JP2017042189A - Ultrasonic probe - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、超音波変換素子(トランスデューサ)などとして用いられる超音波プローブ、およびそれを用いる装置に関する。 The present invention relates to an ultrasonic probe used as an ultrasonic transducer (transducer) and an apparatus using the same.
従来、マイクロマシニング技術によって製造される微小機械部材はマイクロメータオーダの加工が可能であり、これらを用いて様々な微小機能素子が実現されている。このような技術を用いたcMUT(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer)等の静電容量型の電気機械変換素子は、圧電素子の代替品として研究されている。こうした静電容量型の電気機械変換素子によると、振動膜の振動を用いて超音波などの音響波ないし光音響波(本明細書では、超音波で代表することもある)を送信、受信することができ、特に液中において優れた広帯域特性を容易に得ることができる。 Conventionally, micromechanical members manufactured by micromachining technology can be processed on the micrometer order, and various micro functional elements are realized using these. Capacitance type electromechanical transducers such as cMUT (Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer) using such a technique have been studied as an alternative to piezoelectric elements. According to such a capacitive electromechanical transducer, an acoustic wave such as an ultrasonic wave or a photoacoustic wave (which may be represented by an ultrasonic wave in this specification) is transmitted and received using the vibration of the vibrating membrane. In particular, excellent broadband characteristics can be easily obtained in a liquid.
光音響診断装置は、被検体に光を照射し、被検体からの光音響信号を圧電素子または静電容量型のトランスデューサなどのセンサで受信し、受信した信号に基づいて被検体の光音響画像を構成し、診断に用いる装置である。光源からのパルス光を被検体に照射し、被検体内で伝搬・拡散したパルス光のエネルギーを吸収した被検体で発生した光音響波(典型的には超音波)を受信し、その受信信号に基づき被検体をイメージング(画像化)する研究は医療分野で積極的に進められている。 The photoacoustic diagnostic apparatus irradiates a subject with light, receives a photoacoustic signal from the subject with a sensor such as a piezoelectric element or a capacitive transducer, and based on the received signal, a photoacoustic image of the subject Is a device used for diagnosis. Receives photoacoustic waves (typically ultrasonic waves) generated in the subject by irradiating the subject with pulsed light from the light source and absorbing the energy of the pulsed light that propagates and diffuses in the subject, and receives the received signal Research on imaging a subject based on the above is being actively promoted in the medical field.
特許文献1には、半球面上に離散的に配置された圧電素子を用いて音響波を受信して、光音響画像を構成する光音響診断装置の提案がなされている。半球面上に圧電素子はらせん状に配置され、その半球面自体を走査する例が開示されている。 Patent Document 1 proposes a photoacoustic diagnostic apparatus that receives an acoustic wave using piezoelectric elements discretely arranged on a hemispherical surface to form a photoacoustic image. An example is disclosed in which piezoelectric elements are spirally arranged on a hemisphere and the hemisphere itself is scanned.
上述した様な光音響診断装置を使用する際、被検体から発生した光音響波である超音波が、センサが配置されていない部分で反射すると、反射した超音波は被検体に到達し、被検体から発生した超音波を歪める可能性がある。また、被検体で再び反射してセンサに戻ってくる為、所望の超音波を検出する際にノイズとなる。さらに、光音響診断装置だけでなく、センサから超音波を被検体に送信し、被検体で反射した超音波を受信する送受信プローブでも、同様の点が指摘される。つまり、被検体とセンサが配置されていない部分との間で超音波の多重反射が生じることで、所望の超音波の検出性能が低下する恐れがある。特に、センサがスパース状、即ちまばらに配置されていると、センサが配置されていない領域が多くなるため、超音波の多重反射による検出性能の低下が顕著になることがある。また、被検体とセンサとの距離が近くなるにつれ、所望の超音波と多重反射による超音波との分離が困難になり、検出性能の低下が顕著になり易い。 When using the photoacoustic diagnostic apparatus as described above, if the ultrasonic wave, which is a photoacoustic wave generated from the subject, is reflected by a portion where the sensor is not disposed, the reflected ultrasonic wave reaches the subject and the subject There is a possibility of distorting ultrasonic waves generated from the specimen. Further, since the light is reflected again by the subject and returned to the sensor, it becomes noise when a desired ultrasonic wave is detected. Further, not only the photoacoustic diagnostic apparatus but also a transmission / reception probe that transmits ultrasonic waves from a sensor to a subject and receives ultrasonic waves reflected by the subject is pointed out. In other words, multiple ultrasonic reflections occur between the subject and the portion where the sensor is not arranged, which may reduce the detection performance of the desired ultrasonic waves. In particular, when the sensors are sparsely arranged, that is, sparsely arranged, the number of areas where the sensors are not arranged increases, and thus the detection performance may be significantly degraded due to multiple reflections of ultrasonic waves. In addition, as the distance between the subject and the sensor becomes shorter, it becomes difficult to separate desired ultrasonic waves from ultrasonic waves due to multiple reflection, and the detection performance is likely to deteriorate significantly.
上記課題に鑑み、本発明の超音波プローブは、複数の超音波センサと、測定の際に測定位置に配置されるべき被検体に向かって凹状となる凹部を有し、前記複数の超音波センサを支持する筐体と、を備える。前記超音波センサは、センサ面が被検体側に向くように配置され、前記筐体は、被検体側の面に超音波反射制御層を有する。 In view of the above problems, an ultrasonic probe of the present invention has a plurality of ultrasonic sensors and a concave portion that is concave toward a subject to be placed at a measurement position at the time of measurement, and the plurality of ultrasonic sensors And a housing that supports. The ultrasonic sensor is arranged so that the sensor surface faces the subject side, and the casing has an ultrasonic reflection control layer on the subject side surface.
本発明では、被検体とセンサが配置されていない筐体の部分との間で生じる超音波の多重反射を低減する事で、被検体からの超音波の検出性能(S/N)を向上させる事が可能となる。 In the present invention, the detection performance (S / N) of the ultrasonic wave from the subject is improved by reducing the multiple reflection of the ultrasonic wave generated between the subject and the part of the casing where the sensor is not arranged. Things will be possible.
以下の実施形態や実施例では、超音波センサは、センサ面が被検体側に向くように配置され、複数の超音波センサを支持する筐体は、測定の際に測定位置に配されるべき被検体に向かって凹状となる凹部を有し、被検体側の面に超音波反射制御層を有する。超音波反射制御層は、吸収、散乱、干渉なども含めて反射波の量を制御する機能を有している。前記筺体の凹部は、典型的には、略球面状であるが、例えば、筺体が多面体構造で形成され、筐体の凹部を、平面を繋ぎ合わせて形成されている形態などにすることも出来る。 In the following embodiments and examples, the ultrasonic sensor is arranged so that the sensor surface faces the subject side, and the housing that supports the plurality of ultrasonic sensors should be arranged at the measurement position at the time of measurement. A concave portion that is concave toward the subject is provided, and an ultrasonic reflection control layer is provided on the subject-side surface. The ultrasonic reflection control layer has a function of controlling the amount of reflected waves including absorption, scattering, interference, and the like. The concave portion of the casing is typically substantially spherical, but for example, the casing may be formed in a polyhedral structure, and the concave portion of the housing may be formed by connecting planes. .
以下に、本発明の実施形態について説明する。本実施形態では光音響診断装置について説明しているが、光源を備えない超音波診断装置などでもよく、本発明は本実施形態に制限されない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. Although the photoacoustic diagnostic apparatus is described in the present embodiment, an ultrasonic diagnostic apparatus that does not include a light source may be used, and the present invention is not limited to the present embodiment.
<システム構成>
図1を参照しながら、本発明に係る超音波プローブないし光音響診断装置の構成例を説明する。図1は本実施形態の構成図である。本実施形態に係る光音響診断装置は、取り付け部100、被検体120を保持する形状保持部110、音響マッチング材130、光学系140、光源150、処理部160、画像表示部170、超音波プローブ180を含む。測定は形状保持部110に被検者120の***などを挿入して行う。光源150から発生したパルス光は、被検体に光を照射するための光照射部の一部をなす光学系140を介して超音波プローブ180の頂点近傍から形状保持部110の方向に導かれ、被検体120に照射される。被検体内部を伝播した光のエネルギーの一部が血液などの光吸収体に吸収されると、その被検体120の光吸収体の熱膨張により音響波が発生する。被検体120で発生した音響波はすべての方向に伝播し、音響マッチング材130を伝播して超音波プローブ180内に配置された超音波センサ200の各々で受信され、処理部160において解析される。解析結果は、被検体120の特性情報を表す画像として画像表示部170に出力される。
<System configuration>
A configuration example of an ultrasonic probe or a photoacoustic diagnostic apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a configuration diagram of this embodiment. The photoacoustic diagnostic apparatus according to the present embodiment includes an
<光源150>
光源150はパルス光を発生させる装置である。光源はレーザー光源であることが望ましいが、発光ダイオードやフラッシュランプ等を用いることもできる。照射のタイミング、波形、強度等は不図示の光源制御部により制御される。光音響波を効果的に発生させるためには、被検体120の熱特性に応じて、十分短い時間に光を照射しなければならない。被検体120が生体である場合、光源から発生するパルス光のパルス幅は10〜50ナノ秒程度が好適である。また、パルス光の波長は、被検体内部まで光が伝播する波長であることが望ましい。具体的には、600nm以上1200nm以下程度であることが望ましい。この領域の光は比較的生体深部まで到達することができ、深部の情報を得ることができる。さらにパルス光の波長は、観測対象に対して吸収係数が高いことが望ましい。
<Light source 150>
The light source 150 is a device that generates pulsed light. The light source is preferably a laser light source, but a light emitting diode, flash lamp, or the like can also be used. Irradiation timing, waveform, intensity, and the like are controlled by a light source control unit (not shown). In order to effectively generate the photoacoustic wave, it is necessary to irradiate light in a sufficiently short time according to the thermal characteristics of the
<光学系140>
光学系140は、光源150で発生したパルス光を被検体120へ導く手段である。具体的には、所望のビーム形状、光強度分布が得られるように光ファイバやレンズ、ミラー、拡散板などで構成された光学部材である。また、光を導く際に、これらの光学機器を用いて、所望の光分布となるように形状や光密度を変更することもある。光学機器はここに挙げたものだけに限定されず、このような機能を満たすものであれば、どの様なものであってもよい。
<
The
<形状保持部110>
形状保持部110は、被検体120の形状を一定に保つための部材である。形状保持部110は、取り付け部100に取り付けられている。形状保持部110を介して被検体120に光を照射する場合、形状保持部110は照射光に対して透明であることが好ましい。例えば、形状保持部材110の材料としては、ポリメチルペンテンやポリエチレンテレフタラートなどを用いることができる。また、被検体120が***である場合、***形状の変形を少なくして形状を一定に保持するために、形状保持部110の形状は球を或る断面で切った形状であることが好ましい。なお、被検体120の体積や保持後の所望の形状に応じて、形状保持部110の形状を適宜設計することができる。形状保持部110が被検体120の外形にフィットし、被検体120の形状が形状保持部110の形状とほぼ同様になるように構成されていることが好ましい。なお、光音響診断装置は、形状保持部110を用いることなく、測定を行ってもよい。
<Shape holding
The
<被検体120>
被検体120は測定の対象となるものである。具体例としては、***等の生体や、当該装置の調整などにおいては生体の音響特性と光学特性を模擬したファントムが挙げられる。
<Subject 120>
The subject 120 is a measurement target. Specific examples include a living body such as a breast, and a phantom that simulates the acoustic characteristics and optical characteristics of a living body when adjusting the apparatus.
<音響マッチング材130>
音響マッチング材130は、被検体120と超音波プローブ180との間の空間を満たし、被検体120と超音波プローブ180との間を音響的に結合させるためのものである。本実施形態では、超音波プローブ180と形状保持部110との間に音響マッチング材130を配置することができる。また、形状保持部110と被検体120との間にも音響マッチング材130を配置している。超音波プローブ180と形状保持部110との間及び形状保持部110と被検体120との間に、それぞれ異なる材料の音響マッチング材130を配置してもよい。
<
The
なお、音響マッチング材130は、その内部で光音響波が減衰し難い材料であることが好ましい。また、音響マッチング材130は、光源150で発生するパルス光を透過する材料であることが好ましい。また、音響マッチング材130は液体であることが好ましい。具体的には、音響マッチング材130として、水、ひまし油、ジェルなどを用いることができる。
In addition, it is preferable that the
<超音波プローブ180>
超音波プローブ180は、被検体120の内部で発生した音響波をアナログの電気信号に変換する手段である。超音波プローブ180の形状は、測定位置に置かれた被検体に向かって凹状である凹部を有しており、本実施形態では半球体のお椀形状をしている。凹部の被検体側の半径は、例えば数mmから数十cmであり、被検体の大きさに応じて変更すればよい。また凹部の厚さ、つまり凹部の被検体側の面(内面)の半径と凹部の被検体側ではない面(外面)の半径との差は、数mmから数cmである。装置全体の大きさに応じて変更すればよい。
<
The
超音波プローブ180には、複数の超音波センサ200が配置されている。超音波センサ200は、少なくとも超音波の受信が行えるものであれば良い。受信と送信の両方を行えるものであっても良い。例えば、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)に代表される圧電セラミック材料や、PVDF(ポリフッ化ビニリデン)に代表される高分子圧電膜材料などを用いることができる。また、圧電素子以外の素子を用いても良い。例えば、cMUTなどの静電容量型の素子、ファブリペロー干渉計を用いた音響波受信素子、などを用いることができる。超音波センサ200と後述の筺体184との間には、この間に音響マッチング材が侵入することを防止するためのシール部材が設けられるのが好ましい。
A plurality of
図2乃至図7を参照しながら、超音波プローブ180の構成を説明する。図2は本実施形態の光音響診断装置の超音波プローブの一例の図であり、図3は、図2の破線で囲った部分183の内面拡大図である。図4は、図3の裏面を示した外面拡大図であり、図6は、超音波センサ200を配置する前の図2の破線で囲った部分183の拡大図である。
The configuration of the
超音波センサ200は、超音波受信面(センサ面)が被検体120側に向くように配置されている。音響波プローブ180は、内側182と外側181から構成されており、外側181の超音波センサ200は、導線やケーブル等の配線202で処理部160に接続されている。内側182の、超音波センサ200が配置されていない筐体184の部分には、光反射制御層220と超音波反射制御層230が配置されている。また超音波センサ200の超音波受信面には、光反射層201が配置されている。超音波プローブ180の筐体184の材料は、金属やセラミック、樹脂など、半球面状などの凹状に加工して形成できる物であればよい。
The
光反射制御層220は、光の反射を制御できればよく、光反射層であればよい。光反射層は、光源150からパルス光を被検体120に照射して光音響波を発生させるために用いる光源150が発出する波長の光を反射する機能を有する。光反射層は、光源150の有する波長に対する反射率が高い膜であればよい。反射率が高い膜としては、Al、Au、誘電体多層膜等が用いられる。光反射層の反射率は、使用する光において80%以上であることが好ましく、90%以上であることがより好ましい。また光反射層は、被検体120から生じた音響波を透過させる機能を有することが好ましい。一般的に音響マッチング材の音響インピーダンスが1MRayls〜5MRaylsであるので、光反射層の音響インピーダンスは1MRayls以上5MRayls以下が好ましい。音響マッチング材と音響インピーダンスの値を近くする事で、界面での超音波の反射を低減することができる。また、光音響波の周波数(波長)に対して十分薄い厚さとするのが好ましい。光反射層を有する事で、光源150から発生したパルス光の散乱や形状保持部110での反射によって筐体184にパルス光が照射されたときに生じる、筐体184からの光音響波信号の発生を低減することが出来る。
The light
超音波反射制御層230は、超音波の反射を制御すればよく、超音波吸収層、超音波散乱層、もしくは両方の層を有するのが好ましい。超音波の干渉を利用して超音波の戻りを抑制する超音波干渉層を含む構成であってもよい。超音波反射制御層は、被検体から反射もしくは発生した超音波が筐体184に到達したときに、筐体で超音波が反射して被検体へ戻っていく多重反射を防ぐ構成であればよい。超音波吸収層は、光源150からパルス光を被検体120に照射して生じた光音響波を吸収する機能を有する。光音響波に対する吸収率が高い層であればよい。超音波吸収層としては、市販されているイーステック社のAptFlex-F28やAptFlex-F36を用いることが出来る。架橋型ブチルゴム、ガラスエポキシ、シリコーンゲルやシリコーンゴム、ウレタンゴムなどに、タングステンやアルミナ、銅もしくはその化合物、白金、鉄もしくはその化合物、フェライト粉末などの微粒子を含有させた溶媒を元に超音波吸収層を作製できる。超音波散乱層については、半球状超音波プローブ180の内側182の筐体184の表面を、円錐などの錐形突起形状に粗面加工することで、超音波を散乱することが出来る。散乱により多重反射を減少することができる。また、粗面加工をした筐体184の上に超音波吸収層を設けることで、超音波吸収層で吸収しきれなかった超音波が超音波散乱層で散乱され、散乱した超音波を超音波吸収層で吸収することもできる。超音波吸収層と超音波散乱層の両方を有することで、超音波反射制御層の厚さを薄くすることもできる。また、超音波吸収層を二層構成にして超音波吸収層内部に粗面加工を施してもよい。超音波吸収層内部を粗面加工することで、超音波吸収層内部で超音波の吸収および散乱した超音波の吸収を行うことができる。超音波干渉層は、材料の屈折率を考慮した各界面からの反射超音波の位相差がπ/2(半波長)の略奇数倍となる様に層厚が適宜に設定された層構造で実現することができる。超音波吸収層の音響インピーダンスは、一般的に音響マッチング材の音響インピーダンスが1MRayls〜5MRaylsであるので、同等の1MRayls以上5MRayls以下が好ましい。音響マッチング材と音響インピーダンスの値を近くする事で、界面での超音波の反射を低減することができる。
The ultrasonic
超音波反射制御層230を有する事で、光源150からのパルス光によって被検体120から発生した光音響波の、超音波プローブ180内部での多重反射を低減できる。光反射制御層220は、超音波プローブ180の内側182の面に設け、超音波反射制御層230は、光反射制御層220と筐体184の間に設けるのが好ましい。光反射制御層220が光反射層の場合、光源150からのパルス光の散乱や形状保持部110での反射によって筐体184にパルス光が照射される際にパルス光を反射して筐体184から光音響波信号が発生されることを、低減出来る。被検体120から発生した光音響波は、光反射層を透過して超音波反射制御層230に達したときに超音波吸収層で吸収され、超音波プローブ180内部での光音響波の多重反射を低減出来る。
By including the ultrasonic
超音波プローブ180と被検体120との距離が離れている場合には、光音響波の多重反射が生じても、被検体120から発生した最初の光音響波の信号と時間差があるため、超音波センサ200で検出されるこれらの信号を分離することが出来る。しかし、超音波プローブ180と被検体120との距離が近づくにつれて、目標の信号と前記多重反射などによる信号との分離が困難になり、検出性能が低下する。このため、超音波反射制御層230を超音波吸収層として、光音響波の多重反射を低減することが好ましい。
When the distance between the
被検体120から発生した光音響波を検出する超音波センサ200の超音波受信面には、光反射層201を設けるのが好ましい。光源150からのパルス光の散乱や形状保持部110での反射によって超音波センサ200にパルス光が入射すると、超音波センサ200から光音響波が発生する。これにより被検体120から発生した光音響波を歪め、検出性能が低下する。超音波センサ200の超音波受信面に光反射層201を設けることで、超音波センサ200からの光音響波の発生を低減することができる。
It is preferable to provide a
超音波プローブ180は、超音波センサ200を配置する前の状態では図6や図7に示すように超音波センサ200を配置する部分が空洞185となっている。図7に示すように超音波センサ200を配置する前の状態の超音波プローブ180は、筐体184の上に光反射制御層220と超音波反射制御層230を有している。この空洞185に超音波センサ200を挿入して固定することで超音波プローブ180が作製できる。超音波プローブ180の大きさは、被検体120の特性に応じて所望の大きさにすればよい。また配置する超音波センサ200の個数は、被検体120の特性と超音波プローブ180の大きさに応じて所望の個数を所望の箇所に設ければ良い。図5では、超音波プローブ180の外側181から空洞185にセンサ200を挿入して超音波センサ200の突起で挿入方向の位置出しを行っている。超音波センサ200の筐体184への固定は、接着材などで固定してもよいし、筐体184と超音波センサ200の接触面を樹脂やゴム製のOリングを介して密閉して、ねじ留めで固定してもよい。また超音波センサ200は、内側182から挿入して固定してもよいし、超音波センサ200に位置出し用の突起を設けずに冶具などで位置出しを行って固定してもよい。
In the state before the
<処理部160>
図1に戻り、処理部160と画像表示部170について説明する。光音響波は超音波プローブ180に配置された超音波センサ200により検出される。被検体から発生した光音響波はほぼ360度×180度の方向に対して検出される。画像再構成に関しては、例えば、トモグラフィー技術で通常に用いられるタイムドメインあるいはフーリエドメインでの逆投影などが用いられる。高解像度の3次元画像を取得するために、フーリエドメイン法がよく用いられるが、これに限られるわけではない。ここで、被検体120の部位から放射された光音響波の強度は、処理部160で算出される。画像形成処理を高速化するために、処理部160は、超音波センサ200の位置と被検体120の部位の位置と受信時刻とで定まる値を、超音波プローブ180の球の半径の関数として算出して、その係数をメモリーに記憶させている。各超音波センサ200の受信信号に前記係数を乗算し、この乗算結果を各部位について累積する事で画像データを形成する。このように球面上での画像データを算出し、この画像データをフーリエドメイン法により画像処理することにより、被検体の高い分解能の3次元画像を画像表示部170に表示することができる。
<
Returning to FIG. 1, the
以下、より具体的な実施例を挙げて本発明を詳細に説明する。
(実施例1)
上記実施形態で記載した超音波プローブないし光音響診断装置についての具体的な例について説明する。光源としては、近赤外ナノパルスレーザーを用いる。ここでは、チタンサファイアレーザーを用い、励起源としてはNd:YAGレーザーを使用する。800nm付近の波長を照射し、光音響波信号を発生させる。被検体120としては***用ファントムを用いる。形状保持部110はポリメチルペンテンのフィルムを使用する。音響マッチング材130は形状保持部110と超音波プローブ180との間に水を充填する。超音波プローブ180は、半球面の内側182の半径を約120mmとし、超音波センサ200の超音波受信面が半球面の内側を向くように250個配置する。超音波センサ200は静電容量型電気機械変換装置であり、超音波センサ200先端の外径は10mmである。超音波プローブの光反射制御層220は光反射層であり、超音波反射制御層230は超音波吸収層である。また超音波プローブ180の筐体184はアルミニウムである。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to more specific examples.
Example 1
A specific example of the ultrasonic probe or the photoacoustic diagnostic apparatus described in the above embodiment will be described. A near-infrared nanopulse laser is used as the light source. Here, a titanium sapphire laser is used, and an Nd: YAG laser is used as an excitation source. Irradiates a wavelength of around 800 nm to generate a photoacoustic wave signal. A breast phantom is used as the subject 120. The
図8、図9を用いて静電容量型電気機械変換装置(超音波センサ)を説明する。図8は超音波センサの一例であり、図9は図8のX−Z軸スライス図である。超音波センサは、光反射層201と本体204と配線202から構成され、本体204の一部に突起を有している。本体204の中には、静電容量型電気機械変換素子(トランスデューサ)205と第一のフレキ配線207と第二のフレキ配線209、受信プリアンプ210が配置されている。このように、超音波センサ200は、センサ面に、音響波の受信信号への変換と送信信号の音響波への変換のうち少なくとも一方を行う変換素子205を有している。
A capacitive electromechanical transducer (ultrasonic sensor) will be described with reference to FIGS. 8 is an example of an ultrasonic sensor, and FIG. 9 is an XZ axis slice diagram of FIG. The ultrasonic sensor includes a
図10、図11を用いて静電容量型電気機械変換素子を説明する。図10は、超音波センサの受信面側の拡大模式図である。また図11は、図10のE−F断面図である。トランスデューサ205は、シリコン基板1、第一の絶縁膜2、第一の電極3、電極3上の第二の絶縁膜4、空隙(キャビティ)5を隔てて形成された第三の絶縁膜6と絶縁膜6上の第二の電極7と電極7上の第四の絶縁膜8とを含む振動膜9、を備える。振動膜9上には、接着剤10を介して、光反射層12が成膜された支持部材11が接着され保護層201を形成している。これらで構成されるセル203が複数個集まって静電容量型電気機械変換素子205を構成している。図10では36個のセルで一つの静電容量型電気機械変換素子205を構成しているが、セルは一つでも多数でも構わない。また、セルの配列は格子状でも千鳥状でもハニカム状などでも構わないし、セルの形状は円形に限らず長方形や正方形や多角形でも構わない。また、セルの集合体のである静電容量型電気機械変換素子205の形状も問わない。第一の電極3、は第一の電極パッド206で第一のフレキ配線207と繋がれて本体204内部の回路基板212に接続され、配線202で外部に引き出される。第二の電極7は、第二の電極パッド208で第二のフレキ配線209と繋がれて本体204内部を通って回路基板212上の受信プリアンプ210と接続している。図10では、第一の電極3と第二の電極7をフレキ配線で受信面側から引き出しているが、シリコン基板1に貫通孔を設けて、シリコン基板1の裏側に直接電極を形成して回路基板と接続してもよい。
The capacitance type electromechanical transducer is described with reference to FIGS. 10 and 11. FIG. 10 is an enlarged schematic diagram of the receiving surface side of the ultrasonic sensor. FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line EF in FIG. The
静電容量型電気機械変換素子205の表面には、光反射層を含む保護層201が形成されている。光反射層は、光源150からのパルス光の散乱や形状保持部110からの反射光が電気機械変換装置に照射される事で発生する光音響波を低減するためのものである。光反射層12はAuの蒸着膜であり、Auを蒸着する支持部材11は12μmの厚さのPETフィルムを用いる。接着層10はシリコン系の接着剤を用いて保護層201を作製する。光反射層12、支持部材11、接着層10の種類や厚さは、これらに限らない。
A
超音波センサは、電圧印加手段で第一の電極3にバイアス電圧を印加することが出来る。第一の電極3にバイアス電圧が印加されると、第一の電極3と第二の電極7との間に電位差が生じる。この電位差により振動膜の復元力と静電引力が釣り合うところまで振動膜9は変位する。この状態で超音波が振動膜9に到達すると、振動膜9が振動する事で第一の電極3と第二の電極7との間の静電容量が変化して第二の電極7に電流が流れる。この電流を超音波の電気信号として取り出す事ができる。受信の際には、不図示のシステム制御部から指示された受信のバイアス電圧に従い、バイアス電圧制御部からバイアス電圧を印加する。被検体から発生した光音響波を超音波センサで受信した受信信号は受信プリアンプ210で増幅され、処理部160に送られる。
The ultrasonic sensor can apply a bias voltage to the
図12を用いて静電容量型電気機械変換素子の製造方法の一例を説明する。図12-aに示すように、基板1上に第一の絶縁膜2を形成する。基板1はシリコン基板であり、第一の絶縁膜2は、第一の電極3との絶縁を形成するためのものである。次に第一の電極3を形成する。第一の電極3は、表面粗さが小さい導電材料が望ましく、例えば、チタン、タングステン、アルミ等である。第一の電極3の表面粗さが大きい場合、第一の電極と第二の電極間の距離が、表面粗さにより素子間でばらついてしまうため、表面粗さが小さい導電材料が望ましい。次に、第二の絶縁膜4を形成する。第二の絶縁膜4も、表面粗さが小さい絶縁材料が望ましく、これは、第一の電極と第二の電極との間に電圧が印加された場合の第一の電極と第二の電極間の電気的短絡あるいは絶縁破壊を防止するために形成する。また、本工程の後工程で実施する犠牲層除去のときに第一の電極3がエッチングされることを防止するために形成する。第二の絶縁膜4は、例えば、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜等である。
An example of a method for manufacturing a capacitive electromechanical transducer will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 12A, the first insulating
次に、図12-bに示すように、犠牲層55を形成する。犠牲層55は、後に空隙5となる。犠牲層55は表面粗さの小さい材料が望ましい。犠牲層の表面粗さが大きい場合、第一の電極と第二の電極間の距離が、表面粗さにより素子間でばらついてしまうため、表面粗さが小さい犠牲層が望ましい。また、犠牲層を除去するエッチングのエッチング時間を短くするために、エッチング速度の速い材料が望ましい。犠牲層材料としては、例えば、アモルファスシリコン、ポリイミド、クロム等が挙げられる。クロムのエッチング液は、窒化シリコン膜あるいは酸化シリコン膜をほぼエッチングしないので、絶縁膜、振動膜が窒化シリコン膜あるいは酸化シリコン膜の場合、望ましい。
Next, as shown in FIG. 12B, a
次に、図12-cに示すように、第三の絶縁膜6を形成する。第三の絶縁膜6は、低い引張り応力のものが望ましい。例えば、500MPa以下の引張り応力のものがよい。窒化シリコン膜は応力コントロールが可能であり、500MPa以下の低い引張り応力にすることができる。振動膜が圧縮応力を有する場合、振動膜がスティッキングあるいは座屈を引き起こし、大きく変形する。他方、大きな引張り応力の場合、第三の絶縁膜6が破壊されることがある。従って、第三の絶縁膜6は、低い引張り応力のものが望ましい。例えば、応力コントロールが可能で、低い引張り応力にできる窒化シリコン膜である。次に、第二の電極7を形成する。第二の電極7は、残留応力が小さい材料が望ましく、アルミニウム、アルミ・シリコン合金やチタンなどの金属が挙げられるが、これに限らない。
Next, as shown in FIG. 12C, a third
次に、図12-dに示すように、第三の絶縁膜6にエッチングホール56を形成する。エッチングホール56は、犠牲層55をエッチングして除去するためにエッチング液あるいはエッチングガスを導入するための孔である。その後、犠牲層55を除去して空隙5を形成する。犠牲層除去方法は、ウエットエッチングやドライエッチングなどが好ましく、犠牲層材料としてクロムを用いた場合は、ウエットエッチングが好ましい。
次に図12-eに示すように、エッチングホール56を封止する為に、第四の絶縁膜8を形成する。第三の絶縁膜6と第二の電極7と第四の絶縁膜8で振動膜9が形成される。封止材料として、第三の絶縁膜6と同じ材料であれば密着性が高い為、好ましい。第三の絶縁膜6が窒化シリコンの場合、第四の絶縁膜8も窒化シリコンが好ましい。
Next, as shown in FIG. 12D, an
Next, as shown in FIG. 12E, a fourth insulating film 8 is formed to seal the
図11や図12では、第二の電極7が第三の絶縁膜6と第四の絶縁膜8で挟まれた構成を一例として示した。しかしながら、第三の絶縁膜6を形成した後にエッチングホール56を形成して犠牲層エッチングを行い、その後、第四の絶縁膜8を形成した後に第二の電極を設けることもできる。ただし、第二の電極7が最表面に露出していると、異物などにより素子がショートする可能性が高くなるため、第二の電極7は絶縁膜の間に設けることが好ましい。本実施例では、超音波センサにするために、変換素子205の大きさにダイシングしている。以上の工程を経る事で図10や図11のような静電容量型電気機械変換素子を作製する事ができる。
In FIG. 11 and FIG. 12, a configuration in which the
このような静電容量型電気機械変換素子を、図9に示した支持部材211にエポキシなどの樹脂接着剤を用いて固定し、第一の電極206に第一のフレキ配線207を、第二の電極208に第二のフレキ配線209を接続する。フレキ配線は、受信アンプ210が配置されている配線基板212に接続される。静電容量型電気機械変換素子205、フレキ配線、配線基板212が一体となった物は、本体204に格納される。本体204は樹脂などにより構成することができる。本体204内に格納した後、本体204内部に音響マッチング材などが流入しないように本体204は接着剤で密閉される。本体204に格納された変換素子205の表面には、光反射層12を有する保護層201を形成する。光反射層12はAuを用いる。支持部材11としては12μmの厚さのPETフィルムを用いる。まず支持部材11にAuを蒸着し、Auを蒸着した支持部材11をシリコン系の接着剤を用いて静電容量型電気機械変換素子205の表面に接着する。接着後に余分な支持部材11をカットすることで、静電容量型電気機械変換素子205の保護層201が作製できる。以上の工程を経て図8や図9のような超音波センサ200を作製できる。ここにおいて、第一の電極パッド206は配線202を通ってバイアス電圧を印加する為の電源に接続され、第二の電極パッド208はフレキ配線209を介して受信アンプ210に接続され、配線202を介して処理部160に繋がれる。
Such a capacitive electromechanical transducer is fixed to the
次に、筐体184を作製する。筐体の材料はアルミニウムを用いて、半球面の内側の半径が120mm、肉厚20mmとなるように切削加工する。次に、筐体184の内側に超音波反射制御層230として超音波吸収層を作製する。超音波吸収層は、イーステック社で販売されているAptFlex-F36を、筐体184の内側に塗布して硬化させる事で作製できる。塗布厚さを10mmとする事で、2MHzの超音波を約45dB減衰することができて好ましい。超音波吸収層の音響インピーダンスは約1.4MRaylsであり、音響マッチング材130を水とする場合、これとの音響インピーダンスの差が10%以下であり好ましい。また、ウレタンゴムにタングステンの微粒子を10wt%程度混合したものを筐体184の内側に塗布して硬化させる事で、1MHzの超音波を約50dB減衰することもできる。このときの音響インピーダンスは約1.8MRaylsであり、音響マッチング材130を水とする場合、音響インピーダンスの差が20%以下であり好ましい。
Next, the
次に、超音波吸収層の上に光反射制御層として光反射層を作製する。超音波吸収層の上にAuを100nmメッキする事で光反射層を作製する。この光反射層は、光を90%以上反射することができて好ましい。また光反射層の厚さが100nmと薄いため、音響マッチング材130が有する音響インピーダンスと光反射層が有する音響インピーダンスの差で生じる超音波の反射が殆ど生じない。そのため、伝播してきた超音波を殆ど反射させずに超音波吸収層に伝播させることができて好ましい。
Next, a light reflection layer is produced on the ultrasonic absorption layer as a light reflection control layer. A light reflection layer is produced by plating Au on the ultrasonic absorption layer to a thickness of 100 nm. This light reflecting layer is preferable because it can reflect light by 90% or more. Further, since the thickness of the light reflecting layer is as thin as 100 nm, the reflection of the ultrasonic wave generated by the difference between the acoustic impedance of the
次に、超音波センサを配置する為に筐体184に空洞185を設ける。超音波センサの外側の直径が10mmであるので、内側182から11mmの空洞を250カ所に、空洞の間隔を21.2mmとして作製する。空洞185の外側181には、後に嵌合キャップ186を嵌合させるために、嵌合キャップの外径13mmに0.5mmを加えた13.5mmの孔を空洞185と同じ個所に設けて孔の部分にねじ切り加工を施し、嵌合受け部187を形成する。半球面状の筐体184の内側182の底部には、後に光学系140を設置するため、光学系用の空洞を設ける(図1参照)。
Next, a
次に、超音波センサを筐体184に配置する。超音波センサの外側の外周部分に接着剤を塗布し、筐体184の外側から超音波センサを挿入する。その後、嵌合キャップ186を嵌合受け部187に嵌合させることで超音波センサ200を筐体184に固定する。その際、外周部分に塗布した接着剤は、外周部分(10mm)と空洞(11mm)との隙間(1mm)、および嵌合受け部と嵌合キャップとの隙間(0.5mm)に逃げて固まる。このようにして超音波プローブ180が作製できる。
Next, the ultrasonic sensor is disposed in the
次に、図1のように、筐体184に固定された超音波センサ200の配線202を処理部160に繋ぎ、光学系用の空洞には、パルス光を透過させるためにサファイヤ140を設置し、超音波プローブ180の外側には光源150を設置する。光源はレーザー以外にレンズや拡散版などの光学部品で構成され、そこからのパルス光は、***120全体に光照射されるような分布を有している。パルス光は数ナノ秒以下のパルス幅で照射される。これにより***全体が光励起され、光音響波を発生し、その光音響波を超音波プローブに配置された超音波センサ200により受信することができるため、***全体の画像情報を取得することができる。
Next, as shown in FIG. 1, the
超音波プローブ180に配置された各超音波センサ200から得られた受信信号は、処理部160に送られる。時系列の受信信号はデジタル信号に変換され、保存される。保存された受信信号に基づいて空間的な二次元、三次元の被検体情報が生成される。画像再構成のアルゴリズムは、タイムドメインあるいはフーリエドメインでの逆投影を用いる。また、形状保持部110や音響マッチング材130からの光音響波への影響に関しては、予めその情報を取得してメモリーに記憶させておき、被検体120からの情報を取得するときに、その記憶情報を読み出してその影響を排除することができる。
The reception signal obtained from each
このようにして光音響波の受信信号に対して画像再構成アルゴリズムに基づく処理を施す事により、被検体情報を取得することができる。本工程で得られた被検体情報は、被検体から発生した音響波をほぼ360度×180度にわたる方向で受信して処理することにより得られるため、被検体情報の分解能および定量性(例えば血管の走行や酸素飽和度を定量できるという特性)を高くすることができる。 In this way, subject information can be acquired by performing processing based on the image reconstruction algorithm on the received photoacoustic wave signal. The object information obtained in this step is obtained by receiving and processing an acoustic wave generated from the object in a direction of approximately 360 degrees × 180 degrees, so that the resolution and quantitativeness of the object information (for example, blood vessels) Characteristics of being able to quantify the running and oxygen saturation of the vehicle.
本実施例の超音波プローブ180は、被検体から発生した光音響波が超音波センサ以外の部分に入射したときに、光反射制御層を透過させて超音波反射制御層で吸収することができる。2MHzの超音波に対する光反射制御層の超音波反射率はほぼ0%であり、超音波反射制御層の超音波減衰率は45dBであるので、超音波センサ以外の部分に入射した超音波の99%以上を減衰させることができる。これにより、従来生じていた超音波センサ以外の部分に入射した超音波の超音波プローブ内での多重反射を99%以上低減することができ、被検体情報のS/Nを高くすることができる。
When the photoacoustic wave generated from the subject is incident on a part other than the ultrasonic sensor, the
本実施例では、2MHzの超音波の多重反射を低減させたが、所望の周波数の超音波を低減する為に必要な光反射制御層や超音波反射制御層を、適宜設ければ良く、本実施例に制限されない。また、本実施例では光反射制御層を設けているが、超音波反射制御層のみの構成でも良い。光源を備えない超音波診断装置の場合には、光反射制御層を設けなくてよい。 In this example, the multiple reflection of 2 MHz ultrasonic waves was reduced, but a light reflection control layer and an ultrasonic reflection control layer necessary for reducing ultrasonic waves of a desired frequency may be provided as appropriate. It is not limited to the examples. Further, in this embodiment, the light reflection control layer is provided, but a configuration including only the ultrasonic reflection control layer may be used. In the case of an ultrasonic diagnostic apparatus that does not include a light source, it is not necessary to provide a light reflection control layer.
(実施例2)
実施例2では、光反射制御層220を光反射層とし、超音波反射制御層230として超音波散乱層を用いた場合について説明する。その他の構成は実施例1と同様である。図13は、実施例2の超音波プローブの図3のA-B断面図と同様な断面図である。図13では、超音波受信面側の筐体184を粗面加工している。粗面加工をする事で超音波を粗面加工した表面で散乱することができる。その上に光反射層を設けており、これには、実施例1と同じように100nmのAuを用いる。
(Example 2)
In Example 2, a case where the light
筐体184内側への超音波散乱層の形成について説明する。筐体184に図13に示したような凹凸を設ける。凹凸の大きさは、散乱させたい超音波の周波数に合わせれば良く、超音波の波長と同程度にするのが好ましい。例えば、2MHzの超音波の波長は、音響マッチング材である水における音速が1500m/sであるので、約750μmである。凹凸の形状は錐形突起形状とし、突起の凹凸の山の間隔と凹凸の深さを750μmとして、筐体184に粗面加工を施す。粗面加工の手法は、モールド加工やウエットエッチングやドライエッチングなどを適用する事ができる。
The formation of the ultrasonic scattering layer inside the
次に、粗面加工を施した筐体184の表面に光反射制御層として光反射層を形成する。超音波散乱層の上にAuを100nmメッキする事で光反射層を作製する。この光反射層は、光を90%以上反射することができて好ましい。また光反射層の厚さが100nmと薄いため、音響マッチング材130が有する音響インピーダンスと光反射層が有する音響インピーダンスとの差で生じる超音波の反射が殆ど生じない。さらに、減衰も小さいため、伝播してきた超音波を反射も減衰も殆どさせずに粗面加工層に伝播させることができて好ましい。このようにして作製した筐体184を元に、実施例1と同じ工程を経て光音響診断装置を作製する。
Next, a light reflection layer is formed as a light reflection control layer on the surface of the
本実施例の超音波プローブ180は、被検体から発生した光音響波が超音波センサ以外の部分に入射したときに、光反射制御層220でパルス光を反射し、光反射制御層を透過した光音響波を超音波反射制御層230で散乱することができる。光反射制御層は2MHzの光音響波をほぼ100%透過する。そして超音波反射制御層に到達した超音波は、あらゆる方向に散乱される。これにより、従来生じていた超音波センサ200以外の部分に入射したパルス光による光音響波の発生を低減することができ、超音波の超音波プローブ内での多重反射を低減することができて、被検体情報のS/Nを高くできる。
When the photoacoustic wave generated from the subject is incident on a part other than the ultrasonic sensor, the
また、本実施例では、超音波反射制御層として粗面加工を施した超音波散乱層を用いたが、超音波散乱層と光反射制御層の間に超音波吸収層を配置した構成にしてもよい。粗面加工をした筐体184の上に超音波吸収層を設けることで、超音波吸収層で吸収しきれなかった超音波が超音波散乱層で散乱し、散乱した超音波を超音波吸収層で吸収することができる。また、本実施例では光反射制御層を設けた構成としたが、光反射制御層を設けずに超音波散乱層のみを設けた構成としてもよい。超音波診断装置の場合には、光反射制御層を設けなくてよい。
In this example, an ultrasonic scattering layer subjected to roughening was used as the ultrasonic reflection control layer. However, an ultrasonic absorption layer is arranged between the ultrasonic scattering layer and the light reflection control layer. Also good. By providing an ultrasonic absorption layer on the
本実施例では、2MHzの超音波の多重反射を低減させたが、場合に応じて、所望の周波数の超音波を低減する為に必要な光反射制御層や超音波反射制御層を適宜設ければ良く、実施の形態は本実施例に制限されることは無い。 In this embodiment, the multiple reflection of 2 MHz ultrasonic waves is reduced. However, according to circumstances, a light reflection control layer and an ultrasonic reflection control layer necessary for reducing ultrasonic waves of a desired frequency can be appropriately provided. The embodiment is not limited to this embodiment.
(実施例3)
実施例3では、光反射制御層220を光反射層とし、超音波反射制御層230として超音波吸収層とし、超音波吸収層の内部に粗面加工を施して、超音波吸収層で、超音波の吸収と散乱を行う。その他の構成は実施例1と同様である。図14は、実施例3の図3のA-B断面図と同様な断面図である。図14では、超音波吸収層内部を粗面加工をする事で超音波の吸収を行い、粗面加工した表面で超音波を散乱させてさらに吸収することができる。その上に光反射層220を設けており、実施例1と同じように100nmのAuを用いる。
(Example 3)
In Example 3, the light
超音波吸収層内部への粗面加工は、実施例1と同様に、筐体184の内側面へ1層目の超音波吸収層を形成する。その後に、実施例2で筐体を粗面加工した方法と同様に、モールド加工やウエットエッチングやドライエッチングなどで1層目の超音波吸収層の粗面加工をすればよい。その上に2層目の超音波吸収層を実施例1と同様の方法で形成する事で、図14のような超音波吸収層を設けることができる。その上に、実施例1と同じ方法で光反射制御層220形成し、その後も実施例1と同様の工程を経ることで、光音響診断装置を作製することができる。
In the rough surface processing inside the ultrasonic absorption layer, the first ultrasonic absorption layer is formed on the inner surface of the
本実施例の超音波プローブ180は、被検体から発生した光音響波が超音波センサ以外の部分に入射したときに、光反射制御層220を透過して超音波反射制御層230で吸収することができる。2MHzの超音波の光反射制御層220の超音波反射率はほぼ0%であり、超音波反射制御層230の超音波減衰率は45dBであるので、超音波センサ200以外の部分に入射した超音波の99%以上を減衰させることができる。
The
これにより、従来生じていた超音波センサ以外の部分に入射した超音波の超音波プローブ内での多重反射を99%以上低減することができ、被検体情報のS/Nを高くすることができる。本実施例でも、2MHzの超音波の多重反射を低減させたが、所望の周波数の超音波を低減する為に必要な光反射制御層や超音波反射制御層を、適宜設ければ良く、本実施例に制限されることは無い。また、本実施例でも光反射制御層を設けているが、超音波反射制御層のみの構成でも良い。超音波診断装置の場合には、光反射制御層を設けなくてよい。 Thereby, 99% or more of the multiple reflection in the ultrasonic probe of the ultrasonic wave incident on the part other than the ultrasonic sensor which has occurred conventionally can be reduced, and the S / N of the subject information can be increased. . In this embodiment, the multiple reflection of 2 MHz ultrasonic waves was reduced, but a light reflection control layer and an ultrasonic reflection control layer necessary for reducing ultrasonic waves of a desired frequency may be provided as appropriate. There is no limitation to the embodiment. Further, although the light reflection control layer is provided in this embodiment, a configuration including only the ultrasonic reflection control layer may be used. In the case of an ultrasonic diagnostic apparatus, it is not necessary to provide a light reflection control layer.
本発明は、生体内の情報を得る光イメージング装置や、従来の超音波診断装置などに適用する事が出来る。すなわち、本発明の超音波プローブを用いて、被検体からの音響波を受信して被検体の情報を取得する被検体情報取得装置を実現することができる。情報取得装置の例として、被検体に音響波を送信し被検体から反射した超音波を検出する超音波プローブと、検出した信号を画像情報に変換するための信号処理部と、を備える超音波診断装置がある。また、被検体に光を照射する光源と、光照射により励起された被検体からの音響波を検出する超音波プローブと、検出した信号を画像情報に変換するための信号処理部と、を備える超音波診断装置がある。信号処理部は信号を処理することで被検体像を構成する。さらに、本発明は、静電容量型機械電気変換素子だけでなく、従来の圧電型超音波探触子にも適用する事が可能である。さらに超音波探傷機など、他の用途にも適用する事が出来る。 The present invention can be applied to an optical imaging apparatus that obtains in-vivo information, a conventional ultrasonic diagnostic apparatus, and the like. That is, it is possible to realize an object information acquisition apparatus that receives acoustic waves from an object and acquires information about the object using the ultrasonic probe of the present invention. As an example of the information acquisition apparatus, an ultrasonic wave that includes an ultrasonic probe that transmits an acoustic wave to a subject and detects an ultrasonic wave reflected from the subject, and a signal processing unit that converts the detected signal into image information. There is a diagnostic device. A light source for irradiating the subject with light; an ultrasonic probe for detecting an acoustic wave from the subject excited by the light irradiation; and a signal processing unit for converting the detected signal into image information. There is an ultrasound diagnostic device. The signal processing unit forms a subject image by processing the signal. Furthermore, the present invention can be applied not only to a capacitive electromechanical transducer, but also to a conventional piezoelectric ultrasonic probe. Furthermore, it can be applied to other uses such as an ultrasonic flaw detector.
120 被検体、180 超音波プローブ、184 筐体、200 超音波センサ、230 超音波反射制御層 120 object, 180 ultrasonic probe, 184 housing, 200 ultrasonic sensor, 230 ultrasonic reflection control layer
Claims (15)
前記超音波センサは、センサ面が被検体側に向くように配置され、前記筐体は、被検体側の面に超音波反射制御層を有することを特徴とする超音波プローブ。 An ultrasonic probe comprising: a plurality of ultrasonic sensors; and a housing that has a concave portion that is concave toward a subject to be placed at a measurement position during measurement and that supports the plurality of ultrasonic sensors. There,
The ultrasonic probe, wherein the ultrasonic sensor is arranged so that a sensor surface faces the subject side, and the casing has an ultrasonic reflection control layer on the subject side surface.
前記超音波プローブは請求項1から12の何れか1項に記載の超音波プローブであり、前記超音波プローブで検出し、変換された信号を前記信号処理部で処理することで被検体像を構成することを特徴とする超音波診断装置。 An ultrasonic diagnostic apparatus comprising: an ultrasonic probe for transmitting an acoustic wave to a subject and detecting an acoustic wave reflected from the subject; and a signal processing unit for converting the detected signal into image information,
The ultrasonic probe according to any one of claims 1 to 12, wherein an object image is detected by processing the signal detected by the ultrasonic probe and the converted signal by the signal processing unit. An ultrasonic diagnostic apparatus characterized by comprising.
前記超音波プローブは請求項1から12の何れか1項に記載の超音波プローブであり、前記光源からの光が被検体に照射されることによって生じる光音響波を前記超音波プローブで検出し、変換された信号を前記信号処理部で処理することで被検体像を構成することを特徴とする光音響診断装置。 Ultrasound including a light source for irradiating light on a subject, an ultrasonic probe for detecting an acoustic wave from the subject excited by light irradiation, and a signal processing unit for converting the detected signal into image information A diagnostic device,
The ultrasonic probe according to any one of claims 1 to 12, wherein a photoacoustic wave generated by irradiating a subject with light from the light source is detected by the ultrasonic probe. A photoacoustic diagnostic apparatus characterized in that a subject image is formed by processing the converted signal in the signal processing unit.
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JP2017042189A true JP2017042189A (en) | 2017-03-02 |
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JP (1) | JP2017042189A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108572403A (en) * | 2017-03-10 | 2018-09-25 | 北京创信恒通科技有限公司 | Rainfall gauge |
-
2015
- 2015-08-24 JP JP2015164552A patent/JP2017042189A/en active Pending
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CN108572403A (en) * | 2017-03-10 | 2018-09-25 | 北京创信恒通科技有限公司 | Rainfall gauge |
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