JP2016095138A - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】媒体の通過位置変動による出力変動を小さくすることの可能な磁気センサを提供する。
【解決手段】磁気センサ1は、永久磁石10及びスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4を備える。各チャンネルにおいて、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1,MR2と、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR3,MR4は、チャンネル幅の中央を境界に互いに対称となる配置であり、両者の間には媒体30の識別用の方向検知型磁気抵抗効果素子が配置されない非配置領域13が存在する。
【選択図】図1
【解決手段】磁気センサ1は、永久磁石10及びスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4を備える。各チャンネルにおいて、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1,MR2と、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR3,MR4は、チャンネル幅の中央を境界に互いに対称となる配置であり、両者の間には媒体30の識別用の方向検知型磁気抵抗効果素子が配置されない非配置領域13が存在する。
【選択図】図1
Description
本発明は、磁性粉又は磁性膜の付着した媒体、例えば紙幣を識別する磁気センサに関する。
ATMや自動販売機等には、投入された紙幣を識別する紙幣識別装置が設けられる。紙幣識別装置は、紙幣に印刷された磁気インクを読み取る磁気センサを備える。磁気センサは、例えば、磁石と、当該磁石の磁極面の上方に設けられた磁気検出素子とを有し、紙幣の通過に伴う磁気変動を検出する。下記特許文献1は、一対のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を識別対象の媒体の相対移動方向に対して略垂直に配置し、かつ当該一対のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子に前記媒体の相対移動方向と略垂直なバイアス磁界を印加する構成を開示している。
例えば紙幣識別装置において、投入された紙幣を短手方向に移動させながら識別する場合、毎回の投入の度に紙幣の長手方向位置が若干ではあるが変化する。そうすると、磁気センサ上を通過する紙幣の磁気パターンの位置も変化し、磁気センサの出力に影響を与える。識別精度を向上させるには、そうした影響は極力小さいことが望ましい。
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、媒体の通過位置変動による出力変動を小さくすることの可能な磁気センサを提供することにある。
本発明のある態様は、磁気センサである。この磁気センサは、
磁性粉又は磁性膜の付着した媒体を識別する磁気センサであって、
前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列された複数の方向検知型磁気抵抗効果素子と、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子にバイアス磁界を印加する磁界発生手段と、を備え、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記媒体の相対移動に伴い、一方が高抵抗状態のときは他方が低抵抗状態となる関係にある第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群を含み、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲の中央を境界とした両側の各々において、前記境界の付近では、前記境界の付近以外と比較して、方向検知型磁気抵抗効果素子が疎に配列されている。
磁性粉又は磁性膜の付着した媒体を識別する磁気センサであって、
前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列された複数の方向検知型磁気抵抗効果素子と、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子にバイアス磁界を印加する磁界発生手段と、を備え、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記媒体の相対移動に伴い、一方が高抵抗状態のときは他方が低抵抗状態となる関係にある第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群を含み、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲の中央を境界とした両側の各々において、前記境界の付近では、前記境界の付近以外と比較して、方向検知型磁気抵抗効果素子が疎に配列されている。
本発明のもう1つの態様は、磁気センサである。この磁気センサは、
磁性粉又は磁性膜の付着した媒体を識別する磁気センサであって、
前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列された複数の方向検知型磁気抵抗効果素子と、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子にバイアス磁界を印加する磁界発生手段と、を備え、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記媒体の相対移動に伴い、一方が高抵抗状態のときは他方が低抵抗状態となる関係にある第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群を含み、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲の中央に、媒体識別用の方向検知型磁気抵抗効果素子が配置されない非配置領域が存在する。
磁性粉又は磁性膜の付着した媒体を識別する磁気センサであって、
前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列された複数の方向検知型磁気抵抗効果素子と、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子にバイアス磁界を印加する磁界発生手段と、を備え、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記媒体の相対移動に伴い、一方が高抵抗状態のときは他方が低抵抗状態となる関係にある第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群を含み、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲の中央に、媒体識別用の方向検知型磁気抵抗効果素子が配置されない非配置領域が存在する。
本発明のもう1つの態様は、磁気センサである。この磁気センサは、
磁性粉又は磁性膜の付着した媒体を識別する磁気センサであって、
前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列された複数の方向検知型磁気抵抗効果素子と、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子にバイアス磁界を印加する磁界発生手段と、を備え、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記媒体の相対移動に伴い、一方が高抵抗状態のときは他方が低抵抗状態となる関係にある第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群を含み、
点状の磁気パターンを前記媒体の相対移動方向と同じ方向に相対移動させて前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の近傍を通過させた場合における、前記配列方向に関する前記点状の磁気パターンの位置に対する前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子から得られる出力の特性の変動幅が、前記配列方向に関する前記点状の磁気パターンの位置が前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲の中央と一致するときの出力を基準として、前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲のうち中央を含む少なくとも60%の連続する範囲において10%以内である。
磁性粉又は磁性膜の付着した媒体を識別する磁気センサであって、
前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列された複数の方向検知型磁気抵抗効果素子と、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子にバイアス磁界を印加する磁界発生手段と、を備え、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記媒体の相対移動に伴い、一方が高抵抗状態のときは他方が低抵抗状態となる関係にある第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群を含み、
点状の磁気パターンを前記媒体の相対移動方向と同じ方向に相対移動させて前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の近傍を通過させた場合における、前記配列方向に関する前記点状の磁気パターンの位置に対する前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子から得られる出力の特性の変動幅が、前記配列方向に関する前記点状の磁気パターンの位置が前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲の中央と一致するときの出力を基準として、前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲のうち中央を含む少なくとも60%の連続する範囲において10%以内である。
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、自身の配列の長さ範囲の中央を境界として両側にそれぞれ同数ずつ分かれて存在してもよい。
前記第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群は、前記境界を挟んで互いに反対側に位置してもよい。
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記境界を挟んで互いに対称となる配置であってもよい。
前記第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群が相互に高電圧側及び低電圧側に分かれるように前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子が直列接続され、前記第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群の相互接続点からセンサ出力が取り出されてもよい。
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の各々が、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子であってもよい。
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子が1つのチャンネルを構成し、さらに同構成のチャンネルを少なくとも1つ備え、複数のチャンネルが前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列されていてもよい。
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明によれば、媒体の通過位置変動による出力変動を小さくすることの可能な磁気センサを提供することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
図1は、本発明の実施の形態に係る磁気センサ1の概略斜視図である。本図において、直交3軸であるXYZ軸を定義する。磁気センサ1は、磁性粉又は磁性膜の付着した媒体30を識別するものであり、例えば紙幣識別装置に組み込まれる。媒体30は、XY平面と略平行であり、不図示の搬送系によりX方向に搬送されて、磁気センサ1の上方を通過する。なお、図1に示す媒体30の磁気パターン31は、例示用の簡易的なものであり、媒体30が紙幣であれば、紙幣の種類に応じた複雑な磁気パターンが媒体30に形成されている。
磁気センサ1は、磁界発生手段としての永久磁石10と、方向検知型磁気抵抗効果素子としてのスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4とを備える。なお、図1では、媒体30の大きさとの関係でスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4を大きめに描いているが、実際にはスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4は媒体30に対して微小寸法である。スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4は、スピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子あるいはスピンバルブ型トンネル磁気抵抗効果素子のいずれでもよい。
スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4は、永久磁石10の、XY平面と略平行なN極面の上方に設けられる。スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4の感磁面は、XY平面と略平行である。媒体30の相対移動方向がX方向であるのに対し、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4の配列方向はY方向である。磁気センサ1は、多チャンネル型であり、1つのチャンネルを構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4の組を、チャンネル数の分だけ備えている。チャンネルの配列方向はY方向である。換言すれば、磁気センサ1は、Y方向に配列された複数のチャンネルを備え、各チャンネルがスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4を備えている。
各チャンネルにおいて、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1,MR2は第1の方向検知型磁気抵抗効果素子群11を構成し、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR3,MR4は第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群12を構成する。第1の方向検知型磁気抵抗効果素子群11と第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群12は、チャンネル幅(スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4の配列の長さ範囲)の中央を境界として互いに反対側に位置し、好ましくは前記境界を挟んで互いに対称となる配置である。第1の方向検知型磁気抵抗効果素子群11と第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群12との間には、媒体30の識別用の方向検知型磁気抵抗効果素子が配置されない非配置領域13が存在する。但し、1チャンネル当たりのスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の数を増やした場合には、非配置領域13を設けなくてもよい。非配置領域13の有無に関わらず、各チャンネル内の境界の両側の各々において、境界の付近では、境界の付近以外と比較して、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子を疎に配列する。なお、疎は、ここでは配列密度が0の場合も含む概念とする。
第1の方向検知型磁気抵抗効果素子群11を構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1,MR2は、ピン層磁化方向が−X方向を向いている。第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群12を構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR3,MR4は、ピン層磁化方向が+X方向を向いている。スピンバルブ型磁気抵抗効果素子は、自身に印加される磁界(外部磁界)とピン層磁化方向との関係で抵抗値が変わる素子であり、外部磁界がピン層磁化方向成分を持つときは低抵抗、外部磁界が反ピン層磁化方向成分を持つときは高抵抗となる。
図2は、磁気センサ1の簡易的な回路図である。各チャンネルを構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4は、直流電源Eの出力端子とグランドとの間に直列接続される。各チャンネルにおいて、センサ出力Voutは、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR2,MR3の相互接続点(第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12の相互接続点)から取り出される。センサ出力Voutは、下記式1で示される。
式1において、R(MR1,MR2)は、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1,MR2の合成抵抗値であり、R(MR3,MR4)は、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR3,MR4の合成抵抗値である。
図3は、図1に示す媒体30が磁気センサ1の上方を通過した場合の、図2に示すセンサ出力Voutの波形図である。媒体30の磁気パターン31が磁気センサ1から遠い段階では、永久磁石10の発生する磁界は磁気パターン31の影響を受けずにスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4の感磁面を垂直に通過するため、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4は共に中抵抗状態で抵抗値が相互に等しく、センサ出力Voutは中間値で変動しない。その後、媒体30が+X方向に移動して磁気パターン31がスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4の上方手前側(−X方向側)に近接してくると、永久磁石10の発生する磁界はスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4の感磁面において−X方向に引き寄せられ、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1,MR2は低抵抗状態となり、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR3,MR4は高抵抗状態となり、センサ出力Voutは中間値から上昇する。その後、磁気パターン31がスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4の直上を通過すると、永久磁石10の発生する磁界はスピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4の感磁面において−X方向から+X方向に転換し、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1,MR2は高抵抗状態となり、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR3,MR4は低抵抗状態となり、センサ出力Voutは中間値から低下する。以上が磁気パターン31の本数分、ここでは4回繰り返される。
X方向に搬送される媒体30のY方向位置は、媒体30の投入の度に若干ではあるが変化し、磁気センサ1上を通過する媒体30の磁気パターン31のY方向位置も変化する。媒体30に形成される磁気パターンが図1に示す磁気パターン31と異なり微細である場合、その微細な磁気パターンのY方向通過位置が変化すると、磁気センサ1のセンサ出力Voutにも影響が及ぶ。一方、磁気パターンの磁気の強さの強弱もセンサ出力Voutに影響する。このため、磁気パターンのY方向通過位置によってセンサ出力Voutが大きく変動する構成であると、センサ出力Voutの変動が、磁気パターンのY方向通過位置の変動を示すのか、磁気パターンの磁気の強さの変化を示すのかが分からなくなってしまう。したがって、識別精度を向上させるには、磁気パターンのY方向通過位置の変動によるセンサ出力Voutの変動は極力小さいことが望ましい。
上記式1より、センサ出力Voutのピークピーク値(最大値と最小値の差)は、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子MR1〜MR4の抵抗変化が大きいほど大きくなる。抵抗変化は、磁気パターンの通過位置がY方向に離れるほど小さくなり、近づくほど大きくなる。本実施の形態のように、各チャンネル内の境界の両側の各々において、境界の付近では境界の付近以外と比較してスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を疎に配列する構成の場合、磁気パターンの通過位置が境界から左右にずれると、第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12の一方は抵抗変化が大きくなり、他方は抵抗変化が小さくなり、センサ出力Voutに関しては、両群の抵抗変化の影響が好適に相殺される。したがって、本実施の形態では、磁気パターンのY方向通過位置が変動しても、センサ出力Voutの変動を小さくすることができる。なお、後述の比較例のようにスピンバルブ型磁気抵抗効果素子をチャンネル幅内で敷き詰めた場合(配列密度が一定の場合)も、磁気パターンの通過位置が境界から左右にずれると、第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12は実施の形態と同じ傾向の抵抗変化を示すものの、センサ出力Voutに関し、一方の群の抵抗変化の影響が、他方の群の抵抗変化の影響を相殺しきれず、磁気パターンのY方向通過位置が変動すると、センサ出力Voutが比較的大きく変動してしまう。以下、実施例と比較例により、本実施の形態の効果について具体的に説明する。
実施例1
図4は、実施例1に係る磁気センサ1の平面図である。本実施例は、図1と同構成でスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を4チップ用いた例である。第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12の各々において隣り合うスピンバルブ型磁気抵抗効果素子同士は、ほぼ隙間が無いように近接配置した。非配置領域13の幅は、概ね4個のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子に対応する幅とした。第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12の配列長(チャンネル幅)は、5.2mmとした。
図4は、実施例1に係る磁気センサ1の平面図である。本実施例は、図1と同構成でスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を4チップ用いた例である。第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12の各々において隣り合うスピンバルブ型磁気抵抗効果素子同士は、ほぼ隙間が無いように近接配置した。非配置領域13の幅は、概ね4個のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子に対応する幅とした。第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12の配列長(チャンネル幅)は、5.2mmとした。
図5は、実施例1における、磁気センサ1の長手方向特性図である。なお、長手方向特性とは、図4に示すような点状磁気パターン32をX方向に移動させて磁気センサ1の上方を通過させた場合における、点状磁気パターン32のY方向通過位置に対するセンサ出力Vout(ピークピーク値)の特性であり、後述の実施例及び比較例においても同様とする。なお、縦軸のセンサ出力は、点状磁気パターン32のY方向通過位置がチャンネル幅の中央(横軸0mmに対応)である場合を基準とするパーセント表示としている。図5に示すように、実施例1の構成では、長手方向特性の変動幅が、チャンネル幅内の中央を含む概ね75%程度(長さ4mm程度)の連続する範囲において上下に合計10%以内となっており、点状磁気パターンのY方向通過位置が変動しても安定したセンサ出力が得られた。
実施例2
図6は、実施例2に係る磁気センサ2の平面図である。本実施例は、実施例1のチャンネルの両端にスピンバルブ型磁気抵抗効果素子をそれぞれ1つ、ほぼ隙間が無いように追加したものに相当する。第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子はそれぞれ3チップ(1チャンネルの合計は6チップ)とした。非配置領域13の幅は、実施例1と同じとした。チャンネル幅は6.4mmとした。
図6は、実施例2に係る磁気センサ2の平面図である。本実施例は、実施例1のチャンネルの両端にスピンバルブ型磁気抵抗効果素子をそれぞれ1つ、ほぼ隙間が無いように追加したものに相当する。第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子はそれぞれ3チップ(1チャンネルの合計は6チップ)とした。非配置領域13の幅は、実施例1と同じとした。チャンネル幅は6.4mmとした。
図7は、実施例2における、磁気センサ2の長手方向特性図である。実施例2の構成では、長手方向特性の変動幅が、チャンネル幅内の中央を含む概ね80%程度(長さ5mm程度)の連続する範囲において上下に合計10%以内となっており、点状磁気パターンのY方向通過位置が変動しても安定したセンサ出力が得られた。また、実施例1との比較では、チャンネル内で安定したセンサ出力を得られる範囲を広げることができた。
比較例1
図8は、比較例1に係る磁気センサの平面図である。比較例1は、実施例1において非配置領域13を無くし、第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を、ほぼ隙間が無いように配置した例である。チャンネル幅は2.8mmとした。
図8は、比較例1に係る磁気センサの平面図である。比較例1は、実施例1において非配置領域13を無くし、第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を、ほぼ隙間が無いように配置した例である。チャンネル幅は2.8mmとした。
図9は、比較例1における、磁気センサの長手方向特性図である。比較例1の構成においても、長手方向特性の変動幅は、チャンネル幅内の中央を含む65%程度の連続する範囲において上下に合計10%以内となった。しかし、長手方向特性の変動幅が上下に合計10%以内となる範囲の絶対的な長さが2mmに満たず、実施例1の4mm程度と比較して小さかった。このように、比較例1の構成では、安定したセンサ出力が得られる範囲を十分に確保できなかった。換言すれば、実施例1では、比較例1に対して、1チャンネル当たりのスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の数を増やすことなく、安定したセンサ出力が得られる範囲を広げることが可能になった。
比較例2
図10は、比較例2に係る磁気センサの平面図である。比較例2では、第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子をそれぞれ7チップ(1チャンネルの合計は14チップ)とし、比較例1と同様に非配置領域13を設けなかった。チャンネル幅は8.8mmとした。
図10は、比較例2に係る磁気センサの平面図である。比較例2では、第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子をそれぞれ7チップ(1チャンネルの合計は14チップ)とし、比較例1と同様に非配置領域13を設けなかった。チャンネル幅は8.8mmとした。
図11は、比較例2における、磁気センサの長手方向特性図である。比較例2の構成では、長手方向特性の変動幅が上下に合計10%以内となる範囲の絶対的な長さは4mm以上となったものの、その範囲はチャンネル幅内の中央を含む50%程度の連続する範囲に限られた。これでは、隣接チャンネル間に、長手方向特性の谷が大きく出来てしまう。すなわち、隣接チャンネル間の隙間を無くしても、センサ出力Voutが大きく低下した範囲が1チャンネルの幅と同程度存在してしまう。このように、比較例2の構成では、チャンネル幅内で安定したセンサ出力が得られる範囲を十分な割合で確保できなかった。長手方向特性の変動幅が上下に合計10%以内となる範囲は、求められる仕様にもよるが、チャンネル幅内の中央を含む60%以上は確保されることが望ましい。
実施例3
図12は、実施例3に係る磁気センサ3の平面図である。本実施例では、第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子はそれぞれ4チップ(1チャンネルの合計は8チップ)とし、境界(チャンネル幅の中央)から1つ目と2つ目のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の間、並びに3つ目と4つ目のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の間には、概ね1個のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子に対応する幅の隙間を設けた。非配置領域13の幅は、概ね2個のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子に対応する幅とした。チャンネル幅は8.8mmとした。
図12は、実施例3に係る磁気センサ3の平面図である。本実施例では、第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子はそれぞれ4チップ(1チャンネルの合計は8チップ)とし、境界(チャンネル幅の中央)から1つ目と2つ目のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の間、並びに3つ目と4つ目のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の間には、概ね1個のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子に対応する幅の隙間を設けた。非配置領域13の幅は、概ね2個のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子に対応する幅とした。チャンネル幅は8.8mmとした。
図13は、実施例3における、磁気センサ3の長手方向特性図である。実施例3の構成では、長手方向特性の変動幅が、チャンネル幅内の中央を含む65%程度(長さ5.7mm程度)以上の連続する範囲において上下に合計10%以内となっており、点状磁気パターンのY方向通過位置が変動しても安定したセンサ出力が得られた。また、比較例2に対しては、同じチャンネル幅でありながら、また1チャンネル当たりのスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の数を減らした安価な構成としながら、長手方向特性の変動幅が上下に合計10%以内となる範囲を40%以上広げることができた。
実施例4
図14は、実施例4に係る磁気センサ4の平面図である。本実施例では、第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子はそれぞれ5チップ(1チャンネルの合計は10チップ)とし、境界(チャンネル幅の中央)から1つ目と2つ目のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の間、並びに2つ目と3つ目のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の間には、概ね1個のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子に対応する幅の隙間を設けた。また、非配置領域13は設けなかった(第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を、ほぼ隙間が無いように配置した)。チャンネル幅は8.8mmとした。
図14は、実施例4に係る磁気センサ4の平面図である。本実施例では、第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を構成するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子はそれぞれ5チップ(1チャンネルの合計は10チップ)とし、境界(チャンネル幅の中央)から1つ目と2つ目のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の間、並びに2つ目と3つ目のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の間には、概ね1個のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子に対応する幅の隙間を設けた。また、非配置領域13は設けなかった(第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群11,12を、ほぼ隙間が無いように配置した)。チャンネル幅は8.8mmとした。
図15は、実施例4における、磁気センサ4の長手方向特性図である。実施例4の構成では、長手方向特性の変動幅が、チャンネル幅内の中央を含む70%程度(長さ6.1mm程度)の連続する範囲において上下に合計10%以内となっており、点状磁気パターンのY方向通過位置が変動しても安定したセンサ出力が得られた。また、比較例2に対しては、同じチャンネル幅でありながら、また1チャンネル当たりのスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の数を減らした安価な構成としながら、長手方向特性の変動幅が上下に合計10%以内となる範囲を50%以上広げることができた。
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
(1) 第1の方向検知型磁気抵抗効果素子群11と第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群12との間に、媒体30の識別用の方向検知型磁気抵抗効果素子が配置されない非配置領域13を設ける等により、各チャンネル内の境界の両側の各々において、境界の付近では境界の付近以外と比較してスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を疎に配列しているため、識別対象となる媒体30の磁気パターンのY方向通過位置変動によるセンサ出力Voutの変動を小さくすることができる。
(2) 1チャンネル当たりのスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を従来と比較して増やしているため、磁気センサ1の消費電流が低下し、消費電力を低減できる。また、消費電流が低下することで、下記式2で示されるショットノイズInを小さくなるというメリットもある。
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
磁気センサ1における、1チャンネル当たりのスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の数、非配置領域13の幅、各チャンネルのスピンバルブ型磁気抵抗効果素子の配列形態等は、実施の形態で示した具体例に限定されず、必要なチャンネル数やチャンネル幅等の仕様に合わせて任意に設定することができる。また、磁気センサ1は多チャンネル型に限定されず、1チャンネル型であってもよい。
第1の方向検知型磁気抵抗効果素子群11を構成する複数のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子は、チャンネル幅の中央の両側に分かれて存在してもよい。第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群12を構成する複数のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子についても同様である。また、方向検知型磁気抵抗効果素子は、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子以外の磁気抵抗効果素子であってもよい。
1〜4 磁気センサ、10 永久磁石、11 第1の方向検知型磁気抵抗効果素子群、12 第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群、13 非配置領域、30 媒体、31 磁気パターン、32 点状磁気パターン
Claims (9)
- 磁性粉又は磁性膜の付着した媒体を識別する磁気センサであって、
前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列された複数の方向検知型磁気抵抗効果素子と、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子にバイアス磁界を印加する磁界発生手段と、を備え、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記媒体の相対移動に伴い、一方が高抵抗状態のときは他方が低抵抗状態となる関係にある第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群を含み、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲の中央を境界とした両側の各々において、前記境界の付近では、前記境界の付近以外と比較して、方向検知型磁気抵抗効果素子が疎に配列されている、磁気センサ。 - 磁性粉又は磁性膜の付着した媒体を識別する磁気センサであって、
前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列された複数の方向検知型磁気抵抗効果素子と、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子にバイアス磁界を印加する磁界発生手段と、を備え、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記媒体の相対移動に伴い、一方が高抵抗状態のときは他方が低抵抗状態となる関係にある第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群を含み、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲の中央に、媒体識別用の方向検知型磁気抵抗効果素子が配置されない非配置領域が存在する、磁気センサ。 - 磁性粉又は磁性膜の付着した媒体を識別する磁気センサであって、
前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列された複数の方向検知型磁気抵抗効果素子と、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子にバイアス磁界を印加する磁界発生手段と、を備え、
前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記媒体の相対移動に伴い、一方が高抵抗状態のときは他方が低抵抗状態となる関係にある第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群を含み、
点状の磁気パターンを前記媒体の相対移動方向と同じ方向に相対移動させて前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の近傍を通過させた場合における、前記配列方向に関する前記点状の磁気パターンの位置に対する前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子から得られる出力の特性の変動幅が、前記配列方向に関する前記点状の磁気パターンの位置が前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲の中央と一致するときの出力を基準として、前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の配列の長さ範囲のうち中央を含む少なくとも60%の連続する範囲において10%以内である、磁気センサ。 - 前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、自身の配列の長さ範囲の中央を境界として両側にそれぞれ同数ずつ分かれて存在する、請求項1から3のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群は、前記境界を挟んで互いに反対側に位置する、請求項4に記載の磁気センサ。
- 前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子は、前記境界を挟んで互いに対称となる配置である、請求項4又は5に記載の磁気センサ。
- 前記第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群が相互に高電圧側及び低電圧側に分かれるように前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子が直列接続され、前記第1及び第2の方向検知型磁気抵抗効果素子群の相互接続点からセンサ出力が取り出される、請求項1から6のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子の各々が、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子である、請求項1から7のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記複数の方向検知型磁気抵抗効果素子が1つのチャンネルを構成し、さらに同構成のチャンネルを少なくとも1つ備え、複数のチャンネルが前記媒体の相対移動方向と略垂直に配列されている、請求項1から8のいずれか一項に記載の磁気センサ。
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