JP2016141002A - Ink jet head - Google Patents
Ink jet head Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016141002A JP2016141002A JP2015016882A JP2015016882A JP2016141002A JP 2016141002 A JP2016141002 A JP 2016141002A JP 2015016882 A JP2015016882 A JP 2015016882A JP 2015016882 A JP2015016882 A JP 2015016882A JP 2016141002 A JP2016141002 A JP 2016141002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- top plate
- nozzle
- nozzle substrate
- inkjet head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
本発明は、インクジェットヘッドに関する。 The present invention relates to an inkjet head.
従来、チャネル内のインクを吐出させることによって各種画像の記録を行うインクジェット記録装置のインクジェットヘッドが知られている。インクジェットヘッドとして、親水化された部分を有するものが知られている。 Conventionally, an inkjet head of an inkjet recording apparatus that records various images by ejecting ink in a channel is known. An inkjet head having a hydrophilic portion is known.
例えば、２種のインクを交換して吐出可能な吐出部を備えたインクジェットヘッドにおいて、吐出する各インク又は２種の混合インクに対する適正に応じて、吐出口形成面を撥水面とするか非撥水面するかを選択するインクジェット記録装置が知られている（特許文献１参照）。 For example, in an ink jet head having an ejection part that can eject by exchanging two types of ink, the ejection port forming surface is made to be a water repellent surface or non-repellent depending on the appropriateness for each ink to be ejected or two types of mixed ink. An ink jet recording apparatus that selects whether to surface is known (see Patent Document 1).
また、ノズルプレート（ノズル基板）のインク吐出面表面が撥インク処理されたインク射出ノズルの吐出口周縁を親水化処理したインクジェットヘッドが知られている（特許文献２参照）。このインクジェットヘッドにより、クリーニングに起因する傷によるインク吐出方向の曲りを抑制している。 There is also known an ink jet head in which the periphery of the ejection port of an ink ejection nozzle in which the surface of the ink ejection surface of a nozzle plate (nozzle substrate) has been subjected to ink repellent treatment has been hydrophilized (see Patent Document 2). This ink jet head suppresses bending in the ink ejection direction due to scratches caused by cleaning.
また、ノズルプレート（ノズル基板）のノズル吐出面のみにエネルギーを付与し撥水膜を選択的に形成し、撥水膜形成工程後の第２のエネルギーを付与しながら、ノズル吐出面以外（ノズル内壁面）に親水膜を形成する親水膜形成工程を含むノズルプレートの製造方法が知られている（特許文献３参照）。 Also, energy is applied only to the nozzle discharge surface of the nozzle plate (nozzle substrate) to selectively form a water repellent film, and the second energy after the water repellent film forming step is applied while other than the nozzle discharge surface (nozzle A manufacturing method of a nozzle plate including a hydrophilic film forming step of forming a hydrophilic film on an inner wall surface is known (see Patent Document 3).
しかしながら、例えばノズル基板に形成されるノズルを保護するため、ノズル基板の周囲を取り囲むように天板を設ける場合、特許文献１〜３に記載のノズル基板を用いて製造したインクジェットヘッドは、インクをノズルから連続吐出する際に特に高い周波数でインクを連続吐出すると、発生するミストの量は吐出周波数に応じて増えるため、ノズル吐出面に加えて天板にもミストが付着することにより吐出特性が不安定化することがわかった。発明者が鋭意検討した結果、天板に付着するミストが大きく成長して形成された大きな液だまりがノズル基板のうち、インクが吐出される側の面（インク吐出面）に流れ込むと、インク吐出面からノズル穴に戻るインク量も不安定となり、ノズル吐出面の状態を変化させて著しい吐出不安定化を招くことがわかった。
However, for example, when a top plate is provided so as to surround the nozzle substrate in order to protect the nozzles formed on the nozzle substrate, the ink jet head manufactured using the nozzle substrate described in
本発明の課題は、インクの連続吐出中も安定化した吐出特性を得ることである。 An object of the present invention is to obtain stable ejection characteristics even during continuous ejection of ink.
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明のインクジェットヘッドは、
インクを吐出するノズルを有するノズル基板と、
前記ノズル基板を取り囲む天板と、を備え、
前記ノズル基板のうち、前記ノズルからインクが吐出される側の面の全面と、
前記天板のうち、前記ノズルからインクが吐出される側の面の少なくとも一部と、が親インク処理されていることを特徴とする。
In order to solve the above problems, an ink jet head according to
A nozzle substrate having nozzles for ejecting ink;
A top plate surrounding the nozzle substrate,
Of the nozzle substrate, the entire surface on the side where ink is ejected from the nozzle,
Of the top plate, at least a part of a surface on the side where ink is ejected from the nozzles is subjected to a parent ink treatment.
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記天板は、リセス構造部を有し、
前記ノズル基板は、前記天板の最前面よりも低い位置に配置されていることを特徴とする。
The invention according to
The top plate has a recess structure,
The nozzle substrate is arranged at a position lower than the forefront surface of the top plate.
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記リセス構造部は、最前面の外周から前記ノズル基板を中に位置する開口部の側壁にかけてなだらかに連続するテーパー部であることを特徴とする。
The invention according to
The recess structure portion may be a tapered portion that is gently continuous from the outer periphery of the forefront surface to the side wall of the opening portion in which the nozzle substrate is located.
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記親インク処理は、真空プラズマ処理であることを特徴とする。
The invention according to
The parent ink process is a vacuum plasma process.
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記真空プラズマ処理は、ドライエッチングであることを特徴とする。
The invention according to
The vacuum plasma treatment is dry etching.
請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記天板の一部は、
前記天板の前記ノズルからインクを吐出させる方向側に位置する面のうち、前記ノズル基板に隣接する領域であることを特徴とする。
The invention according to claim 6 is the inkjet head according to any one of
A part of the top plate is
It is an area adjacent to the nozzle substrate in a surface located on the side of the top plate in the direction of ejecting ink from the nozzles.
請求項７に記載の発明は、請求項１から６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記天板は、インクの後退接触角が最前面の外周から前記ノズル基板を中に位置する開口部の側壁にかけて変化していることを特徴とする。
The invention according to claim 7 is the inkjet head according to any one of
The top plate is characterized in that the receding contact angle of the ink changes from the outer periphery of the forefront surface to the side wall of the opening portion in which the nozzle substrate is located.
請求項８に記載の発明は、請求項１から７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記インクジェットヘッドは、吐出するインクが粒子を含むインクであることを特徴とする。
The invention according to claim 8 is the inkjet head according to any one of
The inkjet head is characterized in that the ink to be ejected is an ink containing particles.
本発明によれば、連続吐出中も安定化した吐出特性を得ることができる。 According to the present invention, stable ejection characteristics can be obtained even during continuous ejection.
添付図面を参照して本発明に係る実施の形態を詳細に説明する。なお、本発明は、図示例に限定されるものではない。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有するものについては、同一の符号を付し、その説明を省略する。 Embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is not limited to the illustrated example. In addition, in the following description, what has the same function and structure attaches | subjects the same code | symbol, and abbreviate | omits the description.
図１〜図３を参照して、本実施の形態の装置構成を説明する。先ず、図１を参照して、本実施の形態のインクジェット記録装置１０００の概略構成について説明する。図１は、インクジェット記録装置１０００を示す概略構成図である。なお、インクジェット記録装置について一例として、以下においてラインヘッドを用いる例を説明しているがこれに限定されない。例えば、記録媒体の搬送方向に対して直交する方向にインクジェットヘッドを走査することによって画像を形成するスキャン方式のインクジェット記録装置に適用することも可能である。また、Ｙ（イエロー）、Ｍ（マゼンタ）、Ｃ（シアン）、Ｋ（ブラック）の各色を設ける例を記載したが、これに限定されず単色でも適用することができる。例えばＫ（ブラック）のみを使用する構成であってもよい。
The apparatus configuration of the present embodiment will be described with reference to FIGS. First, a schematic configuration of the ink
インクジェット記録装置１０００は、搬送部２００と、画像形成部３００と、インク供給部４００と、制御部５００と、を備えている。インクジェット記録装置１０００では、制御部５００の制御に基づいて、搬送部２００により搬送される記録媒体Ｐに対して、インク供給部４００から供給されたインクにより画像形成部３００で画像を形成する。
The ink
搬送部２００は、画像形成が行われる記録媒体Ｐを保持し、画像形成部３００に供給する。搬送部２００は、巻き出しロール２１０、ローラー２２０，２３０及び巻き取りロール２４０等を有する。ロール状に巻かれた長尺状の記録媒体Ｐは、巻き出しロール２１０から繰り出され、ローラー２２０，２３０に支持されながら搬送され、巻き取りロール２４０に巻き取られる。
The
画像形成部３００は、記録媒体Ｐ上にインクを吐出して画像を形成する。画像形成部３００は、複数のラインヘッド３１０、複数のラインヘッド３１０を保持するキャリッジ３３０等を有している。また、インクとしてエネルギー線で硬化するインクを使用する場合、さらに照射部３２０を備えることが好ましい。
The
ラインヘッド３１０は、搬送部２００に搬送される記録媒体Ｐに対してインクを吐出し、画像を形成する。ラインヘッド３１０は、Ｙ（イエロー）、Ｍ（マゼンタ）、Ｃ（シアン）、Ｋ（ブラック）の各色について個別に設けられている。図１では、搬送部２００による記録媒体Ｐの搬送方向に対して上流からＹ、Ｍ、Ｃ、Ｋの各色に対応したラインヘッド３１０が順番に設けられている。
The
本実施の形態のラインヘッド３１０は、キャリッジ３３０に、記録媒体Ｐの搬送方向に略垂直な方向（幅方向）について記録媒体Ｐの全体をカバーする長さ（幅）で設けられている。すなわち、インクジェット記録装置１０００は、ワンパス方式のラインヘッド型インクジェット記録装置である。ラインヘッド３１０は、複数のインクジェットヘッド１００（図２参照）が配列されて構成されている。また、図示の通り、キャリッジ３３０にはキャリッジヒーター３３０ａを設け、インクを加熱するようにしても良い。
The
照射部３２０は、インクジェット記録装置１０００で用いられるインクが記録媒体Ｐ上に吐出された後に当該インクを硬化させるためのエネルギー線を照射する。照射部３２０は、例えば、低圧水銀ランプ等の蛍光管を有し、当該蛍光管を発光させて紫外線等のエネルギー線を照射する。照射部３２０は、ラインヘッド３１０よりも記録媒体Ｐの搬送方向下流側に設けられている。照射部３２０は、画像形成後の記録媒体Ｐに対してエネルギー線を照射することで、記録媒体Ｐ上に吐出されたインクを硬化させる。
The
紫外線を発する蛍光管としては、低圧水銀ランプの他、数百Ｐａ〜１ＭＰａ程度の動作圧力を有する水銀ランプ、殺菌灯として利用可能な光源、冷陰極管、紫外線レーザー光源、メタルハライドランプ、発光ダイオード等が挙げられる。これらの中で、紫外線をより高照度で照射可能であって消費電力の少ない光源（例えば、発光ダイオード等）がより望ましい。また、エネルギー線は紫外線に限らず、インクの性質に応じてインクを硬化させる性質を有するエネルギー線であれば良く、光源もエネルギー線の波長などに応じて置換される。 As a fluorescent tube emitting ultraviolet rays, in addition to a low-pressure mercury lamp, a mercury lamp having an operating pressure of about several hundred Pa to 1 MPa, a light source usable as a germicidal lamp, a cold cathode tube, an ultraviolet laser light source, a metal halide lamp, a light emitting diode, etc. Is mentioned. Among these, a light source (for example, a light emitting diode) that can irradiate ultraviolet rays with higher illuminance and consumes less power is more desirable. The energy rays are not limited to ultraviolet rays, but may be any energy rays having a property of curing the ink according to the properties of the ink, and the light source is replaced according to the wavelength of the energy rays.
インク供給部４００は、インクタンク４１０、ポンプ４２０、インクチューブ４３０、サブタンク４４０、インクチューブ４５０、ヒーター４６０等を有している。インク供給部４００は、インクを貯留して、当該インクを画像形成部３００のラインヘッド３１０に供給し、各色のインクをラインヘッド３１０の各ノズルから吐出可能とする。インクタンク４１０内のインクは、ポンプ４２０により、インクチューブ４３０を介してインクジェットヘッド１００のインクの背圧を調整するサブタンク４４０に送られる。サブタンク４４０には、フロートセンサー４４０ａが設けられ、フロートセンサー４４０ａによる液面位置の検出データに基づいて制御部５００がポンプ４２０を動作させることにより所定量のインクが貯留されるようになっている。サブタンク４４０内のインクは、インクチューブ４５０を介してインクジェットヘッド１００に供給される。なお、本例では、インクタンク４１０、ポンプ４２０、インクチューブ４３０、サブタンク４４０、インクチューブ４５０、ヒーター４６０を備える構成を例示したが、これに限定されず、インクジェットヘッド１００にインクが供給される構成であれば種々の構成を適用することができる。
The
また、図１に示す例では、ヒーター４６０は、インク供給部４００の全てを覆うように設けられているが、インク供給部４００を構成する部材のうちいずれかに個別に設けられているものとしても良い。これにより、インク供給部４００内のインクが加熱及び保温されて、インクの温度が所定温度以上に保たれるように構成されている。ヒーター４６０としては、例えば、電熱線や伝熱部材によって構成され、インク供給部４００を構成する各部材を覆ったり、インク供給部４００を構成する部材の外面に貼り付けられたりして設けられている。
In the example shown in FIG. 1, the
本実施形態のインクジェット記録装置１０００に用いられるインクは、特に限られないが、例えば、後述する実施例１〜７の評価のように、粒子を含みミストが舞いやすいインクを用いる場合に効果が高い。
The ink used in the ink
制御部５００は、インクジェット記録装置１０００の各部の動作を制御し、全体の動作を統括する。制御部５００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を備える。制御部５００では、ＲＯＭに記憶されているシステムプログラム等の各種処理プログラムが読み出されてＲＡＭに展開され、ＲＡＭに展開されたプログラムがＣＰＵによって実行されることにより、例えば、画像形成処理や上記したインク供給処理等の種々の制御処理が実行される。
The
図２は、インクジェットヘッド１００の概略斜視図である。インクジェットヘッド１００は、アクチュエーター１と、筐体２と、天板３と、接着剤層４、５と、を備える。
FIG. 2 is a schematic perspective view of the
アクチュエーター１の前面（インクの吐出側面（前面１ａ））には、インクを吐出するための多数のノズル１１ａを配列したノズル基板１１が接着されている。
A
ノズル基板１１としては、ＰＥＴ等のポリアルキレンテレフタレート、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、酢酸セルロース等のプラスチックス、シリコン、及び金属としてはＳＵＳやＮｉを用いることができる。なお、ノズル基板にはインクを吐出する際に発生するミストが付着するため、ステンレス板（例えば、ＳＵＳ３１６など）を用いることにより耐インク性を向上させることができる。
As the
図３は、図２の切断面Ｓで切断したときのアクチュエーター１の断面図である。アクチュエーター１は、各ノズル１１ａに対応する多数のチャネルを並列した長尺状の圧電性セラミック基板からなり、インクに与える圧力変化を発生させる部材である。なお、以下においても説明される本実施態様におけるアクチュエーター１に限定されないことはもちろん、ベンドモードヘッドやインクを加熱して気泡を発生させることによってインクを吐出する方法等、吐出方法によって限定されず、種々の吐出方法において適用することができる。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the
各チャネル１２は、ダイヤモンドブレード等により直線状の細長い溝形状に切削されて、削り残した圧電性セラミックが隣接するチャネル１２、１２との間の隔壁１３を構成している。各チャネル１２の深さは、図２において右にいくにつれて徐々に浅くなって、ついには消滅する。チャネル１２の内面の一部には金属電極（図示せず）が形成されている。
Each
また、各チャネル１２の上から非圧電性セラミック基板等からなるカバー基板１４が接着されている。カバー基板１４には、各チャネル１２の浅溝部分に対応する位置に、全チャネル１２に亘る開口１４ａが形成されており、この開口１４ａを覆うようにマニホールド１５が設けられ、このマニホールド１５の内側と各チャネル１２の浅溝部分との間に、各チャネル１２にインクを分配するための共通インク室１６が形成されている。
Further, a
非圧電性セラミック基板としては、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英、非分極のＰＺＴの少なくとも１つから選ばれることが好ましく、隔壁１３をせん断変形させても分極した圧電性セラミックを確実に支持することができる。
The non-piezoelectric ceramic substrate is preferably selected from at least one of alumina, aluminum nitride, zirconia, silicon, silicon nitride, silicon carbide, quartz, and non-polarized PZT, and polarized even when the
圧電性セラミックとして、ＰＺＴ、ＰＬＺＴ等のセラミックで、主にＰｂＯｘ、ＺｒＯｘ、ＴｉＯｘの混合微結晶体に、ソフト化剤又はハード化剤として知られる微量の金属酸化物、例えばＮｂ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｌａ、Ｃｒ等の酸化物を含むものが好ましい。 As a piezoelectric ceramic, a ceramic such as PZT, PLZT, etc., mainly a mixed microcrystal of PbOx, ZrOx, TiOx, a trace amount of metal oxide known as a softening agent or a hardening agent, such as Nb, Zn, Mg, Those containing oxides such as Sn, Ni, La, and Cr are preferable.
ＰＺＴは、チタン酸ジルコン酸鉛であり、充填密度が大きく、圧電性定数が大きく、加工性が良いので好ましい。ＰＺＴは、焼成後、温度を下げると、急に結晶構造が変化して、原子がズレ、片側がプラス、反対側がマイナスという双極子の形の、細かい結晶の集まりになる。こうした自発分極は方向がランダムで、極性を互いに打ち消しあっているので、更に分極処理が必要となる。 PZT is lead zirconate titanate, which is preferable because it has a high packing density, a large piezoelectric constant, and good workability. When the temperature is lowered after firing, the crystal structure suddenly changes, and PZT becomes a collection of fine crystals in the form of dipoles in which atoms are displaced, one side is positive, and the other side is negative. These spontaneous polarizations are random in direction and cancel each other's polarity, so further polarization processing is required.
分極処理は、ＰＺＴの薄板を電極で挟み、シリコン油中に漬けて、１０〜３５ｋＶ／ｃｍ程度の高電界を掛けて、分極する。分極したＰＺＴに分極方向に直角に電圧を掛けると、側壁が圧電滑り効果により、斜め方向に、くの字形に、せん断変形して、インク室の容積が膨張する。 In the polarization treatment, a thin plate of PZT is sandwiched between electrodes, immersed in silicon oil, and polarized by applying a high electric field of about 10 to 35 kV / cm. When a voltage is applied to the polarized PZT at a right angle to the polarization direction, the side wall is sheared and deformed in a diagonal shape in a diagonal direction by the piezoelectric sliding effect, and the volume of the ink chamber expands.
金属電極の材料としては、金、銀、アルミニウム、パラジウム、ニッケル、タンタル、チタンを用いることができ、特に、電気的特性、加工性の点から、金、アルミニウムが良く、メッキ、蒸着、スパッタで形成される。各金属電極は、各チャネル１２の内部から、浅溝部分を通ってアクチュエーター１の後方（図３の右端）側の上面まで引き出され、図示しない信号線によって駆動回路と電気的に接続される。
Gold, silver, aluminum, palladium, nickel, tantalum, and titanium can be used as the material of the metal electrode, and gold and aluminum are particularly preferable from the viewpoint of electrical characteristics and workability. It is formed. Each metal electrode is drawn from the inside of each
アクチュエーター１は、駆動回路から与えられる駆動電圧が各チャネル１２内の金属電極に印加されると、隔壁１３がせん断変形することでチャネル１２の圧力変化が発生し、応力を受けたチャネル１２内のインクがノズル１１ａから吐出する。ノズル１１ａから吐出したインクはチャネル１２の長手方向に向かって飛翔して紙などの記録材に着弾する。
When the driving voltage applied from the driving circuit is applied to the metal electrode in each
天板３は、例えば、アクリル、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、変性ＰＰＥ、アルミニウム、ステンレス等を用いることができるが、天板３には、インクがノズルから吐出される際に発生するミストが付着するので、耐インク性の観点からステンレス板（例えば、ＳＵＳ３１６など）が用いられることがより好ましい。
天板３は、ノズル基板１１を取り囲むように配置され、ノズル基板１１の周囲を保護する。インクジェットヘッド１００にはノズル基板１１の周囲に天板３によって平板状のスペースが形成される。天板３の略中央部には、アクチュエーター１のノズル面とほぼ同形状の開口部ｂが設けられ、アクチュエーター１を開口部ｂにはめ込むことで、ノズル基板１１を開口部ｂから臨ませるように配置されている。
天板３とアクチュエーター１との間は、接着剤層５により封止されている。
For example, acrylic, polycarbonate, polyetherimide, modified PPE, aluminum, stainless steel, or the like can be used for the top 3. However, mist generated when ink is ejected from the nozzles adheres to the top 3. Therefore, it is more preferable to use a stainless steel plate (for example, SUS316) from the viewpoint of ink resistance.
The
The
接着剤層４は、天板３の側面より外側に盛り上がっていることが好ましい。これにより、インクが天板３の裏面まで浸透することを更に抑制することが出来る。接着剤層４，５の接着剤は、例えば、エポキシ化合物と硬化剤と組み合わせたものが用いられる。
The
なお、吸引キャップを用いてアクチュエーター１のノズル１１ａから強制的にインクを吸引するノズルの回復動作時に、天板３が記録媒体と対抗する面（前面３ａ）をキャップ受け面とし、インクを吸引するための吸引キャップ（図示略）と密着させることによりノズル基板を損傷させることなく、インクを吸引することできる。また、吸引キャップ内部の負圧を保つ機能を有するようにすると、インク吸引をより効率的に行う観点で好ましい。
In the recovery operation of the nozzle that forcibly sucks ink from the
なお、ノズル基板と天板の少なくとも一部には親インク領域を有する。親インク領域は、（拡張収縮法で測定した）当該領域に対する水の後退接触角を６０°以下とした領域である。ここで、「後退接触角」というのは、水を基材に一度付着させた後、再度水で濡らされた該基材表面の上に作られる接触角である。上述した親インク領域は例えば、真空プラズマ処理等の親インク処理により形成することができ、より具体的にはドライエッチング等を用いることができる。真空プラズマ処理は、真空チャンバー中にインクジェットヘッドチップ、インクジェットヘッド等を置き、Ａｒ、Ｎ２及びＯ２から選ばれる少なくとも１つまたはそれらの混合ガスを注入し、外部からの電磁界で、プラズマ状態にする処理であり、表面のエッチング性を高めるために、ＣＦ４等のフッ素系炭化水素ガスを用いても良い。本実施の形態のインクジェットにおいては、ガスにＯ２が含まれることが好ましい。 Note that at least a part of the nozzle substrate and the top plate has a parent ink region. The parent ink region is a region in which the receding contact angle of water with respect to the region (measured by the expansion / contraction method) is 60 ° or less. Here, the “retracted contact angle” is a contact angle created on the surface of the substrate that has been once wetted with water after the water has once adhered to the substrate. The above-described parent ink region can be formed by, for example, a parent ink process such as a vacuum plasma process, and more specifically, dry etching or the like can be used. In the vacuum plasma treatment, an inkjet head chip, an inkjet head, etc. are placed in a vacuum chamber, and at least one selected from Ar, N 2 and O 2 or a mixed gas thereof is injected, and an external electromagnetic field causes a plasma state. In order to improve the surface etching property, a fluorine-based hydrocarbon gas such as CF 4 may be used. In the ink jet of the present embodiment, it is preferable that O 2 is contained in the gas.
このインクジェットヘッド１００を搭載したインクジェット記録装置１０００では、高い周波数でインクを連続吐出しても、連続吐出中に発生したミストが、液だまりとなって付着せずに親インク処理されたノズル基板の全面及び天板の一部で薄い膜となり、吐出安定化を実現できる。また、連続吐出中に発生したミストによって形成された液だまりを薄い膜として天板からノズル基板に流れこませる観点から、天板のノズルからインクを吐出させる方向側に位置する面のうち、ノズル基板に隣接する領域を上述した天板の一部として親インク領域とすることがより好ましい。
本発明者は、上述した吐出安定化を実現できる理由を以下の通り考えている。
高い周波数でインクを連続吐出することにより発生するミストがノズル面に付着しても、親インク処理、すなわち後退接触角を６０°以下としたノズル基板の全面及び天板の一部を親インク領域とすることにより、上述したミストが濡れ広がって大きな液だまりとなることなく、薄い膜を形成する。特に天板に付着したミストが成長して形成された大きな液だまりが、ノズル基板に達することによりノズルに戻るインク量が不安定化することがなく、大きな液だまりと比較して薄い膜となったインクが少量ずつ徐々にノズルに流れ込むため、ノズルを塞ぐことがなく、吐出安定化を実現できると考えている。なお、より薄い膜を形成し、インクを少量ずつノズルに流れ込むようにしてより吐出安定化させる観点から親インク領域の後退接触角を３０°以下とすることがより好ましい。
In the ink
The inventor considers the reason why the above-described ejection stabilization can be realized as follows.
Even if mist generated by continuously ejecting ink at a high frequency adheres to the nozzle surface, the parent ink treatment, that is, the entire surface of the nozzle substrate with a receding contact angle of 60 ° or less and a part of the top plate are treated as the parent ink region Thus, a thin film is formed without the above-described mist getting wet and spreading to form a large liquid pool. In particular, the large liquid pool formed by the growth of mist attached to the top plate does not destabilize the amount of ink returning to the nozzle when it reaches the nozzle substrate, making it a thin film compared to the large liquid pool. Since the ink gradually flows into the nozzle little by little, it is considered that the ejection can be stabilized without blocking the nozzle. It is more preferable to set the receding contact angle of the parent ink region to 30 ° or less from the viewpoint of forming a thinner film and allowing the ink to flow into the nozzles little by little to stabilize the ejection.
インクは色材を含有する。色材は、染料又は顔料でありうるが、インクの構成成分に対して良好な分散性を有し、かつ耐候性に優れることから、顔料が好ましい。顔料は、特に限定されないが、例えばカラーインデックスに記載される下記番号の有機顔料又は無機顔料を用いることができる。
顔料としては、例えばカーボンブラック、酸化チタン、炭酸カルシウム等の無機顔料又は有機顔料を使用することができる。有機顔料としては、例えばトルイジンレッド、トルイジンマルーン、ハンザイエロー、ベンジジンイエロー、ピラゾロンレッドなどの不溶性アゾ顔料、リトールレッド、ヘリオボルドー、ピグメントスカーレット、パーマネントレッド２Ｂ等の溶性アゾ顔料；アリザリン、インダントロン、チオインジゴマルーン等の建染染料からの誘導体；フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン等のフタロシアニン系有機顔料；キナクリドンレッド、キナクリドンマゼンタ等のキナクリドン系有機顔料；ペリレンレッド、ペリレンスカーレット等のペリレン系有機顔料；イソインドリノンイエロー、イソインドリノンオレンジ等のイソインドリノン系有機顔料；ピランスロンレッド、ピランスロンオレンジ等のピランスロン系有機顔料；チオインジゴ系有機顔料、縮合アゾ系有機顔料、ベンズイミダゾロン系有機顔料、キノフタロンイエロー等のキノフタロン系有機顔料；イソインドリンイエローなどのイソインドリン系有機顔料；その他の顔料として、フラバンスロンイエロー、アシルアミドイエロー、ニッケルアゾイエロー、銅アゾメチンイエロー、ペリノンオレンジ、アンスロンオレンジ、ジアンスラキノニルレッド、ジオキサジンバイオレット等が挙げられる。
The ink contains a color material. The coloring material can be a dye or a pigment, but is preferably a pigment because it has good dispersibility with respect to the components of the ink and is excellent in weather resistance. Although a pigment is not specifically limited, For example, the organic pigment or inorganic pigment of the following number described in a color index can be used.
As the pigment, for example, inorganic pigments or organic pigments such as carbon black, titanium oxide, and calcium carbonate can be used. Examples of the organic pigment include insoluble azo pigments such as toluidine red, toluidine maroon, Hansa yellow, benzidine yellow, and pyrazolone red, soluble azo pigments such as lithol red, heliobordeaux, pigment scarlet, and permanent red 2B; alizarin, indanthrone, Derivatives from vat dyes such as thioindigo maroon; Phthalocyanine organic pigments such as phthalocyanine blue and phthalocyanine green; Quinacridone organic pigments such as quinacridone red and quinacridone magenta; Perylene organic pigments such as perylene red and perylene scarlet; Isoindolinone-based organic pigments such as linone yellow and isoindolinone orange; Pyranthrone-based organic pigments such as pyranthrone red and pyranthrone orange; Organic organic pigments, condensed azo organic pigments, benzimidazolone organic pigments, quinophthalone organic pigments such as quinophthalone yellow; isoindoline organic pigments such as isoindoline yellow; other pigments such as flavanthron yellow and acylamide yellow Nickel azo yellow, copper azomethine yellow, perinone orange, anthrone orange, dianthraquinonyl red, dioxazine violet and the like.
有機顔料をカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号で以下に例示する。 Organic pigments are exemplified below by color index (CI) numbers.
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、１３、１４、１７、２０、２４、７４、８３、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１２０、１２５、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５３、１５４、１５５、１６６、１６８、１８０、１８５、
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１６、３６、４３、５１、５５、５９、６１、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、４８、４９、５２、５３、５７、９７、１２２、１２３、１４９、１６８、１７７、１８０、１９２、２０２、２０６、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２３８、２４０、
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、２３、２９、３０、３７、４０、５０、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：１、１５：３、１５：４、１５：６、２２、６０、６４、
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５、２６、
C. I. Pigment Yellow 12, 13, 14, 17, 20, 24, 74, 83, 86, 93, 109, 110, 117, 120, 125, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 153, 154, 155, 166, 168, 180, 185,
C. I.
C. I.
C. I. Pigment violet 19, 23, 29, 30, 37, 40, 50,
C. I.
C. I. Pigment Green 7, 36,
C. I. Pigment brown 23, 25, 26,
上記顔料の中でも、キナクリドン系、フタロシアニン系、ベンズイミダゾロン系、イソ
インドリノン系、縮合アゾ系、キノフタロン系、イソインドリン系有機顔料等は耐光性が
優れているため好ましい。
Among the above pigments, quinacridone-based, phthalocyanine-based, benzimidazolone-based, isoindolinone-based, condensed azo-based, quinophthalone-based, and isoindoline-based organic pigments are preferable because of their excellent light resistance.
有機顔料は、レーザ散乱による測定値でインク中の平均粒径が１０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であることが好ましい。顔料の平均粒径が１０ｎｍ未満の場合は、粒径が小さくなることによる耐光性の低下が生じることがある。１５０ｎｍを超える場合はサテライトと言われる微小のミストが発生しやすく、ミストが付着することによって液だまりが生じ、該液だまりによる吐出不良が生じやすい。本発明では、上述したインクも好適に使用することができる。例えばインクに酸化チタンを含有させる場合は白色度と隠蔽性を持たせるために平均粒径を１５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下、好ましくは１８０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下として画像形成を行うため、本発明を好適に使用することができる。 The organic pigment preferably has an average particle size in the ink of 10 nm or more and 150 nm or less as measured by laser scattering. When the average particle size of the pigment is less than 10 nm, a decrease in light resistance may occur due to a decrease in the particle size. When the thickness exceeds 150 nm, a minute mist called a satellite is likely to be generated, and due to the mist adhering, a liquid puddle is generated, and discharge failure due to the liquid puddle is likely to occur. In the present invention, the ink described above can also be used preferably. For example, when titanium oxide is contained in the ink, in order to provide whiteness and concealability, the image formation is performed with an average particle size of 150 nm to 300 nm, preferably 180 nm to 250 nm, and therefore the present invention is preferably used. Can do.
またインクジェットインク中の顔料の最大粒径は、３．０μｍを越えないよう、十分に分散あるいは、ろ過により粗大粒子を除くことが好ましい。 Further, it is preferable to remove coarse particles by sufficiently dispersing or filtering so that the maximum particle diameter of the pigment in the inkjet ink does not exceed 3.0 μm.
（実施例１）
図４を参照して、本実施の形態のインクジェットヘッド１００の一実施例としての実施例１のインクジェットヘッド１００Ａを説明する。図４は、インクジェットヘッド１００Ａの断面図である。
Example 1
With reference to FIG. 4, an
図４に示すように、インクジェットヘッド１００Ａは、ノズル基板１１Ａと、天板３Ａと、を有する。図４は、ノズル基板１１Ａのノズル１１ａを通るＸＹ平面の断面図である。
As shown in FIG. 4, the
本実施例では、ノズル基板１１Ａのインク吐出方向側の面の全面及び天板の全面に親インク領域１ｃＡ，３ｃＡを有し、ノズル基板１１Ａは、天板３ＡからＸ方向に少し突出している。ノズル基板１１Ａ及び天板３Ａのインク吐出方向側（＋Ｘ側）の面を、図４上の複数の矢印で表されるように、真空プラズマ処理として、ドライエッチングを行うことにより、親インク領域１ｃＡ，３ｃＡが形成される。
なお、本実施例ではドライエッチングを行うこととしたが、これに限定されず親インク処理（後退接触角が６０°以下）できる種々の方法を用いることができる。
ここで、前面とは、＋Ｘ側から見た面であり、最前面とは、Ｘ軸の値が最も高い位置にある前面とし、以下の説明でも同様である。
In the present embodiment, the ink-jetting direction side surface of the
In this embodiment, dry etching is performed. However, the present invention is not limited to this, and various methods capable of performing ink-philic treatment (with a receding contact angle of 60 ° or less) can be used.
Here, the front surface is a surface viewed from the + X side, and the front surface is the front surface at the position where the value of the X axis is the highest, and the same applies to the following description.
ここで、インクジェットヘッド１００Ａの製造方法を説明する。先ず、インクジェットヘッド１００Ａの各部材の組立前に、ノズル基板１１Ａには、前面に保護フィルムが貼られ、後面からレーザー光が照射されて、ノズル１１ａが形成される。保護フィルムは、レーザー光照射時に、ノズル基板１１Ａのノズル１１ａの前面側の形状がいびつな不適切な形状になることを防ぐためのものである。なお、上述した保護フィルムを剥がす際に、保護フィルムを貼る前にあらかじめ撥インク層が形成されていると、ノズル基板１１Ａの保護フィルムの糊残りを低減できるので好ましい態様である。ノズル基板１１Ａの保護フィルムの糊残りを低減することによって製造後の液滴の着弾精度（真直度）向上や射出角度分布不良低減の観点で好ましい。
Here, a manufacturing method of the
なお、ノズル１１ａ形成後、保護フィルムは剥がされるが、保護フィルムを貼った状態で後の工程流動させることとしてもよい。このとき、保護フィルムでノズルを保護できる。ノズル１１ａ形成後、保護フィルムには穴が開いており、この穴から接着剤や埃等の異物が入るおそれがあるため、穴のない保護フィルムを新たにノズル基板１１Ａに貼ることとしてもよい。
In addition, although a protective film is peeled off after
そして、ノズル基板１１Ａ、天板３Ａ、筐体２等が接合されて組み立てられる。このとき、接着剤の使用により、接着剤層４，５が形成される。そして、ノズル基板１１Ａ及び天板３Ａのインク吐出側の面に、真空プラズマ処理として、ドライエッチングにより、親インク処理され、親インク領域１ｃＡ，３ｃＡが形成される。親インク領域１ｃＡ，３ｃＡの後退接触角は、６０°以下にされている。
Then, the
ドライエッチングの際には、インクジェットヘッド１００Ａの筐体２、電装系等を含む本体部を覆う金属製の保護材をインクジェットヘッド１００Ａに取り付けて、ドライエッチングを行うのが好ましい。完成後のインクジェットヘッド１００Ａは、検査液等を使った検査が行われる。インクジェットヘッド１００Ａは、この検査により用いられた検査液がアクチュエーター１、ノズル基板１１Ａのノズル１１ａの流路やノズル穴全体に残るおそれがあるが、この検査液を乾かすことによりドライアップされる。なお、ドライアップされたインクジェットヘッド１００Ａをインクジェット記録装置１０００に搭載して使用することもできるが、さらに吐出安定性を向上させる観点で、インクジェット記録装置１０００に搭載して記録動作を行う前に、使用するインクでインクジェットヘッド１００Ａの流路及びノズル面を濡らしておくことが好ましい。また、前述した濡らすインクは使用するインクに限られず、例えば顔料や染料を除いたダミーインクを用いても良い。
At the time of dry etching, it is preferable to perform dry etching by attaching a metal protective material covering the main body including the
（実施例２）
図５を参照して、本実施の形態のインクジェットヘッド１００の一実施例としての実施例２のインクジェットヘッド１００Ｂを説明する。図５は、インクジェットヘッド１００Ｂの断面図である。なお、実施例１と同じ部材には、同じ符号を付してその説明を省略する。
(Example 2)
With reference to FIG. 5, an
図５に示すように、インクジェットヘッド１００Ｂは、ノズル基板１１Ａと、天板３Ｂと、を有する。図５は、ノズル基板１１Ａのノズル１１ａを通るＸＹ平面の断面図である。
As shown in FIG. 5, the
インクジェットヘッド１００Ｂは、実施例１と同様にノズル基板１１Ａのインク吐出側の面の全面及び天板３Ｂの全面に親インク領域１ｃＡ，３ｃＢを有しているが、実施例２では天板３Ｂが、ノズル基板１１ＡからＹ方向、Ｚ方向（ＸＹ平面に垂直な方向）に離れるにつれて２段階にＸ方向の高さが変化する凹構造のリセス構造部である凹部３Ｂ１を有する。凹部３Ｂ１のＸ方向の高さは、天板３Ｂの最前面の高さの半分の高さである。また、凹部３Ｂ１は、Ｙ方向において、天板３Ｂの長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／２の長さの領域に形成されている。また、凹部３Ｂ１は、Ｚ方向において、天板３Ｂの長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／２の長さの領域に形成されている。凹部３Ｂ１は、＋Ｘ方向から見て、ノズル基板１１Ａの周囲に帯状に形成されている。凹部３Ｂ１の前面は、ノズル基板１１Ａの前面よりもＸ方向の高さが低い。天板３Ｂの最前面（凸部の前面）は、ノズル基板１１Ａの前面よりもＸ方向の高さが高い。なお、この凹部３Ｂ１の位置、形状は、一例であって、この例に限定されるものではない。例えば、天板３Ｂの最前面は、ノズル基板１１Ａの前面とＸ方向の高さが等しい構成としてもよい。また、凹部３Ｂ１の前面のＸ方向の高さが、ノズル基板１１Ａの前面の高さ以上である構成としてもよい。
The
（実施例３）
図６を参照して、本実施の形態のインクジェットヘッド１００の一実施例としての実施例３のインクジェットヘッド１００Ｃを説明する。図６は、インクジェットヘッド１００Ｃの断面図である。なお、実施例１と同じ部材には、同じ符号を付してその説明を省略する。
(Example 3)
With reference to FIG. 6, the
図６に示すように、インクジェットヘッド１００Ｃは、ノズル基板１１Ａと、天板３Ｃと、を有する。図６は、ノズル基板１１Ａのノズル１１ａを通るＸＹ平面の断面図である。
As shown in FIG. 6, the
天板３Ｃは、実施例１の天板３Ａと同様の形状を有しているが、前面の全面が親インク処理されておらず、天板３Ｃの前面の一部、より具体的には天板３Ｃの前面のうち、ノズル基板１１Ａに隣接する領域を親インク領域３ｃＣとする。本実施例においては、親インク領域３ｃＣは、Ｙ方向において、天板３Ｃの長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／３の長さの領域に形成されている。また、親インク領域３ｃＣは、Ｚ方向において、天板３Ｃの長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／３の長さの領域に形成されている。なお、この親インク領域３ｃＣの位置、形状は、一例であって、この例に限定されるものではない。
The
インクジェットヘッド１００Ｃの製造方法は、インクジェットヘッド１００Ｃの組立までは、実施例１のインクジェットヘッド１００Ａの製造方法と同様である。組み立てたインクジェットヘッド１００Ｃには、金属等の保護材２１が天板３Ｃ上に設けられ、真空プラズマ処理として、ドライエッチングを行うことにより、親インク処理され、親インク領域１ｃＡ，３ｃＣが形成される。親インク領域３ｃＣは、＋Ｘ側から見て、ノズル基板１１Ａの周囲に帯状に形成されている。保護材２１は、除去される。
The manufacturing method of the
（実施例４）
図７を参照して、本実施の形態のインクジェットヘッド１００の一実施例としての実施例４のインクジェットヘッド１００Ｄを説明する。図７は、インクジェットヘッド１００Ｄの断面図である。なお、実施例１と同じ部材には、同じ符号を付してその説明を省略する。
Example 4
With reference to FIG. 7, an
図７に示すように、インクジェットヘッド１００Ｄは、ノズル基板１１Ａと、天板３Ｄと、を有する。図７は、ノズル基板１１Ａのノズル１１ａを通るＸＹ平面の断面図である。
As shown in FIG. 7, the
天板３Ｄは、実施例２の凹部３Ｂ１と同様の位置、形状の凹部３Ｄ１を有する。但し、天板３Ｄは、前面の全面が親インク処理されておらず、一部のみが親インク処理されて、天板３Ｄの凹部３Ｄ１の前面の一部に、親インク領域３ｃＤが形成されている。また、親インク領域３ｃＤは、Ｙ方向において、凹部３Ｄ１の長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／３の長さの領域に形成されている。また、親インク領域３ｃＤは、Ｚ方向において、凹部３Ｄ１の長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／３の長さの領域に形成されている。なお、この凹部３Ｄ１、親インク領域３ｃＤの位置、形状は、一例であって、この例に限定されるものではない。
The
インクジェットヘッド１００Ｄの製造方法は、インクジェットヘッド１００Ｄの組立までは、実施例１のインクジェットヘッド１００Ａの製造方法と同様である。組み立てたインクジェットヘッド１００Ｄには、保護材２１が天板３Ｄ上に設けられ、真空プラズマ処理として、ドライエッチングを行うことにより、親インク処理され、親インク領域１ｃＡ，３ｃＤが形成される。親インク領域３ｃＤは、＋Ｘ側から見て、ノズル基板１１Ａの周辺に帯状に形成されている。保護材２１は、除去される。
The manufacturing method of the
（実施例５）
図８を参照して、本実施の形態のインクジェットヘッド１００の一実施例としての実施例５のインクジェットヘッド１００Ｅを説明する。図８は、インクジェットヘッド１００Ｅの断面図である。なお、実施例１と同じ部材には、同じ符号を付してその説明を省略する。
(Example 5)
With reference to FIG. 8, the
図８に示すように、インクジェットヘッド１００Ｅは、ノズル基板１１Ａと、天板３Ｅと、を有する。図８は、ノズル基板１１Ａのノズル１１ａを通るＸＹ平面の断面図である。
As shown in FIG. 8, the
天板３Ｅは、実施例２の天板３Ｂとは異なるテーパー状のリセス構造であるテーパー部３Ｅ１を有する。本実施例では、ノズル基板１１Ａがテーパー部３Ｅ１の前面の一番低い部分と比較してＸ方向において高い位置に配置されているため、テーパー部３Ｅ１の前面の一番低い部分とアクチュエーター１の側壁が接している。テーパー部３Ｅ１は、最前面の外周（テーパー部３Ｅ１におけるノズル基板１１Ａと逆側の最前部分）からノズル基板１１Ａを中に位置する開口部ｂの側壁（アクチュエーター１、ノズル基板１１Ａの側壁）にかけてなだらかに連続している。なお、テーパー部３Ｅ１は、アクチュエーター１の側壁に接しているものとするが、これに限定されるものではなく、テーパー部３Ｅ１がノズル基板１１Ａの側壁に接しているものとしてもよい。また、親インク領域をノズル基板１１Ａ又はアクチュエーター１の側壁にも設けておくことにより、より付着したインクをノズル基板１１Ａに流れ込ませやすくする観点でより好ましい。テーパー部３Ｅ１は、前面から見て、ノズル基板１１Ａの周辺に帯状に形成されている。テーパー部３Ｅ１の前面の一番低い部分は、ノズル基板１１Ａの前面よりもＸ方向の高さが低い。天板３Ｅの高い部分の前面（テーパー部３Ｅ１の前面の一番高い部分に接する平面）は、ノズル基板１１Ａの前面よりもＸ方向の高さが高い。天板３Ｅは、前面の全面が親インク処理されておらず、前面の一部のみが親インク処理されて、天板３Ｅのテーパー部３Ｅ１の前面の一部、より具体的には、天板３Ｅのテーパー部３Ｅ１のうち、ノズル基板１１Ａに隣接する領域に親インク処理された親インク領域３ｃＥが形成されている。テーパー部３Ｅ１は、Ｙ方向において、天板３Ｅの長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／２の長さの領域に形成されている。また、テーパー部３Ｅ１は、Ｚ方向において、天板３Ｅの長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／２の長さの領域に形成されている。親インク領域３ｃＥは、Ｙ方向において、テーパー部３Ｅ１の長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／２の長さの領域に形成されている。また、親インク領域３ｃＥは、Ｚ方向において、テーパー部３Ｅ１の長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／２の長さの領域に形成されている。なお、このテーパー部３Ｅ１、親インク領域３ｃＥの位置、形状は、一例であって、この例に限定されるものではない。例えば、テーパー部３Ｅ１の前面の一番低い部分のＸ方向の高さは、ノズル基板１１Ａの前面の高さ以上とし、ノズル基板１１Ａ又はアクチュエーター１の側壁を介さずにノズル基板１１Ａの前面に付着したミストを直接流れ込ませる構成としても良い。
The
インクジェットヘッド１００Ｅの製造方法は、インクジェットヘッド１００Ｅの組立までは、実施例１のインクジェットヘッド１００Ａの製造方法と同様である。組み立てたインクジェットヘッド１００Ｅには、矩形の穴部を有する保護材２１が天板３Ｅ上に設けられ、真空プラズマ処理として、ドライエッチングを行うことにより、親インク領域１ｃＡ，３ｃＥが形成される。親インク領域３ｃＥは、＋Ｘ側から見て、ノズル基板１１Ａの周囲に帯状に形成されている。保護材２１は、除去される。
The manufacturing method of the
（実施例６）
図９を参照して、本実施の形態のインクジェットヘッド１００の一実施例としての実施例６のインクジェットヘッド１００Ｆを説明する。図９は、インクジェットヘッド１００Ｆの断面図である。なお、実施例１と同じ部材には、同じ符号を付してその説明を省略する。
(Example 6)
With reference to FIG. 9, the
図９に示すように、インクジェットヘッド１００Ｆは、ノズル基板１１Ａと、天板３Ｆと、を有する。図９は、ノズル基板１１Ａのノズル１１ａを通るＸＹ平面の断面図である。
As shown in FIG. 9, the
天板３Ｆは、実施例５のテーパー部３Ｅ１と同様の位置、形状のテーパー部３Ｆ１を有する。天板３Ｆは、前面の全面が親インク処理されておらず、テーパー部３Ｆ１の前面の全面のみが親インク処理されて、天板３Ｆのテーパー部３Ｆ１の前面の全面に、親インク処理された親インク領域３ｃＦが形成されている。なお、このテーパー部３Ｆ１、親インク領域３ｃＦの位置、形状は、一例であって、この例に限定されるものではない。
The
インクジェットヘッド１００Ｆの製造方法は、インクジェットヘッド１００Ｆの組立までは、実施例１のインクジェットヘッド１００Ａの製造方法と同様である。組み立てたインクジェットヘッド１００Ｆには、保護材２１よりも大きな矩形の穴部を有する保護材２２が天板３Ｆ上に設けられ、真空プラズマ処理として、ドライエッチングにより、ノズル基板１１Ａの前面の全面と天板３Ｆの前面の一部とが親インク化された親インク領域１ｃＡ，３ｃＦを有する。親インク領域３ｃＦは、＋Ｘ側から見て、ノズル基板１１Ａの周囲に帯状に形成されている。保護材２２は、除去される。
The manufacturing method of the
（実施例７）
図１０を参照して、本実施の形態のインクジェットヘッド１００の一実施例としての実施例７のインクジェットヘッド１００Ｇを説明する。図１０（ａ）〜図１０（ｄ）は、インクジェットヘッド１００Ｆの親インク処理の各工程の断面図である。なお、実施例１と同じ部材には、同じ符号を付してその説明を省略する。
(Example 7)
With reference to FIG. 10, an
図１０（ａ）に示すように、インクジェットヘッド１００Ｇは、ノズル基板１１Ａと、天板３Ｇと、を有する。図１０（ａ）〜図１０（ｄ）は、ノズル基板１１Ａのノズル１１ａを通るＸＹ平面の断面図である。
As shown in FIG. 10A, the
天板３Ｇは、実施例５のテーパー部３Ｅ１と同様の位置、形状のテーパー部３Ｇ１を有する。なお、このテーパー部３Ｇ１の位置、形状は、一例であって、この例に限定されるものではない。
The
インクジェットヘッド１００Ｇの製造方法は、インクジェットヘッド１００Ｇの組立までは、実施例１のインクジェットヘッド１００Ａの製造方法と同様である。図１０（ａ）に示すように、組み立てたインクジェットヘッド１００Ｇには、矩形の穴部を有する保護材３１が天板３Ｇ上に設けられ、真空プラズマ処理として、所定時間のドライエッチングを行うことにより、ノズル基板１１Ａの前面の全面が親インク処理され、親インク領域１ｃＡを有する。保護材３１は、除去される。
The manufacturing method of the
次いで、図１０（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド１００Ｇには、保護材３１よりも大きな矩形の穴部を有する保護材３２が天板３Ｇ上に設けられ、真空プラズマ処理として、所定時間のドライエッチングを行うことにより、親インク領域１ｃＡの全面と天板３Ｇの前面の一部とが親インク処理され、さらに親インク化された親インク領域１ｃＡと、親インク処理された親インク領域３ｃＧとが形成される。親インク領域３ｃＧは、親インク領域３ｃＧ１を含む。親インク領域３ｃＧ１は、Ｙ方向において、テーパー部３Ｇ１の長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／２の長さの領域に形成されている。また、親インク領域３ｃＧ１は、Ｚ方向において、テーパー部３Ｇ１の長さのうちノズル基板１１Ａ側の１／２の長さの領域に形成されている。保護材３２は、除去される。
Next, as shown in FIG. 10B, the
次いで、図１０（ｃ）に示すように、インクジェットヘッド１００Ｇには、保護材３２よりも大きな矩形の穴部を有する保護材３３が天板３Ｇ上に設けられ、真空プラズマ処理として、所定時間のドライエッチングを行うことにより、親インク領域１ｃＡの全面と、親インク領域３ｃＧ１の全面及び天板３Ｇの前面の一部と、が親インク処理され、さらに親インク化された親インク領域１ｃＡ，３ｃＧ１と、親インク領域３ｃＧ２とが形成される。親インク領域３ｃＧは、親インク領域３ｃＧ１，３ｃＧ２を含む。親インク領域３ｃＧ２は、Ｙ方向において、テーパー部３Ｇ１の長さのうちノズル基板１１Ａと逆側の１／２の長さの領域に形成されている。また、親インク領域３ｃＧ２は、Ｚ方向において、テーパー部３Ｇ１の長さのうちノズル基板１１Ａと逆側の１／２の長さの領域に形成されている。保護材３３は、除去される。
Next, as shown in FIG. 10C, the
次いで、図１０（ｄ）に示すように、インクジェットヘッド１００Ｇには、保護材３３よりも大きな矩形の穴部を有する保護材３４が天板３Ｇ上に設けられ、真空プラズマ処理として、所定時間のドライエッチングを行うことにより、親インク領域１ｃＡの全面と、親インク領域３ｃＧ１，３ｃＧ２の全面及び天板３Ｇの前面の一部とが親インク処理され、さらに親インク化された親インク領域１ｃＡ，３ｃＧ１，３ｃＧ２と、親インク領域３ｃＧ３とが形成される。親インク領域３ｃＧは、親インク領域３ｃＧ１，３ｃＧ２，３ｃＧ３を含む。親インク領域３ｃＧ３は、Ｙ方向において、天板３Ｇの表面の長さのうちテーパー部３Ｇ１側の親インク領域３ｃＧ１と同じ長さの領域に形成されている。また、親インク領域３ｃＧ３は、Ｚ方向において、天板３Ｇの表面の長さのうちテーパー部３Ｇ１側の親インク領域３ｃＧ１と同じ長さの領域に形成されている。このように、天板３Ｇの最前面の一部とテーパー部３Ｇ１の前面の全面とが親インク処理されている。親インク領域３ｃＧは、＋Ｘ側から見て、ノズル基板１１Ａの周囲に帯状に形成されている。天板３Ｇは、ノズル基板１１ＡからＹ方向、Ｚ方向に離れるにつれて親インク化の度合いがより低くなる（後退接触角がより大きくなる）親インク処理の４段階のグラデーション構造を有する。つまり、インクジェットヘッド１００Ｇにおいて、天板３Ｇは、インクの後退接触角が最前面の外周からノズル基板１１Ａを中に位置する開口部ｂの側壁にかけて小さくなるよう変化している。保護材３４は、除去される。なお、親インク領域３ｃＧ，３ｃＧ１，３ｃＧ２，３ｃＧ３の位置、形状は、一例であって、この例に限定されるものではない。また、親インク領域１ｃＡ，３ｃＧの親インク処理の段階数は、４段階に限定されるものではない。
Next, as shown in FIG. 10D, the
ここで、図１１を参照して、実施例１〜７及び比較例１〜３の評価を説明する。図１１は、比較例２のインクジェットヘッド１００Ｈの断面図である。
Here, with reference to FIG. 11, evaluation of Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3 is demonstrated. FIG. 11 is a cross-sectional view of the
実施例１〜７及び比較例１〜３のインクジェットヘッドの構成及び評価を次表１にまとめた。
比較例１のインクジェットヘッドは、実施例１のインクジェットヘッド１００Ａと同様の構成であるが、ノズル基板及び天板に、親インク処理が施されていない。
The ink jet head of Comparative Example 1 has the same configuration as that of the
比較例２のインクジェットヘッド１００Ｈは、実施例１のインクジェットヘッド１００Ａと同様の構成であるが、ノズル基板のノズル穴近傍のみに親インク処理が施され、天板に、親インク処理が施されていない。
The
図１１に示すように、比較例２のインクジェットヘッド１００Ｈは、ノズル基板１１Ｈと、天板３Ｈと、を有する。ノズル基板１１Ｈは、実施例１のノズル基板１１Ａと同様の形状を有し、真空プラズマ処理として、ドライエッチングを行うことにより親インク処理された親インク領域１ｃＨを有する。天板３Ｈは、実施例１の天板３Ａと同様の形状を有する。但し、インクジェットヘッド１００Ｈの製造時には、インクジェットヘッド１００Ｈの組み立て後、保護材４１が、ノズル基板１１Ｈ及び天板３Ｈ上に設けられる。
As shown in FIG. 11, the
保護材４１は、全てのノズル１１ａの前面のノズル穴の位置に直径１００μｍの穴部を有する金属製のマスクである。保護材４１は、その穴部が各ノズル１１ａのノズル穴の中心にくるようにアライメントされた後、ノズル基板１１Ｈに接触させて固定される。そして、Ｘ方向の前面から真空プラズマ処理として、ドライエッチングが施される。保護材４１は、除去される。このようにして、インクジェットヘッド１００Ｈは、ノズル基板１１Ｈのインク吐出側の面のうちノズル１１ａのノズル穴近傍の領域のみ親インク処理される。
The
比較例３のインクジェットヘッドは、実施例１のインクジェットヘッド１００Ａと同様の構成であるが、ノズル基板のインク吐出側の面のみに親インク処理が施され、天板に、親インク処理が施されていない。
The ink jet head of Comparative Example 3 has the same configuration as that of the
表１の評価における連続射出安定性とは、連続吐出３０分後の射出異常（インクの欠、曲り、速度低下）の有無の確認による評価である。連続射出安定性の評価において、吐出安定性の効果は、吐出周波数が５［ｋＨｚ］以上で兆候が出始め、１０［ｋＨｚ］以上において、顕著となった。また、吐出安定性に関し、射出液滴１滴の液量は、４２［ｐＬ］以下が適切であり、３０［ｐＬ］以下が好ましく、１５［ｐＬ］以下で、より高い効果を確認できた。 The continuous ejection stability in the evaluation of Table 1 is an evaluation by confirming the presence or absence of ejection abnormality (ink missing, bending, speed reduction) after 30 minutes of continuous ejection. In the evaluation of continuous injection stability, the effect of the discharge stability began to appear when the discharge frequency was 5 [kHz] or higher, and became noticeable when the frequency was 10 [kHz] or higher. Regarding the ejection stability, the amount of one ejected droplet is appropriately 42 [pL] or less, preferably 30 [pL] or less, and 15 [pL] or less, and a higher effect was confirmed.
また、連続射出安定性の評価において使用したインクには、ミストが舞いやすい粒子を含むインクを用いる。インクジェットヘッドに使用されるインクの粒子径の領域は、平均粒径で１［ｎｍ］〜１０［μｍ］程度である。本実施の形態のインクジェットにおいて好ましい粒子径の範囲としては、１０［ｎｍ］~３［μｍ］であり、５０［ｎｍ］〜６００［ｎｍ］がより好ましい。この範囲には、通常の有機系顔料インクと通常の無機系顔料インクとも含まれる。 In addition, as the ink used in the evaluation of the continuous ejection stability, an ink containing particles that are susceptible to mist is used. The region of the particle diameter of the ink used in the inkjet head is about 1 [nm] to 10 [μm] in terms of average particle diameter. In the inkjet of the present embodiment, a preferable particle diameter range is 10 [nm] to 3 [μm], and 50 [nm] to 600 [nm] is more preferable. This range includes ordinary organic pigment inks and ordinary inorganic pigment inks.
インクの密度としては、０．７５〜２．２［ｇ／ｃｍ３］を好ましく用いることができ、より好ましい密度としては、０．７５〜１．８［ｇ／ｃｍ３］である。この範囲には、通常の有機系顔料インク、通常の無機系顔料インク、銀インクが含まれる。 The density of the ink, can be preferably used 0.75~2.2 [g / cm 3], a more preferred density is 0.75~1.8 [g / cm 3]. This range includes ordinary organic pigment ink, ordinary inorganic pigment ink, and silver ink.
表１の連続射出安定性の評価において、吐出液滴量が平均１４［ｐＬ］の液滴を吐出可能な５１２のノズル穴を有する実施例１〜７及び比較例１〜３のインクジェットヘッドを作製し使用した。使用するインクの有機溶剤としてｎ−テトラデカン用いると共に平均粒子径２５０［ｎｍ］の顔料を５［ｗｔ％］を含有させたインクを使用した。
駆動回路からインクジェットヘッドにパルス信号を送ることにより吐出周波数１０［ｋＨｚ］で上述したインクを出射しながら、搬送速度２４［ｍ／ｍｉｎ］で紙を搬送させ連続吐出印画試験を行った。このとき、３０分経過後連続吐出印画を止め、一度ノズル検査パターンを描画した。全ノズルについて、着弾したドッドの有無、射出角度を測定した。
In the evaluation of continuous ejection stability in Table 1, inkjet heads of Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3 having 512 nozzle holes capable of ejecting droplets having an average droplet volume of 14 [pL] were produced. Used. As the organic solvent for the ink used, n-tetradecane was used, and an ink containing 5 wt% of a pigment having an average particle size of 250 nm was used.
A continuous discharge printing test was performed by transporting paper at a transport speed of 24 [m / min] while emitting the ink described above at a discharge frequency of 10 [kHz] by sending a pulse signal from the drive circuit to the inkjet head. At this time, continuous discharge printing was stopped after 30 minutes, and a nozzle test pattern was drawn once. With respect to all nozzles, the presence or absence of landed dods and the injection angle were measured.
表１の連続射出安定性の評価において、
◎：着弾ドットが観測されなかったノズルはなく、全吐出ノズルも−１°〜＋１°の範囲におさまる、
○：着弾ドットが観測されなかったノズルはないが、全吐出ノズルが、−１°〜＋１°の範囲におさまらない、
△：着弾ドットが観測されなかったノズルが、１〜２０個存在する、
×：着弾ドットが観測されなかったノズルが、２０個以上存在する、
とした。
In the evaluation of continuous injection stability in Table 1,
A: There are no nozzles in which no landing dots are observed, and all the discharge nozzles fall within the range of -1 ° to + 1 °.
○: There are no nozzles where no landing dot was observed, but all the discharge nozzles do not fall within the range of -1 ° to + 1 °.
Δ: 1 to 20 nozzles in which no landing dots were observed,
X: There are 20 or more nozzles where no landing dots were observed,
It was.
表１の連続射出安定性の評価では、比較例１〜３のインクジェットヘッドは、いずれも×となり、良好でない評価となった。実施例１〜７のインクジェットヘッドは、いずれも△以上となり、比較例１〜３のインクジェットヘッドに比べて良好な評価が得られた。特に、実施例１、２、５〜７のインクジェットヘッドは、いずれも○以上となり、より良好な評価が得られた。さらに、実施例７のインクジェットヘッドは、◎となり、最も良好な評価が得られた。 In the evaluation of the continuous injection stability in Table 1, all of the inkjet heads of Comparative Examples 1 to 3 were evaluated as x, which was not good. All of the inkjet heads of Examples 1 to 7 were Δ or more, and favorable evaluation was obtained as compared with the inkjet heads of Comparative Examples 1 to 3. In particular, the ink jet heads of Examples 1, 2, and 5 to 7 all had a value of ◯ or more, and a better evaluation was obtained. Further, the ink jet head of Example 7 was evaluated as ◎, and the best evaluation was obtained.
以上、本実施の形態によれば、実施例１〜７のインクジェットヘッドは、ノズル基板と、ノズル基板を取り囲む天板と、を備え、ノズル基板のうち、ノズルからインクが吐出される側の面（前面）の全面と、天板のうち、ノズルからインクが吐出される側の面の少なくとも一部と、が親インク処理されている。 As described above, according to the present embodiment, the ink jet heads of Examples 1 to 7 include the nozzle substrate and the top plate surrounding the nozzle substrate, and the surface of the nozzle substrate on the side where ink is ejected. The entire surface of the (front surface) and at least part of the surface of the top plate on the side where ink is ejected from the nozzles are subjected to the parent ink treatment.
このため、インクジェットヘッドの連続使用環境で生じる傷に対しても劣化がない上に、たとえ発生したインクのミストが多い環境下でミストが親インク処理された部分に付着しても、ごく薄い液膜を形成した状態を維持するため、ノズル面の状態に変化が生じず、インクの連続吐出中も安定化した吐出特性を得ることができる。 For this reason, there is no deterioration even with respect to scratches caused by the continuous use environment of the ink jet head, and even if the mist adheres to the portion treated with the parent ink in an environment where there is a lot of generated mist of ink, a very thin liquid Since the state in which the film is formed is maintained, the state of the nozzle surface does not change, and stable ejection characteristics can be obtained even during continuous ink ejection.
また、実施例２、４〜７のインクジェットヘッドにおいて、天板は、リセス構造部を有し、ノズル基板は、天板の最前面よりも低い位置に配置されている。例えば、図５、図７のインクジェットヘッド１００Ｂ，１００Ｄにおいて、ノズル基板１１Ａは、天板３Ｂ，３Ｄの最前面（凸部の前面）よりも低い位置に配置されている。また、図８〜図１０のインクジェットヘッド１００Ｅ，１００Ｆ，１００Ｇにおいて、ノズル基板１１Ａは、天板３Ｅ，３Ｆ，３Ｇのテーパー部３Ｅ１，３Ｆ１，３Ｇ１の最も高い部分に接する最前の平面よりも低い位置に配置されている。このため、リセス構造部により、記録媒体等とノズル基板とが接触しにくいため、ノズル基板の表面を保護できる。なお、ノズル基板は、天板の最前面と等しい高さ、又は天板の最前面より高い高さの位置に配置されている構成としてもよい。
In the ink jet heads of Examples 2 and 4 to 7, the top plate has a recess structure, and the nozzle substrate is disposed at a position lower than the forefront surface of the top plate. For example, in the inkjet heads 100B and 100D shown in FIGS. 5 and 7, the
また、実施例５〜７のインクジェットヘッドにおいて、天板のリセス構造部は、最前面の外周からノズル基板を中に位置する開口部の側壁にかけてなだらかに連続するテーパー部であることが好ましい。この構成によれば、天板に付着したインクをノズル基板のノズル面近傍になだらかに流れ込ませることができる。 In the ink jet heads of Examples 5 to 7, it is preferable that the recess structure portion of the top plate is a taper portion that is gently continuous from the outer periphery of the front surface to the side wall of the opening portion in which the nozzle substrate is located. According to this configuration, the ink adhering to the top plate can smoothly flow in the vicinity of the nozzle surface of the nozzle substrate.
また、実施例１〜７のインクジェットヘッドにおいて、親インク処理は、真空プラズマ処理である。このため、ムラなく全面を親インク処理することができる。 In the ink jet heads of Examples 1 to 7, the parent ink process is a vacuum plasma process. For this reason, it is possible to perform the parent ink process on the entire surface without unevenness.
また、実施例１〜７のインクジェットヘッドにおいて、真空プラズマ処理は、ドライエッチングである。このため、短時間で親インク処理を行うことができる。 In the inkjet heads of Examples 1 to 7, the vacuum plasma treatment is dry etching. Therefore, the parent ink process can be performed in a short time.
また、実施例７のインクジェットヘッドにおいて、天板は、インクの後退接触角が最前面の外周からノズル基板を中に位置する開口部の側壁にかけて小さくなるよう変化している。このため、天板の最前面の外周からノズル基板の開口部の側壁にかけてインクへの親和性を変化させ、親和性のグラデーションをつくることで、インクが親インク処理された部分に付着しても、ごく薄い液膜を形成して液だまりを防ぎ、薄い液膜の流れをつくり、インクをノズル基板のノズル穴に回収できる。 Further, in the ink jet head of Example 7, the top plate is changed so that the receding contact angle of the ink becomes smaller from the outer periphery of the forefront to the side wall of the opening located inside the nozzle substrate. Therefore, by changing the affinity for ink from the outer periphery of the frontmost surface of the top plate to the side wall of the opening of the nozzle substrate, and creating an affinity gradation, even if the ink adheres to the portion that has been treated with the parent ink By forming a very thin liquid film, it is possible to prevent accumulation of liquid, create a thin liquid film flow, and collect ink in the nozzle holes of the nozzle substrate.
また、実施例１〜７のインクジェットヘッドは、吐出するインクが粒子を含むインクである。このため、粒子を含むためミストが舞いやすいインクの連続吐出中も安定化した吐出特性を得ることができる。 In the ink jet heads of Examples 1 to 7, the ink to be ejected is an ink containing particles. For this reason, it is possible to obtain a stable ejection characteristic even during continuous ejection of ink that easily contains mist because it contains particles.
なお、上記実施の形態における記述は、本発明に係る好適なインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドの一例であり、これに限定されるものではない。 The description in the above embodiment is an example of a preferable method for manufacturing an inkjet head and an inkjet head according to the present invention, and the present invention is not limited to this.
例えば、上記実施の形態（実施例）の構成、下記の構成のうち、少なくとも２つを適宜組み合わせる構成としてもよい。 For example, at least two of the configurations of the above embodiments (examples) and the following configurations may be appropriately combined.
また、上記実施の形態では、真空プラズマ処理として、ドライエッチングを用いて親インク処理を行う構成としたが、これに限定されるものではない。親インク処理をウェットエッチングで行う構成としてもよい。この構成によれば、インクジェットヘッドの電装系へのダメージのリスクを低減できる。 Moreover, in the said embodiment, although it was set as the structure which performs a parent ink process using dry etching as a vacuum plasma process, it is not limited to this. It is good also as a structure which performs a parent ink process by wet etching. According to this configuration, the risk of damage to the electrical system of the inkjet head can be reduced.
また、以上の実施の形態におけるインクジェット記録装置１０００を構成する各部の細部構成及び細部動作に関して本発明の趣旨を逸脱することのない範囲で適宜変更可能である。
Further, the detailed configuration and detailed operation of each part constituting the ink
１０００ インクジェット記録装置
２００ 搬送部
２１０ 巻き出しロール
２２０，２３０ ローラー
２４０ 巻き取りロール
３００ 画像形成部
３１０ ラインヘッド
３２０ 照射部
３３０ キャリッジ
３３０ａ キャリッジヒーター
４００ インク供給部
４１０ インクタンク
４２０ ポンプ
４３０ インクチューブ
４４０ サブタンク
４４０ａ フロートセンサー
４５０ インクチューブ
４６０ ヒーター
５００ 制御部
１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ，１００Ｇ，１００Ｈ インクジェットヘッド
１ アクチュエーター
１１，１１Ａ ノズル基板
１１ａ ノズル
２ 筐体
３，３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅ，３Ｆ，３Ｇ，３Ｈ 天板
１ａ，３ａ 前面
１ｃＡ，３ｃＡ，３ｃＢ，３ｃＣ，３ｃＤ，３ｃＥ，３ｃＦ，３ｃＧ，３ｃＧ１，３ｃＧ２，３ｃＧ３，１ｃＨ 親インク領域
３Ｂ１，３Ｄ１ 凹部
３Ｅ１，３Ｆ１，３Ｇ１ テーパー部
４，５ 接着剤層
ｂ 開口部
２１，２２，３１，３２，３３，３４，４１ 保護材
1000
Claims (8)
前記ノズル基板を取り囲む天板と、を備え、
前記ノズル基板のうち、前記ノズルからインクが吐出される側の面の全面と、
前記天板のうち、前記ノズルからインクが吐出される側の面の少なくとも一部と、が親インク処理されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 A nozzle substrate having nozzles for ejecting ink;
A top plate surrounding the nozzle substrate,
Of the nozzle substrate, the entire surface on the side where ink is ejected from the nozzle,
An ink-jet head, wherein at least a part of a surface of the top plate on a side where ink is ejected from the nozzle is subjected to a parent ink treatment.
前記ノズル基板は、前記天板の最前面よりも低い位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。 The top plate has a recess structure,
The inkjet head according to claim 1, wherein the nozzle substrate is disposed at a position lower than a forefront surface of the top plate.
前記天板の前記ノズルからインクを吐出させる方向側に位置する面のうち、前記ノズル基板に隣接する領域であることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。 A part of the top plate is
6. The inkjet head according to claim 1, wherein the inkjet head is an area adjacent to the nozzle substrate in a surface located on a side in a direction of ejecting ink from the nozzles of the top plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015016882A JP6596830B2 (en) | 2015-01-30 | 2015-01-30 | Inkjet head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015016882A JP6596830B2 (en) | 2015-01-30 | 2015-01-30 | Inkjet head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016141002A true JP2016141002A (en) | 2016-08-08 |
| JP6596830B2 JP6596830B2 (en) | 2019-10-30 |
Family
ID=56568178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015016882A Active JP6596830B2 (en) | 2015-01-30 | 2015-01-30 | Inkjet head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6596830B2 (en) |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0839817A (en) * | 1994-07-28 | 1996-02-13 | Canon Inc | Ink jet recording method |
| JPH11334074A (en) * | 1998-05-22 | 1999-12-07 | Canon Inc | Ink jet recorder and recorder |
| JP2001121709A (en) * | 1999-10-27 | 2001-05-08 | Konica Corp | Ink jet head |
| JP2005096148A (en) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Konica Minolta Holdings Inc | Inkjet head |
| JP2006240164A (en) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Canon Inc | Inkjet recording head and inkjet recorder using the head |
| JP2011068095A (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | Method for manufacturing nozzle plate, nozzle plate and inkjet head |
| US20130127950A1 (en) * | 2010-07-26 | 2013-05-23 | Oce Technologies B.V. | Coating for providing a wetting gradient to an orifice surface around an orifice and method for applying said coating |
| JP2013184470A (en) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Seiko Epson Corp | Liquid injection head unit and liquid injection device |
| JP2014069310A (en) * | 2012-09-27 | 2014-04-21 | Fujifilm Corp | Liquid discharge device, and device and method for driving liquid discharge head |
| JP2014223793A (en) * | 2013-04-16 | 2014-12-04 | キヤノン株式会社 | Liquid discharge head and method of manufacturing liquid discharge head |
-
2015
- 2015-01-30 JP JP2015016882A patent/JP6596830B2/en active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0839817A (en) * | 1994-07-28 | 1996-02-13 | Canon Inc | Ink jet recording method |
| JPH11334074A (en) * | 1998-05-22 | 1999-12-07 | Canon Inc | Ink jet recorder and recorder |
| JP2001121709A (en) * | 1999-10-27 | 2001-05-08 | Konica Corp | Ink jet head |
| JP2005096148A (en) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Konica Minolta Holdings Inc | Inkjet head |
| JP2006240164A (en) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Canon Inc | Inkjet recording head and inkjet recorder using the head |
| JP2011068095A (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | Method for manufacturing nozzle plate, nozzle plate and inkjet head |
| US20130127950A1 (en) * | 2010-07-26 | 2013-05-23 | Oce Technologies B.V. | Coating for providing a wetting gradient to an orifice surface around an orifice and method for applying said coating |
| JP2013184470A (en) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Seiko Epson Corp | Liquid injection head unit and liquid injection device |
| JP2014069310A (en) * | 2012-09-27 | 2014-04-21 | Fujifilm Corp | Liquid discharge device, and device and method for driving liquid discharge head |
| JP2014223793A (en) * | 2013-04-16 | 2014-12-04 | キヤノン株式会社 | Liquid discharge head and method of manufacturing liquid discharge head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP6596830B2 (en) | 2019-10-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5606266B2 (en) | Inkjet head | |
| JP2004141861A (en) | Liquid drop discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical apparatus, electro-optical apparatus and electronic device | |
| JP4937061B2 (en) | Method for manufacturing flow path substrate of liquid discharge head | |
| JP4811220B2 (en) | Suction unit, droplet discharge device, and electro-optical device manufacturing method | |
| US8303086B2 (en) | Lyophobic treatment method, nozzle plate, inkjet head and electronic device | |
| US7562964B2 (en) | Method of manufacturing nozzle plate, nozzle plate, liquid ejection head and image forming apparatus | |
| JP6447314B2 (en) | Inkjet head manufacturing method | |
| JP6596830B2 (en) | Inkjet head | |
| US20060187259A1 (en) | Method of manufacturing nozzle plate, liquid ejection head, and image forming apparatus comprising liquid ejection head | |
| JP2008213421A (en) | Nozzle plate manufacturing method, nozzle plate, liquid discharge head, and image forming apparatus | |
| JP4393730B2 (en) | Inkjet head | |
| US7347531B2 (en) | Inkjet recording head and image formation apparatus | |
| JP2010023241A (en) | Inkjet recorder and inkjet head | |
| JP5455010B2 (en) | Method for manufacturing resin molded body, inkjet head, and electronic apparatus | |
| JP2008254201A (en) | Nozzle plate and ink ejection head, image forming apparatus | |
| JP2008023794A (en) | Method for manufacturing nozzle plate, liquid droplet jet head, image forming apparatus, and liquid droplet jet device | |
| JP2012116063A (en) | Inkjet recording device and method for preventing dew condensation of inkjet head | |
| US6515255B1 (en) | Processing method of discharge nozzle for liquid jet recording head and manufacturing method of liquid jet recording head | |
| US7901734B2 (en) | Method of manufacturing nozzle plate | |
| JP2007216655A (en) | Manufacturing method of nozzle plate, manufacturing method of droplet discharge head, nozzle plate, liquid discharge head, and image formation apparatus | |
| JPH05124206A (en) | Ink jet recording head, production thereof, and ink jet recorder provided with the ink jet recording head | |
| JP2008188833A (en) | Nozzle plate, manufacturing method of nozzle plate and image formation device | |
| JP2008188807A (en) | Flushing unit, liquid droplet delivering apparatus, method for manufacturing electrooptic apparatus, electrooptic apparatus, and electronic instrument | |
| JP2006130701A (en) | Ink ejection device | |
| JP6850547B2 (en) | Manufacturing method of injection hole plate |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180104 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180927 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181030 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181205 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190528 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190726 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190903 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190916 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6596830 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |