JP2016153920A - 偏光光照射装置 - Google Patents
偏光光照射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016153920A JP2016153920A JP2016100261A JP2016100261A JP2016153920A JP 2016153920 A JP2016153920 A JP 2016153920A JP 2016100261 A JP2016100261 A JP 2016100261A JP 2016100261 A JP2016100261 A JP 2016100261A JP 2016153920 A JP2016153920 A JP 2016153920A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- polarizer
- light source
- quartz plate
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【課題】光源と、当該光源からの光を偏光するワイヤーグリッド偏光素子とを備える偏光光照射装置において、光学性能を維持しつつ、ワイヤーグリッド偏光素子をシロキサン化合物による白濁や物理的衝撃から保護することができる偏光光照射装置を提供する。【解決手段】偏光光照射装置100は、光源(ランプ)と、光源からの光を偏光する偏光子(ワイヤーグリッド偏光素子)と、偏光子の光源とは反対側に配置され、偏光子によって偏光した偏光光を透過するフィルタ(石英板)と、を備える。当該フィルタは、偏光光の光入射側および光出射側の少なくとも一方に反射防止膜(ARコート)が形成されている。【選択図】 図3
Description
本発明は、偏光光を照射して光配向処理を行う偏光光照射装置に関し、特に光源からの光を偏光する偏光子としてワイヤーグリッド偏光素子を使用する偏光光照射装置に関する。
近年、液晶パネルをはじめとする液晶表示素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向層などの配向処理に関し、紫外線領域の波長の偏光光を照射し配向を行なう、光配向と呼ばれる技術が採用されている。光により配向特性が生じる光配向膜は、液晶パネルの大型化と共に、例えば一辺が2000mm以上の四角形というように大面積化している。
光配向に用いる照射装置は、一般に、光源と偏光子とを備え、光源の光を偏光子に通して得られる偏光光を照射する。上記のような大面積の光配向膜に対して光配向を行う場合、線状の光源である棒状のランプとワイヤーグリッド偏光素子とを組み合わせた偏光光照射装置を用いる。そして、棒状ランプからの光を、ワイヤーグリッド偏光素子を介して偏光して照射しながら、光配向膜または棒状ランプを当該棒状ランプの長手方向に直交する方向に移動させることで、大面積の光配向膜に対して光配向処理を行う。
光配向に用いる照射装置は、一般に、光源と偏光子とを備え、光源の光を偏光子に通して得られる偏光光を照射する。上記のような大面積の光配向膜に対して光配向を行う場合、線状の光源である棒状のランプとワイヤーグリッド偏光素子とを組み合わせた偏光光照射装置を用いる。そして、棒状ランプからの光を、ワイヤーグリッド偏光素子を介して偏光して照射しながら、光配向膜または棒状ランプを当該棒状ランプの長手方向に直交する方向に移動させることで、大面積の光配向膜に対して光配向処理を行う。
このような偏光光照射装置としては、例えば特許文献1に記載の技術がある。この技術は、複数のワイヤーグリッド偏光素子をランプ長手方向に並べて構成した偏光子ユニットを用いて光配光処理を行うものである。具体的には、線状の光源として、例えば長さ1mから3mといった棒状の高圧水銀ランプやメタルハライドランプを用い、偏光素子として、矩形のワイヤーグリッド偏光素子を複数、グリッドの方向をそろえ、フレームの中にランプ長手方向に沿って並べた偏光子ユニットを用いている。
ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドは微細な加工により製造されるものであり、当該グリッドの幅や間隔は、例えば100nmである。そのため、偏光光照射装置の保守点検の際などに、作業者が偏光素子のグリッド形成面に誤って触れてしまうと、グリッド構造が壊れ、偏光素子としての役目を果たさなくなるおそれがある。
また、このような偏光光照射装置が配置される、半導体や液晶表示素子の工場のクリーンルームの雰囲気には、シロキサン化合物と呼ばれる物質が含まれており、製造上のトラブルや収率の悪化の原因になることが知られている(例えば、非特許文献1参照)。
また、このような偏光光照射装置が配置される、半導体や液晶表示素子の工場のクリーンルームの雰囲気には、シロキサン化合物と呼ばれる物質が含まれており、製造上のトラブルや収率の悪化の原因になることが知られている(例えば、非特許文献1参照)。
シロキサン化合物は例えばレジストの現像液などに多く含まれている。シロキサン化合物は、紫外線が照射されると光化学反応により白い粉を生じ、紫外線照射装置内部の光学素子の表面を白濁させる。ワイヤーグリッド偏光素子は、ガラス基板等の表面に微細なグリッドを形成したものであり、この面にシロキサン化合物が付着すると簡単にクリーニングすることができない。
このような問題に鑑みて、ワイヤーグリッド偏光素子の光出射側(偏光素子に対してランプとは反対側)に、偏光光を透過するフィルタ(石英板等)を配置し、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッド形成面を保護することも考えられる。しかしながら、偏光素子の光出射側に光学素子を配置すると、光照射面内における消光比の低下や偏光軸のばらつきが発生するなど、光学性能が悪化してしまう。
このような問題に鑑みて、ワイヤーグリッド偏光素子の光出射側(偏光素子に対してランプとは反対側)に、偏光光を透過するフィルタ(石英板等)を配置し、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッド形成面を保護することも考えられる。しかしながら、偏光素子の光出射側に光学素子を配置すると、光照射面内における消光比の低下や偏光軸のばらつきが発生するなど、光学性能が悪化してしまう。
そこで、本発明は、光源と、当該光源からの光を偏光するワイヤーグリッド偏光素子とを備える偏光光照射装置において、光学性能を維持しつつ、ワイヤーグリッド偏光素子をシロキサン化合物等の光化学反応化合物による白濁や物理的衝撃から保護することができる偏光光照射装置を提供することを課題としている。
上記課題を解決するために、本発明に係る偏光光照射装置の一態様は、光源と、前記光源からの光を偏光する偏光子であるワイヤーグリッド偏光素子と、前記偏光子の前記光源とは反対側に配置され、前記偏光子によって偏光した偏光光を透過するフィルタと、を備え、前記フィルタは、前記偏光光の光入射側および光出射側の少なくとも一方に反射防止膜が形成されている。
このように、偏光子の光源とは反対側にフィルタを配置するので、偏光子を処理雰囲気中のシロキサン化合物等の光化学反応化合物による白濁や作業者による物理的衝撃から保護することができる。また、フィルタに反射防止膜を形成するので、フィルタを介したあとの偏光光の照射面内における消光比の低下や偏光軸のばらつきを抑制することができる。すなわち、光学性能を、偏光子の光出射側にフィルタを配置しない場合の光学性能に近づけることができる。
このように、偏光子の光源とは反対側にフィルタを配置するので、偏光子を処理雰囲気中のシロキサン化合物等の光化学反応化合物による白濁や作業者による物理的衝撃から保護することができる。また、フィルタに反射防止膜を形成するので、フィルタを介したあとの偏光光の照射面内における消光比の低下や偏光軸のばらつきを抑制することができる。すなわち、光学性能を、偏光子の光出射側にフィルタを配置しない場合の光学性能に近づけることができる。
また、上記の偏光光照射装置において、前記光源は線状光源であって、前記偏光子及び前記フィルタは、それぞれ前記線状光源の延在する方向に沿って複数並設されており、前記フィルタは、前記偏光子同士の継ぎ目と前記フィルタ同士の継ぎ目とが、前記線状光源の延在する方向に直交する方向において互いに重ならないように、前記線状光源の延在する方向に位置をずらして配置されていてもよい。
このように、偏光子同士の継ぎ目とフィルタ同士の継ぎ目とをずらすことで、偏光子継ぎ目の消光比が低い箇所と、フィルタ継ぎ目の消光比が低い箇所とが重ならないようにすることができ、消光比の大幅な低下を抑制することができる。
このように、偏光子同士の継ぎ目とフィルタ同士の継ぎ目とをずらすことで、偏光子継ぎ目の消光比が低い箇所と、フィルタ継ぎ目の消光比が低い箇所とが重ならないようにすることができ、消光比の大幅な低下を抑制することができる。
さらに、上記の偏光光照射装置において、前記フィルタは、当該フィルタ同士の継ぎ目が、前記線状光源の延在する方向において前記偏光子の中央に位置するように配置されていてもよい。
このように、フィルタ同士の継ぎ目を偏光子の中央位置に配置することで、偏光子同士の継ぎ目とフィルタ同士の継ぎ目とを最も離れた位置に配置することができる。したがって、消光比の低下をより効果的に抑制することができる。
このように、フィルタ同士の継ぎ目を偏光子の中央位置に配置することで、偏光子同士の継ぎ目とフィルタ同士の継ぎ目とを最も離れた位置に配置することができる。したがって、消光比の低下をより効果的に抑制することができる。
また、上記の偏光光照射装置において、前記偏光子の前記線状光源の延在する方向の長さと、前記フィルタの前記線状光源の延在する方向の長さとが同じ長さであってもよい。
このように、フィルタのサイズを比較的小さく設定することで、偏光軸角度のばらつき(軸ムラ)を抑制することができる。さらに、フィルタ同士の継ぎ目を偏光子の中央位置に配置すれば、照射面内における消光比の均一化を図ることができる。
このように、フィルタのサイズを比較的小さく設定することで、偏光軸角度のばらつき(軸ムラ)を抑制することができる。さらに、フィルタ同士の継ぎ目を偏光子の中央位置に配置すれば、照射面内における消光比の均一化を図ることができる。
さらに、本発明に係る偏光光照射装置の一態様は、線状光源と、前記線状光源からの光を偏光する偏光子であるワイヤーグリッド偏光素子と、前記偏光子の前記光源とは反対側に配置され、前記偏光子によって偏光した偏光光を透過するフィルタと、を備え、前記偏光子及び前記フィルタは、それぞれ前記線状光源の延在する方向に沿って複数並設されており、前記フィルタは、前記偏光子同士の継ぎ目と前記フィルタ同士の継ぎ目とが、前記線状光源の延在する方向に直交する方向において互いに重ならないように、前記線状光源の延在する方向に位置をずらして配置されている。
このように、偏光子の光源とは反対側にフィルタを配置するので、偏光子を処理雰囲気中のシロキサン化合物等の光化学反応化合物による白濁や作業者による物理的衝撃から保護することができる。また、偏光子同士の継ぎ目とフィルタ同士の継ぎ目とをずらすことで、偏光子継ぎ目の消光比が低い箇所と、フィルタ継ぎ目の消光比が低い箇所とが重ならないようにすることができ、消光比の大幅な低下を抑制することができる。すなわち、消光比の特性を、偏光子の光出射側にフィルタを配置しない場合の特性に近づけることができる。
また、本発明にかかる偏光光照射装置の一態様は、線状光源と、前記線状光源からの光を偏光する偏光子であるワイヤーグリッド偏光素子と、前記偏光子の前記光源とは反対側に配置され、前記偏光子によって偏光した偏光光を透過するフィルタと、を備え、前記偏光子及び前記フィルタは、それぞれ前記線状光源の延在する方向に沿って複数並設されており、前記偏光子の前記線状光源の延在する方向の長さと、前記フィルタの前記線状光源の延在する方向の長さとが同じ又は略同じ長さである。
このように、偏光子の光源とは反対側にフィルタを配置するので、偏光子を処理雰囲気中のシロキサン化合物等の光化学反応化合物による白濁や作業者による物理的衝撃から保護することができる。また、偏光子のサイズとフィルタのサイズとを同サイズ又は略同サイズとし、フィルタのサイズを比較的小さく設定することで、偏光軸角度のばらつき(軸ムラ)を抑制することができる。すなわち、偏光軸角度の特性を、偏光子の光出射側にフィルタを配置しない場合の特性に近づけることができる。
本発明の偏光光照射装置では、ワイヤーグリッド偏光素子の光出射側に配置するフィルタに反射防止膜を形成するので、フィルタを介在させることによる光学性能(偏光軸角度、消光比)の悪化を抑制することができる。すなわち、光学性能を維持しつつ、当該フィルタによってワイヤーグリッド偏光素子をシロキサン化合物等の光化学反応化合物による白濁や物理的衝撃から保護することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態の偏光光照射装置を示す概略構成図である。
偏光光照射装置100は、光照射部10と、ワークWを搬送する搬送部20とを備える。ここで、ワークWは、光配向膜が形成された、例えば液晶パネルの大きさに整形された矩形状の基板である。光配向膜は、液晶パネルの大型化と共に大面積化しており、例えば一辺が2000mm以上の四角形である。
偏光光照射装置100は、光照射部10から所定の波長の偏光光(偏光した光)を照射しながら、搬送部20によってワークWを直線移動させ、ワークWの光配向膜に上記偏光光を照射して光配向処理するものである。
図1は、本実施形態の偏光光照射装置を示す概略構成図である。
偏光光照射装置100は、光照射部10と、ワークWを搬送する搬送部20とを備える。ここで、ワークWは、光配向膜が形成された、例えば液晶パネルの大きさに整形された矩形状の基板である。光配向膜は、液晶パネルの大型化と共に大面積化しており、例えば一辺が2000mm以上の四角形である。
偏光光照射装置100は、光照射部10から所定の波長の偏光光(偏光した光)を照射しながら、搬送部20によってワークWを直線移動させ、ワークWの光配向膜に上記偏光光を照射して光配向処理するものである。
光照射部10は、線状の光源であるランプ11と、ランプ11の光を反射するミラー12と、ランプ11及びミラー12からなる光源部の光出射側に配置された偏光子ユニット13とを備える。さらに、光照射部10は、ランプハウス(外壁)14を備える。ランプ11、ミラー12及び偏光子ユニット13は、ランプハウス14に収容されている。
光照射部10は、ランプ11の長手方向をワークWの搬送方向(X方向)に直交する方向(Y方向)に一致させた状態で設置されている。
ランプ11は長尺状のランプであり、その発光部が、ワークWの搬送方向に直交する方向の幅に対応する長さを有する。当該ランプ11は、例えば、高圧水銀ランプや水銀に他の金属を加えたメタルハライドランプ等であり、波長200nm〜400nmの紫外光を放射する。
光照射部10は、ランプ11の長手方向をワークWの搬送方向(X方向)に直交する方向(Y方向)に一致させた状態で設置されている。
ランプ11は長尺状のランプであり、その発光部が、ワークWの搬送方向に直交する方向の幅に対応する長さを有する。当該ランプ11は、例えば、高圧水銀ランプや水銀に他の金属を加えたメタルハライドランプ等であり、波長200nm〜400nmの紫外光を放射する。
光配向膜の材料としては、波長254nmの光で配向されるもの、波長313nmの光で配向されるもの、波長365nmの光で配向されるものなどが知られており、光源の種類は必要とされる波長に応じて適宜選択する。
なお、光源としては、紫外光を放射するLED(Light Emitting Diode)やLD(Laser Diode)を直線状に並べて配置した線状光源を用いることもできる。その場合、LEDやLDを並べる方向がランプの長手方向に相当する。
なお、光源としては、紫外光を放射するLED(Light Emitting Diode)やLD(Laser Diode)を直線状に並べて配置した線状光源を用いることもできる。その場合、LEDやLDを並べる方向がランプの長手方向に相当する。
偏光子ユニット13は、複数の偏光子を、ランプ11の長手方向に沿ってフレーム(保持枠)内に並べて配置したものである。当該偏光子は、光透過基板上に多数のグリッドを形成したワイヤーグリッド偏光素子であり、当該偏光子の個数は、偏光光を照射する領域の大きさに合わせて適宜選択する。また、各偏光子は、それぞれ透過軸が同一方向を向くように配置されている。なお、ここでは従来の表記に合わせてワイヤーとしているが、グリッドの材質は金属ではない場合もある。
搬送部20は、真空吸着等の方法によりワークWを吸着保持する平板状のワークステージ21と、ワークステージ21の移動方向に沿って延びる2本のガイド22と、ワークステージ21の移動機構を一例として構成する電磁石23とを備える。
ここでは、上記移動機構として、例えば、リニアモータステージを採用する。リニアモータステージは、碁盤目状に強磁性体の凸極が設けられた平面状のプラテンの上に移動体(ワークステージ)をエアーにより浮上させ、移動体に磁力を印加して、移動体とプラテンの凸極との間の磁力を変化させることにより移動体(ワークステージ)を移動する機構である。
ここでは、上記移動機構として、例えば、リニアモータステージを採用する。リニアモータステージは、碁盤目状に強磁性体の凸極が設けられた平面状のプラテンの上に移動体(ワークステージ)をエアーにより浮上させ、移動体に磁力を印加して、移動体とプラテンの凸極との間の磁力を変化させることにより移動体(ワークステージ)を移動する機構である。
ワークステージ21は、その一辺の方向がステージ移動方向(X方向)を向くように配置されると共に、ガイド22によって真直度を補償した状態で往復移動可能に支持されている。
本明細書において、ワークステージ21の移動方向がX方向であり、X方向に垂直な水平方向がY方向、鉛直方向がZ方向である。また、ワークWは矩形状であり、一辺の方向がX方向に向き、他方の辺がY方向を向いた姿勢でワークステージ21上に保持されているものとする。
ワークステージ21の移動経路は、光照射部10の真下を通るように設計されている。そして、搬送部20は、ワークWを光照射部10による偏光光の照射位置に搬送し、且つその照射位置を通過させるように構成されている。この通過の過程で、ワークWの光配向膜が光配向処理される。
本明細書において、ワークステージ21の移動方向がX方向であり、X方向に垂直な水平方向がY方向、鉛直方向がZ方向である。また、ワークWは矩形状であり、一辺の方向がX方向に向き、他方の辺がY方向を向いた姿勢でワークステージ21上に保持されているものとする。
ワークステージ21の移動経路は、光照射部10の真下を通るように設計されている。そして、搬送部20は、ワークWを光照射部10による偏光光の照射位置に搬送し、且つその照射位置を通過させるように構成されている。この通過の過程で、ワークWの光配向膜が光配向処理される。
次に、光照射部10の具体的構成について、図2及び図3を参照しながら説明する。
図2は、光照射部10の長手方向に直交する方向の断面図である。また、図3は、光照射部10の長手方向の断面図である。なお、図2及び図3において、ランプの点灯装置などの構成については図示を省略している。
図2に示すように、ミラー12は、断面が楕円形または放物線状の樋状集光鏡であり、ランプ11からの放射光を光出射口14aの方向に反射する。ミラー12は、その長手方向がランプ11の長手方向と一致するように配置されている。また、ランプ11及びミラー12からなる光源部は、隔壁15により囲まれており、隔壁15の外側をランプハウス14が覆っている。
図2は、光照射部10の長手方向に直交する方向の断面図である。また、図3は、光照射部10の長手方向の断面図である。なお、図2及び図3において、ランプの点灯装置などの構成については図示を省略している。
図2に示すように、ミラー12は、断面が楕円形または放物線状の樋状集光鏡であり、ランプ11からの放射光を光出射口14aの方向に反射する。ミラー12は、その長手方向がランプ11の長手方向と一致するように配置されている。また、ランプ11及びミラー12からなる光源部は、隔壁15により囲まれており、隔壁15の外側をランプハウス14が覆っている。
さらに、ランプハウス14内において、光源部の上部には、水冷式の冷却機(ラジエータ)16と送風機(ブロア)17とが設置されている。ブロア17は、ランプ11点灯時にランプ11やミラー12などを冷却するための冷却風を発生する。ブロア17から送り出された冷却風は、隔壁15とランプハウス14との間に形成された隙間(通風路)18を通り、ミラー12の光出射側から導入されてランプ11や反射ミラー12を冷却する。ランプ11やミラー12を冷却し、高い温度になった冷却風は、ミラー12上部に形成された開口(冷却風通風孔)12aを通過して、ラジエータ16によって冷却され、再びブロア17により送り出される。
ランプハウス14の底部には、光源部からワークWに向かって照射される光が通過する光出射口14aが形成されており、この光出射口14aに、光源部からの光を偏光する偏光子ユニット13が取り付けられる。
偏光子ユニット13は、図3に示すように、複数の偏光子(ワイヤーグリッド偏光素子)13aを、ランプ11の長手方向(図3の左右方向)に沿って並べ、フレーム(保持枠)13bで保持したものである。保持枠13bは各偏光子13aの周縁部を上下から挟み込むようにして保持している。
偏光子ユニット13は、図3に示すように、複数の偏光子(ワイヤーグリッド偏光素子)13aを、ランプ11の長手方向(図3の左右方向)に沿って並べ、フレーム(保持枠)13bで保持したものである。保持枠13bは各偏光子13aの周縁部を上下から挟み込むようにして保持している。
各偏光子13aは、光配向処理を行うための波長の光を透過する透明基板(ガラス基板)の一方の表面に、ワイヤーグリッド(以下、単に「グリッド」ともいう)を形成したものである。ここで、各偏光子13aのグリッドは、図2における左右方向に延びている。
隣り合う偏光子13aの間には、1mmから2mm程度の隙間が設けられる。偏光子13a同士のグリッドの方向が平行になるように合わせるために、この隙間を使って各偏光子13aを回転移動させて位置調整する。当該隙間は、ここから無偏光光が漏れないように遮光板(不図示)により覆われている。
隣り合う偏光子13aの間には、1mmから2mm程度の隙間が設けられる。偏光子13a同士のグリッドの方向が平行になるように合わせるために、この隙間を使って各偏光子13aを回転移動させて位置調整する。当該隙間は、ここから無偏光光が漏れないように遮光板(不図示)により覆われている。
そして、本実施形態では、偏光子ユニット13の光源部とは反対側、即ち、偏光子ユニット13のワークW側に、フィルタユニット19を配置する。例えば、フィルタユニット19は、図2及び図3に示すように、ランプハウス14に形成された光出射口14aを塞ぐように配置する。
フィルタユニット19は、図3に示すように、複数のフィルタ板19aをランプ11の長手方向(図3の左右方向)に沿って並べ、フレーム(保持枠)19bで保持したものである。フィルタ板19aとしては、例えば、偏光する紫外線の波長を透過する石英板を使用する。なお、フィルタ板19aとしては、紫外線の波長を透過可能な材質であれば、適宜適用可能である。
フィルタユニット19は、図3に示すように、複数のフィルタ板19aをランプ11の長手方向(図3の左右方向)に沿って並べ、フレーム(保持枠)19bで保持したものである。フィルタ板19aとしては、例えば、偏光する紫外線の波長を透過する石英板を使用する。なお、フィルタ板19aとしては、紫外線の波長を透過可能な材質であれば、適宜適用可能である。
ランプ11の長手方向に沿って並んだ各石英板19aは、ランプ11の長手方向端部から、例えばばね等により付勢されており、これにより各石英板19aは隙間なく配列している。
各石英板19aの光入射側および光出射側の表面には、それぞれ反射防止膜(ARコート)を形成する。ARコートは、例えば、MgF2(フッ化マグネシウム)の単層コート
とし、膜厚は30mm〜100mmとする。成膜方法としては、真空蒸着法やスパッタリング、CVD(Chemical Vapor Deposition:化学的気相成長法)等を適用することがで
きる。なお、ARコートは、光入射側および光出射側のいずれか一方の面のみに形成されていてもよい。
各石英板19aの光入射側および光出射側の表面には、それぞれ反射防止膜(ARコート)を形成する。ARコートは、例えば、MgF2(フッ化マグネシウム)の単層コート
とし、膜厚は30mm〜100mmとする。成膜方法としては、真空蒸着法やスパッタリング、CVD(Chemical Vapor Deposition:化学的気相成長法)等を適用することがで
きる。なお、ARコートは、光入射側および光出射側のいずれか一方の面のみに形成されていてもよい。
また、石英板19aのサイズ(ランプ11の長手方向の長さ)は、偏光子13aのサイズ(ランプ11の長手方向の長さ)と同等とする。本実施形態では、例えば、偏光子13a及び石英板19aのサイズをそれぞれ150mmとする。また、石英板19aの厚さは、例えば2mmとする。
さらに、石英板19aは、図3に示すように、偏光子13aの継ぎ目と石英板19aの継ぎ目とが、ランプ11の長手方向に直交する方向(X方向)において互いに重ならないように、ランプ11の長手方向(Y方向)に位置をずらして配置する。具体的には、石英板19aは、図4に示す偏光子13aの継ぎ目と石英板19aの継ぎ目との間のランプ長手方向の距離(継ぎ目間距離L)が、最大(ここでは75mm)となる位置に配置する。換言すると、石英板19aは、石英板19aの継ぎ目が偏光子13aの中央に位置するように配置する。
さらに、石英板19aは、図3に示すように、偏光子13aの継ぎ目と石英板19aの継ぎ目とが、ランプ11の長手方向に直交する方向(X方向)において互いに重ならないように、ランプ11の長手方向(Y方向)に位置をずらして配置する。具体的には、石英板19aは、図4に示す偏光子13aの継ぎ目と石英板19aの継ぎ目との間のランプ長手方向の距離(継ぎ目間距離L)が、最大(ここでは75mm)となる位置に配置する。換言すると、石英板19aは、石英板19aの継ぎ目が偏光子13aの中央に位置するように配置する。
フィルタユニット19は、偏光子ユニット13と所定の間隔を設けて配置する。例えば、石英板19aを保持する保持枠19bの上に支持部材19cを立て、その上に偏光子13aを保持する保持枠13bを取り付ける。
支持部材19cは、例えば、矩形のブロック状のものを用いる。これにより、偏光子13aと石英板19aとの間に、ブロア17から送り出された冷却風の一部が流れる通風路を形成し、当該冷却風により偏光子13aと石英板19aとを冷却することができる。
なお、支持部材19cは、冷却風が通過できる貫通孔(直径5mm以上が望ましい)を形成した板状もしくは壁状のものでもよいし、偏光子ユニット13とフィルタユニット19との間隔を保持できるものであれば網状のものでもよい。また、支持部材19cをランプハウス14の底部に立て、その上に偏光子13aを保持する保持枠13bを取り付けてもよい。
支持部材19cは、例えば、矩形のブロック状のものを用いる。これにより、偏光子13aと石英板19aとの間に、ブロア17から送り出された冷却風の一部が流れる通風路を形成し、当該冷却風により偏光子13aと石英板19aとを冷却することができる。
なお、支持部材19cは、冷却風が通過できる貫通孔(直径5mm以上が望ましい)を形成した板状もしくは壁状のものでもよいし、偏光子ユニット13とフィルタユニット19との間隔を保持できるものであれば網状のものでもよい。また、支持部材19cをランプハウス14の底部に立て、その上に偏光子13aを保持する保持枠13bを取り付けてもよい。
以上の構成により、図2の実線矢印で示すように、ランプ11からの光は、直接またはミラー12により反射されて、偏光子13aと、偏光子13aに対して間隔を設けて配置した石英板19aとを介して光出射口14aから出射し、ワークWに照射される。このとき、フィルタユニット19は、光出射口14aを塞ぎ、偏光子ユニット13によって偏光した偏光光を出射する光出射窓となる。
すなわち、偏光子ユニット13はランプハウス14aの内部に設けられ、当該ランプハウス14aに形成された開口である光出射口14aはフィルタユニット19によって塞がれる。したがって、偏光光照射装置100の保守点検の際などに、作業者の指が直接偏光子13aに触れることがなく、偏光子13aの破損を確実に防止することができる。また、偏光子ユニット13を構成する偏光子13aの汚染も確実に防止することができる。
偏光光照射装置100が配置される、半導体や液晶表示素子の工場のクリーンルームの雰囲気には、シロキサン化合物と呼ばれる物質が含まれている。このシロキサン化合物は、紫外線が照射されると光化学反応により白い粉を生じ、偏光光照射装置100内部の光学素子の表面を白濁させる。仮に偏光子ユニット13を保護するフィルタユニット19を設置しないと、偏光子ユニット13を構成する偏光子13aのグリッド面にこのシロキサン化合物が付着し、白濁してしまう。
偏光光照射装置100が配置される、半導体や液晶表示素子の工場のクリーンルームの雰囲気には、シロキサン化合物と呼ばれる物質が含まれている。このシロキサン化合物は、紫外線が照射されると光化学反応により白い粉を生じ、偏光光照射装置100内部の光学素子の表面を白濁させる。仮に偏光子ユニット13を保護するフィルタユニット19を設置しないと、偏光子ユニット13を構成する偏光子13aのグリッド面にこのシロキサン化合物が付着し、白濁してしまう。
これに対して、本実施形態では、上述したように、偏光子ユニット13を保護するフィルタユニット19を設置するため、処理雰囲気中に含まれるシロキサン化合物はフィルタ19aに付着し、偏光子13aの表面には付着しない。フィルタ19aは、偏光子13aのように表面に微細なグリッドは形成されておらず、クリーニングが容易である。また、フィルタ19aは、上述したように偏光子13aと同サイズであり、交換が容易であると共に比較的安価である。そのため、シロキサン化合物による白濁に対するメンテナンスを容易に行うことができる。
しかしながら、偏光子13aの光出射側に石英板19aのような屈折率の違う物質を介在させる場合、本実施形態のようなARコートの施しやサイズ及び配置を考慮しないと、偏光軸角度(光照射面における偏光光の軸の角度)や消光比(P偏光強度とS偏光強度との比)といった光学性能が悪化してしまう。
例えば、単純に偏光子13aの保護のみを目的とした場合、石英板19aはランプ11の長手方向の長さ相当の一枚板でよく、本実施形態のようにARコートを施す必要もない。しかしながら、この場合、特に偏光軸角度のばらつきが顕著に生じる。これは、サイズを大きくしたことによる石英板の撓み等が一因であると考えられる。
例えば、単純に偏光子13aの保護のみを目的とした場合、石英板19aはランプ11の長手方向の長さ相当の一枚板でよく、本実施形態のようにARコートを施す必要もない。しかしながら、この場合、特に偏光軸角度のばらつきが顕著に生じる。これは、サイズを大きくしたことによる石英板の撓み等が一因であると考えられる。
本実施形態では、フィルタユニット19を、ランプ長手方向に沿って複数の石英板19aを並べた構成とし、各石英板19aをARコートする。さらに、石英板19aのサイズを、偏光子ユニット13を構成する偏光子13aと同サイズとし、石英板19aの継ぎ目位置を偏光子13aの中央位置に配置する。これにより、上記の光学性能の悪化を抑制する。以下、この点について検証する。
図5は、石英板19aのサイズの違いによる光学性能の比較結果である。図5において、横軸は、測定点のランプ長手方向座標[mm]、縦軸は、測定点での偏光光の偏光軸角度[度]である。ここで、測定点はワークW上の点とし、偏光子ユニット13によって偏光した偏光光を測定するものとする。
図5は、石英板19aのサイズの違いによる光学性能の比較結果である。図5において、横軸は、測定点のランプ長手方向座標[mm]、縦軸は、測定点での偏光光の偏光軸角度[度]である。ここで、測定点はワークW上の点とし、偏光子ユニット13によって偏光した偏光光を測定するものとする。
図6は、光学性能の測定条件を示す概略平面図である。図6の丸印が各測定点である。上記のランプ長手方向座標は、偏光子13aの中央位置を0としたときの座標である。また、上記の偏光軸角度は、図6の角度測定点Aで測定した偏光軸角度である。この角度測定点Aは、ランプ11の直下を±0mmとしたとき、例えば、ランプ11の長手方向に直交する方向に+40mmの位置とする。ここで、ランプ11の直下を基準とした±40mmの範囲は有効照射エリアである。
図5に戻って、細実線は、石英板19aを設置しない場合(石英板無)の光学性能、太実線は、石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズと同じ場合(サイズ1倍)の光学性能である。また、破線は、石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズの1.3倍である場合の光学性能、一点鎖線は、石英板19aのサイズが偏光子のサイズ13aの2倍である場合の光学性能である。
ここでは、図6に示すように、石英板19aの継ぎ目を偏光子13aの中央位置に配置し、石英板19aのサイズ(長さC)を偏光子13aに対して1倍、1.3倍、2倍と変化させたときの偏光軸角度を測定している。
ここでは、図6に示すように、石英板19aの継ぎ目を偏光子13aの中央位置に配置し、石英板19aのサイズ(長さC)を偏光子13aに対して1倍、1.3倍、2倍と変化させたときの偏光軸角度を測定している。
図5の矢印に示すように、石英板無の光学性能を基準としてそれぞれ偏光軸角度の最大変化量を測定したところ、図7に示す結果が得られた。このように、石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズと同じであるとき、偏光軸角度の変化量(軸ムラ)が最も小さく、石英板19aのサイズが大きいほど軸ムラは大きくなることがわかる。
当該軸ムラは、例えば液晶パネルのコントラストに影響を与えるものであり、±0.1度以下に抑えることが好ましい。
当該軸ムラは、例えば液晶パネルのコントラストに影響を与えるものであり、±0.1度以下に抑えることが好ましい。
図8及び図9は、石英板19aにおけるARコートの有無による光学性能の比較結果である。図8において、横軸は、測定点のランプ長手方向座標[mm]、縦軸は、測定点での偏光光の偏光軸角度[度]である。また、図9において、横軸は、測定点のランプ長手方向座標[mm]、縦軸は測定点での消光比[:1]である。
ここで、図8の偏光軸角度は、上述した図5と同様に、図6の角度測定点Aで測定したものである。また、図9の消光比は、図6の消光比測定点Bで測定したものである。ここで、消光比測定点Bは、ランプ11の直下に相当する位置である。
ここで、図8の偏光軸角度は、上述した図5と同様に、図6の角度測定点Aで測定したものである。また、図9の消光比は、図6の消光比測定点Bで測定したものである。ここで、消光比測定点Bは、ランプ11の直下に相当する位置である。
これら図8及び図9において、細実線は、石英板19aを設置しない場合(石英板無)の光学性能、太実線は、石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズと同じで、ARコート有の場合の光学性能、破線は、石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズと同じで、ARコート無の場合の光学性能である。
なお、図8において、石英板19aを設置した場合の偏光軸角度は、図4に示すように、石英板19aの継ぎ目と偏光子13aの継ぎ目とが重ならないような配置(以下、「千鳥配置」ともいう)で測定している。さらに、このときの継ぎ目間距離Lは75mmに設定している。また、図9において、石英板19aを設置した場合の消光比は、図10に示すように、石英板19aの継ぎ目と偏光子13aの継ぎ目とが重なるような配置(以下、「重ね配置」ともいう)で測定している。
なお、図8において、石英板19aを設置した場合の偏光軸角度は、図4に示すように、石英板19aの継ぎ目と偏光子13aの継ぎ目とが重ならないような配置(以下、「千鳥配置」ともいう)で測定している。さらに、このときの継ぎ目間距離Lは75mmに設定している。また、図9において、石英板19aを設置した場合の消光比は、図10に示すように、石英板19aの継ぎ目と偏光子13aの継ぎ目とが重なるような配置(以下、「重ね配置」ともいう)で測定している。
図8に示すように、石英板19aをARコートした場合、ARコートしない場合と比較して偏光軸角度の変化(軸ムラ)を平均的に小さくすることができる。また、図9に示すように、石英板19aをARコートした場合、ARコートしない場合と比較して消光比の低下を平均的に抑制することができる。すなわち、光学性能として軸ムラと消光比の2つの性能を考慮した場合、石英板19aをARコートすることで、効果的にこれら2つの光学性能を石英板無の光学性能に近づけることができる。
なお、図8に示すように、石英板19aを設置したときの偏光軸角度は、石英板19aのサイズとほぼ一致した周期で軸ムラが発生することもわかる。
なお、図8に示すように、石英板19aを設置したときの偏光軸角度は、石英板19aのサイズとほぼ一致した周期で軸ムラが発生することもわかる。
ここまでの測定結果によると、石英板19aのサイズをできるだけ小さくし、石英板19aをARコーティングすれば、高い光学性能が得られるように思われる。しかしながら、図9からも明らかなように、石英板19aの継ぎ目位置(ここでは+75mm、−75mmの位置)では消光比が低下する。そのため、石英板19aのサイズを小さくしすぎると、継ぎ目に起因する消光比低下により、消光比の面内平均値が低下してしまう。
また、上述したように、偏光子13aの継ぎ目位置には遮光板が設けられており、偏光子13aの継ぎ目位置においても消光比が低下する。そのため、石英板19aの継ぎ目と偏光子13aの継ぎ目とが重なる位置では、消光比が大幅に低下してしまう。
図11は、石英板19aの配置の違いによる光学性能の比較結果である。図11において、横軸は、測定点のランプ長手方向座標[mm]、縦軸は、測定点での消光比[:1]である。ここで、図11の消光比は、上述した図9と同様に、図6の消光比測定点Bで測定したものである。
図11は、石英板19aの配置の違いによる光学性能の比較結果である。図11において、横軸は、測定点のランプ長手方向座標[mm]、縦軸は、測定点での消光比[:1]である。ここで、図11の消光比は、上述した図9と同様に、図6の消光比測定点Bで測定したものである。
また、図11において、細実線は、石英板19aを設置しない場合(石英板無)の光学性能、太実線は、石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズと同じで、千鳥配置(継ぎ目間距離75mm)の場合の光学性能、破線は、石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズと同じで、重ね配置の場合の光学性能である。
図11の破線に示すように、重ね配置の場合、石英板19aの継ぎ目と偏光子13aの継ぎ目とが重なる位置(ここでは+75mm、−75mmの位置)で、消光比が大幅に低下する。一方、図11の太実線に示すように、千鳥配置の場合には消光比の低下が抑制され、消光比が均一化する。
図11の破線に示すように、重ね配置の場合、石英板19aの継ぎ目と偏光子13aの継ぎ目とが重なる位置(ここでは+75mm、−75mmの位置)で、消光比が大幅に低下する。一方、図11の太実線に示すように、千鳥配置の場合には消光比の低下が抑制され、消光比が均一化する。
図12は、石英板19aの継ぎ目位置を偏光子13aの継ぎ目位置に対して相対的に変化させたときの消光比(面内平均値)の変化を示す図である。図12において、横軸は、石英板19aと偏光子13aとの継ぎ目間距離L[mm]、縦軸は、石英板無の消光比の面内平均値を基準としたときの消光比低下率[%]である。
この図12からも明らかなように、継ぎ目間距離Lが最も離れる位置(ここではL=75mm)で消光比低下率は最も小さく、石英板19aの継ぎ目と偏光子13aの継ぎ目とが重なる位置(継ぎ目間距離L=0mm)で消光比低下率は最も大きくなる。
ここで、消光比低下率の許容下限値は、例えば−20%とする。すなわち、継ぎ目間距離Lは、62.5mm以上であることが好ましい。
以上により、偏光子13aの光出射側に石英板19aを設置した構成において、最適な光学性能(石英板19aを設置しないときの光学性能に最も近い光学性能)が得られる石英板19aのサイズ及び配置は、石英板19aのサイズが偏光子13aと同サイズであり、石英板19aの継ぎ目位置が偏光子13aの中央に位置する配置となる。
この図12からも明らかなように、継ぎ目間距離Lが最も離れる位置(ここではL=75mm)で消光比低下率は最も小さく、石英板19aの継ぎ目と偏光子13aの継ぎ目とが重なる位置(継ぎ目間距離L=0mm)で消光比低下率は最も大きくなる。
ここで、消光比低下率の許容下限値は、例えば−20%とする。すなわち、継ぎ目間距離Lは、62.5mm以上であることが好ましい。
以上により、偏光子13aの光出射側に石英板19aを設置した構成において、最適な光学性能(石英板19aを設置しないときの光学性能に最も近い光学性能)が得られる石英板19aのサイズ及び配置は、石英板19aのサイズが偏光子13aと同サイズであり、石英板19aの継ぎ目位置が偏光子13aの中央に位置する配置となる。
また、上述したように、石英板19aをARコートすることで、軸ムラ及び消光比を平均的に改善することができる。
したがって、偏光子13aの光出射側に石英板19aを設置した構成において、最適な光学性能(石英板19aを設置しないときの光学性能に最も近い光学性能)が得られる石英板19aの条件は、ARコートを施し、石英板19aのサイズが偏光子13aと同サイズであり、石英板19aの継ぎ目位置が偏光子13aの中央に位置する配置となる。
したがって、偏光子13aの光出射側に石英板19aを設置した構成において、最適な光学性能(石英板19aを設置しないときの光学性能に最も近い光学性能)が得られる石英板19aの条件は、ARコートを施し、石英板19aのサイズが偏光子13aと同サイズであり、石英板19aの継ぎ目位置が偏光子13aの中央に位置する配置となる。
図13は、ARコート有の石英板19aの配置の違いによる光学性能の比較結果である。図13において、横軸は、測定点のランプ長手方向座標[mm]、縦軸は、測定点での消光比[:1]である。ここで、図13の消光比は、上述した図11と同様に、図6の消光比測定点Bで測定したものである。
また、図13において、細実線は、石英板19aを設置しない場合(石英板無)の光学性能、太実線は、ARコート有の石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズと同じで、千鳥配置(継ぎ目間距離75mm)の場合の光学性能、破線は、ARコート有の石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズと同じで、重ね配置の場合の光学性能である。
また、図13において、細実線は、石英板19aを設置しない場合(石英板無)の光学性能、太実線は、ARコート有の石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズと同じで、千鳥配置(継ぎ目間距離75mm)の場合の光学性能、破線は、ARコート有の石英板19aのサイズが偏光子13aのサイズと同じで、重ね配置の場合の光学性能である。
この図13の太実線と上述した図11の太実線との比較からも明らかなように、石英板19aにARコートを施し、石英板19aを偏光子13aに対してサイズ1倍とし、千鳥配置(継ぎ目間距離75mm)とした場合には、サイズ及び配置の条件が同じで石英板19aにARコートを施していない場合と比較して、消光比を平均的に改善し、より石英板無の光学性能に近づけることができる。なお、偏光軸角度については上述した図8に示すとおりである。
以上のように、本実施形態では、偏光子ユニット13の光出射側にフィルタユニット19を配置する。そして、フィルタユニット19を、ランプ長手方向に沿って複数の石英板19aを並べた構成とし、各石英板19aをARコートする。さらに、石英板19aのサイズを、偏光子ユニット13を構成する偏光子13aと同サイズとし、石英板19aの継ぎ目位置を偏光子13aの中央位置に配置する。
これにより、偏光軸角度特性は、図8の太実線に示すようになる。また、消光比特性は、図13の太実線に示すようになる。すなわち、石英板19aを偏光子13aの光出射側に介在させた場合でも、光学性能(偏光軸角度及び消光比)は石英板無の光学性能に近づけることができる。
このように、光学性能を維持しつつ、偏光子13aをシロキサン化合物による白濁や作業者による物理的衝撃から保護することができる。
これにより、偏光軸角度特性は、図8の太実線に示すようになる。また、消光比特性は、図13の太実線に示すようになる。すなわち、石英板19aを偏光子13aの光出射側に介在させた場合でも、光学性能(偏光軸角度及び消光比)は石英板無の光学性能に近づけることができる。
このように、光学性能を維持しつつ、偏光子13aをシロキサン化合物による白濁や作業者による物理的衝撃から保護することができる。
(変形例)
なお、上記実施形態においては、石英板19aをARコートし、石英板19aのサイズを偏光子13aと同じサイズ、石英板19aの配置を、当該石英板19aの継ぎ目が偏光子13aの継ぎ目と重ならない配置とする場合について説明したが、ARコート、サイズ及び配置の条件は少なくとも1つを満足していればよい。
ARコート有とするだけで、図8及び図9に示すように、偏光軸角度と消光比の両方の性能を改善することができる。また、石英板19aのサイズを偏光子13aと同じサイズとするだけで、図5に示すように、軸ムラを改善することができる。さらに、石英板19aの配置を、当該石英板19aの継ぎ目が偏光子13aの継ぎ目と重ならない配置とするだけで、図11に示すように、消光比の低下を抑制し消光比の均一度を改善することができる。
なお、上記実施形態においては、石英板19aをARコートし、石英板19aのサイズを偏光子13aと同じサイズ、石英板19aの配置を、当該石英板19aの継ぎ目が偏光子13aの継ぎ目と重ならない配置とする場合について説明したが、ARコート、サイズ及び配置の条件は少なくとも1つを満足していればよい。
ARコート有とするだけで、図8及び図9に示すように、偏光軸角度と消光比の両方の性能を改善することができる。また、石英板19aのサイズを偏光子13aと同じサイズとするだけで、図5に示すように、軸ムラを改善することができる。さらに、石英板19aの配置を、当該石英板19aの継ぎ目が偏光子13aの継ぎ目と重ならない配置とするだけで、図11に示すように、消光比の低下を抑制し消光比の均一度を改善することができる。
また、上記実施形態においては、図14に示すように、偏光子13aと石英板19aとを共通の1つのフレーム(保持枠)13cで保持するようにしてもよい。このとき、フレーム13cによって偏光子13aと石英板19aとの間の隙間を密閉空間としてもよい。
さらには、偏光子ユニット13の光源側にフィルタユニット19と同様の構成を有するフィルタユニットを追加してもよい。そして、偏光子ユニット13aの上下に配置された2つのフィルタユニットのフレームによって偏光子13aを密閉空間内に設置するようにしてもよい。これにより、ランプハウス14内に外部からシロキサン化合物を含む雰囲気が入り込んだ場合でも、偏光子13aにシロキサン化合物が付着するのを防止することができる。
さらには、偏光子ユニット13の光源側にフィルタユニット19と同様の構成を有するフィルタユニットを追加してもよい。そして、偏光子ユニット13aの上下に配置された2つのフィルタユニットのフレームによって偏光子13aを密閉空間内に設置するようにしてもよい。これにより、ランプハウス14内に外部からシロキサン化合物を含む雰囲気が入り込んだ場合でも、偏光子13aにシロキサン化合物が付着するのを防止することができる。
また、石英板19aは、ランプハウス14の底部よりも下方に位置していてもよい。要は、偏光子13aがシロキサン化合物を含む処理雰囲気に曝されない構造であればよい。
さらに、上記実施形態においては、石英板19aの厚さを2mmとする場合について説明したが、この石英板19aの厚さは適宜設定可能である。石英板19aの厚さが薄いほど、偏光軸角度、消光比、照度の全光学性能は良好となるが、当該厚さが薄すぎると、ばね等で付勢して複数の石英板19aを隙間なく敷き詰めることが困難であったり、石英板19aのサイズによっては剛性が伴わずに撓んだりするなどの問題が生じる。そのため、石英板19aの厚さは、上記の点を考慮して最適な厚さに設定することが好ましい。
さらに、上記実施形態においては、石英板19aの厚さを2mmとする場合について説明したが、この石英板19aの厚さは適宜設定可能である。石英板19aの厚さが薄いほど、偏光軸角度、消光比、照度の全光学性能は良好となるが、当該厚さが薄すぎると、ばね等で付勢して複数の石英板19aを隙間なく敷き詰めることが困難であったり、石英板19aのサイズによっては剛性が伴わずに撓んだりするなどの問題が生じる。そのため、石英板19aの厚さは、上記の点を考慮して最適な厚さに設定することが好ましい。
10…光照射部、11…ランプ、12…ミラー、12a…冷却風通風孔、13…偏光子ユニット、13a…偏光子、13b…フレーム(保持枠)、14…ランプハウス、14a…光出射口、15…隔壁、16…ラジエータ、17…ブロア、18…通風路、19…フィルタユニット、19a…フィルタ(石英板)、19b…フレーム(保持枠)、19c…支持部材、20…搬送部、21…ワークステージ、22…ガイド、23…電磁石、100…偏光光照射装置、W…ワーク
Claims (7)
- 光源と、
前記光源からの光を偏光する偏光子である、光透過基板上にグリッドを形成して成るワイヤーグリッド偏光素子と、
前記ワイヤーグリッド偏光素子に対して、前記光源とは反対側に配置され、前記偏光子によって偏光した偏光光を透過するフィルタと、を備える、
ことを特徴とする偏光光照射装置。 - 前記フィルタは、前記フィルタ同士の継ぎ目が、前記線状光源の延在する方向において前記偏光子の中央に位置するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の偏光光照射装置。
- 光源と、
前記光源からの光を偏光する偏光子である、光透過基板上にグリッドを形成して成るワイヤーグリッド偏光素子と、
前記ワイヤーグリッド偏光素子に対して、前記光源とは反対側に、前記ワイヤーグリッド偏光素子と離隔して配置され、前記偏光子によって偏光した偏光光を透過するフィルタと、を備える、
ことを特徴とする偏光光照射装置。 - 光源と、
前記光源からの光を偏光する偏光子である、光透過基板上にグリッドを形成して成るワイヤーグリッド偏光素子と、
前記ワイヤーグリッド偏光素子に対して、前記光源とは反対側に配置され、前記偏光子によって偏光した偏光光を透過する、前記ワイヤーグリッド偏光素子とは別個に交換可能なフィルタと、を備える、
ことを特徴とする偏光光照射装置。 - 前記フィルタは、前記偏光光の光入射側および光出射側の少なくとも一方に反射防止膜が形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の偏光光照射装置。
- 前記光源と前記ワイヤーグリッド偏光素子とを覆い、前記光源からの光が通過する光出射口が形成された外壁をさらに備え、
前記フィルタは、前記外壁の前記光出射口を塞ぐ、ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の偏光光照射装置。 - 前記フィルタは、石英板であることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の偏光光照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016100261A JP2016153920A (ja) | 2016-05-19 | 2016-05-19 | 偏光光照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016100261A JP2016153920A (ja) | 2016-05-19 | 2016-05-19 | 偏光光照射装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014147579A Division JP5967150B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | 偏光光照射装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016153920A true JP2016153920A (ja) | 2016-08-25 |
Family
ID=56761163
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016100261A Pending JP2016153920A (ja) | 2016-05-19 | 2016-05-19 | 偏光光照射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016153920A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021193301A1 (ja) * | 2020-03-24 | 2021-09-30 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
JP2021184083A (ja) * | 2020-05-21 | 2021-12-02 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
JP2022031802A (ja) * | 2020-03-24 | 2022-02-22 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
JP2022184872A (ja) * | 2020-05-21 | 2022-12-13 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009031392A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Seiko Epson Corp | ワイヤーグリッド型偏光素子、その製造方法、液晶装置および投射型表示装置 |
JP2013033278A (ja) * | 2004-11-11 | 2013-02-14 | Nitto Denko Corp | 組み合わせ型光学フィルム、積層組み合わせ型光学フィルム及び画像表示装置 |
JP2013174863A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-09-05 | Ushio Inc | 偏光素子とフィルタのユニット |
JP2013218197A (ja) * | 2012-04-11 | 2013-10-24 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
-
2016
- 2016-05-19 JP JP2016100261A patent/JP2016153920A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013033278A (ja) * | 2004-11-11 | 2013-02-14 | Nitto Denko Corp | 組み合わせ型光学フィルム、積層組み合わせ型光学フィルム及び画像表示装置 |
JP2009031392A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Seiko Epson Corp | ワイヤーグリッド型偏光素子、その製造方法、液晶装置および投射型表示装置 |
JP2013174863A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-09-05 | Ushio Inc | 偏光素子とフィルタのユニット |
JP2013218197A (ja) * | 2012-04-11 | 2013-10-24 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021193301A1 (ja) * | 2020-03-24 | 2021-09-30 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
JP2021152617A (ja) * | 2020-03-24 | 2021-09-30 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
JP6989977B2 (ja) | 2020-03-24 | 2022-01-12 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
JP2022031802A (ja) * | 2020-03-24 | 2022-02-22 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
JP7140430B2 (ja) | 2020-03-24 | 2022-09-21 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
CN115210636A (zh) * | 2020-03-24 | 2022-10-18 | 凤凰电机公司 | 光照射装置以及具备该光照射装置的曝光装置 |
CN115210636B (zh) * | 2020-03-24 | 2024-04-23 | 凤凰电机公司 | 光照射装置以及具备该光照射装置的曝光装置 |
JP2021184083A (ja) * | 2020-05-21 | 2021-12-02 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
JP7142380B2 (ja) | 2020-05-21 | 2022-09-27 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
JP2022184872A (ja) * | 2020-05-21 | 2022-12-13 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
JP7257719B2 (ja) | 2020-05-21 | 2023-04-14 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5590578B2 (ja) | 偏光素子とフィルタのユニット | |
JP2016153920A (ja) | 偏光光照射装置 | |
JP4968165B2 (ja) | 光配向用偏光光照射装置 | |
JP5056991B1 (ja) | 偏光光照射装置 | |
TW201816853A (zh) | 雷射照射裝置以及半導體裝置的製造方法 | |
JP5967150B2 (ja) | 偏光光照射装置 | |
JP4706255B2 (ja) | 偏光光照射装置 | |
JP6201707B2 (ja) | 紫外線照射装置 | |
KR20170135737A (ko) | 편광광 조사 장치 및 광배향 장치 | |
WO2013012299A2 (ko) | 마스크 및 이를 포함하는 광학필터 제조장치 | |
JP5821860B2 (ja) | 偏光光照射装置 | |
JP5454624B2 (ja) | 偏光光照射装置 | |
TW201626076A (zh) | 偏光光線照射裝置及光配向裝置 | |
JP2013152433A (ja) | 偏光光照射装置 | |
JP5825392B2 (ja) | 偏光光照射装置 | |
JP6070285B2 (ja) | 偏光光照射装置 | |
JP6488964B2 (ja) | 紫外線照射装置 | |
TW201445225A (zh) | 光配向用偏光光照射装置 | |
JP2008019497A (ja) | 成膜装置、液晶装置、並びにプロジェクタ | |
TW201623948A (zh) | 雜質微粒檢測裝置及金屬遮罩檢測裝置 | |
JP2018040915A (ja) | 光照射器 | |
JP2015090386A (ja) | 偏光光照射装置 | |
JP2012133271A (ja) | 無機配向膜の形成方法及び液晶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170207 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170801 |