JP2016179611A - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】圧力室からノズルまでの流路抵抗を低減する。【解決手段】液体噴射ヘッドは、Ｘ方向に配列されてインクが充填される複数の圧力室ＳCと、圧力室ＳCに連通する第１連通孔ＱAと第１連通孔ＱAをノズルＮに連通させる第２連通孔ＱBとが圧力室ＳC毎に形成された流路基板とを具備する。複数の圧力室ＳCのうち第１圧力室ＳC1に対応する第２連通孔ＱB1と、複数の圧力室ＳCのうち第１圧力室ＳC1に隣合う第２圧力室ＳC2に対応する第２連通孔ＱB2とは、Ｘ方向に交差するＹ方向における位置が相違し、第２圧力室ＳC2に対応する第２連通孔ＱB2は、第１圧力室ＳC1に平面視で重なる。【選択図】図５

Description

本発明は、インク等の液体を噴射する技術に関する。

圧力室に充填されたインク等の液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドが従来から提案されている。例えば特許文献１には、相互に隣合う２個の圧力室の間で端部の位置を相違させ、各圧力室の端部に重なる位置にノズルを形成した構成が開示されている。

特開２０１２−１５２９７０号公報

複数のノズルを高密度に配置するためには、圧力室からノズルまでの流路の微細化が必要である。しかし、流路の微細化（流路面積の縮小）により流路抵抗が増大し、結果的に各ノズルに対する液体の供給量が不足するといった問題が発生し得る。以上の事情を考慮して、本発明は、圧力室からノズルまでの流路抵抗を低減することを目的とする。

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、第１方向に配列され、液体が充填される複数の圧力室と、圧力室に連通する第１連通孔と第１連通孔をノズルに連通させる第２連通孔とが圧力室毎に形成された流路基板とを具備し、複数の圧力室のうち第１圧力室に対応する第２連通孔と、複数の圧力室のうち第１圧力室に隣合う第２圧力室に対応する第２連通孔とは、第１方向に交差する第２方向における位置が相違し、第２圧力室に対応する第２連通孔は、第１圧力室に平面視で重なる。以上の態様では、第２圧力室に対応する第２連通孔が第１圧力室に平面視で重なるから、第２圧力室に対応する第２連通孔が第１圧力室に重ならない構成と比較して第２連通孔の流路面積が拡大される。したがって、第２圧力室からノズルまでの流路抵抗を低減することが可能である。

本発明の好適な態様において、第１圧力室に対応する第１連通孔は、第２圧力室に対応する第１連通孔と比較して第２方向における第１側に位置し、第１圧力室に対応する第２連通孔は、当該第１圧力室に対応する第１連通孔のうち第１側の領域に平面視で重なり、第２圧力室に対応する第２連通孔は、当該第２圧力室に対応する第１連通孔のうち第１側とは反対側の第２側の領域に平面視で重なる。以上の態様では、第２方向における第１連通孔の位置を第１圧力室と第２圧力室とで相違させた構成により、第１圧力室に対応する第２連通孔と第２圧力室に対応する第２連通孔とで第２方向における位置を相違させることが可能である。したがって、第１圧力室と第２圧力室とで第２方向の位置を相違させる必要がないという利点がある。例えば、第１方向における第１側の端部の位置を、第１圧力室と第２圧力室とで共通させることが可能である。

本発明の好適な態様において、第１圧力室のうち第１方向における第１側の端部は、第２圧力室のうち第１方向における第１側の端部と比較して第１側に位置し、第１圧力室に対応する第２連通孔は、当該第１圧力室のうち第１側の端部に平面視で重なり、第２圧力室に対応する第２連通孔は、当該第２圧力室のうち第１側の端部に平面視で重なる。以上の態様では、第２方向における第１側の端部の位置を第１圧力室と第２圧力室とで相違させることにより、第１圧力室に対応する第２連通孔と第２圧力室に対応する第２連通孔とで第２方向における位置を相違させることが可能である。したがって、第１連通孔に対する第２連通孔の相対的な位置を第１圧力室と第２圧力室とで共通させることが可能である。

本発明の好適な態様において、第１方向における第１連通孔の幅は、第１方向における圧力室の幅を下回る。以上の態様では、第１連通孔の幅が圧力室の幅を下回るから、第１方向における第１連通孔と圧力室との相対的な位置関係に誤差が発生した場合でも、第１連通孔を所期の圧力室のみに連通させることが可能である。すなわち、第１連通孔と圧力室との相対的な位置関係について許容誤差を確保できるという利点がある。

本発明の好適な態様において、第１方向における第１連通孔の幅は、第１方向における複数の圧力室の配列のピッチを下回る。以上の態様では、第１連通孔の幅が圧力室の配列のピッチを下回るから、相互に隣合う第１連通孔の間の隔壁の厚さ（ひいては機械的な強度）を確保し易い。したがって、各第１連通孔の間の隔壁を介した圧力変動の伝播に起因した噴射特性の誤差を低減できるという利点がある。

本発明の好適な態様において、第１方向における第２連通孔の幅は、第１方向における複数の圧力室の配列のピッチを上回る。以上の態様では、第２連通孔の幅が圧力室の配列のピッチを上回るから、第２連通孔の流路抵抗を低減できるという前述の効果は格別に顕著である。

本発明の好適な態様に係る液体噴射装置は、以上の各態様に係る液体噴射ヘッドを具備する。液体噴射ヘッドの好例は、液体の一例であるインクを噴射する印刷装置であるが、本発明に係る液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。

本発明の第１実施形態に係る印刷装置の構成図である。 液体噴射ヘッドの分解斜視図である。 液体噴射ヘッドの断面図である。 ノズル板の平面図である。 連通流路と圧力室との関係を説明するための平面図である。 図５におけるVI−VI線の断面図（第１圧力室を通過する断面）である。 図５におけるVII−VII線の断面図（第２圧力室を通過する断面）である。 図５におけるVIII−VIII線の断面図である。 第２実施形態における連通流路および圧力室の平面図である。 変形例における流路基板および圧力室基板の断面図である。 変形例における流路基板および圧力室基板の断面図である。 変形例における流路基板および圧力室基板の断面図である。 変形例に係る印刷装置の構成図である。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係るインクジェット方式の印刷装置１０の部分的な構成図である。第１実施形態の印刷装置１０は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体（噴射対象）１２に噴射する液体噴射装置の一例であり、制御装置２２と搬送機構２４と液体噴射モジュール２６とを具備する。印刷装置１０には、インクを貯留する液体容器（カートリッジ）１４が装着される。

制御装置２２は、印刷装置１０の各要素を統括的に制御する。搬送機構２４は、制御装置２２による制御のもとで媒体１２をＹ方向に搬送する。液体噴射モジュール２６は、複数の液体噴射ヘッド１００を包含する。第１実施形態の液体噴射モジュール２６は、Ｙ方向に交差（典型的には直交）するＸ方向に沿って複数の液体噴射ヘッド１００が配列（いわゆる千鳥配置またはスタガ配置）されたラインヘッドである。各液体噴射ヘッド１００は、液体容器１４から供給されるインクを制御装置２２による制御のもとで媒体１２に噴射する。搬送機構２４による媒体１２の搬送に並行して各液体噴射ヘッド１００が媒体１２にインクを噴射することで媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、Ｘ-Ｙ平面（例えば媒体１２の表面に平行な平面）に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。各液体噴射ヘッド１００によるインクの噴射方向（例えば鉛直方向の下向き）がＺ方向に相当する。

図２は、任意の１個の液体噴射ヘッド１００の分解斜視図であり、図３は、図２におけるIII−III線の断面図（Ｙ-Ｚ平面に平行な断面）である。図２および図３に例示される通り、第１実施形態の液体噴射ヘッド１００は、流路基板３２のうちＺ方向の負側の面上に圧力室基板３４と振動部３６と筐体４２と保護部材４４とを設置するとともに、流路基板３２のうちＺ方向の正側の面上にノズル板４６とコンプライアンス部４８とを設置した積層構造体である。液体噴射ヘッド１００の各要素は、概略的にはＸ方向に長尺な略平板状の部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。

図２および図３に例示される通り、第１実施形態のノズル板４６は、複数のノズル（噴射孔）ＮがＸ方向に沿って形成された平板材であり、例えば接着剤を利用して流路基板３２のうちＺ方向の正側の表面に固定される。図４は、流路基板３２側（Ｚ方向の負側）からみたノズル板４６の平面図である。図４に例示される通り、第１実施形態の複数のノズルＮは、複数のノズルＮ1と複数のノズルＮ2とを包含する。複数のノズルＮ1の配列は、複数のノズルＮ2の配列に対してＹ方向の正側に位置する。複数のノズルＮ1はＸ方向に沿って所定のピッチＰNで配列され、複数のノズルＮ2も同様にＸ方向に沿ってピッチＰNで配列される。相互に隣合う２個のノズルＮ1の中間に１個のノズルＮ2が位置する。すなわち、複数のノズルＮがＸ方向に沿ってピッチＰN/２で千鳥状に配列（いわゆるスタガ配置）される。

印刷解像度（ドット密度）の向上のために複数のノズルＮを１列内で極端に近接させた構成では、複数のノズルＮの各々から噴射されるインクに起因した気流が相互に作用して乱流が発生し、結果的に、媒体１２の表面に着弾するインクの濃度が不均等となる現象（いわゆる風紋現象）が発生し得る。第１実施形態では、複数のノズルＮ1の配列と複数のノズルＮ2の配列とがＹ方向に相互に離間するから、印刷解像度を高い水準に維持しつつ、複数のノズルＮの近接に起因したインクの不均等を抑制できるという利点がある。

図３の流路基板３２は、インクの流路を形成するための平板材である。図２および図３に例示される通り、第１実施形態の流路基板３２には、開口部３２２と供給流路３２４と連通流路３２６とが形成される。開口部３２２は、複数のノズルＮにわたり連続するように平面視で（すなわちＺ方向からみて）Ｘ方向に沿う長尺状に形成された貫通孔である。他方、供給流路３２４および連通流路３２６は、ノズルＮ毎に個別に形成された貫通孔である。また、図３に例示される通り、流路基板３２のうちＺ方向の正側の表面には、供給流路３２４と開口部３２２とを連通するようにＹ方向に沿って延在する溝状の分岐流路（マニホールド）３２８が供給流路３２４毎に形成される。

筐体４２は、例えば樹脂材料の射出成形で成形された構造体であり、流路基板３２のうちＺ方向の負側の表面に固定される。図３に例示される通り、第１実施形態の筐体４２には収容部４２２と導入口４２４とが形成される。収容部４２２は、流路基板３２の開口部３２２に対応する概形の凹部であり、導入口４２４は、収容部４２２に連通する貫通孔である。図３から理解される通り、流路基板３２の開口部３２２と筐体４２の収容部４２２とを相互に連通させた空間が液体貯留室（リザーバー）ＳRとして機能する。液体容器１４から供給されて導入口４２４を通過したインクが液体貯留室ＳRに貯留される。

図２および図３のコンプライアンス部４８は、液体貯留室ＳRの圧力変動を吸収するための要素であり、例えば弾性変形が可能な可撓性のシート部材を包含する。具体的には、流路基板３２の開口部３２２と各分岐流路３２８と各供給流路３２４とを閉塞して液体貯留室ＳRの壁面（例えば底面）を構成するように、流路基板３２のうちＺ方向の正側の表面にコンプライアンス部４８が設置される。したがって、複数のノズルＮにわたる液体貯留室ＳRからノズルＮ毎の分岐流路３２８に分岐して供給流路３２４に到達するインクの流路が形成される。

図２および図３に例示される通り、圧力室基板３４は、相異なるノズルＮに対応する複数の開口部３４２がＸ方向に沿って形成された平板材である。各開口部３４２は、平面視でＹ方向に沿う長尺状の貫通孔である。流路基板３２や圧力室基板３４の材料や製法は任意であるが、例えばシリコン（Ｓi）の単結晶基板をエッチング等の半導体製造技術により選択的に除去することで、所期の形状の流路基板３２や圧力室基板３４を簡便かつ高精度に形成することが可能である。

図２および図３に例示される通り、圧力室基板３４のうち流路基板３２とは反対側の表面には振動部３６が設置される。振動部３６は、弾性的に振動可能な平板材（振動板）である。なお、図２および図３では、圧力室基板３４とは別体の振動部３６を圧力室基板３４に接合した構成を例示したが、平板材のうち開口部３４２に対応する領域について板厚方向の一部を選択的に除去することで、圧力室基板３４と振動部３６とを一体に構成することも可能である。

図３から理解される通り、振動部３６と流路基板３２とは、圧力室基板３４の各開口部３４２の内側で相互に間隔をあけて対向する。開口部３４２の内側で流路基板３２と振動部３６との間に位置する空間は、当該空間に充填されたインクに圧力を付与する圧力室（キャビティ）ＳCとして機能する。相異なるノズルＮに対応する複数の圧力室ＳCがＸ方向に沿って配列する。圧力室ＳCと液体貯留室ＳRとは供給流路３２４を介して相互に連通し、圧力室ＳCとノズルＮとは連通流路３２６を介して相互に連通する。液体貯留室ＳRに貯留されたインクは、複数の分岐流路３２８に分岐したうえで供給流路３２４を通過して圧力室ＳCに供給および充填され、振動部３６の振動に応じた圧力変動により圧力室ＳCから連通流路３２６とノズルＮとを通過して外部に噴射される。

図２および図３に例示される通り、振動部３６のうち圧力室ＳCとは反対側の面上には、相異なるノズルＮに対応する複数の圧電素子３８が設置される。圧電素子３８は、駆動信号の供給により振動する受動素子であり、各圧力室ＳCに対応するようにＸ方向に沿って複数個が配列する。具体的には、相互に対向する一対の電極と両電極間に積層された圧電体層とで圧電素子３８は構成される。図２および図３の保護部材４４は、複数の圧電素子３８を保護するための構造体であり、振動部３６の表面に例えば接着剤で固定される。保護部材４４のうち振動部３６との対向面に形成された凹部の内側に複数の圧電素子３８が収容される。

図５は、供給流路３２４と連通流路３２６と圧力室ＳCとの関係を図示した平面図である。図５に例示される通り、圧力室ＳCは、Ｙ方向の正側の第１端Ｅ1とＹ方向の負側の第２端Ｅ2とにわたり平面視でＹ方向に沿って延在する長尺状に形成される。圧力室ＳCの長手方向をＹ方向と表現することも可能である。Ｙ方向における第１端Ｅ1の位置は複数の圧力室ＳCにわたり共通し、Ｙ方向における第２端Ｅ2の位置も複数の圧力室ＳCにわたり共通する。流路基板３２の複数の供給流路３２４はＸ方向に沿って配列し、供給流路３２４は圧力室ＳCのうち第２端Ｅ2側の部分に連通する。他方、連通流路３２６は圧力室ＳCのうち第１端Ｅ1側の部分に連通する。

図５に例示される通り、複数の圧力室ＳCは、複数の第１圧力室ＳC1と複数の第２圧力室ＳC2とを包含する。第１圧力室ＳC1と第２圧力室ＳC2とはＸ方向に沿って交互に配列される。複数の第１圧力室ＳC1の各々はノズルＮ1に対応し、複数の第２圧力室ＳC2の各々はノズルＮ2に対応する。

図６は、図５におけるVI−VI線の断面図であり、図７は、図５におけるVII−VII線の断面図である。すなわち、第１圧力室ＳC1を通過する断面が図６に図示され、第２圧力室ＳC2を通過する断面が図７に図示されている。図６および図７に例示される通り、圧力室ＳC（ＳC1，ＳC2）とノズルＮ（Ｎ1，Ｎ2）とを連通させる連通流路３２６は、第１連通孔ＱAと第２連通孔ＱBとを含む流路である。すなわち、流路基板３２には第１連通孔ＱAと第２連通孔ＱBとが圧力室ＳC毎に形成される。流路基板３２となる平板材の一方側の表面をエッチング等の半導体製造技術で選択的に除去することで複数の第１連通孔ＱAが形成され、他方側の表面を選択的に除去することで複数の第２連通孔ＱBが形成される。

第１連通孔ＱAが第２連通孔ＱBに対して上流側（圧力室ＳC側）に位置するように第１連通孔ＱAと第２連通孔ＱBとは相互に連結される。第１連通孔ＱAは圧力室ＳCに連通し、第２連通孔ＱBはノズルＮに連通する。すなわち、第１連通孔ＱAは圧力室ＳCと第２連通孔ＱBとを連通させ、第２連通孔ＱBは第１連通孔ＱAとノズルＮとを連通させる。以下の説明では、第１圧力室ＳC1に対応する第１連通孔ＱAおよび第２連通孔ＱBの符号に添字１を付加し（ＱA1，ＱB1）、第２圧力室ＳC2に対応する第１連通孔ＱAおよび第２連通孔ＱBの符号に添字２を付加して（ＱA2，ＱB2）、両者を特に区別する場合がある。

図５から理解される通り、第１圧力室ＳC1に対応する第１連通孔ＱA1および第２連通孔ＱB1のＸ方向の位置は当該第１圧力室ＳC1のＸ方向の位置に対応し、第２圧力室ＳC2に対応する第１連通孔ＱA2および第２連通孔ＱB2のＸ方向の位置は当該第２圧力室ＳC2のＸ方向の位置に対応する。図６に例示される通り、第１圧力室ＳC1とノズルＮ1とは第１連通孔ＱA1および第２連通孔ＱB1を介して相互に連通し、図７に例示される通り、第２圧力室ＳC2とノズルＮ2とは第１連通孔ＱA2および第２連通孔ＱB2を介して相互に連通する。

図５に例示される通り、第１連通孔ＱAは、平面視でＹ方向に長尺な形状に形成される。第１連通孔ＱAの幅（Ｘ方向の寸法）ＷAは圧力室ＳCの幅ＷCを下回る（ＷA＜ＷC）。圧力室ＳCの幅ＷCは例えば３５μｍ程度である。また、第１連通孔ＱAの幅ＷAは、Ｘ方向における複数の圧力室ＳCの配列のピッチ（周期）ＰCを下回る（ＷA＜ＰC）。複数の圧力室ＳCのピッチＰCは、圧力室ＳCの幅ＷCとＸ方向に隣合う２個の圧力室ＳCの間隔（例えば７μｍ程度）との合計値であり、Ｘ方向における複数のノズルＮの配列のピッチ（ＰN/２）に相当する。

図５に例示される通り、第１圧力室ＳC1に対応する第１連通孔ＱA1と第２圧力室ＳC2に対応する第１連通孔ＱA2とは、Ｙ方向の位置が相違する。すなわち、第１連通孔ＱA1は第１連通孔ＱA2と比較してＹ方向の正側に位置する。具体的には、第１連通孔ＱA1は、第１圧力室ＳC1の内側から第１端Ｅ1を跨いで第１圧力室ＳC1の外側に到達するようにＹ方向に長尺な形状に形成され、第１連通孔ＱA2は、第２圧力室ＳC2の内側に全体が位置するように第１端Ｅ1の近傍でＹ方向に長尺な形状に形成される。すなわち、複数の第１連通孔ＱAがＸ方向に沿って千鳥状に配列される。

図５に例示される通り、第１圧力室ＳC1に対応する第２連通孔ＱB1と第２圧力室ＳC2に対応する第２連通孔ＱB2とは、Ｙ方向の位置が相違する。すなわち、第２連通孔ＱB1は第２連通孔ＱB2と比較してＹ方向の正側に位置する。具体的には、図５および図６に例示される通り、第２連通孔ＱB1は、第１連通孔ＱA1のうちＹ方向の正側の部分に平面視で重なり、図５および図７に例示される通り、第２連通孔ＱB2は、第１連通孔ＱA2のうちＹ方向の負側の部分に平面視で重なる。すなわち、複数の第２連通孔ＱBがＸ方向に沿って千鳥状に配列される。Ｙ方向における第１連通孔ＱAと第２連通孔ＱBとの相対的な位置関係が、第１圧力室ＳC1と第２圧力室ＳC2とで相違するとも換言され得る。

図８は、図５におけるVIII−VIII線の断面図である。図５および図８に例示される通り、第２連通孔ＱBは、平面視でＸ方向に長尺な形状に形成される。具体的には、Ｘ方向における第２連通孔ＱBの幅ＷBは、Ｘ方向における複数の圧力室ＳCのピッチＰCを上回る（ＷB＞ＰC）。すなわち、圧力室ＳCのピッチＰCは、第１連通孔ＱAの幅ＷAと第２連通孔ＱBの幅ＷBとの間の数値に設定される（ＷA＜ＰC＜ＷB）。また、第２連通孔ＱBの幅ＷBは圧力室ＳCの幅ＷCを上回る（ＷB＞ＷC）。

第１実施形態の第２連通孔ＱBは、第１連通孔ＱAから平面視でＸ方向の正側および負側に延在する。図５および図８から理解される通り、第２圧力室ＳC2に対応する第２連通孔ＱB2は、当該第２圧力室ＳC2に隣合う第１圧力室ＳC1に平面視で重なる。図５では、第２連通孔ＱB2のうち第１圧力室ＳC1に平面視で重なる領域に網掛が付加されている。具体的には、任意の１個の第２圧力室ＳC2に対応する第２連通孔ＱB2のうちＸ方向の正側の端部の近傍の部分は、当該第２圧力室ＳC2に対してＸ方向の正側に隣合う第１圧力室ＳC1に平面視で重なる。また、第２圧力室ＳC2に対応する第２連通孔ＱB2のうちＸ方向の負側の端部の近傍の部分は、当該第２圧力室ＳC2に対してＸ方向の負側に隣合う第１圧力室ＳC1に平面視で重なる。

図５から理解される通り、第１連通孔ＱAと第２連通孔ＱBとが平面視で重なる領域内にノズルＮが位置する。すなわち、第１圧力室ＳC1に対応するノズルＮ1は平面視で当該第１圧力室ＳC1の外側（第１圧力室ＳC1からみてＹ方向の正側）に位置し、第２圧力室ＳC2に対応するノズルＮ2は平面視で当該第２圧力室ＳC2の内側に位置する。したがって、前述の通り、複数のノズルＮがＸ方向に沿って千鳥状に配列する。

以上に説明した通り、第１実施形態では、第１圧力室ＳC1に対応する第２連通孔ＱB1と第２圧力室ＳC2に対応する第２連通孔ＱB2とでＹ方向の位置が相違し、第２圧力室ＳC2に対応する第２連通孔ＱB2は、当該第２圧力室ＳC2に隣合う第１圧力室ＳC1に平面視で重なる。したがって、第２連通孔ＱB2が第１圧力室ＳC1に重ならない構成と比較して第２連通孔ＱB2の流路面積が拡大され、第２圧力室ＳC2からノズルＮ2までの流路抵抗を低減することが可能である。第１実施形態では特に、圧力室ＳCの配列のピッチＰCを上回る幅ＷBが第２連通孔ＱBに確保されるから、第２連通孔ＱB2の流路抵抗を低減できるという効果は格別に顕著である。そして、流路抵抗が低減される結果、複数のノズルＮを高密度に配置した構成（各圧力室ＳCからノズルＮまでの流路が微細化された構成）でも、各ノズルＮに対するインクの供給量が不足する可能性は低減されるという利点がある。所期の流路抵抗を実現するために必要な液体噴射ヘッド１００のサイズが低減されるとも換言され得る。

ところで、相互に隣合う第１連通孔ＱAの間の隔壁が薄い構成では、連通流路３２６を通過するインクの圧力変動が隔壁を介して各第１連通孔ＱAの相互間で伝播し、インクの噴射特性（例えば噴射量や噴射方向）に誤差が発生する可能性がある（いわゆるクロストーク）。第１実施形態では、第１連通孔ＱAの幅ＷAが複数の圧力室ＳCのピッチＰCを下回るから、相互に隣合う各第１連通孔ＱAの間に位置する隔壁の厚さ（ひいては機械的な強度）を確保し易い。したがって、第１連通孔ＱAの間の隔壁を介した圧力変動の伝播に起因した噴射特性の誤差を低減できるという利点がある。

また、例えば第１連通孔ＱAの幅ＷAが圧力室ＳCの幅ＷCを上回る構成では、流路基板３２と圧力室基板３４との相対的な位置関係に誤差（組立誤差）が発生した場合に、第１連通孔ＱAが本来的に連通すべき圧力室ＳCに隣合う他の圧力室ＳCに連通する可能性がある。第１実施形態では、第１連通孔ＱAの幅ＷAが圧力室ＳCの幅ＷCを下回るから、流路基板（第１連通孔ＱA）と各圧力室との間でＸ方向における相対的な位置関係に誤差が発生した場合でも、第１連通孔ＱAを所期の圧力室ＳCのみに連通させることが可能である。すなわち、流路基板３２と圧力室基板３４との相対的な位置について許容誤差（マージン）を確保できるという利点がある。

＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態を説明する。なお、以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図９は、第２実施形態における供給流路３２４と連通流路３２６と圧力室ＳCとの関係を図示した平面図である。第１実施形態では、Ｙ方向における第１端Ｅ1および第２端Ｅ2の各々の位置が複数の圧力室ＳCにわたり共通する構成を例示した。第２実施形態では、Ｙ方向における第１端Ｅ1および第２端Ｅ2の各々の位置が第１圧力室ＳC1と第２圧力室ＳC2とで相違する。具体的には、図９に例示される通り、第１圧力室ＳC1の第１端Ｅ1は第２圧力室ＳC2の第１端Ｅ1と比較してＹ方向の正側に位置し、第１圧力室ＳC1の第２端Ｅ2は第２圧力室ＳC2の第２端Ｅ2と比較してＹ方向の正側に位置する。Ｙ方向の寸法（全長）は第１圧力室ＳC1と第２圧力室ＳC2とで共通する。ただし、Ｙ方向における第２端Ｅ2の位置を第１圧力室ＳC1と第２圧力室ＳC2とで共通させる構成（したがって、Ｙ方向の寸法が第１圧力室ＳC1と第２圧力室ＳC2とで相違する構成）も採用され得る。

供給流路３２４は、圧力室ＳCのうち第２端Ｅ2の近傍の部分に平面視で重なる。したがって、複数の供給流路３２４はＸ方向に沿って千鳥状に配列される。また、第１圧力室ＳC1に対応する第１連通孔ＱA1は、当該第１圧力室ＳC1の第１端Ｅ1の近傍の部分に平面視で重なり、第２圧力室ＳC2に対応する第１連通孔ＱA2は、当該第２圧力室ＳC2の第１端Ｅ1の近傍の部分に平面視で重なる。したがって、複数の第１連通孔ＱAはＸ方向に沿って千鳥状に配列される。第１連通孔ＱAの幅ＷAが、圧力室ＳCの幅ＷCおよびピッチＰCを下回る構成（ＷA＜ＷC，ＷA＜ＰC）は第１実施形態と同様である。

第２連通孔ＱBは、圧力室ＳCのうち第１端Ｅ1の近傍の部分に平面視で重なるように形成されて第１連通孔ＱAに連通する。具体的には、第１圧力室ＳC1に対応する第２連通孔ＱB1は当該第１圧力室ＳC1の第１端Ｅ1の近傍に平面視で重なり、第２圧力室ＳC2に対応する第２連通孔ＱB2は当該第２圧力室ＳC2の第１端Ｅ1の近傍に平面視で重なる。したがって、図９に例示される通り、第２連通孔ＱB1と第２連通孔ＱB2との間でＹ方向の位置は相違する。具体的には、第２連通孔ＱB1は第２連通孔ＱB2と比較してＹ方向の正側に位置する。すなわち、第１実施形態と同様に、複数の第２連通孔ＱBがＸ方向に沿って千鳥状に配列される。第２連通孔ＱBの幅ＷBが複数の圧力室ＳCのピッチＰCを上回る構成（ＷB＞ＰC）や、第１連通孔ＱAと第２連通孔ＱBとが相互に重なる領域にノズルＮが位置する構成は、第１実施形態と同様である。

第２連通孔ＱBは、第１連通孔ＱAから平面視でＸ方向の正側および負側に延在する。図９から理解される通り、第２圧力室ＳC2に対応する第２連通孔ＱB2は、第１実施形態と同様に、当該第２圧力室ＳC2に隣合う第１圧力室ＳC1に平面視で重なる。具体的には、第２連通孔ＱB2のうちＸ方向の正側の端部の近傍の部分は、Ｘ方向の正側に隣合う第１圧力室ＳC1に平面視で重なり、第２連通孔ＱB2のうちＸ方向の負側の端部の近傍の部分は、Ｘ方向の負側に隣合う第１圧力室ＳC1に平面視で重なる。

第２実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。また、第２実施形態では、第１端Ｅ1の位置を第１圧力室ＳC1と第２圧力室ＳC2とで相違させた構成により、第２連通孔ＱB1と第２連通孔ＱB2との間でＹ方向の位置が相違する。したがって、Ｙ方向における第１連通孔ＱAと第２連通孔ＱBとの相対的な位置関係を第１圧力室ＳC1と第２圧力室ＳC2とで共通させることが可能である。他方、第１実施形態では、図５を参照して説明した通り、第１連通孔ＱAに対する第２連通孔ＱBのＹ方向の位置を第１圧力室ＳC1と第２圧力室ＳC2とで相違させた構成により、第２連通孔ＱB1と第２連通孔ＱB2との間でＹ方向の位置を相違させる。したがって、第１実施形態によれば、第１圧力室ＳC1と第２圧力室ＳC2とで第１端Ｅ1の位置を相違させる必要がないという利点がある。

＜変形例＞
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）前述の各形態では、流路基板３２を単層としたが、流路基板３２を複数層で構成することも可能である。例えば、図１０では、第１層Ｌ1と第２層Ｌ2との積層体を流路基板３２として採用した構成が例示されている。第１層Ｌ1には第１連通孔ＱAが形成され、第２層Ｌ2には第２連通孔ＱBが形成される。第１連通孔ＱAと第２連通孔ＱBとが連通するように第１層Ｌ1と第２層Ｌ2とが相互に接合される。

（２）前述の各形態では、圧力室ＳCの内壁面をＸ-Ｙ平面に垂直な平面としたが、図１１および図１２に例示される通り、圧力室ＳCの内壁面を、Ｘ-Ｙ平面に対して非直角の角度で傾斜する傾斜面（例えば法線が斜め下方に傾斜する平面）とすることも可能である。連通流路３２６（例えば第１連通孔ＱA）の内壁面についても同様に、Ｘ-Ｙ平面に垂直な平面には限定されない。例えば、図１１および図１２に例示される通り、第１連通孔ＱAの内壁面を、Ｘ-Ｙ平面に対して非直角の角度で傾斜する傾斜面（例えば法線が斜め上方に傾斜する平面）とすることも可能である。圧力室ＳCや連通流路３２６の内壁面を傾斜面とした構成によれば、インクの円滑な流動が促進されるとともに、空間の隅部における気泡の滞留を抑制できるという利点がある。

（３）圧力室ＳCや連通流路３２６（第１連通孔ＱA，第２連通孔ＱB）の平面形状は、以上に例示した長方形状に限定されない。例えば、前述の例示のようにシリコン（Ｓi）の単結晶基板を流路基板３２や圧力室基板３４として利用した構成では、実際には、圧力室ＳCや連通流路３２６は、単結晶の結晶面を反映した平面形状（例えば平行四辺形状）となる。また、輪郭線が曲線を含む平面形状の圧力室ＳCや連通流路３２６を形成することも可能である。例えば、真円形や長円形，楕円形，卵形等の各種の平面形状の圧力室ＳCや連通流路３２６を形成することも可能である。

（４）前述の各形態では、媒体１２が搬送されるＹ方向に直交するＸ方向に複数の液体噴射ヘッド１００を配列したラインヘッドを例示したが、シリアルヘッドにも本発明を適用することが可能である。例えば図１３に例示される通り、前述の各形態に係る複数の液体噴射ヘッド１００を搭載したキャリッジ２８が制御装置２２による制御のもとでＸ方向に往復しながら、各液体噴射ヘッド１００が媒体１２にインクを噴射する。

（５）圧力室ＳCの内部に圧力を付与する要素（駆動素子）は、前述の各形態で例示した圧電素子３８に限定されない。例えば、加熱により圧力室ＳCの内部に気泡を発生させて圧力を変動させる発熱素子を駆動素子として利用することも可能である。以上の例示から理解される通り、駆動素子は、液体を噴射するための要素（典型的には圧力室ＳCの内部に圧力を付与する要素）として包括的に表現され、動作方式（圧電方式／熱方式）や具体的な構成の如何は不問である。

（６）以上の各形態で例示した印刷装置１０は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。

１０……印刷装置（液体噴射装置）、１２……媒体、１４……液体容器、２２……制御装置、２４……搬送機構、２６……液体噴射モジュール、２８……キャリッジ、１００……液体噴射ヘッド、３２……流路基板、３２２……開口部、３２４……供給流路、３２６……連通流路、ＱA（ＱA1，ＱA2）……第１連通孔、ＱB（ＱB1，ＱB2）……第２連通孔、３２８……分岐流路、３４……圧力室基板、３６……振動板、３８……圧電素子、４２……筐体、４２２……収容部、４２４……導入口、４４……保護部材、４６……ノズル板、４８……コンプライアンス部、ＳC（ＳC1，ＳC2）……圧力室、ＳR……液体貯留室、Ｎ（Ｎ1，Ｎ2）……ノズル。

Claims (8)

1. 第１方向に配列され、液体が充填される複数の圧力室と、
   前記圧力室に連通する第１連通孔と前記第１連通孔をノズルに連通させる第２連通孔とが前記圧力室毎に形成された流路基板とを具備し、
   前記複数の圧力室のうち第１圧力室に対応する前記第２連通孔と、前記複数の圧力室のうち前記第１圧力室に隣合う第２圧力室に対応する前記第２連通孔とは、前記第１方向に交差する第２方向における位置が相違し、前記第２圧力室に対応する前記第２連通孔は、前記第１圧力室に平面視で重なる
   液体噴射ヘッド。
2. 前記第１圧力室に対応する前記第１連通孔は、前記第２圧力室に対応する前記第１連通孔と比較して前記第２方向における第１側に位置し、
   前記第１圧力室に対応する前記第２連通孔は、当該第１圧力室に対応する前記第１連通孔のうち前記第１側の領域に平面視で重なり、前記第２圧力室に対応する前記第２連通孔は、当該第２圧力室に対応する前記第１連通孔のうち前記第１側とは反対側の第２側の領域に平面視で重なる
   請求項１の液体噴射ヘッド。
3. 前記第１圧力室と前記第２圧力室との間で、前記第１方向における前記第１側の端部の位置が共通する
   請求項２の液体噴射ヘッド。
4. 前記第１圧力室のうち前記第１方向における第１側の端部は、前記第２圧力室のうち前記第１方向における前記第１側の端部と比較して前記第１側に位置し、
   前記第１圧力室に対応する前記第２連通孔は、当該第１圧力室のうち前記第１側の端部に平面視で重なり、前記第２圧力室に対応する前記第２連通孔は、当該第２圧力室のうち前記第１側の端部に平面視で重なる
   請求項１の液体噴射ヘッド。
5. 前記第１方向における前記第１連通孔の幅は、前記第１方向における前記圧力室の幅を下回る
   請求項１から請求項４の何れかの液体噴射ヘッド。
6. 前記第１方向における前記第１連通孔の幅は、前記第１方向における前記複数の圧力室の配列のピッチを下回る
   請求項１から請求項５の何れかの液体噴射ヘッド。
7. 前記第１方向における前記第２連通孔の幅は、前記第１方向における前記複数の圧力室の配列のピッチを上回る
   請求項１から請求項５の何れかの液体噴射ヘッド。
8. 請求項１から請求項７の何れかの液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。
   

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