JP2017027751A - Both end-sealing type short arc flash lamp - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure capable of preventing an inner peripheral surface of a sealing glass tube from being deformed and expanded due to softening during welding work of a second sealing tube and a sealing glass tube in a both-end sealed type short arc flash lamp which has a pair of main electrodes in a light-emitting tube and a starting aid electrode, and in which a core wire of a first main electrode is sealed in a first sealed tube and led out to the outside of the light-emitting tube, the sealing glass tube is welded on a second sealed tube and the core wire of a second main electrode is sealed in the sealing glass tube and led out to the outside of the light-emitting tube.SOLUTION: On an inner peripheral surface in a region welded with a second sealed tube in a sealing glass tube, a metal cylindrical body is provided which prevents glass from being deformed.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は両端封止型ショートアークフラッシュランプに関するものであり、特に、一方の封止管部分が二重管構造とされた両端封止型ショートアークフラッシュランプに係わるものである。   The present invention relates to a double-end sealed short arc flash lamp, and more particularly to a double-end sealed short arc flash lamp in which one sealed tube portion has a double tube structure.

フラッシュ点灯を行う放電灯は、半導体製造工程におけるフラッシュアニールをはじめとした産業用途に広く用いられていて、本発明のランプは、特に真空紫外光を用いた露光工程に使用されるものである。
上記露光工程においては、小領域に高密度な光を短時間で照射でき、光の方向性や分布にムラが比較的少ない、平行光に近い光を使用することが求められる。
そのためには、フラッシュランプを、凹面反射鏡等により集光して平行光を形成することが望ましく、集光効率を高めるためには封止部の径が小さい両端封止型ショートアークフラッシュランプが有利である。 A discharge lamp that performs flash lighting is widely used in industrial applications such as flash annealing in a semiconductor manufacturing process, and the lamp of the present invention is particularly used in an exposure process using vacuum ultraviolet light.
In the above exposure process, it is required to use light close to parallel light, which can irradiate a small area with high-density light in a short time, has relatively little unevenness in the directionality and distribution of light.
For this purpose, it is desirable that the flash lamp is condensed by a concave reflecting mirror or the like to form parallel light. It is advantageous.

このような両端封止型ショートアークフラッシュランプが、特許第５３６００３３号公報に開示されている。
図５にその概略構造が示されていて、両端封止型ショートアークフラッシュランプにおいて、発光管１の両端に第１封止管２と第２封止管３が連設されている。そして、前記第２封止管３には封止用ガラス管４が挿入されていて、両者は溶着されている。
発光管１内に一対の第１主電極５と第２主電極６とが対向配置されている。前記第１主電極５は、その芯線７が第１封止管２に段継ガラスなどの手段により支持・封止されてその外方に導出されており、一方、前記第２主電極６は、その芯線８が前記封止用ガラス管４に段継ガラスなどの手段により支持・封止されてその外方に導出されている。 Such a double-end sealed short arc flash lamp is disclosed in Japanese Patent No. 5360033.
The schematic structure is shown in FIG. 5, and in a double-end sealed short arc flash lamp, a first sealing tube 2 and a second sealing tube 3 are connected to both ends of the arc tube 1. And the glass tube 4 for sealing is inserted in the said 2nd sealing tube 3, and both are welded.
A pair of first main electrode 5 and second main electrode 6 are disposed opposite to each other in the arc tube 1. The first main electrode 5 has a core wire 7 supported and sealed to the first sealing tube 2 by means such as a step glass, and is led out to the outside, while the second main electrode 6 is The core wire 8 is supported and sealed on the sealing glass tube 4 by means such as step glass, and is led out to the outside.

発光管１内の主電極５、６の間には、一対の第１始動補助電極１０と第２始動補助電極１１が配設されていて、それぞれの内部リード１２、１５と外部リード１３、１６とが、前記第２封止管３と封止用ガラス管４との間の溶着領域において、金属封止箔１４、１７を介して電気的に接続されている。
そして、発光管１内には、発光ガスとして、例えばキセノンガスが封入されている。
この両端封止型ショートアークフラッシュランプは、所定の電圧が印加されることにより、まず始動補助電極１０、１１間で予備放電し、主電極５、６間の放電を補助する荷電粒子を発光管１内に発生させる構成となっている。 Between the main electrodes 5 and 6 in the arc tube 1, a pair of first start auxiliary electrode 10 and second start auxiliary electrode 11 are disposed, and the internal leads 12 and 15 and the external leads 13 and 16, respectively. Are electrically connected via metal sealing foils 14 and 17 in the welding region between the second sealing tube 3 and the sealing glass tube 4.
The arc tube 1 is filled with, for example, xenon gas as the emission gas.
This both-end sealed short arc flash lamp is preliminarily discharged between the starting auxiliary electrodes 10 and 11 by applying a predetermined voltage, and charged particles for assisting the discharge between the main electrodes 5 and 6 are discharged into the arc tube. 1 is generated in the interior.

このような両端封止型ショートアークフラシュランプは、例えば放物反射面鏡の焦点にランプの発光点（輝点）を一致させて配置することにより、ランプから放射される光を平行光として照射する光源装置が構成される。   Such a both-end-sealed short arc flash lamp irradiates light emitted from the lamp as parallel light by, for example, arranging the light emitting point (bright spot) of the lamp at the focal point of the parabolic reflector. A light source device is configured.

ところで、こうした二重管構造をとる第２封止部側においては、図６に示されるように、その溶着工程において、封止用ガラス管４の外周面に、始動補助電極１０、１１の内部リード１２、１５と外部リード１３、１６および金属封止箔１４、１７を配置して、これを第２封止管３内に挿入して、その外周からバーナーＢにより加熱し、封止用ガラス管４と第２封止管３とを溶着するという作業が行われている。
そして、この溶着作業においては、金属封止箔１４、１７部分において密封封止することから、この金属封止箔１４、１７を中心とした領域を特に加熱して溶着する。
そのため、図６に示されるように、封止用ガラス管４のこの領域のガラスが加熱により軟化して、その内面が変形し、内部に向けた膨出形状２５となって、遂には第２主電極６の芯線８と接触するといった事態を招くことがあり、クラックの原因となるという問題がある。 By the way, on the second sealing portion side having such a double tube structure, as shown in FIG. 6, in the welding step, the inside of the auxiliary starting electrodes 10, 11 is formed on the outer peripheral surface of the sealing glass tube 4. Leads 12 and 15, external leads 13 and 16, and metal sealing foils 14 and 17 are arranged, inserted into the second sealing tube 3, heated from the outer periphery by a burner B, and sealed glass An operation of welding the tube 4 and the second sealing tube 3 is performed.
In this welding operation, since the metal sealing foils 14 and 17 are hermetically sealed, the region centering on the metal sealing foils 14 and 17 is particularly heated and welded.
Therefore, as shown in FIG. 6, the glass in this region of the sealing glass tube 4 is softened by heating, and the inner surface is deformed to form a bulging shape 25 toward the inside. There is a problem that a situation such as contact with the core wire 8 of the main electrode 6 may be caused, which causes a crack.

ところで、前記した図５に示す従来例においては、第２封止管３と封止用ガラス管４との溶着作業では、封止用ガラス管４の外周の内部リード１２、１５や外部リード１３、１６および金属封止箔１４、１７を正確な位置に保った状態で溶着することが難しく、溶着後に正確な位置での組み立て構造が得られ難いという問題が生じる場合がある。
このような問題点に対しては、図７、８に示すように、前記封止用ガラス管４における前記第２封止管３との溶着領域の外周面に、前記内部リード１２、１５、外部リード１３、１６および金属封止箔１４、１７を被覆するように一次封止用ガラス部材２０を溶着する構造とすることによって解決することができる。 Incidentally, in the conventional example shown in FIG. 5 described above, in the welding operation of the second sealing tube 3 and the sealing glass tube 4, the inner leads 12 and 15 and the outer leads 13 on the outer periphery of the sealing glass tube 4. , 16 and the metal sealing foils 14 and 17 are difficult to weld in an accurate position, and there may be a problem that it is difficult to obtain an assembled structure at an accurate position after the welding.
For such problems, as shown in FIGS. 7 and 8, the inner leads 12, 15, This can be solved by adopting a structure in which the primary sealing glass member 20 is welded so as to cover the external leads 13 and 16 and the metal sealing foils 14 and 17.

つまり、封止用ガラス管４の先端側の第２封止管３との重なり領域、つまり、溶着領域において、その外周に、前記内部リード１２、１５、外部リード１３、１６および金属封止箔１４、１７を被覆するように一次封止用ガラス部材２０を溶着した構造とするものである。
こうして、先端領域の外周において一次封止用ガラス部材２０が溶着された封止用ガラス管４が、第２封止管３内に挿入されて、当該第２封止管３と一次封止用ガラス部材２０とが溶着され、これにより、第２封止管３と封止用ガラス管４とが溶着されるものである。
こうした構造を採用することで、内部リード１２、１５や外部リード１３、１６および金属封止箔１４、１７の位置を正確に保って溶着することができるものである。 That is, in the overlapping region with the second sealing tube 3 on the distal end side of the sealing glass tube 4, that is, in the welding region, the inner leads 12, 15, the outer leads 13 and 16, and the metal sealing foil are provided on the outer periphery The glass member 20 for primary sealing is welded so as to cover 14 and 17.
Thus, the sealing glass tube 4 with the primary sealing glass member 20 welded to the outer periphery of the tip region is inserted into the second sealing tube 3, and the second sealing tube 3 and the primary sealing tube The glass member 20 is welded, whereby the second sealing tube 3 and the sealing glass tube 4 are welded.
By adopting such a structure, the positions of the internal leads 12, 15 and the external leads 13, 16 and the metal sealing foils 14, 17 can be accurately maintained and welded.

ところが、このような二重封止構造を採用した場合にあっても、前記図６に示すような加熱溶着時の封止用ガラス管４内面の膨出形状の発生は同様な問題として生じることがある。
図９に示すように、封止用ガラス管４と一次封止用ガラス部材２０との加熱溶着時に、封止用ガラス管４が軟化してその内面が膨出形状２５となり、芯線８と接触してしまうことがある。この構造においては、一次封止後の二次封止時に第２封止管３と溶着作業を行うことから、この時にも同様の問題が重なって生じることがある。 However, even when such a double sealing structure is adopted, the occurrence of the bulging shape of the inner surface of the sealing glass tube 4 during heat welding as shown in FIG. 6 occurs as a similar problem. There is.
As shown in FIG. 9, at the time of heat welding the sealing glass tube 4 and the primary sealing glass member 20, the sealing glass tube 4 is softened so that the inner surface becomes a bulging shape 25 and contacts the core wire 8. May end up. In this structure, since the welding operation is performed with the second sealing tube 3 at the time of the secondary sealing after the primary sealing, the same problem may occur at this time as well.

特許第５３６００３３号公報Japanese Patent No. 5360033

この発明が解決しようとする課題は、上記従来技術の問題点に鑑みて、ガラス製の発光管の内部に一対の主電極と、始動補助電極を有し、当該発光管の両端に第１封止管と第２封止管とを備え、前記第１封止管には、第１主電極の芯線が封止されて発光管外に導出され、前記第２封止管には、当該第２封止管の内部に挿入された封止用ガラス管が溶着され、該封止用ガラス管には、第２主電極の芯線が封止されて発光管外に導出されてなり、前記第２封止管と前記封止用ガラス管との間で、前記始動補助電極の内部リードと外部リード、およびこれらを電気的に接続する金属封止箔とが封止されてなる両端封止型ショートアークフラシュランプにおいて、前記第２封止管と前記封止用ガラス管の加熱溶着時に、封止用ガラス管が軟化してもその内面に膨出形状が生じることがないようにした構造を提供することである。   In view of the above-mentioned problems of the prior art, the problem to be solved by the present invention is that a glass arc tube has a pair of main electrodes and a starting auxiliary electrode, and a first seal is formed at both ends of the arc tube. A stop tube and a second sealing tube, wherein the core wire of the first main electrode is sealed in the first sealing tube and led out of the arc tube, and the second sealing tube includes the second sealing tube (2) A sealing glass tube inserted into the inside of the sealing tube is welded, and the core wire of the second main electrode is sealed and led out of the arc tube to the sealing glass tube. Two-end sealing type in which an internal lead and an external lead of the starting auxiliary electrode and a metal sealing foil that electrically connects them are sealed between the sealing tube and the glass tube for sealing In a short arc flash lamp, even if the sealing glass tube is softened during the heat welding of the second sealing tube and the sealing glass tube, It is to provide a structure so as not to bulge shape is generated on the inner surface.

上記課題を解決するために、この発明に係る両端封止型ショートアークフラッシュランプは、前記封止用ガラス管における、前記第２封止管との溶着領域の内周面に、ガラスの変形を防止する金属筒状体が設けられていることを特徴とする。
また、前記金属筒状体は、高融点金属からなる巻回した金属箔であることを特徴とする。
また、前記金属筒状体は、前記第２封止管と前記封止用ガラス管との間に設けられた前記金属封止箔の長さよりも長く、該金属封止箔の両端部よりも突出するように配置されていることを特徴とする。
また、前記金属筒状体を構成する前記金属箔は、前記封止用ガラス管の内周面と接する表面にロジウムがめっきされていることを特徴とする。
また、前記封止用ガラス管の内面には、前記金属筒状体の端部に隣接して、該金属筒状体が前記発光管の軸方向に移動することを規制する突起部が形成されていることを特徴とする。
また、前記封止用ガラス管における前記第２封止管との溶着領域の外周面には、主電極の内部リード、外部リードおよび金属封止箔を被覆するように一次封止用ガラス部材が溶着されており、前記第２封止管と該一次封止用ガラス部材が溶着されており、前記封止用ガラス管における、前記第２封止管との溶着領域の内周面に、ガラスの変形を防止する金属筒状体が設けられていることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problem, the short-end sealed flash arc lamp according to the present invention is a glass tube for sealing, in which the glass is deformed on the inner peripheral surface of the welding region with the second sealing tube. A metal cylindrical body to be prevented is provided.
The metal cylindrical body is a wound metal foil made of a refractory metal.
Moreover, the said metal cylinder is longer than the length of the said metal sealing foil provided between the said 2nd sealing tube and the said glass tube for sealing, and is rather than the both ends of this metal sealing foil. It arrange | positions so that it may protrude.
Further, the metal foil constituting the metal cylindrical body is characterized in that rhodium is plated on a surface in contact with the inner peripheral surface of the sealing glass tube.
In addition, on the inner surface of the glass tube for sealing, a protrusion is formed adjacent to the end of the metal cylindrical body to restrict the metal cylindrical body from moving in the axial direction of the arc tube. It is characterized by.
In addition, a glass member for primary sealing is provided on the outer peripheral surface of the welding region of the sealing glass tube with the second sealing tube so as to cover the internal lead, the external lead, and the metal sealing foil of the main electrode. The second sealing tube and the primary sealing glass member are welded, and glass is formed on the inner peripheral surface of the welding region with the second sealing tube in the sealing glass tube. It is characterized in that a metal cylindrical body for preventing the deformation of the metal is provided.

この発明の両端封止型ショートアークフラッシュランプによれば、封止用ガラス管の内周面に金属筒状体を設けたので、第２封止管と封止用ガラス管との溶着時に、ガラスが軟化しても当該金属筒状体によって変形が防止され、内周面が膨出して主電極の芯線と接触してしまうようなことがない。これにより、封止用ガラス管にクラックが入り破損してしまうようなことがなくなる。
また、前記金属筒状体の端部に突起部を形成したので、該金属筒状体が発光管の管軸方向に移動することが防止されて、封止用ガラス管の内周面の膨出抑制作用が損なわれることがない。 According to the both-end-sealed short arc flash lamp of the present invention, since the metal cylindrical body is provided on the inner peripheral surface of the sealing glass tube, when the second sealing tube and the sealing glass tube are welded, Even if the glass is softened, deformation is prevented by the metal cylindrical body, and the inner peripheral surface does not bulge out to come into contact with the core wire of the main electrode. As a result, the sealing glass tube is not cracked and broken.
Further, since the protrusion is formed at the end of the metal cylindrical body, the metal cylindrical body is prevented from moving in the tube axis direction of the arc tube, and the inner peripheral surface of the sealing glass tube is expanded. The inhibitory action is not impaired.

本発明の第１の実施例の部分断面図Partial sectional view of the first embodiment of the present invention 本発明の第２の実施例の部分断面図Partial sectional view of the second embodiment of the present invention 本発明の第３の実施例の部分断面図Partial sectional view of the third embodiment of the present invention 本発明の第４の実施例の部分断面図Partial sectional view of the fourth embodiment of the present invention 従来の両端封止型ショートアークフラッシュランプの断面図Cross-sectional view of a conventional double-end sealed short arc flash lamp 従来例の不具合の説明断面図Cross-sectional view explaining the defects of the conventional example 従来例の改良構造に係る両端封止型ショートアークフラッシュランプBoth-end sealed short arc flash lamp with improved structure of conventional example 図７の分解部分拡大図7 is an exploded view of the exploded portion of FIG. 図７の改良構造における不具合の説明断面図FIG. 7 is a sectional view for explaining a defect in the improved structure.

図１に本発明の両端封止型ショートアークフラシュランプの第１の実施例が示されていて、封止用ガラス管４における、第２封止管３との溶着領域の内周面に、ガラスの膨出変形を防止する金属筒状体３０が設けられている。この金属筒状体３０は、高融点金属材料からなり、例えばモリブデン、タングステン、タンタルなどであり、特にモリブデンが好ましい。
この金属筒状体３０は、パイプのように円筒形状に成型されたものか、金属箔などを丸めて筒状としたもののいずれでもよい。このうち、金属箔を用いる場合は、少なくとも一回り以上丸めて筒状として、その半径方向への弾性復元力により封止用ガラス管４の内周面に当接させることができる。
主電極の芯線８と、封止用ガラス管４の内周面との距離はおおよそ２ｍｍ程度である。金属筒状体３０を構成する金属箔は０．０１〜０．０４ｍｍ程度の厚みのもの、例えば０．０１５ｍｍのモリブデン箔を何周か巻き回して封止用ガラス管４の内周面に当接することで、封止用ガラス４の軟化に伴う内周面の変形、および主電極の芯線８との癒着を防止することができる。 FIG. 1 shows a first embodiment of a both-end-sealed short arc flash lamp of the present invention. On the inner peripheral surface of the welding region of the sealing glass tube 4 with the second sealing tube 3, A metal cylindrical body 30 that prevents the glass from bulging and deforming is provided. The metal cylindrical body 30 is made of a refractory metal material, such as molybdenum, tungsten, or tantalum, and molybdenum is particularly preferable.
This metal cylindrical body 30 may be either a cylindrical shape like a pipe or a cylindrical shape obtained by rounding a metal foil or the like. Among these, when using metal foil, it can be made to contact | abut to the inner peripheral surface of the glass tube 4 for sealing with the elastic restoring force to the radial direction at least once round | round | rounding.
The distance between the core wire 8 of the main electrode and the inner peripheral surface of the sealing glass tube 4 is about 2 mm. The metal foil constituting the metal cylindrical body 30 has a thickness of about 0.01 to 0.04 mm, for example, 0.015 mm of molybdenum foil is wound around the inner peripheral surface of the glass tube 4 for sealing. By contact, deformation of the inner peripheral surface accompanying softening of the sealing glass 4 and adhesion to the core wire 8 of the main electrode can be prevented.

この金属筒状体３０は、封止用ガラス管４が加熱によって軟化して最も変形しやすい部位に設けるのが良い。第２封止管３と封止用ガラス管４の溶着時に最も加熱される部位は、封止構造を担う金属封止箔１４、１７の周辺であり、従って、金属筒状体３０は、金属封止箔１４、１７よりも長くして、金属封止箔１４、１７の両端部よりも突出するように配置されていることが好適である。
また、この金属筒状体の３０外周面は、封止用ガラス管４の内周面と接触することになるため、金属筒状体３０と封止用ガラス管４が癒着すること、若しくは擦れあうことにより封止用ガラス管４の表面に微小なクラックが生じる恐れがある。
これを防止するために、金属筒状体３０の表面にはロジウムがコーティングされていることが好ましい。このようなロジウムの性質については、特公昭４０−８９２号公報にも開示されているが、１７５０℃以上の融点を有し酸化性の弱いロジウムは、石英ガラスと化学結合を生ぜず、石英ガラスと物理的に接触したままで保持されるからである。 The metal cylindrical body 30 is preferably provided at a portion where the sealing glass tube 4 is most easily deformed by being softened by heating. The most heated part at the time of welding of the second sealing tube 3 and the sealing glass tube 4 is the periphery of the metal sealing foils 14 and 17 that bear the sealing structure. It is preferable that the sealing foils 14 and 17 are longer than the sealing foils 14 and 17 so as to protrude from both ends of the metal sealing foils 14 and 17.
Further, since the outer peripheral surface of the metal cylindrical body 30 comes into contact with the inner peripheral surface of the sealing glass tube 4, the metal cylindrical body 30 and the sealing glass tube 4 are adhered or rubbed. There is a possibility that minute cracks may be generated on the surface of the glass tube 4 for sealing.
In order to prevent this, the surface of the metal cylindrical body 30 is preferably coated with rhodium. Such rhodium properties are also disclosed in Japanese Patent Publication No. 40-892, but rhodium having a melting point of 1750 ° C. or higher and weak oxidation does not form a chemical bond with quartz glass, and quartz glass. This is because it is held in physical contact with the contact.

図２に第２の実施例が示されている。封止用ガラス管４の内周面に設けられた金属筒状体３０は、所定位置から発光管４の管軸方向に移動する恐れがあり、例えば、輸送中などに、金属筒状体３０が動いてしまうと、当初、最適な位置に配置したものが、その位置がずれてしまい、封止用ガラス管４のガラスの内方への膨出を抑制する効果が薄れてしまうことがある。
また、極端な場合には、封止用ガラス管４から離脱して発光空間内に侵入してしまうことがあり、ランプの点灯自体が困難になるなどの問題がある。 FIG. 2 shows a second embodiment. The metal cylindrical body 30 provided on the inner peripheral surface of the sealing glass tube 4 may move in a tube axis direction of the arc tube 4 from a predetermined position. For example, during transportation, the metal cylindrical body 30 may be moved. However, the effect of suppressing the inward bulging of the glass of the glass tube 4 for sealing may be diminished if it is initially placed at the optimal position. .
In an extreme case, there is a problem that the lamp may be detached from the sealing glass tube 4 and enter the light emitting space, making it difficult to turn on the lamp itself.

このような現象を防止するために、この実施例では、封止用ガラス管４内周面に設けた金属筒状体３０の両端部に隣接する位置に、突起部３１、３１を設けている。
この突起部３１は、封止用ガラス管４を加熱して、その内周面の一部を内側に突出させることにより形成することができる。
これにより、金属筒状体３０は、発光管の管軸方向での移動が防止されて、適正位置に保持される。
この突起部３１は、少なくとも金属筒状体３０の発光空間側に設けることが必要であり、更に好ましくは、金属筒状体３０の両側に設けるのがよい。 In order to prevent such a phenomenon, in this embodiment, protrusions 31 and 31 are provided at positions adjacent to both ends of the metal cylindrical body 30 provided on the inner peripheral surface of the sealing glass tube 4. .
The protrusion 31 can be formed by heating the sealing glass tube 4 so that a part of its inner peripheral surface protrudes inward.
Thereby, the metal cylindrical body 30 is prevented from moving in the tube axis direction of the arc tube, and is held at an appropriate position.
The protrusions 31 are required to be provided at least on the light emitting space side of the metal cylindrical body 30, and more preferably provided on both sides of the metal cylindrical body 30.

この実施例の構造では、先ず、封止用ガラス管４の溶着領域に相当する内周面に金属筒状体３０を設け、その金属筒状体３０の両端部近傍を加熱してガラスを軟化させ、内周面の一部に突起部３１、３１を形成する。
こうして内周面に金属筒状体３０が設けられ、その両端部に近接して突起部３１、３１が形成された封止用ガラス管４を第２封止管３内に挿入して加熱溶着するものである。 In the structure of this embodiment, first, a metal cylindrical body 30 is provided on the inner peripheral surface corresponding to the welding region of the sealing glass tube 4, and the vicinity of both ends of the metal cylindrical body 30 is heated to soften the glass. The protrusions 31 are formed on a part of the inner peripheral surface.
In this way, the metal cylindrical body 30 is provided on the inner peripheral surface, and the sealing glass tube 4 formed with the protrusions 31 and 31 in the vicinity of both ends thereof is inserted into the second sealing tube 3 and heat-welded. To do.

図３に第３の実施例が示されていて、この実施例では、図７，８に示された従来例の改良構造に係る両端封止型ショートアークフラシュランプが示されていて、前記段落０００７、０００８で説明したように、封止用ガラス管４の先端側、即ち、第２封止管３との溶着領域、の外周に一次封止用ガラス部材２０が融着されている。この構造においても、前記封止用ガラス管４の内周面に金属筒状体３０が設けられている。そして、この実施例における金属筒状体３０も、図１の第１の実施例と同様に、金属封止箔１４、１７よりも長くして、かつ、金属封止箔１４，１７の両端部よりも突出するように配置されている。
この構造により、一次封止用ガラス部材２０と封止用ガラス管４との溶着時に、封止用ガラス管４内面で、軟化したガラスが内部に膨出することを抑制している。また更に、一次封止用ガラス部材２０と第２封止管３との溶着時においても、同様の膨出抑制効果が期待できる。 FIG. 3 shows a third embodiment. In this embodiment, a double-end sealed short arc flash lamp according to the improved structure of the conventional example shown in FIGS. As described in 0007 and 0008, the primary sealing glass member 20 is fused to the outer periphery of the front end side of the sealing glass tube 4, that is, the welding region with the second sealing tube 3. Also in this structure, the metal cylindrical body 30 is provided on the inner peripheral surface of the sealing glass tube 4. The metal cylindrical body 30 in this embodiment is also longer than the metal sealing foils 14 and 17 and both ends of the metal sealing foils 14 and 17 as in the first embodiment of FIG. It arrange | positions so that it may protrude rather than.
With this structure, when the primary sealing glass member 20 and the sealing glass tube 4 are welded, the softened glass is prevented from bulging inside on the inner surface of the sealing glass tube 4. Furthermore, the same bulging-inhibiting effect can be expected when the primary sealing glass member 20 and the second sealing tube 3 are welded.

図４の第４の実施例では、図２の第２の実施例と同様に、金属筒状体３０の両端部に近接する位置に、移動防止用の突起部３１、３１が形成されている。
この実施例においても、先ず、封止用ガラス管４の溶着領域に相当する内周面に金属筒状体３０を設け、その金属筒状体３０の両端部近傍を加熱してガラスを軟化させ、内周面の一部に突起部３１、３１を形成する。
こうして内周面に金属筒状体３０が設けられ、その両端部に近接して突起部３１、３１が形成された封止用ガラス管４に一次封止用ガラス部材２０を被嵌させ、これらを外周から加熱して溶着させる。
このとき、金属筒状体３０によって、一次封止用ガラス部材２０が軟化しても内部に膨出変形することが抑制される。 In the fourth embodiment of FIG. 4, similarly to the second embodiment of FIG. 2, protrusions 31 and 31 for preventing movement are formed at positions close to both ends of the metal cylindrical body 30. .
Also in this embodiment, first, the metal cylindrical body 30 is provided on the inner peripheral surface corresponding to the welding region of the sealing glass tube 4, and the vicinity of both ends of the metal cylindrical body 30 is heated to soften the glass. The protrusions 31 are formed on a part of the inner peripheral surface.
In this way, the metal cylindrical body 30 is provided on the inner peripheral surface, and the glass member 20 for primary sealing is fitted on the glass tube 4 for sealing in which the protruding portions 31 and 31 are formed in the vicinity of both end portions thereof. Are welded by heating from the outer periphery.
At this time, even if the glass member 20 for primary sealing is softened, the metal cylindrical body 30 suppresses bulging and deformation inside.

以上説明したように、本発明に係る両端封止型ショートアークフラッシュランプでは、封止用ガラス管における、第２封止管との溶着領域の内周面に、ガラスの変形を防止する金属筒状体が設けられているので、第２封止管と封止用ガラス管の溶着時に、封止用ガラス管が加熱により軟化しても、内部に膨出変形することが抑制されて、封止用ガラス管を貫通する主電極の芯線と接触するといった事態が防止できる。
そして、前記金属筒状体の端部に近接して突起部を形成することにより、該金属筒状体が封止用ガラス管内で軸方向に移動することが抑制されて適正位置に保たれる。 As described above, in the both-end-sealed short arc flash lamp according to the present invention, the metal tube that prevents the glass from being deformed on the inner peripheral surface of the welding region of the sealing glass tube with the second sealing tube. When the second sealing tube and the sealing glass tube are welded to each other, even if the sealing glass tube is softened by heating, it is suppressed from bulging and deforming inside, so that the sealing member is sealed. It is possible to prevent a situation such as contact with the core wire of the main electrode penetrating the stop glass tube.
Then, by forming a protrusion close to the end of the metal cylindrical body, the metal cylindrical body is restrained from moving in the axial direction in the glass tube for sealing, and is maintained at an appropriate position. .

１ 発光管
２ 第１封止管
３ 第２封止管
４ 封止用ガラス管
５ 第１主電極
６ 第２主電極
７ 第１主電極の芯線
８ 第２主電極の芯線
１０ 第１始動補助電極
１１ 第２始動補助電極
１２ 第１始動補助電極の内部リード
１３ 第１始動補助電極の外部リード
１４ 金属封止箔
１５ 第２始動補助電極の内部リード
１６ 第２始動補助電極の外部リード
１７ 金属封止箔
２０ 一次封止用ガラス部材
３０ （変形防止用）金属筒状体
３１ （移動規制）突起部


DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light emission tube 2 1st sealing tube 3 2nd sealing tube 4 Glass tube for sealing 5 1st main electrode 6 2nd main electrode 7 Core wire of 1st main electrode 8 Core wire of 2nd main electrode 10 1st start assistance Electrode 11 Second starting auxiliary electrode 12 Internal lead of first starting auxiliary electrode 13 External lead of first starting auxiliary electrode 14 Metal sealing foil 15 Internal lead of second starting auxiliary electrode 16 External lead of second starting auxiliary electrode 17 Metal Sealing foil 20 Glass member for primary sealing 30 (for deformation prevention) metal cylindrical body 31 (movement restriction) protrusion


Claims (6)

ガラス製の発光管の内部に一対の主電極と、始動補助電極を有し、当該発光管の両端に第１封止管と第２封止管とを備え、
前記第１封止管には、第１主電極の芯線が封止されて発光管外に導出され、
前記第２封止管には、当該第２封止管の内部に挿入された封止用ガラス管が溶着され、該封止用ガラス管には、第２主電極の芯線が封止されて発光管外に導出されてなり、
前記第２封止管と前記封止用ガラス管との間で、前記始動補助電極の内部リードと外部リード、およびこれらを電気的に接続する金属封止箔とが封止されてなる両端封止型ショートアークフラシュランプにおいて、
前記封止用ガラス管における、前記第２封止管との溶着領域の内周面に、ガラスの変形を防止する金属筒状体が設けられていることを特徴とする両端封止型ショートアークフラッシュランプ。 The glass arc tube has a pair of main electrodes and a starting auxiliary electrode, and includes a first sealing tube and a second sealing tube at both ends of the arc tube,
In the first sealing tube, the core wire of the first main electrode is sealed and led out of the arc tube,
A sealing glass tube inserted into the second sealing tube is welded to the second sealing tube, and the core wire of the second main electrode is sealed to the sealing glass tube. Led out of the arc tube,
Sealing both ends between the second sealing tube and the glass tube for sealing, wherein the internal lead and the external lead of the starting auxiliary electrode and the metal sealing foil that electrically connects them are sealed In stationary short arc flash lamps,
A both-end sealed short arc characterized in that a metal cylindrical body for preventing glass deformation is provided on an inner peripheral surface of a welding region with the second sealing tube in the sealing glass tube. Flash lamp. 前記金属筒状体は、高融点金属からなる巻回した金属箔であることを特徴とする請求項１に記載の両端封止型ショートアークフラッシュランプ。   2. The both-end sealed short arc flash lamp according to claim 1, wherein the cylindrical metal body is a wound metal foil made of a refractory metal. 前記金属筒状体は、前記第２封止管と前記封止用ガラス管との間に設けられた前記金属封止箔の長さよりも長く、該金属封止箔の両端部よりも突出するように配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の両端封止型ショートアークフラッシュランプ。   The metal cylindrical body is longer than the length of the metal sealing foil provided between the second sealing tube and the sealing glass tube, and protrudes from both end portions of the metal sealing foil. 3. The both-end-sealed short arc flash lamp according to claim 1 or 2, characterized by being arranged as described above. 前記金属筒状体を構成する前記金属箔は、前記封止用ガラス管の内周面と接する表面にロジウムがめっきされていることを特徴とする請求項２または３に記載の両端封止型ショートアークフラッシュランプ。   4. The double-sided sealing type according to claim 2, wherein the metal foil constituting the metal cylindrical body has rhodium plated on a surface in contact with an inner peripheral surface of the sealing glass tube. Short arc flash lamp. 前記封止用ガラス管の内面には、前記金属筒状体の端部に隣接して、該金属筒状体が前記発光管の軸方向に移動することを規制する突起部が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の両端封止型ショートアークフラッシュランプ。   On the inner surface of the sealing glass tube, a protrusion is formed adjacent to the end of the metal cylindrical body to restrict the metal cylindrical body from moving in the axial direction of the arc tube. The both-end-sealed short arc flash lamp according to any one of claims 1 to 4. 前記封止用ガラス管における前記第２封止管との溶着領域の外周面には、前記内部リード、外部リードおよび金属封止箔を被覆するように一次封止用ガラス部材が溶着されており、前記第２封止管と該一次封止用ガラス部材が溶着されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の両端封止型ショートアークフラシュランプ。


A glass member for primary sealing is welded to the outer peripheral surface of the welding region with the second sealing tube in the glass tube for sealing so as to cover the internal lead, the external lead, and the metal sealing foil. The two-end sealed short arc flash lamp according to any one of claims 1 to 5, wherein the second sealing tube and the glass member for primary sealing are welded.


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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012094362A (en) * 2010-10-27 2012-05-17 Ushio Inc Short arc type flash lamp

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106887370A (en) * 2017-02-21 2017-06-23 中国科学院上海光学精密机械研究所 A kind of numerical control device for sealing high-temperature metal sealing-in high power xenon flashlamp

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