JP2016176827A - レーザ測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定用レーザ光源1が出射した測定光と、照準用レーザ光源2が出射した照準光とを、ファイバ型WDM光カプラ3で波長合成し、コリメータレンズ4に出射する。コリメータレンズ4は、入射した測定光を平行光束210に変換して、前記測定対象物に向けて出射すると共に、入射した照準光を、測定光210の平行光束と同一光軸かつ測定光の平行光束210よりも径が大きい平行光束229に変換して、前記測定対象物に向けて出射する。測定用レーザ光源1は、測定光として近赤外光レーザを出射し、照準用レーザ光源2は、照準光として可視光のレーザを出射する。
【選択図】図2
Description
図1に、本実施形態に係るレーザドップラ速度計の構成を示す。
図示するようにレーザドップラ速度計は、測定用レーザ光源1、照準用レーザ光源2、ファイバ型WDM光カプラ3、コリメータレンズ4、ビームスプリッタ5、ミラー6、対物レンズ7、光検出器8、計測装置9を備えている。
ここで、ファイバ型WDM光カプラ3は、二本の偏波保持光ファイバ(PANDAファイバ)を溶融延伸して中央部を融着した融着延伸型のWDM光カプラであり、光ファイバ11と光ファイバ21からファイバ型WDM光カプラ3の二本の偏波保持光ファイバにそれぞれ導入された測定光と照準光は、二本の偏波保持光ファイバの中央の融着部分で結合して波長合成され、波長合成された測定光と照準光がコリメータレンズ4に出射される。
ビームスプリッタ5は、コリメータレンズ4から入射する測定光と照準光とをそれぞれ二つに分岐し、分岐した一方の測定光と照準光とよりなる第1レーザ光群を被測定物100に照射し、分岐した他方の測定光と照準光とよりなる第2レーザ光群をミラー6に向けて出射する。
ここで、ビームスプリッタ5から出射された第1レーザ光群とミラー6から出射された第2レーザ光群は、被測定物100の同じ領域を照射する。また、ビームスプリッタ5から出射された第1レーザ光群は、被測定物100の移動方向と垂直な方向から被測定物100の正の移動方向にθ傾けた方向から被測定物100を照射し、ミラー6から出射された第2レーザ光群は、被測定物100の移動方向と垂直な方向から被測定物100の負の移動方向にθ傾けた方向から被測定物100を照射する。なお、移動方向の正負は、測定の目的に応じて任意に設定してよい。
次に、図2aに、コリメータレンズ4における波長合成された測定光と照準光の平行光束への変換のようすを示す。
図示するように、コリメータレンズ4は、ファイバ型WDM光カプラ3から入射する測定光と照準光の双方を同一光軸の平行光束に変換する。また、コリメータレンズ4は、この測定光と照準光の平行光束への変換を、照準光の平行光束220の径(光軸と垂直な方向のサイズ)が、測定光210の平行光束の径よりも大きくなるように行う。
以上、本発明の実施形態について説明した。
本実施形態によれば、測定光の平行光束と、測定光の平行光束よりも径の大きな照準光の平行光束とを同一光軸でレーザドップラ速度計から出射するので、測定光の照射領域は照準光の照射領域内に収まることとなる。よって、可視の照準光の照射範囲外への不可視の測定光の照射が抑止される。
また、以上の実施形態では、測定光と照準光の波長合成にファイバ型WDM光カプラ3を用いたが、照準光の波長合成には、導波路型光カプラやダイクロイックキューブ(ダイクロイックプリズム)やダイクロイックミラーや、その他の波長合成器を用いるようにしてもよい。
図示するように、測定用レーザ光源1は、測定光用コリメータレンズ101の測定光の波長の光に対する焦点の位置に配置されており、測定用レーザ光源1からの測定光は、測定光用コリメータレンズ101で平行光束210に変換される。
なお、測定光用コリメータレンズ101、及び、照準光用コリメータレンズ102としては、図2に示したコリメータレンズ4を用いることもできる。測定光用コリメータレンズ101、照準光用コリメータレンズ102として、図2に示したコリメータレンズ4を用いた場合、測定光用コリメータレンズ101のバックフォーカスBF1、照準光用コリメータレンズ102のバックフォーカスBF2は等しくなるので、測定光と照準光の平行光束化に関する構成を共通化することができるようになる。
Claims (6)
- 波長が可視領域外のレーザ光である測定光に、波長が可視領域内のレーザ光である照準光を合成して出射するレーザ測定装置であって、
前記測定光を出射する測定用レーザ光源と、
前記照準光を出射する照準用レーザ光源と、
前記測定用レーザ光源から出射された前記測定光を平行光束に変換して、測定対象物に向けて出射すると共に、前記照準用レーザ光源から出射された前記照準光を、測定光の平行光束と同一光軸かつ測定光の平行光束よりも径が大きい平行光束に変換して、前記測定対象物に向けて出射する出射光生成光学系と、
前記測定光の測定対象物による反射光を用いて前記測定対象物の測定を行う測定部とを有することを特徴とするレーザ測定装置。
- 請求項1記載のレーザ測定装置であって、
前記出射光生成光学系は、
前記測定用レーザ光源から出射された前記測定光と前記照準用レーザ光源から出射された前記照準光を同一光軸上に合成する波長合成器と、
前記波長合成器で合成された測定光と照準光とが入射するコリメータレンズとを有し、
前記コリメータレンズは、入射した測定光を平行光束に変換して、前記測定対象物に向けて出射すると共に、入射した照準光を、測定光の平行光束と同一光軸かつ測定光の平行光束よりも径が大きい平行光束に変換して、前記測定対象物に向けて出射することを特徴とするレーザ測定装置。
- 請求項2記載のレーザ測定装置であって、
前記コリメータレンズの前記照準光に対する焦点距離は前記測定光に対する焦点距離より大きく、かつ、当該レンズの前記照準光に対するバックフォーカスと前記測定光に対するバックフォーカスとは等しく、
前記波長合成器の合成した測定光と照準光の出射位置は、前記コリメータレンズの光軸上の当該コリメータレンズから前記バックフォーカスと等しい距離離れた位置であることを特徴とするレーザ測定装置。
- 請求項1記載のレーザ測定装置であって、
前記出射光生成光学系は、
前記測定用レーザ光源から出射された前記測定光が入射する測定光用コリメータレンズと、
前記照準用レーザ光源から出射された前記照準光が入射する照準光用コリメータレンズと、
ダイクロイックミラーとを有し、
前記測定光用コリメータレンズは、入射する前記測定光を平行光束に変換して前記ダイクロイックミラーに出射し、
前記照準光用コリメータレンズは、入射する前記照準光を、前記測定光の平行光束よりも径が大きい平行光束に変換して前記ダイクロイックミラーに出射し、
前記ダイクロイックミラーは、前記測定光用コリメータレンズから入射した測定光の平行光束と前記照準光用コリメータレンズから入射した前記照準光の平行光束を同一光軸上に合成し、前記測定対象物に向けて出射することを特徴とするレーザ測定装置。
- 波長が可視領域外のレーザ光である測定光に、波長が可視領域内のレーザ光である照準光を合成して出射するレーザ測定装置であって、
前記測定光を出射する測定用レーザ光源と、
前記照準光を出射する照準用レーザ光源と、
前記測定用レーザ光源から出射された前記測定光と前記照準用レーザ光源から出射された前記照準光を同一光軸上に合成する波長合成器と、
前記波長合成器で合成された測定光と照準光とが入射するレンズと、
前記測定光の測定対象物による反射光を用いて測定対象物の測定を行う測定部とを有し、
前記レンズは、入射した測定光を所定の拡がり角の光束に変換して、前記測定対象物に向けて出射すると共に、入射した照準光を、測定光の光束と同一光軸かつ前記測定光の所定の拡がり角よりも拡がり角の大きい光束に変換して、前記測定対象物に向けて出射することを特徴とするレーザ測定装置。
- 波長が可視領域外のレーザ光である測定光に、波長が可視領域内のレーザ光である照準光を合成して出射するレーザ測定装置であって、
前記測定光を出射する測定用レーザ光源と、
前記照準光を出射する照準用レーザ光源と、
前記測定用レーザ光源から出射された前記測定光が入射する測定光用レンズと、
前記照準用レーザ光源から出射された前記照準光が入射する照準光用レンズと、
ダイクロイックミラーと、
前記測定光の測定対象物による反射光を用いて測定対象物の測定を行う測定部とを有し、
前記測定光用レンズは、入射する前記測定光を所定の拡がり角の光束に変換して前記ダイクロイックミラーに出射し、
前記照準光用レンズは、入射する前記照準光を、前記測定光の前記所定の拡がり角よりも大きい拡がり角の光束に変換して前記ダイクロイックミラーに出射し、
前記ダイクロイックミラーは、前記測定光用レンズから入射した測定光の光束と前記照準光用レンズから入射した照準光の光束を同一光軸上に合成し、前記測定対象物に向けて出射することを特徴とするレーザ測定装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020153453A1 (ja) * | 2019-01-23 | 2020-07-30 | 日本製鉄株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
JP2021032734A (ja) * | 2019-08-26 | 2021-03-01 | 株式会社小野測器 | 測定装置 |
JP2022025660A (ja) * | 2020-07-29 | 2022-02-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 自律走行型掃除機、自律走行型掃除機の制御方法、及び、プログラム |
CN116659816A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-08-29 | 长春理工大学 | 轴一致性检测***及方法 |
JP7363614B2 (ja) | 2020-03-13 | 2023-10-18 | オムロン株式会社 | 光干渉計測装置 |
CN117492027A (zh) * | 2024-01-03 | 2024-02-02 | 成都量芯集成科技有限公司 | 一种基于激光扫描识别装置及其方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60253813A (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-14 | Hoya Corp | 非接触変位検出装置 |
JPH03276004A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-06 | Omron Corp | レーザ応用測定装置 |
JP2000088566A (ja) * | 1998-09-02 | 2000-03-31 | Leica Geosystems Ag | 光学的測距装置 |
-
2015
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60253813A (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-14 | Hoya Corp | 非接触変位検出装置 |
JPH03276004A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-06 | Omron Corp | レーザ応用測定装置 |
JP2000088566A (ja) * | 1998-09-02 | 2000-03-31 | Leica Geosystems Ag | 光学的測距装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020153453A1 (ja) * | 2019-01-23 | 2020-07-30 | 日本製鉄株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
US11635520B2 (en) | 2019-01-23 | 2023-04-25 | Nippon Steel Corporation | Measuring device and measuring method |
JP6750767B1 (ja) * | 2019-04-03 | 2020-09-02 | 日本製鉄株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
JP2021032734A (ja) * | 2019-08-26 | 2021-03-01 | 株式会社小野測器 | 測定装置 |
JP7363614B2 (ja) | 2020-03-13 | 2023-10-18 | オムロン株式会社 | 光干渉計測装置 |
JP2022025660A (ja) * | 2020-07-29 | 2022-02-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 自律走行型掃除機、自律走行型掃除機の制御方法、及び、プログラム |
CN116659816A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-08-29 | 长春理工大学 | 轴一致性检测***及方法 |
CN116659816B (zh) * | 2023-05-22 | 2024-03-15 | 长春理工大学 | 轴一致性检测***及方法 |
CN117492027A (zh) * | 2024-01-03 | 2024-02-02 | 成都量芯集成科技有限公司 | 一种基于激光扫描识别装置及其方法 |
CN117492027B (zh) * | 2024-01-03 | 2024-03-15 | 成都量芯集成科技有限公司 | 一种基于激光扫描识别装置及其方法 |
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