JP2017013239A - ブレイク装置及びブレイク方法 - Google Patents

Abstract

【課題】薄い基板であってもスクライブラインに沿ってブレイクすることができるブレイク方法を提供する。
【解決手段】ブレイク方法は、ステップ（ａ）（ｂ）（ｃ）を含む。ステップ（ａ）は、スクライブライン１２ａに沿ってガイドバー２を基板W上に載せる。ステップ（ｂ）は、ステップ（ａ）の後に、ガイドバー２に対して基板Wに向かう衝撃を与える。ステップ（ｃ）は、ステップ（ｂ）の後に、スクライブライン１２ａを境界とする基板Ｗの一方領域を支持部材３０から突出させた状態で、当該一方領域を上方から押圧してブレイクする。
【選択図】図1

Description

本発明は、ブレイク装置及びブレイク方法に関するものである。

貼り合わせ基板などをブレイクする際、まず、基板にスクライブラインを形成する。そして、そのスクライブラインに向かってブレイクバーを下降させ、基板をブレイクバーによって押圧することによって、基板はスクライブラインに沿ってブレイクされる。（特許文献１参照）。

特開２０１０−１５９１８７号公報

近年、基板の厚さが薄くなってきている。このため、下降させたブレイクバーが基板に対して均等に接触する前に基板がブレイクされてしまい、基板がスクライブラインに沿ってブレイクされないという問題が生じている。

本発明の課題は、薄い基板であってもスクライブラインに沿ってブレイクすることができるブレイク方法及びブレイク装置を提供することにある。

本発明の第１側面に係るブレイク方法は、第１基板と第２基板が貼り合わされてなる基板を、前記第１基板の表面に形成された第１スクライブラインと前記第２基板の表面における前記第１スクライブラインと平面視において同じ位置に形成された第２スクライブラインとに沿ってブレイクするブレイク方法である。このブレイク方法は、ステップ（ａ）、ステップ（ｂ）及びステップ（ｃ）を含む。ステップ（ａ）は、ガイドバーを前記第１スクライブライン上に載せる。ステップ（ｂ）は、ステップ（ａ）の後に、前記ガイドバーに対して前記第１基板に向かう衝撃を与えて前記第２基板を前記第２スクライブラインに沿ってブレイクする。ステップ（ｃ）は、ステップ（ｂ）の後に、前記第１スクライブラインおよび第２スクライブラインを境界とする前記基板の一方領域を第一領域、他方領域を第二領域としたときに、前記第一領域の一部または全部を支持部材に支持させるとともに前記第二領域の全部を前記支持部材の一端から突出させた状態で、前記第二領域を上方から押圧して前記第１基板を前記第１スクライブラインに沿ってブレイクする。

この方法は、従来のようにブレイクバーを下降させることによって基板をブレイクするものではない。すなわち、本発明に係るブレイク方法は、まず、ガイドバーをスクライブラインに沿って基板上に載置し、その後、ガイドバーに衝撃を与える。さらに、その後、スクライブラインを境界とする片方の領域を支持部材からはみ出させた状態で上方から押圧する。このため、薄い基板であってもスクライブラインに沿ってブレイクすることができる。

本発明の第２側面に係るブレイク装置は、第１基板と第２基板が貼り合わされてなる基板を、前記第１基板の表面に形成された第１スクライブラインと前記第２基板の表面における前記第１スクライブラインと平面視において同じ位置に形成された第２スクライブラインとに沿ってブレイクする装置である。この装置は、ガイドバーと衝撃部材と支持部材と押圧部材とを備える。ガイドバーは、第１スクライブライン上に載置される。衝撃部材は、ガイドバーに対して第１基板に向かう衝撃を与える。支持部材は、前記第１スクライブラインおよび第２スクライブラインを境界とする前記基板の一方領域を第一領域、他方領域を第二領域としたときに、前記第一領域の一部または全部を支持する。押圧部材は、前記第二領域の全部を前記支持部材の一端から突出させた状態で、前記第二領域を上方から押圧する。

このブレイク装置は、従来のように基板に向かって下降するブレイクバーを使用して基板をブレイクするものではない。すなわち、本発明に係るブレイク装置は、スクライブラインに沿って延びるガイドバーに対して、衝撃部材が衝撃を与え、さらにスクライブラインを境界とする片方の領域を支持部材からはみ出させた状態で上方から押圧することによって基板をブレイクするため、薄い基板であっても、スクライブラインに沿ってブレイクすることができる。

好ましくは、ガイドバーは、断面が円形である。

好ましくは、ガイドバーは、弾性部を外周部に有する。この構成によれば、ガイドバーと基板との間に弾性部が介在するため、基板に与える衝撃をより均等にすることができる。

好ましくは、衝撃部材は、ガイドバーと衝突してガイドバーに衝撃を与える。

好ましくは、ブレイク装置は、ガイドバーの基板側への移動を規制する規制部材をさらに備える。

好ましくは、ブレイク装置は、ガイドバーによって衝撃が与えられる際に基板が載置される載置台をさらに備える。

好ましくは、ブレイク装置は、載置台と基板との間に配置されるクッション材をさらに備える。

好ましくは、規制部材は、載置台とガイドバーとの間に配置される。

本発明によれば、薄い基板であってもスクライブラインに沿ってブレイクすることができる。

ブレイク装置の側面図。 ブレイク装置の正面図。 基板の一部を支持部材から突出させた状態を示す正面図である。 突出させた基板の一部を上方から押圧する状態を示す正面図である。

以下、本発明に係るブレイク装置及びブレイク方法の実施形態について図面を参照しつつ説明する。

図１乃至図４に示すように、ブレイク装置１０は、スクライブライン１１ａ、１２ａに沿って基板Wをブレイクする。ここで、ブレイク対象の基板Ｗについて説明する。基板Ｗは貼り合わせ基板であって、第１基板１１と第２基板１２とを有する。第１基板１１には、第１スクライブライン１１ａが形成されており、第２基板１２には第２スクライブライン１２ａが形成されている。なお、第１スクライブライン１１ａと第２スクライブライン１２ａとは平面視において同じ位置に形成されている。

ブレイク装置１０は、ガイドバー２と、衝撃部材３と、載置台４と、規制部材５とを備えている。また、載置台４と基板Ｗとの間にはクッション材６が配置されている。

ガイドバー２は、基板Ｗのスクライブライン１１ａ、１２ａに沿って延び、基板W上に載置される。好ましくは、ガイドバー２は、円柱状、又は円筒状である。すなわち、ガイドバー２の断面は円形である。ガイドバー２は、円柱状の本体部２１と、弾性部２２とを有する。本体部２１は、例えば、ＳＵＳ（ステンレス鋼）などによって形成されている。弾性部２２は、本体部２１の外周面を覆っている。弾性部２２は、例えば、天然ゴムや合成ゴムによって形成されている。

衝撃部材３は、ガイドバー２に衝撃を与える。なお、ガイドバー２に与えられる衝撃は、基板Ｗに向かう方向に与えられる。衝撃部材３は、ガイドバー２と衝突してガイドバー２に衝撃を与える。例えば、衝撃部材３は、ガイドバー２と間隔をあけて配置される。そして、衝撃部材３は、ガイドバー２と離れた位置から、ガイドバー２に向かって移動し、ガイドバー２に衝突する。なお、この衝撃部材３は、複数個所において、ガイドバー２と衝突してもよい。すなわち、複数の衝撃部材３が、ガイドバー２の長手方向に沿って互いに間隔をあけて配置されていてもよい。そして、各衝撃部材３が、同時にガイドバー２と衝突する。

基板Ｗは、載置台４上に載置される。この載置台４と基板Ｗとの間には、クッション材６が配置される。クッション材６は、例えば、ポリウレタンによって形成される。

規制部材５は、ガイドバー２の基板Ｗ側への移動を規制する。規制部材５は、載置台４とガイドバー２との間に配置される。規制部材５は、例えば、上下方向に伸縮可能である。この規制部材５を伸縮させることによって、載置台４とガイドバー２との間の距離を調整することができる。

次に上述したブレイク装置によって基板をブレイクするブレイク方法について説明する。

まず、載置台４上に、基板Ｗを載置する。このとき、基板Ｗは、ブレイクしたいスクライブラインが載置台４を向くように載置される。なお、本実施形態では、第２スクライブライン１２ａに沿って第２基板１２をブレイクする工程について説明する。

次に、基板Ｗの第２スクライブライン１２ａに沿ってガイドバー２を基板Ｗ上に載せる。なお、一般的には、第２スクライブライン１２ａの反対側には第１スクライブライン１１ａが形成されているため、この第１スクライブライン１１ａ上にガイドバー２を載せる。なお、予めガイドバー２が間隔をあけて載置台４の上方に配置されており、このガイドバー２と載置台４との間に基板Ｗを配置することによって、ガイドバー２が基板Ｗ上に載った状態にしてもよい。

続いて、衝撃部材３によって、ガイドバー２に対して、基板Ｗに向かう衝撃を与える。詳細には、ガイドバー２と離れた位置から衝撃部材３をガイドバー２に移動させ、衝撃部材３をガイドバー２に衝突させることによって、ガイドバー２に衝撃を与える。この衝撃によって、第２スクライブライン１２ａに沿って第２基板１２がブレイクされる。

さらに続いて、図３に示すように、スクライブラインを境界とする基板Wの一方領域を第一領域４１、他方領域を第二領域４２としたときに、第二領域４２の全部が突出するように、第一領域４１の全部または一部を支持部材３０で支持する。なお、支持部材３０は、載置台４と同一部材であってもよい。

この状態で、図４に示すように、第二領域４２を上方から押圧部材５０で押圧する。このようにして、第１基板１１を第１スクライブライン１１ａに沿ってブレイクし、基板Ｗを第一領域４１と第二領域４２とに分断することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

２ ガイドバー
２１ 本体部
２２ 弾性部
３ 衝撃部材
４ 載置台
５ 規制部材
６ クッション材
１０ ブレイク装置
３０ 支持部材
４１ 第一領域
４２ 第二領域
５０ 押圧部材
Ｗ 基板

Claims (9)

1. 第１基板と第２基板が貼り合わされてなる基板を、前記第１基板の表面に形成された第１スクライブラインと前記第２基板の表面における前記第１スクライブラインと平面視において同じ位置に形成された第２スクライブラインとに沿ってブレイクするブレイク方法であって、
   （ａ）ガイドバーを前記第１スクライブライン上に載せるステップと、
   （ｂ）前記ステップ（ａ）の後に、前記ガイドバーに対して前記第１基板に向かう衝撃を与えて前記第２基板を前記第２スクライブラインに沿ってブレイクするステップと、
   （ｃ）前記ステップ（ｂ）の後に、前記第１スクライブラインおよび第２スクライブラインを境界とする前記基板の一方領域を第一領域、他方領域を第二領域としたときに、前記第一領域の一部または全部を支持部材に支持させるとともに前記第二領域の全部を前記支持部材の一端から突出させた状態で、前記第二領域を上方から押圧して前記第１基板を前記第１スクライブラインに沿ってブレイクするステップと、
   を含む、ブレイク方法。
2. 第１基板と第２基板が貼り合わされてなる基板を、前記第１基板の表面に形成された第１スクライブラインと前記第２基板の表面における前記第１スクライブラインと平面視において同じ位置に形成された第２スクライブラインとに沿ってブレイクするブレイク装置であって、
   前記第１スクライブライン上に載置されるガイドバーと、
   前記ガイドバーに対して前記第１基板に向かう衝撃を与える衝撃部材と、
   前記第１スクライブラインおよび第２スクライブラインを境界とする前記基板の一方領域を第一領域、他方領域を第二領域としたときに、前記第一領域の一部または全部を支持する支持部材と、
   前記第二領域の全部を前記支持部材の一端から突出させた状態で、前記第二領域を上方から押圧する押圧部材と、
   を備える、ブレイク装置。
3. 前記衝撃部材は、前記ガイドバーと衝突して前記ガイドバーに衝撃を与える、
   請求項２に記載のブレイク装置。
4. 前記ガイドバーは、断面が円形である、
   請求項２又は３に記載のブレイク装置。
5. 前記ガイドバーは、弾性部を外周部に有する、
   請求項２から４のいずれかに記載のブレイク装置。
6. 前記ガイドバーの基板側への移動を規制する規制部材をさらに備える、
   請求項２から５のいずれかに記載のブレイク装置。
7. 前記ガイドバーによって衝撃が与えられる際に前記基板が載置される載置台をさらに備える、
   請求項２から６のいずれかに記載のブレイク装置。
8. 前記載置台と前記基板との間に配置されるクッション材をさらに備える、
   請求項７に記載のブレイク装置。
9. 前記基板が載置される載置台をさらに備え、
   前記規制部材は、前記載置台と前記ガイドバーとの間に配置される
   請求項６に記載のブレイク装置。