JP2016095260A - Torque sensor - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a torque sensor capable of suppressing detachment of a strain sensor from a frame.SOLUTION: A frame 120 comprises: a fixed surface 124 which is a portion of a whole surface 121 pushed down by a bolt 110 as a result of the bolt 110 being screwed to a recess 220 of a shaft 200; and an implementation surface 125 which is a portion of the whole surface 121 corresponding to a hollow part 111 of the bolt 110 and protruding from the fixed surface 124 toward the hollow part 111. Strain sensors 140, 150 are fixed to the implementation surface 125 via glass 130. The frame 120 is embedded in a concavity 230 of the shaft 200 so that its lateral face 123 comes into contact with a tapered surface 231 of the concavity 230. As a result, stress received by the lateral face 123 of the frame 120 from the tapered surface 231 of the concavity 230 at the time of tightening of the bolt 110 is not easily conveyed to the implementation surface 125, and detachment of the strain sensors 140, 150 can be suppressed.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、ＳＡＷ（surface acoustic wave）方式の歪検出素子を備えたトルクセンサに関する。   The present invention relates to a torque sensor provided with a SAW (surface acoustic wave) type strain detection element.

従来より、歪検出素子が板状のフレームの上に設けられて構成されたトルクセンサが、例えば特許文献１で提案されている。歪検出素子は、硬い圧電体のセンサチップとして構成されたＳＡＷ方式のものである。また、フレームは、接着剤やはんだ等の結合手段によって測定対象物に固定される。これにより、トルクにより測定対象物に発生した歪がフレームを介して歪検出素子に伝達するので、歪検出素子によって歪が検出されるようになっている。   Conventionally, for example, Patent Document 1 proposes a torque sensor in which a strain detection element is provided on a plate-like frame. The strain detection element is of the SAW type configured as a hard piezoelectric sensor chip. Further, the frame is fixed to the measurement object by a coupling means such as an adhesive or solder. As a result, the strain generated in the measurement object due to the torque is transmitted to the strain detecting element via the frame, so that the strain is detected by the strain detecting element.

特表２００５−５０５７７５号広報Special table 2005-505775 public information

しかしながら、上記従来の技術では、フレームを測定対象物に固定する際やトルクを測定する際にフレームが変形した場合、硬い歪検出素子がフレームと共に変形しにくいのでフレームから剥離してしまうという問題がある。これにより、測定対象物の歪が歪検出素子に伝わらず、歪の検出精度が低下してしまうという問題がある。   However, in the above-described conventional technology, when the frame is deformed when the frame is fixed to a measurement object or when torque is measured, the hard strain detecting element is difficult to deform together with the frame, so that the frame is peeled off from the frame. is there. As a result, there is a problem in that the strain detection accuracy is lowered because the strain of the measurement object is not transmitted to the strain detection element.

本発明は上記点に鑑み、歪検出素子がフレームから剥離することを抑制することができるトルクセンサを提供することを目的とする。   In view of the above points, an object of the present invention is to provide a torque sensor that can prevent a strain detection element from peeling from a frame.

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、平坦面（２１０）と、当該平坦面（２１０）の一部が凹んだ窪み部（２２０）と、窪み部（２２０）の底面（２２１）の一部が凹んでいると共に窪み部（２２０）の底面（２２１）の面方向におけるサイズが窪み部（２２０）の深さ方向に向かって小さくなるようにテーパ状のテーパ面（２３１）が形成された凹部（２３０）と、を有する測定対象物（２００）のトルクを測定するトルクセンサであって、以下の点を特徴としている。   In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, the flat surface (210), the recessed portion (220) in which a part of the flat surface (210) is recessed, and the bottom surface of the recessed portion (220) ( 221) is partially recessed, and the tapered surface (231) is tapered so that the size in the surface direction of the bottom surface (221) of the recess (220) decreases in the depth direction of the recess (220). Is a torque sensor for measuring the torque of a measurement object (200) having a recess (230) in which is formed, and is characterized by the following points.

まず、一面（１２１）と、当該一面（１２１）の反対側の他面（１２２）と、一面（１２１）及び他面（１２２）に隣接すると共に一面（１２１）から他面（１２２）に向かって当該他面（１２２）のサイズが小さくなるようにテーパ状に形成された側面（１２３）と、を有する板状をなしており、側面（１２３）が凹部（２３０）のテーパ面（２３１）に接触するように凹部（２３０）に嵌め込まれるフレーム（１２０）を備えている。   First, one surface (121), the other surface (122) opposite to the one surface (121), the one surface (121) and the other surface (122) are adjacent to each other, and the one surface (121) faces the other surface (122). And a side surface (123) formed in a tapered shape so that the size of the other surface (122) is reduced, and the side surface (123) is a tapered surface (231) of the recess (230). The frame (120) is fitted into the recess (230) so as to come into contact with the frame.

また、フレーム（１２０）に固定されていると共に、フレーム（１２０）を介して測定対象物（２００）の歪を検出するＳＡＷ方式の歪検出素子（１４０、１５０）と、フレーム（１２０）と歪検出素子（１４０、１５０）との間に配置されると共に、歪検出素子（１４０、１５０）をフレーム（１２０）に固定する固定部（１３０）と、を備えている。   In addition, a SAW strain detection element (140, 150) that is fixed to the frame (120) and detects the strain of the measurement object (200) via the frame (120), and the frame (120) and the strain And a fixing portion (130) that is disposed between the detection elements (140, 150) and fixes the strain detection elements (140, 150) to the frame (120).

そして、フレーム（１２０）は、中空部（１１１）を有する中空円筒状のボルト（１１０）が窪み部（２２０）にネジ止めされることで一面（１２１）のうちボルト（１１０）に押さえ付けられる固定面（１２４）と、一面（１２１）のうちボルト（１１０）の中空部（１１１）に対応する部分が固定面（１２４）から当該中空部（１１１）に突出した実装面（１２５）と、を有している。さらに、歪検出素子（１４０、１５０）は、固定部（１３０）を介して実装面（１２５）に固定されていることを特徴とする。   The frame (120) is pressed against the bolt (110) of the one surface (121) by screwing a hollow cylindrical bolt (110) having a hollow portion (111) into the recess (220). A mounting surface (125) in which a portion corresponding to the hollow portion (111) of the bolt (110) of the one surface (121) protrudes from the fixing surface (124) to the hollow portion (111); have. Furthermore, the strain detection elements (140, 150) are fixed to the mounting surface (125) via the fixing portion (130).

これによると、歪検出素子（１４０、１５０）がフレーム（１２０）の実装面（１２５）に配置されているので、フレーム（１２０）の側面（１２３）から実装面（１２５）までの距離が大きくなっている。このため、ボルト（１１０）の締め付け時にフレーム（１２０）の側面（１２３）が凹部（２３０）のテーパ面（２３１）から受けた応力は実装面（１２５）に伝わりにくくなるので、実装面（１２５）の変形を抑制することができる。したがって、フレーム（１２０）がボルト（１１０）によって測定対象物（２００）に固定されたとしても、歪検出素子（１４０、１５０）がフレーム（１２０）から剥離することを抑制することができる。   According to this, since the strain detection elements (140, 150) are arranged on the mounting surface (125) of the frame (120), the distance from the side surface (123) of the frame (120) to the mounting surface (125) is large. It has become. For this reason, the stress received by the side surface (123) of the frame (120) from the tapered surface (231) of the recess (230) during tightening of the bolt (110) is not easily transmitted to the mounting surface (125). ) Can be suppressed. Therefore, even if the frame (120) is fixed to the measurement object (200) by the bolt (110), the strain detection elements (140, 150) can be prevented from peeling from the frame (120).

なお、この欄及び特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in this column and the claim shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.

本発明の第１実施形態に係るトルクセンサの平面図である。1 is a plan view of a torque sensor according to a first embodiment of the present invention. 図１のII−II断面図である。It is II-II sectional drawing of FIG. 図１に示されたフレームの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the frame shown in FIG. 1. 図１に示されたフレームの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the frame shown in FIG. 1. 実装面の高さを変化させたときの実装面の面方向及び垂直方向の変形量の変化を示した図である。It is the figure which showed the change of the deformation | transformation amount of the surface direction of a mounting surface when changing the height of a mounting surface, and a perpendicular direction. 実装面の高さを変化させたときのシャフトのトルクと歪との関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the torque and distortion of a shaft when changing the height of a mounting surface. 各歪検出素子、切り欠き部、及び貫通孔の配置を示した図である。It is the figure which showed arrangement | positioning of each distortion | strain detection element, a notch part, and a through-hole. トルクの時間変化を示した図である。It is the figure which showed the time change of the torque. 本発明の第２実施形態に係るフレームの平面図である。It is a top view of the frame concerning a 2nd embodiment of the present invention.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, the same or equivalent parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係るトルクセンサは、例えば自動車等の車両に搭載されて車両の制御等に利用される。具体的には、図１及び図２に示されるように、トルクセンサ１００は測定対象物であるシャフト２００のトルクを測定する。 (First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The torque sensor according to the present embodiment is mounted on a vehicle such as an automobile and is used for controlling the vehicle. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, the torque sensor 100 measures the torque of the shaft 200 that is a measurement object.

シャフト２００は、平坦面２１０、窪み部２２０、及び凹部２３０を有する金属製の棒部材である。平坦面２１０はいわゆるザグリである。窪み部２２０は、平坦面２１０の一部が穴状に凹んだ部分である。さらに、凹部２３０は、窪み部２２０の底面２２１の一部が凹んだ部分である。凹部２３０は、窪み部２２０の底面２２１の面方向におけるサイズが窪み部２２０の深さ方向に向かって小さくなるようにテーパ状のテーパ面２３１が形成されている。   The shaft 200 is a metal bar member having a flat surface 210, a recess 220, and a recess 230. The flat surface 210 is a so-called counterbore. The recessed portion 220 is a portion in which a part of the flat surface 210 is recessed in a hole shape. Further, the recess 230 is a portion where a part of the bottom surface 221 of the recess 220 is recessed. The recess 230 is formed with a tapered surface 231 so that the size in the surface direction of the bottom surface 221 of the recess 220 becomes smaller in the depth direction of the recess 220.

一方、トルクセンサ１００は、ボルト１１０、フレーム１２０、ガラス１３０、第１歪検出素子１４０、第２歪検出素子１５０、及びプリント基板１６０、１７０を備えて構成されている。   On the other hand, the torque sensor 100 includes a bolt 110, a frame 120, a glass 130, a first strain detection element 140, a second strain detection element 150, and printed circuit boards 160 and 170.

ボルト１１０は、シャフト２００の窪み部２２０にネジ止めされることでフレーム１２０をシャフト２００に固定する締結手段である。図１及び図２に示されるように、ボルト１１０は、中空部１１１を有する中空円筒状であり、中心軸の軸方向に貫通している。中空部１１１の径は例えばφ１３である。また、ボルト１１０は、外壁面１１２に雄ネジが形成されている。ボルト１１０は、いわゆる六角の中空ボルトである。   The bolt 110 is a fastening unit that fixes the frame 120 to the shaft 200 by being screwed to the recess 220 of the shaft 200. As shown in FIGS. 1 and 2, the bolt 110 has a hollow cylindrical shape having a hollow portion 111 and penetrates in the axial direction of the central axis. The diameter of the hollow portion 111 is, for example, φ13. The bolt 110 has a male screw formed on the outer wall surface 112. The bolt 110 is a so-called hexagonal hollow bolt.

フレーム１２０は、一面１２１、当該一面１２１の反対側の他面１２２、一面１２１及び他面１２２に隣接する側面１２３を有する板状の部品である。側面１２３は、一面１２１から他面１２２に向かって当該他面１２２のサイズが小さくなるようにテーパ状に形成されている。このようなフレームは、側面１２３が窪み部２２０の凹部２３０のテーパ面２３１に接触するように凹部２３０に嵌め込まれる。   The frame 120 is a plate-shaped component having one surface 121, another surface 122 opposite to the one surface 121, one surface 121, and a side surface 123 adjacent to the other surface 122. The side surface 123 is tapered so that the size of the other surface 122 decreases from the one surface 121 toward the other surface 122. Such a frame is fitted into the recess 230 such that the side surface 123 contacts the tapered surface 231 of the recess 230 of the recess 220.

図３及び図４に示されるように、フレーム１２０の一面１２１の平面形状は円形になっている。つまり、フレーム１２０は円板状になっている。また、フレーム１２０の一面１２１は、固定面１２４と実装面１２５とを含んでいる。   As shown in FIGS. 3 and 4, the planar shape of the one surface 121 of the frame 120 is circular. That is, the frame 120 has a disk shape. One surface 121 of the frame 120 includes a fixed surface 124 and a mounting surface 125.

固定面１２４は、ボルト１１０が窪み部２２０にネジ止めされることでボルト１１０に押さえ付けられるリング状の部分である。実装面１２５は、フレーム１２０の一面１２１のうちボルト１１０の中空部１１１に対応する部分が固定面１２４から当該中空部１１１に突出した部分であり、円形の面である。つまり、フレーム１２０は、一面１２１の一部が盛り上がった段差部を有していると言える。フレーム１２０の一面１２１のうちの段差部の周囲がボルト１１０に接触する部分に該当する。   The fixing surface 124 is a ring-shaped portion that is pressed against the bolt 110 when the bolt 110 is screwed to the recess 220. The mounting surface 125 is a circular surface where a portion of the surface 121 of the frame 120 corresponding to the hollow portion 111 of the bolt 110 protrudes from the fixed surface 124 to the hollow portion 111. That is, it can be said that the frame 120 has a stepped portion with a part of one surface 121 raised. The periphery of the stepped portion of the one surface 121 of the frame 120 corresponds to a portion in contact with the bolt 110.

フレーム１２０において、他面１２２から固定面１２４までの厚みは例えば３．５ｍｍである。また、フレーム１２０において、固定面１２４に対する実装面１２５の高さは例えば１．５ｍｍ〜３ｍｍである。   In the frame 120, the thickness from the other surface 122 to the fixed surface 124 is, for example, 3.5 mm. In the frame 120, the height of the mounting surface 125 with respect to the fixed surface 124 is, for example, 1.5 mm to 3 mm.

また、フレーム１２０は、側面１２３に形成された切り欠き部１２６を有している。切り欠き部１２６は、側面１２３の一部が凹んだ部分であり、ボルト１１０の回転中心軸を中心とした当該フレーム１２０の回転を禁止する役割を果たす。具体的には、シャフト２００の窪み部２２０及び凹部２３０のうちフレーム１２０の切り欠き部１２６に対応する部分にノックピン１８０が立てられる。これにより、フレーム１２０が凹部２３０に嵌め込まれると、フレーム１２０の切り欠き部１２６にノックピン１８０が差し込まれるので、切り欠き部１２６とノックピン１８０とが互いに引っ掛かる。   The frame 120 also has a notch 126 formed on the side surface 123. The cutout portion 126 is a portion where the side surface 123 is partially recessed, and plays a role of prohibiting the rotation of the frame 120 around the rotation center axis of the bolt 110. Specifically, the knock pin 180 is erected at a portion corresponding to the notch 126 of the frame 120 in the recess 220 and the recess 230 of the shaft 200. As a result, when the frame 120 is fitted into the recess 230, the knock pin 180 is inserted into the notch 126 of the frame 120, so that the notch 126 and the knock pin 180 are hooked together.

これにより、フレーム１２０の回転が禁止されるので、シャフト２００に対するボルト１１０の締め付け時にフレーム１２０がボルト１１０と共に回転してしまうことを防止することができる。また、凹部２３０に対するフレーム１２０の位置を固定することができる。   Thereby, since the rotation of the frame 120 is prohibited, it is possible to prevent the frame 120 from rotating together with the bolt 110 when the bolt 110 is fastened to the shaft 200. Further, the position of the frame 120 with respect to the recess 230 can be fixed.

さらに、フレーム１２０は、貫通孔１２７を有している。貫通孔１２７は、フレーム１２０の一部を一面１２１から他面１２２に貫通した孔である。この貫通孔１２７は、フレーム１２０が凹部２３０に嵌まったとき、図示しない治具でフレーム１２０を凹部２３０から取り外すための孔である。これにより、例えば、ボルト１１０がシャフト２００から外されたときに窪み部２２０の凹部２３０からフレーム１２０を取り外しやすくすることができる。   Further, the frame 120 has a through hole 127. The through hole 127 is a hole that penetrates a part of the frame 120 from the one surface 121 to the other surface 122. The through hole 127 is a hole for removing the frame 120 from the recess 230 with a jig (not shown) when the frame 120 is fitted in the recess 230. Thereby, for example, when the bolt 110 is removed from the shaft 200, the frame 120 can be easily removed from the recess 230 of the recess 220.

そして、図３に示されるように、上記の切り欠き部１２６及び貫通孔１２７は、フレーム１２０において、シャフト２００に発生するであろうねじれの軸に沿った中心軸２４０の上に配置されている。中心軸２４０は、シャフト２００に発生するであろうねじれの軸をフレーム１２０の一面１２１に投影した軸であり、フレーム１２０の一面１２１を２分割する軸中心線に対応している。フレーム１２０は、中心軸２４０がシャフト２００の長手方向に平行になるように窪み部２２０の凹部２３０に嵌め込まれる。このように切り欠き部１２６及び貫通孔１２７をフレーム１２０の中心軸２４０上に設けることにより、シャフト２００からフレーム１２０に伝わる歪み特性の悪化を抑制することができる。   As shown in FIG. 3, the notch 126 and the through hole 127 are arranged on the center axis 240 along the axis of torsion that will occur in the shaft 200 in the frame 120. . The central axis 240 is an axis obtained by projecting the axis of torsion that will occur on the shaft 200 onto the one surface 121 of the frame 120, and corresponds to an axial center line that divides the one surface 121 of the frame 120 into two. The frame 120 is fitted into the recess 230 of the recess 220 so that the central axis 240 is parallel to the longitudinal direction of the shaft 200. Thus, by providing the notch 126 and the through hole 127 on the central axis 240 of the frame 120, it is possible to suppress the deterioration of the distortion characteristics transmitted from the shaft 200 to the frame 120.

ガラス１３０は、フレーム１２０の実装面１２５と第１歪検出素子１４０との間、及び実装面１２５と第２歪検出素子１５０との間に配置されると共に、各歪検出素子１４０、１５０をフレーム１２０の実装面１２５に固定するための固定部材である。ガラス１３０の材質として、例えば鉛系が採用される。このような鉛系のガラス１３０の熱膨張係数αは１０．０以上、１６．０以下であり、具体的には１５．４ｐｐｍ／Ｋである。さらに、鉛系のガラス１３０の焼成温度は４００℃未満であり、ガラス転移温度は２２０℃である。つまり、ガラス１３０は、低融点ガラスが材料となっている。   The glass 130 is disposed between the mounting surface 125 of the frame 120 and the first strain detecting element 140, and between the mounting surface 125 and the second strain detecting element 150, and each strain detecting element 140, 150 is attached to the frame. This is a fixing member for fixing to the mounting surface 125 of 120. As the material of the glass 130, for example, a lead-based material is adopted. Such a lead-based glass 130 has a thermal expansion coefficient α of 10.0 or more and 16.0 or less, and specifically 15.4 ppm / K. Furthermore, the firing temperature of the lead-based glass 130 is less than 400 ° C., and the glass transition temperature is 220 ° C. That is, the glass 130 is made of low melting point glass.

第１歪検出素子１４０及び第２歪検出素子１５０は、ガラス１３０を介してフレーム１２０の一面１２１（実装面１２５）に固定されていると共に、フレーム１２０を介してシャフト２００の歪を検出するＳＡＷ方式の歪計測センサである。   The first strain detection element 140 and the second strain detection element 150 are fixed to one surface 121 (mounting surface 125) of the frame 120 through the glass 130, and detect the strain of the shaft 200 through the frame 120. This is a strain measurement sensor of the type.

図示しないが、各歪検出素子１４０、１５０は、第１弾性表面波素子としての第１ＳＡＷ共振子を有する第１発振回路と、第２弾性表面波素子としての第２ＳＡＷ共振子４２を有する第２発振回路とを備え、第１、第２発振回路によって２つの発振器が形成されている。ＳＡＷ方式の歪み検出素子の構成は周知であるので、詳しい説明を省略するが、第１ＳＡＷ共振子を有する発振回路の発振周波数と、第２ＳＡＷ共振子を有する発振回路の発振周波数とが異なり、両者の差である差周波は微小な周波数となっている。すなわち、各歪検出素子１４０、１５０は所望の微小な差周波に設定されている。   Although not shown, each of the strain detection elements 140 and 150 includes a first oscillation circuit having a first SAW resonator as a first surface acoustic wave element and a second SAW resonator 42 as a second surface acoustic wave element. And two oscillators are formed by the first and second oscillation circuits. Since the configuration of the SAW type strain sensing element is well known, detailed description is omitted, but the oscillation frequency of the oscillation circuit having the first SAW resonator is different from the oscillation frequency of the oscillation circuit having the second SAW resonator. The difference frequency, which is the difference between the two, is a minute frequency. That is, each strain detection element 140, 150 is set to a desired minute difference frequency.

そして、図３に示されるように、各歪検出素子１４０、１５０は各歪検出素子１４０、１５０の長手方向がそれぞれ所定の角度で交差するようにハの字状に配置されている。すなわち、各歪検出素子１４０、１５０は、フレーム１２０の実装面１２５において、上述の中心軸２４０に対して線対称に配置されている。   As shown in FIG. 3, the strain detection elements 140 and 150 are arranged in a square shape so that the longitudinal directions of the strain detection elements 140 and 150 intersect at a predetermined angle. That is, the strain detection elements 140 and 150 are arranged in line symmetry with respect to the above-described central axis 240 on the mounting surface 125 of the frame 120.

このような配置によると、シャフト２００にねじれ等により歪が生じた場合、例えば圧縮ひずみが一方の第１歪検出素子１４０に発生し、引張ひずみが他方の第２歪検出素子１５０に発生する。したがって、各歪検出素子１４０、１５０は、歪を第１、第２ＳＡＷ共振子の発振周波数の差の変化として検出する。   According to such an arrangement, when the shaft 200 is distorted due to torsion or the like, for example, a compressive strain is generated in one first strain detecting element 140 and a tensile strain is generated in the other second strain detecting element 150. Accordingly, each of the strain detection elements 140 and 150 detects the strain as a change in the difference between the oscillation frequencies of the first and second SAW resonators.

プリント基板１６０、１７０は、各歪検出素子１４０、１５０を外部と電気的に接続するための中継部品である。このため、プリント基板１６０、１７０は端子部をそれぞれ備えている。プリント基板１６０、１７０は例えば接着剤でフレーム１２０の実装面１２５に固定されている。端子部は各歪検出素子に対して図示しないボンディングワイヤで接続されている。図２では、各歪検出素子１４０、１５０、ガラス１３０、プリント基板１６０、１７０を省略している。   The printed circuit boards 160 and 170 are relay parts for electrically connecting the strain detection elements 140 and 150 to the outside. For this reason, the printed circuit boards 160 and 170 are each provided with a terminal portion. The printed circuit boards 160 and 170 are fixed to the mounting surface 125 of the frame 120 with an adhesive, for example. The terminal portion is connected to each strain detection element by a bonding wire (not shown). In FIG. 2, the strain detection elements 140 and 150, the glass 130, and the printed boards 160 and 170 are omitted.

なお、端子部は、ボルト１１０の中空部１１１を閉じるようにボルト１１０の頭部に設けられた図示しないキャップを介して外部と電気的に接続される。キャップは、各歪検出素子１４０、１５０等を被覆保護すると共に、プリント基板１６０、１７０から配線を外部に取り出すための取り出し部を有している。以上が、本実施形態に係るトルクセンサ１００の全体構成である。   The terminal portion is electrically connected to the outside via a cap (not shown) provided at the head of the bolt 110 so as to close the hollow portion 111 of the bolt 110. The cap covers and protects each strain detection element 140, 150 and the like, and has a takeout portion for taking out the wiring from the printed circuit boards 160, 170 to the outside. The above is the overall configuration of the torque sensor 100 according to the present embodiment.

次に、フレーム１２０に実装面１２５が設けられたことの作用効果について説明する。まず、発明者らは、シャフト２００の凹部２３０にフレーム１２０を嵌め込み、ボルト１１０で締め付けたときのフレーム１２０の実装面１２５の面方向と垂直方向の変形量を調べた。この調査は、固定面１２４を基準とした実装面１２５の高さを０ｍｍ、１．５ｍｍ、３ｍｍとしたときについて行った。その結果を図５に示す。   Next, the effect of providing the mounting surface 125 on the frame 120 will be described. First, the inventors examined the amount of deformation in the direction perpendicular to the surface direction of the mounting surface 125 of the frame 120 when the frame 120 was fitted into the recess 230 of the shaft 200 and tightened with the bolt 110. This investigation was performed when the height of the mounting surface 125 with respect to the fixed surface 124 was set to 0 mm, 1.5 mm, and 3 mm. The result is shown in FIG.

図５の各グラフの横軸はフレーム１２０の一面１２１の面方向の長さであり中心が実装面１２５の中心位置に対応している。また、面方向の変形量を示したグラフの縦軸は、実装面１２５の面方向のある一点の変形量（移動量）の大きさを示している。具体的には、ボルト１１０による締め付けによって実装面１２５が面方向においてどれくらい移動したのかを実装面１２５の中心から（ｘ2＋ｙ2）1/2を演算することで得た結果である。 The horizontal axis of each graph in FIG. 5 is the length in the surface direction of the one surface 121 of the frame 120, and the center corresponds to the center position of the mounting surface 125. Further, the vertical axis of the graph showing the deformation amount in the surface direction indicates the magnitude of the deformation amount (movement amount) at one point in the surface direction of the mounting surface 125. Specifically, this is a result obtained by calculating (x 2 + y 2 ) 1/2 from the center of the mounting surface 125 to determine how much the mounting surface 125 has moved in the surface direction by tightening with the bolt 110.

そして、実装面１２５の高さが０ｍｍ、すなわち固定面１２４と実装面１２５とが同一面の場合、面方向の変形量については、フレーム１２０に対するボルト１１０の締め付け力が大きくなるほど実装面１２５の外縁部の変形が大きくなった。これに対し、固定面１２４に対して実装面１２５の高さを＋１．５ｍｍとすると実装面１２５の外縁部の変形が０ｍｍに対して約４０％減少した。さらに、固定面１２４に対して実装面１２５の高さを＋３ｍｍとすると実装面１２５の外縁部の変形が０ｍｍに対して約６０％減少した。   When the height of the mounting surface 125 is 0 mm, that is, when the fixed surface 124 and the mounting surface 125 are the same surface, the outer edge of the mounting surface 125 increases as the tightening force of the bolt 110 with respect to the frame 120 increases. The deformation of the part has increased. On the other hand, when the height of the mounting surface 125 is +1.5 mm with respect to the fixed surface 124, the deformation of the outer edge portion of the mounting surface 125 is reduced by about 40% with respect to 0 mm. Further, when the height of the mounting surface 125 is +3 mm with respect to the fixed surface 124, the deformation of the outer edge portion of the mounting surface 125 is reduced by about 60% with respect to 0 mm.

また、垂直方向の変形量を示したグラフの縦軸は、実装面１２５の垂直方向の変形量の大きさを示している。具体的には、ボルト１１０による締め付けによって実装面１２５が垂直方向においてどれくらい移動したのかを測定した結果である。   The vertical axis of the graph showing the amount of deformation in the vertical direction indicates the amount of deformation in the vertical direction of the mounting surface 125. Specifically, it is a result of measuring how much the mounting surface 125 has moved in the vertical direction by tightening with the bolt 110.

実装面１２５の高さが０ｍｍ、すなわち固定面１２４と実装面１２５とが同一面の場合、垂直方向の変形量については、フレーム１２０に対するボルト１１０の締め付け力が大きくなるほど実装面１２５の中央部が大きく盛り上がった。これに対し、固定面１２４に対して実装面１２５の高さを＋１．５ｍｍとすると実装面１２５の中央部の盛り上がりが０ｍｍの場合に対して約４０％減少した。また、固定面１２４に対して実装面１２５の高さを＋３ｍｍとすると実装面１２５の中央部の変形が０ｍｍの場合に対して約６５％減少した。   When the mounting surface 125 has a height of 0 mm, that is, the fixed surface 124 and the mounting surface 125 are the same surface, the vertical deformation amount is such that the central portion of the mounting surface 125 increases as the tightening force of the bolt 110 against the frame 120 increases. It was a big excitement. On the other hand, when the height of the mounting surface 125 is +1.5 mm with respect to the fixed surface 124, the rise of the central portion of the mounting surface 125 is reduced by about 40% compared to the case where the height is 0 mm. In addition, when the height of the mounting surface 125 is +3 mm with respect to the fixed surface 124, the deformation of the central portion of the mounting surface 125 is reduced by about 65% compared to the case where the deformation is 0 mm.

以上の結果から、フレーム１２０の固定面１２４に対して実装面１２５を高くすることでボルト１１０の締め付けによる実装面１２５の変形を小さくすることができることがわかる。すなわち、フレーム１２０の実装面１２５の高さを固定面１２４より高くすることで、ボルト１１０の軸力で押されることによるフレーム１２０の垂直方向の変形を抑制できる。また、ボルト１１０の底部がフレーム１２０に接触した後にボルト１１０の回転方向に変形するフレーム１２０の水平方向の変形の両方を抑制することができる。   From the above results, it can be seen that by increasing the mounting surface 125 with respect to the fixed surface 124 of the frame 120, deformation of the mounting surface 125 due to tightening of the bolt 110 can be reduced. That is, by making the height of the mounting surface 125 of the frame 120 higher than the fixed surface 124, it is possible to suppress the vertical deformation of the frame 120 caused by being pushed by the axial force of the bolt 110. In addition, both horizontal deformation of the frame 120 that deforms in the rotational direction of the bolt 110 after the bottom of the bolt 110 contacts the frame 120 can be suppressed.

そして、本実施形態では、各歪検出素子１４０、１５０がフレーム１２０の実装面１２５に配置されている。これにより、フレーム１２０の側面１２３から実装面１２５までの距離が大きくなる。このため、フレーム１２０に対するボルト１１０の締め付け時にフレーム１２０の側面１２３がシャフト２００の凹部２３０のテーパ面２３１から受けた応力が実装面１２５に伝わりにくくなる。したがって、フレーム１２０の実装面１２５の変形を抑制することができる。フレーム１２０の実装面１２５の変形が抑制されるので、各歪検出素子１４０、１５０が実装面１２５から剥離することを抑制することができる。   In the present embodiment, the strain detection elements 140 and 150 are arranged on the mounting surface 125 of the frame 120. Thereby, the distance from the side surface 123 of the frame 120 to the mounting surface 125 is increased. For this reason, the stress received by the side surface 123 of the frame 120 from the tapered surface 231 of the recess 230 of the shaft 200 during tightening of the bolt 110 to the frame 120 is difficult to be transmitted to the mounting surface 125. Therefore, deformation of the mounting surface 125 of the frame 120 can be suppressed. Since deformation of the mounting surface 125 of the frame 120 is suppressed, it is possible to suppress the respective strain detection elements 140 and 150 from peeling from the mounting surface 125.

ここで、図６に示されるように、トルクと歪とは比例の関係になるが、フレーム１２０において固定面１２４に対する実装面１２５の高さが大きくなるほど、トルクに対する歪の傾きが小さくなる。つまり、実装面１２５が高いほどトルクセンサ１００の感度が下がることがわかった。したがって、トルクセンサ１００の感度をどれくらいに設定するかに応じて実装面１２５の高さを設計することが望ましい。   Here, as shown in FIG. 6, the torque and the strain are in a proportional relationship. However, as the height of the mounting surface 125 with respect to the fixed surface 124 in the frame 120 increases, the inclination of the strain with respect to the torque decreases. That is, it was found that the sensitivity of the torque sensor 100 decreases as the mounting surface 125 increases. Therefore, it is desirable to design the height of the mounting surface 125 according to how much sensitivity of the torque sensor 100 is set.

さらに、発明者らは、フレーム１２０の実装面１２５における各歪検出素子１４０、１５０、切り欠き部１２６、及び貫通孔１２７の配置によるトルクセンサ１００の歪特性及び温度特性について検討した。なお、図７ではプリント基板１６０、１７０を省略している。   Furthermore, the inventors examined the strain characteristics and temperature characteristics of the torque sensor 100 according to the arrangement of the strain detection elements 140 and 150, the cutout portions 126, and the through holes 127 on the mounting surface 125 of the frame 120. In FIG. 7, the printed circuit boards 160 and 170 are omitted.

まず、図７（ａ）に示されるように、各歪検出素子１４０、１５０は中心軸２４０に対して対称に配置されているが、切り欠き部１２６及び貫通孔１２７が中心軸２４０上に設けられていない配置を検討した。その結果、シャフト２００が回転すると切り欠き部１２６や貫通孔１２７にねじれの応力が集中するので、各歪検出素子１４０、１５０の歪特性が悪化することがわかった。   First, as shown in FIG. 7A, the strain detecting elements 140 and 150 are arranged symmetrically with respect to the central axis 240, but the notch 126 and the through hole 127 are provided on the central axis 240. The arrangement which was not done was examined. As a result, it was found that when the shaft 200 rotates, torsional stress concentrates on the notch 126 and the through hole 127, so that the strain characteristics of the strain detection elements 140 and 150 deteriorate.

また、図７（ｂ）に示されるように、各歪検出素子１４０、１５０、切り欠き部１２６、及び貫通孔１２７が対称に配置されているが、中心軸２４０に対して直角の方向に配置されたものを検討した。つまり、配置は中心軸２４０に対して非対称になっている。このような配置では、シャフト２００の長手方向に温度勾配が生じる場合、各歪検出素子１４０、１５０のいずれか一方が他方よりも温度が高くなるので、図８（ａ）に示されるようにトルクにオフセット成分が発生することがわかった。つまり、図７（ｂ）に示された配置ではトルクセンサ１００の温度特性が悪化することがわかった。   Further, as shown in FIG. 7B, the strain detection elements 140 and 150, the notch 126, and the through hole 127 are arranged symmetrically, but are arranged in a direction perpendicular to the central axis 240. We examined what was done. That is, the arrangement is asymmetric with respect to the central axis 240. In such an arrangement, when a temperature gradient occurs in the longitudinal direction of the shaft 200, either one of the strain detection elements 140 and 150 has a higher temperature than the other, so that the torque as shown in FIG. It was found that an offset component was generated. That is, it has been found that the temperature characteristics of the torque sensor 100 are deteriorated in the arrangement shown in FIG.

これらに対し、図７（ｃ）に示されるように、フレーム１２０の中心軸２４０に対して各歪検出素子１４０、１５０、切り欠き部１２６、及び貫通孔１２７が対称に配置されたものを検討した。その結果、シャフト２００が回転しても切り欠き部１２６や貫通孔１２７にねじれの応力が集中しにくいので、各歪検出素子１４０、１５０の歪特性は良好な結果となった。また、図８（ｂ）に示されるように、図７（ｂ）の配置と比較してトルクのオフセット成分が小さくなった。これは、各歪検出素子１４０、１５０の温度差が小さくなったからである。   On the other hand, as shown in FIG. 7C, a case where the strain detection elements 140 and 150, the notch 126, and the through hole 127 are arranged symmetrically with respect to the central axis 240 of the frame 120 is considered. did. As a result, even if the shaft 200 is rotated, the twisting stress is not easily concentrated on the notch 126 and the through-hole 127, so that the strain characteristics of the strain detecting elements 140 and 150 are good. Further, as shown in FIG. 8B, the torque offset component is smaller than the arrangement of FIG. 7B. This is because the temperature difference between the strain detection elements 140 and 150 is reduced.

以上のように、図７（ｃ）に示された配置、すなわち中心軸２４０に対して各歪検出素子１４０、１５０、切り欠き部１２６、及び貫通孔１２７を対称に配置することで、トルクセンサ１００の歪特性及び温度特性の悪化を抑制することができる。   As described above, the arrangement shown in FIG. 7C, that is, by arranging the strain detection elements 140, 150, the notch 126, and the through hole 127 symmetrically with respect to the central axis 240, the torque sensor The deterioration of the strain characteristic and temperature characteristic of 100 can be suppressed.

なお、本実施形態の記載と特許請求の範囲の記載との対応関係については、ガラス１３０が特許請求の範囲の「固定部」に対応し、切り欠き部１２６が特許請求の範囲の「回り止め部」に対応する。また、シャフト２００が特許請求の範囲の「測定対象物」に対応する。   In addition, regarding the correspondence between the description of the present embodiment and the description of the claims, the glass 130 corresponds to the “fixed portion” of the claims, and the notch portion 126 corresponds to the “rotation stop” of the claims. Part. The shaft 200 corresponds to a “measurement object” in the claims.

（第２実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分について説明する。図９に示されるように、フレーム１２０は、側面１２３に形成された突出部１２８を有している。突出部１２８は、側面１２３の一部が中心軸２４０上に当該中心軸２４０に沿って突出した部分である。本実施形態では突出部１２８は、２カ所設けられているが、１カ所でも良い。 (Second Embodiment)
In the present embodiment, parts different from the first embodiment will be described. As shown in FIG. 9, the frame 120 has a protruding portion 128 formed on the side surface 123. The protruding portion 128 is a portion in which a part of the side surface 123 protrudes on the central axis 240 along the central axis 240. In the present embodiment, two protrusions 128 are provided, but one protrusion may be provided.

そして、図示しないが、シャフト２００の凹部２３０にはフレーム１２０の突出部１２８が嵌まる部分が設けられている。これにより、突出部１２８は、ボルト１１０の中心軸を中心とした当該フレーム１２０の回転を禁止する役割を果たす。このように、フレーム１２０の回転を禁止する回り止め部として突出部１２８を採用することもできる。   And although not shown in figure, the recessed part 230 of the shaft 200 is provided with the part into which the protrusion part 128 of the flame | frame 120 fits. Thereby, the protrusion 128 plays a role of prohibiting the rotation of the frame 120 around the central axis of the bolt 110. As described above, the projecting portion 128 can also be employed as a rotation preventing portion that prohibits the rotation of the frame 120.

なお、本実施形態の記載と特許請求の範囲の記載との対応関係については、突出部１２８が特許請求の範囲の「回り止め部」に対応する。   As for the correspondence between the description of the present embodiment and the description of the claims, the protruding portion 128 corresponds to the “rotation preventing portion” of the claims.

（他の実施形態）
上記各実施形態で示されたトルクセンサ１００の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、トルクセンサ１００はボルト１１０を備えていなくても良い。つまり、ボルト１１０はトルクセンサ１００とは別に用意されていれば良い。 (Other embodiments)
The configuration of the torque sensor 100 shown in each of the above embodiments is an example, and is not limited to the configuration shown above, and may be another configuration that can realize the present invention. For example, the torque sensor 100 may not include the bolt 110. That is, the bolt 110 may be prepared separately from the torque sensor 100.

上記各実施形態では、各歪検出素子１４０、１５０はガラス１３０によってフレーム１２０の実装面１２５に固定されていたが、ガラス１３０は固定手段の一例である。したがって、ガラス１３０ではない他の材料を固定手段として用いても良い。   In each of the above embodiments, the strain detection elements 140 and 150 are fixed to the mounting surface 125 of the frame 120 by the glass 130, but the glass 130 is an example of a fixing unit. Therefore, another material other than the glass 130 may be used as the fixing means.

上記各実施形態では、フレーム１２０の回転を禁止する回り止め部として切り欠き部１２６や突出部１２８が示されているが、これは一例である。したがって、他の手段によってフレーム１２０の回転を禁止しても良い。例えば、フレーム１２０の他面１２２のうちの中心軸２４０上に突起部を設けても良い。この場合、シャフト２００の凹部２３０に突起部が嵌め込まれる穴を設ければ良い。   In each of the above embodiments, the notch 126 and the protruding portion 128 are shown as the rotation preventing portion that prohibits the rotation of the frame 120, but this is an example. Therefore, the rotation of the frame 120 may be prohibited by other means. For example, a protrusion may be provided on the central axis 240 of the other surface 122 of the frame 120. In this case, a hole into which the protruding portion is fitted may be provided in the concave portion 230 of the shaft 200.

また、フレーム１２０の一面１２１及び他面１２２を四角形状に形成し、フレーム１２０の４つの角部を回り止め部として機能させても良い。さらに、フレーム１２０の一面１２１及び他面１２２が円形の外縁部のうちの２カ所が直線状に切り落とされた形状になっていても良い。これにより、フレーム１２０の当該直線部が回り止め部として機能する。この場合、シャフト２００の凹部２３０はフレームの形状に合わせて形成されていれば良い。   Further, the one surface 121 and the other surface 122 of the frame 120 may be formed in a quadrangular shape, and the four corners of the frame 120 may function as rotation preventing portions. Further, the one surface 121 and the other surface 122 of the frame 120 may have a shape in which two of the circular outer edge portions are cut off linearly. Thereby, the said linear part of the frame 120 functions as a rotation prevention part. In this case, the recessed part 230 of the shaft 200 should just be formed according to the shape of the frame.

シャフト２００の凹部２３０に嵌め込まれたフレーム１２０は、当該フレーム１２０の他面１２２が凹部２３０の底面に接触している必要はない。すなわち、フレーム１２０の他面１２２が凹部２３０の底面と離間していても良い。そして、少なくともフレーム１２０の側面１２３が凹部２３０のテーパ面２３１に接触していれば良い。   The frame 120 fitted into the recess 230 of the shaft 200 does not have to have the other surface 122 of the frame 120 in contact with the bottom surface of the recess 230. That is, the other surface 122 of the frame 120 may be separated from the bottom surface of the recess 230. In addition, at least the side surface 123 of the frame 120 may be in contact with the tapered surface 231 of the recess 230.

上記各実施形態では、トルクセンサ１００は車両に用いられるものであったが、これはトルクセンサ１００の利用形態の一例であり、もちろん車両以外に用いられても良い。   In each of the above embodiments, the torque sensor 100 is used for a vehicle. However, this is an example of a usage form of the torque sensor 100, and may be used for other than a vehicle.

さらに、上記各実施形態では、測定対象物として金属製のシャフト２００を例に説明したが、測定対象物はシャフト２００に限られない。例えば、測定対象物は、板部材でも良い。この場合、フレーム１２０の中心軸２４０は板部材のねじれの軸に沿って設定される。   Furthermore, in each said embodiment, although the metal shaft 200 was demonstrated to the example as a measuring object, a measuring object is not restricted to the shaft 200. FIG. For example, the measurement object may be a plate member. In this case, the central axis 240 of the frame 120 is set along the axis of twist of the plate member.

上記各実施形態では、各歪検出素子１４０、１５０の検出方式として発振周波数法を用いているが、位相差法を用いても良い。   In each of the above embodiments, the oscillation frequency method is used as a detection method for each of the strain detection elements 140 and 150, but a phase difference method may be used.

１１０ ボルト
１１１ 中空部
１２０ フレーム
１２１ 一面
１２２ 他面
１２３ 側面
１２４ 固定面
１２５ 実装面
１３０ ガラス（固定部）
１４０、１５０ 歪検出素子 110 Bolt 111 Hollow portion 120 Frame 121 One surface 122 Other surface 123 Side surface 124 Fixed surface 125 Mounting surface 130 Glass (fixed portion)
140, 150 Strain detection element

Claims (7)

平坦面（２１０）と、当該平坦面（２１０）の一部が凹んだ窪み部（２２０）と、前記窪み部（２２０）の底面（２２１）の一部が凹んでいると共に前記窪み部（２２０）の底面（２２１）の面方向におけるサイズが前記窪み部（２２０）の深さ方向に向かって小さくなるようにテーパ状のテーパ面（２３１）が形成された凹部（２３０）と、を有する測定対象物（２００）のトルクを測定するトルクセンサであって、
一面（１２１）と、当該一面（１２１）の反対側の他面（１２２）と、前記一面（１２１）及び前記他面（１２２）に隣接すると共に前記一面（１２１）から前記他面（１２２）に向かって当該他面（１２２）のサイズが小さくなるようにテーパ状に形成された側面（１２３）と、を有する板状をなしており、前記側面（１２３）が前記凹部（２３０）の前記テーパ面（２３１）に接触するように前記凹部（２３０）に嵌め込まれるフレーム（１２０）と、
前記フレーム（１２０）に固定されていると共に、前記フレーム（１２０）を介して前記測定対象物（２００）の歪を検出するＳＡＷ方式の歪検出素子（１４０、１５０）と、
前記フレーム（１２０）と前記歪検出素子（１４０、１５０）との間に配置されると共に、前記歪検出素子（１４０、１５０）を前記フレーム（１２０）に固定する固定部（１３０）と、
を備え、
前記フレーム（１２０）は、中空部（１１１）を有する中空円筒状のボルト（１１０）が前記窪み部（２２０）にネジ止めされることで前記一面（１２１）のうち前記ボルト（１１０）に押さえ付けられる固定面（１２４）と、前記一面（１２１）のうち前記ボルト（１１０）の前記中空部（１１１）に対応する部分が前記固定面（１２４）から当該中空部（１１１）に突出した実装面（１２５）と、を有し、
前記歪検出素子（１４０、１５０）は、前記固定部（１３０）を介して前記実装面（１２５）に固定されていることを特徴とするトルクセンサ。 A flat surface (210), a recessed portion (220) in which a portion of the flat surface (210) is recessed, a portion of a bottom surface (221) of the recessed portion (220) is recessed, and the recessed portion (220 And a concave portion (230) in which a tapered surface (231) is formed so that the size in the surface direction of the bottom surface (221) of the concave portion (221) becomes smaller in the depth direction of the recessed portion (220). A torque sensor for measuring the torque of an object (200),
One surface (121), the other surface (122) opposite to the one surface (121), and adjacent to the one surface (121) and the other surface (122) and from the one surface (121) to the other surface (122) And a side surface (123) formed in a tapered shape so that the size of the other surface (122) becomes smaller toward the surface, and the side surface (123) is a part of the recess (230). A frame (120) fitted into the recess (230) so as to contact the tapered surface (231);
SAW strain detection elements (140, 150) that are fixed to the frame (120) and detect strain of the measurement object (200) via the frame (120);
A fixing portion (130) disposed between the frame (120) and the strain detection element (140, 150) and fixing the strain detection element (140, 150) to the frame (120);
With
The frame (120) is pressed against the bolt (110) of the one surface (121) by screwing a hollow cylindrical bolt (110) having a hollow portion (111) into the recess (220). A mounting surface to be attached and a portion of the one surface (121) corresponding to the hollow portion (111) of the bolt (110) protruding from the fixing surface (124) to the hollow portion (111) A surface (125),
The strain sensor (140, 150) is fixed to the mounting surface (125) via the fixing portion (130). 前記歪検出素子は、第１歪検出素子（１４０）及び第２歪検出素子（１５０）で構成されており、
前記第１歪検出素子（１４０）及び前記第２歪検出素子（１５０）は、前記実装面（１２５）において、前記測定対象物（２００）に発生するであろうねじれの軸に沿った中心軸（２４０）に対して線対称に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のトルクセンサ。 The strain detection element includes a first strain detection element (140) and a second strain detection element (150).
The first strain detection element (140) and the second strain detection element (150) have a central axis along the axis of torsion that will occur in the measurement object (200) on the mounting surface (125). The torque sensor according to claim 1, wherein the torque sensor is arranged symmetrically with respect to (240). 前記フレーム（１２０）は、前記ボルト（１１０）の回転中心軸を中心とした当該フレーム（１２０）の回転を禁止する回り止め部（１２６、１２８）を有していることを特徴とする請求項１または２に記載のトルクセンサ。   The said frame (120) has a rotation prevention part (126,128) which prohibits rotation of the said frame (120) centering on the rotation center axis | shaft of the said volt | bolt (110). The torque sensor according to 1 or 2. 前記回り止め部（１２６、１２８）は、前記フレーム（１２０）において、前記測定対象物（２００）に発生するであろうねじれの軸に沿った中心軸（２４０）の上に配置されていることを特徴とする請求項３に記載のトルクセンサ。   The detents (126, 128) are arranged on a central axis (240) along the axis of torsion that will occur in the measurement object (200) in the frame (120). The torque sensor according to claim 3. 前記フレーム（１２０）は、当該フレーム（１２０）の一部を貫通すると共に、当該フレーム（１２０）を前記凹部（２３０）から取り外すための貫通孔（１２７）を有していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載のトルクセンサ。   The frame (120) penetrates a part of the frame (120) and has a through hole (127) for removing the frame (120) from the recess (230). The torque sensor according to any one of claims 1 to 4. 前記ボルト（１１０）を備えていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載のトルクセンサ。   The torque sensor according to any one of claims 1 to 5, comprising the bolt (110). 前記測定対象物は、金属製のシャフト（２００）であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載のトルクセンサ。   The torque sensor according to any one of claims 1 to 6, wherein the measurement object is a metal shaft (200).
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