢印は、入力振動部10Aおよび出力振動部10Bにおける圧電素子10の伸縮方向である。破線は、圧電素子10の応力分布を示す。また、図11の下部に示す実線の波形は、振動する圧電素子10の変位分布を示す。
入力側第1外部電極11と入力側第2外部電極12とに交流電圧が印加されると、入力側第1内部電極111と入力側第2内部電極121との間に電界が生じる。すなわち、入力振動部10Aには分極方向に電界が加えられる。このとき、例えば、入力側第1内部電極111を挟んで、X軸方向のプラス方向側とマイナス方向側とは互いに反対方向に電界が印加される。そして、逆圧電効果により分極方向、すなわち、圧電素子10の第1面S1に沿ったX軸方向を厚みとする厚み縦振動が励振され、図11の矢印に示すように、入力振動部10AはX軸方向に伸縮する。
縦振動が励振されると、出力振動部10BではX軸方向(分極方向)に機械的歪みが生じ、図11の矢印に示すように、出力振動部10BはX軸方向に伸縮する。2λ/2振動モードであるので、入力振動部10Aと出力振動部10Bの伸縮方向は逆である。そして、圧電縦効果により、出力側第1内部電極131と出力側第2内部電極141との間に電位差が生じ、出力側第1外部電極13および出力側第2外部電極14から電圧が出力される。
入力振動部10Aにおける振動変位が最も小さい第1ノードN1は入力側第1外部電極11および入力側第2外部電極12の形成範囲内にある。また、出力振動部10Bにおける振動変位が最も小さい第2ノードN2は出力側第1外部電極13および出力側第2外部電極14の形成範囲内にある。圧電トランス1Aを実装する場合、振動変位が最も小さい位置(ノード点N1,N2)で圧電トランス1Aが支持されることで、圧電トランス1Aの振動阻害が抑制される。圧電トランス1Bについても同様である。
《第2の実施形態》
図12は本発明の第2の実施形態に係る圧電トランスモジュールが備えるフレキシブル基板の平面図である。第1の実施形態で図3に示したフレキシブル基板とは引出部20Lの形状が異なる。
本実施形態のフレキシブル基板は、矩形枠状のフレーム20Fと、フレーム20Fから内側に引き出された複数の引出部20Lとを有し、素子実装用端子21A,21B,22A,22B,23A,23B,24A,24Bは、引出部20Lに形成されている。その他の構成は第1の実施形態と同じである。
本実施形態では、引出部20Lはフレーム20Fから内側に直線状に延伸されている。そのため、素子実装用端子21A,22A,23A,24Aは圧電トランス1Aの機械的振動のノードからずれた位置に接続されることもある。同様に、素子実装用端子21B,22B,23B,24Bは圧電トランス1Bの機械的振動のノードからずれた位置に接続されることもある。しかし、フレキシブル基板の一部である引出部20Lは柔軟性があるので、圧電トランス1A,1Bの機械的振動は阻害されにくい。
最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではない。当業者にとって変形および変更が適宜可能である。例えば、異なる実施形態で示した構成の部分的な置換または組み合わせが可能である。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
N1…第1ノード
N2…第2ノード
S1…第1面
S2…第2面
1A,1B…圧電トランス(圧電振動子)
2…フレキシブル基板
2C…保護膜
3…ケース
4…保持部材
5…はんだ(導電性接合材)
10…圧電素子
10A…入力振動部
10B…出力振動部
11…入力側第1外部電極
12…入力側第2外部電極
13…出力側第1外部電極
14…出力側第2外部電極
20F…フレーム
20L…引出部
20R…根元部
21A,21B,22A,22B,23A,23B,24A,24B…素子実装用端子
25A,25B,26,27A,27B,28…外部接続用端子
31…第1ケース部
31C…天井部
31S…脚部(ストッパ部)
31T…天板部
32…第2ケース部
32E…係合部
32F…固定部
32S…固定部
32T…天板部
101…圧電トランスモジュール(圧電振動デバイス)
111…入力側第1内部電極
121…入力側第2内部電極
131…出力側第1内部電極
141…出力側第2内部電極
200…配線基板
225A,225B,226,227A,227B,228…接続端子
232S…圧電振動デバイス固定用スロット
300…圧電振動デバイスの実装構造

Claims (11)

  1. 圧電振動子、フレキシブル基板およびケースを備え、
    前記圧電振動子は、圧電素子と、前記圧電素子の表面に形成された外部電極とを有し、
    前記フレキシブル基板は、前記圧電振動子の前記外部電極が接続される素子実装用端子と、配線基板に接続される外部接続用端子と、を備え、
    前記ケースは、前記配線基板への固定部と、天井部と、を有し、
    前記固定部は、前記配線基板への実装状態で、前記天井部と前記配線基板との間に、前記圧電振動子と前記フレキシブル基板とを収容する空間を形成し、
    前記圧電振動子の前記外部電極は前記フレキシブル基板の前記素子実装用端子に接続され、前記圧電振動子は保持部材を介して、前記ケース内で前記ケースの前記天井部に吊り下げられた、圧電振動デバイス。
  2. 前記外部電極は前記圧電素子の第1面に形成されており、前記圧電素子の前記第1面に対向する第2面が前記ケースの前記天井部に保持される、請求項1に記載の圧電振動デバイス。
  3. 前記保持部材は前記圧電振動子の機械的振動のノードと前記天井部との間に配置される、請求項2に記載の圧電振動デバイス。
  4. 前記外部電極は、前記第1面のうち、機械的振動のノードで導電性接合材を介して前記素子実装用端子に接続される、請求項2または3に記載の圧電振動デバイス。
  5. 前記ケースは、前記天井部を有する第1ケース部と、前記固定部を有する第2ケース部と、で構成され、
    前記第1ケース部は前記第2ケース部に保持される、請求項1から4のいずれかに記載の圧電振動デバイス。
  6. 前記第1ケース部は樹脂成形体であり、前記第2ケース部は金属成形体である、請求項5に記載の圧電振動デバイス。
  7. 前記圧電振動子は圧電トランスである、請求項1から6のいずれかに記載の圧電振動デバイス。
  8. 前記圧電トランスは直方体形状の圧電素子の長手方向の一方に入力振動部、他方に出力振動部を備え、前記圧電振動子は縦振動モードで振動する、請求項7に記載の圧電振動デバイス。
  9. 前記フレキシブル基板はフレームと、前記フレームから引き出された引出部とを有し、
    前記素子実装用端子は前記引出部に形成され、前記外部接続用端子は前記フレームに形成された、請求項1から8のいずれかに記載の圧電振動デバイス。
  10. 前記引出部は、根元部で前記フレームに接続され、
    前記素子実装用端子は前記引出部の先端部に形成された、請求項9に記載の圧電振動デバイス。
  11. 圧電振動子、フレキシブル基板およびケースを有する圧電振動デバイスと、前記圧電振動デバイスが実装される配線基板とを備え、
    前記圧電振動子は、圧電素子と、前記圧電素子の表面に形成された外部電極とを有し、
    前記フレキシブル基板は、前記圧電振動子の前記外部電極が接続される素子実装用端子と、前記配線基板上の電極に接続される外部接続用端子と、を備え、
    前記ケースは前記配線基板への固定部と、天井部と、を有し、
    前記固定部は、前記配線基板への実装状態で、前記天井部と前記配線基板との間に、前記圧電振動子と前記フレキシブル基板とを収容する空間を形成し、
    前記圧電振動子の前記外部電極は前記フレキシブル基板の前記素子実装用端子に接続され、前記圧電振動子は保持部材を介して、前記ケース内で前記ケースの前記天井部に吊り下げられた、圧電振動デバイスの実装構造。
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