JP2016149436A - Cassette installation adapter, wafer transfer device, and method for installing cassette in wafer transfer device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置に取り付けられるカセット設置用アダプタ、このカセット設置用アダプタを備えたウェハ搬送装置、及びウェハ搬送装置へのカセット設置方法に関する。特に、本発明は、簡易に且つ安価に、下部形状の異なる複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることを可能にすると共に、カセットを取り付けた後の適正なウェハ搬送を可能にするカセット設置用アダプタ、ウェハ搬送装置、及びウェハ搬送装置へのカセット設置方法に関する。 The present invention relates to a cassette installation adapter that is mounted on a wafer transfer device that mounts a cassette containing wafers on a cassette support and takes out the wafer from the cassette and transfers the cassette, and a wafer transfer device equipped with the cassette installation adapter And a method of installing a cassette on a wafer transfer device. In particular, the present invention makes it possible to easily and inexpensively replace a plurality of types of cassettes having different lower shapes and attach them to the wafer transfer apparatus, and to enable proper wafer transfer after the cassettes are attached. The present invention relates to a cassette installation adapter, a wafer transfer device, and a cassette installation method for the wafer transfer device.
従来より、半導体ウェハにプラズマ処理等の各種処理を施す半導体製造装置が知られている。一般的な半導体製造装置は、ウェハを搬送するためのウェハ搬送装置を備えており、このウェハ搬送装置によって、複数のウェハを収納したカセットからウェハを取り出し、プラズマ処理等の各種処理を施すチャンバにウェハを搬送している。 2. Description of the Related Art Conventionally, semiconductor manufacturing apparatuses that perform various types of processing such as plasma processing on semiconductor wafers are known. A general semiconductor manufacturing apparatus is provided with a wafer transfer device for transferring a wafer. The wafer transfer device takes out a wafer from a cassette containing a plurality of wafers and provides a chamber for performing various processes such as plasma processing. The wafer is being transferred.
ここで、カセットは、たとえ収納するウェハの寸法が同一であったとしても、カセット製造メーカによって異なる形状を有する場合がある。この場合、ウェハを収納したカセットをウェハ搬送装置のカセット支持台に載置してカセットが移動しないように固定する際、一種類のカセットに適合する固定手段であれば、他の種類のカセットを固定しようとしてもカセットと固定手段との間に隙間が生じたり、固定手段が干渉して固定できないおそれがある。 Here, the cassette may have a different shape depending on the cassette manufacturer even if the size of the wafer to be stored is the same. In this case, when the cassette containing the wafer is placed on the cassette support table of the wafer transfer device and fixed so that the cassette does not move, any other type of cassette can be used as long as it is a fixing means suitable for one type of cassette. Even if it tries to fix, there exists a possibility that a clearance gap may arise between a cassette and fixing means, or fixing means may interfere and it cannot fix.
また、カセット支持台に載置したカセットの種類に応じて、ウェハを搬送する搬送機構の動作を切り替える必要が生じる場合がある。この場合、載置されたカセットの種類をオペレータが視認し、搬送機構を制御する制御手段の設定を手動で切り替えるのであれば、実際に載置されたカセットの種類とは異なる種類のカセットに適合する動作に切り替えてしまい、搬送不良が生じるおそれもある。 Further, it may be necessary to switch the operation of the transfer mechanism that transfers the wafer according to the type of the cassette placed on the cassette support. In this case, if the operator visually recognizes the type of the placed cassette and manually switches the setting of the control means for controlling the transport mechanism, it is compatible with a different type of cassette from the actually placed cassette. There is also a possibility that a conveyance failure may occur due to switching to the operation.
上記のような問題を解決するため、例えば、特許文献１に記載のウェハ搬送装置が提案されている。特許文献１に記載のウェハ搬送装置は、「半導体ウェハを収納したカセットを載置して昇降させるエレベータ台が備えられ、前記カセットから前記半導体ウェハを取り出して搬送を行うためのウェハ搬送装置において、前記エレベータ台に位置決めして取り付け可能な複数種類のカセット設置用アダプタが互換可能に備えられ、これら各々のカセット設置用アダプタには、互いに形状の異なる複数種類のカセットを各カセット毎に所定の位置に載置するためのカセット位置決め手段が設けられていることを特徴とする」ものである（特許文献１の請求項１）。また、特許文献１には、「前記エレベータ台に取り付けられた前記カセット設置用アダプタの種類を識別する、アダプタ種類識別手段が備えられている」ことが記載されている（特許文献１の請求項２）。
In order to solve the above problems, for example, a wafer transfer apparatus described in
特許文献１に記載のウェハ搬送装置によれば、載置するカセットの種類に応じてカセット設置用アダプタを交換することで、カセットと固定手段（特許文献１では「カセット位置決め手段」）との間に隙間が生じたり、固定手段が干渉して固定できないおそれを排除することが可能であると考えられる。
また、特許文献１に記載のウェハ搬送装置によれば、アダプタ種類識別手段が備えられているため、オペレータの視認によるカセット種類の識別や手動での搬送機構動作の切り替えではなく、アダプタ種類識別手段によるアダプタ種類の自動識別（これによるカセット種類の自動識別）と識別結果に基づく搬送機構動作の自動切り替えが可能となり、搬送不良が生じるおそれを低減することが可能であると考えられる。
According to the wafer conveyance device described in
Further, according to the wafer transfer apparatus described in
しかしながら、特許文献１の図４を参照すれば明らかなように、特許文献１に記載のウェハ搬送装置が備えるカセット設置用アダプタ４に設けられているカセット位置決め手段（カセットガイド２１）は、載置するカセットの種類に応じて、その形状が異なるものとされている（図４（ａ）に記載のカセットガイド２１Ａと図４（ｂ）に記載のカセットガイド２１Ｂは形状が異なる）。
このため、ウェハ搬送装置に載置するカセットの種類数（少なくとも下部形状の異なるカセットの種類数）に応じた数の異なるカセット設置用アダプタを製作して用意しておかなければならず、製作の手間やコストが掛かるという問題がある。
However, as is apparent from FIG. 4 of
For this reason, it is necessary to prepare and prepare different cassette installation adapters according to the number of types of cassettes to be placed on the wafer transfer device (at least the number of types of cassettes having different lower shapes). There is a problem that it takes time and cost.
本発明は、上記のような従来技術に鑑みてなされたものであり、簡易に且つ安価に、下部形状の異なる複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることを可能にすると共に、カセットを取り付けた後の適正なウェハ搬送を可能にするカセット設置用アダプタ、ウェハ搬送装置、及びウェハ搬送装置へのカセット設置方法を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the prior art as described above, and makes it possible to easily and inexpensively replace a plurality of types of cassettes having different lower shapes and attach them to a wafer transfer apparatus. It is an object of the present invention to provide a cassette installation adapter, a wafer transfer apparatus, and a cassette installation method for the wafer transfer apparatus that enable proper wafer transfer after the wafer is attached.
前記課題を解決するため、本発明者らは、種々のカセット製造メーカによって提供されているカセットを調査し、その形状について鋭意検討を行った。その結果、前述のように、カセット製造メーカによってカセットが異なる形状を有する場合があるものの、少なくともカセットの下部形状については、カセットの下部と係合してカセットを固定するための係合部材（特許文献１では「カセット位置決め手段」又は「カセットガイド」）の形状をカセットの種類に応じて異なるものとしなくても、カセットの種類に関わりなく同一形状の係合部材をスライドさせてその位置を調整しさえすれば、複数種類のカセットを固定できることを見出した。
In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors investigated cassettes provided by various cassette manufacturers, and intensively studied their shapes. As a result, as described above, the cassette may have a different shape depending on the cassette manufacturer. However, at least the lower part of the cassette is engaged with the lower part of the cassette to fix the cassette (patent) Even if the shape of “cassette positioning means” or “cassette guide” in
本発明は、上記本発明者らの知見に基づき完成したものである。
すなわち、本発明は、ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置に取り付けられるカセット設置用アダプタであって、前記カセットが載置される基台と、前記基台上にスライド可能に取り付けられた複数の係合部材と、下部形状の異なる複数種類の前記カセットのうち何れの種類の前記カセットが設置される前記カセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段とを備え、前記基台は、前記カセット支持台上に取り付けられ、前記複数の係合部材のそれぞれは、前記カセットの下部と係合して前記基台上での前記カセットの移動を阻止可能なように、前記カセットの下部形状に応じて位置決めされていることを特徴とするカセット設置用アダプタを提供する。
The present invention has been completed based on the findings of the inventors.
That is, the present invention is a cassette installation adapter that is mounted on a wafer transfer device that mounts a cassette containing wafers on a cassette support, and takes out the wafer from the cassette and transfers the cassette. A plurality of engaging members slidably mounted on the base, and the cassette installation adapter on which any of the types of the cassettes having different lower shapes is installed. Adapter identification means for identifying whether or not there is a base, the base is mounted on the cassette support base, and each of the plurality of engaging members engages with a lower portion of the cassette to form the base A cassette installation adapter characterized by being positioned according to a lower shape of the cassette so as to prevent the movement of the cassette above. To provide the data.
本発明に係るカセット設置用アダプタが備える複数の係合部材のそれぞれは、スライド可能であり、カセットの下部と係合して基台上でのカセットの移動を阻止可能（固定可能）なように、カセットの下部形状に応じて位置決めされている。したがって、本発明に係るカセット設置用アダプタによれば、固定するカセットの種類（カセットの下部形状の種類）に応じて各係合部材の形状を異なるものとしなくても、カセットの種類に関わりなく同じ形状とされた各係合部材をスライドさせてその位置を予め調整しておくだけで、複数種類のカセットを固定可能である。すなわち、下部形状の異なるカセットの種類数に応じた数の異なるカセット設置用アダプタを製作して用意しておく必要がなく、同一のカセット設置用アダプタ（同一の基台及び係合部材）を製作して各係合部材の位置のみをスライドして調整しておくだけで良いため、簡易に且つ安価に、複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることが可能である。 Each of the plurality of engaging members provided in the cassette installation adapter according to the present invention is slidable, and engages with the lower part of the cassette so as to prevent (fixable) the movement of the cassette on the base. It is positioned according to the lower shape of the cassette. Therefore, according to the cassette installation adapter according to the present invention, even if the shape of each engaging member is not different depending on the type of cassette to be fixed (the type of the lower shape of the cassette), regardless of the type of cassette. Plural types of cassettes can be fixed by simply sliding the engaging members having the same shape and adjusting their positions in advance. That is, it is not necessary to prepare and prepare different number of cassette installation adapters according to the number of types of cassettes with different lower shapes, and the same cassette installation adapter (same base and engaging member) is produced. Since only the position of each engagement member needs to be slid and adjusted, a plurality of types of cassettes can be exchanged and attached to the wafer transfer apparatus easily and inexpensively.
また、本発明に係るカセット設置用アダプタは、下部形状の異なる複数種類のカセットのうち何れの種類のカセットが設置されるカセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段を備えている。このため、カセット支持台に載置したカセットの種類に応じて、ウェハを搬送する搬送機構の動作を切り替える必要が生じる場合、オペレータの視認によるカセット種類の識別や手動での搬送機構動作の切り替えではなく、アダプタ識別手段によるカセット設置用アダプタの種類の自動識別（これによるカセット種類の自動識別）と識別結果に基づく搬送機構動作の自動切り替えが可能となり、適正なウェハ搬送が可能となる。 In addition, the cassette installation adapter according to the present invention includes adapter identification means for identifying which type of cassette is installed among a plurality of types of cassettes having different lower shapes. . For this reason, when it is necessary to switch the operation of the transfer mechanism that transfers the wafer according to the type of the cassette placed on the cassette support base, it is not possible to identify the cassette type by the operator's visual recognition or manually switch the transfer mechanism operation. In addition, automatic identification of the type of adapter for cassette installation by the adapter identification means (automatic identification of the cassette type by this) and automatic switching of the transport mechanism operation based on the identification result can be performed, and proper wafer conveyance becomes possible.
好ましくは、前記アダプタ識別手段は、前記基台上で位置決めされた前記係合部材の位置を検出し、該係合部材の位置に応じた信号を出力する。 Preferably, the adapter identifying means detects the position of the engaging member positioned on the base and outputs a signal corresponding to the position of the engaging member.
前述の特許文献１では、アダプタ識別手段として、エレベータ台にアダプタ識別センサ３２を設ける一方、カセット設置用アダプタ４に切欠き部を設ける場合（特許文献１の図４（ａ）に示すカセット設置用アダプタ４Ａの切欠き部４ｄ）と、設けない場合（特許文献１の図４（ｂ）に示すカセット設置用アダプタ４Ｂ）とで、カセット設置用アダプタの種類を識別している。すなわち、本発明に係るカセット設置用アダプタの基台に相当する部材での切欠きの有無によって、カセット設置用アダプタの種類を識別している。このため、カセット設置用アダプタの種類に応じて（設置するカセットの種類に応じて）、異なる基台を製作しなければならない。
In the above-mentioned
これに対し、上記の好ましい構成によれば、アダプタ識別手段が、基台上で位置決めされた係合部材の位置を検出し、係合部材の位置に応じた信号を出力する（このようなアダプタ識別手段としては、例えば、係合部材に向けてレーザスポットを照射し、その反射光を検出することによって係合部材までの距離を測定するレーザ距離計を挙げることができる）ため、設置するカセットの種類に応じて基台に切欠き等を設ける必要が無く、同じ基台ひいては同じカセット設置用アダプタを使用することができる。このため、簡易に且つ安価に、複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることが可能である。 On the other hand, according to the preferable configuration described above, the adapter identification means detects the position of the engaging member positioned on the base and outputs a signal corresponding to the position of the engaging member (such an adapter As the identification means, for example, a laser rangefinder that measures the distance to the engaging member by irradiating the engaging member with a laser spot and detecting the reflected light can be used. There is no need to provide a notch or the like in the base according to the kind of the base, and the same base and hence the same cassette installation adapter can be used. Therefore, a plurality of types of cassettes can be exchanged and attached to the wafer transfer apparatus easily and inexpensively.
あるいは、好ましくは、前記アダプタ識別手段は、前記基台に脱着可能に取り付けられた、又は、前記基台に対してスライド可能に取り付けられた識別用部材を具備し、該識別用部材の有無又は取り付け位置に応じた信号を出力する。 Alternatively, preferably, the adapter identification means includes an identification member that is detachably attached to the base or is slidably attached to the base, and the presence or absence of the identification member or Outputs a signal according to the mounting position.
上記の好ましい構成によれば、アダプタ識別手段が、基台に脱着可能に取り付けられた識別用部材（このような識別用部材としては、例えば、基台に設けられたねじ穴に螺合されるビスを備えた部材が挙げられる）を具備している。そして、アダプタ識別手段は、識別用部材の有無に応じた信号を出力する。具体的には、例えば、識別用部材の有無によってマイクロスイッチのオン・オフを切り替えたり、透過型又は反射型の光電センサのオン・オフを切り替える構成が挙げられる。
或いは、上記の好ましい構成によれば、アダプタ識別手段が、基台に対してスライド可能に取り付けられた識別用部材（このような識別用部材としては、例えば、基台に設けられた一軸ステージ上に取り付けられた部材が挙げられる）を具備している。そして、アダプタ識別手段は、識別用部材の取り付け位置（スライド後に停止した位置）に応じた信号を出力する。具体的には、例えば、識別用部材の取り付け位置によってマイクロスイッチのオン・オフを切り替えたり、透過型又は反射型の光電センサのオン・オフを切り替える構成が挙げられる。
上記の好ましい構成によれば、設置するカセットの種類に応じて基台に切欠き等を設ける必要が無く、識別用部材を脱着するか、又は、識別用部材をスライドさせるだけで良いため、同じ基台ひいては同じカセット設置用アダプタを使用することができる。このため、簡易に且つ安価に、複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることが可能である。
According to said preferable structure, an adapter identification means is screwed together in the identification member attached to the base so that attachment or detachment is possible (For example, as such a identification member, it is screwed in the screw hole provided in the base. A member provided with a screw). The adapter identifying means outputs a signal corresponding to the presence or absence of the identifying member. Specifically, for example, there is a configuration in which the microswitch is switched on / off depending on the presence / absence of the identification member, or the transmissive or reflective photoelectric sensor is switched on / off.
Or according to said preferable structure, the adapter identification means is the identification member slidably attached with respect to the base (For example, on such a uniaxial stage provided in the base as such an identification member. A member attached to the head). Then, the adapter identifying means outputs a signal corresponding to the attachment position of the identification member (position stopped after sliding). Specifically, for example, there is a configuration in which the microswitch is switched on / off according to the attachment position of the identification member, or the transmission type or reflection type photoelectric sensor is switched on / off.
According to the above preferred configuration, there is no need to provide a notch or the like in the base depending on the type of cassette to be installed, and it is only necessary to remove the identification member or slide the identification member. The same cassette installation adapter can be used. Therefore, a plurality of types of cassettes can be exchanged and attached to the wafer transfer apparatus easily and inexpensively.
また、前記課題を解決するため、本発明は、ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置であって、前記何れかに記載の複数のカセット設置用アダプタと、前記ウェハを搬送する搬送機構と、前記搬送機構を制御する制御手段とを備え、前記制御手段には、下部形状の異なる複数種類の前記カセットのそれぞれが設置される前記カセット設置用アダプタに応じた制御手順が予め記憶されており、前記制御手段は、前記アダプタ識別手段からの出力信号に対応する前記カセット設置用アダプタに応じた制御手順を選択し、該選択した手順に従って前記搬送機構を制御することを特徴とするウェハ搬送装置としても提供される。 Further, in order to solve the above-mentioned problem, the present invention provides a wafer transfer apparatus that places a cassette containing wafers on a cassette support base, takes out the wafer from the cassette, and transfers the wafer. A plurality of cassette installation adapters, a transfer mechanism for transferring the wafer, and a control means for controlling the transfer mechanism, each of a plurality of types of cassettes having different lower shapes being installed in the control means. A control procedure corresponding to the cassette installation adapter is stored in advance, and the control means selects the control procedure corresponding to the cassette installation adapter corresponding to the output signal from the adapter identification means, and the selected The present invention is also provided as a wafer transfer device that controls the transfer mechanism according to a procedure.
本発明に係るウェハ搬送装置によれば、ウェハを搬送する搬送機構を制御する制御手段に、下部形状の異なる複数種類のカセットのそれぞれが設置されるカセット設置用アダプタに応じた制御手順が予め記憶される。そして、制御手段が、アダプタ識別手段からの出力信号に対応するカセット設置用アダプタに応じた制御手順を選択し、選択した手順に従って搬送機構を制御する。すなわち、カセット設置用アダプタの種類がアダプタ識別手段によって自動的に識別（これによりカセットの種類も自動的に識別）され、識別結果に基づいて制御手段により搬送機構の制御手順が自動的に切り替わる（これにより搬送機構の動作が自動的に切り替わる）ため、適正なウェハ搬送が可能となる。 According to the wafer transfer apparatus of the present invention, the control procedure corresponding to the cassette installation adapter in which each of a plurality of types of cassettes having different lower shapes is installed is stored in advance in the control means for controlling the transfer mechanism for transferring the wafer. Is done. And a control means selects the control procedure according to the adapter for cassette installation corresponding to the output signal from an adapter identification means, and controls a conveyance mechanism according to the selected procedure. That is, the type of cassette installation adapter is automatically identified by the adapter identifying means (thereby automatically identifying the type of cassette), and the control mechanism of the transport mechanism is automatically switched by the control means based on the identification result ( As a result, the operation of the transfer mechanism is automatically switched), so that proper wafer transfer is possible.
さらに、前記課題を解決するため、本発明は、ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置への前記カセットの設置方法であって、前記カセットが載置される基台と、前記基台上にスライド可能に取り付けられた複数の係合部材と、何れの種類の前記カセットが設置されるカセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段とを備えたカセット設置用アダプタを、下部形状の異なる複数種類の前記カセットの種類数に応じて複数用意するステップと、前記複数のカセット設置用アダプタのそれぞれが備える各係合部材をスライドさせて、前記複数種類のカセットのそれぞれを前記複数のカセット設置用アダプタのそれぞれが備える前記基台に載置したときに各係合部材が各カセットのそれぞれの下部と係合して前記基台上での各カセットの移動を阻止可能なように、各カセット設置用アダプタ毎に各係合部材を位置決めするステップと、前記各係合部材が位置決めされた複数のカセット設置用アダプタのうち、前記ウェハ搬送装置に設置するカセットの種類に応じたカセット設置用アダプタを選択するステップと、前記選択したカセット設置用アダプタが備える前記基台を前記カセット支持台に取り付け、前記カセット支持台に取り付けられたカセット設置用アダプタが備える各係合部材に前記カセットを係合させるステップと、を含むことを特徴とするウェハ搬送装置へのカセット設置方法としても提供される。 Furthermore, in order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a method for installing the cassette in a wafer transfer device that places a cassette containing wafers on a cassette support base, takes out the wafer from the cassette, and transfers the wafer. , Identifying a base on which the cassette is placed, a plurality of engaging members slidably mounted on the base, and which type of cassette is an adapter for installing a cassette Preparing a plurality of cassette installation adapters having adapter identifying means for each of the plurality of types of cassettes having different lower shapes, and engaging each of the plurality of cassette installation adapters Slide the member and place each of the plurality of types of cassettes on the base provided in each of the plurality of cassette installation adapters. Each engaging member is positioned for each cassette installation adapter so that each engaging member engages with each lower portion of each cassette and can prevent movement of each cassette on the base. A step of selecting a cassette installation adapter corresponding to the type of cassette to be installed in the wafer transfer device from among the plurality of cassette installation adapters in which the respective engaging members are positioned; and the selected cassette installation Attaching the base provided in the adapter to the cassette support, and engaging the cassette with each engaging member provided in the cassette installation adapter attached to the cassette support. It is also provided as a method for installing a cassette on a transport device.
本発明によれば、簡易に且つ安価に、下部形状の異なる複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることが可能であると共に、カセットを取り付けた後の適正なウェハ搬送が可能である。 According to the present invention, it is possible to easily and inexpensively replace a plurality of types of cassettes having different lower shapes and attach them to the wafer conveyance device, and to carry out proper wafer conveyance after the cassettes are attached. .
以下、添付図面を適宜参照しつつ、本発明の一実施形態について説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るウェハ搬送装置の概略構成図である。なお、図１において、制御手段４以外は平面図である。また、図１では、便宜上、アダプタ識別手段２３の図示を省略している。図２は、図１に示すカセット設置用アダプタ２を拡大して示す概略構成図であり、図２(ａ）は平面図を、図２（ｂ）は正面図を示す。なお、図２（ａ）においては、カセット設置用アダプタ２とカセットＣとの関係が理解し易くなるように、カセットＣの下面の形状を破線で図示している。また、図２（ｂ）においても、カセット設置用アダプタ２とカセットＣとの関係が理解し易くなるように、カセットＣの下部のみを併せて図示している。また、図２（ｂ）では、便宜上、アダプタ識別手段２３の図示を省略している。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings as appropriate.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a wafer transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the parts other than the control means 4 are plan views. In FIG. 1, the
図１に示すように、本実施形態に係るウェハ搬送装置１００は、ウェハＷを収納したカセットＣをカセット支持台１に載置してカセットＣからウェハＷを取り出して搬送する装置である。ウェハ搬送装置１００は、上記のカセット支持台１に加えて、複数（図１に示す例では２つ）のカセット設置用アダプタ２と、ウェハＷを搬送する搬送機構３と、搬送機構３を制御する制御手段４とを備えている。
As shown in FIG. 1, a
図１又は図２に示すように、カセット設置用アダプタ２は、カセットＣが載置される基台２１と、基台２１上にスライド可能に取り付けられた複数（図１、図２に示す例では４つ）の係合部材２２（２２ａ〜２２ｄ）と、下部形状の異なる複数種類のカセットＣのうち何れの種類のカセットＣが設置されるカセット設置用アダプタ２であるのかを識別するためのアダプタ識別手段２３とを備えている。
As shown in FIG. 1 or FIG. 2, the
基台２１は、カセット支持台１上の所定位置にビス留め等によって取り付けられている。各基台２１の形状は、載置されるカセットＣの種類（カセットＣの下部形状の種類）に関わりなく同じ形状とされている。
The
各係合部材２２は、前述のように基台２１上にスライド可能に取り付けられている。そして、各係合部材２２の形状も、基台２１と同様に、載置されるカセットＣの種類（カセットＣの下部形状の種類）に関わりなく同じ形状とされている。係合部材２２ａ、２２ｂは互いに同一形状又は左右を反転した形状（図２に示す例では左右反転形状）とされ、係合部材２２ｃ、２２ｄは互いに同一形状又は左右を反転した形状（図２に示す例では同一形状）とされている。
Each engaging
具体的には、図２に示すように、係合部材２２ａ、２２ｂは、基台２１上に設けられた一軸ステージ２４に取り付けられ、それぞれ一軸ステージ２４上を一軸ステージ２４の延びる方向（図２（ａ）に示すＸ方向）に移動可能とされている。一方、基台２１には、一軸ステージ２４の延びる方向（Ｘ方向）と直交する方向（図２（ａ）に示すＹ方向）に一対の長穴２５が形成されている。一軸ステージ２４は、長穴２５を貫通するボルト（図示せず）及びナット（図示せず）によって取り付けられており、このナットを緩めることにより、長穴２５に沿ってＹ方向に移動可能であり、移動後にナットを締めることでその位置に固定される。一軸ステージ２４がＹ方向に移動することにより、一軸ステージ２４に取り付けられた係合部材２２ａ、２２ｂも一体としてＹ方向に移動可能である。
また、基台２１には、Ｘ方向に延びる一対の長穴２６が形成されている。係合部材２２ｃは、長穴２６を貫通するボルトＢ及びナット（図示せず）によって取り付けられており、このナットを緩めることにより、長穴２６に沿ってＸ方向に移動可能であり、移動後にナットを締めることでその位置に固定される。
さらに、基台２１には、Ｘ方向に延びる一対の長穴２７が形成されている。係合部材２２ｄは、長穴２７を貫通するボルトＢ及びナット（図示せず）によって取り付けられており、このナットを緩めることにより、長穴２７に沿ってＸ方向に移動可能であり、移動後にナットを締めることでその位置に固定される。
Specifically, as shown in FIG. 2, the engaging
The
Further, the
上記のようにしてスライド可能な各係合部材２２は、図２（ａ）で破線で示すカセットＣの下部と係合して基台２１上でのカセットＣの移動を阻止可能なように、カセットＣの下部形状に応じて位置決めされている。
具体的には、カセットＣの中心に向かう側を内側、カセットＣの中心から離れる側を外側とすると、係合部材２２ａ、２２ｂは、カセットＣの下部とＸ方向の内側から外側に向けて係合（当接）すると共に、カセットＣの下部とＹ方向の外側から内側に向けて係合（当接）する位置に位置決めされている。また、係合部材２２ｃ、２２ｄは、カセットＣの下部とＸ方向の外側から内側に向けて係合（当接）する位置に位置決めされている。
この各係合部材２２の位置は、基台２１に載置するカセットＣの下部形状に応じて決定すればよい。
Each of the engaging
Specifically, if the side toward the center of the cassette C is the inside and the side away from the center of the cassette C is the outside, the engaging
The position of each
図２（ａ）に示すように、本実施形態のアダプタ識別手段２３は、基台２１上で位置決めされた係合部材２２の位置を検出し、係合部材２２の位置に応じた信号を出力するものとされている。具体的には、アダプタ識別手段２３は、係合部材２に向けてレーザスポットを照射し、その反射光を検出することによって係合部材２までの距離を測定するレーザ距離計２３ａ〜２３ｃとされている。
本実施形態では、アダプタ識別手段２３として、制御手段４に電気的に接続された３つのレーザ距離計２３ａ〜２３ｃが設けられている。レーザ距離計２３ａは、係合部材２２ａのＸ方向の位置を検出し、レーザ距離計２３ｂは、係合部材２２ａのＹ方向の位置を検出し、レーザ距離計２３ｃは、係合部材２２ｃのＸ方向の位置を検出している。各レーザ距離計２３ａ〜２３ｃの出力信号（検出した距離情報）は、制御手段４に送信される。
As shown in FIG. 2A, the adapter identifying means 23 of the present embodiment detects the position of the engaging
In the present embodiment, as the adapter identification means 23, three
係合部材２２ｂのＸ方向の位置を検出するレーザ距離計、係合部材２２ｂのＹ方向の位置を検出するレーザ距離計及び係合部材２２ｄのＸ方向の位置を検出するレーザ距離計を設けることも可能である。しかしながら、基台２１に載置するカセットＣの下部形状は、平面視でほぼ線対称（図２の紙面において左右対称）であるため、カセットＣの下部と係合する各係合部材２２の配置も左右対称になると考えられる。このため、本実施形態のように、左右何れか一方に配置された係合部材２２の位置を検出しさえすれば、カセット設置用アダプタ２の種類を識別可能である。
本実施形態では、図２（ａ）に示すように、アダプタ識別手段２３としてのレーザ距離計２３ａ〜２３ｃが全て基台２１上に設置されている。しかしながら、本発明はこれに限るものではなく、レーザ距離計２３ａ〜２３ｃをカセット支持台１上に設置することも可能である。カセット支持台１上にレーザ距離計２３ａ〜２３ｃを設置することにより、同じ位置に設置される基台２１毎にレーザ距離計２３ａ〜２３ｃを設ける必要がなくなりコストを低減できるという利点が得られる。
A laser rangefinder for detecting the position of the engaging
In the present embodiment, as shown in FIG. 2A, the
なお、本実施形態のカセット設置用アダプタ２の基台２１には、Ｙ方向に延びる長穴２８が形成されている。そして、制御手段４に電気的に接続され、カセット支持台１に設けられたリミットスイッチ（図示せず）の可動部１１が、長穴２８を通じて上方に（図２（ａ）の紙面に垂直な方向の手前側に）突出している。カセットＣが基台２１に載置されていない場合には、可動部１１は上方に突出したままであり、リミットスイッチはオフの状態である。一方、カセットＣが基台２１に載置されると、カセットＣの下面によって可動部１１が下方に（図２（ａ）の紙面に垂直な方向の奥側に）押し下げられ、リミットスイッチはオンの状態になる。これにより、カセットＣが基台２１に載置されたことを制御手段４は認識可能である。
A
図１に示すように、本実施形態の搬送機構３は、いわゆる３軸円筒座標系の搬送ロボットであって、カセットＣに収納されたウェハＷをウェハ保持部３１によって取り出し、チャンバ（図示せず）等に搬送するものである。
具体的には、本実施形態の搬送機構３は、ウェハ保持部３１の他、第１アーム３２と、第２アーム３３と、第３アーム３４と、第１シャフト（図示せず）と、第２シャフト（図示せず）と、第３シャフト（図示せず）と、上下動駆動部（図示せず）とを備えている。第１アーム３２、第２アーム３３及び第３アーム３４は、水平方向に延びている。そして、第１アーム３２の一端部に結合されたウェハ保持部３１でウェハＷを保持し、第１アーム３２の他端部に上下方向（図１の紙面に垂直な方向）に延びる第１シャフトが結合されている。第１アーム３２の他端部は、第１シャフトを介して第２アーム３３の一端部に連結されている。具体的には、第１アーム３２が第２アーム３３に対して第１シャフトの中心軸回りに回動可能なように、第１アーム３２の他端部は第２アーム３３の一端部に連結されている。
第２アーム３３の他端部には上下方向に延びる第２シャフトが結合されている。第２アーム３３の他端部は、第２シャフトを介して第３アーム３４の一端部に連結されている。具体的には、第２アーム３３が第３アーム３４に対して第２シャフトの中心軸回りに回動可能なように、第２アーム３３の他端部は第３アーム３４の一端部に連結されている。
第３アーム３４の他端部には上下方向に延びる第３シャフトが結合されている。第３アーム３４の他端部は、第３シャフトを介して上下動駆動部に連結されていると共に、第３アーム３４は、第３シャフトの中心軸回りに回動可能である。
制御手段４から送信される制御信号により、第１アーム３２、第２アーム３３及び第３アーム３４は回動すると共に、上下動駆動部が上下動して第１アーム３２〜第３アーム３４も上下動することになる。これにより、第１アーム３２の一端部に結合されたウェハ保持部３１は、３軸円筒座標系の所定範囲内で制御信号に応じた動作を行うことになる。
なお、本発明の搬送機構は、図１に示すものに何ら限られるものではなく、４つ以上のアームを備えるなど、カセットＣに収納されたウェハＷをウェハ保持部３１によって取り出して搬送可能である限りにおいて任意の構成とすることが可能である。
As shown in FIG. 1, the
Specifically, the
A second shaft extending in the vertical direction is coupled to the other end of the
A third shaft extending in the vertical direction is coupled to the other end of the
The
The transfer mechanism of the present invention is not limited to that shown in FIG. 1, and can include four or more arms, and the wafer W stored in the cassette C can be taken out by the
制御手段４は、搬送機構４を制御するためのプログラム（制御手順）等が記憶された汎用のパーソナルコンピュータ等から構成されている。本実施形態の制御手段４には、下部形状の異なる複数種類のカセットＣのそれぞれが設置されるカセット設置用アダプタ２に応じた制御手順が予め記憶されている。
例えば、カセット設置用アダプタ２に応じて記憶される制御手順としては、所定の上下方向位置にある第３アーム３４の他端部の回動中心（第３シャフトの中心軸）を原点とする３軸円筒座標系（Ｒ，θ，Ｚ）（Ｒは径方向の座標、θは回転方向の座標、Ｚは上下方向の座標）におけるウェハ保持部３１の動作手順・動作速度や、カセット設置用アダプタ２の種類に応じて（載置されるカセットＣの種類に応じて）決まるウェハＷの強度や裏面にデバイスが設けられているか否か等に応じたウェハ保持部３１での真空吸着要否（例えば、ウェハＷの強度が小さかったり、裏面にデバイスが設けられている場合には真空吸着せず、それ以外の場合には真空吸着する等）などが考えられる。
そして、制御手段４は、前述したリミットスイッチがオンになった（可動部１１が下方に押し下げられた）ことを検知すると、予め記憶された制御手順の中から、アダプタ識別手段２３からの出力信号に対応するカセット設置用アダプタ２に応じた制御手順を選択し、該選択した手順に従って搬送機構３を制御する。
なお、本実施形態では、２つのカセット設置用アダプタ２を備えているため、制御手段４は、各カセット設置用アダプタ２に応じた制御手順を順次選択して搬送機構３を制御することになる。
The control means 4 is constituted by a general-purpose personal computer or the like in which a program (control procedure) for controlling the
For example, as a control procedure stored in accordance with the
When the control means 4 detects that the above-described limit switch has been turned on (the
In the present embodiment, since two
図３は、図１に示すカセット設置用アダプタが具備するアダプタ識別手段の変形例を示す概略構成図である。図３（ａ）は変形例のアダプタ識別手段が設けられる基台２１を示す平面図であり、図３（ｂ）は第１変形例のアダプタ識別手段２３ｄを示す図３（ａ）のＡＡ断面図であり、図３（ｃ）は第２変形例のアダプタ識別手段２３ｅを示す図３（ａ）のＡＡ断面図であり、図３（ｄ）は第３変形例のアダプタ識別手段２３ｆを示す図３（ａ）のＡＡ断面図である。以下、各変形例について順次説明する。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a modification of the adapter identification means provided in the cassette installation adapter shown in FIG. 3A is a plan view showing a base 21 on which a modified adapter identifying means is provided, and FIG. 3B is an AA cross section of FIG. 3A showing an
図３（ｂ）に示すように、第１変形例のアダプタ識別手段２３ｄは、基台２１の下面及び支持台１の上面の間に形成された凹所２９に設けられている。アダプタ識別手段２３ｄは、基台２１に脱着可能に取り付けられた識別用部材３０を具備する。具体的には、凹所２９が設けられた位置にある基台２１の下面にはねじ穴３１（図３（ｂ）に示す例では４つのねじ穴３１）が形成され、識別用部材３０は、ねじ穴３１に螺合するビス３２と、ビス３２をねじ穴３１に螺合することによって基台２１の下面に取り付けられるブロック３３とを具備している。
また、アダプタ識別手段２３ｄは、凹所２９が設けられた位置にある支持台１の上面に取り付けられたマイクロスイッチ３４を具備する。マイクロスイッチ３４の出力信号（オン・オフ信号）は、制御手段４に送信される。識別用部材３０が取り付けられた位置にあるマイクロスイッチ３４（図３（ｂ）に示す例では左側のマイクロスイッチ３４）は、識別用部材３０のブロック３３によってマイクロスイッチ３４の可動部が押し下げられ、マイクロスイッチ３４がオンの状態になる。一方、識別用部材３０が取り外された位置にあるマイクロスイッチ３４（図３（ｂ）に示す例では右側のマイクロスイッチ３４）は、マイクロスイッチ３４の可動部が上がったままであり、マイクロスイッチ３４がオフの状態になる。図３（ｂ）に示す例では、左右の識別用部材３０の脱着の組み合わせにより、左右のマイクロスイッチ３４のオン・オフの状態が４つのパターンに切り替え可能となる。換言すれば、左右の識別用部材３０の脱着の組み合わせにより、制御手段４は４種類のカセット設置用アダプタ２を識別可能である。
As shown in FIG. 3 (b), the adapter identifying means 23 d of the first modified example is provided in a
The
図３（ｃ）に示すように、第２変形例のアダプタ識別手段２３ｅも、基台２１の下面及び支持台１の上面の間に形成された凹所２９に設けられている。アダプタ識別手段２３ｅも、基台２１に脱着可能に取り付けられた識別用部材３０を具備する。識別用部材３０の具体的構成は、第１変形例のアダプタ識別手段２３ｄと同様である。
また、アダプタ識別手段２３ｅは、凹所２９が設けられた位置にある支持台１の上面に取り付けられた反射型の光電スイッチ３５を具備する。光電スイッチ３５の出力信号（オン・オフ信号）は、制御手段４に送信される。識別用部材３０が取り付けられた位置にある光電スイッチ３５（図３（ｃ）に示す例では左側の光電スイッチ３５）は、光電スイッチ３５の投光部から投光されたレーザ光が識別用部材３０のブロック３３によって反射し、光電スイッチ３５の受光部で受光されて、光電スイッチ３５がオンの状態になる。一方、識別用部材３０が取り外された位置にある光電スイッチ３５（図３（ｃ）に示す例では右側の光電スイッチ３５）は、投光されたレーザ光の反射光が受光されず、光電スイッチ３５がオフの状態になる。図３（ｃ）に示す例でも、左右の識別用部材３０の脱着の組み合わせにより、左右の光電スイッチ３５のオン・オフの状態が４つのパターンに切り替え可能となる。換言すれば、左右の識別用部材３０の脱着の組み合わせにより、制御手段４は４種類のカセット設置用アダプタ２を識別可能である。
As shown in FIG. 3C, the adapter identifying means 23 e of the second modified example is also provided in a
The adapter identification means 23e includes a reflective
図３（ｄ）に示すように、第３変形例のアダプタ識別手段２３ｆも、基台２１の下面及び支持台１の上面の間に形成された凹所２９に設けられている。アダプタ識別手段２３ｆは、基台２１に脱着可能に取り付けられた識別用部材３０Ａを具備する。具体的には、凹所２９が設けられた位置にある基台２１の下面にはねじ穴３１（図３（ｄ）に示す例では２つのねじ穴３１）が形成され、識別用部材３０Ａは、ねじ穴３１に螺合するビス３２と、ビス３２をねじ穴３１に螺合することによって基台２１の下面に取り付けられる遮蔽板３６とを具備している。
また、アダプタ識別手段２３ｆは、凹所２９が設けられた位置にある支持台１の上面に取り付けられた透過型の光電スイッチ３７を具備する。光電スイッチ３７の出力信号（オン・オフ信号）は、制御手段４に送信される。識別用部材３０Ａが取り付けられた位置にある光電スイッチ３７（図３（ｄ）に示す例では左側の光電スイッチ３７）は、光電スイッチ３７の投光部から投光されたレーザ光が識別用部材３０の遮蔽板３６によって遮蔽され、光電スイッチ３７の受光部で受光されず、光電スイッチ３７がオンの状態になる。一方、識別用部材３０Ａが取り外された位置にある光電スイッチ３７（図３（ｄ）に示す例では右側の光電スイッチ３７）は、投光されたレーザ光が受光され、光電スイッチ３７がオフの状態になる。図３（ｄ）に示す例では、左右の識別用部材３０Ａの脱着の組み合わせにより、左右の光電スイッチ３７のオン・オフの状態が４つのパターンに切り替え可能となる。換言すれば、左右の識別用部材３０Ａの脱着の組み合わせにより、制御手段４は４種類のカセット設置用アダプタ２を識別可能である。
As shown in FIG. 3 (d), the adapter identifying means 23 f of the third modification is also provided in a
The adapter identification means 23f includes a transmissive
第１〜第３変形例のアダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆによっても、アダプタ識別手段２３と同様に、カセット設置用アダプタ２の種類を識別可能であり、制御手段４は、識別されたカセット設置用アダプタ２に応じた制御手順を選択し、該選択した手順に従って搬送機構３を制御することが可能である。
なお、上述した第１〜第３変形例のアダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆでは４種類のカセット設置用アダプタ２を識別可能であるが、脱着可能に取り付けられる識別用部材３０、３０Ａの数を増やすと共に、これに応じて、マイクロスイッチ３４、光電スイッチ３５、３７の数を増やせば、より多くの種類のカセット設置用アダプタを識別可能である。
また、第１変形例では、マイクロスイッチ３４の可動部が押し下げられたときにマイクロスイッチ３４がオンの状態となり、可動部が上がったままのときにオフの状態となる場合について説明したが、オン・オフの論理を反転（すなわち、マイクロスイッチ３４の可動部が押し下げられたときにマイクロスイッチ３４がオフの状態となり、可動部が上がったままのときにオンの状態となる）させることも無論可能である。第２及び第３変形例についても同様である。
Similarly to the adapter identification means 23, the adapter identification means 23d to 23f of the first to third modifications can identify the type of the
In addition, although the adapter identification means 23d-23f of the 1st-3rd modification mentioned above can identify four types of
In the first modification, the case where the
また、第１〜第３変形例では、基台２１に脱着可能に取り付けられた識別用部材３０、３０Ａを具備する構成について説明したが、本発明はこれに限るものではなく、識別用部材３０が具備するブロック３３や識別用部材３０Ａが具備する遮蔽板３６を基台２１に設けた一軸ステージ上に取り付け、スライド可能にすることも可能である。或いは、ブロック３３や遮蔽板３６にビス３２を挿通する長穴を形成し、ブロック３３や遮蔽板３６をその長穴に沿ってスライド可能にすることも可能である。そして、ブロック３３や遮蔽板３６の取り付け位置（スライド後に停止した位置）に応じて、マイクロスイッチ３４のオン・オフが切り替わったり、光電スイッチ３５、３７のオン・オフが切り替わるようにすればよい。
さらに、第１〜第３変形例では、アダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆが基台２１の下面及び支持台１の上面の間に形成された凹所２９に設けられる構成について説明したが、本発明はこれに限るものではなく、基台２１の側面に凹所を設け、この凹所にアダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆを設ける構成とすることも可能である。
In the first to third modifications, the configuration including the
Further, in the first to third modified examples, the
以上に説明した構成を有するウェハ搬送装置１００にカセットＣを設置するには、まず最初に、カセット設置用アダプタ２を下部形状の異なる複数種類のカセットＣの種類数に応じて複数用意する。用意する複数のカセット設置用アダプタ２の各基台２１の形状は、カセットＣの種類に関わりなく同じ形状である。そして、複数のカセット設置用アダプタ２のそれぞれが備える各係合部材２２をスライドさせて、複数種類のカセットＣのそれぞれを複数のカセット設置用アダプタ２のそれぞれが備える基台２１に載置したときに各係合部材２２が各カセットＣのそれぞれの下部と係合して基台２１上での各カセットＣの移動を阻止可能なように、各カセット設置用アダプタ２毎に各係合部材２２を位置決めしておけばよい。
次に、アダプタ識別手段として、第１〜第３変形例のアダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆを用いる場合には、カセット設置用アダプタ２に設置するカセットＣの種類に応じて、カセット設置用アダプタ２を識別可能なように、識別用部材３０、３０Ａの脱着や取り付け位置を手動で調整する。アダプタ識別手段としてアダプタ識別手段２３を用いる場合には、このような調整は不要である。
最後に、各係合部材２２が位置決めされた複数のカセット設置用アダプタ２のうち、ウェハ搬送装置１００に設置するカセットＣの種類に応じたカセット設置用アダプタ２を選択する。そして、選択したカセット設置用アダプタ２が備える基台２１をカセット支持台１に取り付け、カセット支持台１に取り付けられたカセット設置用アダプタ２が備える各係合部材２２にカセットＣを係合させればよい。各係合部材２２は、前述のように予め位置決めされているため、各係合部材２２にカセットＣを係合させる際、各係合部材２２の位置調整は不要である。
In order to install the cassette C in the
Next, when the
Finally, among the plurality of
本実施形態に係るカセット設置用アダプタ２によれば、カセット設置用アダプタ２が備える複数の係合部材２２のそれぞれは、スライド可能であり、カセットＣの下部と係合して基台２１上でのカセットＣの移動を阻止可能（固定可能）なように、カセットＣの下部形状に応じて位置決めされている。したがって、固定するカセットＣの種類（カセットＣの下部形状の種類）に応じて各係合部材２２の形状を異なるものとしなくても、カセットＣの種類に関わりなく同じ形状とされた各係合部材２２をスライドさせてその位置を予め調整しておくだけで、複数種類のカセットＣを固定可能である。すなわち、下部形状の異なるカセットＣの種類数に応じた数の異なるカセット設置用アダプタ２を製作して用意しておく必要がなく、同一のカセット設置用アダプタ２（同一の基台２１及び係合部材２２）を製作して各係合部材２２の位置のみをスライドして調整しておくだけで良いため、簡易に且つ安価に、複数種類のカセットＣを交換してウェハ搬送装置１００に取り付けることが可能である。
According to the
また、本実施形態に係るカセット設置用アダプタ２は、下部形状の異なる複数種類のカセットＣのうち何れの種類のカセットＣが設置されるカセット設置用アダプタ２であるのかを識別するためのアダプタ識別手段２３（又は、アダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆのいずれか）を備えている。このため、カセット支持台１に載置したカセットＣの種類に応じて、ウェハＷを搬送する搬送機構３の動作を切り替える必要が生じる場合、オペレータの視認によるカセットＣの種類の識別や手動での搬送機構３の動作の切り替えではなく、アダプタ識別手段２３（又は、アダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆのいずれか）によるカセット設置用アダプタ２の種類の自動識別（これによるカセットＣの種類の自動識別）と識別結果に基づく搬送機構３の動作の自動切り替えが可能となり、適正なウェハＷの搬送が可能となる。
Further, the
さらに、本実施形態に係るウェハ搬送装置１００によれば、ウェハＷを搬送する搬送機構３を制御する制御手段４に、下部形状の異なる複数種類のカセットＣのそれぞれが設置されるカセット設置用アダプタ２に応じた制御手順が予め記憶される。そして、制御手段４が、アダプタ識別手段２３（又は、アダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆのいずれか）からの出力信号に対応するカセット設置用アダプタ２に応じた制御手順を選択し、選択した手順に従って搬送機構３を制御する。すなわち、カセット設置用アダプタ２の種類がアダプタ識別手段２３（又は、アダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆのいずれか）によって自動的に識別（これによりカセットＣの種類も自動的に識別）され、識別結果に基づいて制御手段４により搬送機構３の制御手順が自動的に切り替わる（これにより搬送機構３の動作が自動的に切り替わる）ため、適正なウェハＷの搬送が可能となる。
Furthermore, according to the
１・・・カセット支持台
２・・・カセット設置用アダプタ
３・・・搬送機構
４・・・制御手段
２１・・・基台
２２・・・係合部材
２３、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆ・・・アダプタ識別手段
１００・・・ウェハ搬送装置
Ｃ・・・カセット
Ｗ・・・ウェハ
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記カセットが載置される基台と、
前記基台上にスライド可能に取り付けられた複数の係合部材と、
下部形状の異なる複数種類の前記カセットのうち何れの種類の前記カセットが設置される前記カセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段とを備え、
前記基台は、前記カセット支持台上に取り付けられ、
前記複数の係合部材のそれぞれは、前記カセットの下部と係合して前記基台上での前記カセットの移動を阻止可能なように、前記カセットの下部形状に応じて位置決めされていることを特徴とするカセット設置用アダプタ。 A cassette installation adapter that is attached to a wafer transfer device that mounts a cassette containing wafers on a cassette support and removes the wafer from the cassette and transfers the cassette,
A base on which the cassette is placed;
A plurality of engaging members slidably mounted on the base;
Adapter identifying means for identifying which type of the cassette is installed among the plurality of types of cassettes having different lower shapes;
The base is mounted on the cassette support;
Each of the plurality of engaging members is positioned according to the shape of the lower portion of the cassette so as to engage with the lower portion of the cassette and prevent movement of the cassette on the base. A special adapter for cassette installation.
請求項１から３の何れかに記載の複数のカセット設置用アダプタと、
前記ウェハを搬送する搬送機構と、
前記搬送機構を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段には、下部形状の異なる複数種類の前記カセットのそれぞれが設置される前記カセット設置用アダプタに応じた制御手順が予め記憶されており、
前記制御手段は、前記アダプタ識別手段からの出力信号に対応する前記カセット設置用アダプタに応じた制御手順を選択し、該選択した手順に従って前記搬送機構を制御することを特徴とするウェハ搬送装置。 A wafer transfer apparatus for placing a cassette containing wafers on a cassette support and taking out the wafer from the cassette and transferring the wafer,
A plurality of cassette installation adapters according to any one of claims 1 to 3,
A transfer mechanism for transferring the wafer;
Control means for controlling the transport mechanism,
In the control means, a control procedure according to the cassette installation adapter in which each of the plurality of types of cassettes having different lower shapes is installed is stored in advance.
The wafer transfer apparatus, wherein the control means selects a control procedure corresponding to the cassette installation adapter corresponding to an output signal from the adapter identification means, and controls the transfer mechanism according to the selected procedure.
前記カセットが載置される基台と、前記基台上にスライド可能に取り付けられた複数の係合部材と、何れの種類の前記カセットが設置されるカセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段とを備えたカセット設置用アダプタを、下部形状の異なる複数種類の前記カセットの種類数に応じて複数用意するステップと、
前記複数のカセット設置用アダプタのそれぞれが備える各係合部材をスライドさせて、前記複数種類のカセットのそれぞれを前記複数のカセット設置用アダプタのそれぞれが備える前記基台に載置したときに各係合部材が各カセットのそれぞれの下部と係合して前記基台上での各カセットの移動を阻止可能なように、各カセット設置用アダプタ毎に各係合部材を位置決めするステップと、
前記各係合部材が位置決めされた複数のカセット設置用アダプタのうち、前記ウェハ搬送装置に設置するカセットの種類に応じたカセット設置用アダプタを選択するステップと、
前記選択したカセット設置用アダプタが備える前記基台を前記カセット支持台に取り付け、前記カセット支持台に取り付けられたカセット設置用アダプタが備える各係合部材に前記カセットを係合させるステップと、
を含むことを特徴とするウェハ搬送装置へのカセット設置方法。 A method of installing the cassette on a wafer transfer device for placing a cassette containing wafers on a cassette support and taking out and transferring the wafer from the cassette,
To identify a base on which the cassette is placed, a plurality of engaging members slidably mounted on the base, and which type of cassette is an adapter for installing a cassette Preparing a plurality of adapters for cassette installation including the adapter identification means according to the number of types of the plurality of types of cassettes having different lower shapes,
Each engagement member provided in each of the plurality of cassette installation adapters is slid so that each of the plurality of types of cassettes is placed on the base provided in each of the plurality of cassette installation adapters. Positioning each engagement member for each cassette installation adapter so that the combined member engages with the respective lower part of each cassette to prevent movement of each cassette on the base;
Selecting a cassette installation adapter according to the type of cassette to be installed in the wafer transfer device from among a plurality of cassette installation adapters in which the respective engaging members are positioned;
Attaching the base included in the selected cassette installation adapter to the cassette support base, and engaging the cassette with each engaging member included in the cassette installation adapter attached to the cassette support base;
A method for installing a cassette on a wafer transfer device.
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| JP7460461B2 (en) | 2020-06-22 | 2024-04-02 | 株式会社ディスコ | processing equipment |
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2015
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