JP2017055110A - インプリント装置及びインプリント方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のインプリント装置では、平面視において、転写位置を挟んで、一方の側に前記軟X線型イオナイザが配置され、他方の側に前記軟X線センサが配置されていてもよい。
また、本発明のインプリント装置において、前記軟X線型イオナイザには、第1軟X線型イオナイザと第2軟X線型イオナイザとが含まれ、前記軟X線センサには、第1軟X線センサと第2軟X線センサとが含まれ、平面視において、転写位置を挟んで、一方の側に前記第1軟X線型イオナイザが配置され、他方の側に前記第1軟X線センサが配置され、前記第1軟X線型イオナイザ及び前記第1軟X線センサが並ぶ方向に沿う方向で、前記転写位置を挟んで、前記他方の側に前記第2軟X線型イオナイザが配置され、前記一方の側に前記第2軟X線センサが配置されてもよい。
この場合、平面視において、前記第1軟X線型イオナイザ及び前記第1軟X線センサが並ぶ方向に対して交差する方向で、前記転写位置を挟んで、一方の側に第3軟X線型イオナイザが配置され、他方の側に第3軟X線センサが配置されてもよい。
この場合、平面視において、転写位置を挟んで、一方の側に前記軟X線型イオナイザが配置され、他方の側に前記軟X線センサが配置されていてもよい。
まず、第1の実施の形態について図1乃至図10を用いて説明する。
図1は本実施の形態によるインプリント装置10を示す側面図であり、図2はインプリント装置10の平面図である。図1に示すように、本実施の形態によるインプリント装置10は、ステージ定盤11と、ステージ定盤11上に配置され、インプリント用の基材40を保持するとともに水平方向に移動可能なステージユニット12と、ステージユニット12の上方に配置された支持部13と、ステージユニット12の移動等を制御する制御部14と、制御部14から出力される情報を表示する表示部15と、を備えている。詳細は後述するが、基材40は平坦な表面及び平坦な裏面を有する平板状基板であり、本実施の形態において「水平方向」とは、基材40の表面に対して水平な方向を意味する。
次に、上述したインプリント装置10を用いてインプリントを行うインプリント方法について、図3乃至図10を参照して説明する。図3は、本実施の形態によるインプリント方法を示すフローチャートであり、図4乃至図9はそれぞれ本実施の形態によるインプリント方法の一工程を示す側面図であり、図10は、インプリント方法の一工程のうちの後述する軟X線の検出工程を説明するグラフを示した図である。
次に、図11には本発明の第2の実施の形態によるインプリント装置の平面図が示されている。本実施の形態における第1の実施の形態と同様の構成部分については、同一の符号を示し、説明を省略する。
続いて、図12には本発明の第3の実施の形態によるインプリント装置の側面図が示されている。本実施の形態における第1及び第2の実施の形態と同様の構成部分については、同一の符号を示し、説明を省略する。
次に、図13には本発明の第4の実施の形態によるインプリント装置の平面図が示されている。本実施の形態における第1乃至第3の実施の形態と同様の構成部分については、同一の符号を示し、説明を省略する。
次に、図14には本発明の第5の実施の形態によるインプリント装置の平面図が示されている。本実施の形態における第1乃至第3の実施の形態と同様の構成部分については、同一の符号を示し、説明を省略する。
次に、図15には本発明の第6の実施の形態によるインプリント装置の平面図が示されている。本実施の形態における第1乃至第3の実施の形態と同様の構成部分については、同一の符号を示し、説明を省略する。
次に、軟X線型イオナイザ18の鉛直方向の位置を調整して間隙Sを通るように軟X線を照射した実施例1と、軟X線型イオナイザ18の鉛直方向の位置調整を行わずに軟X線を照射した場合の実施例2とを説明する。
12 ステージユニット
12A 移動ステージ
12B 基材保持部
13 支持部
14 制御部
15 表示部
16 ディスペンサヘッド
17 モールド保持部
18 軟X線型イオナイザ
18A 昇降装置
18S 軟X線発生源
19 軟X線センサ
19A 昇降装置
20 気流形成部
21 照射部
31 高さ制御機構
33 遮蔽部材
34 電位センサ
40 基材
42 転写層
50 モールド
51 凹凸構造
60 レーザー光源
100 ガス供給機構
101 三方弁
102 溶解性ガスタンク
103 電離性ガスタンク
104 噴射ノズル
104A 第1噴射ノズル
104B 第2噴射ノズル
181 イオナイザ
TP 転写位置
F 気流
S 間隙
S’ 調整間隙
Claims (19)
- 基材を保持する基材保持部を有するステージユニットと、
前記基材上に配置される被成形材料に接触されるモールドを保持するモールド保持部と、
平面視において、転写位置とは重ならないよう、配置され、前記基材と前記モールドとが鉛直方向に向き合う状態で前記基材と前記モールドとの間に間隙が形成された際に、当該間隙に、水平方向に沿った軟X線を照射可能な軟X線型イオナイザと、を備える、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記軟X線型イオナイザは、軟X線発生源から放射状に照射される軟X線の中心を通る照射中心軸が水平方向に沿うように配置され、前記軟X線型イオナイザは、前記照射中心軸上の軟X線を前記間隙に照射可能となっている、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 基材を保持する基材保持部を有するステージユニットと、
前記基材上に配置される被成形材料に接触されるモールドを保持するモールド保持部と、
モールド除電用の軟X線型イオナイザと、
前記軟X線型イオナイザの軟X線を検出するための軟X線センサと、を備える、ことを特徴とするインプリント装置。 - 平面視において、転写位置を挟んで、一方の側に前記軟X線型イオナイザが配置され、他方の側に前記軟X線センサが配置される、
ことを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記軟X線センサは、前記軟X線型イオナイザからの軟X線の強度を検出し、
前記軟X線センサにより検出された強度が所定値以下である場合に、警告を通知する通知手段がさらに設けられている、
ことを特徴とする請求項3又は4に記載のインプリント装置。 - 前記基材と前記モールドとの間に形成される間隙、前記軟X線型イオナイザが軟X線を水平方向に沿って照射する照射位置、及び前記軟X線センサの検出面の各々の鉛直方向の位置が、水平面上に並ぶように、前記ステージユニット、前記モールド保持部、前記軟X線型イオナイザ及び前記軟X線センサの鉛直方向の相対位置を自動で調整する位置調整機構を、さらに備える、
ことを特徴とする請求項3乃至5のいずれかに記載のインプリント装置。 - 水平方向において一側から他側に向かう気流を形成し、当該気流を転写位置へ供給する気流形成部をさらに備え、
前記軟X線型イオナイザは、前記気流の流れ方向で、前記転写位置の上流側で且つ前記気流形成部の下流側に配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のインプリント装置。 - 前記軟X線型イオナイザとは異なる一つ又は複数のイオナイザをさらに備える、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のインプリント装置。 - 前記軟X線型イオナイザには、第1軟X線型イオナイザと第2軟X線型イオナイザとが含まれ、
前記軟X線センサには、第1軟X線センサと第2軟X線センサとが含まれ、
平面視において、転写位置を挟んで、一方の側に前記第1軟X線型イオナイザが配置され、他方の側に前記第1軟X線センサが配置され、
前記第1軟X線型イオナイザ及び前記第1軟X線センサが並ぶ方向に沿う方向で、前記転写位置を挟んで、前記他方の側に前記第2軟X線型イオナイザが配置され、前記一方の側に前記第2軟X線センサが配置される、ことを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 平面視において、前記第1軟X線型イオナイザ及び前記第1軟X線センサが並ぶ方向に対して交差する方向で、前記転写位置を挟んで、一方の側に第3軟X線型イオナイザが配置され、他方の側に第3軟X線センサが配置される、ことを特徴とする請求項9に記載のインプリント装置。
- ステージユニットの基材保持部上に基材を保持する基材保持工程と、
前記基材に被成形材料を配置する材料配置工程と、
前記基材とモールド保持部に保持されたモールドとが鉛直方向に向き合うように位置決めする位置決め工程と、
前記モールドと前記基材とを近接させることにより、前記モールドと前記基材との間に前記被成形材料を展開して転写層とする接触工程と、
前記転写層を硬化する硬化工程と、
硬化された前記転写層と前記モールドとを引き離す離型工程と、
前記離型工程後に、前記基材と前記モールドとの間に間隙が形成された際に、当該間隙に水平方向に沿った軟X線を軟X線型イオナイザから照射する除電工程と、
を備える、ことを特徴とするインプリント方法。 - 前記軟X線型イオナイザは、軟X線発生源から放射状に照射される軟X線の中心を通る照射中心軸が水平方向に沿うように配置され、
前記除電工程では、前記照射中心軸上の軟X線を前記間隙に照射する、
ことを特徴とする請求項11に記載のインプリント方法。 - 前記除電工程において前記軟X線型イオナイザが軟X線を照射する際に当該軟X線が前記間隙を通過するように、前記軟X線型イオナイザの鉛直方向の位置を予め調整する照射位置予備調整工程を、さらに備える、
ことを特徴とする請求項11又は12に記載のインプリント方法。 - 前記間隙を前記軟X線型イオナイザからの軟X線が所定条件で通過しない場合に、前記軟X線型イオナイザの鉛直方向の位置を調整する工程を、さらに備える、
ことを特徴とする請求項11乃至13のいずれかに記載のインプリント方法。 - 軟X線センサによって、前記軟X線型イオナイザからの軟X線を検出する検出工程を、さらに備える、
ことを特徴とする請求項11乃至14のいずれかに記載のインプリント方法。 - 平面視において、転写位置を挟んで、一方の側に前記軟X線型イオナイザが配置され、他方の側に前記軟X線センサが配置される、
ことを特徴とする請求項15に記載のインプリント方法。 - 前記検出工程にて、前記軟X線センサが前記間隙を通過する軟X線を検出可能となるように、前記軟X線センサの鉛直方向の位置を予め調整するセンサ位置予備調整工程を、さらに備える、
ことを特徴とする請求項15又は16に記載のインプリント方法。 - 前記センサ位置予備調整工程は、
前記基材と前記モールドとが鉛直方向に向き合うように位置決めするとともに、前記基材と前記モールドとの間に前記間隙と同等の調整間隙を形成する工程と、
前記調整間隙を通過するように、水平方向に沿ってレーザー光を照射する工程と、
前記調整間隙を通過したレーザー光が、前記軟X線センサの検出面に照射されるように、前記軟X線センサの鉛直方向の位置を調整する工程と、を含む、
ことを特徴とする請求項17に記載のインプリント方法。 - 前記検出工程では、前記軟X線センサによって前記軟X線型イオナイザからの軟X線の強度を検出し、
前記軟X線センサにより検出された強度が所定値以下である場合に、警告を通知する通知工程をさらに備える、
ことを特徴とする請求項15乃至18のいずれかに記載のインプリント方法。
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