JP2016161547A - X-ray fluorescence detector and control method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、蛍光X線検出装置、及び蛍光X線検出装置を制御する方法に関する。 The present invention relates to a fluorescent X-ray detection apparatus and a method for controlling the fluorescent X-ray detection apparatus.
蛍光X線分析装置は、石油に含まれる硫黄の定量等、物質に含まれている微量成分の定量に用いられることがある。精度良く定量を行うために、複数の試料を作成し、夫々の試料について蛍光X線分析を行い、分析結果を統計処理することがある。複数の試料の蛍光X線分析を効率的に行うために、ターンテーブルを備えた蛍光X線分析装置が用いられている。特許文献1には、ターンテーブルを備えた蛍光X線分析装置が開示されている。
The X-ray fluorescence analyzer is sometimes used for quantification of trace components contained in substances such as quantification of sulfur contained in petroleum. In order to perform quantification with high accuracy, a plurality of samples may be prepared, a fluorescent X-ray analysis may be performed on each sample, and the analysis result may be statistically processed. In order to efficiently perform fluorescent X-ray analysis of a plurality of samples, a fluorescent X-ray analyzer equipped with a turntable is used.
複数の試料は、夫々に同一形状の試料ケースに格納される。ターンテーブルは、円板状であり、円周に沿って等間隔に複数の試料ケースが保持されることにより、試料がターンテーブルに装填される。ターンテーブルが回転することで、夫々の試料が測定位置へ順次移動し、蛍光X線の測定が順次行われる。精度の良い定量のためには、蛍光X線を検出する検出部と試料との距離は一定であることが望ましい。そこで、試料へX線を照射する照射部と検出部とがターンテーブルの下側に配置された蛍光X線分析装置が開発されている。この蛍光X線分析装置では、照射部は、試料ケースの底へX線を照射し、検出部は、試料ケースの底から出てきた蛍光X線を検出する。また、この蛍光X線分析装置では、ターンテーブルが回転する際、ターンテーブルの下側に位置する部品にターンテーブル又は試料ケースが干渉して蛍光X線分析装置が破損する虞がある。そこで、この蛍光X線分析装置は、干渉が発生しない位置までターンテーブルを上昇させ、上昇した状態でターンテーブルを回転させ、蛍光X線の測定時にはターンテーブルを下降させる。 A plurality of samples are stored in sample cases having the same shape. The turntable has a disk shape, and a plurality of sample cases are held at equal intervals along the circumference, whereby a sample is loaded on the turntable. As the turntable rotates, each sample sequentially moves to the measurement position, and the measurement of the fluorescent X-rays is sequentially performed. For accurate quantification, it is desirable that the distance between the detection unit for detecting fluorescent X-rays and the sample is constant. Therefore, an X-ray fluorescence analyzer has been developed in which an irradiation unit for irradiating a sample with X-rays and a detection unit are arranged below the turntable. In this fluorescent X-ray analyzer, the irradiation unit irradiates the bottom of the sample case with X-rays, and the detection unit detects fluorescent X-rays that have come out from the bottom of the sample case. Further, in this X-ray fluorescence analyzer, when the turntable rotates, the turntable or the sample case may interfere with parts located below the turntable, and the X-ray fluorescence analyzer may be damaged. Therefore, this fluorescent X-ray analyzer raises the turntable to a position where no interference occurs, rotates the turntable in the raised state, and lowers the turntable when measuring fluorescent X-rays.
蛍光X線分析装置には、起動時に、ターンテーブルの回転位置を所定の初期位置に位置決めするものがある。ところが、起動時のターンテーブルの回転位置及び上下位置が不明であることがある。このため、起動時のターンテーブルの位置によっては、ターンテーブルを回転させたときに部品が干渉する虞がある。 Some X-ray fluorescence analyzers position a rotation position of a turntable at a predetermined initial position at startup. However, the rotational position and vertical position of the turntable at the time of activation may be unknown. For this reason, depending on the position of the turntable at the time of activation, there is a possibility that parts may interfere when the turntable is rotated.
本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、起動時に部品の干渉を避けるようにターンテーブルを位置決めすることができる蛍光X線検出装置及び制御方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a fluorescent X-ray detection apparatus and control method capable of positioning a turntable so as to avoid interference of components at the time of startup. It is to provide.
本発明に係る蛍光X線検出装置は、X線の照射部と、X線の検出部と、複数の試料保持部を有するターンテーブルと、該ターンテーブルを上下に移動させる上下移動部とを備え、所定の位置にいずれか一つの試料保持部が位置する状態で前記上下移動部により前記ターンテーブルが下降し、前記照射部が試料へX線を照射し、試料から発生する蛍光X線を前記検出部で検出する蛍光X線検出装置において、前記複数の試料保持部のいずれか一つが前記所定の位置に位置しているか否かを判定する判定部と、起動時に、前記ターンテーブルの回転位置を所定の初期位置に位置決めする位置決め部とを備え、前記位置決め部は、起動時に、いずれか一つの試料保持部が前記所定の位置に位置していると前記判定部が判定した場合に、前記上下移動部に前記ターンテーブルを上昇させ、前記ターンテーブルが上昇した状態で、前記ターンテーブルの回転位置が前記初期位置になるように前記ターンテーブルを回転させることを特徴とする。 An X-ray fluorescence detection apparatus according to the present invention includes an X-ray irradiation unit, an X-ray detection unit, a turntable having a plurality of sample holding units, and a vertical movement unit that moves the turntable up and down. The turntable is lowered by the up-and-down moving unit in a state where any one sample holding unit is located at a predetermined position, the irradiation unit irradiates the sample with X-rays, and the fluorescent X-rays generated from the sample are In the fluorescent X-ray detection apparatus to be detected by the detection unit, a determination unit that determines whether any one of the plurality of sample holding units is located at the predetermined position, and a rotation position of the turntable at the time of activation A positioning unit that positions the sample holding unit at a predetermined initial position, and when the determination unit determines that any one sample holding unit is positioned at the predetermined position at the time of activation, the positioning unit Move up and down Wherein the turntable is raised, in a state where the turntable is raised, the rotational position of the turntable, characterized in that rotating the turntable so that the initial position.
本発明に係る蛍光X線検出装置は、前記位置決め部は、起動時に、いずれの試料保持部も前記所定の位置に位置していないと前記判定部が判定した場合に、前記ターンテーブルの回転位置が前記初期位置になるように前記ターンテーブルを回転させることを特徴とする。 In the fluorescent X-ray detection apparatus according to the present invention, when the determination unit determines that no sample holding unit is positioned at the predetermined position at the time of activation, the positioning unit rotates the turntable. The turntable is rotated so that is at the initial position.
本発明に係る蛍光X線検出装置は、前記ターンテーブルを回転させるステッピングモータを更に備えることを特徴とする。 The fluorescent X-ray detection apparatus according to the present invention further includes a stepping motor that rotates the turntable.
本発明に係る蛍光X線検出装置は、前記上下移動部は、前記ターンテーブルを上下に移動させるための偏心カムと、該偏心カムを回転させるモータと、前記偏心カムに対して固定された半月板とを有し、回転する前記半月板の直線状のエッジを検出することにより、前記ターンテーブルが上昇した位置又は下降した位置にあることを検出する上下位置検出部を更に備えることを特徴とする。 In the fluorescent X-ray detection apparatus according to the present invention, the vertical movement unit includes an eccentric cam for moving the turntable up and down, a motor for rotating the eccentric cam, and a half moon fixed to the eccentric cam. And a vertical position detector for detecting that the turntable is in a raised position or a lowered position by detecting a linear edge of the rotating meniscus. To do.
本発明に係る制御方法は、X線の照射部と、X線の検出部と、複数の試料保持部を有するターンテーブルと、該ターンテーブルを上下に移動させる上下移動部とを備え、所定の位置にいずれか一つの試料保持部が位置する状態で前記上下移動部により前記ターンテーブルが下降し、前記照射部が試料へX線を照射し、試料から発生する蛍光X線を前記検出部で検出する蛍光X線検出装置を制御する方法において、前記複数の試料保持部のいずれか一つが前記所定の位置に位置しているか否かの判定を行う判定部により、起動時に、前記判定を行い、いずれか一つの試料保持部が前記所定の位置に位置していると前記判定部が判定した場合に、前記上下移動部により前記ターンテーブルを上昇させ、前記ターンテーブルが上昇した状態で、前記ターンテーブルの回転位置が前記初期位置になるように前記ターンテーブルを回転させることを特徴とする。 A control method according to the present invention includes an X-ray irradiation unit, an X-ray detection unit, a turntable having a plurality of sample holding units, and an up-and-down moving unit that moves the turntable up and down. The turntable is lowered by the up-and-down moving unit in a state where any one sample holding unit is positioned, the irradiation unit irradiates the sample with X-rays, and the fluorescent X-rays generated from the sample are detected by the detection unit. In the method of controlling a fluorescent X-ray detection device to be detected, the determination is performed at the time of activation by a determination unit that determines whether any one of the plurality of sample holding units is located at the predetermined position. When the determination unit determines that any one of the sample holding units is located at the predetermined position, the turntable is raised by the vertical movement unit, and the turntable is raised, The rotational position of the over down table which is characterized in that rotating the turntable so that the initial position.
本発明においては、蛍光X線検出装置は、複数の試料保持部を有するターンテーブルを備え、所定の位置にいずれかの試料保持部が位置するような回転位置までターンテーブルが回転し、この回転位置でターンテーブルが下降し、下降した状態で蛍光X線の検出が行われる。蛍光X線検出装置は、起動時に、いずれかの試料保持部が所定の位置にあるか否かを判定し、いずれかの試料保持部が所定の位置にある場合に、ターンテーブルを上昇させ、ターンテーブルを回転させて回転位置を所定の初期位置に位置決めする。ターンテーブルを他の部品に干渉しない位置まで一旦上昇させてから回転させることで、干渉を起こすことなくターンテーブルを位置決めすることができる。 In the present invention, the fluorescent X-ray detection apparatus includes a turntable having a plurality of sample holders, and the turntable rotates to a rotation position at which any sample holder is located at a predetermined position. The turntable is lowered at the position, and the fluorescent X-ray is detected in the lowered state. The X-ray fluorescence detector determines whether any sample holder is in a predetermined position at the time of activation, and when any sample holder is in a predetermined position, raises the turntable, The turntable is rotated to position the rotation position at a predetermined initial position. By turning the turntable to a position where it does not interfere with other parts and then rotating it, the turntable can be positioned without causing interference.
また、本発明においては、蛍光X線検出装置は、起動時に、いずれの試料保持部も所定の位置にない場合に、ターンテーブルを回転させて回転位置を初期位置に位置決めする。いずれの試料保持部も所定の位置にない場合は、既にターンテーブルが上昇した状態であるので、即座にターンテーブルを回転させることができる。 In the present invention, the X-ray fluorescence detection apparatus rotates the turntable to position the rotation position at the initial position when any sample holder is not in a predetermined position at the time of activation. If none of the sample holders are in a predetermined position, the turntable has already been raised, so that the turntable can be immediately rotated.
また、本発明においては、ステッピングモータによりターンテーブルを回転させる。このため、ターンテーブルの回転位置の位置決め制度が高くなり、回転に必要な時間が短縮される。 In the present invention, the turntable is rotated by the stepping motor. For this reason, the positioning system of the rotational position of the turntable is increased, and the time required for the rotation is shortened.
また、本発明においては、蛍光X線検出装置は、ターンテーブルを上下移動させるための偏心カムと、偏心カムに固定された半月板を備えている。また、蛍光X線検出装置は、ターンテーブルが上昇した位置にある場合、及びターンテーブルが下降した位置にある場合に半月板の直線状のエッジを検出する上下位置検出部を備えている。上下位置検出部により、ターンテーブルが上昇した状態及び下降した状態を検出することができる。 In the present invention, the X-ray fluorescence detection apparatus includes an eccentric cam for moving the turntable up and down, and a meniscus fixed to the eccentric cam. Further, the X-ray fluorescence detection apparatus includes a vertical position detection unit that detects a straight edge of the meniscus when the turntable is in the raised position and when the turntable is in the lowered position. The up / down position detection unit can detect a state where the turntable is raised and a state where the turntable is lowered.
本発明にあっては、蛍光X線検出装置は、起動時にターンテーブルを素早く安全に初期位置に位置決めすることができる等、優れた効果を奏する。 In the present invention, the X-ray fluorescence detection device has excellent effects such as being able to quickly and safely position the turntable at the initial position at the time of activation.
以下本発明をその実施の形態を示す図面に基づき具体的に説明する。
図1は、蛍光X線分析装置を示す斜視図である。蛍光X線分析装置は、本発明の蛍光X線検出装置に相当する。蛍光X線分析装置は、ターンテーブル1と、開閉可能な蓋31とを備えている。蓋31は、蛍光X線分析を行う際には閉鎖され、ターンテーブル1を覆う。ターンテーブル1は、回転可能な円板であり、円周に沿って等間隔に同一形状の複数の孔11が形成されている。夫々の孔11は円状であり、カップ状の試料ケース2が上から挿入されるようになっている。試料ケース2は、分析対象の試料を格納することができ、孔11に挿入固定される。孔11に試料ケース2が挿入固定されることにより、試料がターンテーブル1に装填される。孔11は本発明における試料保持部に相当する。図中には、ターンテーブル1に八個の孔11が設けられており、一つの孔11に試料ケース2が挿入された状態を示している。ターンテーブル1が回転することにより、各孔11の位置は変化し、試料の位置が変化する。蛍光X線分析装置は、試料が所定の測定位置にある状態で蛍光X線の測定を行う。蛍光X線分析装置は、蛍光X線の測定時に試料を検出するための試料センサ32を備えている。例えば、試料センサ32は、試料ケース2へ光を照射して反射光を検出する構成であり、反射光を検出した場合に試料ケース2を検出したとする。
Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to the drawings showing embodiments thereof.
FIG. 1 is a perspective view showing a fluorescent X-ray analyzer. The X-ray fluorescence analyzer corresponds to the X-ray fluorescence detector of the present invention. The X-ray fluorescence analyzer includes a
図2は、蛍光X線分析装置の電気的構成を示すブロック図である。蛍光X線分析装置は、X線を試料へ照射する照射部38と、X線の照射によって試料から発生する蛍光X線を検出する検出部37とを備えている。例えば、照射部38はX線管であり、検出部37は半導体検出器である。検出部37は、検出した蛍光X線のエネルギーに比例した信号を出力する。検出部37には、出力した信号を処理する信号処理部36が接続されている。信号処理部36は、検出部37が出力した各値の信号をカウントし、蛍光X線のエネルギーとカウント数との関係を表したスペクトルを生成する処理を行う。信号処理部36及び照射部38は、蛍光X線分析装置全体を制御する制御部35に接続されている。制御部35は、信号処理部36及び照射部38の動作を制御する。蛍光X線分析装置は、蛍光X線分析に必要な情報又は蛍光X線分析の結果を表示する表示部33と、使用者からの操作を受け付ける操作部34とを備えている。表示部33及び操作部34は制御部35に接続されている。
FIG. 2 is a block diagram showing an electrical configuration of the fluorescent X-ray analyzer. The X-ray fluorescence analyzer includes an
蛍光X線分析により試料中の成分を精度良く定量するためには、照射部38から試料までの距離と試料から検出部37までの距離とは、測定の都度一定であることが必要である。試料の上からX線の照射及び蛍光X線の検出を行った場合は、試料の量によって距離が変動する。そこで、蛍光X線分析装置は、試料の下からX線の照射及び蛍光X線の検出を行うようになっている。図3は、蛍光X線を検出する様子を示す模式図である。図中には、試料ケース2に液体状の試料21が格納されている例を示している。照射部38及び検出部37はターンテーブル1の下側に配置されている。照射部38は、ターンテーブル1の孔11に挿入固定された試料ケース2の底へX線を照射し、X線は試料ケース2の底を透過して試料21に照射される。図中にはX線を実線矢印で示している。X線を照射された試料21では、蛍光X線が発生する。発生した蛍光X線は、試料ケース21の底を透過し、試料ケース21の底から出射し、検出部37で検出される。図中には蛍光X線を破線矢印で示している。このように、試料の下からX線の照射及び蛍光X線の検出を行うことで、試料の量によって照射部38から試料までの距離及び試料から検出部37までの距離が変動することなく、X線の照射効率及び蛍光X線の検出効率が一定となる。
In order to accurately quantify the components in the sample by fluorescent X-ray analysis, it is necessary that the distance from the
また、精度良い定量のためには、照射部38から試料までの距離及び試料から検出部37までの距離は、可及的に短いことが望ましい。距離を短くするためには、ターンテーブル1を照射部38及び検出器37に近づける必要がある。しかしながら、ターンテーブル1を照射部38及び検出器37に近づけた状態でターンテーブル1が回転した場合は、ターンテーブル1又は試料ケース2が他の部品に干渉し、蛍光X線分析装置が破損する虞がある。そこで、ターンテーブル1は、上下に移動が可能となっている。ターンテーブル1は、干渉が発生しない位置まで上昇し、上昇した状態で回転する。蛍光X線の測定時には、ターンテーブル1は下降する。
In addition, for accurate quantification, it is desirable that the distance from the
蛍光X線分析装置は、ターンテーブル1を上下に移動させるためのモータ41と、ターンテーブル1の上下方向の位置を検出するための上下位置センサ42とを備えている。モータ41及び上下位置センサ42は制御部35に接続されている。図4は、ターンテーブル1を上下に移動させるための機構を示す模式図である。モータ41には、直接に又はギアを介して偏心カム43が連結されている。偏心カム43は、回転軸431の位置が偏心しており、モータ41によって回転される。偏心カム43の上側には、シーソ45の一端が接触している。偏心カム43の回転に応じて、シーソ45の一端は上下する。シーソ45は、軸451を支点にして揺動する。シーソ45の他端は、ターンテーブル1に連結した連結部452になっている。偏心カム43の回転に応じてシーソ45の一端が上下した場合に、連結部452も上下し、連結部452に連結したターンテーブル1が上下に移動する。
The X-ray fluorescence analyzer includes a
偏心カム43には、半月板44が固定されている。偏心カム43が回転するとともに、半月板44も回転する。モータ41、偏心カム43及び半月板44は、本発明における上下移動部に相当する。上下位置センサ42は、発光部及び受光部を含む光センサであり、図4中に破線で示したように、発光部及び受光部の間を半月板44が移動するような位置に配置されている。半月板44の回転位置によっては、発光部及び受光部の間に半月板44が存在し、受光ができなくなる場合と、発光部及び受光部の間に半月板44が無く、受光が可能な場合とがある。半月板44の直線状のエッジが発光部及び受光部の間を通る場合は、受光可能な状態から受光できない状態へ又は受光できない状態から受光可能な状態へ変化し、上下位置センサ42は半月板44の直線状のエッジを検出することができる。半月板44及び上下位置センサ42は、偏心カム43の回転によりターンテーブル1が最高点に達した場合及び最低点に達した場合に半月板44の直線状のエッジが検出されるような位置に配置されている。例えば、偏心カム43及び半月板44は図4中で時計回りに回転し、ターンテーブル1が最高点に達した場合に、上下位置センサ42は受光可能な状態から受光できない状態へ変化し、ターンテーブル1が最低点に達した場合に、上下位置センサ42は受光できない状態から受光可能な状態へ変化する。このように、一つの上下位置センサ42でターンテーブル1が上昇した状態と下降した状態とを検出することができ、簡単な構成でターンテーブル1の上下移動を制御することができる。上下位置センサ42は、本発明における上下位置検出部に相当する。なお、上下位置センサ42は、光センサ以外のセンサであってもよく、例えばメカニカルスイッチであってもよい。
A
図2に示すように、蛍光X線分析装置は、ステッピングモータ51を備えている。ステッピングモータ51は、ギアを介してターンテーブル1に連結されており、ターンテーブル1を回転させる。ステッピングモータ51は、制御部35に接続されている。蛍光X線分析装置は、ターンテーブル1の回転位置が所定の初期位置にあるか否かを判定するための初期位置センサ52と、ターンテーブル1の孔11のいずれかが所定の測定位置にあるか否かを判定するための測定位置センサ53とを備えている。初期位置センサ52及び測定位置センサ53は制御部35に接続されている。更に、蛍光X線分析装置は、ターンテーブル1の回転位置を検出するために必要なエンコーダを備えている。
As shown in FIG. 2, the X-ray fluorescence analyzer includes a stepping
図5は、エンコーダ54を示す平面図である。エンコーダ54は、円板であり、ターンテーブル1よりも下側に配置されている。エンコーダ54は、ターンテーブル1の回転軸に連結されており、ターンテーブル1の回転に伴って同軸で回転する。エンコーダ54には、円周に沿って等間隔に複数のスリット56が設けられている。スリット56の数は、ターンテーブル1の孔11の数と同数である。各スリット56は、エンコーダ54を貫通している。測定位置センサ53は、光センサであり、図5に破線で示すように、スリット56を検出することができる位置に配置されている。例えば、測定位置センサ53は、エンコーダ54へ光を照射して反射光を検出する構成であり、照射した光がスリット56を通過して反射光を検出できない場合にスリット56を検出したとする。また例えば、測定位置センサ53は、エンコーダ54を挟んで配置された発光部及び受光部を含み、発光部からの光を受光部で受光した場合にスリット56を検出したとする。測定位置センサ53及び複数のスリット56は、ターンテーブル1のいずれか一つの孔11が所定の測定値位置にある場合に測定位置センサ53がいずれか一つのスリット56を検出するような位置に配置されている。ターンテーブル1が回転し、夫々の孔11が測定位置に位置する都度、測定位置センサ53はスリット56を検出する。
FIG. 5 is a plan view showing the
また、エンコーダ54には、中心からの距離がスリット56とは異なる位置に、一つのスリット55が設けられている。スリット55は、エンコーダ54を貫通している。初期位置センサ52は、光センサであり、図5に破線で示すように、スリット55を検出することができる位置に配置されている。初期位置センサ52の構成は測定位置センサ53と同様である。初期位置センサ52及びスリット55は、ターンテーブル1の回転位置が所定の初期位置にある場合に初期位置センサ52がスリット55を検出するような位置に配置されている。蛍光X線分析装置は、ターンテーブル1の特定の孔11が測定位置にあるようなターンテーブル1の回転位置を初期位置としている。図1は、ターンテーブル1の回転位置が初期位置にある状態を示しており、番号1を付された孔11が測定位置にあるようなターンテーブル1の回転位置を初期位置としている。
The
蛍光X線分析装置は、急に電源が停止した後に再起動する場合等、起動した際に、ターンテーブル1の回転位置を初期位置に位置決めする処理を行う。図6は、起動時に蛍光X線分析装置が実行する位置決めの処理を示すフローチャートである。蛍光X線分析装置が起動した後、制御部35は、初期位置センサ52の検出結果に基づいて、ターンテーブル1の回転位置が初期位置にあるか否かを判定する(S11)。S11では、初期位置センサ52はスリット55の検出結果を示す信号を制御部35へ入力し、制御部35は、初期位置センサ52がスリット55を検出した場合にターンテーブル1の回転位置が初期位置にあると判定し、初期位置センサ52がスリット55を検出していない場合にターンテーブル1の回転位置は初期位置ではないと判定する。ターンテーブル1の回転位置が初期位置にある場合は(S11:YES)、制御部35は位置決めの処理を終了する。
The X-ray fluorescence analyzer performs a process of positioning the rotational position of the
ターンテーブル1の回転位置が初期位置ではない場合は(S11:NO)、制御部35は、測定位置センサ53の検出結果に基づいて、ターンテーブル1のいずれかの孔11が測定位置にあるか否かを判定する(S12)。S11では、測定位置センサ53はスリット56の検出結果を示す信号を制御部35へ入力し、制御部35は、測定位置センサ53がスリット56を検出した場合にいずれかの孔11が測定位置にあると判定し、測定位置センサ53がスリット56を検出していない場合にいずれの孔11も測定位置にないと判定する。測定位置センサ53及び制御部35によるS12の処理は、本発明における判定部に相当する。いずれかの孔11が測定位置にある場合は(S12:YES)、制御部35は、モータ41を動作させてターンテーブル1を上昇させる(S13)。図4を用いて説明したように、蛍光X線分析装置は回転する半月板44の直線状のエッジを検出することでターンテーブル1の上下位置を判定しているので、起動時にはターンテーブル1の上下位置を判定することができない。ターンテーブル1のいずれかの孔11が測定位置にある場合は、蛍光X線測定のためにターンテーブル1が下降している可能性があり、このままターンテーブル1が回転すると他の部品に干渉する虞がある。そこで、制御部35は、ターンテーブル1を回転させる前にS13でターンテーブル1を上昇させる。ターンテーブル1が最高点に達した場合、上下位置センサ42は半月板44の直線状のエッジを検出する。上下位置センサ42は検出結果を示す信号を制御部35へ入力し、制御部35は、上下位置センサ42が半月板44の直線状のエッジを検出した場合に、モータ41を制御して、ターンテーブル1の上昇を停止させる。なお、S13の処理が実行される前の時点でターンテーブル1が既に上昇している状態であっても、制御部35は、ターンテーブル1が既に上昇していることを検出することはできない。このため、ターンテーブル1が既に上昇している状態であっても、S13では、制御部35は、ターンテーブル1を上昇させる処理を行う。
When the rotational position of the
S13が終了した場合、又はS12でいずれの孔11も測定位置にない場合は(S12:NO)、制御部35は、ステッピングモータ51を動作させて、初期位置までターンテーブル1を回転させる(S14)。いずれの孔11も測定位置にない状態は、ターンテーブル1はいずれかの孔11が測定位置にある回転位置から回転した状態であり、ターンテーブル1は上昇した状態である。このため、ターンテーブル1を回転させても他の部品に干渉することは無い。そこで、いずれの孔11も測定位置にない場合は、制御部35は、即座にターンテーブル1を回転させる。初期位置センサ52はスリット55の検出結果を示す信号を制御部35へ入力し、制御部35は、初期位置センサ52がスリット55を検出した場合に、ステッピングモータ51を制御して、ターンテーブル1の回転を停止させる。S14が終了した後は、制御部35は、位置決めの処理を終了する。位置決めの処理を実行する制御部35は、本発明における位置決め部に相当する。蛍光X線分析装置は、回転する半月板44の直線状のエッジを上下位置センサ42で検出することでターンテーブル1の上下位置を判定しているので、半月板44が回転していない起動時には、ターンテーブル1の上下位置を判定することができない。ターンテーブル1の上下位置が不明な状態でも、ターンテーブル1を安全にしかも可及的に素早く初期位置に位置決めするために、蛍光X線分析装置はS1〜S14の処理を実行する必要がある。
When S13 is completed, or when none of the
蛍光X線分析装置は、起動し、位置決めの処理を行った後、蛍光X線分析を実行する。使用者は、試料を格納した試料ケース2を各孔11に挿入固定し、蓋31を閉鎖し、分析対象の成分の指定等、分析に必要な情報を操作部34を操作して入力し、操作部34を操作して分析開始の指示を入力する。図7は、蛍光X線分析装置が実行する蛍光X線分析の処理の手順を示すフローチャートである。制御部35は、自然数の変数であるカウント数iを1に初期化する(S21)。制御部35は、カウント数を記憶する。制御部35は、次に、モータ41を動作させてターンテーブル1を下降させる(S22)。ターンテーブル1が最低点に達した場合、上下位置センサ42は半月板44の直線状のエッジを検出する。制御部35は、上下位置センサ42が半月板44の直線状のエッジを検出した場合に、モータ41を制御して、ターンテーブル1の下降を停止させる。制御部35は、次に、試料センサ32の検出結果に基づいて、測定すべき試料があるか否かを判定する(S23)。S23では、試料センサ32は試料ケース2の検出結果を示す信号を制御部35へ入力し、制御部35は、試料センサ32が試料ケース2を検出した場合に試料があると判定し、試料センサ32が試料ケース2を検出していない場合に試料が無いと判定する。
The X-ray fluorescence analyzer is activated, performs positioning processing, and then executes X-ray fluorescence analysis. The user inserts and fixes the
測定すべき試料がある場合に(S23:YES)、制御部35は、蛍光X線測定を行う(S24)。S24では、制御部35は、照射部38にX線を照射させ、検出部37は蛍光X線を検出し、信号処理部36は蛍光X線のスペクトルを生成する。信号処理部36は、蛍光X線のスペクトルを示すデータを記憶する。S23で測定すべき試料が無い場合(S23:NO)、又はS24が終了した後は、制御部35は、モータ41を動作させてターンテーブル1を上昇させる(S25)。ここで、ターンテーブル1に設けられている孔11の数をNとする。例えば、N=8であり、Nの値は制御部35に予め記憶されている。制御部35は、次に、カウント数iがNであるか否かを判定する(S26)。i=Nではない場合は(S26:NO)、制御部35は、ステッピングモータ51を動作させて、次の孔11が測定位置に位置するような回転位置までターンテーブル1を回転させる(S27)。測定位置センサ53はスリット56の検出結果を示す信号を制御部35へ入力し、制御部35は、測定位置センサ53がスリット56を検出した場合に、ステッピングモータ51を制御して、ターンテーブル1の回転を停止させる。制御部35は、次に、カウント数iをインクリメントし(S28)、処理をS22へ戻す。
When there is a sample to be measured (S23: YES), the
S26でi=Nである場合は(S26:YES)、制御部35は、記憶した複数の蛍光X線のスペクトルを示すデータに基づいて、蛍光X線の測定結果を分析する(S29)。例えば、制御部35は、各試料について得られた蛍光X線のスペクトルに含まれる特定のピークの強度から、各試料に含まれる特定の成分の量を計算し、複数の試料に含まれる特定の成分の量の平均値を計算する。制御部35は、試料に含まれる特定の成分の濃度を計算してもよい。具体的には、試料が石油である場合に、試料に含まれる硫黄の濃度が計算される。また、制御部35は、平均値の計算以外の統計処理を行ってもよい。制御部35は、分析結果を表示部33に表示し(S30)、処理を終了する。なお、蛍光X線分析装置は、分析結果を示すデータを出力する機能を備えていてもよい。
When i = N in S26 (S26: YES), the
以上詳述した如く、本実施形態においては、蛍光X線分析装置は、起動時に、ターンテーブル1のいずれかの孔11が測定位置にあるか否かを判定し、いずれかの孔11が測定位置にある場合に、ターンテーブル1を上昇させ、ターンテーブル1を回転させて回転位置を初期位置に位置決めする。ターンテーブル1を他の部品に干渉しない位置まで一旦上昇させてから回転させることで、干渉を起こすことなく、安全にターンテーブル1を位置決めすることができる。また、蛍光X線分析装置は、いずれの孔11も測定位置にない場合に、ターンテーブル1を回転させて回転位置を初期位置に位置決めする。いずれの孔11も測定位置にない場合は、既にターンテーブル1が上昇した状態であるので、即座にターンテーブル1を回転させることで、安全に素早くターンテーブル1を位置決めすることができる。起動時にターンテーブル1の回転位置を初期位置に位置決めするので、使用者は、ターンテーブル1を調整する必要が無く、蛍光X線分析装置を起動させるだけで常に同じ状態で使用することができる。
As described above in detail, in the present embodiment, the X-ray fluorescence analyzer determines whether any
また、蛍光X線分析装置は、ステッピングモータ51によりターンテーブル1を回転させるので、ターンテーブル1の回転位置の位置決め制度が高くなり、回転に必要な時間が短縮される。回転に必要な時間が短縮されることにより、蛍光X線分析に必要な時間が短縮される。また、ステッピングモータ51は、回転角度を精度良く制御することができるので、ターンテーブル1の回転位置を精度良く制御することができる。このため、エンコーダ54を用いてターンテーブル1の回転位置を高精度に検出する必要性は低い。従って、エンコーダ54の精度を低くしてエンコーダ54のコストを低減させることが可能となる。
Moreover, since the fluorescent X-ray analyzer rotates the
なお、本実施形態に示した上下移動部の構成は一例であり、上下移動部は、図4に示した機構以外の機構でターンテーブル1を上下移動させる構成であってもよい。また、本実施形態においては、蛍光X線分析を一つの蛍光X線分析装置で行う形態を示したが、本発明の蛍光X線検出装置は、蛍光X線のスペクトルの測定までを行う形態であってもよい。以降の分析は、他の装置又は使用者によって行われる。また、本実施の形態においては、ステッピングモータ51を用いてターンテーブル1を回転させる形態を示したが、本発明の蛍光X線検出装置は、DC(direct current)モータを用いてターンテーブル1を回転させる形態であってもよい。
In addition, the structure of the up-and-down moving part shown to this embodiment is an example, and the structure to which the up-and-down moving part moves the
1 ターンテーブル
11 孔(試料保持部)
2 試料ケース
21 試料
35 制御部
37 検出部
38 照射部
41 モータ
42 上下位置センサ(上下位置検出部)
43 偏心カム
44 半月板
51 ステッピングモータ
52 初期位置センサ
53 測定位置センサ
54 エンコーダ
1
2
43
Claims (5)
前記複数の試料保持部のいずれか一つが前記所定の位置に位置しているか否かを判定する判定部と、
起動時に、前記ターンテーブルの回転位置を所定の初期位置に位置決めする位置決め部とを備え、
前記位置決め部は、
起動時に、いずれか一つの試料保持部が前記所定の位置に位置していると前記判定部が判定した場合に、前記上下移動部に前記ターンテーブルを上昇させ、前記ターンテーブルが上昇した状態で、前記ターンテーブルの回転位置が前記初期位置になるように前記ターンテーブルを回転させること
を特徴とする蛍光X線検出装置。 An X-ray irradiation unit, an X-ray detection unit, a turntable having a plurality of sample holding units, and a vertical movement unit for moving the turntable up and down, and holding any one sample at a predetermined position In the fluorescent X-ray detection apparatus in which the turntable is lowered by the up-and-down moving unit in a state where the unit is positioned, the irradiation unit irradiates the sample with X-rays, and the detection unit detects fluorescent X-rays generated from the sample ,
A determination unit for determining whether any one of the plurality of sample holding units is located at the predetermined position;
A positioning unit that positions the rotational position of the turntable at a predetermined initial position at the time of startup;
The positioning part is
When the determination unit determines that any one sample holding unit is located at the predetermined position at the time of activation, the turntable is raised to the vertical movement unit, and the turntable is raised The X-ray fluorescence detection apparatus, wherein the turntable is rotated so that the rotation position of the turntable becomes the initial position.
起動時に、いずれの試料保持部も前記所定の位置に位置していないと前記判定部が判定した場合に、前記ターンテーブルの回転位置が前記初期位置になるように前記ターンテーブルを回転させること
を特徴とする請求項1に記載の蛍光X線検出装置。 The positioning part is
When the determination unit determines that no sample holding unit is located at the predetermined position at the time of activation, the turntable is rotated so that the rotation position of the turntable becomes the initial position. The fluorescent X-ray detection apparatus according to claim 1, wherein
を特徴とする請求項1又は2に記載の蛍光X線検出装置。 The fluorescent X-ray detection apparatus according to claim 1, further comprising a stepping motor that rotates the turntable.
前記ターンテーブルを上下に移動させるための偏心カムと、
該偏心カムを回転させるモータと、
前記偏心カムに対して固定された半月板とを有し、
回転する前記半月板の直線状のエッジを検出することにより、前記ターンテーブルが上昇した位置又は下降した位置にあることを検出する上下位置検出部を更に備えること
を特徴とする請求項1乃至3のいずれか一つに記載の蛍光X線検出装置。 The up-and-down moving unit is
An eccentric cam for moving the turntable up and down;
A motor for rotating the eccentric cam;
A meniscus fixed to the eccentric cam;
4. A vertical position detector for detecting that the turntable is in a raised position or a lowered position by detecting a linear edge of the rotating meniscus. The fluorescent X-ray detection apparatus according to any one of the above.
前記複数の試料保持部のいずれか一つが前記所定の位置に位置しているか否かの判定を行う判定部により、起動時に、前記判定を行い、
いずれか一つの試料保持部が前記所定の位置に位置していると前記判定部が判定した場合に、前記上下移動部により前記ターンテーブルを上昇させ、
前記ターンテーブルが上昇した状態で、前記ターンテーブルの回転位置が前記初期位置になるように前記ターンテーブルを回転させること
を特徴とする制御方法。
An X-ray irradiation unit, an X-ray detection unit, a turntable having a plurality of sample holding units, and a vertical movement unit for moving the turntable up and down, and holding any one sample at a predetermined position A fluorescent X-ray detection device for detecting the fluorescent X-rays generated from the sample by the detection unit, wherein the turntable is lowered by the vertical movement unit in a state where the unit is positioned, the irradiation unit irradiates the sample with X-rays In the method of controlling
The determination unit that determines whether any one of the plurality of sample holding units is located at the predetermined position, performs the determination at the time of activation,
When the determination unit determines that any one sample holding unit is located at the predetermined position, the turntable is raised by the vertical movement unit,
A control method, comprising: rotating the turntable so that a rotation position of the turntable becomes the initial position when the turntable is raised.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015043760A JP2016161547A (en) | 2015-03-05 | 2015-03-05 | X-ray fluorescence detector and control method |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106950238A (en) * | 2017-05-26 | 2017-07-14 | 广东省粮食科学研究所 | A kind of Fast nondestructive evaluation and the method for filtering out low cadmium rice or brown rice simultaneously |
CN109490348A (en) * | 2019-01-21 | 2019-03-19 | 长沙开元仪器有限公司 | XRF detector and standard specimen calibrating installation for XRF detector |
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2015
- 2015-03-05 JP JP2015043760A patent/JP2016161547A/en active Pending
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