JP2017084059A - Reminder information providing system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、作業員に対して注意喚起情報を提供するシステムに関し、特に、半導体デバイス製造工場のクリーンルーム内における注意喚起情報を提供するシステムに関する。 The present invention relates to a system for providing alert information to a worker, and particularly to a system for providing alert information in a clean room of a semiconductor device manufacturing factory.
例えば半導体デバイスの製造を行うクリーンルーム内には、半導体ウェハに対して塗布現像処理を行う装置や、露光装置、エッチング装置などの各種装置が設置されている。そして、これら各装置で所定の処理を実行することで、半導体デバイスが製造される。 For example, in a clean room where semiconductor devices are manufactured, various apparatuses such as an apparatus for performing a coating and developing process on a semiconductor wafer, an exposure apparatus, and an etching apparatus are installed. And a semiconductor device is manufactured by performing predetermined processing in each of these devices.
上記の各装置間での半導体ウェハの搬送は、例えば特許文献１に示すような、半導体ウェハを収容するカセットを、作業員の頭上の空間を利用して搬送する搬送装置が用いられる。
For transporting the semiconductor wafer between the above apparatuses, for example, a transport apparatus that transports a cassette for storing the semiconductor wafer using a space above an operator as shown in
このようなクリーンルーム内の各装置は、通常、複数台設けられており、例えば１台の装置をメンテナンスにより停止する際も、他の装置は継続して稼動している。 A plurality of devices in such a clean room are usually provided. For example, when one device is stopped due to maintenance, other devices continue to operate.
そのため、他装置の稼動中にメンテナンス作業を行う場合、周囲の作業員に対して注意を喚起するための警告表示や区画用のロープ設置等による安全対策がとられる。 Therefore, when maintenance work is performed while other devices are in operation, safety measures such as warning display for alerting surrounding workers and installation of ropes for sections are taken.
しかしながら、上述の搬送装置のような移動体の移動ルートは、各種装置の上方を通過するように設定されている場合もある。したがって、メンテナンスのために作業員が装置上部へアクセスするような場合、搬送装置がメンテナンス作業中の作業員の死角から接近したり、作業員と衝突したりする可能性があり、潜在的な危険のリスクを完全にゼロにはできないのが現状である。また、このような移動体に対する安全管理は作業中の作業員に委ねられており、作業員の死角からの移動体の接近等の事象に対して、作業員の安全を確保する手段が求められている。 However, the moving route of the moving body such as the above-described transfer device may be set so as to pass above various devices. Therefore, when a worker accesses the upper part of the device for maintenance, the transport device may approach from the blind spot of the worker who is performing the maintenance work or may collide with the worker. At present, the risk cannot be completely reduced to zero. In addition, safety management for such moving objects is entrusted to working workers, and means for ensuring the safety of workers against events such as the approaching of moving objects from the blind spots of workers are required. ing.
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、作業員に対して注意喚起情報を提供して、作業員の安全を確保することを目的としている。 This invention is made | formed in view of this point, It aims at providing warning information with respect to a worker, and ensuring the safety | security of a worker.
前記の目的を達成するため、本発明は、クリーンルーム内において作業員に対して注意喚起情報を提供する注意喚起情報提供システムであって、所定の情報を表示する表示部を備えたヘッドマウントディスプレイ装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置との間で信号の送受信を行う送受信装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示する所定の情報を生成する制御装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の位置情報を検出する位置情報検出装置と、を有し、前記制御装置は、前記位置情報検出装置からの位置情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴としている。なお、注意喚起情報とは、クリーンルーム内における高温部の位置や、落下・墜落の可能性のある場所、または移動体との干渉の可能性のある場所といった、潜在的な危険に対して注意を喚起するための情報である。 In order to achieve the above object, the present invention provides a warning information providing system for providing warning information to a worker in a clean room, and includes a display unit for displaying predetermined information. A transmission / reception device that transmits / receives signals to / from the head-mounted display device, a control device that generates predetermined information to be displayed on the head-mounted display device, and a position of a worker wearing the head-mounted display device A position information detection device for detecting information, and the control device generates alert information based on the position information from the position information detection device and information on a dangerous location in the clean room, and The transmitting / receiving device transmits the alert information generated by the control device to the head mounted display. Transmitted to location, the head-mounted display device is characterized in that displaying the alert information generated by the control device on the display unit. Note that the alert information is a warning about potential dangers such as the location of hot parts in a clean room, a place where it may drop or crash, or a place where it may interfere with moving objects. It is information for arousing.
本発明によれば、位置情報検出装置で検出した作業員の位置情報と危険個所の情報に基づいて生成した注意喚起情報を、制御装置からヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、ヘッドマウントディスプレイ装置の表示部に当該注意喚起情報を表示する。したがって、作業員の死角からの移動体の接近等に対して作業員の注意を喚起することで、作業員の安全を確保することができる。 According to the present invention, the alert information generated based on the position information of the worker detected by the position information detection device and the information on the dangerous location is transmitted from the control device to the head mounted display device, and the display of the head mounted display device is performed. The warning information is displayed on the section. Therefore, the safety of the worker can be ensured by alerting the worker to the approach of the moving body from the blind spot of the worker.
前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の周囲を撮像する撮像装置をさらに有し、前記制御装置は、前記撮像装置で取得された画像情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示してもよい。 It further includes an imaging device that images the surroundings of the worker wearing the head mounted display device, and the control device is based on image information acquired by the imaging device and information on a dangerous place in the clean room, Attention information is generated, the transmission / reception device transmits the attention information generated by the control device to the head mounted display device, and the head mounted display device generates the attention information generated by the control device. May be displayed on the display section.
別の観点による本発明は、クリーンルーム内において作業員に対して注意喚起情報を提供する注意喚起情報提供システムであって、所定の情報を表示する表示部を備えたヘッドマウントディスプレイ装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置との間で信号の送受信を行う送受信装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示する所定の情報を生成する制御装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の周囲を撮像する撮像装置と、を有し、前記制御装置は、前記撮像装置で取得された画像情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴としている。 Another aspect of the present invention is a warning information providing system for providing warning information to a worker in a clean room, the head mounted display device including a display unit for displaying predetermined information, and the head A transmission / reception device that transmits and receives signals to and from the mount display device, a control device that generates predetermined information to be displayed on the head mount display device, and an image that captures the surroundings of a worker wearing the head mount display device And the control device generates warning information based on the image information acquired by the imaging device and the information on the dangerous place in the clean room, and the transmission / reception device includes the control device. The alert information generated in step (b) is transmitted to the head mounted display device, and the head marker is transmitted. Cement display device is characterized in that displaying the alert information generated by the control device on the display unit.
前記クリーンルーム内における危険箇所は、高温部、落下・墜落の可能性のある場所、または移動体との干渉の可能性のある場所の、少なくともいずれかであってもよい。 The dangerous place in the clean room may be at least one of a high temperature part, a place where the drop / fall may occur, or a place where there is a possibility of interference with the moving body.
前記落下・墜落の可能性のある場所は、クリーンルーム内でグレーチングが一時的に取り外された場所であってもよい。 The place where the fall / falling may occur may be a place where the grating is temporarily removed in a clean room.
前記移動体は、クリーンルーム内で半導体基板を搬送する搬送装置であってもよい。 The moving body may be a transfer device that transfers a semiconductor substrate in a clean room.
本発明によれば、作業員に対して注意喚起情報を提供して、作業員の安全を確保することができる。 According to the present invention, it is possible to provide warning information to a worker and ensure the safety of the worker.
以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態にかかる注意喚起情報提供システム１の構成の概略を示す。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 shows an outline of the configuration of an alert
注意喚起情報提供システム１は、図１に示すように、所定の情報を表示する表示部ＤＰを備えたヘッドマウントディスプレイ装置１０と、ヘッドマウントディスプレイ装置１０との間で信号の送受信を行う複数の送受信装置１１と、ヘッドマウントディスプレイ装置１０に表示する所定の情報を生成する制御装置１２を有している。各送受信装置１１と制御装置１２は、通信バスＢを介して接続されている。通信バスＢとしては、インターネット回線やＬＡＮ回線などの、公知の通信手段が用いられる。なお送受信装置１１は必ずしも複数設ける必要はなく、例えば１台の送受信装置１１で作業員の移動範囲を全てカバーできれば、１台のみの設置であってもよい。
As shown in FIG. 1, the alert
ヘッドマウントディスプレイ装置１０は、例えば図２に示すように、作業員ＯＰが頭部に装着可能なようにゴーグル型を有している。ヘッドマウントディスプレイ装置１０の表示部ＤＰは、当該表示部ＤＰに表示される情報と、作業員ＯＰの視界領域の双方を認識できるように、例えば半透過型の液晶ディスプレイなどが用いられる。また、ヘッドマウントディスプレイ装置１０は、送受信装置１１との間で信号を伝送する伝送部２０と、ＧＰＳ受信器２１を有している。伝送部２０と送受信装置１１との間の通信には、例えば無線ＬＡＮやＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）通信といった、公知の無線通信技術が用いられる。伝送部２０から送受信装置１１に送信される信号は、ＧＰＳ受信器２１で検出された位置情報である。送受信装置１１から伝送部２０に送信される信号については後述する。なお、表示部ＤＰには、網膜に直接映像を投影する、網膜投影ディスプレイを採用してもよい。また、半透過型ではなく、撮像画像を投影するタイプであってもよく、ヘッドマウントディスプレイ装置１０の表示部ＤＰをどのような機器により構成するかは任意に選択できる。
For example, as shown in FIG. 2, the head mounted
制御装置１２は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部３０（図示せず）を有している。プログラム格納部３０には、例えば位置検出プログラムＰＳＴや、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴといった、注意喚起情報提供システム１により作業員ＯＰに対して注意喚起情報を提供するためのプログラムが格納されている。また、プログラム格納部３０には、下記に示すクリーンルーム内の各種装置の動作を制御して、例えば半導体ウェハの処理を実行するためのプログラム（図示せず）が格納されている。なお、制御装置１２は、半導体デバイス製造工場のクリーンルーム内に設置された種々の処理装置を制御するホストコンピュータであってもよいし、ホストコンピュータと通信バスＢにより接続された、各種処理装置の制御部（図示せず）であってもよく、以下に説明する位置検出プログラムＰＳＴや、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴを動作させると共に、送受信装置１１との間で所定の信号を入出力できるものであれば、その構成は任意に設定できる。
The
位置検出プログラムＰＳＴは、例えば図３に示すように、クリーンルームＣＬ内に設置された塗布現像処理装置ＰＲや露光装置ＥＸ、エッチング装置ＥＴ、半導体ウェハを収容するカセットＣを、レールＲＡを介して各装置間で搬送する搬送装置Ｍといった各種装置の配置情報ＬＯＣを備えると共に、搬送装置ＭのようなクリーンルームＣＬ内を移動する移動体の現在位置の情報、及びヘッドマウントディスプレイ装置１０を備えた作業員ＯＰの現在位置の情報を検出する。移動体の位置検出は、例えば移動体に設けられた発信器４０や、あるいは移動体の移動を制御するプログラムからの移動指令信号に基づいて行われる。また、作業員ＯＰの位置情報は、送受信装置１１を介して制御装置１２に入力されるＧＰＳ受信器２１の信号に基づいて求められる。なお、本発明においてヘッドマウントディスプレイ装置１０を装着した作業員ＯＰの位置情報を検出する位置情報検出装置は、この位置検出プログラムＰＳＴとＧＰＳ受信器２１、送受信装置１１といった、作業員ＯＰの位置を特定するための機器により構成されている。また、各プログラムＰＳＴ、ＡＬＴは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体Ｈに記録されていたものであって、その記憶媒体から制御装置１２にインストールされたものであってもよい。
For example, as shown in FIG. 3, the position detection program PST includes a coating / development processing apparatus PR, an exposure apparatus EX, an etching apparatus ET, and a cassette C containing a semiconductor wafer installed in a clean room CL via rails RA. Workers including arrangement information LOC of various apparatuses such as the conveying apparatus M that conveys between the apparatuses, information on the current position of the moving body that moves in the clean room CL such as the conveying apparatus M, and the head mounted
注意喚起情報生成プログラムＡＬＴは、クリーンルーム内の危険個所についての情報を備えており、この危険個所の情報、上述の配置情報ＬＯＣ、及び位置検出プログラムＰＳＴで検出された作業員ＯＰの位置情報等に基づいて、作業員ＯＰに対して注意を喚起する注意喚起情報を生成する。危険個所の情報とは、作業員ＯＰが受傷する可能性のある箇所についての情報であり、予め注意喚起情報生成プログラムＡＬＴ内に登録されている。具体的な危険個所の情報としては、例えば火傷のおそれのある高温部であったり、クリーンルームＣＬ内で一時的にグレーチング床が取り外され、落下・墜落等の可能性のある場所であったり、搬送装置Ｍのような移動体との干渉により受傷したりする可能性のある場所の情報であるが、危険個所の情報の内容については本実施の形態の内容に限定されるものではなく、一般的な安全管理のための必要な情報であれば任意に設定できる。 The alert information generation program ALT includes information on dangerous locations in the clean room, and includes information on the dangerous locations, the above-described arrangement information LOC, and location information of the worker OP detected by the position detection program PST. Based on this, alerting information for alerting the worker OP is generated. The dangerous part information is information on a part where the worker OP may be injured, and is registered in advance in the alert information generation program ALT. Specific information on dangerous locations includes, for example, high-temperature areas that may cause burns, locations where the grating floor may be temporarily removed in the clean room CL, and may be dropped or dropped, Although it is information on a place where there is a possibility of being injured due to interference with a moving body such as the apparatus M, the content of the information on the dangerous place is not limited to the content of the present embodiment, and is general. Any information necessary for safe safety management can be set arbitrarily.
注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにおける注意喚起情報の生成にあたっては、先ず、配置情報ＬＯＣと危険個所の情報とに基づいてクリーンルーム中における危険個所の位置を特定する。そして、作業員ＯＰの位置情報に基づいて、例えば危険個所と作業員ＯＰとの間の距離が予め設定された所定の値より小さくなったときは、作業員ＯＰが危険個所に近づいているものと判断して、例えば作業員ＯＰからみた危険個所の方角、距離等の情報を生成する。そして、その情報を、送受信装置１１から送信し、ヘッドマウントディスプレイ装置１０の伝送部２０がその情報を受信すると、注意喚起情報が表示部ＤＰに表示される。
In generating the alert information in the alert information generation program ALT, first, the position of the dangerous location in the clean room is specified based on the arrangement information LOC and the information of the dangerous location. Based on the position information of the worker OP, for example, when the distance between the dangerous place and the worker OP becomes smaller than a predetermined value, the worker OP is approaching the dangerous place. For example, information such as the direction and distance of the dangerous part viewed from the worker OP is generated. Then, when the information is transmitted from the transmission /
本実施の形態にかかる注意喚起情報提供システム１は以上のように構成されている。次に、この注意喚起情報提供システム１の実際の動作について説明する。説明にあたっては、例えば図４に示すように、塗布現像処理装置ＰＲの上部においてメンテナンス作業を行う場合や、図４の右側下方に示すように、グレーチング床ＦＬの一部が取り外された開口部７１が存在する場合を例にして説明する。
The alert
制御装置１２は、位置検出プログラムＰＳＴにより、ヘッドマウントディスプレイ装置１０を装着した作業員ＯＰのクリーンルームＣＬ内における位置情報を、連続的又は周期的に検出する。また、例えば搬送装置Ｍのような移動体についても、位置情報を連続的又は周期的に検出する。そして、例えば図４に示すように、塗布現像処理装置ＰＲの上部でメンテナンス作業を行う作業員ＯＰの後方から搬送装置Ｍのような移動体が接近し、作業員ＯＰと搬送装置Ｍとの距離が所定の値を下回ると、制御装置１２の注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにより、搬送装置Ｍが接近している旨の注意喚起情報が生成される。
The
生成された注意喚起情報は、制御装置１２から送受信装置１１を介して送信される。そして、ヘッドマウントディスプレイ装置１０の伝送部２０により当該注意喚起情報が受信されると、表示部ＤＰに注意喚起情報が表示される。その結果、作業員ＯＰは、この注意喚起情報により移動体の接近を認識することができ、必要な安全対策をとることができる。
The generated alert information is transmitted from the
したがって本発明によれば、作業員ＯＰの死角から搬送装置Ｍのような移動体が接近してきた場合であっても、作業員ＯＰが当該移動体の接近を認識することができ、その結果、作業員ＯＰの安全を確保することができる。 Therefore, according to the present invention, even when a moving body such as the transport device M approaches from the blind spot of the worker OP, the worker OP can recognize the approach of the moving body, and as a result, The safety of the worker OP can be ensured.
また、例えばグレーチング床ＦＬの一部が取り外された場合、通常は囲いロープ（図示せず）や転落防止の注意喚起を行う看板（図示せず）等を設置する。しかしながら、例えば図４に示すように、塗布現像処理装置ＰＲの上部で作業を終えた後、グレーチング床ＦＬまで下りてくる場合のように、注意せねばならない事項が複数ある場合、作業員ＯＰの注意力にも限界がある。 For example, when a part of the grating floor FL is removed, an enclosure rope (not shown) or a signboard (not shown) for alerting to fall is usually installed. However, for example, as shown in FIG. 4, when there are a plurality of items to be noted, such as when the work is finished at the upper part of the coating and developing treatment apparatus PR and then descends to the grating floor FL, There is a limit to attention.
そこで、例えばグレーチング床ＦＬの一部が取り外されているような場合は、図４に示すように、発信器５０を落下・墜落の可能性のある箇所の近傍に配置する。そして、位置検出プログラムＰＳＴにより、当該発信器５０の位置情報を把握すると共に、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにおいて危険個所であることを認識する。そして、作業員ＯＰがこの発信器５０に近づき、両者の距離が所定の値を下回ると、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにより注意喚起情報を生成して、ヘッドマウントディスプレイ装置１０を装着する作業者に対して注意喚起を行う。したがって、かかる場合においても、作業員ＯＰに対して注意喚起を行うことで、作業員ＯＰの安全を確保することができる。なお、高温部のように、基本的には移動することのない危険個所についても、上述のように配置情報ＬＯＣと危険個所の情報に基づいて、クリーンルーム中における高温部の位置が特定され、グレーチング床ＦＬの一部が取り外されているような場合と同様に、接近する作業員ＯＰに対して注意喚起が行われる。
Therefore, for example, when a part of the grating floor FL is removed, as shown in FIG. 4, the
なお、以上の実施の形態では、ＧＰＳ受信器２１により作業員ＯＰの位置情報を検出したが、作業員ＯＰの位置情報を検出する方法は本実施の形態の内容に限定されず、種々の公知の技術を用いることができる。例えば携帯電話のような移動体通信技術で用いられるように、伝送部２０が複数設けられた送受信装置１１のうちのどの送受信装置１１と通信を行っているかに基づいて、現在の位置を算出するようにしてもよい。
In the above embodiment, the position information of the worker OP is detected by the
また、以上の実施の形態では、注意喚起情報が表示部ＤＰに表示される場合を例に説明したが、注意喚起情報に基づく作業員ＯＰへの注意喚起の方法は、本実施の形態の内容に限定されるものではなく、例えばヘッドマウントディスプレイ装置１０にスピーカや振動子を装備し、音や振動による注意喚起を併用してもよい。
In the above embodiment, the case where the alert information is displayed on the display unit DP has been described as an example. However, the method of alerting the worker OP based on the alert information is the contents of the present embodiment. For example, the head-mounted
なお、例えば注意喚起情報を生成するきっかけとなる危険個所が搬送装置Ｍのような移動体である場合、作業員ＯＰの装着しているヘッドマウントディスプレイ装置１０に対して注意喚起情報を伝送するのみでなく、例えば注意喚起情報の生成をトリガーとするインターロックを制御装置１２で設定するようにしてもよい。そして、搬送装置Ｍの移動経路上あるいは移動経路の近傍から作業員ＯＰが退避しない場合は、インターロックにより搬送装置Ｍを停止するようにしてもよい。
Note that, for example, when the danger location that generates the alert information is a moving body such as the transport device M, the alert information is only transmitted to the head mounted
また、搬送装置Ｍのように、高所作業時のみ干渉の恐れがあるような箇所については、作業員ＯＰが高所作業中であることを知らせる信号をＯＮ、ＯＦＦする切替スイッチ（図示せず）をヘッドマウントディスプレイ装置１０に設け、高所作業時中であることを制御装置１２に対して通知するようにしてもよい。一般にＧＰＳによる高度の測定精度は数ｍ程度の誤差を含むが、クリーンルーム内においける高所作業についても、概ね数ｍ程度の高さで行われる。したがって、ＧＰＳ受信器２１による位置情報では、作業員ＯＰが高所作業中であるか否かを識別できない。かかる場合、例えば位置検出プログラムＰＳＴの配置情報ＬＯＣを三次元的に作成していたとしても、作業員ＯＰと搬送装置Ｍとが同一高さにおいて接近しているのか否かを判定できず、単に地上（グレーチング床ＦＬ上）にいる作業員ＯＰの頭上を搬送装置Ｍが通過するだけでもヘッドマウントディスプレイ装置１０に注意喚起情報が出力されてしまったり、インターロックにより搬送装置Ｍが停止してしまったりすることが考えられる。この点、上述の切替スイッチを設け、例えば注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにおいて搬送装置Ｍと作業員ＯＰとの接近を判定するにあたり、切替スイッチのＯＮ、ＯＦＦ状態を考慮することで、無用なインターロック動作や注意喚起信号の出力を防止できる。
In addition, a switch (not shown) that turns on and off a signal notifying that the operator OP is working at a high place, such as the transfer device M, where there is a possibility of interference only when working at a high place. ) May be provided in the head mounted
以上の実施の形態では、作業員ＯＰが危険個所に接近した際に注意喚起情報を作業員ＯＰに伝送したが、注意喚起情報を提供するタイミングは本実施の形態の内容に限定されない。例えば搬送装置Ｍのような移動体の経路上に作業員ＯＰが位置している場合は、制御装置１２からヘッドマウントディスプレイ装置１０に対して搬送装置Ｍの経路上に位置していることを通知したり、あるいは、数十秒後に搬送装置Ｍが近くを通過する等、将来的に危険個所が作業員ＯＰに接近することを通知したりしてもよい。
In the above embodiment, the alert information is transmitted to the worker OP when the worker OP approaches the dangerous place. However, the timing for providing the alert information is not limited to the contents of the present embodiment. For example, when the operator OP is located on the path of the moving body such as the transport device M, the
以上の実施の形態では、例えば発信器４０、５０や、移動体の移動を制御するプログラムからの移動指令信号に基づいて、特に搬送装置Ｍのような移動体の位置やグレーチング床ＦＬの一部が取り外されている箇所といった危険個所を把握したが、危険個所の位置を把握する方法については本実施の内容に限定されない。例えば図５に示すように、作業員ＯＰの周囲を撮像できるように、例えば全方位を撮像可能な撮像装置６０を備えたヘルメット６１を、ヘッドマウントディスプレイ装置１０と共に作業員ＯＰが装着し、撮像装置６０の撮像画像に基づいて危険個所の位置を把握するようにしてもよい。かかる場合、撮像装置６０で取得された撮像画像の情報は、例えば伝送部２０、送受信装置１１を介して制御装置１２に入力される。
In the above embodiment, for example, based on the movement command signal from the
具体的には、撮像装置６０で取得した撮像画像を画像解析して、移動している物体と静止している物体を区別する。そして、移動している物体が作業員ＯＰに対して近づいてくるようであれば、当該移動体をクリーンルーム内における危険箇所であると判断し、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにより注意喚起情報を生成して、ヘッドマウントディスプレイ装置１０へ伝送する。これにより、予め注意喚起情報生成プログラムＡＬＴに危険個所の位置情報が登録されていなくても、例えば移動体の接近等に対して注意喚起情報を提供することができる。なお、撮像装置６０としては、必ずしも全方位を撮像可能なものである必要はない。
Specifically, the captured image acquired by the
また、グレーチング床ＦＬの一部が取り外されている箇所のように、危険個所が静止物である場合であっても、例えば撮像装置６０を赤外線カメラにより構成することで、危険個所の判別を行うことができる。具体的には、例えば図６に示すように、グレーチング床ＦＬの一部が取り外された箇所を撮像装置６０により撮像すると、取得された撮像画像７０においては、グレーチング床ＦＬの存在しない開口部７１は、赤外線反射がないため、黒で表示される（図６では、図示の都合上、白で表示している）。したがって、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴでは、一定範囲の領域が黒表示になると、当該領域を危険個所である開口部７１として認識し、注意喚起情報を生成する。そして、注意喚起情報がヘッドマウントディスプレイ装置１０に伝送され、作業員ＯＰに対して開口部７１への注意喚起が行われる。なお、火傷の恐れのある高温部については、赤外線カメラにより明確に識別されるので、容易に特定可能である。
Further, even when the dangerous part is a stationary object, such as a part where the grating floor FL is partially removed, the dangerous part is determined by configuring the
なお、以上の実施の形態では、ヘッドマウントディスプレイ装置１０で注意喚起情報を表示する場合を例に説明したが、ヘッドマウントディスプレイ装置１０に表示する情報は、注意喚起情報に限定されるものではなく、例えば、作業員ＯＰによるメンテナンス作業を支援するためのメンテナンスマニュアル情報であったり、例えば塗布現像処理装置ＰＲに収容されている薬液容器（図示せず）を交換する際に、交換対象となる薬液容器を識別するための情報といった、各種の作業用の情報を表示するようにしてもよい。例えばメンテナンスマニュアル情報を表示することで、通常は片手で持っていた紙のマニュアルを持つ必要がなくなるため、両手での作業が可能となり、作業効率が向上する。また、クリーンルームＣＬ内には上述のとおり同一型式の装置が複数設けられているので、例えば薬液容器の交換時に、誤って交換対象ではない装置の容器が交換されてしまうようなヒューマンエラーが起こりうるが、ヘッドマウントディスプレイ装置１０に交換対象の容器情報を表示することで、そのようなエラーを防止できる。
In the above embodiment, the case where the alert information is displayed on the head mounted
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。即ち、本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。 The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to such examples. It is obvious for those skilled in the art that various modifications or modifications can be conceived within the scope of the idea described in the claims, and these naturally belong to the technical scope of the present invention. It is understood. That is, the present invention is not limited to this example and can take various forms.
本発明は、クリーンルーム内で作業員が作業を行う際に有用である。 The present invention is useful when an operator performs work in a clean room.
１ 基板処理システム
３０ 現像処理装置
３１ 下部反射防止膜形成装置
３２ レジスト塗布装置
３３ 上部反射防止膜形成装置
４０ 熱処理装置
４１ アドヒージョン装置
４２ 周辺露光装置
１５１ シンナー供給ノズル
１７０ シンナー供給装置
２０１ フィルタ
５００ 制御部
Ｐ１、Ｐ２ ポンプ
Ｗ ウェハ
DESCRIPTION OF
Claims (6)
所定の情報を表示する表示部を備えたヘッドマウントディスプレイ装置と、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置との間で信号の送受信を行う送受信装置と、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示する所定の情報を生成する制御装置と、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の位置情報を検出する位置情報検出装置と、を有し、
前記制御装置は、前記位置情報検出装置で検出した作業員の位置情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、
前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴とする、注意喚起情報提供システム。 An alert information providing system for providing alert information to workers in a clean room,
A head-mounted display device including a display unit for displaying predetermined information;
A transmitting / receiving device for transmitting / receiving signals to / from the head mounted display device;
A control device for generating predetermined information to be displayed on the head mounted display device;
A position information detecting device for detecting position information of a worker wearing the head mounted display device,
The control device generates alert information based on the position information of the worker detected by the position information detection device and the information on the dangerous place in the clean room,
The transmission / reception device transmits the alert information generated by the control device to the head mounted display device,
The head mounted display device displays the alert information generated by the control device on the display unit, the alert information providing system.
前記制御装置は、前記撮像装置で取得された画像情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、
前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴とする、請求項１に記載の注意喚起情報提供システム。 It further has an imaging device for imaging the surroundings of a worker wearing the head mounted display device,
The control device generates alert information based on image information acquired by the imaging device and information on a dangerous spot in the clean room,
The transmission / reception device transmits the alert information generated by the control device to the head mounted display device,
The alert information providing system according to claim 1, wherein the head mounted display device displays alert information generated by the control device on the display unit.
所定の情報を表示する表示部を備えたヘッドマウントディスプレイ装置と、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置との間で信号の送受信を行う送受信装置と、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示する所定の情報を生成する制御装置と、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の周囲を撮像する撮像装置と、を有し、
前記制御装置は、前記撮像装置で取得された画像情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、
前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴とする、注意喚起情報提供システム。 An alert information providing system for providing alert information to workers in a clean room,
A head-mounted display device including a display unit for displaying predetermined information;
A transmitting / receiving device for transmitting / receiving signals to / from the head mounted display device;
A control device for generating predetermined information to be displayed on the head mounted display device;
An imaging device for imaging the surroundings of a worker wearing the head-mounted display device,
The control device generates alert information based on image information acquired by the imaging device and information on a dangerous spot in the clean room,
The transmission / reception device transmits the alert information generated by the control device to the head mounted display device,
The head mounted display device displays the alert information generated by the control device on the display unit, the alert information providing system.
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