JP2016223433A - 遠心圧縮機、及び回転機械 - Google Patents

遠心圧縮機、及び回転機械 Download PDF

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Abstract

【課題】インペラに作用するスラスト力を低下させることができる遠心圧縮機、及び回転機械を提供する。【解決手段】インペラ5の背面5aと、背壁部35との間には、ディフューザ流路32と連通する背面流路42が形成されている。背壁部35には、背面流路と連通する抽気流路34が形成されている。このように、背面流路42からガスを抽気することによって、インペラ5の背面側でガスの貫流を発生させることができる。また、背壁部35は、背面流路42の入口部から抽気流路34へ至る位置まで連続的な面(対向面35a,35b)を備え、他の流路などが形成されていないため、貫流速度を大きくすることができる。従って、インペラ5の背面側の圧力を低下させることによって、インペラ5に作用するスラスト力(図2においてFで示す)を低下させることができる。【選択図】図2

Description

本発明は、遠心圧縮機、及び回転機械に関する。
特許文献1には、軸方向へ延びるガス流入流路及び外周側へ延びるディフューザ流路を有するケーシングと、ケーシングの内部においてガス流入流路とディフューザ流路との間に回転可能に配置されたインペラと、を備える遠心圧縮機が記載されている。
特開2002−70570号公報
ここで、上述のような遠心圧縮機においては、回転軸のスラスト方向の荷重を受ける軸受が設けられている。このような軸受では、インペラで発生するスラスト力が大きくなる場合は、軸受負荷が大きくなる。従って、軸受負荷を低減させるために、スラスト力を低下させることが要請されていた。
そこで、本発明は、インペラに作用するスラスト力を低下させることができる遠心圧縮機を提供することを課題とする。
本発明の一側面に係る遠心圧縮機は、軸方向へ延びるガス流入流路及び外周側へ延びるディフューザ流路を有するケーシングと、ケーシングの内部においてガス流入流路とディフューザ流路との間に回転可能に配置された第1のインペラと、を備える遠心圧縮機であって、第1のインペラの背面側には第1の背壁部が設けられ、第1のインペラの背面と、第1の背壁部との間には、ディフューザ流路と連通する第1の背面流路が形成され、第1の背壁部には、第1の背面流路と連通する抽気流路が形成され、第1の背壁部は、第1の背面流路の入口部から抽気流路へ至る位置まで連続的な面を備えている。
この遠心圧縮機においては、第1のインペラの背面と、第1の背壁部との間には、ディフューザ流路と連通する第1の背面流路が形成されている。第1の背壁部には、第1の背面流路と連通する抽気流路が形成されている。また、第1の背壁部は、第1の背面流路の入口部から抽気流路へ至る位置まで連続的な面を備え、他の流路などが形成されていない。このように、第1の背面流路からガスを抽気することによって、第1のインペラの背面側でガスの貫流を発生させることができる。従って、第1のインペラの背面側の圧力を低下させることによって、第1のインペラに作用するスラスト力を低下させることができる。
また、本発明の一側面に係る遠心圧縮機において、抽気流路は、抽気したガスを、第1のインペラの回転軸を支持する軸受へ供給してよい。これによって、軸受を冷却するための機構を別途設けなくとも、第1のインペラで発生するガスの流れを利用して軸受を冷却することができる。
また、本発明の一側面に係る遠心圧縮機において、抽気流路は、第1のインペラの背面の外径部分に対向する位置に形成されてよい。これにより、高い圧力で抽気を行うことができ、冷却ガスとして低い温度のガスを軸受に供給することができる。
また、本発明の一側面に係る回転機械は、上述の遠心圧縮機と、第1のインペラの回転軸に支持される第2のインペラと、を備え、第2のインペラの背面側には第2の背壁部が設けられ、第2のインペラの背面と、第2の背壁部との間には、第2の背面流路が形成され、抽気流路から第2の背面流路まで延びて連通する供給流路が形成されてよい。これにより、第1の背面流路から抽気流路でガスを抽気することで、第1のインペラの背面側の圧力を低下させることに加え、抽気流路が、抽気したガスを第2の背面流路へ供給することで、第2のインペラの背面側の圧力を高めることができる。第2のインペラは第1のインペラの回転軸に支持され、且つ、第2のインペラの背面は、第1のインペラの背面と軸方向に対向している。従って、第2のインペラの背面側の圧力が高まることで、第2のインペラが、第1のインペラに作用するスラスト力を打ち消す方向にスラスト力を回転軸を介して作用させることができる。これにより、第1のインペラに作用するスラスト力を低下させることができる。
また、本発明の一側面に係る回転機械において、抽気流路と供給流路との間には、抽気したガスの圧力を調整する圧力調整弁が設けられていてよい。これによって、抽気されて第2の背面流路へ供給されるガスの圧力を調整することができる。
また、本発明の一側面に係る回転機械において、第2の背面流路には、供給流路との接続部よりも外周側にラビリンスシールが設けられていてよい。これにより、第2の背面流路へ供給されたガスが、ラビリンスシールによって外周側へ流れ出にくくなる。従って、第2の背面流路内の圧力を効率よく高めることができる。
本発明によれば、インペラに作用するスラスト力を低下させることができる。
図1は、本実施形態に係る遠心圧縮機を備えるターボチャージャの断面図である。 図2は、本実施形態に係る遠心圧縮機の構成を示す概略断面図である。 図3は、本実施形態に係る回転機械の構成を示す概略断面図である。 図4は、図3に示す遠心圧縮機の背面流路、及びインペラ構造のインペラの背面流路の拡大断面図である。 図5は、図3に示す遠心圧縮機のインペラ側の背壁部、及びインペラ構造のインペラ側の背壁部を軸方向から見た図である。
以下、本発明に係る遠心圧縮機の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一の要素同士、或いは相当する要素同士には、互いに同一の符号を付し、重複する説明を省略する場合がある。
本実施形態に係る遠心圧縮機100が適用されるターボチャージャ50は、図1に示すように、タービンハウジング1とコンプレッサハウジング2内とをベアリングハウジング3を介して一体に連結したものである。このターボチャージャ50は、タービンハウジング1内のタービンホイール4と、コンプレッサハウジング2内のインペラ5とを、ベアリングハウジング3内にてジャーナル軸受により回転自在に支持されたタービン軸6によって連結したものである。このターボチャージャ50は、エンジンの排気によってタービンホイール4を回転させることによりタービン軸6を介してインペラ5を回転させ、吸気を圧縮してエンジンに給気するようになっている。
遠心圧縮機100においては、コンプレッサハウジング2内でインペラ5を取り付けているタービン軸6の外側には、表面に凹凸を形成した油切りが設けられる。油切りの外周には、コンプレッサ側スラストベアリング16が嵌め合わせられる。コンプレッサ側スラストベアリング16に内周面が接するように、シールプレート17がベアリングハウジング3に取り付けられる。コンプレッサ側スラストベアリング16に対するタービン側の位置には、スラストカラー18とタービン側スラストベアリング14がタービン軸6に嵌め合わせられる。コンプレッサ側スラストベアリング16のタービン側の面が正スラスト(タービン軸6がコンプレッサ側に移動しようとする方向のスラスト)軸受面とされ、タービン側スラストベアリング14のコンプレッサ側の面が反スラスト(タービン軸6がタービン側に移動しようとする方向のスラスト)軸受面とされる。
図2を参照して、遠心圧縮機100の構成について更に詳細に説明する。図2に示すように、遠心圧縮機100は、軸方向へ延びるガス流入流路33及び外周側へ延びるディフューザ流路32を有するコンプレッサハウジング(ケーシング)2と、コンプレッサハウジング2の内部においてガス流入流路33とディフューザ流路32との間に回転可能に配置されたインペラ(第1のインペラ)5と、を備える。
インペラ5は、タービン軸6に連結されるハブ30と、ハブ30の外周面5bに設けられるフィン31と、を備えている。ハブ30の外周面5bは、ガス流入流路33側において軸方向と略平行に延びると共に、ディフューザ流路32へ向かうに従って径方向に広がるように湾曲している。ハブ30は、ガス流入流路33に対して軸方向における反対側に、背面5aを備えている。背面5aは、タービン軸6から外周側へ向かって広がっている。また、ハブ30は、ディフューザ流路32側の端部に外周面5cを備えている。以上のような構成により、ガス流入流路33から流入して軸方向へ流れる空気(A1の流れ)は、インペラ5で圧縮されると共に、外周側へ向かって流れる。これによって圧縮空気がディフューザ流路32内を外周側へ向かって流れる(A2の流れ)。
インペラ5の背面側には背壁部(第1の背壁部)35が設けられる。本実施形態では、背壁部35は、図1に示すシールプレート17、及び当該シールプレート17を支持するコンプレッサハウジング2の一部によって構成されている。ただし、インペラ5の背面側に設けられるものであれば、どの部品が背壁部35を構成してもよい。
背壁部35は、インペラ5の背面5aと軸方向において対向する対向面35aを備えている。対向面35aは、タービン軸6側から外周側へ向かって広がる面である。対向面35aは、インペラ5の背面5aの形状に対応して適宜変更してよく、平面、傾斜面、湾曲面、及びこれらの組み合わせによって構成されていてよい。また、図2に示す実施形態では、背壁部35は、インペラ5の外周面5cと径方向に対向する対向面35bを備えている。
インペラ5の背面5aと、背壁部35との間には、ディフューザ流路32と連通する背面流路(第1の背面流路)42が形成される。背面流路42は、背面5aと背壁部35の対向面35aとの間の隙間空間によって形成される流路である。背面流路42は、タービン軸6側から外周側へ向かって広がる空間である。また、インペラ5の外周面5cと背壁部35との間には、ディフューザ流路32と連通すると共に、背面流路42へ空気を導く入口部として機能する入口流路41が形成される。入口流路41は、外周面5cと背壁部35の対向面35bとの間の隙間空間によって形成される流路である。入口流路41は、ディフューザ流路32のうち、インペラ5との境界部付近に連通されており、軸方向に沿って背面5a側へ延びる環状の空間である。
背壁部35には、背面流路42と連通する抽気流路34が形成される。抽気流路34は、背面流路42を流れる空気を抽気する。抽気流路34は、背壁部35内に形成された管状の内部空間によって構成される。なお、抽気流路34は、中心軸周りに一つ設けられていてもよく、複数設けられていてもよい。抽気流路34は、背面側で貫流を発生させるため、インペラ5の外周面5cよりも所定量、内周側へ離間した位置に形成される。抽気流路34は、インペラ5の背面5aの外径部分、すなわち外周面5c寄りの部分に対向する位置に形成される。なお、抽気流路34は、背面5aの内径部分、すなわち中心軸寄りの部分に形成されてもよい。
背壁部35は、背面流路42の入口部から抽気流路34へ至る位置まで連続的な面(対向面35a,35b)を備えている。すなわち、径方向において、抽気流路34よりも外周側の領域では、対向面35a,35bが連続的に広がっている。連続的な面とは、背面流路42の入口部から抽気流路34へ至る位置までに他の流路等が形成されておらず、空気の流れが封止された状態の面である。本実施形態では、入口流路41の入口部が、背面流路42の入口部に対応する。従って、当該入口部から抽気流路34へ至るまで、対向面35a,35bが連続的な面として構成されている。
なお、背壁部35が異なる部材の組み合わせによって構成され、対向面35aが異なる部材の面によって構成されている場合であっても、部材間がシールされることで空気の流れが防止されていれば「連続的な面」に該当する。例えば、図1に示すように、「対向面」がシールプレートの面と、コンプレッサハウジング2の面と、ボルトの面と、によって構成されていても、これらの部材間がシールされていれば「連続的な面」に該当する。なお、厳密なシール処理がなされておらず、機械的接合の関係で僅かに空気が漏れるような場合であっても、流路を形成して積極的に空気を取り出そうとするようなものでなければ、「連続的な面」と認定してよい。
抽気流路34は、抽気した空気を冷却空気として、ラインL1を介してタービン軸6を支持するベアリング(軸受)14,16へ供給する。これによって、ベアリング14,16が冷却される。なお、ラインL1の構成や経路等は特に限定されるものではなく、ベアリング14,16に冷却空気を供給できるものであれば、どのような構成であってもよい。
以上より、遠心圧縮機100は、背面流路42から抽気流路34によって冷却空気が抽気される(A5の流れ)構成を備えている。従って、ディフューザ流路32内を流れる圧縮空気の主流(A2の流れ)から、一部の圧縮空気が入口流路41に取り込まれ(A3の流れ)、背面流路42に貫流が発生する(A4の流れ)。そして、背面流路42の空気は冷却空気として抽気流路34から抽気されて(A5の流れ)、ベアリング14,16へ供給される。
次に、本実施形態に係る遠心圧縮機の作用・効果について説明する。
本実施形態に係る遠心圧縮機においては、インペラ5の背面5aと、背壁部35との間には、ディフューザ流路32と連通する背面流路42が形成されている。背壁部35には、背面流路と連通する抽気流路34が形成されている。また、背壁部35は、背面流路42の入口部から抽気流路34へ至る位置まで連続的な面(対向面35a,35b)を備え、他の流路などが形成されていない。このように、背面流路42からガスを抽気することによって、インペラ5の背面側でガスの貫流を発生させることができる。従って、インペラ5の背面側の圧力を低下させることによって、インペラ5に作用するスラスト力(図2においてFで示す)を低下させることができる。
具体的には、圧力低下をΔP、抵抗係数をC、空気の密度をρ、貫流速度をVrとした場合、以下の式(1)が成り立つ。式(1)から理解されるように、本実施形態に係る遠心圧縮機100では、抽気流路34を備えることで貫流速度Vrを大きくすることができるため、インペラ5の背面側における圧力低下ΔPの値を大きくすることができる。これによって、インペラ5に作用するスラスト力Fを低下することができる。このように、スラスト力Fを低下させることによって、コンプレッサ側スラストベアリング16の軸受負荷を低減でき、軸受損失を低減することができる。また、軸受損失を低減することで、冷却空気量も低減することができるため、その結果、遠心圧縮機100の圧縮機効率も向上できる。

ΔP=C・(ρVr/2) …(1)
また、本実施形態に係る遠心圧縮機100において、抽気流路34は、抽気した空気を、インペラ5のタービン軸6を支持するベアリング14,16へ供給する。これによって、ベアリング14,16を冷却するための機構を別途設けなくとも、インペラ5で発生する空気の流れを利用してベアリング14,16を冷却することができる。
また、本実施形態に係る遠心圧縮機100において、抽気流路34は、インペラ5の背面5aの外径部分に対向する位置に形成されている。これにより、内径側で抽気する場合に比して、高い圧力で抽気を行うことができ、冷却空気として低い温度の空気をベアリング14,16に供給することができる。
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。
例えば、上述の実施形態では、抽気流路34で抽気された冷却空気はベアリング14,16へ供給されていた。しかし、抽気流路34で抽気された空気の供給先は特に限定されない。例えば、抽気流路34で抽気された空気は、冷却のために同軸上に連結されたタービン等へ供給されてもよい。
また、上述の実施形態に係る遠心圧縮機100のインペラ5や背壁部35の構成は一例にすぎず、適宜変更してもよく、それに伴って背面流路等の形状も変更される。
遠心圧縮機100は、図3に示すような回転機械に適用されてもよい。図3に示す回転機械200は、遠心圧縮機100と、インペラ構造150と、を備えている。なお、回転機械200は、図1に示すようなターボチャージャであってよく、この場合、インペラ構造150は、タービンによって構成される。あるいは、回転機械200は、多段圧縮機であってもよく、この場合、インペラ構造150は、遠心圧縮機100とは別な圧縮機によって構成される。
遠心圧縮機100における、ガス流入流路33、ディフューザ流路32、コンプレッサハウジング2、インペラ5、背壁部35、背面流路42、抽気流路34は、図1及び図2に示す前述の実施形態に係る遠心圧縮機100のものと同趣旨であるため、説明を省略する。
インペラ構造150は、軸方向へ延びる第1の流路133及び外周側へ延びる第2の流路132を有するケーシング102と、ケーシング102の内部において第1の流路133と第2の流路132との間に回転可能に配置されたインペラ(第2のインペラ)105と、を備えている。インペラ105は、インペラ5の回転軸106に支持されている。インペラ105の背面105aは、インペラ5の背面5aと軸方向に対向する。なお、インペラ105の背面105aと、インペラ5の背面5aは、背壁部35,135等を介して互いに対向している。また、インペラ105の背面105a側には背壁部135が設けられる。インペラ105の背面105aと、背壁部135との間には、背面流路142が形成される。
遠心圧縮機100の抽気流路34から背面流路142まで延びて当該背面流路142と連通する供給流路134が形成される。遠心圧縮機100の抽気流路34は、抽気したガスを、供給流路134を介して背面流路142へ供給する。すなわち、供給流路134は、抽気流路34から流れてきたガスを背面流路142へ供給する。供給流路134は、背壁部135内に形成された管状の内部空間によって構成される。なお、供給流路134は、中心軸周りに一つ設けられていてもよく、複数設けられていてもよい(なお、後述の図5に示す例では、複数設けられている)。供給流路134は、インペラ105の外周面よりも所定量、内周側へ離間した位置に形成される。供給流路134は、インペラ105の背面105aの外径部分、すなわち外周面寄りの部分に対向する位置に形成される。なお、供給流路134は、背面105aの内径部分、すなわち中心軸寄りの部分に形成されてもよい。
なお、背壁部135は、遠心圧縮機100の背壁部35と同様に、背面流路142の入口部から供給流路134へ至る位置まで連続的な面を備えていてよい。すなわち、径方向において、供給流路134よりも外周側の領域では、インペラ105の背面105aと対向する面が連続的に広がっていてよい。
抽気流路34と供給流路134との間には、抽気したガスの圧力を調整する圧力調整弁62が設けられている。なお、本実施形態においては、圧力調整弁62より上流側の流路を抽気流路34と称し、圧力調整弁62より下流側の流路を供給流路134と称している。ただし、抽気流路34は背壁部35内に形成された内部空間を含んでおり、供給流路134は背壁部135内に形成された内部空間を含んでいればよい。背壁部35,135より外側へ延びる管のどこまでの範囲が抽気流路34に属し、どこまでの範囲が供給流路134に属するかは、任意に決定可能である。圧力調整弁62は、図示されない制御部に電気的に接続されていてよい。制御部は、インペラ5の吐出圧、又はインペラ5の背面圧を検出すると共に、検出結果に基づいて、圧力調整弁62を調整してよい。
次に、図4及び図5を参照して、遠心圧縮機100及びインペラ構造150の詳細な構造について説明する。図4に示すように、背面流路42には、抽気流路34との接続部(抽気流路34が開口した部分)よりも外周側にラビリンスシール65が設けられている。ラビリンスシール65は、背壁部35の表面に円環状の溝を複数段設けることによって構成されている。背面流路142には、供給流路134との接続部(供給流路134が開口した部分)よりも外周側にラビリンスシール66が設けられている。ラビリンスシール66は、背壁部135の表面に円環状の溝を複数段設けることによって構成されている。
図5に示すように、背壁部35には、複数(ここでは4つ)の抽気流路34が周方向に等間隔に設けられている。抽気流路34は、インペラ5の回転方向に応じて、回転軸106が延びる方向に対して傾斜している。具体的には、軸方向から背壁部35の対向面35aを見たときに、抽気流路34は、対向面35aから背壁部35の厚さ方向へ延びる際に、回転方向における進行側へ傾くように延びている。ここで、背壁部35の中心C1及び対向面35aにおける抽気流路34の中心C2を通過する直線L7を設定する。また、中心C2を通過して直線L7に垂直な直線L2を設定する。このとき、抽気流路34の軸線L3と直線L2のなす角度θは、30〜40°に設定される。このような構成により、インペラ5の回転に伴って旋回する背面流路42内のガスの旋回方向と、抽気流路34内のガスが上流側から下流側へ向かう方向が同じ向きとなるため、背面流路42内のガスがスムーズに抽気流路34に流れ込む。
背壁部135には、複数(ここでは4つ)の供給流路134が周方向に等間隔で設けられている。供給流路134は、インペラ105の回転方向に応じて、軸方向に対して傾斜している。具体的には、軸方向から背壁部135の対向面135aを見たときに、供給流路134は、対向面135aから背壁部135の厚さ方向へ延びる際に、回転方向における逆側へ傾くように延びている。ここで、背壁部135の中心C1及び対向面135aにおける供給流路134の中心C3を通過する直線L4を設定する。また、中心C2を通過して直線L4に垂直な直線L5を設定する。このとき、供給流路134の軸線と直線L5のなす角度は、前述の角度θと同様に30〜40°に設定される。このような構成により、インペラ105の回転に伴って旋回する背面流路142内のガスの旋回方向と、供給流路134内でガスが上流側から下流側へ向かう方向が同じ向きとなるため、供給流路134から供給されるガスがスムーズに背面流路142に流れ込む。
なお、抽気流路34は、背壁部35に形成された貫通孔の部分と、背壁部35の外側において当該貫通孔に接続されたパイプと、によって構成されてよい。複数の貫通孔から引き出されたパイプは、一本に集約されてもよい。供給流路134は、背壁部135に形成された貫通孔の部分と、背壁部135の外側において当該貫通孔に接続されたパイプと、によって構成されてよい。複数の貫通孔から引き出されたパイプは、一本に集約されてもよい。抽気流路34において一本に集約されたパイプと、供給流路134において一本に集約されたパイプとが接続される部分に圧力調整弁62が設けられてよい。
以上のように、回転機械200は、遠心圧縮機100と、インペラ5の回転軸106に支持されるインペラ105と、を備える。また、インペラ105の背面105a側には背壁部135が設けられ、インペラ105の背面105aと、背壁部135との間には、背面流路142が形成される。抽気流路34から背面流路42まで延びて連通する供給流路134が形成され、遠心圧縮機100の抽気流路34は、抽気したガスを、供給流路134を介して背面流路142へ供給している。これにより、背面流路42から抽気流路34でガスを抽気することで、インペラ5の背面5a側の圧力を低下させることに加え、抽気流路34が、抽気したガスを背面流路42へ供給することで、インペラ105の背面105a側の圧力を高めることができる。インペラ105はインペラ5の回転軸106に支持され、且つ、インペラ105の背面105aは、インペラ5の背面5aと軸方向に対向している。従って、インペラ105の背面105a側の圧力が高まることで、インペラ105が、インペラ5に作用するスラスト力F1を打ち消す方向にスラスト力F2を回転軸106を介して作用させることができる(図3参照)。これにより、インペラ5に作用するスラスト力F1を低下させることができる。
また、回転機械200において、抽気流路34と供給流路134との間には、抽気したガスの圧力を調整する圧力調整弁が設けられていてよい。これによって、抽気されて背面流路142へ供給されるガスの圧力を調整することができる。
また、回転機械200において、背面流路142には、供給流路134との接続部よりも外周側にラビリンスシール66が設けられている。これにより、背面流路142へ供給されたガスが、ラビリンスシール66によって外周側へ流れ出にくくなる。従って、背面流路142内の圧力を効率よく高めることができる。なお、背面流路42に、抽気流路34との接続部よりも外周側にラビリンスシール65が設けられている。ここで、ガスがラビリンスシール65のような狭隘部を通過すると、抵抗により圧力が低下する。抽気のみで同様な圧力低下を得ようとすると、より多くの抽気流量が必要になる。従って、背面流路42側にラビリンスシール65を設けることによって、効果的に圧力を低下させることができる。
なお、回転機械は、図3〜5に示す構成に限定されず、必要に応じて適宜、大きさや形状や各部品の位置関係を変更してもよい。例えば、抽気流路34及び供給流路134は、軸方向へまっすぐに延びていてもよい。なお、回転機械中のガスの流れに対して、遠心圧縮機が上流側に配置され、インペラ構造が下流側に配置されてもよいが、圧力の関係によっては、遠心圧縮機が上流側に配置され、インペラ構造が上流側に配置されてもよい。すなわち、遠心圧縮機の背面流路が、インペラ構造の背面流路よりも圧力が高く、遠心圧縮機の抽気流路がインペラ構造の背面流路へガスを供給できる関係が成り立っていれば各構成要素の配置は特に限定されない。
2 コンプレッサハウジング(ケーシング)
5 インペラ(第1のインペラ)
6 タービン軸(回転軸)
14,16 ベアリング(軸受)
32 ディフューザ流路
33 ガス流入流路
34 抽気流路
35 背壁部(第1の背壁部)
35a,35b 対向面
42 背面流路(第1の背面流路)
100 遠心圧縮機
105 インペラ(第2のインペラ)
134 供給流路
135 背壁部(第2の背壁部)
142 背面流路(第2の背面流路)
150 インペラ構造
200 回転機械

Claims (6)

  1. 軸方向へ延びるガス流入流路及び外周側へ延びるディフューザ流路を有するケーシングと、
    前記ケーシングの内部において前記ガス流入流路と前記ディフューザ流路との間に回転可能に配置された第1のインペラと、を備える遠心圧縮機であって、
    前記第1のインペラの背面側には第1の背壁部が設けられ、
    前記第1のインペラの前記背面と、前記第1の背壁部との間には、前記ディフューザ流路と連通する第1の背面流路が形成され、
    前記第1の背壁部には、前記第1の背面流路と連通する抽気流路が形成され、
    前記第1の背壁部は、前記第1の背面流路の入口部から前記抽気流路へ至る位置まで連続的な面を備えている、遠心圧縮機。
  2. 前記抽気流路は、抽気したガスを、前記第1のインペラの回転軸を支持する軸受へ供給する、請求項1に記載された遠心圧縮機。
  3. 前記抽気流路は、前記第1のインペラの前記背面の外径部分に対向する位置に形成される、請求項1又は2に記載された遠心圧縮機。
  4. 請求項1に記載された遠心圧縮機と、
    前記第1のインペラの回転軸に支持される第2のインペラと、を備え、
    前記第2のインペラの背面は、前記第1のインペラの前記背面と前記軸方向に対向し、
    前記第2のインペラの前記背面側には第2の背壁部が設けられ、
    前記第2のインペラの前記背面と、前記第2の背壁部との間には、第2の背面流路が形成され、
    前記抽気流路から前記第2の背面流路まで延びて、当該第2の背面流路と連通する供給流路が形成された、回転機械。
  5. 前記抽気流路と前記供給流路との間には、前記抽気したガスの圧力を調整する圧力調整弁が設けられている、請求項4に記載の回転機械。
  6. 前記第2の背面流路には、前記供給流路との接続部よりも外周側にラビリンスシールが設けられている、請求項4又は5に記載の回転機械。
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