JP2016225411A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜チャンバ1に接続され、排出ガスを成膜チャンバ1から導出する第1配管部10(冷却部)は、排出ガスの移動方向に対して垂直方向の断面において第1開口面積S10を有し、第2配管部20は、第1配管部10と、第1配管部10において液化した排出ガスを排液する排液部40との間に設けられ、排出ガスの移動方向に対して垂直方向の断面おいて第1開口面積S10よりも小さい第2開口面積S20を有する。
【選択図】図1
Description
図1は、第1の実施形態に従った成膜装置100の構成の一例を示す概略図である。成膜装置100は、成膜チャンバ1と、ステージ2と、ヒータ3と、導入部4と、排出部5とを備えている。
次に、加速部20の開口面積S20について考察する。
図3は、冷却部10の開口面積S10に対する加速部20の開口面積S20の比率(S20/S10)と排出ガスの液滴の捕捉率との関係を示すグラフである。横軸は、冷却部10の開口面積S10に対する加速部20の開口面積S20の比率(S20/S10)を示す。縦軸は、排出ガスの液滴の捕捉率を示す。ラインΦ1は、排出ガスの液滴の粒子径(直径)が約1μmである場合の捕捉率を示す。ラインΦ5は、排出ガスの液滴の粒子径(直径)が約5μmである場合の捕捉率を示す。ラインΦ10は、排出ガスの液滴の粒子径(直径)が約10μmである場合の捕捉率を示す。ラインΦ15は、排出ガスの液滴の粒子径(直径)が約15μmである場合の捕捉率を示す。ラインΦ20は、排出ガスの液滴の粒子径(直径)が約20μmである場合の捕捉率を示す。ラインΦ27は、排出ガスの液滴の粒子径(直径)が約27μmである場合の捕捉率を示す。
次に、捕捉部30の構成について考察する。
図5は、第2の実施形態に従った成膜装置200の構成の一例を示す概略図である。第2の実施形態による成膜装置200は、第4配管部110と、第1バルブ120と、第2バルブ130とをさらに備えている。第4配管部110の一端は、冷却部10と加速部20との間に接続され、他端が第3配管部50に接続されている。即ち、第4配管部110は、加速部20および捕捉部30を介さずに、冷却部10と第3配管部50との間を接続している。排出ガスの移動方向に対して垂直方向の断面における第4配管部110の開口面積は、加速部20の開口面積S20より大きい。例えば、第4配管部110の開口面積は、冷却部10の開口面積S10と等しくてもよい。第1バルブ120は、第4配管部110に設けられており、第4配管部110を開きまたは閉じることができる。第2バルブ130は、加速部20と第3配管部50との間のいずれかの箇所に設けられており、加速部20と第3配管部50との間を開きまたは閉じることができる。第1および第2バルブ120、130は、図示されていない制御部によって制御される。第2の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の対応する構成と同様でよい。
図6は、第3の実施形態に従った成膜装置300の構成の一例を示す概略図である。第3の実施形態による成膜装置300は、加速部20が圧力調整機能を兼ね備えており、圧力調整バルブ60が省略されている点で第1の実施形態による成膜装置100と異なる。第3の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の対応する構成と同様でよい。
Claims (10)
- 成膜室と、
前記成膜室に接続され、排出ガスを前記成膜室から導出する第1配管部であって、前記排出ガスの移動方向に対して垂直方向の断面において第1開口面積を有する第1配管部と、
前記第1配管部において液化した前記排出ガスを排液する排液部と、
前記第1配管部と前記排液部との間に設けられ、前記排出ガスの移動方向に対して垂直方向の断面おいて前記第1開口面積よりも小さい第2開口面積を有する第2配管部とを備えた、成膜装置。 - 前記第2配管部の前記第1配管部側の端部は、前記第2配管部の外縁から前記第2配管部の中心部へ近づくに従って重力方向へ傾斜している、請求項1に記載の成膜装置。
- 前記第1配管部の周囲に設けられ、冷媒を通過させる冷却管をさらに備えた、請求項1または請求項2に記載の成膜装置。
- 前記排液部は、前記第1および第2配管部よりも低い位置に配置された排液タンクまたは排液管である、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 前記第2配管部における前記反応副生成物の移動速度は、前記第1配管部における前記反応副生成物の移動速度よりも速い、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 前記第2配管部と前記排液部との間に設けられ、前記第2配管部における前記反応副生成物の移動方向に対向する第1面を有する第1部材をさらに備えた、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 前記第1部材の前記第1面は、前記排液部に近づくに従って重力方向へ傾斜している、請求項6に記載の成膜装置。
- 前記第2開口面積は、前記第1開口面積の20%以下である、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 前記排液部の上方を介して前記第2配管部に連通し、液化されていない前記排出ガスを排気する第3配管部と、
前記第1配管部と前記第2配管部との間に一端が接続され、前記第2配管部、前記排液部を介さずに他端が前記第3配管部に接続された第4配管部と、
前記第4配管部に設けられた第1バルブと、
前記第2配管部と前記第3配管部との間に設けられた第2バルブとを備えた、請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の成膜装置。 - 前記第2開口面積は可変であり、
前記第2開口面積は、前記成膜室を減圧するときに第1面積となり、前記排出ガスを排出するときに前記第1面積よりも小さな第2面積となる、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の成膜装置。
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