JP2016523343A - ドライ低真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
− 排気管の口の座部に接しており、気体を、貫通路を有する弁を貫通しているベンチュリ効果路を通過するように強制する閉位置と、
− 排気管の口から離れており、最後の排気段の出口の圧力が、あらかじめ定められた圧力閾値を超過しているときに占めている開位置。
ドライ低真空ポンプは、ベンチュリ効果路の入口に駆動気体を注入するように構成されている駆動気体注入装置を備えており、ベンチュリ効果路は、貫通路を有する弁が閉位置にあるときに、駆動気体が、ベンチュリ効果路の入口内に注入されると、駆動気体注入装置とともにエジェクタを形成するように構成されている。
4 吸気口
5 排気口
6 ポンプ本体
8 出口
9 排気管
10、15 貫通路を有する弁
11 ベンチュリ効果路
11a 入口
11b 円筒状中央部
11c らっぱ形状部
12 口
12a、20a 案内形状部
13 駆動気体注入装置
14 消音器
18 コイルばね
19 環状肩部
20 ヘッド
21 ステム
21a テーパー外形部
21b 端部
22 注入ノズル
23 供給路
24 パッキン
25 熱交換器
26 狭窄部
27 連結体
28 流入口
29 弾性復帰部材
30 基部
31 ダクト
32 突出部
33 補助座部
d 距離
M モータ
T1〜T4、TA、TR 排気段
α 角度
Claims (16)
- 気体を入口から出口(8)まで排気するための少なくとも1つの排気段、および最後の排気段の出口(8)に連結されている排気管(9)を備えているドライ低真空ポンプであって、貫通路を有する弁(10、15)が、前記排気管(9)内に配置されており、この貫通路を有する弁(10、15)は、
− 前記排気管(9)の口(12)の座部に接しており、前記気体を、前記貫通路を有する弁(10、15)を貫通しているベンチュリ効果路(11)を通過するように強制する閉位置と、
− 前記排気管(9)の口(12)から離れており、前記最後の排気段の出口(8)の圧力が、あらかじめ定められた圧力閾値を超過しているときに占めている開位置との間で
変位可能であり、
前記ドライ低真空ポンプは、前記ベンチュリ効果路(11)の入口(11a)に駆動気体を注入するように構成されている駆動気体注入装置(13)を備えており、前記ベンチュリ効果路(11)は、前記貫通路を有する弁(10、15)が前記閉位置にあるときに、前記駆動気体が、前記ベンチュリ効果路(11)の入口(11a)内に注入されると、前記駆動気体注入装置(13)とともにエジェクタを形成するように構成されていることを特徴とするドライ低真空ポンプ。 - 前記ベンチュリ効果路(11)は、狭断面部を有するノズル形状を呈していることを特徴とする、請求項1に記載のドライ低真空ポンプ。
- ノズル形状の前記ベンチュリ効果路(11)の入口(11a)は、漏斗状の形状を呈しており、漏斗状の該入口(11a)の首部から、円筒状中央部(11b)が延長しており、該円筒状中央部(11b)は、らっぱ形状部(11c)に終端していることを特徴とする、請求項2に記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記ベンチュリ効果路(11)は、前記貫通路を有する弁(10)内に形成されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1つに記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記駆動気体注入装置(13)は、前記駆動気体注入装置(13)の出口と前記ベンチュリ効果路(11)の入口(11a)との間に、あらかじめ定められた一定の距離(d)が存在するように、前記貫通路を有する弁(10)に固定されており、排気される気体のための少なくとも1つの流入口(28)が、前記駆動気体注入装置(13)の出口と前記ベンチュリ効果路(11)の入口(11a)との間に形成されていることを特徴とする、請求項4に記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記貫通路を有する弁(10)を、前記開位置を占めるように付勢するための弾性復帰部材(29)を、前記ドライ低真空ポンプのポンプ本体(6)と前記駆動気体注入装置(13)との間に挿入されていることを特徴とする、請求項5に記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記ベンチュリ効果路(11)は、前記駆動気体注入装置(13)の出口と前記ベンチュリ効果路(11)の入口(11a)との間に、あらかじめ定められた一定の距離(d)が存在するように、前記駆動気体注入装置(13)に固定されている突出部(32)内に形成されており、排気される気体のための少なくとも1つの流入口(28)が、前記駆動気体注入装置(13)の出口と前記ベンチュリ効果路(11)の入口(11a)との間に形成されており、前記突出部(32)は、前記貫通路を有する弁(10)の開口内に形成されている補助座部(33)と組み合わされていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1つに記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記突出部(32)と前記補助座部(33)とは、円錐台状または部分球状の、互いに相補的な案内形状を呈していることを特徴とする、請求項7に記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記駆動気体注入装置(13)は、前記ドライ低真空ポンプのポンプ本体(6)内に部分的に組み込まれていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1つに記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記貫通路を有する弁(10)は、前記ドライ低真空ポンプの消音器(14)の入口に位置していることを特徴とする、請求項9に記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記貫通路を有する弁(10)は、前記排気管(9)の1つの端部に配置されており、該端部は、排気気体処理装置に連結されていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1つに記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記貫通路を有する弁(10)は、前記口(12)の一部である案内形状部(12a)と組み合うように構成されている相補的な案内形状部(20a)を有するヘッド(20)を備えていることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか1つに記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記案内形状部(12a)および相補的な案内形状部(20a)は、円錐台状または部分球状を呈していることを特徴とする、請求項12に記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記駆動気体注入装置(13)は、一端に注入ノズル(22)を有する供給路(23)を備えており、該注入ノズル(22)の駆動気体注入軸と、前記ベンチュリ効果路(11)の軸とは一直線上に揃っていることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか1つに記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記貫通路を有する弁(10、15)を、前記口(12)に接している前記閉位置を占めるように付勢している弾性復帰素子(18)を備えていることを特徴とする、請求項1〜14のいずれか1つに記載のドライ低真空ポンプ。
- 前記貫通路を有する弁は、前記口(12)の上方に、縦方向に配置されていることを特徴とする、請求項1〜14のいずれか1つに記載のドライ低真空ポンプ。
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Families Citing this family (9)
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KR101838660B1 (ko) * | 2017-12-04 | 2018-03-14 | (주)대명엔지니어링 | 진공 펌프 |
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US10914521B2 (en) * | 2019-01-24 | 2021-02-09 | Versum Materials Us, Llc | System and method for drying and analytical testing of containers |
CN110296109B (zh) * | 2019-07-26 | 2023-12-15 | 厦门市鼎际信息科技有限公司 | 一种多层聚能气泵 |
CN111059084B (zh) * | 2019-12-09 | 2021-11-23 | 行益科技(宁波)有限公司 | 微型集成式真空发生器与发生方法以及微型真空发生组件 |
CN111207119A (zh) * | 2020-03-06 | 2020-05-29 | 北京首创环境科技有限公司 | 一种具有自适应能力的文丘里真空泵 |
CN114709154B (zh) * | 2022-05-12 | 2022-08-02 | 拓荆科技(北京)有限公司 | 一种真空发生机构、真空发生组件及抽气装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004263635A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Tadahiro Omi | 真空装置および真空ポンプ |
JP2006037868A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Hitachi Ltd | 負圧供給装置 |
JP2007100562A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Shinko Seiki Co Ltd | 真空装置 |
US20080149868A1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-06-26 | Carl Freudenberg Kg | Valve having a movable venturi nozzle |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US401753A (en) * | 1889-04-23 | Injector | ||
US1032222A (en) * | 1911-10-31 | 1912-07-09 | Locke Mfg Co | Injector. |
US2767727A (en) * | 1952-02-09 | 1956-10-23 | Union Carbide & Carbon Corp | Air-oxygen mixing apparatus for hospitals |
FR2500086A1 (fr) * | 1981-02-13 | 1982-08-20 | Laguilharre Pierre | Installation pour la realisation d'une difference elevee de pression entre deux points, mettant en oeuvre une pompe a anneau liquide simple etage associee a un ejecteur a jet de liquide |
US4860795A (en) * | 1988-03-03 | 1989-08-29 | Oten Peter D | Venturi block having cut off |
JPH0745856B2 (ja) * | 1988-12-23 | 1995-05-17 | 日産自動車株式会社 | 燃料タンクの燃料吸込装置 |
JP2507219B2 (ja) * | 1992-07-02 | 1996-06-12 | 株式会社グランブルー | 潜水用呼吸装置におけるしぼり弁 |
US5758691A (en) * | 1996-04-17 | 1998-06-02 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Self-sealing mixing valve |
DE19714858C1 (de) * | 1997-04-10 | 1998-11-19 | Kayser Automotive Systems Gmbh | Saugstrahlpumpe |
DE10036045C1 (de) * | 2000-07-25 | 2001-10-04 | Festo Ag & Co | Vakuumerzeugervorrichtung |
JP2002122085A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-26 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける流路構造 |
DE10156179A1 (de) * | 2001-11-15 | 2003-05-28 | Leybold Vakuum Gmbh | Kühlung einer Schraubenvakuumpumpe |
SE0201335L (sv) * | 2002-05-03 | 2003-03-25 | Piab Ab | Vakuumpump och sätt att tillhandahålla undertryck |
FR2952683B1 (fr) | 2009-11-18 | 2011-11-04 | Alcatel Lucent | Procede et dispositif de pompage a consommation d'energie reduite |
TW201221769A (en) * | 2010-11-26 | 2012-06-01 | Jen Sian Ind Co Ltd | Venturi tube component and manual/pneumatic pump with venturi tube thereof |
US10428807B2 (en) * | 2011-12-09 | 2019-10-01 | Applied Materials, Inc. | Pump power consumption enhancement |
-
2013
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-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004263635A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Tadahiro Omi | 真空装置および真空ポンプ |
JP2006037868A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Hitachi Ltd | 負圧供給装置 |
JP2007100562A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Shinko Seiki Co Ltd | 真空装置 |
US20080149868A1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-06-26 | Carl Freudenberg Kg | Valve having a movable venturi nozzle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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