JP2017014086A - グラフェン形成方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】まず、第1工程S101で、基板の上に炭素を含む化合物のプラズマを供給する(プラズマ供給工程)。また、第2工程102で、プラズマが供給されている基板の表面のグラフェン形成領域にレーザーを照射する(レーザー照射工程)。これらのことにより、基板の表面のグラフェン形成領域にグラフェンを形成する。炭素を含む化合物は、CH4であればよい。プラズマは、CH4とArとの混合ガスより生成したものであれば良い。基板のグラフェン形成領域の表面は、照射するレーザーを吸収する材料から構成されていると良い。
【選択図】 図1
Description
次に、実施例について説明する。はじめに、実施例1について説明する。実施例1では、図2を用いて説明したグラフェン形成装置を用い、SiO2層の上にグラフェンのパターンを形成した。まず、シリコン基板を用意し、用意したシリコン基板の表面にSiO2層を形成する。ここで、厚さ100nmのSiO2層を形成したシリコン基板(試料基板1)および厚さ20nmのSiO2層を形成したシリコン基板(試料基板2)を作製した。シリコン基板は、波長248nmのレーザーを吸収する。
次に、実施例2について説明する。実施例2では、図2を用いて説明したグラフェン形成装置を用い、Cu基板の上にグラフェンのパターンを形成した。まず、薄いCu基板用意して試料基板3とする。Cu基板は、波長248nmのレーザーを吸収する。
Claims (5)
- 基板の上に炭素を含む化合物のプラズマを供給するプラズマ供給工程と、
前記プラズマが供給されている前記基板の表面のグラフェン形成領域にレーザーを照射するレーザー照射工程と
を備え、
前記基板の表面の前記グラフェン形成領域にグラフェンを形成する
ことを特徴とするグラフェン形成方法。 - 請求項1記載のグラフェン形成方法において、
前記化合物は、CH4であることを特徴とするグラフェン形成方法。 - 処理室と、
前記処理室内に配置された基板を載置するステージと、
前記ステージの上に載置された前記基板の表面に炭素を含む化合物のプラズマを供給するプラズマ供給手段と、
前記プラズマが供給されている前記基板の表面のグラフェン形成領域にレーザーを照射するレーザー照射手段と
を備えることを特徴とするグラフェン形成装置。 - 請求項3記載のグラフェン形成装置において、
前記レーザー照射手段は、
レーザー光源と、前記ステージを前記ステージの平面方向に移動させるステージ駆動手段とを備え、
前記ステージ駆動手段により前記レーザー光源より出射されたレーザーの照射位置と前記基板との相対位置を変位させることで、前記基板の表面のグラフェン形成領域にレーザーを照射する
ことを特徴とするグラフェン形成装置。 - 請求項3または4記載のグラフェン形成装置において、
前記プラズマ供給手段は、CH4のプラズマを供給することを特徴とするグラフェン形成装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN115092913A (zh) * | 2021-09-29 | 2022-09-23 | 云南华谱量子材料有限公司 | 一种超短脉冲激光诱导裂解制备石墨烯量子材料的技术与装置 |
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2015
- 2015-07-06 JP JP2015134922A patent/JP2017014086A/ja active Pending
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