JP2017059199A - 流量制御器の出力流量を求める方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Q=(dP/dt)×Vk÷T×C …(1)
なお、式(1)において、Tは温度であり、上述したガスが溜められる流路の測定温度であってもよく、所定の温度であってもよい。また、Cは定数であり、22.4(リットル)/Rで特定される値を有する。なお、Rは、気体定数である。
Q=(dP/dt)×Vk2÷T×C …(2)
なお、式(2)において、Tは温度であり、上述したガスが溜められる流路の測定温度であってもよく、所定の温度であってもよい。また、Cは定数であり、22.4(リットル)/Rで特定される値を有する。なお、Rは、気体定数である。
Q=(dP/dt)×Vk3÷T×C …(3)
なお、式(3)において、Tは温度であり、上述したガスが溜められる流路の測定温度であってもよく、所定の温度であってもよい。また、Cは定数である。
Claims (4)
- 基板処理装置の処理容器内にガスを供給するためのガス供給系の流量制御器の出力流量を求める方法であって、
前記ガス供給系は、
複数のガスソースにそれぞれ接続される複数の第1の配管と、
前記複数の第1の配管に設けられた複数の第1のバルブと、
前記複数の第1の配管の下流に設けられた圧力制御式の複数の流量制御器と、
前記複数の流量制御器の下流に設けられた複数の第2の配管と、
前記複数の第2の配管に設けられた複数の第2のバルブと、
前記複数の第2の配管の下流に設けれており前記基板処理装置の処理容器に接続する第3の配管と、
前記第3の配管に設けられた第3のバルブと、
を備え、
該方法は、
前記第3のバルブが開かれた状態で、前記複数の流量制御器のうち測定対象の流量制御器によって流量が調整されたガスの前記処理容器内への供給を開始する第1工程と、
前記処理容器内への前記ガスの供給が継続している状態で前記複数の流量制御器のうち圧力測定用の流量制御器内の圧力計の測定圧力値が安定した後に、前記第3のバルブを閉じる第2工程と、
前記第2工程において前記第3のバルブが閉じられた後に、前記測定対象の流量制御器を介して供給されるガスが溜められる該ガス供給系の既知の容積、及び、前記圧力測定用の流量制御器内の圧力計の測定圧力値の時間に対する上昇率から、前記測定対象の流量制御器の出力流量を算出する第3工程と、
を含む方法。 - 前記測定対象の流量制御器及び前記圧力測定用の流量制御器は、前記複数の流量制御器のうち一つの流量制御器であり、
前記一つの流量制御器は、オリフィス、該オリフィスの上流側にあるコントロールバルブ、該コントロールバルブと該オリフィスの間のガスラインの圧力を測定する第1の圧力計、及び、前記オリフィスの下流にある第2の圧力計を有し、
前記第1工程では、前記複数の第1のバルブのうち前記一つの流量制御器の上流にある第1のバルブのみが開かれ、前記複数の第2のバルブのうち前記一つの流量制御器の下流にある第2のバルブのみが開かれた状態が形成され、
前記第2工程では、前記一つの流量制御器の前記第2の圧力計によって測定される測定圧力値が安定した後に、前記第3のバルブが閉じられ、
前記第3工程では、前記圧力測定用の流量制御器内の圧力計の測定圧力値の時間に対する上昇率として、前記第2の圧力計の測定圧力値の時間に対する上昇率が用いられる、
請求項1に記載の方法。 - 前記測定対象の流量制御器は、前記複数の流量制御器のうち第1の流量制御器であり、
前記圧力測定用の流量制御器は、前記複数の流量制御器のうち前記第1の流量制御器とは別の第2の流量制御器であり、
前記第1の流量制御器及び前記第2の流量制御器の各々は、オリフィス、該オリフィスの上流側にあるコントロールバルブ、及び、該コントロールバルブと該オリフィスの間のガスラインの圧力を測定する圧力計を有し、
前記第1工程では、前記複数の第1のバルブのうち前記第1の流量制御器の上流にある第1のバルブのみが開かれ、前記複数の第2のバルブのうち前記第1の流量制御器の下流にある第2のバルブ及び前記第2の流量制御器の下流にある第2のバルブのみが開かれた状態が形成され、
該方法は、
前記第1工程の実行後、且つ、前記第2工程の実行前に、前記処理容器内への前記ガスの供給が継続している状態で前記第2の流量制御器の前記圧力計の測定圧力値が安定したときの該測定圧力値を第1の測定圧力値として取得する工程と、
前記第2工程の実行後、前記第3工程の実行前、且つ、前記第1の測定圧力値が取得された時点から所定時間が経過したときに、前記第1の流量制御器の下流にある前記第2のバルブを閉じる工程と、
を更に含み、
前記第2工程では、前記第1の測定圧力値の取得直後に前記第3のバルブが閉じられ、
前記第3工程では、前記測定圧力値の時間に対する上昇率として、前記第2の流量制御器の前記圧力計の測定圧力値が安定したときの該測定圧力値である第2の測定圧力値と前記第1の測定圧力値との差を前記所定時間で除した値が用いられる、
請求項1に記載の方法。 - 基板処理装置の処理容器内にガスを供給するためのガス供給系の流量制御器の出力流量を求める方法であって、
前記ガス供給系は、
複数のガスソースにそれぞれ接続される複数の第1の配管と、
前記複数の第1の配管に設けられた複数の第1のバルブと、
前記複数の第1の配管の下流に設けられた圧力制御式の複数の流量制御器と、
前記複数の流量制御器の下流に設けられた複数の第2の配管と、
前記複数の第2の配管に設けられた複数の第2のバルブと、
前記複数の第2の配管の下流に設けれており前記基板処理装置の処理容器に接続する第3の配管と、
前記第3の配管に設けられた第3のバルブと、
を備え、
前記複数の流量制御器のうちの一つの流量制御器は、オリフィス、該オリフィスの上流側にあるコントロールバルブ、該コントロールバルブと該オリフィスの間のガスラインの圧力を測定する第1の圧力計、及び、前記オリフィスの下流にある第2の圧力計を有し、
該方法は、
前記複数の第1のバルブのうち前記一つの流量制御器の上流にある第1のバルブ、前記複数の第2のバルブのうち前記一つの流量制御器の下流にある第2のバルブ、及び、前記第3のバルブが開かれた状態で、前記一つの流量制御器によって流量が調整されたガスの前記処理容器内への供給を開始する第1工程と、
前記処理容器内への前記ガスの供給が継続している状態で前記一つの流量制御器の前記第2の圧力計の測定圧力値が安定した後に、前記一つの流量制御器の下流にある前記第2のバルブを閉じる第2工程と、
前記第2工程において前記一つの流量制御器の下流にある前記第2のバルブが閉じられた後に、前記一つの流量制御器を介して供給されるガスが溜められる該ガス供給系の既知の容積、及び、前記一つの流量制御器の前記第2の圧力計の測定圧力値の時間に対する上昇率から、前記一つの流量制御器の出力流量を算出する第3工程と、
を含む方法。
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