JP2016115907A - Thin film transistor and manufacturing method thereof, array substrate and liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、薄膜トランジスタ及びその製造方法、当該薄膜トランジスタを備えるアレイ基板並びに液晶表示装置に関する。 The present invention relates to a thin film transistor and a manufacturing method thereof, an array substrate including the thin film transistor, and a liquid crystal display device.
薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:以下「TFT」と記す)をスイッチング素子がアレイ状に配列形成されたTFTアクティブマトリックス基板(以下「TFTアレイ基板」と記す)は、例えば液晶を利用した液晶表示装置(Liquid Crystal Display:以下「LCD」と記す)等の電気光学装置に利用されている。 A TFT active matrix substrate (hereinafter referred to as “TFT array substrate”) in which switching elements are arranged in an array in the form of a thin film transistor (Thin Film Transistor: hereinafter referred to as “TFT”) is, for example, a liquid crystal display device (Liquid Crystal Display (hereinafter referred to as “LCD”) and the like.
TFT等の半導体装置は、低消費電力及び薄型であるという特徴がある。このような半導体装置の特徴を活かして、CRT(Cathode Ray Tube)に代わって、フラットパネルディスプレイへの半導体装置の応用がなされるようになった。 A semiconductor device such as a TFT is characterized by low power consumption and thinness. Taking advantage of the characteristics of such a semiconductor device, the semiconductor device has been applied to a flat panel display in place of a CRT (Cathode Ray Tube).
さて、フラットディスプレイに用いられるLCDでは、一般にTFTアレイ基板と対向基板との間に液晶層が挟持されている。このようなTFTアレイ基板及び対向基板の外側にはそれぞれ偏光板が設けられ、それら基板の一方のさらに外側にはバックライトユニットが設けられている。このような構造によってLCDでは良好なカラー表示が得られる。 Now, in an LCD used for a flat display, a liquid crystal layer is generally sandwiched between a TFT array substrate and a counter substrate. Polarizing plates are provided outside the TFT array substrate and the counter substrate, respectively, and a backlight unit is provided outside one of the substrates. With such a structure, an excellent color display can be obtained in the LCD.
LCD用TFTアレイ基板の体表的な構造として、例えば特許文献1には、ボトムゲートのバックチャネル型TFTと、当該TFTと電気的に接続された最上層である画素電極とを備える構造が開示されている。なお、特許文献1には、当該構造を、5回のフォトリソグラフィープロセス(写真製版工程)を用いて製造することが開示されている。
As a surface structure of a TFT array substrate for LCD, for example,
従来、液晶表示装置用のTFTアレイ基板のスイッチング素子においては、一般的にアモルファスシリコン(Si)が半導体の活性層(チャネル層)として用いられていた。しかし近年では、酸化物半導体が活性層に用いられたTFTの開発が盛んになされている。酸化物半導体は、従来のアモルファスシリコンよりも高い移動度を有するため、小型で高性能なTFTを実現できるという利点がある。酸化物半導体としては、酸化亜鉛(ZnO)系材料や、酸化亜鉛に酸化ガリウム(Ga2O3)、酸化インジウム(In2O3)、酸化すず(SnO2)などを添加した材料が主に用いられている。この技術は、例えば特許文献1及び2等に開示されている。
Conventionally, amorphous silicon (Si) is generally used as an active layer (channel layer) of a semiconductor in a switching element of a TFT array substrate for a liquid crystal display device. However, in recent years, TFTs in which an oxide semiconductor is used for an active layer have been actively developed. Since an oxide semiconductor has higher mobility than conventional amorphous silicon, there is an advantage that a small and high-performance TFT can be realized. As an oxide semiconductor, a zinc oxide (ZnO) -based material or a material in which gallium oxide (Ga 2 O 3 ), indium oxide (In 2 O 3 ), tin oxide (SnO 2 ), or the like is added to zinc oxide is mainly used. It is used. This technique is disclosed in
しかしながら、酸化物半導体を用いて作成した薄膜トランジスタなどの半導体素子には、電気特性及び信頼性(例えば動作速度及び閾値電圧など)の向上、並びに、製造時間の短縮がさらに求められている。 However, a semiconductor element such as a thin film transistor manufactured using an oxide semiconductor is further required to have improved electrical characteristics and reliability (for example, operation speed and threshold voltage) and shorten manufacturing time.
そこで、本発明は、上記のような問題点を鑑みてなされたものであり、薄膜トランジスタの電気特性及び信頼性を高めるとともに、その製造時間を短縮可能な技術を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a technique capable of improving the electrical characteristics and reliability of a thin film transistor and reducing the manufacturing time thereof.
本発明に係る薄膜トランジスタの製造方法は、(a)基板上にゲート電極を形成する工程と、(b)前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜を形成する工程と、(c)前記ゲート電極上に前記ゲート絶縁膜を介して酸化物半導体層を形成する工程と、(d)前記酸化物半導体層と電気的に接続されるソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、(e)前記酸化物半導体層上、前記ソース電極上及び前記ドレイン電極上に保護絶縁膜を形成する工程とを備える。前記工程(c)は、(c−1)反応室内に前記基板を配置してから前記基板を加熱して当該基板の温度を100℃未満にしつつ前記反応室内を減圧することにより、前記反応室内の水分圧量を1×10−3Pa以下とする工程と、(c−2)前記工程(c−1)の後に、前記反応室内にて金属酸化物をターゲットに用いた物理蒸着法によって前記酸化物半導体層を形成する工程とを含む。 The method of manufacturing a thin film transistor according to the present invention includes (a) a step of forming a gate electrode on a substrate, (b) a step of forming a gate insulating film covering the gate electrode, and (c) the step of forming the gate electrode on the gate electrode. Forming an oxide semiconductor layer through a gate insulating film; (d) forming a source electrode and a drain electrode electrically connected to the oxide semiconductor layer; and (e) the oxide semiconductor layer. And forming a protective insulating film on the source electrode and the drain electrode. The step (c) includes (c-1) placing the substrate in the reaction chamber and then heating the substrate to reduce the pressure in the reaction chamber while lowering the temperature of the substrate to less than 100 ° C. a step of water pressure amount of the 1 × 10 -3 Pa or less of, (c-2) after the step (c-1), wherein the physical vapor deposition method using a metal oxide target in the reaction chamber Forming an oxide semiconductor layer.
本発明に係る薄膜トランジスタは、基板上に配設されたゲート電極と、前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、前記ゲート電極上に前記ゲート絶縁膜を介して配設された酸化物半導体層と、前記酸化物半導体層と電気的に接続されるソース電極及びドレイン電極と、前記酸化物半導体層上、前記ソース電極上及び前記ドレイン電極上に配設された保護絶縁膜とを備える。前記酸化物半導体層は、反応室内に前記基板を配置してから前記基板を加熱して当該基板の温度を100℃未満にしつつ前記反応室内を減圧することにより、前記反応室内の水分圧量を1×10−3Pa以下とした後に、前記反応室内にて金属酸化物をターゲットに用いた物理蒸着法によって形成される。 A thin film transistor according to the present invention includes a gate electrode disposed on a substrate, a gate insulating film covering the gate electrode, an oxide semiconductor layer disposed on the gate electrode via the gate insulating film, A source electrode and a drain electrode electrically connected to the oxide semiconductor layer; and a protective insulating film disposed on the oxide semiconductor layer, the source electrode, and the drain electrode. The oxide semiconductor layer is configured to reduce the moisture pressure in the reaction chamber by placing the substrate in a reaction chamber and then heating the substrate to reduce the pressure in the reaction chamber while keeping the temperature of the substrate below 100 ° C. After the pressure is set to 1 × 10 −3 Pa or less, it is formed by physical vapor deposition using a metal oxide as a target in the reaction chamber.
本発明によれば、薄膜トランジスタの電気特性及び信頼性を高めるとともに、その製造時間を短縮することができる。 According to the present invention, the electrical characteristics and reliability of a thin film transistor can be improved and the manufacturing time thereof can be shortened.
<実施の形態1>
本発明の実施の形態1に係るTFTアレイ基板(アレイ基板)は、スイッチング素子としてTFT(薄膜トランジスタ)がアレイ状に配列形成されたアクティブマトリックス基板であるものとして説明する。なお、本実施の形態1に係るTFTアレイ基板は、LCD(液晶表示装置)等の平面型表示装置(フラットパネルディスプレイ)などに用いられる。
<
The TFT array substrate (array substrate) according to the first embodiment of the present invention will be described as an active matrix substrate in which TFTs (thin film transistors) are arranged in an array as switching elements. The TFT array substrate according to the first embodiment is used for a flat display device (flat panel display) such as an LCD (liquid crystal display device).
<液晶表示装置の全体構成>
図1は、本実施の形態1に係るTFTアレイ基板を備える液晶表示装置の構成を模式的に示す分解斜視図である。以下、図1を用いて当該液晶表装置の構成について説明する。
<Overall configuration of liquid crystal display device>
FIG. 1 is an exploded perspective view schematically showing a configuration of a liquid crystal display device including the TFT array substrate according to the first embodiment. Hereinafter, the configuration of the liquid crystal display device will be described with reference to FIG.
図1の液晶表示装置は、光源1001と、導光板1002と、偏光板1003と、TFTアレイ基板1004と、液晶層1005と、対向基板1006と、偏光板1007とを備えている。
The liquid crystal display device in FIG. 1 includes a
光源1001は、液晶表示装置全体の光源であり、例えば発光ダイオードなどが用いられる。面状の導光板1002は、その一端の横側に設けられた光源1001から入射された光を、導光板1002の主面全体から出射するように変換する。光源1001及び導光板1002を合わせてバックライトユニットと呼ぶこともある。
The
導光板1002上には、偏光板1003、TFTアレイ基板1004、液晶層1005、対向基板1006及び偏光板1007が、この順に配設される。これにより、対向基板1006は、TFTアレイ基板1004との間に液晶層1005を挟持している。詳細は後述するとして、ここで液晶表示装置の動作について簡単に説明すると、TFTアレイ基板1004に形成されたTFTは、外部からの信号に応じて液晶層1005に印加する電界を制御することにより、液晶層1005の液晶の偏光方向を制御する。このようなTFTアレイ基板1004は、偏光板1003、液晶層1005、対向基板1006及び偏光板1007と組み合わさることで、導光板1002から出射された光を画素ごとに透光または遮光する機能を有する。
On the
<TFTアレイ基板の全体構成>
図2は、TFTアレイ基板1004の構成を模式的に示す平面図である。一例として図2には、LCD用のTFTアレイ基板が図示されている。以下、図2を用いてTFTアレイ基板1004の構成について説明する。
<Overall configuration of TFT array substrate>
FIG. 2 is a plan view schematically showing the configuration of the
図2のTFTアレイ基板1004は、TFT(薄膜トランジスタ)201と、TFT201が形成される基板としての絶縁基板1(基板)とを備えている。
The
絶縁基板1には、表示領域202と、当該表示領域202を囲むように設けられた額縁領域203とが規定されている。
In the
表示領域202には、TFT201がマトリックス上に配列形成されている。また、表示領域202には、複数のTFT201に接続された複数のゲート配線(走査信号線)3、複数の補助容量電極5、及び、複数のソース配線(表示信号線)9とが配設されている。複数のゲート配線3は、横方向(x方向)に延在して互いに平行に配設され、複数のソース配線9は、縦方向(y方向)に延在して互いに平行に配設される。また、複数のゲート配線3と、複数のソース配線9とは、互いに絶縁された状態で、直交して交差するように配設されている。
In the
そして、本実施の形態1に係るTFTアレイ基板1004では、隣接するゲート配線3と、隣接するソース配線9とに囲まれた領域が画素204に適用されるので、画素204が表示領域202においてマトリックス状に配列されることになる。
In the
図2の二点鎖線で囲まれる領域に、一部の画素204の回路構成が拡大して図示されている。1つの画素204内には、少なくとも1つのTFT201(以下「画素TFT201」と記すこともある)が配設されている。画素TFT201は、ソース配線9とゲート配線3との交差点近傍に配置されている。画素TFT201のゲート電極は、ゲート配線3に接続され、画素TFT201のソース電極は、ソース配線9に接続され、画素TFT201のドレイン電極は、画素電極11に接続されている。また、複数の補助容量配線210は、複数のゲート配線3のそれぞれと平行に設けられて、補助容量配線210及びゲート配線3は、y方向に沿って交互に配設されており、ソース配線9と互いに直交して交差するように配設されている。補助容量配線210は補助容量電極5と接続されており、補助容量電極5の一部と画素電極11の一部とは、補助容量209を形成している。
In an area surrounded by a two-dot chain line in FIG. In one
次に額縁領域203について説明する。額縁領域203には、走査信号駆動回路205と表示信号駆動回路206とが設けられている。ゲート配線3は、表示領域202から、額縁領域203のうち走査信号駆動回路205が設けられた部分(ここではTFTアレイ基板1004の端部)まで延在されて、走査信号駆動回路205に接続されている。ソース配線9も同様に、表示領域202から、額縁領域203のうち表示信号駆動回路206が設けられた部分(ここではTFTアレイ基板1004の端部)まで延在されて、表示信号駆動回路206に接続されている。
Next, the
また、走査信号駆動回路205の近傍には、外部と接続される接続基板207が配設され、表示信号駆動回路206の近傍には、外部と接続される接続基板208が配設されている。なお、接続基板207,208には、例えばFPC(Flexible Printed Circuit)などの配線基板が用いられる。
A
接続基板207,208のそれぞれを介して、走査信号駆動回路205及び表示信号駆動回路206に外部からの各種信号が供給される。走査信号駆動回路205は、外部からの制御信号に基づいて、ゲート信号(走査信号)をゲート配線3に供給する。このゲート信号によって、ゲート配線3が順次選択される。表示信号駆動回路206は、外部からの制御信号や表示データに基づいて表示信号をソース配線9に供給する。これにより、表示データに応じた表示信号、ひいては表示電圧を各画素204に供給することができる。
Various signals from the outside are supplied to the scanning
本実施の形態1に係るTFTは、表示領域202の画素TFT201に適用することができるだけでなく、走査信号駆動回路205及び表示信号駆動回路206を構成するスイッチング素子にも適用することができる。なお、走査信号駆動回路205及び表示信号駆動回路206は、図2のようにTFTアレイ基板1004上に配置されてもよいし、例えば、TCP(Tape Carrier Package)で駆動回路を構成することにより、TFTアレイ基板1004とは別の部材に配置されてもよい。
The TFT according to
また、補助容量電極5は、後に平面図を用いて説明するように画素電極11と平面視で重複(重畳)するように構成されている。そして、画素電極11を一方の電極とし、補助容量電極5を他方の電極とする補助容量209が形成されている。各画素204内の補助容量電極5同士は、補助容量配線210に接続されて結束されており、例えば走査信号駆動回路205及び表示信号駆動回路206などから共通電位が供給される。
Further, the
画素TFT201は、画素電極11に表示電圧を供給するためのスイッチング素子として機能し、ゲート電極から入力されるゲート信号によって画素TFT201のON及びOFFが制御される。そして、ゲート電極に所定値以上の電圧が印加されると、画素TFT201がONし、ソース配線9と接続されたソース電極からドレイン電極に電流が流れるようになる。これにより、ソース配線9から、画素TFT201のドレイン電極に接続された画素電極11に表示電圧が印加され、画素電極11と対向電極(図示せず)との間に、表示電圧に応じた電界が生じる。画素電極11と対向電極との間には補助容量209と並列に、液晶による液晶容量(図示せず)が形成される。なお、縦方向の電界方式の液晶表示装置の場合には、対向電極は対向基板1006上に配設され、IPS(In Plane Switching)方式やFFS(Fringe Field Switching)方式の液晶表示装置の場合には、対向電極はTFTアレイ基板1004の上側に配設される。
The
上記の液晶容量と補助容量209によって画素電極11に印加された表示電圧が一定期間保持される。なお、TFTアレイ基板1004の表面には、配向膜(図示せず)が形成されていてもよい。
The display voltage applied to the
図1に示したように、TFTアレイ基板1004に沿って対向基板1006が配設される。対向基板1006は、例えばカラーフィルタ基板であり、視認側に配置される。対向基板1006には、カラーフィルタ、ブラックマトリックス(BM)、配向膜等が形成され、液晶表示装置の方式によっては対向電極も対向基板1006に形成される。
As shown in FIG. 1, a
TFTアレイ基板1004と対向基板1006とは、一定の間隙(セルギャップ)を介して貼り合わされる。そして、この間隙に液晶が注入され封止される。すなわち、TFTアレイ基板1004と対向基板1006との間に液晶層1005が挟持される。さらに、TFTアレイ基板1004及び対向基板1006の外側の面には、偏光板1003,1007及び位相差板等が設けられる。TFTアレイ基板1004は、対向基板1006に対して視認側とは反対側に配設され、対向基板1006は、TFTアレイ基板1004に対して視認側に配設される。また、以上のように構成された液晶表示パネルの視認側と反対側には、バックライトユニット(光源1001及び導光板1002)等が配設される。
The
<液晶表示装置の動作>
画素電極11(図2)と、対向電極との間の電界によって、液晶層1005(図1)の液晶が駆動される。すなわち、基板間の液晶の配向方向が変化する。これにより、液晶層を通過する光の偏光状態が変化する。つまり、偏光板を通過して直線偏光となった後に液晶層1005を通過する光の偏光状態も変化する。具体的には、バックライトユニットからの光は、TFTアレイ基板1004側の偏光板1003によって直線偏光になる。そして、この直線偏光が液晶層1005を通過することによって、偏光状態が変化する。
<Operation of liquid crystal display device>
The liquid crystal in the liquid crystal layer 1005 (FIG. 1) is driven by the electric field between the pixel electrode 11 (FIG. 2) and the counter electrode. That is, the alignment direction of the liquid crystal between the substrates changes. As a result, the polarization state of the light passing through the liquid crystal layer changes. That is, the polarization state of the light passing through the
したがって、対向基板1006側の偏光板1007を通過する光量が、偏光状態、ひいては上述の電界によって変化する。すなわち、バックライトユニットから液晶表示パネルを透過する透過光のうち、視認側の偏光板1007を通過する光の光量を、上述の電界によって変化させることができる。このような構成において、画素ごとに表示電圧を制御することによって、液晶表示装置に所望の画像を表示することができる。
Accordingly, the amount of light that passes through the
<TFTアレイ基板の画素の構成>
図3は、画素204の平面構成を模式的に示す平面図であり、図4は、図3におけるX−X線の断面構成、Y−Y線の断面構成及びZ−Z線の断面構成を仮想的に連ねて模式的に示す断面図である。なお、図4では、Y−Y線の断面構成としてゲート端子部Aの断面構成が図示され、Z−Z線の断面構成としてソース端子部Bの断面構成が図示され、X−X線の断面構成として、ゲート−ソースの配線交差部C、画素TFT部D、画素−ドレインのコンタクト部E、画素電極部F及び補助容量部Gの断面構成が図示されている。以下、図3及び図4を用いてTFTアレイ基板1004、及び、それに備えられた画素TFT201の構成について説明する。なお、以下では、TFTアレイ基板1004は、透過型の液晶表示装置に用いるものとして説明する。
<Configuration of pixel of TFT array substrate>
FIG. 3 is a plan view schematically showing the planar configuration of the
図4に示すように、TFTアレイ基板は、例えばガラス等の透明性絶縁基板である絶縁基板1上に、配線及び電極が同一の導電膜から選択的に形成されている。ここでは、当該配線及び電極として、概ね、ゲート端子部Aにはゲート端子4が配設され、配線交差部Cにはゲート配線3が配設され、画素TFT部Dにはゲート電極2が配設され、補助容量部Gには補助容量電極5が配設されている。そして、これらを覆うように絶縁膜6が配設されている。なお、絶縁膜6は、画素TFT部Dではゲート絶縁膜として機能するので「ゲート絶縁膜6」と以下では記すこともある。以上のように、本実施の形態1に係るTFTアレイ基板1004は、絶縁基板1と、絶縁基板1上に配設されたゲート電極2と、ゲート電極2を覆うゲート絶縁膜6とを備えている。
As shown in FIG. 4, in the TFT array substrate, wiring and electrodes are selectively formed from the same conductive film on an insulating
画素TFT部Dのゲート電極2が形成された領域において、ゲート絶縁膜6上に半導体層12が配設されている。概ね、画素TFT部Dには半導体層12の端部上及びその近傍のゲート絶縁膜6上にソース電極7及びドレイン電極8が配設され、ソース端子部Bにはゲート絶縁膜6上にソース端子10が配設され、配線交差部Cにはゲート絶縁膜6上にソース配線9が配設される。ソース電極7、ドレイン電極8、ソース配線9及びソース端子10は、同一の導電膜から選択的に形成されており、ソース端子10は、ソース電極7から延在されたソース配線9を経由した端部に形成される。
In the region where the
ここで、画素TFT部Dのソース電極7及びドレイン電極8は、互いに離間されて半導体層12と接合されている。ソース電極7とドレイン電極8との間の半導体層12の表面には、バックチャネルとして露出されたTFTのチャネル部13が形成される。
Here, the
以上のように本実施の形態1に係るTFTアレイ基板1004は、ゲート電極2上にゲート絶縁膜6を介して配設された半導体層(酸化物半導体層)12と、半導体層12と電気的に接続されるソース電極7及びドレイン電極8とを備えている。
As described above, the
さて、半導体層12は、酸化物半導体層(酸化物半導体膜)から構成されている。本実施の形態1では、酸化物半導体層の導電率は、例えば10−7〜10S/cmであるものとする。あるいは、酸化物半導体層のキャリア濃度は、例えば1011〜1018個/cm3の範囲にあるものとする。導電率が10S/cmよりも大きい場合やキャリア濃度が1018個/cm3よりも大きい場合には、電気が常時流れやすくなり、半導体膜としてのスイッチング機能を示さないことがあるからである。酸化物半導体層の導電率が例えば10−5〜10−1S/cm、あるいは、酸化物半導体層のキャリア濃度が例えば1012〜1017個/cm3の範囲であればより好ましい。このような酸化物半導体層をチャネル層に用いることで、アモルファスシリコンよりも高い移動度を有するTFTを実現することができる。
The
本実施の形態1では、酸化物半導体層は、少なくともインジウム(In)、ガリウム(Ga)及び亜鉛(Zn)を含む酸化物半導体からなる。例えば、酸化物半導体層には、酸化インジウム(In2O3)、酸化亜鉛(ZnO)及び酸化ガリウム(Ga2O3)を配合したIn−Ga−Zn−O系の酸化物半導体を用いることができる。あるいは、酸化物半導体層には、上記に示したようにキャリア濃度が1018個/cm3よりも小さければ、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化ガリウムをそれぞれ単体で用いてもよいし、例えば酸化インジウムと酸化亜鉛とを配合したIn−Zn−O系の酸化物半導体や、酸化インジウムと酸化ガリウムとを配合したIn−Ga−O系の酸化物半導体を用いてもよい。これらの材料を用いた本実施の形態1によれば、アモルファスシリコンを用いたTFTと比べ製造工程を簡素化することができるとともに、動作速度を向上させることができる。
In
半導体層12は、成膜方法の一種である、スパッタ、蒸着及びイオンプレーティングなどの物理蒸着法によって形成される。これらは、成膜室内(反応室内)に設置されているターゲットなどの材料にプラズマやアーク放電を照射し、その衝撃によって飛び出した材料を、基板上に堆積させる成膜方法である。このとき、成膜室内に設置する材料以外に放電に必要なガス(例えばアルゴンガスなど)を導入する。さらに、基板上に堆積させる膜の組成を変化させるためのガス(例えば酸素、窒素など)も導入することもできる。
The
このように、スパッタ、蒸着及びイオンプレーティングなどの物理蒸着法によれば、成膜室内に設置する材料と、導入されるガスとの組み合わせで、様々な特性を持つ薄膜を形成することができる。しかし、物理蒸着法には、それにより形成される薄膜中に、成膜室内の不純物も取り込まれてしまうという問題点がある。 As described above, according to physical vapor deposition such as sputtering, vapor deposition, and ion plating, a thin film having various characteristics can be formed by combining the material installed in the film formation chamber and the introduced gas. . However, the physical vapor deposition method has a problem that impurities in the film forming chamber are also taken into the thin film formed thereby.
通常、物理蒸着法は、圧力が10−3〜102Pa程度の減圧状態にされた成膜室内で行われる。この圧力領域における成膜室内の不要な気体の大半は、水蒸気であるため、形成された薄膜に取り込まれる不純物は、概ね水蒸気(水を構成する元素)である。水蒸気が不純物として、TFT201の半導体層12に取り込まれると、TFT201のオンオフ特性などの電気特性及び信頼性が低下する。
Usually, the physical vapor deposition is performed in a film forming chamber in a reduced pressure state where the pressure is about 10 −3 to 10 2 Pa. Since most of the unnecessary gas in the film formation chamber in this pressure region is water vapor, the impurities taken into the formed thin film are generally water vapor (an element constituting water). When water vapor is incorporated as an impurity into the
物理蒸着法において、水蒸気が薄膜中に取り込まれないようにするためには、成膜室内の水蒸気を極力減らせばよい。具体的には、成膜室内の水分圧量(水蒸気量に対応)を10−2Pa以下、好ましくは10−3Pa以下にすればよい。水分圧量を上記の範囲まで低減させるためには、成膜室に接続させている真空ポンプの排気量を大きくすること、または、成膜室内の加熱による脱水処理を予め行うことが想定される。 In the physical vapor deposition method, in order to prevent water vapor from being taken into the thin film, the water vapor in the film forming chamber may be reduced as much as possible. Specifically, the moisture pressure in the film formation chamber (corresponding to the amount of water vapor) may be 10 −2 Pa or less, preferably 10 −3 Pa or less. In order to reduce the moisture pressure amount to the above range, it is assumed that the exhaust amount of the vacuum pump connected to the film formation chamber is increased, or that the dehydration process by heating in the film formation chamber is performed in advance. .
しかしながら、加熱せずに真空ポンプの容量を大きくすることは、高性能な真空ポンプを要することになり、製造コストの増加を招く。また、成膜室内の加熱によって予め脱水処理を行っても、成膜対象となる基板を成膜室内に導入するときに、外部の水蒸気及び不純物を取り込んでしまい、その結果として低い水分圧量を維持できなくなってしまう。ここで別の手法として、成膜室内で成膜対象となる基板を加熱することも想定される。しかしながら、基板を加熱し過ぎた場合には、基板(例えばゲート絶縁膜6)からの脱水量が大きくなって水分圧量が高い値に留まってしまい、その後に真空ポンプによる排気によって水分圧量が低減するまでに時間がかかってしまう。その結果、成膜室内に基板を投入してから水分圧量が上記の範囲まで低減するまでの待ち時間が長くなるので、スループットが下がって量産コストの増加を招いてしまうことになる。 However, increasing the capacity of the vacuum pump without heating requires a high-performance vacuum pump, which increases the manufacturing cost. Further, even if the dehydration treatment is performed in advance by heating in the film formation chamber, when the substrate to be formed is introduced into the film formation chamber, external water vapor and impurities are taken in, resulting in a low moisture pressure. It becomes impossible to maintain. Here, as another method, it is assumed that the substrate to be deposited is heated in the deposition chamber. However, if the substrate is heated too much, the amount of dehydration from the substrate (for example, the gate insulating film 6) becomes large and the moisture pressure amount remains high, and the moisture pressure amount is reduced by exhausting by a vacuum pump thereafter. It takes time to reduce. As a result, the waiting time from when the substrate is introduced into the film formation chamber until the moisture pressure is reduced to the above range becomes long, so that the throughput is lowered and the mass production cost is increased.
そこで、成膜室内の水分圧量を増加させないようにするため、成膜対象の基板を適度に加熱しつつ成膜室内を減圧する。具体的には、成膜中のプラズマ等で基板の温度が上昇するため、基板の温度が常温より高く100℃未満の範囲内に収まるように温度制御を行いつつ減圧する。 Therefore, in order not to increase the amount of moisture pressure in the film formation chamber, the pressure in the film formation chamber is reduced while appropriately heating the substrate to be formed. Specifically, since the temperature of the substrate rises due to plasma or the like during film formation, the pressure is reduced while controlling the temperature so that the temperature of the substrate is within the range of higher than normal temperature and lower than 100 ° C.
具体的には、成膜室内に絶縁基板1を配置してから絶縁基板1を加熱して当該絶縁基板1の温度を100℃未満にしつつ成膜室内を減圧することにより、成膜室内の水分圧量を1×10−3Pa以下とする。そして、その後に成膜室内にて金属酸化物をターゲットに用いた物理蒸着法によって、半導体層12が形成される。このように構成された本実施の形態1によれば、後述するようにTFTの信頼性を高めることができる。
Specifically, the insulating
次に、図4のTFTアレイ基板1004の残りの構成要素について説明する。
Next, the remaining components of the
半導体層12、ソース電極7及びドレイン電極8などを覆い、複数のコンタクトホールが設けられた保護絶縁膜14が、絶縁基板1全体を覆うように形成されている。つまり、本実施の形態1に係るTFTアレイ基板1004は、半導体層12上、ソース電極7上及びドレイン電極8上に配設された保護絶縁膜14を備えている。
A protective insulating
上述の複数のコンタクトホールとして、コンタクト部Eには、保護絶縁膜14を貫通してドレイン電極8に達する画素ドレインコンタクトホール15が設けられ、ゲート端子部Aには、保護絶縁膜14及びゲート絶縁膜6を貫通してゲート端子4に達するゲート端子部コンタクトホール16が設けられ、ソース端子部Bには、保護絶縁膜14を貫通してソース端子10に達するソース端子部コンタクトホール17が設けられている。
As the above-mentioned plurality of contact holes, the contact portion E is provided with a pixel
画素電極部Fなどの保護絶縁膜14上には、画素ドレインコンタクトホール15を介して下層のドレイン電極8の表面と接触し電気的に接続される画素電極11が配設される。画素電極11は、画素ドレインコンタクトホール15から補助容量電極5の上方にまで延在しており、補助容量電極5と画素の補助容量209(図2)を形成する。
On the protective insulating
ゲート端子部Aには、ゲート端子部コンタクトホール16を介して下層のゲート端子4の表面と接触し電気的に接続されるゲート端子パッド18が配設される。
The gate terminal portion A is provided with a
ソース端子部Bには、ソース端子部コンタクトホール17を介して下層のソース端子10の表面と接触し電気的に接続されるソース端子パッド19が配設される。
The source terminal portion B is provided with a
次に、画素204の平面構成について説明する。図3に示すように、複数のゲート配線3は、複数のソース配線9と直交するように横方向(x方向)に延在しており、複数のゲート配線3は、互いに平行に配設されている。そして、各ゲート配線3は、画素TFT201のゲート電極2と一体となるように形成されている。すなわち、画素TFT部Dのゲート配線3がゲート電極2となる。ゲート電極2は、ゲート配線3よりも幅広となるように構成されている。
Next, a planar configuration of the
ゲート電極2の上には、ゲート絶縁膜6(図4)及び半導体層12を介してソース電極7の一部及びドレイン電極8の一部が配設されている。ソース電極7及びドレイン電極8は、画素TFT201のゲート電極2の上方において互いに離間して対向配置されている。ソース電極7とドレイン電極8との間の半導体層12には、画素TFT201のチャネル部13が形成される。半導体層12の外郭は、平面視においてゲート電極2の外郭からはみ出さないように構成されている。
On the
ゲート配線3の端部はゲート端子4に接続されている。ゲート端子4上には、ゲート端子部コンタクトホール16を介してゲート端子4と電気的に接続されるゲート端子パッド18が配設されている。ゲート端子パッド18には走査信号駆動回路205(図2)が接続され、走査信号駆動回路205からの走査信号がゲート配線3に供給可能となっている。
The end of the
ソース配線9は縦方向(y方向)に延在しており、ソース電極7がソース配線9の途中から横方向(x方向)に分岐してゲート電極2の上方に重畳するように延在している。
The
ソース配線9の端部はソース端子10に接続されている。ソース端子10上には、ソース端子部コンタクトホール17を介してソース端子10と電気的に接続されるソース端子パッド19が配設されている。ソース端子パッド19には表示信号駆動回路206(図2)が接続され、表示信号駆動回路206からの表示信号がソース配線9に供給可能となっている。
An end portion of the
画素電極11は、画素ドレインコンタクトホール15を介してドレイン電極8と電気的に接続される。また、矩形状の画素電極11の三辺の部分は、ゲート絶縁膜6(図4)を介して補助容量電極5のΠ字状の部分と平面視にて重畳することによって、画素電極11の補助容量209(図2)が形成される。なお、補助容量電極5は、Πの字状に限ったものではなく、所望の補助容量が得られるのであれば、直線状でもあってもよいしL字状であてもよい。
The
<製造方法>
図5〜図9は、本実施の形態1に係るTFTアレイ基板1004の製造方法を工程ごとに示す断面図である。特に、最終工程を示す図9は図4に相当する。以下、図5〜図9を用いて、本実施の形態1に係るTFTアレイ基板1004の製造方法について説明する。
<Manufacturing method>
5 to 9 are cross-sectional views showing the method of manufacturing the
まず、絶縁基板1を洗浄液または純粋を用いて洗浄する。なお、ここでは厚さ0.5mmの無アクリルガラス基板を絶縁基板1として用いるものとする。
First, the insulating
そして、洗浄された絶縁基板1の一方の主面の全面上に第1の導電膜(図示せず)を成膜し、それをパターニングすることによって、図5に示すように、ゲート端子4、ゲート配線3、ゲート電極2及び補助容量電極5を形成する。
Then, a first conductive film (not shown) is formed on the entire surface of one main surface of the cleaned insulating
ここで、第1の導電膜としては、例えばアルミニウム(Al)、クロム(Cr)、銅(Cu)、モリブデン(Mo)やこれらに他の元素を微量に添加した合金等を用いることができる。また、これらの金属、合金を2層以上形成した積層構造を第1の導電膜に用いてもよい。これらの金属、合金を用いることによって、比抵抗値が50μΩcm以下(導電率が2×104S/cm以上)の低抵抗膜を得ることができる。 Here, as the first conductive film, for example, aluminum (Al), chromium (Cr), copper (Cu), molybdenum (Mo), an alloy obtained by adding a small amount of other elements to these, or the like can be used. Alternatively, a stacked structure in which two or more layers of these metals and alloys are formed may be used for the first conductive film. By using these metals and alloys, a low resistance film having a specific resistance value of 50 μΩcm or less (conductivity of 2 × 10 4 S / cm or more) can be obtained.
なお、本実施の形態1においては第1の導電膜としてMo膜を用いるものとし、公知のArガスを用いたスパッタリング法によってMo膜を200nmの厚さに成膜する。その後、Mo膜上にレジスト材を塗布し、写真製版工程(第1回目)でフォトレジストパターンを形成し、当該フォトレジストパターンをエッチングマスクとして、Mo膜を選択的にエッチングしてパターニングする。その後、フォトレジストパターンを除去することで、図5に示すように、絶縁基板1上に、ゲート端子4、ゲート配線3、ゲート電極2及び補助容量電極5を形成する。
In the first embodiment, a Mo film is used as the first conductive film, and the Mo film is formed to a thickness of 200 nm by a sputtering method using a known Ar gas. Thereafter, a resist material is applied onto the Mo film, a photoresist pattern is formed in the photolithography process (first time), and the Mo film is selectively etched and patterned using the photoresist pattern as an etching mask. Thereafter, by removing the photoresist pattern, the
このエッチングプロセスでは、公知のリン酸、酢酸及び硝酸を含む溶液(PAN薬液)によるウェットエッチングを用いることができる。PAN薬液としては、リン酸が40〜93wt%(重量%)、酢酸が1〜40wt%、硝酸が0.5〜15wt%の範囲のものが好ましい。本実施の形態1においては、リン酸70wt%+酢酸7wt%+硝酸5wt%+水からなるPAN薬液を用いてその液温を25℃に設定してMo膜をエッチングした。
In this etching process, wet etching using a known solution (PAN chemical solution) containing phosphoric acid, acetic acid and nitric acid can be used. As the PAN chemical, phosphoric acid is preferably in the range of 40 to 93 wt% (wt%), acetic acid in the range of 1 to 40 wt%, and nitric acid in the range of 0.5 to 15 wt%. In the first embodiment, the Mo film was etched using a PAN chemical solution composed of phosphoric acid 70 wt% +
次に、図6に示す工程において、絶縁基板1上にゲート端子4、ゲート配線3、ゲート電極2及び補助容量電極5を覆うようにゲート絶縁膜6を成膜する。
Next, in the step shown in FIG. 6, a
ゲート絶縁膜6には、例えば化学的気相成長(CVD)法を用いて形成された酸化シリコン(SiO)が用いられる。ここでは、シラン(SiH4)ガスと一酸化二窒素(N2O)ガスとを用いたCVD法で厚さ300nmのSiO膜を、約300℃の基板加熱条件下で成膜する。ただし、ゲート絶縁膜6はこれに限ったものではない。例えば、酸化シリコン膜は、水分(H2O)や水素(H2)あるいはナトリウム(Na)やカリウム(K)のようなTFT特性に影響を及ぼす不純物元素に対するバリア性(遮断性)が弱いことから、酸化シリコン膜の下層にバリア性に優れる窒化シリコン(SiN)膜などを設けた積層構造をゲート絶縁膜6に用いてもよい。SiN膜は、例えばシラン(SiH4)ガス、アンモニアガス(NH3)、窒素ガス(N2)を用いたCVD法によって成膜することができる。この場合、SiO膜とSiN膜の積層構造の膜厚が例えば100〜500nmとなるように、それぞれの膜の厚さを調整すればよい。
For the
ここで、図10及び図11は、昇温脱離ガス分光法(TDS:Thermal Desorption Spectrometry)で上記記載のゲート絶縁膜6を評価した結果を示す図である。TDSは、真空加熱中の昇温により発生したガスを温度ごとにモニターできる質量分析法である。図10は、約300℃に加熱した基板(シリコンウェハ)上に、CVD法で成膜した厚さ300nmのSiO膜をTDSで評価した結果を示す。図11は、約300℃に加熱した基板(シリコンウェハ)上に、CVD法で成膜した厚さ300nmのSiN膜をTDSで評価した結果を示す。なお、図10及び図11はいずれも、TDSの結果は規格化されている。
Here, FIG. 10 and FIG. 11 are diagrams showing the results of evaluating the
図10及び図11に示されるように、水分子は基板温度が100℃以上になると急激にSiO膜及びSiN膜から脱離し始める。水素分子も水分子ほど急激ではないが、基板温度が100℃以上になるとSiO膜及びSiN膜から離脱し始める。このため、次工程における半導体層12の形成において基板温度を100℃未満にすれば、ゲート絶縁膜6からの脱水を抑制することができるので、成膜室内の水分圧を容易に抑制することが可能となる。
As shown in FIGS. 10 and 11, water molecules begin to desorb from the SiO film and SiN film abruptly when the substrate temperature reaches 100 ° C. or higher. Although hydrogen molecules are not as abrupt as water molecules, they begin to desorb from the SiO film and SiN film when the substrate temperature reaches 100 ° C. or higher. For this reason, if the substrate temperature is lower than 100 ° C. in the formation of the
次に、ゲート電極2上にゲート絶縁膜6を介して半導体層12を形成する工程について説明する。
Next, a process of forming the
本実施の形態1においては、成膜室内(反応室内)に絶縁基板1を配置してから絶縁基板1を加熱して当該絶縁基板1の温度を100℃未満にしつつ成膜室内を減圧することにより、成膜室内の水分圧量を1×10−3Pa以下とする。その後に、成膜室内にて金属酸化物をターゲットに用いた物理蒸着法によって半導体層(酸化物半導体層)12を形成する。なお、ターゲットには、例えばIn:Ga:Zn:Oの原子組成比が1:1:1:4であるIn−Ga−Zn−Oターゲット[In2O3・Ga2O3・(ZnO)2]が用いられ、物理蒸着法には、例えばスパッタリング法が用いられる。
In the first embodiment, the insulating
なお、公知のArガスやKrガスを用いて上述のスパッタリングを行った場合、通常は、酸素の原子組成比が化学量論組成よりも少なく、酸素イオン欠乏状態(上記の例ではOの組成比が13未満)の酸化半導体層が半導体層12として成膜されてしまう。このため、Arガスに酸素(O2)ガスを混合させてスパッタリングを行うことが望ましい。ここでは、Arガスに対して分圧比で10%のO2ガスを添加した混合ガスを用いてスパッタリングを行い、40nmの厚さの半導体層12を成膜する。
When the above sputtering is performed using a known Ar gas or Kr gas, the atomic composition ratio of oxygen is usually smaller than the stoichiometric composition, and the oxygen ion deficient state (the composition ratio of O in the above example) Of less than 13) is formed as the
半導体層12を成膜した後、当該半導体層12上にレジスト材を塗布し、写真製版工程(第2回目)でフォトレジストパターンを形成し、当該フォトレジストパターンをエッチングマスクとして、半導体層12を選択的にエッチングしてパターニングする。その後、フォトレジストパターンを除去することで、図6に示すように、ゲート電極2上方のゲート絶縁膜6上に、半導体層12を形成した。
After the
このエッチングプロセスでは、公知のカルボン酸を含む薬液によるウェットエッチングを用いることができる。カルボン酸を含む薬液としては、シュウ酸を1〜10wt%の範囲で含むものが好ましい。本実施の形態1においては、シュウ酸5wt%+水からなるシュウ酸系薬液を用いてその液温を25℃に設定して、半導体層12をパターニングした。なお、半導体層12の外郭は、図3にも示すように、平面視においてゲート電極2の外郭から外側にはみ出さず、外郭全体がゲート電極2の外郭の内側に収まるように、半導体層12はパターニングされる。こうすることによって、バックライトユニットからTFTアレイ基板1004の裏面に照射された光を、選択的に透過して表示を行う透過型LCDにおいて、ゲート電極2のパターンが遮光マスクとなって半導体層12に光が直接入射されることを抑制することができる。この結果、光照射によるTFT特性の劣化を抑制することができる。
In this etching process, wet etching using a chemical solution containing a known carboxylic acid can be used. As the chemical solution containing carboxylic acid, one containing oxalic acid in the range of 1 to 10 wt% is preferable. In the first embodiment, the
上記エッチングプロセスを行った後に、大気中で350℃のアニールを1時間行う。この工程を行うことで、次工程のエッチングプロセスにおいて、半導体層12へのエッチングダメージを低減させることができる。
After performing the etching process, annealing at 350 ° C. is performed in the atmosphere for 1 hour. By performing this step, etching damage to the
次に、絶縁基板1上方に第2の導電膜(図示せず)を成膜し、それをパターニングすることによって、図7に示すように、ソース電極7、ドレイン電極8、ソース配線9、ソース端子10及びチャネル部13上の間隙を形成する。
Next, a second conductive film (not shown) is formed on the insulating
ここで、第2の導電膜としては、例えばアルミニウム(Al)、クロム(Cr)、銅(Cu)、モリブデン(Mo)やこれらに他の元素を微量に添加した合金等を用いることができる。また、これらの金属、合金を2層以上形成した積層構造を第2の導電膜に用いてもよい。これらの金属、合金を用いることによって、比抵抗値が50μΩcm以下(導電率が2×104S/cm以上)の低抵抗膜を得ることができる。 Here, as the second conductive film, for example, aluminum (Al), chromium (Cr), copper (Cu), molybdenum (Mo), an alloy obtained by adding a small amount of other elements to these, or the like can be used. A stacked structure in which two or more layers of these metals and alloys are formed may be used for the second conductive film. By using these metals and alloys, a low resistance film having a specific resistance value of 50 μΩcm or less (conductivity of 2 × 10 4 S / cm or more) can be obtained.
なお、本実施の形態1においては第2の導電膜としてMo膜を用いるものとし、公知のArガスを用いたスパッタリング法によってMo膜を200nmの厚さに成膜する。その後、Mo膜上にレジスト材を塗布し、写真製版工程(第3回目)でフォトレジストパターンを形成し、当該フォトレジストパターンをエッチングマスクとして、Mo膜を選択的にエッチングしてパターニングする。その後、フォトレジストパターンを除去することで、図7に示すように、半導体層12と電気的に接続されるソース電極7及びドレイン電極8と、ソース配線9と、ソース端子10と、チャネル部13上の間隙を形成する。
In the first embodiment, a Mo film is used as the second conductive film, and the Mo film is formed to a thickness of 200 nm by a known sputtering method using Ar gas. Thereafter, a resist material is applied onto the Mo film, a photoresist pattern is formed in the photolithography process (third time), and the Mo film is selectively etched and patterned using the photoresist pattern as an etching mask. Thereafter, by removing the photoresist pattern, as shown in FIG. 7, the
このエッチングプロセスでは、公知のリン酸、酢酸及び硝酸を含む溶液(PAN薬液)によるウェットエッチングを用いることができる。ここでは、リン酸70wt%+酢酸7wt%+硝酸5wt%+水からなるPAN薬液を用いてその液温を25℃に設定してMo膜をエッチングした。 In this etching process, wet etching using a known solution (PAN chemical solution) containing phosphoric acid, acetic acid and nitric acid can be used. Here, the Mo film was etched using a PAN chemical solution composed of 70 wt% phosphoric acid + 7 wt% acetic acid + 5 wt% nitric acid + water at a liquid temperature of 25 ° C.
次に、図8に示すように、ソース電極7、ドレイン電極8、ソース配線9、ソース端子10及びチャネル部13を覆うように保護絶縁膜14を成膜し、保護絶縁膜14及びゲート絶縁膜6を貫通するコンタクトホールを形成する。
Next, as illustrated in FIG. 8, a protective insulating
保護絶縁膜14は、例えば、基板を約250℃で加熱した条件下で、CVD法を用いて厚さ300nmの酸化シリコン(SiO)膜を形成することで得られる。
The protective
その後、酸化シリコン膜上にレジスト材を塗布し、写真製版工程(第4回目)でフォトレジストパターンを形成し、当該フォトレジストパターンをエッチングマスクとして、酸化シリコン膜を選択的にエッチングする。 Thereafter, a resist material is applied on the silicon oxide film, a photoresist pattern is formed in the photolithography process (fourth time), and the silicon oxide film is selectively etched using the photoresist pattern as an etching mask.
このエッチング工程では、公知のフッ素ガスを用いたドライエッチング法を用いることができる。これにより、保護絶縁膜14を貫通する画素ドレインコンタクトホール15及びソース端子部コンタクトホール17が形成されるとともに、保護絶縁膜14及びゲート絶縁膜6を貫通するゲート端子部コンタクトホール16がほぼ同時に形成される。このとき、画素ドレインコンタクトホール15はドレイン電極8の表面に達し、ゲート端子部コンタクトホール16及びソース端子部コンタクトホール17は、それぞれゲート端子4及びソース端子10の表面に達するように設けられる。
In this etching step, a dry etching method using a known fluorine gas can be used. Thereby, the pixel
なお、酸化シリコン膜は、水分(H2O)や水素(H2)あるいはナトリウム(Na)やカリウム(K)のようなTFT特性に影響を及ぼす不純物元素に対するバリア性(遮断性)が弱いことから、酸化シリコン膜の下層にバリア性に優れる窒化シリコン(SiN)膜などを設けた積層構造を保護絶縁膜14に用いてもよい。このような積層構造の場合でも、公知のフッ素ガスを用いたドライエッチング法を用いてコンタクトホールを形成することができる。
Note that a silicon oxide film has a weak barrier property (blocking property) against impurity elements that affect TFT characteristics such as moisture (H 2 O), hydrogen (H 2 ), sodium (Na), and potassium (K). Therefore, a stacked structure in which a silicon nitride (SiN) film having excellent barrier properties or the like is provided under the silicon oxide film may be used for the protective insulating
次に、絶縁基板1の上方に第3の導電膜(図示せず)を成膜し、それをパターニングすることによって、図9に示すように、画素電極11、ゲート端子パッド18及びソース端子パッド19を形成する。
Next, a third conductive film (not shown) is formed on the insulating
画素電極11は、画素ドレインコンタクトホール15を介してドレイン電極8と電気的に接続される構成となっている。さらに画素電極11の一部は、ゲート絶縁膜6を介して平面視にて補助容量電極5の一部と重畳することによって、画素電極11の補助容量209(図2)が形成される。また、ゲート端子パッド18及びソース端子パッド19は、ゲート端子部コンタクトホール16及びソース端子部コンタクトホール17を介して、それぞれゲート端子4及びソース端子14の表面と接触して電気的に接続されるように形成される。
The
第3の導電膜としては、透光性導電膜を成膜する。透光性導電膜として、本実施の形態1では、公知の導電性酸化物であるIn−Zn−O膜(酸化インジウムIn2O3と酸化亜鉛ZnOとの重量%における混合比は、例えば90:10)を用いる。ここでは、公知のスパッタリング法を用いて厚さ100nmのIn−Zn−O膜を成膜した。ただし、第3の導電膜には、In−Zn−O膜であるIZO(Indium Zinc Oxide)膜に限ったものではなく、ITO(Indium Tin Oxide)膜なども用いることができる。
As the third conductive film, a light-transmitting conductive film is formed. As the light-transmitting conductive film, in
その後、透光性導電膜上にレジスト材を塗布し、写真製版工程(第5回目)でフォトレジストパターンを形成し、当該フォトレジストパターンをエッチングマスクとして、透光性導電膜を選択的にエッチングしてパターニングする。その後、フォトレジストパターンを除去することで、図9に示すように、画素電極11、ゲート端子パッド18及びソース端子パッド19を形成する。
Thereafter, a resist material is applied onto the light-transmitting conductive film, a photoresist pattern is formed in the photolithography process (fifth time), and the light-transmitting conductive film is selectively etched using the photoresist pattern as an etching mask. And patterning. Thereafter, by removing the photoresist pattern, the
このエッチングプロセスでは、公知のシュウ酸薬液によるウェットエッチングを用いることができる。 In this etching process, wet etching using a known oxalic acid chemical solution can be used.
なお、第3の導電膜に透光性導電膜を用いる理由は、バックライトユニットからの光を選択的に透過して表示を行う透過型LCDにおいては、透光性の画素電極を形成する必要があるためである。一方、外光を選択的に反射して表示を行う反射型LCDにおいては、光を反射するアルミニウム(Al)や銀(Ag)のような金属膜を画素電極として形成すればよい。また反射及び透過の両方を兼ね備えた半透過型LCDの場合は、光反射性及び透光性の両方の導電膜からなる画素電極を形成すればよい。 Note that the reason why a light-transmitting conductive film is used as the third conductive film is that a light-transmitting pixel electrode needs to be formed in a transmissive LCD that performs display by selectively transmitting light from a backlight unit. Because there is. On the other hand, in a reflective LCD that selectively reflects external light for display, a metal film such as aluminum (Al) or silver (Ag) that reflects light may be formed as a pixel electrode. In the case of a transflective LCD that has both reflection and transmission, a pixel electrode made of both light-reflective and light-transmitting conductive films may be formed.
以上の5回の写真製版工程を経て、図4(図9)に示す構成となり、実施の形態1に係るTFTアレイ基板1004が完成する。
Through the above five photoengraving steps, the structure shown in FIG. 4 (FIG. 9) is obtained, and the
そして、完成したTFTアレイ基板1004の表面に図示しない配向膜及びスペーサを形成する。配向膜は、液晶分子を配列させるための膜であり、ポリイミド等で構成される。また、カラーフィルタや配向膜を備えた対向基板1006(図1)を準備し、TFTアレイ基板1004と対向基板1006とを貼り合わせる。そして、上記のスペーサによって両基板間に形成される間隙に、液晶を注入保持する。その後、両基板の外側に偏光板1003,1007を配設し、TFTアレイ基板1004のさらに外側にバックライトユニットを配設し、対向基板1006のさらに外側に位相差板を配設する。これによって、図1のTFT−LCDを得ることができる。
Then, an alignment film and a spacer (not shown) are formed on the surface of the completed
<実施の形態1のまとめ>
図12は、成膜温度(基板温度)と、半導体層12におけるキャリア濃度及び成膜室内の水分圧との関係についての試験結果を示す図である。図12に示すように、成膜温度を上げていくと、半導体層12におけるキャリア濃度が増加していくとともに、成膜室内の水分圧が増加する。特にこれらの増加は、成膜温度が80℃と100℃との間で顕著であり、成膜温度が80℃のキャリア濃度と、成膜温度が100℃のキャリア濃度とは大きく異なっている。また、成膜温度が100℃において、半導体層12のキャリア濃度は8.6×1013cm−3程度となっており、成膜室内の水分圧は1×10−3Pa程度となっている。
<Summary of
FIG. 12 is a diagram showing test results regarding the relationship between the film formation temperature (substrate temperature), the carrier concentration in the
図13は、本実施の形態1、比較例1及び比較例2に係る画素TFTのドレイン電流−ゲート電圧特性についての試験結果を示す図である。ここで、本実施の形態1係る画素TFTでは、成膜温度(基板温度)を80℃とし、成膜室内の水分圧を3.6×10−4Paとして半導体層12を形成した。比較例1に係る画素TFTでは、成膜温度(基板温度)を120℃とし、成膜室内の水分圧を2.5×10−3Paとして半導体層を形成した。比較例2に係る画素TFTでは、成膜温度(基板温度)を240℃とし、成膜室内の水分圧を8.4×10−3Paとして半導体層を形成した。それ以外の条件等は、本実施の形態1、比較例1及び比較例2において同一にした。
FIG. 13 is a diagram showing test results for drain current-gate voltage characteristics of the pixel TFTs according to the first embodiment, comparative example 1, and comparative example 2. Here, in the pixel TFT according to the first embodiment, the
図13の試験においては、ソース電極7とドレイン電極8との間に1Vの電圧をかけた状態でゲート電圧を−20Vから+20Vまで変化させて、その間の各々のゲート電圧についてドレイン電流を測定した。比較例1に係る画素TFTでは、ゲート電圧の立ち上がり(ゲートの閾値電圧)が−6V付近となっており、比較例2に係る画素TFTでは、ゲート電圧の立ち上がり(ゲートの閾値電圧)が−20V以下となっている。これに対して、本実施の形態1に係る画素TFTでは、電圧の立ち上がり(ゲートの閾値電圧)が0V付近(−1V以上0V以下)となっている。このため、本実施の形態1に係る画素TFTによれば、電気特性及び信頼性を高めることができる。
In the test of FIG. 13, the gate voltage was changed from −20 V to +20 V while a voltage of 1 V was applied between the
以上のような本実施の形態1によれば、TFT201の電気特性及び信頼性(例えば動作速度及び閾値電圧など)を高めることができる。また、絶縁基板1を加熱して当該絶縁基板1の温度を100℃未満にしつつ成膜室内を減圧することによって半導体層12を形成することから、待ち時間が長くなることを抑制することができ、その結果として量産コストを抑制することができる。
According to the first embodiment as described above, the electrical characteristics and reliability (for example, operation speed and threshold voltage) of the
<変形例>
以上に説明した実施の形態1の図8の工程において、保護絶縁膜14を成膜する前に、酸素(O2)または水蒸気(H2O)を含む雰囲気下で絶縁基板1に熱処理を行ってもよい。熱処理は200℃以上400℃以下が好ましい。あるいは、UV(紫外線)光を照射したり、O2ガスやN2Oガスを用いてプラズマ処理をしたりしてもよい。このようにすることによって、半導体層12のチャネル部13の表面の酸素欠乏状態や、原子配列の乱れなどを緩和することができるため、さらにTFT201の特性を向上させることができる。
<Modification>
In the step of FIG. 8 of the first embodiment described above, the insulating
なお、TFTアレイ基板1004は、液晶表示装置以外の表示装置に利用してもよい。例えば、有機EL(electroluminescence)ディスプレイ等の電気光学表示装置に適用することができる。さらに、TFT201を、表示装置以外の半導体部品等に用いられる薄膜トランジスタやアクティブマトリックス基板に適用することも可能である。
Note that the
なお、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。 In the present invention, the embodiments can be appropriately modified and omitted within the scope of the invention.
1 絶縁基板、2 ゲート電極、6 ゲート絶縁膜、7 ソース電極、8 ドレイン電極、12 半導体層、14 保護絶縁膜、201 TFT、1004 TFTアレイ基板、1005 液晶層、1006 対向基板。
DESCRIPTION OF
Claims (6)
(b)前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜を形成する工程と、
(c)前記ゲート電極上に前記ゲート絶縁膜を介して酸化物半導体層を形成する工程と、
(d)前記酸化物半導体層と電気的に接続されるソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
(e)前記酸化物半導体層上、前記ソース電極上及び前記ドレイン電極上に保護絶縁膜を形成する工程と
を備え、
前記工程(c)は、
(c−1)反応室内に前記基板を配置してから前記基板を加熱して当該基板の温度を100℃未満にしつつ前記反応室内を減圧することにより、前記反応室内の水分圧量を1×10−3Pa以下とする工程と、
(c−2)前記工程(c−1)の後に、前記反応室内にて金属酸化物をターゲットに用いた物理蒸着法によって前記酸化物半導体層を形成する工程と
を含む、薄膜トランジスタの製造方法。 (A) forming a gate electrode on the substrate;
(B) forming a gate insulating film covering the gate electrode;
(C) forming an oxide semiconductor layer on the gate electrode through the gate insulating film;
(D) forming a source electrode and a drain electrode electrically connected to the oxide semiconductor layer;
(E) forming a protective insulating film on the oxide semiconductor layer, on the source electrode and on the drain electrode,
The step (c)
(C-1) Disposing the substrate in the reaction chamber and then heating the substrate to reduce the pressure in the reaction chamber while keeping the temperature of the substrate below 100 ° C. A step of 10 −3 Pa or less;
(C-2) A method of manufacturing a thin film transistor, including, after the step (c-1), a step of forming the oxide semiconductor layer by a physical vapor deposition method using a metal oxide as a target in the reaction chamber.
前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、
前記ゲート電極上に前記ゲート絶縁膜を介して配設された酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層と電気的に接続されるソース電極及びドレイン電極と、
前記酸化物半導体層上、前記ソース電極上及び前記ドレイン電極上に配設された保護絶縁膜と
を備え、
前記酸化物半導体層は、
反応室内に前記基板を配置してから前記基板を加熱して当該基板の温度を100℃未満にしつつ前記反応室内を減圧することにより、前記反応室内の水分圧量を1×10−3Pa以下とした後に、前記反応室内にて金属酸化物をターゲットに用いた物理蒸着法によって形成された、薄膜トランジスタ。 A gate electrode disposed on the substrate;
A gate insulating film covering the gate electrode;
An oxide semiconductor layer disposed on the gate electrode via the gate insulating film;
A source electrode and a drain electrode electrically connected to the oxide semiconductor layer;
A protective insulating film disposed on the oxide semiconductor layer, on the source electrode and on the drain electrode;
The oxide semiconductor layer is
By disposing the substrate in the reaction chamber and then heating the substrate to reduce the pressure in the reaction chamber while keeping the temperature of the substrate below 100 ° C., the moisture pressure in the reaction chamber is reduced to 1 × 10 −3 Pa or less. Then, a thin film transistor formed by physical vapor deposition using a metal oxide as a target in the reaction chamber.
前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、
前記ゲート電極上に前記ゲート絶縁膜を介して配設された酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層と電気的に接続されるソース電極及びドレイン電極と、
前記酸化物半導体層上、前記ソース電極上及び前記ドレイン電極上に配設された保護絶縁膜と
を備え、
前記酸化物半導体層のキャリア濃度は8.6×1013cm−3であり、
ゲートの閾値電圧が−1V以上0V以下である、薄膜トランジスタ。 A gate electrode disposed on the substrate;
A gate insulating film covering the gate electrode;
An oxide semiconductor layer disposed on the gate electrode via the gate insulating film;
A source electrode and a drain electrode electrically connected to the oxide semiconductor layer;
A protective insulating film disposed on the oxide semiconductor layer, on the source electrode and on the drain electrode;
The carrier concentration of the oxide semiconductor layer is 8.6 × 10 13 cm −3 ,
A thin film transistor having a gate threshold voltage of −1 V or more and 0 V or less.
前記酸化物半導体層は、少なくともインジウム(In)、ガリウム(Ga)及び亜鉛(Zn)を含む酸化物半導体からなる、薄膜トランジスタ。 A thin film transistor according to claim 2 or claim 3,
The oxide semiconductor layer is a thin film transistor made of an oxide semiconductor containing at least indium (In), gallium (Ga), and zinc (Zn).
前記薄膜トランジスタが形成される基板としての前記基板と
を備える、アレイ基板。 The thin film transistor according to any one of claims 2 to 4,
An array substrate comprising: the substrate as a substrate on which the thin film transistor is formed.
前記アレイ基板との間に液晶層を挟持する対向基板と
を備える、液晶表示装置。 An array substrate according to claim 5;
A liquid crystal display device comprising: a counter substrate that sandwiches a liquid crystal layer with the array substrate.
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