JP2016156091A - 無電解Niめっき方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 貴金属膜上に直接、Ni無電解めっきを行うことができる無電解Niめっき方法を提供すること。
【解決手段】 基板1上にPdよりもイオン化傾向が高い卑金属膜2を形成する卑金属膜形成工程と、卑金属膜上にPdよりもイオン化傾向が低い貴金属膜3を形成する貴金属膜形成工程と、貴金属膜上にNi膜5を無電解めっきするNiめっき工程とを有し、Niめっき工程前に、卑金属膜の一部を露出させ、さらに露出した卑金属膜にPdを含有したディップ液を接触させることで露出した卑金属膜にPd膜4を形成するPd膜形成工程を有している。
【選択図】図1
【解決手段】 基板1上にPdよりもイオン化傾向が高い卑金属膜2を形成する卑金属膜形成工程と、卑金属膜上にPdよりもイオン化傾向が低い貴金属膜3を形成する貴金属膜形成工程と、貴金属膜上にNi膜5を無電解めっきするNiめっき工程とを有し、Niめっき工程前に、卑金属膜の一部を露出させ、さらに露出した卑金属膜にPdを含有したディップ液を接触させることで露出した卑金属膜にPd膜4を形成するPd膜形成工程を有している。
【選択図】図1
Description
本発明は、貴金属電極上にNiの無電解めっきを行う方法に関する。
電子デバイスの製造等において、ウエハ内のAu等の貴金属電極上にはんだ又は溶接用のバンプを形成するために、Niの無電解めっきを行うことが要望されている。すなわち、無電解めっきは、電解めっきと比較して余分な配線をする必要がないため、素子の取得個数を増やすことができると共に、素子間が絶縁されるため、ウエハ上で電気特性検査ができることから、生産効率を上げることが可能になるためである。
従来、Niの置換型無電解めっきを行う場合、通常は貴金属めっき液に卑金属を浸漬して、めっき液中の貴金属を卑金属上に置換析出させる。その際、置換反応を利用するため、イオン化傾向の大きい卑金属を貴金属の表面にめっきすることはできない。つまり、Niの表面にAuのメッキを行う場合、無電解めっき法を利用することはできるが、Auの表面にNiのめっきを行う場合は、電解めっき法を利用する必要がある(例えば、特許文献1参照)。
上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、上記従来のNi無電解めっきの方法では、貴金属上に卑金属をめっきすることができなかった。
すなわち、上記従来のNi無電解めっきの方法では、貴金属上に卑金属をめっきすることができなかった。
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、貴金属膜上に直接、Ni無電解めっきを行うことができる無電解Niめっき方法を提供することを目的とする。
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第1の発明に係る無電解Niめっき方法は、基板上にPdよりもイオン化傾向が高い卑金属膜を形成する卑金属膜形成工程と、前記卑金属膜上にPdよりもイオン化傾向が低い貴金属膜を形成する貴金属膜形成工程と、前記貴金属膜上にNi膜を無電解めっきするNiめっき工程とを有し、前記Niめっき工程前に、前記卑金属膜の一部を露出させ、さらに露出した前記卑金属膜にPdを含有したディップ液を接触させることで露出した前記卑金属膜にPd膜を形成するPd膜形成工程を有していることを特徴とする。
この無電解Niめっき方法では、卑金属膜の一部を露出させ、さらに露出した卑金属膜にPdを含有したディップ液を接触させることで露出した卑金属膜にPd膜を形成するPd膜形成工程を有しているので、貴金属膜上に卑金属膜を成膜しなくても、一部が露出した卑金属膜の卑金属とPdとの置換反応が起こり、Pd膜を部分的に形成することができる。したがって、このPd触媒であるPd膜を核としてNiの自己触媒機能によりNi膜を増殖させ、貴金属膜上にもNiめっき膜を形成することができる。
第2の発明に係る無電解Niめっき方法は、第1の発明において、前記貴金属膜形成工程で、前記貴金属膜に複数の貫通孔を形成させることを特徴とする。
すなわち、この無電解Niめっき方法では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜に複数の貫通孔を形成させるので、貫通孔内にディップ液が侵入し貫通孔内に露出した卑金属膜の卑金属とPdとの置換反応が起こり、貫通孔内にPd膜を形成することができる。そして、貫通孔内のPd触媒を核としてNiの自己触媒機能によりNi膜を増殖させ、貴金属膜上にもNi膜を形成することができる。
すなわち、この無電解Niめっき方法では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜に複数の貫通孔を形成させるので、貫通孔内にディップ液が侵入し貫通孔内に露出した卑金属膜の卑金属とPdとの置換反応が起こり、貫通孔内にPd膜を形成することができる。そして、貫通孔内のPd触媒を核としてNiの自己触媒機能によりNi膜を増殖させ、貴金属膜上にもNi膜を形成することができる。
第3の発明に係る無電解Niめっき方法は、第2の発明において、前記貴金属膜形成工程で、前記貴金属膜をスパッタリングにより成膜し、前記貴金属膜が、まだ複数の貫通孔が残っている不完全な膜の状態で前記成膜を停止することを特徴とする。
すなわち、この無電解Niめっき方法では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜をスパッタリングにより成膜し、貴金属膜が、まだ複数の貫通孔が残っている不完全な膜の状態で成膜を停止するので、貫通孔を作製する工程を別途設ける必要が無くなり、工程数の削減を図ることができる。
すなわち、この無電解Niめっき方法では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜をスパッタリングにより成膜し、貴金属膜が、まだ複数の貫通孔が残っている不完全な膜の状態で成膜を停止するので、貫通孔を作製する工程を別途設ける必要が無くなり、工程数の削減を図ることができる。
第4の発明に係る無電解Niめっき方法は、第1から第3の発明のいずれかにおいて、前記貴金属膜形成工程で、前記貴金属膜を前記卑金属膜の上面のみにパターン形成し、前記卑金属膜の端部を露出させることを特徴とする。
すなわち、この無電解Niめっき方法では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜を卑金属膜の上面のみにパターン形成し、卑金属膜の端部を露出させるので、露出している卑金属膜の端部にPd膜を部分的に形成することができ、このPd膜からNi膜を増殖させ、貴金属膜上面にもNi膜を形成することができる。
すなわち、この無電解Niめっき方法では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜を卑金属膜の上面のみにパターン形成し、卑金属膜の端部を露出させるので、露出している卑金属膜の端部にPd膜を部分的に形成することができ、このPd膜からNi膜を増殖させ、貴金属膜上面にもNi膜を形成することができる。
第5の発明に係る無電解Niめっき方法は、第1の発明において、前記貴金属膜形成工程で、前記貴金属膜の表面から前記卑金属膜まで達する複数の溝を形成することを特徴とする。
すなわち、この無電解Niめっき方法では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜の表面から卑金属膜まで達する複数の溝を形成するので、溝内にディップ液が侵入し溝内に露出した卑金属膜の卑金属とPdとの置換反応が起こり、溝内にPd膜を形成することができる。そして、溝内のPd触媒を核としてNiの自己触媒機能によりNi膜を増殖させ、貴金属膜上にもNi膜を形成することができる。
すなわち、この無電解Niめっき方法では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜の表面から卑金属膜まで達する複数の溝を形成するので、溝内にディップ液が侵入し溝内に露出した卑金属膜の卑金属とPdとの置換反応が起こり、溝内にPd膜を形成することができる。そして、溝内のPd触媒を核としてNiの自己触媒機能によりNi膜を増殖させ、貴金属膜上にもNi膜を形成することができる。
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係る無電解Niめっき方法によれば、卑金属膜の一部を露出させ、さらに露出した卑金属膜にPdを含有したディップ液を接触させることで露出した卑金属膜にPd膜を形成するPd膜形成工程を有しているので、一部が露出した卑金属膜にPd膜を部分的に形成し、このPd膜からNi膜を増殖させて、貴金属膜上にもNiめっき膜を形成することができる。
すなわち、本発明に係る無電解Niめっき方法によれば、卑金属膜の一部を露出させ、さらに露出した卑金属膜にPdを含有したディップ液を接触させることで露出した卑金属膜にPd膜を形成するPd膜形成工程を有しているので、一部が露出した卑金属膜にPd膜を部分的に形成し、このPd膜からNi膜を増殖させて、貴金属膜上にもNiめっき膜を形成することができる。
以下、本発明に係る無電解Niめっき方法における第1実施形態を、図1を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる図面の一部では、各部を認識可能又は認識容易な大きさとするために必要に応じて縮尺を適宜変更している。
本実施形態の無電解Niめっき方法は、図1に示すように、基板1上にPdよりもイオン化傾向が高い卑金属膜2を形成する卑金属膜形成工程と、卑金属膜2上にPdよりもイオン化傾向が低い貴金属膜3を形成する貴金属膜形成工程と、貴金属膜3上にNi膜5を無電解めっきするNiめっき工程とを有している。
上記Niめっき工程前に、卑金属膜2の一部を露出させ、さらに露出した卑金属膜2にPdを含有したディップ液を接触させることで露出した卑金属膜2にPd膜4を形成するPd膜形成工程を有している。
上記Niめっき工程前に、卑金属膜2の一部を露出させ、さらに露出した卑金属膜2にPdを含有したディップ液を接触させることで露出した卑金属膜2にPd膜4を形成するPd膜形成工程を有している。
上記貴金属膜形成工程では、貴金属膜3に複数の貫通孔3aを形成させている。すなわち、本実施形態では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜3をスパッタリングにより成膜し、その際に貴金属膜3が、まだ複数の貫通孔3aが残っている不完全な膜の状態で前記成膜を停止する。なお、図1では、簡易的に貫通孔3aを一つだけ図示しているが、実際は複数の貫通孔3aが点在している。
より具体的に上記各工程について説明すると、卑金属膜形成工程では、卑金属膜2として例えばCr膜をスパッタリングにより基板1上に形成する。
なお、本実施形態では、基板1としてポリイミドフィルムを採用しているが、シリコン等の他の基板も採用可能である。
なお、本実施形態では、基板1としてポリイミドフィルムを採用しているが、シリコン等の他の基板も採用可能である。
Crの卑金属膜2のスパッタ条件は、厚さ20nm、スパッタガス圧:0.1Pa、ターゲット投入電力(出力):300Wで、Arガス50sccmとする。
次に、貴金属膜形成工程として、図1の(a)に示すように、卑金属膜2上に貴金属膜3として例えばAu膜をスパッタリングにより形成する。このときのスパッタ条件は、厚み200nm、スパッタガス圧:0.1Pa、ターゲット投入電力(出力):100Wで、Arガス50sccmとする。
次に、貴金属膜形成工程として、図1の(a)に示すように、卑金属膜2上に貴金属膜3として例えばAu膜をスパッタリングにより形成する。このときのスパッタ条件は、厚み200nm、スパッタガス圧:0.1Pa、ターゲット投入電力(出力):100Wで、Arガス50sccmとする。
なお、Au膜(貴金属膜3)をスパッタリングする際にスパッタガス圧を0.1Paより大きく設定すると、膜質がポーラスとなって貫通孔3aが形成され易い。
また、Au膜(貴金属膜3)の厚みは500nm未満に設定される。Au膜を500nm未満と薄く設定する理由は、500nm未満であると、膜の貫通孔3aが完全に埋まらずに複数の貫通孔3aが開いた状態の不完全な膜の状態となるためである。すなわち、本実施形態では、厚み200nmと薄く成膜するため、貴金属膜3には複数の貫通孔3aが残っている。
また、Au膜(貴金属膜3)の厚みは500nm未満に設定される。Au膜を500nm未満と薄く設定する理由は、500nm未満であると、膜の貫通孔3aが完全に埋まらずに複数の貫通孔3aが開いた状態の不完全な膜の状態となるためである。すなわち、本実施形態では、厚み200nmと薄く成膜するため、貴金属膜3には複数の貫通孔3aが残っている。
次に、貴金属膜3に貫通孔3aが点在している状態で、Pdを含有したディップ液に卑金属膜2及び貴金属膜3が積層された基板1を浸漬させる。このとき、図1の(b)に示すように、ディップ液が貫通孔3aから侵入して貫通孔3a内に露出している卑金属膜2のCrとディップ液のPdとの置換反応が起こり、卑金属膜2の表面にPd膜4が形成される。なお、上記ディップ液は、一般的な無電解Pd触媒液が利用可能である。
次に、Niめっき工程として、図1の(c)に示すように、貴金属膜3上に無電解Niめっきを行ってNi膜5を形成する。このとき、貫通孔3a内にめっき液が侵入して貫通孔3a内のPd触媒(Pd膜4)を核として、次亜リン酸イオンとNiイオンとの共存反応(自己触媒機能)により、Ni膜5が貴金属膜3の上面まで増殖し、15分程度で厚さ3μm程のNi膜5が形成される。
この無電解Niめっきは、例えばリンを数%含有する無電解ニッケル−リン(Ni−P)めっき浴を用いる。
この無電解Niめっきは、例えばリンを数%含有する無電解ニッケル−リン(Ni−P)めっき浴を用いる。
このように本実施形態の無電解Niめっき方法では、卑金属膜2の一部を露出させ、さらに露出した卑金属膜2にPdを含有したディップ液を接触させることで露出した卑金属膜2にPd膜4を形成するPd膜形成工程を有しているので、貴金属膜3上に卑金属膜2を成膜しなくても、一部が露出した卑金属膜2の卑金属とPdとの置換反応が起こり、Pd膜を部分的に形成することができ、このPd触媒であるPd膜4を核としてNiの自己触媒機能によりNi膜5を増殖させ、貴金属膜3上にもNi膜5を形成することができる。
また、貴金属膜形成工程で、貴金属膜3に複数の貫通孔3aを形成させるので、貫通孔3a内にディップ液が侵入し貫通孔3a内に露出した卑金属膜2の卑金属とPdとの置換反応が起こり、貫通孔3a内にPd膜を形成することができる。そして、貫通孔3a内のPd触媒を核としてNiの自己触媒機能によりNi膜5を増殖させ、貴金属膜3上にもNi膜5を形成することができる。
特に、貴金属膜3をスパッタリングにより成膜し、貴金属膜3が、まだ複数の貫通孔3aが残っている不完全な膜の状態で成膜を停止するので、貫通孔3aを作製する工程を別途設ける必要が無くなり、工程数の削減を図ることができる。
特に、貴金属膜3をスパッタリングにより成膜し、貴金属膜3が、まだ複数の貫通孔3aが残っている不完全な膜の状態で成膜を停止するので、貫通孔3aを作製する工程を別途設ける必要が無くなり、工程数の削減を図ることができる。
次に、本発明に係る無電解Niめっき方法の第2及び第3実施形態について、図2及び図5,6を参照して以下に説明する。なお、以下の実施形態の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。
第2実施形態と第1実施形態との異なる点は、第1実施形態では、貴金属膜3に形成した貫通孔3a内に卑金属膜2を露出させているのに対し、第2実施形態の無電解Niめっき方法では、図2に示すように、貴金属膜形成工程で、貴金属膜3を卑金属膜2の上面のみにパターン形成し、卑金属膜2の端部を露出させる点である。
この第2実施形態では、卑金属膜2上に貫通孔3aが残らない厚さまで貴金属膜3を成膜する。すなわち、貴金属膜3を500nm以上形成し、貫通孔が完全に塞がったベタ膜状態とする。この後、卑金属膜2上に貴金属膜3をスパッタリングで成膜し、さらに、図2の(a)に示すように、卑金属膜2の上面のみに貴金属膜2が残るように貴金属膜3をフォトリソグラフィ工程等でパターン形成し、卑金属膜2の端部を露出させる。
次に、卑金属膜2の端部が露出している状態で、Pdを含有したディップ液に卑金属膜2及び貴金属膜3が積層された基板1を浸漬させる。このとき、図2の(b)に示すように、ディップ液が露出している卑金属膜2端部のCrとディップ液のPdとの置換反応が起こり、卑金属膜2の端部にPd膜4が形成される。
次に、Niめっき工程として、図2の(c)に示すように、貴金属膜3上に無電解Niめっきを行ってNi膜5を形成する。このとき、卑金属膜2の端部に形成されたPd触媒(Pd膜4)を核として、次亜リン酸イオンとNiイオンとの共存反応(自己触媒機能)により、卑金属膜2の端部からNi膜5が貴金属膜3の上面まで増殖し、15分程度で厚さ3μm程のNi膜5が形成される。
このように第2実施形態の無電解Niめっき方法では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜3を卑金属膜2の上面のみにパターン形成し、卑金属膜2の端部を露出させるので、露出している卑金属膜2の端部にPd膜4を部分的に形成することができ、このPd膜4からNi膜5を増殖させ、貴金属膜3上面にもNi膜5を形成することができる。
次に、第3実施形態と第1実施形態との異なる点は、第1実施形態では、貴金属膜3に複数の貫通孔3aを形成させているのに対し、第3実施形態の無電解Niめっき方法では、図5及び図6に示すように、貴金属膜形成工程で、貴金属膜3の表面から卑金属膜2まで達する複数の溝Mを形成する点である。
すなわち、第3実施形態では、貴金属膜3を形成した後、図5及び図6の(a)に示すように、カッター等によって貴金属膜3をスクライブして、例えば格子状に複数の溝Mを形成する。このとき、溝Mを卑金属膜2まで深く形成する。
なお、溝Mとしては、スリット状又はひび状の溝も含むものとする。
なお、溝Mとしては、スリット状又はひび状の溝も含むものとする。
次に、溝M内に卑金属膜2が露出している状態で、Pdを含有したディップ液に卑金属膜2及び貴金属膜3が積層された基板1を浸漬させる。このとき、ディップ液が溝M内に露出している卑金属膜2のCrとディップ液のPdとの置換反応が起こり、溝M内の卑金属膜2にPd膜(図示略)が形成される。
次に、Niめっき工程として、図6の(b)に示すように、貴金属膜3上に無電解Niめっきを行ってNi膜5を形成する。このとき、溝M内の卑金属膜2に形成されたPd触媒(Pd膜)を核として、次亜リン酸イオンとNiイオンとの共存反応(自己触媒機能)により、溝M内の卑金属膜2からNi膜5が貴金属膜3の上面まで増殖し、貴金属膜3上にNi膜5が形成される。
このように第3実施形態の無電解Niめっき方法では、貴金属膜形成工程で、貴金属膜3の表面から卑金属膜2まで達する複数の溝Mを形成するので、溝M内にディップ液が侵入し溝M内に露出した卑金属膜2の卑金属とPdとの置換反応が起こり、溝M内にPd膜(図示略)を形成することができる。そして、溝M内のPd触媒を核としてNiの自己触媒機能によりNi膜5を増殖させ、貴金属膜3上にもNi膜5を形成することができる。
したがって、第3実施形態の方法は、カッター等で溝Mを形成するので、特に貴金属膜3が厚い場合に有効である。
したがって、第3実施形態の方法は、カッター等で溝Mを形成するので、特に貴金属膜3が厚い場合に有効である。
次に、本発明に係る無電解Niめっき方法について、上記実施形態に基づいて実際に無電解Niめっきを行った結果を、図3及び図4を参照して説明する。
本発明の実施例では、上記第1実施形態に基づいて、卑金属膜としてCr膜をスパッタリングにより形成した。このときのスパッタ条件は、厚さ20nm、スパッタガス圧:0.1Pa、ターゲット投入電力(出力):300Wで、Arガス50sccmとした。また、貴金属膜としてAu膜をスパッタリングにより形成した。このときのスパッタ条件は、厚み200nm、スパッタガス圧:0.1Pa、ターゲット投入電力(出力):100Wで、Arガス50sccmとした。
基板上に卑金属膜及び貴金属膜を形成した状態で、硝酸曝気試験を行い、貫通孔を含む表面の穴を明確にした写真を図3に示す。この写真からわかるように、貴金属膜に貫通孔を含む複数の微細な穴が残っている(写真中の白点が穴)。
また、Ni膜を形成した後のSEM画像による断面写真を図4に示す。この断面写真からわかるように、Auの貴金属膜上にNi膜が無電解めっきできれいに形成されている。
また、Ni膜を形成した後のSEM画像による断面写真を図4に示す。この断面写真からわかるように、Auの貴金属膜上にNi膜が無電解めっきできれいに形成されている。
なお、本発明の技術範囲は上記各実施形態及び実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
1…基板、2…卑金属膜、3…貴金属膜、3a…貫通孔、4…Pd膜、5…Ni膜、M…溝
Claims (5)
- 基板上にPdよりもイオン化傾向が高い卑金属膜を形成する卑金属膜形成工程と、
前記卑金属膜上にPdよりもイオン化傾向が低い貴金属膜を形成する貴金属膜形成工程と、
前記貴金属膜上にNi膜を無電解めっきするNiめっき工程とを有し、
前記Niめっき工程前に、前記卑金属膜の一部を露出させ、さらに露出した前記卑金属膜にPdを含有したディップ液を接触させることで露出した前記卑金属膜にPd膜を形成するPd膜形成工程を有していることを特徴とする無電解Niめっき方法。 - 請求項1に記載の無電解Niめっき方法において、
前記貴金属膜形成工程で、前記貴金属膜に複数の貫通孔を形成させることを特徴とする無電解Niめっき方法。 - 請求項2に記載の無電解Niめっき方法において、
前記貴金属膜形成工程で、前記貴金属膜をスパッタリングにより成膜し、その際に前記貴金属膜が、まだ複数の貫通孔が残っている不完全な膜の状態で前記成膜を停止することを特徴とする無電解Niめっき方法。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の無電解Niめっき方法において、
前記貴金属膜形成工程で、前記貴金属膜を前記卑金属膜の上面のみにパターン形成し、前記卑金属膜の端部を露出させることを特徴とする無電解Niめっき方法。 - 請求項1に記載の無電解Niめっき方法において、
前記貴金属膜形成工程で、前記貴金属膜の表面から前記卑金属膜まで達する複数の溝を形成することを特徴とする無電解Niめっき方法。
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