JP2016218373A - Multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device and multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation method - Google Patents

Multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device and multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation method Download PDF

Info

Publication number
JP2016218373A
JP2016218373A JP2015105932A JP2015105932A JP2016218373A JP 2016218373 A JP2016218373 A JP 2016218373A JP 2015105932 A JP2015105932 A JP 2015105932A JP 2015105932 A JP2015105932 A JP 2015105932A JP 2016218373 A JP2016218373 A JP 2016218373A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wavelength
optical parametric
oscillation
light
parametric oscillation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015105932A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
憲太郎 宮田
Kentaro Miyata
憲太郎 宮田
今井 信一
Shinichi Imai
信一 今井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nireco Corp
Original Assignee
Megaopto Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Megaopto Co Ltd filed Critical Megaopto Co Ltd
Priority to JP2015105932A priority Critical patent/JP2016218373A/en
Publication of JP2016218373A publication Critical patent/JP2016218373A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device and a multiwavelength oscillation type parametric oscillation method having a simple structure compared to conventional technology, and eliminating a mechanical wave synchronization mechanism.SOLUTION: A multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device configured to output laser light having different wavelengths includes an optical parametric oscillation unit that is an optical parametric oscillation device unitized so as to be independent for each wavelength of laser light to be output. According to the wavelength of laser light desired to be used as laser output, one or more optical parametric oscillation units are provided.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、多波長発振型光パラメトリック発振装置および多波長発振型光パラメトリック発振方法に関し、さらに詳細には、二つあるいはそれ以上の複数の波長のレーザー光を出力するレーザー光源として用いることのできる多波長発振型光パラメトリック発振装置および多波長発振型光パラメトリック発振方法に関する。   The present invention relates to a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device and a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation method, and more specifically, can be used as a laser light source that outputs laser beams of two or more wavelengths. The present invention relates to a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device and a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation method.

従来より、差分吸収型レーザーレーダー(DIAL)により、大気中の水蒸気のモニタリングなどが行われていることが知られている(非特許文献1を参照する。)。   Conventionally, it is known that monitoring of water vapor in the atmosphere is performed by differential absorption laser radar (DIAL) (see Non-Patent Document 1).

この差分吸収型レーザーレーダーによる大気中の水蒸気のモニタリングとは、大気中の水蒸気の吸収線の帯域に合わせた波長のパルスレーザー光と大気中の水蒸気の吸収線の帯域を外した波長のパルスレーザー光とを同軸で出射し、出射された二つのパルスレーザー光の進行に伴う各距離における散乱光の強さの差を測定することにより、対象物質たる大気中の水蒸気の分布を得るようにしたものである。   The monitoring of water vapor in the atmosphere with this differential absorption type laser radar is a pulse laser beam with a wavelength that matches the band of the absorption line of water vapor in the atmosphere and a pulse laser with a wavelength that excludes the band of the absorption line of water vapor in the atmosphere. The distribution of water vapor in the atmosphere as the target substance was obtained by measuring the difference in the intensity of the scattered light at each distance as the two pulsed laser beams traveled along the same axis. Is.

従って、差分吸収型レーザーレーダーにおいては、二つの波長のレーザー光を出力するレーザー光源が必要であり、こうしたレーザー光源としては、例えば、レーザー媒質としてアレキサンドライト結晶やTi:サファイア結晶などを用いた波長可変レーザー装置が広く用いられてきた。   Therefore, the differential absorption type laser radar requires a laser light source that outputs laser light of two wavelengths. As such a laser light source, for example, a wavelength variable using an alexandrite crystal or a Ti: sapphire crystal as a laser medium. Laser devices have been widely used.

こうした波長可変レーザー装置は、パルス毎に2波長を切り替えるための手段として、レーザー共振器内に波長同調素子、複屈折フィルター、エタロンなどを設けており、これらの回転や角度を変化させることにより二つの波長のパルスレーザー光を出力するようになされていた。   Such a wavelength tunable laser device is provided with a wavelength tuning element, a birefringence filter, an etalon, etc. in a laser resonator as means for switching two wavelengths for each pulse. It was designed to output pulsed laser light of two wavelengths.

即ち、予め指定された2波長を交互に出力するレーザー光源たる波長可変レーザー装置においては、波長同調可能な広帯域で利得のあるレーザー媒質と波長同調手段とが必要であった。   That is, in a wavelength tunable laser device that is a laser light source that alternately outputs two wavelengths specified in advance, a laser medium having a wide band and gain that can be wavelength tuned and a wavelength tuning means are required.

しかしながら、所望の2波長がレーザー媒質の利得帯域内で得られない場合には、非線形光学結晶を使用した光パラメトリック発振装置を用いる必要があるとともに、精密なスペクトル制御を行うためには、例えば、図1に示すような複雑な機械構造を備えた多波長発振型光パラメトリック発振装置を構築せざるを得なかった。   However, when the desired two wavelengths cannot be obtained within the gain band of the laser medium, it is necessary to use an optical parametric oscillation device using a nonlinear optical crystal, and in order to perform precise spectrum control, for example, A multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device having a complicated mechanical structure as shown in FIG. 1 had to be constructed.

ここで、図1を参照しながら従来の多波長発振型光パラメトリック発振装置について説明すると、従来の多波長発振型光パラメトリック発振装置100においては、高効率で所定の波長のレーザー光を反射する高反射鏡102と、所定の効率で所定の波長のレーザー光をレーザー出力として透過するとともにそれ以外のレーザー光を反射する出力結合鏡104とにより、レーザー共振器が構成されている。   Here, a conventional multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device will be described with reference to FIG. 1. In the conventional multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 100, a high-efficiency laser beam having a predetermined wavelength is reflected with high efficiency. A laser resonator is configured by the reflecting mirror 102 and the output coupling mirror 104 that transmits laser light having a predetermined wavelength as laser output with predetermined efficiency and reflects other laser light.

このレーザー共振器内には、広帯域な光パラメトリック利得媒質としての非線形光学結晶たる二つのβ−BaB2O4(以下、本明細書においては適宜に「BBO」と称する。)結晶106、108と、励起光をレーザー共振器内に入射するための入力結合鏡110と、周波数スケールで発振波長を精密制御するためのエタロン112とが設けられている。   In this laser resonator, two β-BaB 2 O 4 (hereinafter referred to as “BBO” as appropriate in this specification) crystals 106 and 108 which are nonlinear optical crystals as broadband optical parametric gain media, and excitation light Are coupled to the laser resonator and an etalon 112 for precisely controlling the oscillation wavelength on a frequency scale.

なお、符号114はBBO結晶106の回転を制御するためのBBO結晶回転機構を示し、符号116はBBO結晶108の回転を制御するためのBBO結晶回転機構を示し、符号118はエタロン112の傾斜角度を制御するためのエタロン傾斜調整機構を示す。   Reference numeral 114 denotes a BBO crystal rotation mechanism for controlling the rotation of the BBO crystal 106, reference numeral 116 denotes a BBO crystal rotation mechanism for controlling the rotation of the BBO crystal 108, and reference numeral 118 denotes an inclination angle of the etalon 112. An etalon tilt adjusting mechanism for controlling the etalon is shown.

以上の構成において、多波長発振型光パラメトリック発振装置100によれば、レーザー共振器内に励起光を入射することにより、光パラメトリック発生過程(BBO結晶などの非線形光学結晶が励起光の波長に応じたシグナル光とアイドラー光とを発生させる過程)による光パラメトリック発振によってレーザー光が出力される。   In the above configuration, according to the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 100, an optical parametric generation process (a nonlinear optical crystal such as a BBO crystal corresponds to the wavelength of the excitation light by making the excitation light enter the laser resonator. Laser light is output by optical parametric oscillation by the process of generating signal light and idler light.

即ち、多波長発振型光パラメトリック発振装置100は、広帯域な光パラメトリック利得媒質としてBBO結晶106を用い、波長同調する手段として、BBO結晶回転機構114によりBBO結晶106の角度を主平面内で機械的に回転している。   That is, the multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device 100 uses the BBO crystal 106 as a broadband optical parametric gain medium, and mechanically adjusts the angle of the BBO crystal 106 in the main plane by the BBO crystal rotation mechanism 114 as means for wavelength tuning. It is rotating.

そして、このBBO結晶106の回転により生じる光路ずれを補正するために、BBO結晶106と同様のBBO結晶108を鏡像対称となるように配置し、BBO結晶回転機構116によりBBO結晶108の角度を主平面内で逆方向に回転させる必要があった。   Then, in order to correct the optical path shift caused by the rotation of the BBO crystal 106, the BBO crystal 108 similar to the BBO crystal 106 is arranged so as to be mirror-symmetrical, and the angle of the BBO crystal 108 is adjusted by the BBO crystal rotation mechanism 116. It was necessary to rotate in the opposite direction in the plane.

ここで、この多波長発振型光パラメトリック発振装置100の発振波長は、励起レーザーから出力される励起光の光軸と、入力結合鏡110および出力結合鏡104で定められる共振器軸と、BBO結晶106、108の光軸とのなす角度において、励起波長に応じた2波長のシグナル光とアイドラー光とにより得られ、通常、どちらかの発振波長を選択し、BBO結晶106、108の角度調整あるいは温度調整をすることで所望の2波長を交互に同調させるようにしている。   Here, the oscillation wavelength of the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 100 includes the optical axis of the pumping light output from the pumping laser, the resonator axis defined by the input coupling mirror 110 and the output coupling mirror 104, and the BBO crystal. 106 and 108 are obtained by two-wavelength signal light and idler light according to the excitation wavelength at an angle between the optical axes of 106 and 108. Usually, one of the oscillation wavelengths is selected to adjust the angle of the BBO crystals 106 and 108 or The desired two wavelengths are alternately tuned by adjusting the temperature.

また、多波長発振型光パラメトリック発振装置100においては、上記したBBO結晶106、108の回転に加え、さらに周波数スケールで精密波長制御をするためにエタロン112の傾斜角度をエタロン傾斜調整機構118により機械的に同期させている。   Further, in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 100, in addition to the rotation of the BBO crystals 106 and 108, the tilt angle of the etalon 112 is adjusted by the etalon tilt adjustment mechanism 118 in order to perform precise wavelength control on the frequency scale. Are synchronized.

従って、BBO結晶106、108を回転させる二個の一対のBBO結晶回転機構114、116とエタロン112を傾斜角度を調整するエタロン傾斜調整機構118とを波長ごとに機械的に同調させる必要があり、システムが複雑になるという問題点に加え、2波長の同調速度はBBO結晶回転機構114、116ならびにエタロン傾斜調整機構118の機械的性能により制限されるという問題点があった。   Therefore, it is necessary to mechanically synchronize the two pairs of BBO crystal rotating mechanisms 114 and 116 for rotating the BBO crystals 106 and 108 and the etalon tilt adjusting mechanism 118 for adjusting the tilt angle of the etalon 112 for each wavelength. In addition to the problem that the system is complicated, the two-wavelength tuning speed is limited by the mechanical performance of the BBO crystal rotation mechanisms 114 and 116 and the etalon tilt adjustment mechanism 118.

一方、多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記したBBO結晶回転機構114、116のような機械的な波長同調機構を設けることなく、電子冷却機構などでBBO結晶を温度調整して発振波長を得る場合には、高速同調性に欠けるようになるという新たな問題点を招来するものであった。   On the other hand, in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device, the oscillation wavelength is adjusted by adjusting the temperature of the BBO crystal with an electronic cooling mechanism or the like without providing the mechanical wavelength tuning mechanism such as the BBO crystal rotation mechanisms 114 and 116 described above. In the case of obtaining it, a new problem of lacking in high-speed synchrony is caused.

長澤親生、阿保真、内野修、「PASセルを用いた準同時2波長水蒸気差分吸収ライダー」、平成6年12月、社団法人レーザー学会、レーザー研究、第22巻、pp1000−1006Nagasawa Parent, Abo Makoto, Uchino Osamu, “Quasi-Simultaneous Dual Wavelength Water Vapor Difference Rider Using PAS Cell”, December 1994, The Laser Society of Japan, Laser Research, Vol. 22, pp1000-1006

本発明は、従来の技術の有する上記したような種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、従来の技術と比較すると、複雑な構成を必要とせず、かつ、機械的な波長同調機構を必要としない多波長発振型光パラメトリック発振装置および多波長発振型光パラメトリック発振方法を提供しようとするものである。   The present invention has been made in view of the above-described various problems of the prior art, and the object of the present invention is not to require a complicated configuration as compared with the prior art, and An object of the present invention is to provide a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device and a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation method that do not require a mechanical wavelength tuning mechanism.

上記目的を達成するために、本発明は、レーザー出力するレーザー光の波長毎にユニット化された光パラメトリック発振装置たる光パラメトリック発振ユニットを1ユニット以上設けるようにしたものである。   In order to achieve the above object, according to the present invention, one or more optical parametric oscillation units, which are optical parametric oscillation devices unitized for each wavelength of laser light output by a laser, are provided.

従って、本発明によれば、波長毎にコンパクトな光源をユニット化することができ、冗長性の高い複数の波長のレーザー出力を得ることのできる多波長発振型光パラメトリック発振装置が得られる。   Therefore, according to the present invention, a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device can be obtained in which a compact light source can be unitized for each wavelength, and laser outputs of a plurality of wavelengths with high redundancy can be obtained.

また、本発明によれば、複雑で不安定な機械的な波長同調機構を用いないので、安定した波長出力が可能となる。   In addition, according to the present invention, since a complicated and unstable mechanical wavelength tuning mechanism is not used, stable wavelength output is possible.

即ち、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、複数の波長のレーザー光を出力する多波長発振型光パラメトリック発振装置において、レーザー出力するレーザー光の波長毎に独立してユニット化された光パラメトリック発振装置たる光パラメトリック発振ユニットを構成し、レーザー出力として得たいレーザー光の波長にあわせて上記光パラメトリック発振ユニットを一つ以上設けるようにしたものである。   That is, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is unitized independently for each wavelength of the laser beam to be output in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device that outputs laser beams of a plurality of wavelengths. An optical parametric oscillating unit as an optical parametric oscillating device is configured, and one or more optical parametric oscillating units are provided in accordance with the wavelength of laser light desired to be obtained as a laser output.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記光パラメトリック発振ユニットは、光パラメトリック発生過程で得られるシグナル光とアイドラー光とのいずれか一方の波長領域において高回折効率が得られる体積型回折素子を用いて光パラメトリック共振器を構成するようにしたものである。   The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, wherein the optical parametric oscillation unit includes signal light and idler light obtained in the optical parametric generation process. The optical parametric resonator is configured by using a volume type diffraction element that can obtain a high diffraction efficiency in any one of the wavelength regions.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記光パラメトリック発振ユニットは、光パラメトリック発生過程で得られるシグナル光とアイドラー光とのいずれか一方の波長領域において高回折効率が得られる体積型回折素子を用いて光パラメトリック増幅器を構成するようにしたものである。   The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, wherein the optical parametric oscillation unit includes signal light and idler light obtained in the optical parametric generation process. The optical parametric amplifier is configured using a volume type diffractive element capable of obtaining high diffraction efficiency in any one of the wavelength regions.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記光パラメトリック発振ユニットは、励起光が非線形光学結晶のレーザー発振軸と同軸に入射されるようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the above-described multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, wherein the optical parametric oscillation unit is configured such that the excitation light is coaxial with the laser oscillation axis of the nonlinear optical crystal. It is made to enter.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記光パラメトリック発振ユニットは、励起光が非線形光学結晶のレーザー発振軸と異なる方向から入射されるようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the above multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, wherein the optical parametric oscillation unit has a direction in which the excitation light is different from the laser oscillation axis of the nonlinear optical crystal. It is made to enter from.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記光パラメトリック発振ユニットは、励起光が波長可変レーザーより出力されたレーザー光であるようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the above-described multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, wherein the optical parametric oscillation unit is a laser beam in which excitation light is output from a wavelength tunable laser. It is what you have.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記光パラメトリック発振ユニットは、上記体積型回折素子を設置するヒートシンクを有し、上記ヒートシンクにより上記体積型回折素子を温調して回折波長をシフトさせて波長同調を行うようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the above-described multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, wherein the optical parametric oscillation unit has a heat sink in which the volume type diffraction element is installed, The volume diffractive element is temperature-controlled by the heat sink to shift the diffraction wavelength and perform wavelength tuning.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の波長を長波長側に波長変換して出力するようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the above-described multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, wherein the wavelength of at least one of the signal light and the idler light according to the excitation light is changed. The wavelength is converted to the long wavelength side and output.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の波長を短波長側に波長変換して出力するようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the above-described multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, wherein the wavelength of at least one of the signal light and the idler light according to the excitation light is changed. The wavelength is converted to the short wavelength side and output.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記光パラメトリック発振ユニットの後段に、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の出力を種光とする光パラメトリック発振器を有するようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention described above, in the latter stage of the optical parametric oscillation unit, the signal light corresponding to the excitation light and the idler light. And an optical parametric oscillator using at least one of the outputs as seed light.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記光パラメトリック発振ユニットの後段に、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の出力を種光とする光パラメトリック増幅器を有するようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention described above, in the latter stage of the optical parametric oscillation unit, the signal light corresponding to the excitation light and the idler light. And an optical parametric amplifier that uses at least one of the outputs as seed light.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記光パラメトリック発振ユニットの後段に、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の出力を新たな励起光とする光パラメトリック発振器を有するようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention described above, in the latter stage of the optical parametric oscillation unit, the signal light corresponding to the excitation light and the idler light. An optical parametric oscillator having at least one of the outputs as new pumping light is provided.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、上記光パラメトリック発振ユニットの後段に、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の出力を新たな励起光とする光パラメトリック増幅器を有するようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention described above, in the latter stage of the optical parametric oscillation unit, the signal light corresponding to the excitation light and the idler light. And an optical parametric amplifier that uses at least one of the outputs as new pumping light.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、さらに、上記光パラメトリック発振ユニットのそれぞれのレーザー出力を同軸上へ合成する偏光結合プリズムとを有するようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the polarization coupling for further combining the respective laser outputs of the optical parametric oscillation unit on the same axis in the above-described multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention. And a prism.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、さらに、上記光パラメトリック発振ユニットのそれぞれのレーザー出力を同軸上へ合成するプリズムとを有するようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is the above-described multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, and further includes a prism for synthesizing the laser outputs of the optical parametric oscillation units coaxially. It is made to have.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、さらに、上記光パラメトリック発振ユニットのそれぞれのレーザー出力を同軸上へ合成する誘電体ミラーとを有するようにしたものである。   The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is a dielectric that further combines the respective laser outputs of the optical parametric oscillation unit on the same axis in the above-described multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention. And a mirror.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記した本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置において、さらに、上記光パラメトリック発振ユニットのそれぞれのレーザー出力を同軸上へ合成する回折素子とを有するようにしたものである。   Also, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is a diffraction element for synthesizing the respective laser outputs of the optical parametric oscillation unit coaxially in the above-described multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention. It is made to have.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振方法は、複数の波長のレーザー光を出力する多波長発振型光パラメトリック発振方法において、レーザー出力するレーザー光の波長毎に独立してユニット化された光パラメトリック発振装置たる光パラメトリック発振ユニットを、レーザー出力として得たいレーザー光の波長にあわせて一つ以上設け、上記光パラメトリック発振ユニットのそれぞれからレーザー光をレーザー出力するようにしたものである。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation method according to the present invention is unitized independently for each wavelength of the laser beam output in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation method for outputting laser beams of a plurality of wavelengths. One or more optical parametric oscillating units, which are optical parametric oscillating devices, are provided according to the wavelength of the laser light desired to be obtained as laser output, and laser light is output from each of the optical parametric oscillating units.

本発明は、以上説明したように構成されているため、従来の技術と比較すると、複雑な構成を必要とせず、かつ、機械的な波長同調機構を必要としない多波長発振型光パラメトリック発振装置および多波長発振型光パラメトリック発振方法を提供することができるという優れた効果を奏する。   Since the present invention is configured as described above, it does not require a complicated configuration and does not require a mechanical wavelength tuning mechanism as compared with the prior art. In addition, an excellent effect is provided that a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation method can be provided.

図1は、従来の多波長発振型光パラメトリック発振装置の一例の概念構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a conceptual configuration of an example of a conventional multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device. 図2は、本発明による光パラメトリック発振ユニットの実施の形態の一例を示す概念構成説明図である。FIG. 2 is a conceptual configuration explanatory view showing an example of an embodiment of an optical parametric oscillation unit according to the present invention. 図3は、非同軸位相整合により所望の波長を出力させる手法について示す概念構成説明図である。FIG. 3 is a conceptual configuration explanatory diagram showing a method of outputting a desired wavelength by non-coaxial phase matching. 図4は、本発明による光パラメトリック発振ユニットの他の実施の形態を示す概念構成説明図である。FIG. 4 is a conceptual configuration explanatory view showing another embodiment of the optical parametric oscillation unit according to the present invention. 図5は、本発明による光パラメトリック発振ユニットの他の実施の形態を示す概念構成説明図である。FIG. 5 is a conceptual structural explanatory view showing another embodiment of the optical parametric oscillation unit according to the present invention. 図6は、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置の実施の形態の一例を示す概念構成説明図である。FIG. 6 is a conceptual configuration explanatory view showing an example of an embodiment of a multi-wavelength optical parametric oscillation device according to the present invention. 図7は、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置の実施の形態の一例を示す概念構成説明図である。FIG. 7 is a conceptual configuration explanatory view showing an example of an embodiment of a multi-wavelength optical parametric oscillation device according to the present invention. 図8は、本発明による光パラメトリック発振ユニットの他の実施の形態を示す概念構成説明図である。FIG. 8 is a conceptual configuration explanatory view showing another embodiment of the optical parametric oscillation unit according to the present invention. 図9は、本発明による光パラメトリック発振ユニットの他の実施の形態を示す概念構成説明図である。FIG. 9 is a conceptual configuration explanatory view showing another embodiment of the optical parametric oscillation unit according to the present invention. 図10は、本発明による光パラメトリック発振ユニットの他の実施の形態を示す概念構成説明図である。FIG. 10 is a conceptual configuration explanatory view showing another embodiment of the optical parametric oscillation unit according to the present invention. 図11は、複数の光パラメトリック発振ユニットから出射される複数の波長のレーザー光を同軸で多波長発振型光パラメトリック発振装置から出射する手法を示す概念構成説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram of a conceptual configuration showing a technique for emitting laser beams of a plurality of wavelengths emitted from a plurality of optical parametric oscillation units coaxially from a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device. 図12は、複数の光パラメトリック発振ユニットから出射される複数の波長のレーザー光を同軸で多波長発振型光パラメトリック発振装置から出射する手法を示す概念構成説明図である。FIG. 12 is a conceptual configuration explanatory view showing a technique for emitting a plurality of wavelengths of laser light emitted from a plurality of optical parametric oscillation units coaxially from a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device. 図13は、複数の光パラメトリック発振ユニットから出射される複数の波長のレーザー光を同軸で多波長発振型光パラメトリック発振装置から出射する手法を示す概念構成説明図である。FIG. 13 is a conceptual configuration explanatory view showing a technique for emitting a plurality of wavelengths of laser light emitted from a plurality of optical parametric oscillation units coaxially from a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device. 図14は、複数の光パラメトリック発振ユニットから出射される複数の波長のレーザー光を同軸で多波長発振型光パラメトリック発振装置から出射する手法を示す概念構成説明図である。FIG. 14 is a conceptual configuration explanatory view showing a technique for emitting a plurality of wavelengths of laser light emitted from a plurality of optical parametric oscillation units coaxially from a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device.

以下、添付の図面を参照しながら、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置および多波長発振型光パラメトリック発振方法の実施の形態について詳細に説明するものとする。   Hereinafter, embodiments of a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device and a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

なお、各図において同一または相当する構成については、同一の符号を付して示すことにより、その構成ならびに作用の詳細な説明は適宜に省略する。   In addition, about the structure which is the same or it corresponds in each figure, it attaches | subjects and shows the same code | symbol, and abbreviate | omits the detailed description of the structure and an effect | action suitably.

本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、レーザー出力するレーザー光の波長毎に独立してユニット化された光パラメトリック発振装置たる光パラメトリック発振ユニットを、レーザー出力として得たいレーザー光の波長にあわせて1ユニット以上設けるようにしたものである。   The multi-wavelength oscillating optical parametric oscillator according to the present invention has an optical parametric oscillating unit, which is an optical parametric oscillating device that is unitized independently for each wavelength of laser light to be output to the laser light having a wavelength desired to be obtained as a laser output. In addition, one or more units are provided.

図2には、こうした光パラメトリック発振ユニットの概念構成説明図が示されている。この図2に示す光パラメトリック発振ユニット10は、光パラメトリック発振によりレーザー出力としてある特定の所望の波長のレーザー光を出射するものであり、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置はこうした光パラメトリック発振ユニット10を1ユニット以上設けることにより構成される。   FIG. 2 shows a conceptual configuration explanatory diagram of such an optical parametric oscillation unit. The optical parametric oscillation unit 10 shown in FIG. 2 emits a laser beam having a specific desired wavelength as a laser output by optical parametric oscillation. The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention is such an optical parametric oscillator. It is configured by providing one or more oscillation units 10.

ここで、光パラメトリック発振ユニット10においては、高効率で所定の波長のレーザー光を回折する体積型回折格子などの体積型回折素子12と、所定の効率で所定の波長のレーザー光をレーザー出力として透過するとともにそれ以外のレーザー光を反射する出力結合鏡14とにより、レーザー共振器が構成されている。   Here, in the optical parametric oscillation unit 10, a volume type diffraction element 12 such as a volume type diffraction grating that diffracts a laser beam with a predetermined wavelength with high efficiency, and a laser beam with a predetermined wavelength with a predetermined efficiency as a laser output. A laser resonator is constituted by the output coupling mirror 14 that transmits and reflects other laser light.

そして、このレーザー共振器内に、非線形光学結晶としてBBO結晶16が設けられている。   In the laser resonator, a BBO crystal 16 is provided as a nonlinear optical crystal.

即ち、光パラメトリック発振ユニット10は、非線形光学結晶としてBBO結晶16を用い、高反射鏡として機能する体積型回折素子12と出力結合鏡14とによりレーザー共振器を構成しているものである。   That is, the optical parametric oscillation unit 10 uses a BBO crystal 16 as a nonlinear optical crystal, and a volume resonator element 12 functioning as a high reflection mirror and an output coupling mirror 14 constitute a laser resonator.

また、符号18は、レーザー共振器内に入射される励起光のプロファイルを整形してBBO結晶16に入射するための励起光整形光学系である。こうした励起光整形光学系18としては、例えば、球面レンズやシリンドリカルレンズなどを用いることができる。   Reference numeral 18 denotes an excitation light shaping optical system for shaping the profile of the excitation light entering the laser resonator and making it incident on the BBO crystal 16. As such an excitation light shaping optical system 18, for example, a spherical lens or a cylindrical lens can be used.

体積型回折素子12には、励起光整形光学系18を介して励起光が垂直入射(入射角0度)で入射されるように設定されている。   The volume diffractive element 12 is set so that the excitation light is incident at a normal incidence (incident angle 0 degree) via the excitation light shaping optical system 18.

なお、体積型回折素子12としては、垂直入射(入射角0度)で、例えば、99%以上の高回折効率が得られて正反射が行われる体積型回折素子を用いることが好ましい。   In addition, as the volume type diffraction element 12, it is preferable to use a volume type diffraction element in which normal reflection is performed with high diffraction efficiency of 99% or more at normal incidence (incidence angle 0 degree).

具体的には、体積型回折素子12に用いることができる体積型回折素子としては、例えば、米国特許第7,394,842号に開示された体積型回折素子にかかる発明を利用することができる。この米国特許第7,394,842号に開示された体積型回折素子にかかる発明による体積型回折素子は、米国のOptiGrate社から市販されている。   Specifically, as the volume type diffraction element that can be used for the volume type diffraction element 12, for example, the invention relating to the volume type diffraction element disclosed in US Pat. No. 7,394,842 can be used. . A volume diffractive element according to the invention relating to the volume diffractive element disclosed in US Pat. No. 7,394,842 is commercially available from OptiGrate, USA.

こうした市販されている体積型回折素子を本発明における体積型回折素子12として用いる場合には、光パラメトリック発振ユニット10からレーザー出力されるレーザー光のパルス幅および繰り返し周波数は、光パラメトリック発振ユニット10のレーザー共振器に入射される励起光の動作に準じることになる。   When such a commercially available volume type diffractive element is used as the volume type diffractive element 12 in the present invention, the pulse width and repetition frequency of the laser beam outputted from the optical parametric oscillation unit 10 are determined by the optical parametric oscillation unit 10. This is in accordance with the operation of excitation light incident on the laser resonator.

また、市販されている体積型回折素子は、最大回折効率が得られる波長を20pm単位で設定することができ、また、入射角度が0度入射(垂直入射)で99%以上の回折効率が得られ、かつ、シリケートガラスに回折格子が形成されているので、体積型回折素子の端面に励起光用の低反射率コーティングを施すことで、図2に示すように体積型回折素子12越しに励起光をBBO結晶16に照射することが可能である。   In addition, the commercially available volume diffractive element can set the wavelength at which the maximum diffraction efficiency is obtained in units of 20 pm, and can obtain a diffraction efficiency of 99% or more at an incident angle of 0 degree incidence (perpendicular incidence). In addition, since a diffraction grating is formed on the silicate glass, excitation is performed through the volume type diffraction element 12 as shown in FIG. 2 by applying a low reflectance coating for excitation light on the end face of the volume type diffraction element. It is possible to irradiate the BBO crystal 16 with light.

以上の構成において、光パラメトリック発振ユニット10のレーザー共振器内に励起光整形光学系18を介して励起光が入射されてBBO結晶16に集光されると、光パラメトリック発振によりレーザー出力として出力結合鏡14からレーザー光が出射される。   In the above configuration, when excitation light enters the laser resonator of the optical parametric oscillation unit 10 via the excitation light shaping optical system 18 and is condensed on the BBO crystal 16, output coupling is performed as laser output by optical parametric oscillation. Laser light is emitted from the mirror 14.

なお、この場合には、励起光は、体積型回折素子12に垂直入射(入射角0度)され、かつ、非線形光学結晶たるBBO結晶16のレーザー発振軸と同軸に入射されることになる。   In this case, the excitation light is perpendicularly incident on the volume type diffraction element 12 (incident angle 0 degree) and is incident on the same axis as the laser oscillation axis of the BBO crystal 16 which is a nonlinear optical crystal.

つまり、定まった波長で回折効率を高く設計し製作した体積型回折素子12をレーザー共振器の高反射鏡として用いて、単純な構成の光パラメトリック発振器を構築して光パラメトリック発振ユニット10とすることで、レーザー出力として予め定められた波長のレーザー光を出力することができる。   That is, an optical parametric oscillation unit 10 is constructed by constructing an optical parametric oscillator having a simple configuration by using the volume type diffraction element 12 designed and manufactured with high diffraction efficiency at a predetermined wavelength as a high reflection mirror of a laser resonator. Thus, laser light having a predetermined wavelength can be output as the laser output.

ここで、光パラメトリック発振ユニット10からの光出力は、励起光の波長とBBO結晶16への励起光の入射角度とに応じて決まるが、第2次非線形光学効果を用いる場合には、シグナル光とアイドラー光とのそれぞれ異なる二つの波長が出力される。   Here, the optical output from the optical parametric oscillation unit 10 is determined according to the wavelength of the excitation light and the incident angle of the excitation light to the BBO crystal 16, but in the case of using the second-order nonlinear optical effect, the signal light And two different wavelengths of the idler light are output.

励起光の波長(λpump)とシグナル光の波長(λsignal)とアイドラー光の波長(λidler)との関係は、
1/λpump=1/λsignal+1/λidler
で表される。
The relationship between the wavelength of the excitation light (λpump), the wavelength of the signal light (λsignal), and the wavelength of the idler light (λidler) is
1 / λpump = 1 / λsignal + 1 / λidler
It is represented by

ここで、
λsignal<λidler
と定義する。
here,
λsignal <λidler
It is defined as

非線形光学結晶たるBBO結晶16の温度あるいは角度を調整することで、シグナル光とアイドラー光との波長を変えることが可能であり、縮退点においては両者は同一波長となる。   By adjusting the temperature or angle of the BBO crystal 16 which is a nonlinear optical crystal, the wavelengths of the signal light and the idler light can be changed, and both have the same wavelength at the degenerate point.

即ち、
λsignal= λidler
となる。
That is,
λsignal = λidler
It becomes.

従って、光パラメトリック発振ユニット10を使用する環境温度を想定し、特定の波長が得られる方向にBBO結晶16をカットしたものを使用することで、体積型回折素子12の設計波長と同調した光パラメトリック発振出力を得ることが可能となる。   Therefore, assuming an environmental temperature in which the optical parametric oscillation unit 10 is used, an optical parametric unit that is tuned to the design wavelength of the volume type diffraction element 12 by using the one in which the BBO crystal 16 is cut in a direction in which a specific wavelength can be obtained. An oscillation output can be obtained.

ここで、光パラメトリック発振ユニット10において、光パラメトリック発生過程で得られるシグナル光とアイドラー光とのいずれか一方の波長領域において高回折効率が得られる体積型回折素子12を用いることにより、光パラメトリック発振ユニット10からシグナル光とアイドラー光との二つの波長のレーザー出力を得ることができる。   Here, in the optical parametric oscillation unit 10, by using the volume type diffractive element 12 that can obtain high diffraction efficiency in one of the wavelength regions of the signal light and idler light obtained in the optical parametric generation process, the optical parametric oscillation is achieved. The laser output of two wavelengths of signal light and idler light can be obtained from the unit 10.

具体的には、シグナル光の波長領域において高回折効率が得られる体積型回折素子12を用いた場合には、共振したシグナル光とそれに応じて差周波発生するアイドラー光との二つの波長のレーザー出力が得られ、少なくともいずれか一方の波長を所望の波長に同調させることができる。一方、アイドラー光の波長領域において高回折効率が得られる体積型回折素子12を用いた場合には、共振したアイドラー光とそれに応じて差周波発生するシグナル光との二つの波長のレーザー出力が得られ、少なくともいずれか一方の波長を所望の波長に同調させることができる。   Specifically, in the case where the volume type diffraction element 12 capable of obtaining high diffraction efficiency in the wavelength region of signal light is used, a laser having two wavelengths, that is, the resonated signal light and the idler light that is generated in accordance with the difference frequency. An output is obtained and at least one of the wavelengths can be tuned to the desired wavelength. On the other hand, when the volume type diffractive element 12 capable of obtaining high diffraction efficiency in the wavelength region of idler light is used, a laser output of two wavelengths of the resonated idler light and the signal light generated in accordance with the difference frequency is obtained. And at least one of the wavelengths can be tuned to a desired wavelength.

ここで、一つの光パラメトリック発振ユニット10において、二つの所望の波長を得る場合には、公知の波長可変レーザーを用いることで、励起光の波長を調整し、シグナル光の波長とアイドラー光の波長とをそれら二波長に容易に一致させることが可能となる。   Here, when two desired wavelengths are obtained in one optical parametric oscillation unit 10, the wavelength of the pumping light is adjusted by using a known wavelength tunable laser, and the wavelength of the signal light and the wavelength of the idler light are adjusted. Can be easily matched to these two wavelengths.

波長可変レーザーとしては、例えば、アレキサンドライト結晶やTi:サファイア結晶などを用いた固体レーザー、Yb添加ファイバーやYb添加ファイバーを用いたファイバーレーザー、BBO結晶やKTP結晶を使用した光パラメトリック発振器等に代表される、広帯域で利得を持つあらゆる媒質を使用したレーザー装置を用いることができる。   Examples of wavelength tunable lasers include solid lasers using Alexandrite crystals and Ti: sapphire crystals, fiber lasers using Yb-doped fibers and Yb-doped fibers, and optical parametric oscillators using BBO crystals and KTP crystals. In addition, a laser device using any medium having a wide band and gain can be used.

あらかじめ発振波長を共振器で固定してユニット化した光パラメトリック発振ユニット10を必要な波長の数だけ設定し、それぞれの光パラメトリック発振ユニット10からレーザー光を複数同軸上に出力することにより、信頼性の高い多波長発振型光パラメトリック発振装置を得ることができる。   By setting the number of required optical parametric oscillation units 10 in which the oscillation wavelength is fixed by a resonator in advance as many units as required, and outputting a plurality of laser beams from each optical parametric oscillation unit 10 on the same axis, reliability is improved. A multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device having a high value can be obtained.

次に、図3には、共振器軸に対して励起光の光軸が非線形光学結晶たるBBO結晶16内にて交差するようにして励起光を入射する、所謂、非同軸位相整合により、所望の波長を出力させる手法について示している。   Next, FIG. 3 shows that the pump light is incident so that the optical axis of the pump light intersects the resonator axis in the BBO crystal 16 which is a nonlinear optical crystal, so-called non-coaxial phase matching. It shows the method of outputting the wavelength of.

即ち、この場合には、励起光は、非線形光学結晶たるBBO結晶16のレーザー発振軸とは異なる方向から入射されることになる。   That is, in this case, the excitation light is incident from a direction different from the laser oscillation axis of the BBO crystal 16 which is a nonlinear optical crystal.

ここで、シグナル光において体積型回折素子12の回折効率を高く設計することで、反射シグナル光出力の発振方向は共振器軸により定められ、アイドラー光の出力方向は励起光およびシグナル光の波数ベクトルの整合により方向が定まるため、アイドラー光出力はシグナル光出力とは異なる方向に伝搬する。   Here, by designing the volume diffraction element 12 to have high diffraction efficiency in the signal light, the oscillation direction of the reflected signal light output is determined by the resonator axis, and the output direction of the idler light is the wave number vector of the excitation light and the signal light. Since the direction is determined by the matching, the idler light output propagates in a direction different from the signal light output.

従って、光学素子を使用せずに、励起光とアイドラー光とをシグナル光から分離することが可能となる。   Therefore, it is possible to separate the excitation light and idler light from the signal light without using an optical element.

次に、図4には、本発明による光パラメトリック発振ユニットの他の実施の形態が示されている。   Next, FIG. 4 shows another embodiment of the optical parametric oscillation unit according to the present invention.

この光パラメトリック発振ユニット20は、体積型回折素子12を通さずにBBO結晶16の片側から励起するようにしたリング共振器を構成するものである。なお、符号22は入力結合鏡であり、符号24は出力結合鏡である。   This optical parametric oscillation unit 20 constitutes a ring resonator which is excited from one side of the BBO crystal 16 without passing through the volume type diffraction element 12. Reference numeral 22 denotes an input coupling mirror, and reference numeral 24 denotes an output coupling mirror.

光パラメトリック発振ユニット20においては、体積型回折素子12は波長に対して45度入射で99%以上の回折効率が得られるように設計し、共振器の一つのミラーとして使用する。   In the optical parametric oscillation unit 20, the volume diffractive element 12 is designed so as to obtain a diffraction efficiency of 99% or more when incident at 45 degrees with respect to the wavelength, and is used as one mirror of the resonator.

この図4に示す例においては、BBO結晶16直後の出力結合鏡24を励起光波長とアイドラー光波長とに対して高透過率となるように設計することにより、体積型回折素子12に励起光出力を通過させず、かつ、アイドラー光出力をシグナル光出力と分離することが可能となる。   In the example shown in FIG. 4, the output coupling mirror 24 immediately after the BBO crystal 16 is designed to have a high transmittance with respect to the excitation light wavelength and the idler light wavelength, so that the volume diffractive element 12 has excitation light. It is possible to separate the idler light output from the signal light output without passing the output.

次に、図5には、本発明による光パラメトリック発振ユニットの他の実施の形態が示されている。   Next, FIG. 5 shows another embodiment of the optical parametric oscillation unit according to the present invention.

この光パラメトリック発振ユニット30は、SHG結晶32により体積型回折素子12で反射される光出力の第二高調波の波長(λSHG)を発生させることで、所望の波長を出力させる手法を示した構成例である。   The optical parametric oscillation unit 30 is configured to output a desired wavelength by generating a second harmonic wavelength (λSHG) of the optical output reflected by the volume diffraction element 12 by the SHG crystal 32. It is an example.

ここで、一つの所望の波長(λ1)との関係は、
λ1=λSHG =λsignal/2
で表される。
Here, the relationship with one desired wavelength (λ1) is
λ1 = λSHG = λsignal / 2
It is represented by

即ち、光パラメトリック発振ユニット30において、共振器内に第二高調波発生用の非線形光学素子たるSHG結晶32を設置することで、シグナル光の共振器内出力を入力として使用することが可能であり、非常に高い効率の第二高調波光を得ることができる。   That is, in the optical parametric oscillation unit 30, by installing the SHG crystal 32, which is a nonlinear optical element for generating second harmonics, in the resonator, it is possible to use the output of the signal light in the resonator as an input. The second harmonic light with very high efficiency can be obtained.

さらに、体積型回折素子12で反射される光と励起光との和周波混合光の波長(λSFG)を発生させること(1/λ1=1/λSFG=1/λpump+1/λsignal)や、シグナル光とアイドラー光との差周波混合光の波長 (λDFG)を発生させること(1/λ1=1/λDFG=1/λsignal−1/λidler)も可能であり、種々の波長変換過程を組み合わせて使用することで波長選択性が向上し、容易に所望の波長を出力させることが可能である。   Further, the wavelength (λSFG) of the sum frequency mixed light of the light reflected by the volume type diffraction element 12 and the excitation light (λSFG) is generated (1 / λ1 = 1 / λSFG = 1 / λpump + 1 / λsignal), signal light and It is possible to generate the wavelength (λDFG) of the difference frequency mixed light with the idler light (1 / λ1 = 1 / λDFG = 1 / λsignal-1 / λidler), and use various wavelength conversion processes in combination. Thus, wavelength selectivity is improved, and a desired wavelength can be easily output.

次に、図6には、光パラメトリック発振ユニット10を二つ用いて、第一の波長として波長Aと第二の波長として波長Bとの異なる二つの波長のレーザー光を出力する本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置の実施の形態の一例が示されている。   Next, FIG. 6 shows an example in which two optical parametric oscillation units 10 are used to output laser light having two wavelengths different from wavelength A as the first wavelength and wavelength B as the second wavelength. An example of an embodiment of a wavelength oscillation type optical parametric oscillation device is shown.

なお、図6に示す本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置40においては、波長Aのレーザー光(シグナル波長出力:波長λsignal1)をレーザー出力する光パラメトリック発振ユニット10は光パラメトリック発振ユニット10−Aの符号で示し、光パラメトリック発振ユニット10−Aにおける体積型回折格子12は波長A用体積型回折格子として符号12−Aで示し、光パラメトリック発振ユニット10−Aにおける波長A用のBBO結晶16はBBO結晶16−Aで示している。   In the multi-wavelength oscillating optical parametric oscillator 40 according to the present invention shown in FIG. 6, the optical parametric oscillating unit 10 that outputs laser light of wavelength A (signal wavelength output: wavelength λsignal1) is the optical parametric oscillating unit 10- The volume diffraction grating 12 in the optical parametric oscillation unit 10-A is denoted by reference numeral 12-A as the volumetric diffraction grating for wavelength A, and the BBO crystal 16 for wavelength A in the optical parametric oscillation unit 10-A is indicated by the symbol A. Is shown by BBO crystal 16-A.

同様に、図6に示す本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置40においては、波長Bのレーザー光(シグナル波長出力:波長λsignal2)をレーザー出力する光パラメトリック発振ユニット10は光パラメトリック発振ユニット10−Bの符号で示し、光パラメトリック発振ユニット10−Bにおける体積型回折格子12は波長B用体積型回折格子として符号12−Bで示し、光パラメトリック発振ユニット10−Bにおける波長B用のBBO結晶16はBBO結晶16−Bで示している。   Similarly, in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 40 according to the present invention shown in FIG. 6, the optical parametric oscillation unit 10 that outputs laser light of wavelength B (signal wavelength output: wavelength λsignal 2) is the optical parametric oscillation unit 10. The volume type diffraction grating 12 in the optical parametric oscillation unit 10-B is indicated by the code 12-B as the wavelength type B diffraction grating, and the wavelength B BBO crystal in the optical parametric oscillation unit 10-B. Reference numeral 16 denotes a BBO crystal 16-B.

なお、BBO結晶16−AとBBO結晶16−Bとの2個のBBO結晶は、通常、異なる設計のものを用いることになる。   It should be noted that two BBO crystals, BBO crystal 16-A and BBO crystal 16-B, usually have different designs.

また、符号42、44、46は光パラメトリック発振ユニット10−Aにおける励起光高反射鏡であり、符号48、50、52は光パラメトリック発振ユニット10−Bにおける励起光高反射鏡である。   Reference numerals 42, 44, and 46 are excitation light high reflection mirrors in the optical parametric oscillation unit 10-A, and reference numerals 48, 50, and 52 are excitation light high reflection mirrors in the optical parametric oscillation unit 10-B.

この多波長発振型光パラメトリック発振装置40は、さらなる高出力化を図ることができるものであり、共振器内部に励起光高反射鏡42、44、46、48、50、52を配置し、光パラメトリック発振ユニット10−Aと光パラメトリック発振ユニット10−Bとを通過させずに励起光を非線形光学結晶たるBBO結晶16−A、16−Bの片側から入射させ、励起光波長に応じたシグナル光出力より、波長Aと波長Bとの所望の二波長をそれぞれ光パラメトリック発振ユニット10−Aと光パラメトリック発振ユニット10−Bとで発生するようにしたものである。   This multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 40 can further increase the output, and the pumping light high reflection mirrors 42, 44, 46, 48, 50, 52 are disposed inside the resonator, Excitation light is incident from one side of the BBO crystals 16-A and 16-B, which are nonlinear optical crystals, without passing through the parametric oscillation unit 10-A and the optical parametric oscillation unit 10-B, and signal light corresponding to the wavelength of the excitation light From the output, two desired wavelengths, wavelength A and wavelength B, are generated by the optical parametric oscillation unit 10-A and the optical parametric oscillation unit 10-B, respectively.

即ち、光パラメトリック発振ユニット10−Aと光パラメトリック発振ユニット10−Bとはそれぞれ、中心にBBO結晶16−A、16−Bを配置し、それぞれその両側の一方側(図6における左方側)に共振器の高反射鏡として波長A用体積型回折格子12−Aと波長B用体積型回折格子12−Bとを配置し、その両側の他方側(図6における右方側)に共振器の出力結合鏡42、48を配置するように配設した。   That is, each of the optical parametric oscillation unit 10-A and the optical parametric oscillation unit 10-B has the BBO crystals 16-A and 16-B arranged at the center, and one side of each side (left side in FIG. 6). A volumetric diffraction grating for wavelength A 12-A and a volumetric diffraction grating for wavelength B 12-B are disposed as high-reflection mirrors in the resonator, and the resonator is disposed on the other side of the both sides (the right side in FIG. 6). The output coupling mirrors 42 and 48 are arranged.

こうした多波長発振型光パラメトリック発振装置40によれば、共振器内に配置した励起光高反射鏡42、44、46、48、50、52によって光パラメトリック出力と励起光出力との光路を分離できる。   According to such a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 40, the optical path between the optical parametric output and the excitation light output can be separated by the excitation light high reflection mirrors 42, 44, 46, 48, 50, 52 arranged in the resonator. .

多波長発振型光パラメトリック発振装置40においては、励起光は波長A用体積型回折格子12−A、波長B用体積型回折格子12−Bを通過することがないため、励起光が波長A用体積型回折格子12−A、波長B用体積型回折格子12−Bを通過することに伴うレーザー強度の低減を避けることができるとともに、励起光が波長A用体積型回折格子12−A、波長B用体積型回折格子12−Bを通過することに伴う波長A用体積型回折格子12−A、波長B用体積型回折格子12−Bの損傷が防止され、結果として高出力化が可能となる。   In the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 40, since the excitation light does not pass through the wavelength type A volume diffraction grating 12-A and the wavelength B volume type diffraction grating 12-B, the excitation light is used for the wavelength A. It is possible to avoid a reduction in laser intensity associated with passing through the volume type diffraction grating 12-A and the wavelength type B volume diffraction grating 12-B, and the excitation light is used for the wavelength type A volume type diffraction grating 12-A and the wavelength. Damage to the wavelength A volume diffraction grating 12-A and the wavelength B volume diffraction grating 12-B due to passing through the B volume diffraction grating 12-B is prevented, resulting in higher output. Become.

また、光パラメトリック発振ユニット10−A、10−B内に入射された励起光を折り返す励起光折り返し鏡として機能する励起光高反射鏡46、52を設置したため、励起光はBBO結晶16−A、16−Bを2回通過することになり、励起光の強度の閾値を最大で約2倍程度下げることが可能になる。   In addition, since the excitation light high reflection mirrors 46 and 52 functioning as excitation light folding mirrors for folding the excitation light incident in the optical parametric oscillation units 10-A and 10-B are provided, the excitation light is transmitted from the BBO crystal 16-A, 16-B is passed twice, and the threshold value of the intensity of the excitation light can be lowered about twice as much as the maximum.

ここで、多波長発振型光パラメトリック発振装置40における励起光としては、Nd:YAGレーザーの第二高調波を使用することができ、例えば、光パラメトリック発振ユニット10−A、10−Bともそれぞれパルス幅10ns程度のパルスレーザー光を用いればよい。   Here, the second harmonic of an Nd: YAG laser can be used as the excitation light in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 40. For example, each of the optical parametric oscillation units 10-A and 10-B is pulsed. A pulsed laser beam having a width of about 10 ns may be used.

光パラメトリック発振ユニット10−Aと光パラメトリック発振ユニット10−Bとのそれぞれにパルス幅10nsの励起光を用いることで、レーザー出力として同等のパルス幅のレーザー光を得ることができる。   By using excitation light having a pulse width of 10 ns for each of the optical parametric oscillation unit 10-A and the optical parametric oscillation unit 10-B, laser light having an equivalent pulse width can be obtained as a laser output.

また、多波長発振型光パラメトリック発振装置40は、共振器構成が上記した従来の多波長発振型光パラメトリック発振装置100よりも単純で、かつ、共振器内素子が非線形光学結晶たるBBO結晶と鏡以外にないことから、従来の多波長発振型光パラメトリック発振装置100に比べて2倍以上の発振効率を得ることができる。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 40 has a resonator configuration simpler than the conventional multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 100 described above, and a BBO crystal and a mirror whose elements in the resonator are nonlinear optical crystals. Therefore, it is possible to obtain oscillation efficiency more than twice that of the conventional multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 100.

また、光パラメトリック発振ユニット10−Aと光パラメトリック発振ユニット10−Bとに入射する励起光は、同一の光源から得るものに限られるものではなく、光パラメトリック発振ユニット10−Aと光パラメトリック発振ユニット10−Bとでそれぞれ異なる独立の光源から得ることができる。   Further, the excitation light incident on the optical parametric oscillation unit 10-A and the optical parametric oscillation unit 10-B is not limited to that obtained from the same light source, but the optical parametric oscillation unit 10-A and the optical parametric oscillation unit. 10-B can be obtained from independent light sources.

光パラメトリック発振ユニット10−Aと光パラメトリック発振ユニット10−Bとでそれぞれ異なる独立の光源から励起光を得る場合には、励起用光源(例えば、Nd:YAGレーザーである。)のそれぞれの規模を小さくすることができ、システム設計上、安定性の高い励起レーザーを使うことができるようになる。   When the excitation light is obtained from different independent light sources in the optical parametric oscillation unit 10-A and the optical parametric oscillation unit 10-B, the scale of each of the excitation light sources (for example, Nd: YAG laser) is set. This makes it possible to use a pump laser with high stability in terms of system design.

なお、図1に示すような体積型回折素子を用いない従来の高反射鏡と出力結合鏡との2枚の鏡により構成される共振器構成においても、BBO結晶でType−1位相整合の光パラメトリック発生過程の縮退点近辺を避けて使用する場合には、結晶角度調整だけで可視光から近赤外光の領域では数nmのスペクトル線幅とnm単位での中心波長精度で発振出力を得ることが可能である。   Note that, even in a resonator configuration including two conventional mirrors, ie, a high-reflection mirror and an output coupling mirror that do not use a volume type diffraction element as shown in FIG. When used near the degeneracy point of the parametric generation process, oscillation output is obtained with a spectral line width of several nm and center wavelength accuracy in nm units in the visible to near-infrared region only by adjusting the crystal angle. It is possible.

一方、多波長発振型光パラメトリック発振装置40のように、波長A用体積型回折格子12−Aならびに波長B用体積型回折格子12−Bとして上記した市販の体積型回折格子を用いる場合には、その波長選択能は、温調された素子では20pmまで可能になっているため、通常の吸収スペクトルには容易に同調でき、20pm単位で波長を設定することができる。   On the other hand, when the above-described commercially available volume diffraction grating is used as the wavelength diffraction grating 12-A and the wavelength diffraction grating 12-B as in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 40, The wavelength selectability of the temperature-controlled element can be up to 20 pm, so that it can be easily tuned to a normal absorption spectrum, and the wavelength can be set in units of 20 pm.

例えば、多波長発振型光パラメトリック発振装置40において、波長λpump=532nmの励起光をθ1=21°カットのBBO結晶16−Aに対して室温(T1=20℃)で垂直入射する場合には、シグナル光波長λsignal1〜700nm、アイドラー光波長約λidler1〜2218nmの出力が得られ、700nmで回折効率を99%以上で設計した波長A用体積型回折格子12−Aを使用することで、温調によりさらに20pm単位で正確に同調可能な700nm帯の波長Aを得ることができる。   For example, in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 40, when the excitation light having the wavelength λpump = 532 nm is perpendicularly incident on the BBO crystal 16-A cut by θ1 = 21 ° at room temperature (T1 = 20 ° C.), Output of signal light wavelength λsignal 1 to 700 nm, idler light wavelength about λidler 1 to 2218 nm is obtained, and by using the wavelength type volumetric diffraction grating 12-A designed with a diffraction efficiency of 99% or more at 700 nm, the temperature can be adjusted. Furthermore, it is possible to obtain a wavelength A in the 700 nm band that can be accurately tuned in units of 20 pm.

ここで、θ(θ1、θ2)はBBO結晶16(BBO結晶16−A、BBO結晶16−B)の主平面内における光軸とレーザー入射方向のなす角度として定義される。   Here, θ (θ1, θ2) is defined as an angle formed by the optical axis and the laser incident direction in the main plane of the BBO crystal 16 (BBO crystal 16-A, BBO crystal 16-B).

一方、同じ環境下で、励起光源からの分岐出力を使用し、θ2=22°カットのBBO結晶16−Bに室温(T2=20℃)で垂直入射することで、シグナル光波長λsignal2〜800nm、アイドラー光波長λidler2〜1589nmの出力が得られ、800nmで回折効率を99%以上で設計した波長B用体積型回折格子12−Bを使用することで、温調によりさらに20pm単位で正確に同調可能な800nm帯の波長Bを得ることができる。   On the other hand, by using the branched output from the excitation light source under the same environment, the signal light wavelength λsignal 2 to 800 nm is obtained by perpendicularly incident on the BBO crystal 16-B cut at θ2 = 22 ° at room temperature (T2 = 20 ° C.). Output of idler wavelength λidler 2 to 1589 nm can be obtained, and by using volume diffraction grating 12-B for wavelength B designed with a diffraction efficiency of 99% or more at 800 nm, it can be precisely tuned by 20 pm by temperature control. A wavelength B in the 800 nm band can be obtained.

また、光パラメトリック発振ユニット10−Aと光パラメトリック発振ユニット10−Bとのそれぞれにおける出力結合鏡14をアイドラー光で高反射となるように設計することで、シグナル光から得られる特定の2波長(波長Aおよび波長B)のみを、多波長発振型光パラメトリック発振装置40から取り出すことが可能になる。   Further, by designing the output coupling mirror 14 in each of the optical parametric oscillation unit 10-A and the optical parametric oscillation unit 10-B to be highly reflected by idler light, two specific wavelengths obtained from signal light ( Only the wavelength A and the wavelength B) can be extracted from the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 40.

次に、図7には、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置の他の実施の形態が示されている。   Next, FIG. 7 shows another embodiment of the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention.

この図7に示す多波長発振型光パラメトリック発振装置60は、発振波長精度を高めるために、波長A用体積型回折格子12−Aと波長B用体積型回折格子12−Bとをそれぞれヒートシンク62−A、62−Bに設置し、室温より高く設定する場合にはヒーターを内蔵させ、低く設定する場合には電子冷却機構を取り入れるようにした点において、多波長レーザー発振装置40と異なっている。   The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 60 shown in FIG. 7 includes a heat sink 62 and a wavelength diffraction pattern for volume A 12-A and a wavelength diffraction pattern for volume B 12-B. -A, 62-B is different from the multi-wavelength laser oscillation device 40 in that a heater is built in when set higher than room temperature and an electronic cooling mechanism is incorporated when set lower than room temperature. .

本願発明者の実験によると、多波長発振型光パラメトリック発振装置60によれば、1Kあたりの変化で8pm回折波長をシフトすることができた。   According to the experiment by the present inventor, according to the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 60, it was possible to shift the 8 pm diffraction wavelength by a change per 1K.

即ち、波長A用体積型回折格子12−Aと波長B用体積型回折格子12−Bとを同じ設計とし、ヒートシンク62−A、62−Bにより設置温度を10℃変えることで、発振波長を80pm変えることができた。   In other words, the wavelength A volume diffraction grating 12-A and the wavelength B volume diffraction grating 12-B have the same design, and the installation temperature is changed by 10 ° C. by the heat sinks 62-A and 62-B. 80 pm could be changed.

一方、波長532nmの励起光を使用し、1cmのBBO結晶をθ=22°でカットしたものを使用した場合には、共振器軸方向におけるシグナルのスペクトル線幅は5nm以下となり、シグナル光の共振器内のラウンドトリップ数で狭線化されるが、本発明による体積型回折素子の温度同調幅から比べると十分に広い。   On the other hand, when excitation light with a wavelength of 532 nm is used and a 1 cm BBO crystal cut at θ = 22 ° is used, the spectral line width of the signal in the resonator axis direction is 5 nm or less, and the resonance of the signal light Although it is narrowed by the number of round trips in the chamber, it is sufficiently wider than the temperature tuning width of the volume type diffractive element according to the present invention.

つまり、所望の波長Aと波長Bとが近接している場合には、同じ設計の波長A用体積型回折格子12−Aおよび波長B用体積型回折格子12−Bと同じ設計のBBO結晶16−AおよびBBO結晶16−Bとを準備し、ヒートシンク62−A、62−Bにより波長A用体積型回折格子12−Aと波長B用体積型回折格子12−Bとをそれぞれの波長に温度同調させることで、多波長発振型光パラメトリック発振装置60を大気中の水蒸気観測のための差分吸収型レーザーレーダーの光源として利用可能である。   In other words, when the desired wavelength A and the wavelength B are close to each other, the BBO crystal 16 having the same design as the volumetric diffraction grating 12-A for wavelength A and the volumetric diffraction grating 12-B for wavelength B having the same design. -A and BBO crystal 16-B are prepared, and the volumetric diffraction grating for wavelength A 12-A and the volumetric diffraction grating for wavelength B 12-B are heated to the respective wavelengths by the heat sinks 62-A and 62-B. By tuning, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 60 can be used as a light source of a differential absorption type laser radar for observation of water vapor in the atmosphere.

一方、所望の波長Aと波長Bが近接していない場合においては、波長A用体積型回折格子12−Aと波長B用体積型回折格子12−Bとは別設計とする必要があるが、ヒーターや電子冷却機構を装備することで、使用環境温度が多少変化した場合においても、正確に発振波長を定めることが可能となる。   On the other hand, when the desired wavelength A and the wavelength B are not close to each other, the wavelength A volume diffraction grating 12-A and the wavelength B volume diffraction grating 12-B need to be designed separately. Equipped with a heater and an electronic cooling mechanism makes it possible to accurately determine the oscillation wavelength even when the operating environment temperature changes slightly.

次に、図8には、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置を構成する光パラメトリック発振ユニットの他の実施の形態が示されている。   Next, FIG. 8 shows another embodiment of an optical parametric oscillation unit constituting the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention.

この図8に示す光パラメトリック発振ユニット70は、出力結合鏡を設置せずに光パラメトリック発生器および増幅器を構成し、所望の波長において高反射率の折り返しミラーとして波長A用体積型回折素子12−Aを用いたものであり、出力結合鏡を設けていない点において光パラメトリック発振ユニット10−Aと異なる。   The optical parametric oscillation unit 70 shown in FIG. 8 constitutes an optical parametric generator and amplifier without installing an output coupling mirror, and serves as a wavelength A volumetric diffractive element 12-as a reflection mirror having high reflectivity at a desired wavelength. A is different from the optical parametric oscillation unit 10-A in that an output coupling mirror is not provided.

ここで、光パラメトリック発振ユニット70において、励起光は高反射鏡42によりBBO結晶16−Aに入射され、光パラメトリック発生過程により励起光の波長に応じたシグナル光とアイドラー光がBBO結晶16−Aから発生する。励起光は高反射鏡44、46により再度、BBO結晶16−Aに入射され、波長A用体積型回折素子12−Aにより反射されるシグナル光あるいはアイドラー光をBBO結晶16−A内で増幅するという、所謂、光パラメトリック発生・増幅器を構成する。このような光パラメトリック発振ユニットは、励起光のパルス幅がピコ秒やフェムト秒パルスのように、ピークパワーが高いが、共振器を組んだ際にラウンドトリップ数が稼げない場合に有効な手段となる。   Here, in the optical parametric oscillation unit 70, the excitation light is incident on the BBO crystal 16-A by the high reflecting mirror 42, and the signal light and idler light corresponding to the wavelength of the excitation light are converted into the BBO crystal 16-A by the optical parametric generation process. Arising from. The excitation light is again incident on the BBO crystal 16-A by the high reflection mirrors 44 and 46, and the signal light or idler light reflected by the wavelength type volume diffractive element 12-A is amplified in the BBO crystal 16-A. This constitutes a so-called optical parametric generation / amplifier. Such an optical parametric oscillation unit is an effective means when the pulse width of the pumping light is high, such as a picosecond or femtosecond pulse, but the number of round trips cannot be achieved when a resonator is assembled. Become.

次に、図9には、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置を構成する光パラメトリック発振ユニットの他の実施の形態が示されている。   Next, FIG. 9 shows another embodiment of an optical parametric oscillation unit constituting the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention.

この図9に示す光パラメトリック発振ユニット72は、共振器内に波長A用体積型回折素子12−Aを構成した光パラメトリック発振ユニット10−Aと、励起光高反射鏡73と入力結合鏡74と出力結合鏡75と非線形光学結晶であるBBO結晶16とで発振器を構成した公知の光パラメトリック発振器76とを組み合わせて構成した例である。   The optical parametric oscillating unit 72 shown in FIG. 9 includes an optical parametric oscillating unit 10-A in which a volume A diffraction element 12-A is formed in a resonator, a high excitation light reflecting mirror 73, an input coupling mirror 74, and the like. In this example, the output coupling mirror 75 and the BBO crystal 16 that is a nonlinear optical crystal are combined with a known optical parametric oscillator 76 that constitutes an oscillator.

波長A用体積型回折素子12−Aの効果により、狭線幅のシグナル光とアイドラー光とが得られるため、ここではシグナル光を狭線幅種光として、光パラメトリック発振ユニット10−Aの後段に公知の光パラメトリック発振器76を構成することで、増幅したシグナル光あるいはアイドラー光により、所望の波長において狭線幅でさらなる高出力化が可能となる。   Since the narrow-line-width signal light and idler light can be obtained by the effect of the volumetric diffraction element 12-A for wavelength A, the signal light is used as the narrow-line-width seed light here, and the latter stage of the optical parametric oscillation unit 10-A. By configuring the known optical parametric oscillator 76, it is possible to further increase the output with a narrow line width at a desired wavelength by the amplified signal light or idler light.

なお、光パラメトリック発振ユニット72におけるBBO結晶16と光パラメトリック発振器76におけるBBO結晶16との2個のBBO結晶は、通常、同じ設計のものを用いることになる。   The two BBO crystals, the BBO crystal 16 in the optical parametric oscillation unit 72 and the BBO crystal 16 in the optical parametric oscillator 76, are usually of the same design.

また、図9に示す光パラメトリック発振ユニット72において、出力結合鏡14を備えた光パラメトリック発振ユニット10−Aに代えて、光パラメトリック発振ユニット70のように出力結合鏡を設置しない光パラメトリック発振ユニットからの出力を種光として用いることもできる。   Further, in the optical parametric oscillation unit 72 shown in FIG. 9, instead of the optical parametric oscillation unit 10-A provided with the output coupling mirror 14, an optical parametric oscillation unit such as the optical parametric oscillation unit 70 in which no output coupling mirror is installed is used. Can be used as seed light.

また、図9に示す光パラメトリック発振ユニット72において、光パラメトリック発振器76に代えて、光パラメトリック発振ユニット10−Aの後段に出力結合鏡を設置しない公知の光パラメトリック増幅器を組み合わせて使用してもよい。   Further, in the optical parametric oscillation unit 72 shown in FIG. 9, instead of the optical parametric oscillator 76, a known optical parametric amplifier in which an output coupling mirror is not provided at the subsequent stage of the optical parametric oscillation unit 10-A may be used in combination. .

次に、図10には、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置を構成する光パラメトリック発振ユニットの他の実施の形態が示されている。   Next, FIG. 10 shows another embodiment of the optical parametric oscillation unit constituting the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention.

この図10に示す光パラメトリック発振ユニット77は、共振器内に体積型回折素子12を構成した光パラメトリック発振ユニット11と、入力結合鏡74と出力結合鏡75と非線形光学結晶であるBBO結晶16’とで発振器を構成した公知の光パラメトリック発振器78とを組み合わせて構成した例である。   The optical parametric oscillation unit 77 shown in FIG. 10 includes an optical parametric oscillation unit 11 in which a volume type diffraction element 12 is formed in a resonator, an input coupling mirror 74, an output coupling mirror 75, and a BBO crystal 16 ′ which is a nonlinear optical crystal. And a known optical parametric oscillator 78 that constitutes an oscillator.

なお、光パラメトリック発振ユニット11におけるBBO結晶16と光パラメトリック発振器78におけるBBO結晶16’との2個のBBO結晶は、通常、異なる設計のものを用いることになる。   Note that two BBO crystals of the BBO crystal 16 in the optical parametric oscillation unit 11 and the BBO crystal 16 ′ in the optical parametric oscillator 78 are usually of different designs.

また、符号79は、前段に位置する光パラメトリック発振器たる光パラメトリック発振ユニット11のシグナル波長出力(前段シグナル波長出力)と、後段に位置する光パラメトリック発振器78のシグナル波長出力(後段シグナル波長出力)およびアイドラー波長出力(後段アイドラー波長出力)とを弁別して出力する弁別鏡である。   Reference numeral 79 denotes a signal wavelength output (front-stage signal wavelength output) of the optical parametric oscillation unit 11 which is an optical parametric oscillator located at the front stage, a signal wavelength output (back-end signal wavelength output) of the optical parametric oscillator 78 located at the rear stage, and It is a discriminating mirror that discriminates and outputs an idler wavelength output (second-stage idler wavelength output).

体積型回折素子12の効果により、狭線幅のシグナル光とアイドラー光とが得られるため、ここではシグナル光を狭線幅励起光として、光パラメトリック発振ユニット11の後段に公知の光パラメトリック発振器78を構成することで、前段のシグナル光の波長に応じて新たに異なる波長のシグナル光とアイドラー光との発生が可能となり、少なくともいずれか一方を所望の波長へ同調することが可能となる。   Since the signal light and idler light with a narrow line width can be obtained by the effect of the volume type diffraction element 12, here, a known optical parametric oscillator 78 is used in the subsequent stage of the optical parametric oscillation unit 11 by using the signal light as narrow line width excitation light. By configuring the above, it becomes possible to newly generate signal light and idler light having different wavelengths according to the wavelength of the signal light in the previous stage, and at least one of them can be tuned to a desired wavelength.

前段の光パラメトリック発振ユニット11で発生されるシグナル光の波長(λsignal1)と、後段の光パラメトリック発振器78の励起光の波長(λpump1’)と、後段の光パラメトリック発振器78で新たに発生するシグナル光の波長(λsignal1’)と、後段の光パラメトリック発振器78で新たに発生するアイドラー光の波長(λidler1’)との関係は、
1/λsignal1 =1/λpump1’=1/λsignal1’+1/λidler1’
で表される。
The wavelength of signal light (λsignal1) generated by the optical parametric oscillation unit 11 at the front stage, the wavelength of pumping light (λpump1 ′) of the optical parametric oscillator 78 at the rear stage, and the signal light newly generated by the optical parametric oscillator 78 at the rear stage. And the wavelength of the idler light (λidler1 ′) newly generated by the optical parametric oscillator 78 at the subsequent stage is as follows:
1 / λsignal1 = 1 / λpump1 ′ = 1 / λsignal1 ′ + 1 / λidler1 ′
It is represented by

つまり、光パラメトリック発振ユニット77によれば、直列に配置した2段の光パラメトリック発振器から4波長、前段の励起光波長含めると5波長得られることになり、波長選択性が著しく向上し、容易に所望の波長を複数出力させることが可能である。   In other words, according to the optical parametric oscillation unit 77, four wavelengths can be obtained from the two-stage optical parametric oscillators arranged in series, and five wavelengths can be obtained if the preceding pumping light wavelengths are included. It is possible to output a plurality of desired wavelengths.

また、図10に示す光パラメトリック発振ユニット77において、出力結合鏡14を備えた光パラメトリック発振ユニット11に代えて、光パラメトリック発振ユニット70のように出力結合鏡を設置しない光パラメトリック発振ユニットからの出力を励起光として用いることもできる。   Further, in the optical parametric oscillation unit 77 shown in FIG. 10, instead of the optical parametric oscillation unit 11 provided with the output coupling mirror 14, an output from an optical parametric oscillation unit that does not include an output coupling mirror, such as the optical parametric oscillation unit 70, is provided. Can also be used as excitation light.

また、図10に示す光パラメトリック発振ユニット77において、光パラメトリック発振器78に代えて、光パラメトリック発振ユニット11の後段に出力結合鏡を設置しない公知の光パラメトリック増幅器を組み合わせて使用してもよい。   Further, in the optical parametric oscillation unit 77 shown in FIG. 10, a known optical parametric amplifier in which an output coupling mirror is not installed at the subsequent stage of the optical parametric oscillation unit 11 may be used in combination in place of the optical parametric oscillator 78.

次に、図11、図12、図13ならびに図14を参照しながら、本発明による複数の光パラメトリック発振ユニットから出射される複数の波長のレーザー光を同軸で多波長発振型光パラメトリック発振装置から出射する手法について説明する。   Next, referring to FIG. 11, FIG. 12, FIG. 13 and FIG. 14, a plurality of wavelengths of laser light emitted from a plurality of optical parametric oscillation units according to the present invention are coaxially transmitted from a multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device. A method of emitting light will be described.

まず、図11には、光パラメトリック発振ユニット10−Aから出射される波長Aのレーザー光と光パラメトリック発振ユニット10−Bから出射される波長Bのレーザー光とを光学手段で合成して同軸で出射する場合の例を示している。   First, in FIG. 11, a laser beam having a wavelength A emitted from the optical parametric oscillation unit 10-A and a laser beam having a wavelength B emitted from the optical parametric oscillation unit 10-B are synthesized by optical means and are coaxial. An example in the case of emission is shown.

具体的には、波長Aと波長Bとの二波長出力時の波長Aと波長Bとの出力の合成を、光学手段たる偏光結合プリズム80のs偏光入射とp偏光入射とによる偏光合成で同軸出力するようにしたものである。   Specifically, the output of the wavelength A and the wavelength B at the time of the two-wavelength output of the wavelength A and the wavelength B is combined by the polarization combination by the s-polarized light incidence and the p-polarized light incident of the polarization coupling prism 80 as an optical means. It is designed to output.

次に、図12は、光パラメトリック発振ユニット10−Aから出射される波長Aのレーザー光と光パラメトリック発振ユニット10−Bから出射される波長Bのレーザー光とを光学手段で合成して同軸で出射する場合の例を示している。     Next, in FIG. 12, the laser beam having the wavelength A emitted from the optical parametric oscillation unit 10-A and the laser beam having the wavelength B emitted from the optical parametric oscillation unit 10-B are synthesized by optical means and coaxial. An example in the case of emission is shown.

具体的には、波長Aと波長Bとの二波長出力時の波長Aと波長Bとの出力の合成を、光学手段たるプリズム82の波長による光屈折角の違いを利用して、同軸出力するようにしたものである。   Specifically, the output of the wavelength A and the wavelength B at the time of the two-wavelength output of the wavelength A and the wavelength B is coaxially output using the difference in the light refraction angle depending on the wavelength of the prism 82 which is an optical means. It is what I did.

次に、図13は、光パラメトリック発振ユニット10−Aから出射される波長Aのレーザー光と光パラメトリック発振ユニット10−Bから出射される波長Bのレーザー光とを光学手段で合成して同軸で出射する場合の例を示している。   Next, FIG. 13 shows a coaxial arrangement of a laser beam having a wavelength A emitted from the optical parametric oscillation unit 10-A and a laser beam having a wavelength B emitted from the optical parametric oscillation unit 10-B. An example in the case of emission is shown.

具体的には、波長Aと波長Bとの二波長出力時の波長Aと波長Bとの出力の合成を、光学手段たる、誘電体多層膜を基盤の表面に蒸着した、所謂、誘電体ミラー84を介して、波長Aにおいて高透過率で波長Bにおいて高反射率で同軸出力するようにしたものである。   Specifically, the so-called dielectric mirror in which the output of the wavelength A and the wavelength B at the time of the two-wavelength output of the wavelength A and the wavelength B is an optical means, and a dielectric multilayer film is deposited on the surface of the substrate. 84, coaxial output is performed with high transmittance at wavelength A and high reflectivity at wavelength B.

次に、図14は、光パラメトリック発振ユニット10−Aから出射される波長Aのレーザー光と光パラメトリック発振ユニット10−Bから出射される波長Bのレーザー光と光パラメトリック発振ユニット10−Cから出射される波長Cのレーザー光と光パラメトリック発振ユニット10−Dから出射される波長Dのレーザー光とを光学手段で合成して同軸で出射する場合の例を示している。   Next, FIG. 14 shows a laser beam having a wavelength A emitted from the optical parametric oscillation unit 10-A, a laser beam having a wavelength B emitted from the optical parametric oscillation unit 10-B, and an optical parametric oscillation unit 10-C. In this example, the laser beam having the wavelength C and the laser beam having the wavelength D emitted from the optical parametric oscillation unit 10-D are combined by optical means and emitted coaxially.

同一軸で同等の偏波方向を持つ出力が必要な場合には、図12に示すように、光学手段たる回折素子90、92、94の回折によるビーム結合により光路合成すればよい。   When outputs having the same polarization direction on the same axis are required, as shown in FIG. 12, optical paths may be synthesized by beam combination by diffraction of diffraction elements 90, 92, and 94 as optical means.

また、図14に示す構成によれば、二波長以上の波長のレーザー出力の同軸出力が可能になる。   In addition, according to the configuration shown in FIG. 14, it is possible to perform coaxial output of laser outputs having two or more wavelengths.

以上において説明したように、上記した実施の形態による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、特定の第1の波長のレーザー光に関して、垂直入射で99%以上の正反射が行われる体積型回折素子を高反射鏡とし、この高反射鏡と出力結合鏡とによりレーザー共振器を構成して、このレーザー共振器内に非線形光学結晶を配置して第1の光パラメトリック発振ユニットを構成するとともに、特定の第2の波長のレーザー光に関して、垂直入射で99%以上の正反射が行われる体積型回折素子を高反射鏡とし、この高反射鏡と出力結合鏡とによりレーザー共振器を構成して、このレーザー共振器内に非線形光学結晶を配置して第2の光パラメトリック発振ユニットを構成するようにした。   As described above, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the above-described embodiment is a volume type diffraction element in which regular reflection of 99% or more is performed at normal incidence with respect to a laser beam having a specific first wavelength. A high-reflecting mirror is used to form a laser resonator with the high-reflecting mirror and the output coupling mirror, and a nonlinear optical crystal is arranged in the laser resonator to form the first optical parametric oscillation unit. With respect to the laser light of the second wavelength, a volume type diffractive element that performs regular reflection of 99% or more at normal incidence is used as a high reflection mirror, and a laser resonator is configured by the high reflection mirror and the output coupling mirror. A second optical parametric oscillation unit is configured by arranging a nonlinear optical crystal in the laser resonator.

また、上記した実施の形態による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、さらに、それぞれの光パラメトリック発振ユニットより得られるシグナル光とアイドラー光との両方あるいはどちらか一方の出力を同軸で出力する光学手段を設けるようにした。   In addition, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the above-described embodiment is further provided with optical means for coaxially outputting the output of either or both of the signal light and idler light obtained from each optical parametric oscillation unit. It was made to provide.

従って、上記した実施の形態による多波長発振型光パラメトリック発振装置においては、第1の光パラメトリック発振ユニットと第2の光パラメトリック発振ユニットとの二つの波長のレーザー光の出力タイミングを検出器(公知の検出器を用いることができる。)で弁別できる範囲でずらして同軸で出力し、二波長光源とすることできる。   Therefore, in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the above-described embodiment, the output timing of the laser light of the two wavelengths of the first optical parametric oscillation unit and the second optical parametric oscillation unit is detected by a detector (known in the art). Can be used as a dual wavelength light source.

これにより、従来の波長可変レーザー装置100などと比較すると、全体の光学系を簡便で小さくすることができ、また、精密な波長同調機構を排することができる。   Thereby, as compared with the conventional wavelength tunable laser device 100 and the like, the entire optical system can be made simple and small, and a precise wavelength tuning mechanism can be eliminated.

なお、複数波長を同一光路で出射する用途では、予め出射すべき波長が決まっていることが多い。   In applications where a plurality of wavelengths are emitted through the same optical path, the wavelengths to be emitted are often determined in advance.

例えば、水蒸気をモニタリングするための差分吸収型レーザーレーダーの光源として上記した実施の形態による多波長発振型光パラメトリック発振装置を用いる場合には、大気の水蒸気の吸収の強い第1の波長(オン波長)と、大気の水蒸気の吸収が弱く他の大気構成物質の吸収の影響が小さい第2の波長(オフ波長)とを予め定め、これらの波長が発生できるように上記した実施の形態による多波長発振型光パラメトリック発振装置の波長を同調させておけばよい。   For example, when the multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the above-described embodiment is used as a light source of a differential absorption laser radar for monitoring water vapor, the first wavelength (on-wavelength) in which atmospheric water vapor is strongly absorbed is used. ) And a second wavelength (off wavelength) that is weak in the absorption of water vapor in the atmosphere and less affected by the absorption of other atmospheric constituents, and has a plurality of wavelengths according to the above-described embodiment so that these wavelengths can be generated. The wavelength of the oscillation type optical parametric oscillation device may be tuned.

即ち、出射のたびに波長同調を行う光源でなくとも、上記した実施の形態による多波長発振型光パラメトリック発振装置のように、小型の波長が定まった光源たる光パラメトリック発振ユニットからレーザー光を複数同軸に出射することで、予め出射すべき波長が決まっている光源とすることができる。   That is, even if it is not a light source that performs wavelength tuning each time it is emitted, a plurality of laser beams are emitted from an optical parametric oscillation unit that is a light source having a small wavelength as in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the above-described embodiment. By emitting coaxially, it is possible to obtain a light source whose wavelength to be emitted is determined in advance.

また、差分吸収型レーザーレーダーにおける、オン波長とオフ波長とが、周波数スケールで1−5GHzレベルと近接している場合には、同じ設計の体積型回折素子を精密温調し、それぞれ異なる温度に設定することで第1の波長としてのオン波長と第2の波長としてのオフ波長とを得ることができる。   Also, in the differential absorption laser radar, when the on wavelength and the off wavelength are close to the 1-5 GHz level on the frequency scale, the volume diffractive element of the same design is precisely temperature-controlled, and the temperature is varied. By setting, an ON wavelength as the first wavelength and an OFF wavelength as the second wavelength can be obtained.

また、上記した実施の形態による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、特定の二波長に限らず、複数の波長毎の独立した光源たる光パラメトリック発振ユニットの出力を同軸あるいは非同軸で重畳することにより、簡便な多波長発生光源を実現することができるので、種々の計測器搭載用の光源として好適である。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the above-described embodiment is not limited to two specific wavelengths, but superimposes the output of the optical parametric oscillation unit, which is an independent light source for each of a plurality of wavelengths, coaxially or non-coaxially. Therefore, since a simple multi-wavelength generation light source can be realized, it is suitable as a light source for mounting various measuring instruments.

上記したように、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、図1に示す従来の多波長発振型光パラメトリック発振装置100がシグナル光あるいはアイドラー光のいずれか一方の波長を機械的に同調することにより、二波長のレーザー光を交互に出力することで二波長光源を実現したのに対し、レーザー出力するレーザー光の波長毎に独立してユニット化された光パラメトリック発振装置たる光パラメトリック発振ユニットを、レーザー出力として得たいレーザー光の波長にあわせて1ユニット以上設けるようにして、複数の波長のレーザー光を同軸または非同軸で同時または交互に出力する多波長光源を実現できる。   As described above, in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, the conventional multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 100 shown in FIG. 1 mechanically tunes the wavelength of either signal light or idler light. By doing so, a dual-wavelength light source was realized by alternately outputting two-wavelength laser light, whereas an optical parametric oscillation device that is a unitized optical parametric oscillator for each wavelength of laser light output by the laser. By providing one or more units according to the wavelength of the laser beam to be obtained as the laser output, it is possible to realize a multi-wavelength light source that outputs laser beams of a plurality of wavelengths simultaneously or alternately in a coaxial or non-coaxial manner.

従って、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置によれば、従来の技術と比較すると、複雑な構成を必要とせず、かつ、機械的な波長同調機構を必要としない。   Therefore, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention does not require a complicated configuration and does not require a mechanical wavelength tuning mechanism as compared with the prior art.

このように本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置においては、波長毎にコンパクトな光源をユニット化することができ、冗長性の高い複数波長出力可能な光パラメトリック発振装置を構成することができる。   As described above, in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, a compact light source can be unitized for each wavelength, and an optical parametric oscillation device capable of outputting a plurality of wavelengths with high redundancy can be configured. .

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、その構成に複雑で不安定な機械的同調機構を含まないので、安定した波長出力が可能となる。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention does not include a complicated and unstable mechanical tuning mechanism in its configuration, so that stable wavelength output is possible.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置においては、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の波長を長波長側に波長変換して出力するようにしてもよい。   In the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, at least one of the signal light corresponding to the excitation light and the idler light may be wavelength-converted to the long wavelength side and output. Good.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置においては、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の波長を短波長側に波長変換して出力するようにしてもよい。   In the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, at least one of the signal light and the idler light corresponding to the excitation light may be wavelength-converted to the short wavelength side and output. Good.

なお、上記した各実施の形態において、非線形光学結晶の利得が高い場合は、出力結合鏡は必ずしも装置内に設ける必要はなく、体積型回折素子を折り返し鏡として使用した光パラメトリック発生・増幅器としても機能させることが可能である。   In each of the above embodiments, when the gain of the nonlinear optical crystal is high, the output coupling mirror does not necessarily have to be provided in the apparatus, and may be an optical parametric generation / amplifier using a volume diffraction element as a folding mirror. It is possible to make it work.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置においては、体積型回折素子を高反射鏡として用いた一つの光パラメトリック発振装置を構成し、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうちいずれか一方の波長を種光として、後段に公知の光パラメトリック発振器あるいは増幅器を構成してもよい。   Further, in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, one optical parametric oscillation device using the volume type diffraction element as a high reflection mirror is configured, and the signal light and idler light corresponding to the excitation light are constituted. A known optical parametric oscillator or amplifier may be configured in the subsequent stage using either one of the wavelengths as seed light.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置においては、体積型回折素子を高反射鏡として用いた一つの光パラメトリック発振装置を構成し、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうちいずれか一方の波長を新たな励起光として、後段に公知の光パラメトリック発振器あるいは増幅器を構成してもよい。   Further, in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention, one optical parametric oscillation device using the volume type diffraction element as a high reflection mirror is configured, and the signal light and idler light corresponding to the excitation light are constituted. A known optical parametric oscillator or amplifier may be configured in the subsequent stage using either one of the wavelengths as new pumping light.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置は、上記における説明に示されているように、一つの光パラメトリック発振ユニットで構成してもよいものであり、即ち、この場合には光パラメトリック発振ユニットが多波長発振型光パラメトリック発振装置そのものとなる。   Further, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to the present invention may be constituted by one optical parametric oscillation unit as shown in the above description, that is, in this case, the optical parametric oscillation unit The oscillation unit becomes the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device itself.

また、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置や光パラメトリック発振ユニットにおいて用いる励起光は、例えば、波長可変レーザーから出力されたレーザー光を用いることができる。   In addition, as the excitation light used in the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device or the optical parametric oscillation unit according to the present invention, for example, laser light output from a wavelength tunable laser can be used.

ここで、波長可変レーザーとは、例えば、アレキサンドライト結晶やTi:サファイア結晶などを用いた固体レーザー、Yb添加ファイバーやYb添加ファイバーを用いたファイバーレーザー、BBO結晶やKTP結晶を使用した光パラメトリック発振器や光パラメトリック増幅器などに代表される、広帯域で利得を持つあらゆる媒質を使用したレーザー装置を意味するものとする。   Here, the tunable laser is, for example, a solid laser using an alexandrite crystal or a Ti: sapphire crystal, a fiber laser using a Yb-doped fiber or a Yb-doped fiber, an optical parametric oscillator using a BBO crystal or a KTP crystal, This means a laser apparatus using any medium having a wide band and gain, such as an optical parametric amplifier.

また、上記した各実施の形態においては、非線形光学結晶としてBBO結晶を用いた場合について説明したが、非線形光学結晶の材質はこれに限られるものではなく、例えば、KTiOPO4、LiB3O5、BiB3O6、LiNbO3、KNbO3、AgGaS2、ZnGeP2などに代表されるような光パラメトリック発生過程を有するあらゆるバルク結晶あるいは反転分極型結晶、導波路型デバイスなどを用いてもよい。   In each of the above-described embodiments, the case where the BBO crystal is used as the nonlinear optical crystal has been described. However, the material of the nonlinear optical crystal is not limited to this, and for example, KTiOPO4, LiB3O5, BiB3O6, LiNbO3, Any bulk crystal having a parametric generation process such as KNbO 3, AgGaS 2, ZnGeP 2 or the like, an inversion polarization type crystal, a waveguide type device, or the like may be used.

本発明は、差分吸収型レーザーレーダーの光源や、特開2010−42158に開示された光超音波断層画像化装置の光源として利用することができるものである。   The present invention can be used as a light source of a differential absorption type laser radar or a light source of an optical ultrasonic tomographic imaging apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-42158.

なお、上記した光超音波断層画像化装置の光源として利用する場合には、生体組織等の特定物質を吸収する第1の波長と生体組織等の特定物質を吸収しない第2の波長とを設定することにより、本発明による多波長発振型光パラメトリック発振装置および多波長発振型光パラメトリック発振方法を利用することができるものである。   When used as a light source of the above-described optical ultrasonic tomographic imaging apparatus, a first wavelength that absorbs a specific substance such as biological tissue and a second wavelength that does not absorb the specific substance such as biological tissue are set. By doing so, the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device and the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation method according to the present invention can be used.

10、10−A、10−B、11、20、30、70、72、77 光パラメトリック発振ユニット
12 体積型回折素子
14、24 出力結合鏡
16、16−A、16−B BBO結晶
18 励起光整形光学系
22 入力結合鏡
32 SHG結晶
40、60 多波長発振型光パラメトリック発振装置
42、44、46、48、50、52、73 励起光高反射鏡
62−A、62−B ヒートシンク
74 入力結合鏡
75 出力結合鏡
76、78 光パラメトリック発振器
79 弁別鏡
80 偏光結合プリズム
82 プリズム
84 誘電体ミラー
90、92、94 回折素子
100 多波長発振型光パラメトリック発振装置
102 高反射鏡
104 出力結合鏡
106、108 BBO結晶
110 入力結合鏡
112 エタロン
114 BBO結晶回転機構
116 BBO結晶回転機構
118 エタロン傾斜調整機構
10, 10-A, 10-B, 11, 20, 30, 70, 72, 77 Optical parametric oscillation unit 12 Volumetric diffraction element 14, 24 Output coupling mirror 16, 16-A, 16-B BBO crystal 18 Excitation light Shaping optical system 22 Input coupling mirror 32 SHG crystal 40, 60 Multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 42, 44, 46, 48, 50, 52, 73 Excitation light high reflection mirror 62-A, 62-B Heat sink 74 Input coupling Mirror 75 Output coupling mirror 76, 78 Optical parametric oscillator 79 Discrimination mirror 80 Polarization coupling prism 82 Prism 84 Dielectric mirror 90, 92, 94 Diffraction element 100 Multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device 102 High reflection mirror 104 Output coupling mirror 106, 108 BBO crystal 110 Input coupling mirror 112 Etalon 114 BBO crystal rotation mechanism 1 6 BBO crystal rotation mechanism 118 etalon tilt adjustment mechanism

Claims (18)

複数の波長のレーザー光を出力する多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
レーザー出力するレーザー光の波長毎に独立してユニット化された光パラメトリック発振装置たる光パラメトリック発振ユニットを構成し、
レーザー出力として得たいレーザー光の波長にあわせて前記光パラメトリック発振ユニットを一つ以上設けるようにした
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
In a multi-wavelength optical parametric oscillation device that outputs laser beams of a plurality of wavelengths,
Configure an optical parametric oscillation unit, which is an optical parametric oscillation device that is unitized independently for each wavelength of laser light that is output by the laser,
One or more optical parametric oscillation units are provided in accordance with the wavelength of laser light desired to be obtained as laser output.
請求項1に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
前記光パラメトリック発振ユニットは、
光パラメトリック発生過程で得られるシグナル光とアイドラー光とのいずれか一方の波長領域において高回折効率が得られる体積型回折素子を用いて光パラメトリック共振器を構成した
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to claim 1,
The optical parametric oscillation unit is:
Multi-wavelength oscillation type characterized in that an optical parametric resonator is constructed using a volume type diffractive element capable of obtaining high diffraction efficiency in one of the wavelength range of signal light and idler light obtained in the optical parametric generation process Optical parametric oscillator.
請求項1に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
前記光パラメトリック発振ユニットは、
光パラメトリック発生過程で得られるシグナル光とアイドラー光とのいずれか一方の波長領域において高回折効率が得られる体積型回折素子を用いて光パラメトリック増幅器を構成した
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to claim 1,
The optical parametric oscillation unit is:
Multi-wavelength oscillating light characterized in that an optical parametric amplifier is constructed using a volume type diffractive element capable of obtaining high diffraction efficiency in either wavelength region of signal light or idler light obtained in the process of optical parametric generation Parametric oscillator.
請求項1、請求項2または請求項3のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
前記光パラメトリック発振ユニットは、励起光が非線形光学結晶のレーザー発振軸と同軸に入射される
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
In the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to any one of claims 1, 2, or 3,
In the optical parametric oscillation unit, the excitation light is incident on the same axis as the laser oscillation axis of the nonlinear optical crystal.
請求項1、請求項2または請求項3のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
前記光パラメトリック発振ユニットは、励起光が非線形光学結晶のレーザー発振軸と異なる方向から入射される
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
In the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to any one of claims 1, 2, or 3,
In the optical parametric oscillation unit, the excitation light is incident from a direction different from the laser oscillation axis of the nonlinear optical crystal.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4または請求項5のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
前記光パラメトリック発振ユニットは、励起光が波長可変レーザーより出力されたレーザー光である
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to any one of claims 1, 2, 3, 4, or 5,
The optical parametric oscillation unit is a laser beam in which excitation light is output from a wavelength tunable laser. A multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device.
請求項2、請求項3、請求項4、請求項5または請求項6のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
前記光パラメトリック発振ユニットは、
前記体積型回折素子を設置するヒートシンクを有し、
前記ヒートシンクにより前記体積型回折素子を温調して回折波長をシフトさせて波長同調を行う
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to any one of claims 2, 3, 4, 5, or 6,
The optical parametric oscillation unit is:
A heat sink for installing the volume type diffraction element;
A multi-wavelength oscillating optical parametric oscillating device characterized in that the volume diffractive element is temperature-controlled by the heat sink to shift the diffraction wavelength to perform wavelength tuning.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6または請求項7のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の波長を長波長側に波長変換して出力する
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
In the multi-wavelength optical parametric oscillation device according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 5, 6, or 7,
A multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device characterized in that at least one of signal light and idler light corresponding to excitation light is wavelength-converted to the long wavelength side and output.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6または請求項7のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の波長を短波長側に波長変換して出力する
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
In the multi-wavelength optical parametric oscillation device according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 5, 6, or 7,
A multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device characterized in that at least one of signal light and idler light corresponding to excitation light is wavelength-converted to a short wavelength side and output.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8または請求項9のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
前記光パラメトリック発振ユニットの後段に、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の出力を種光とする光パラメトリック発振器を有する
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, and 9. In the device
A multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation characterized by having an optical parametric oscillator using, as a seed light, an output of at least one of signal light corresponding to pumping light and idler light at a subsequent stage of the optical parametric oscillation unit apparatus.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8または請求項9のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
前記光パラメトリック発振ユニットの後段に、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の出力を種光とする光パラメトリック増幅器を有する
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, and 9. In the device
A multi-wavelength oscillating optical parametric oscillation characterized by having an optical parametric amplifier using, as a seed light, an output of at least one of signal light and idler light corresponding to pumping light after the optical parametric oscillation unit apparatus.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8または請求項9のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
前記光パラメトリック発振ユニットの後段に、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の出力を新たな励起光とする光パラメトリック発振器を有する
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, and 9. In the device
A multi-wavelength oscillation type light having an optical parametric oscillator that uses at least one of signal light and idler light corresponding to pump light as a new pump light after the optical parametric oscillation unit Parametric oscillator.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8または請求項9のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、
前記光パラメトリック発振ユニットの後段に、励起光に応じたシグナル光とアイドラー光とのうち少なくともいずれか一方の出力を新たな励起光とする光パラメトリック増幅器を有する
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
The multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, and 9. In the device
A multi-wavelength oscillation type light having an optical parametric amplifier that uses at least one of signal light corresponding to excitation light and idler light as new excitation light after the optical parametric oscillation unit Parametric oscillator.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8、請求項9、請求項10、請求項11、請求項12または請求項13のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、さらに、
前記光パラメトリック発振ユニットのそれぞれのレーザー出力を同軸上へ合成する偏光結合プリズムと
を有することを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
Claim 1, Claim 2, Claim 3, Claim 4, Claim 5, Claim 6, Claim 7, Claim 8, Claim 9, Claim 11, Claim 12, or Claim In the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to any one of 13,
A multi-wavelength oscillating optical parametric oscillating device comprising: a polarization coupling prism that synthesizes the laser outputs of the optical parametric oscillating units coaxially.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8、請求項9、請求項10、請求項11、請求項12または請求項13のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、さらに、
前記光パラメトリック発振ユニットのそれぞれのレーザー出力を同軸上へ合成するプリズムと
を有することを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
Claim 1, Claim 2, Claim 3, Claim 4, Claim 5, Claim 6, Claim 7, Claim 8, Claim 9, Claim 11, Claim 12, or Claim In the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to any one of 13,
A multi-wavelength oscillating optical parametric oscillating device comprising: a prism that synthesizes the laser outputs of the optical parametric oscillating units coaxially.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8、請求項9、請求項10、請求項11、請求項12または請求項13のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、さらに、
前記光パラメトリック発振ユニットのそれぞれのレーザー出力を同軸上へ合成する誘電体ミラーと
を有することを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
Claim 1, Claim 2, Claim 3, Claim 4, Claim 5, Claim 6, Claim 7, Claim 8, Claim 9, Claim 11, Claim 12, or Claim In the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to any one of 13,
A multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device, comprising: a dielectric mirror that synthesizes the laser outputs of the optical parametric oscillation units coaxially.
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8、請求項9、請求項10、請求項11、請求項12または請求項13のいずれか1項に記載の多波長発振型光パラメトリック発振装置において、さらに、
前記光パラメトリック発振ユニットのそれぞれのレーザー出力を同軸上へ合成する回折素子と
を有することを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振装置。
Claim 1, Claim 2, Claim 3, Claim 4, Claim 5, Claim 6, Claim 7, Claim 8, Claim 9, Claim 11, Claim 12, or Claim In the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation device according to any one of 13,
A multi-wavelength oscillating optical parametric oscillating device comprising: a diffractive element for synthesizing laser outputs of the optical parametric oscillating units coaxially.
複数の波長のレーザー光を出力する多波長発振型光パラメトリック発振方法において、
レーザー出力するレーザー光の波長毎に独立してユニット化された光パラメトリック発振装置たる光パラメトリック発振ユニットを、レーザー出力として得たいレーザー光の波長にあわせて一つ以上設け、前記光パラメトリック発振ユニットのそれぞれからレーザー光をレーザー出力する
ことを特徴とする多波長発振型光パラメトリック発振方法。
In the multi-wavelength oscillation type optical parametric oscillation method for outputting laser beams of a plurality of wavelengths,
At least one optical parametric oscillation unit, which is an optical parametric oscillation device unitized independently for each wavelength of the laser beam to be output, is provided according to the wavelength of the laser beam to be obtained as a laser output. A multi-wavelength oscillating optical parametric oscillation method characterized by laser output of laser light from each.
JP2015105932A 2015-05-25 2015-05-25 Multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device and multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation method Pending JP2016218373A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015105932A JP2016218373A (en) 2015-05-25 2015-05-25 Multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device and multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015105932A JP2016218373A (en) 2015-05-25 2015-05-25 Multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device and multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2016218373A true JP2016218373A (en) 2016-12-22

Family

ID=57582007

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015105932A Pending JP2016218373A (en) 2015-05-25 2015-05-25 Multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device and multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2016218373A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109149346A (en) * 2018-08-30 2019-01-04 长春理工大学 A kind of more optical parametric oscillators realized Energy Reversal and change intracavitary regulation
CN109842012A (en) * 2019-03-19 2019-06-04 中国计量科学研究院 For exporting the generating device of laser and method of multiwavelength laser
CN110888118A (en) * 2019-11-18 2020-03-17 中国科学院上海技术物理研究所 Differential absorption laser radar transmitter for detecting atmospheric pressure
JP2020144164A (en) * 2019-03-04 2020-09-10 日本電信電話株式会社 Optical signal processor
WO2023234322A1 (en) * 2022-06-01 2023-12-07 国立研究開発法人理化学研究所 Laser oscillator and laser oscillation method

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109149346A (en) * 2018-08-30 2019-01-04 长春理工大学 A kind of more optical parametric oscillators realized Energy Reversal and change intracavitary regulation
JP2020144164A (en) * 2019-03-04 2020-09-10 日本電信電話株式会社 Optical signal processor
JP7153271B2 (en) 2019-03-04 2022-10-14 日本電信電話株式会社 optical signal processor
CN109842012A (en) * 2019-03-19 2019-06-04 中国计量科学研究院 For exporting the generating device of laser and method of multiwavelength laser
CN110888118A (en) * 2019-11-18 2020-03-17 中国科学院上海技术物理研究所 Differential absorption laser radar transmitter for detecting atmospheric pressure
CN110888118B (en) * 2019-11-18 2023-05-05 中国科学院上海技术物理研究所 Differential absorption laser radar transmitter for detecting atmospheric pressure
WO2023234322A1 (en) * 2022-06-01 2023-12-07 国立研究開発法人理化学研究所 Laser oscillator and laser oscillation method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7724788B2 (en) Wavelength-agile laser transmitter using optical parametric oscillator
JP3909867B2 (en) Laser equipment
JP4749156B2 (en) Electromagnetic wave generator
US5291503A (en) Internally stimulated optical parametric oscillator/laser
JP3997450B2 (en) Wavelength converter
JP2016218373A (en) Multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation device and multiwavelength oscillation type optical parametric oscillation method
JP5388166B2 (en) Terahertz wave generator and method
CN110112642B (en) Optical parametric oscillator
US6295160B1 (en) Broad tuning-range optical parametric oscillator
JP2004219967A (en) Terahertz wave generator and measuring apparatus thereof
JP6532295B2 (en) Multi-wavelength laser oscillation apparatus and multi-wavelength laser oscillation method
JP2006171624A (en) Terahertz wave generation system
JP4276323B2 (en) Terahertz wave generator
JP2007052288A (en) Beam generator and terahertz beam generator provided with the same
JP4531163B2 (en) Optical parametric oscillator
JP2010066381A (en) Wavelength variable terahertz wave generating apparatus
JP6542874B2 (en) Method and apparatus for generating cavity enhanced broadband intrapulse difference frequency
US9170470B1 (en) Non-planer, image rotating optical parametric oscillator
JP2001024264A (en) Wavelength converting laser device
JP2010066380A (en) Wavelength variable terahertz wave generating apparatus
US5734666A (en) Method for selecting wavelength in wavelength-tunable lasers and laser oscillators capable of selecting wavelengths in wavelength-tunable lasers
CN211351244U (en) Nanosecond pulse narrow-linewidth optical parametric oscillator for seed light injection
Berrou et al. Fine frequency tuning and±3 MHz frequency stabilisation of a nanosecond mid-infrared doubly resonant optical parametric oscillator
CN107482433A (en) Optical parametric oscillator
JP2007052289A (en) Beam generator and terahertz beam generator provided with the same