JP2016095908A - Uv radiation lamp fitting and uv radiation device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a UV radiation lamp fitting which concurrently cools a mirror and a lamp in an efficient manner despite its small form, and to provide a UV radiation device.SOLUTION: A UV radiation lamp fitting of the invention includes: a straight tube type discharge lamp having a pair of electrodes; a mirror which is provided along an axial direction of the discharge lamp and reflects UV light emitted from the discharge lamp to the radiation surface side; and a cooling fan cooling the discharge lamp and the mirror. The cooling fan is disposed in the UV radiation lamp fitting so that cooling air flows along an axis of the discharge lamp at the rear surface side of the mirror.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、ＵＶ照射用灯具およびそのＵＶ照射用灯具を備えたＵＶ照射装置に関する。   The present invention relates to a UV irradiation lamp and a UV irradiation apparatus including the UV irradiation lamp.

従来から、樹脂や接着剤の硬化処理、インキや塗料の乾燥、被処理対象物の表面改質、または半導体基板や液晶基板を露光するための光源として、ＵＶ（紫外線）を放射する光源が使われている。   Conventionally, a light source that emits UV (ultraviolet rays) has been used as a light source for curing a resin or adhesive, drying ink or paint, modifying the surface of an object to be processed, or exposing a semiconductor substrate or a liquid crystal substrate. It has been broken.

このような光源を使うＵＶ照射装置として、特許文献１には、放電灯の光照射量に対応させて使用する空冷流路制御機構を構成することで大容量の放電ランプを使用しても的確に冷却できる乾燥装置が記載されている。   As a UV irradiation apparatus using such a light source, Patent Document 1 discloses that even if a large-capacity discharge lamp is used by configuring an air cooling flow path control mechanism that is used corresponding to the light irradiation amount of the discharge lamp. Describes a drying device that can be cooled.

しかしながら、特許文献１では、光照射量の大きな放電ランプを使用しており、また、煩雑な空冷流路制御機構を備えていることから装置が大型化する。このような大型のＵＶ照射装置の場合、被処理対象物の特定の箇所のみを照射することができず、ＵＶの照射を必要としない箇所まで照射してしまい、不要な紫外線劣化が進行してしまう。   However, in Patent Document 1, a discharge lamp with a large amount of light irradiation is used, and since the complicated air-cooling flow path control mechanism is provided, the apparatus becomes large. In the case of such a large UV irradiation apparatus, it is impossible to irradiate only a specific part of the object to be processed, and it irradiates a part that does not require UV irradiation, and unnecessary ultraviolet ray deterioration proceeds. End up.

このような問題を解決するために、特許文献２のような小型で軽量なハンディタイプのＵＶ照射装置が開発されている。   In order to solve such a problem, a small and lightweight handy-type UV irradiation apparatus as in Patent Document 2 has been developed.

特開平８−２７３４２７号公報JP-A-8-273427 特開２００１−０１５０６４号公報JP 2001-015064 A

しかしながら、従来の小型のＵＶ照射装置は、ケースの上面に小型の冷却用のファンが設けられているため、ミラーが冷却風を遮ってしまう。そのため冷却効率が悪く、放電ランプを適切に冷却することができない。放電ランプを点灯中に適切な温度となるように冷却しなければ、放電ランプの破損や立ち上がり不良の原因となるだけでなく、装置全体が熱くなってしまい、電気回路部品などの劣化の原因にもなってしまう。また、ミラーも同様に適切な温度となるように冷却しなければ、形状変形や破損の可能性がある。   However, since the conventional small UV irradiation apparatus is provided with a small cooling fan on the upper surface of the case, the mirror blocks the cooling air. Therefore, the cooling efficiency is poor and the discharge lamp cannot be cooled appropriately. If the discharge lamp is not cooled to an appropriate temperature during lighting, it will not only cause damage to the discharge lamp and start-up failure, but it will also heat up the entire device and cause deterioration of electrical circuit components. It will also become. Similarly, if the mirror is not cooled to an appropriate temperature, the shape may be deformed or broken.

さらに、ファンがあることでケースの上面に把手を設けることができず、作業効率が悪い。   Furthermore, the presence of a fan makes it impossible to provide a handle on the upper surface of the case, resulting in poor working efficiency.

そこで本発明は、作業性がよく、小型でありながらも効率良くミラー及びランプを同時に冷却することができるＵＶ照射用灯具およびＵＶ照射装置を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a UV irradiation lamp and a UV irradiation apparatus capable of simultaneously cooling a mirror and a lamp efficiently while having good workability and a small size.

本発明のＵＶ照射用灯具は、一対の電極を有する直管型の放電ランプと、放電ランプの軸方向に沿って設けられ、放電ランプから放射されるＵＶを照射面側に反射するミラーと、放電ランプとミラーを冷却する冷却ファンとを備える。その冷却ファンは、冷却風がミラーの背面側を放電ランプの軸に沿って流れるようにＵＶ照射用灯具内に配置されている。   The UV irradiation lamp of the present invention includes a straight tube type discharge lamp having a pair of electrodes, a mirror provided along the axial direction of the discharge lamp, and reflecting UV emitted from the discharge lamp to the irradiation surface side, A discharge fan and a cooling fan for cooling the mirror are provided. The cooling fan is disposed in the UV irradiation lamp so that the cooling air flows along the axis of the discharge lamp on the back side of the mirror.

上記のように構成することで、冷却風がミラーと放電ランプの軸に沿って流れるため、複雑な冷却機構を必要とせず、ミラーと放電ランプを同時に冷却することができる。そのため、装置の小型化を維持することができる。   With the configuration described above, the cooling air flows along the axis of the mirror and the discharge lamp, so that a complicated cooling mechanism is not required and the mirror and the discharge lamp can be cooled at the same time. Therefore, the downsizing of the apparatus can be maintained.

本発明のＵＶ照射装置を示す外観図である。It is an external view which shows the UV irradiation apparatus of this invention. 本発明のＵＶ照射用灯具の断面図である。It is sectional drawing of the lamp for UV irradiation of this invention.

以下、図１、図２を参照しながら本発明の一実施形態について説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

本実施形態のＵＶ照射装置１０は、電源２０、ＵＶ照射用灯具３０、給電ケーブル４０、放電ランプ５０を具備している。   The UV irradiation apparatus 10 of the present embodiment includes a power source 20, a UV irradiation lamp 30, a power supply cable 40, and a discharge lamp 50.

図１に示す電源２０には、スイッチ２６、アワーメータ２８、通気口２４が設けられている。また、上面には把手２２が備えられており、持ち運びが可能である。電源２０は、電力を給電ケーブル４０によってＵＶ照射用灯具３０に供給している。   The power supply 20 shown in FIG. 1 is provided with a switch 26, an hour meter 28, and a vent hole 24. Further, a handle 22 is provided on the upper surface and can be carried. The power supply 20 supplies power to the UV irradiation lamp 30 through the power supply cable 40.

図２に、ＵＶ照射用灯具３０の断面図を示す。   FIG. 2 shows a cross-sectional view of the UV irradiation lamp 30.

ＵＶ照射用灯具３０は、６つの外面から成る直方体形状である。上面には給電ケーブル４０を接続する端子３３、把手３４を備えている。また、底面には放電ランプ５０から放射されるＵＶを照射する照射口３１を設け、端面には排気口３９を設けている。一方内部には、冷却ファン３２、ミラー３６、放電ランプ５０を内蔵している。内蔵する冷却ファン３２、ミラー３６、放電ランプ５０は、ＵＶ照射用灯具３０の底面から着脱が可能である。   The UV irradiation lamp 30 has a rectangular parallelepiped shape including six outer surfaces. A terminal 33 and a handle 34 for connecting the power supply cable 40 are provided on the upper surface. An irradiation port 31 for irradiating UV emitted from the discharge lamp 50 is provided on the bottom surface, and an exhaust port 39 is provided on the end surface. On the other hand, the cooling fan 32, the mirror 36, and the discharge lamp 50 are built in. The built-in cooling fan 32, mirror 36, and discharge lamp 50 can be detached from the bottom surface of the UV irradiation lamp 30.

冷却ファン３２は、ここでは吸気型の冷却ファンであり、ＵＶ照射用灯具３０の内部に冷却風を供給し、ミラー３６、放電ランプ５０を冷却する。吸気型の冷却ファンとすることで、冷却ファン３２の動作中はＵＶ照射用灯具３０の内部が陽圧となり、放電ランプ５０やミラー３６への空気中のゴミや埃の付着防止が期待できる。   Here, the cooling fan 32 is an intake type cooling fan, and supplies cooling air to the inside of the UV irradiation lamp 30 to cool the mirror 36 and the discharge lamp 50. By using the intake-type cooling fan, the inside of the UV irradiation lamp 30 becomes positive pressure during the operation of the cooling fan 32, and it can be expected that dust and dust in the air are prevented from adhering to the discharge lamp 50 and the mirror 36.

冷却ファン３２は、直方体形状であるＵＶ照射用灯具３０の長手方向に冷却風を供給できるように、ＵＶ照射用灯具３０の短辺で構成された端面に備えられている。つまり、冷却ファン３２の吸気側面が、ＵＶ照射用灯具３０の上流側（図２の左手側）の外面の一部を構成するように備えられる。   The cooling fan 32 is provided on an end surface constituted by short sides of the UV irradiation lamp 30 so that cooling air can be supplied in the longitudinal direction of the UV irradiation lamp 30 having a rectangular parallelepiped shape. That is, the intake side surface of the cooling fan 32 is provided so as to constitute a part of the outer surface on the upstream side (the left hand side in FIG. 2) of the UV irradiation lamp 30.

放電ランプ５０は、石英ガラスで形成した、直管型の発光管５２と、発光管５２の両端部に接続する第一の封止管５３及び第二の封止管５４と、第一の封止管５３及び第二の封止管５４の端部に固定した口金５７及び口金５８と、を一体的に備えている。第一の封止管５３と第二の封止管５４は互いに同軸上である。放電ランプ５０内にはＸｅガス、Ｋｒガス、Ａｒガスなどの希ガス、水銀が封入してある。   The discharge lamp 50 includes a straight tube-type arc tube 52 made of quartz glass, a first sealing tube 53 and a second sealing tube 54 connected to both ends of the arc tube 52, and a first sealing tube. A base 57 and a base 58 fixed to ends of the stop tube 53 and the second sealing tube 54 are integrally provided. The first sealing tube 53 and the second sealing tube 54 are coaxial with each other. The discharge lamp 50 is filled with rare gas such as Xe gas, Kr gas, Ar gas, and mercury.

発光管５２の内部にはタングステンなどの高融点金属で構成された一対の電極（図示せず）が互いに対向する状態で配設してある。第一の封止管５３及び第二の封止管５４の発光管５２と反対側の端部には金属製の口金５７、５８がそれぞれ装着してある。電極（図示せず）は、第一の封止管５３及び第二の封止管５４と発光管５２の内部に配設した導電部材（図示せず）により、口金５７、５８と電気的に導通可能に接続されている。口金５７、５８に外部の電源２０と接続して、放電ランプ５０に電力を供給すると、電極間で放電が発生し、ＵＶ（紫外光）を放射する。   Inside the arc tube 52, a pair of electrodes (not shown) made of a refractory metal such as tungsten are disposed so as to face each other. Metal caps 57 and 58 are respectively attached to the ends of the first sealing tube 53 and the second sealing tube 54 on the side opposite to the arc tube 52. Electrodes (not shown) are electrically connected to the caps 57 and 58 by conductive members (not shown) disposed inside the first sealing tube 53 and the second sealing tube 54 and the arc tube 52. It is connected so that it can conduct. When power is supplied to the discharge lamp 50 by connecting the bases 57 and 58 to the external power source 20, discharge occurs between the electrodes, and UV (ultraviolet light) is emitted.

放電ランプ５０は、直方体形状であるＵＶ照射用灯具３０の長手方向と放電ランプ５０の軸Ｌの方向とが平行となるように配置される。このとき、放電ランプ５０は、放電ランプ５０の軸Ｌ方向の中心が、ＵＶ照射用灯具３０の長手方向（軸方向）中心よりも下流側（図２の右手側）に配置するとよい。   The discharge lamp 50 is disposed so that the longitudinal direction of the UV irradiation lamp 30 having a rectangular parallelepiped shape is parallel to the direction of the axis L of the discharge lamp 50. At this time, the discharge lamp 50 may be arranged such that the center in the direction of the axis L of the discharge lamp 50 is on the downstream side (right hand side in FIG. 2) of the longitudinal direction (axial direction) center of the UV irradiation lamp 30.

ミラー３６は、ここではアルミ製のミラーであり、軽量性に優れている。このミラー３６は、放電ランプ５０の軸Ｌ方向に沿うようにＵＶ照射用灯具３０内に設置される。さらに好ましくは、ミラー３６の背面が、ＵＶ照射用灯具３０の高さ方向中央よりも上側に配置するとよい。   Here, the mirror 36 is an aluminum mirror and is excellent in lightness. The mirror 36 is installed in the UV irradiation lamp 30 along the axis L direction of the discharge lamp 50. More preferably, the back surface of the mirror 36 may be disposed above the center of the UV irradiation lamp 30 in the height direction.

放電ランプ５０の放射光（ＵＶ）を効率よく照射するため、ミラー３６のＵＶ照射用灯具３０の長辺方向の長さは、放電ランプ５０の発光管５２の長さよりも長い。また、ミラー３６のＵＶ照射用灯具３０の高さ方向（鉛直方向）の長さは、放電ランプ５０の中心軸Ｌより照射口３１側まで延在する。すなわち、放電ランプ５０のＵＶ照射用灯具３０における照射口３１側以外の五面をミラー３６で囲えればよい。   In order to efficiently irradiate the emitted light (UV) of the discharge lamp 50, the length of the mirror 36 in the long side direction of the UV irradiation lamp 30 is longer than the length of the arc tube 52 of the discharge lamp 50. Further, the length of the mirror 36 in the height direction (vertical direction) of the UV irradiation lamp 30 extends from the central axis L of the discharge lamp 50 to the irradiation port 31 side. That is, the five surfaces other than the irradiation port 31 side of the UV irradiation lamp 30 of the discharge lamp 50 may be surrounded by the mirror 36.

第一の封止管５３及び第二の封止管５４の下側半周方向を囲むようにアルミ製の反射板３８が設けられる。これにより、放電ランプ５０は、照射口３１側以外をミラー３６と反射板３８で囲まれる。この反射板３８を設けることで、放電ランプ５０から放射される放射光（ＵＶ）をミラー３６と共に反射して、有効に照射口３１から取り出すことができる。これにより、放射光を最大限利用することができ、照射口３１以外からの照射（光漏れ）を低減することができる。   An aluminum reflector 38 is provided so as to surround the lower half circumferential direction of the first sealing tube 53 and the second sealing tube 54. Thereby, the discharge lamp 50 is surrounded by the mirror 36 and the reflection plate 38 except for the irradiation port 31 side. By providing the reflecting plate 38, the radiated light (UV) radiated from the discharge lamp 50 can be reflected together with the mirror 36 and effectively taken out from the irradiation port 31. Thereby, radiated light can be utilized to the maximum and irradiation (light leakage) from other than the irradiation port 31 can be reduced.

ミラー３６には、ミラー３６の背面側から照射面側、つまり放電ランプ５０に向かって冷却風が流れるように開口した通気口３６１が設けられている。   The mirror 36 is provided with a vent 361 that is open so that cooling air flows from the back side of the mirror 36 to the irradiation surface side, that is, toward the discharge lamp 50.

なお、ミラーは、いわゆるコールドミラーであってもよい。また、ミラー形状は効率よく照射口３１に反射する形状であれば楕円や平面状でよく、限定されるものではない。   The mirror may be a so-called cold mirror. Further, the mirror shape may be an ellipse or a plane as long as it is a shape that efficiently reflects to the irradiation port 31, and is not limited.

本実施形態では、ミラー３６と反射板３８を高さ方向（鉛直方向）に沿った同一平面上に配置しているが、ミラー３６と反射板３８は軸方向に対して重なっていてもよい。これにより、光漏れをさらに低減することができる。また、ミラー３６と反射板３８は一体物として構成されていてもよい。   In the present embodiment, the mirror 36 and the reflecting plate 38 are arranged on the same plane along the height direction (vertical direction), but the mirror 36 and the reflecting plate 38 may overlap with each other in the axial direction. Thereby, light leakage can be further reduced. Further, the mirror 36 and the reflecting plate 38 may be configured as an integrated object.

次に、ＵＶ照射装置１０の動作を説明する。   Next, the operation of the UV irradiation apparatus 10 will be described.

電源２０の主スイッチ（図示せず）をＯＮにすると、冷却ファン３２が作動し、冷却風が排出される。次に電源２０のスイッチ２６をＯＮにすると、電源２０から給電ケーブル４０で接続されたＵＶ照射用灯具３０に電力が供給され、放電ランプ５０が点灯する。冷却風の多くはミラー３６の背面側を軸方向に沿って流れるが、冷却風の一部は第一の封止管５３と反射板３８との隙間を通って放電ランプ５０を冷却する。   When a main switch (not shown) of the power supply 20 is turned on, the cooling fan 32 is activated and the cooling air is discharged. Next, when the switch 26 of the power source 20 is turned on, power is supplied from the power source 20 to the UV irradiation lamp 30 connected by the power supply cable 40, and the discharge lamp 50 is turned on. Most of the cooling air flows along the axial direction on the back side of the mirror 36, but a part of the cooling air cools the discharge lamp 50 through the gap between the first sealing tube 53 and the reflecting plate 38.

また、ミラー３６に設けられた通気口３６１によって、ミラー３６の背面側に流れた冷却風の一部が照射口３１側に流れ、点灯中に高温となる放電ランプ５０を冷却することができる。   In addition, the vent 361 provided in the mirror 36 allows a part of the cooling air that has flowed to the back side of the mirror 36 to flow to the irradiation port 31 side, thereby cooling the discharge lamp 50 that becomes high temperature during lighting.

このように、冷却ファン３２は、冷却風がＵＶ照射用灯具３０の長手方向、つまり、ミラー３６の背面側に向かって流れるように配置されているため、放電ランプ５０とミラー３６を同時に冷却できる。一つの冷却ファン３２で効率よく冷却が可能となるため、大型の冷却機構を必要とせず、ＵＶ照射用灯具３０を小型に維持することができる。   In this way, the cooling fan 32 is arranged so that the cooling air flows in the longitudinal direction of the UV irradiation lamp 30, that is, toward the back side of the mirror 36, so that the discharge lamp 50 and the mirror 36 can be cooled simultaneously. . Since the single cooling fan 32 enables efficient cooling, a large cooling mechanism is not required, and the UV irradiation lamp 30 can be kept small.

さらに、冷却ファン３２は、冷却ファン３２の吸気側面がＵＶ照射用灯具３０の端面の一部を構成するように設けている。したがって、ＵＶ照射用灯具３０の高さを冷却ファン３２の高さとすることができ、ＵＶ照射用灯具３０の低背化を実現できる。   Further, the cooling fan 32 is provided such that the intake side surface of the cooling fan 32 constitutes a part of the end surface of the UV irradiation lamp 30. Accordingly, the height of the UV irradiation lamp 30 can be set to the height of the cooling fan 32, and the UV irradiation lamp 30 can be reduced in height.

このとき、ミラー３６は、ミラー３６の背面がＵＶ照射用灯具３０の高さ方向中央よりも上側になるように配置されているため、低背化したＵＶ照射用灯具３０においては、ミラー３６とＵＶ照射用灯具３０の上面との間隔は狭くなる。したがって、ミラー３６の背面側を流れる冷却風の流速が速くなり、放電ランプ５０よりも低い使用温度が好ましいミラー３６を効率よく冷却することができる。   At this time, the mirror 36 is arranged so that the back surface of the mirror 36 is above the center of the UV irradiation lamp 30 in the height direction. The space | interval with the upper surface of the lamp 30 for UV irradiation becomes narrow. Therefore, the flow velocity of the cooling air flowing on the rear side of the mirror 36 is increased, and the mirror 36 that is preferably used at a lower operating temperature than the discharge lamp 50 can be efficiently cooled.

ＵＶ照射用灯具３０内の放電ランプ５０を、放電ランプ５０の軸Ｌ方向における中心が、ＵＶ照射用灯具３０の長手方向（軸方向）中心よりも下流側に位置するように配置するとよい。点灯中の放電ランプ５０は高温（約７００℃）になるため、放電ランプ５０を冷却した冷却風は熱を帯びてしまう。したがって、放電ランプ５０をＵＶ照射用灯具３０の下流側に配置することで、熱を帯びた冷却風を速やかに排気口３９から排気することができる。これにより、ＵＶ照射用灯具３０の温度上昇を低減できる。   The discharge lamp 50 in the UV irradiation lamp 30 may be arranged so that the center in the axis L direction of the discharge lamp 50 is located downstream of the longitudinal direction (axial direction) center of the UV irradiation lamp 30. Since the discharge lamp 50 being lit becomes high temperature (about 700 ° C.), the cooling air that has cooled the discharge lamp 50 is heated. Therefore, by disposing the discharge lamp 50 on the downstream side of the UV irradiation lamp 30, the heated cooling air can be quickly exhausted from the exhaust port 39. Thereby, the temperature rise of the lamp 30 for UV irradiation can be reduced.

また、放電ランプ５０の配置に合わせて照射口３１もＵＶ照射用灯具３０の下流側に位置する。これにより、被照射対象物の置かれた場所が取り回し環境に制限がある場所でも、照射し易くなる。つまり、照射可能範囲がＵＶ照射用灯具３０の端側になるため、ＵＶ照射装置１０の作業者から離れた場所（奥側）に位置する被照射対象物に放射光（ＵＶ）を照射しやすくなる。   Further, the irradiation port 31 is positioned downstream of the UV irradiation lamp 30 in accordance with the arrangement of the discharge lamp 50. Thereby, it becomes easy to irradiate even if the place where the irradiated object is placed has a limited environment. In other words, since the irradiable range is on the end side of the UV irradiation lamp 30, it is easy to irradiate the irradiated object (UV) on the irradiation target object located at a position (back side) away from the operator of the UV irradiation apparatus 10. Become.

なお、ＵＶ照射用灯具３０の上面には把手３４が設けられており、作業性を高めているが、把手３４の設置位置を、把手３４のＵＶ照射用灯具３０の長手方向における中心が、放電ランプ５０の軸Ｌ方向における中心よりも上流側にするとよい。放電ランプ５０をＵＶ照射用灯具３０の下流側に設置しているため、把手３４が上流側に位置しているとＵＶ照射用灯具３０を扱ううえでバランスがよく、作業性に優れる。さらに、冷却風が排出される排出口３９からも離れるため、安全性もよい。   Note that a handle 34 is provided on the upper surface of the UV irradiation lamp 30 to improve workability. However, the installation position of the handle 34 is the center of the handle 34 in the longitudinal direction of the UV irradiation lamp 30 being discharged. It is preferable to be upstream from the center of the lamp 50 in the axis L direction. Since the discharge lamp 50 is installed on the downstream side of the UV irradiation lamp 30, when the handle 34 is positioned on the upstream side, the balance is good in handling the UV irradiation lamp 30, and the workability is excellent. Furthermore, since it leaves | separates from the discharge port 39 from which cooling air is discharged | emitted, safety | security is also good.

なお、ミラー３６の通気口３６１や排気口３９から放電ランプ５０の放射光が漏れないように、遮光板３５、３７を設けるとよい。光漏れを防ぎ、安全性が高い。   The light shielding plates 35 and 37 may be provided so that the radiated light of the discharge lamp 50 does not leak from the vent hole 361 or the exhaust port 39 of the mirror 36. Prevents light leakage and is highly safe.

また、放電ランプ５０への過剰な冷却を避けるために、冷却ファン３２と放電ランプ５０の間に防風板（図示せず）を設けても良い。簡単な構成でありながら、放電ランプ５０を適切な温度に調整可能である。   In order to avoid excessive cooling to the discharge lamp 50, a windbreak plate (not shown) may be provided between the cooling fan 32 and the discharge lamp 50. The discharge lamp 50 can be adjusted to an appropriate temperature with a simple configuration.

１０ ＵＶ照射装置
２０ 電源
３０ ＵＶ照射用灯具
３２ 冷却ファン
３６ ミラー
４０ 給電ケーブル
５０ 放電ランプ
Ｌ 放電ランプの軸線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 UV irradiation apparatus 20 Power supply 30 UV irradiation lamp 32 Cooling fan 36 Mirror 40 Power supply cable 50 Discharge lamp L Discharge lamp axis

Claims (8)

一対の電極を有する直管型の放電ランプと、
前記放電ランプの軸方向に沿って設けられ、前記放電ランプから放射されるＵＶを照射面側に反射するミラーと、
前記放電ランプと前記ミラーを冷却する冷却ファンとを備え、
前記冷却ファンは、前記ミラーの背面側を前記放電ランプの軸に沿って冷却風が流れるように配置されていることを特徴とするＵＶ照射用灯具。 A straight tube type discharge lamp having a pair of electrodes;
A mirror that is provided along the axial direction of the discharge lamp and reflects UV emitted from the discharge lamp toward the irradiation surface;
A cooling fan for cooling the discharge lamp and the mirror;
The UV irradiation lamp, wherein the cooling fan is disposed so that cooling air flows along the axis of the discharge lamp on the back side of the mirror. 前記ミラーには、前記ミラーの背面側から照射面側に冷却風が流れる通気口が備えられていることを特徴とする請求項１に記載のＵＶ照射用灯具。   2. The UV irradiation lamp according to claim 1, wherein the mirror is provided with a vent hole through which cooling air flows from the back side of the mirror to the irradiation surface side. 前記冷却ファンの吸気側面は、前記ＵＶ照射用灯具の上流側の端面を構成することを特徴とする請求項１に記載のＵＶ照射用灯具。   The UV irradiation lamp according to claim 1, wherein an intake side surface of the cooling fan constitutes an upstream end surface of the UV irradiation lamp. 前記ミラーは、前記ミラーの背面が、前記ＵＶ照射用灯具の高さ方向中央よりも上側に配置されていることを特徴とする請求項３に記載のＵＶ照射用灯具。   4. The UV irradiation lamp according to claim 3, wherein a back surface of the mirror is disposed above a center in a height direction of the UV irradiation lamp. 5. 前記ＵＶ照射用灯具の下流側の端面には、冷却風を排気する排気口が備えられ、
前記放電ランプは、前記放電ランプの軸方向中心が、前記ＵＶ照射用灯具の軸方向中心よりも下流側となるように配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のＵＶ照射用灯具。 The downstream end face of the UV irradiation lamp is provided with an exhaust port for exhausting cooling air,
5. The discharge lamp according to claim 1, wherein the discharge lamp is disposed such that an axial center of the discharge lamp is located downstream of an axial center of the UV irradiation lamp. Lamp for UV irradiation described in 1. 前記ＵＶ照射用灯具の上面には把手が備えられており、
前記把手は、前記把手の軸方向中心が前記放電ランプの軸方向中心よりも上流側となるように配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のＵＶ照射用灯具。 A handle is provided on the upper surface of the UV irradiation lamp,
5. The UV irradiation according to claim 1, wherein the handle is arranged so that an axial center of the handle is upstream of an axial center of the discharge lamp. 6. Lamps. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載のＵＶ照射用灯具と、
前記ＵＶ照射用灯具と給電ケーブルを介して接続された電源とを備えることを特徴とするＵＶ照射装置。 A UV irradiation lamp according to any one of claims 1 to 4,
A UV irradiation apparatus comprising the UV irradiation lamp and a power source connected via a power supply cable. 一対の電極を有する放電ランプと、
前記放電ランプの軸方向に沿って設けられ、前記放電ランプ側に向けて開口した通気口が備えられたミラーと、
前記放電ランプと前記ミラーを冷却する冷却ファンとを備え、
前記冷却ファンによって排出された冷却風は、前記ミラーの背面側を前記放電ランプの軸方向に沿って流れ、少なくとも一部が前記通気口を通って前記放電ランプ側に流れることを特徴とするＵＶ照射用灯具。 A discharge lamp having a pair of electrodes;
A mirror provided along the axial direction of the discharge lamp and provided with a vent opening toward the discharge lamp side;
A cooling fan for cooling the discharge lamp and the mirror;
The cooling air discharged by the cooling fan flows on the back side of the mirror along the axial direction of the discharge lamp, and at least a part thereof flows to the discharge lamp side through the vent. Irradiation lamp.
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