JP2016092205A - Coating liquid pump unit and coating applicator - Google Patents

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健史 濱川
俊文 伊藤
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俊文 伊藤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating liquid pump unit and a coating applicator capable of suppressing occurrence of transverse irregularities, even when a thin film is formed on a substrate.SOLUTION: In a coating liquid pump unit supplying the coating liquid to a coating unit in a coating device for forming a coating film on a substrate by moving the substrate and the coating unit relatively, a pump body for supplying the coating liquid, a ball screw drive unit for transmitting a driving force to the pump body, and a motor generating the driving force are arranged, in this order, on one axis. A planetary roller reduction gear is provided between the motor and ball screw drive unit.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、薬液等の塗布液を供給するための塗布液ポンプユニット及び、基板上に塗布液を塗布する塗布装置に関するものである。   The present invention relates to a coating liquid pump unit for supplying a coating liquid such as a chemical liquid and a coating apparatus for coating the coating liquid on a substrate.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス基板上にレジスト液（以下、塗布液と称す）が塗布されたもの（塗布基板と称す）が使用されている。この塗布基板は、塗布液を均一に塗布する塗布装置によって形成されている。すなわち、この塗布装置は、塗布液を吐出する口金部を有する塗布ユニットが設けられており、口金部に形成された一方向に延びるスリットノズルから塗布液を吐出させながら、基板上を所定方向に口金部を移動させることにより、均一厚さのレジスト液膜が形成された塗布基板が形成されるようになっている。   A flat panel display such as a liquid crystal display or a plasma display uses a glass substrate coated with a resist solution (hereinafter referred to as a coating solution) (referred to as a coating substrate). This coating substrate is formed by a coating apparatus that uniformly coats the coating solution. That is, this coating apparatus is provided with a coating unit having a base part for discharging a coating liquid, and in a predetermined direction on the substrate while discharging the coating liquid from a slit nozzle extending in one direction formed in the base part. By moving the base part, a coated substrate on which a resist liquid film having a uniform thickness is formed is formed.

このような塗布装置には、口金部に一定量の塗布液を供給するために、例えば下記特許文献１に記載されているように、塗布液ポンプユニット１００（ピストンポンプ）が備えられている。この塗布液ポンプユニット１００は、図６に示すように、ポンプ本体１００ａと、ポンプ本体１００ａの駆動力を発生させるモータ部１０１とを有しており、ポンプ本体１００ａとモータ部１０１とがボールネジ駆動部１０２を介して連結されている。そして、モータ部１０１を駆動制御することにより、ポンプ本体１００ａから一定量の塗布液が塗布ユニットに供給されるようになっている。具体的には、モータ部１０１を作動させてポンプ本体１００ａのプランジャ１０３を下げることにより、ポンプ本体１００ａ内に塗布膜を形成するのに必要な量の塗布液を流入口１０６から取り入れる。そして、モータ部１０１を作動させてプランジャ１０３を押し上げることにより、ポンプ本体１００ａ内に貯留された塗布液を流出口１０４から排出させて塗布ユニットの口金部に供給し、口金部を所定の速度で移動させつつ、口金部から塗布液を吐出させることにより基板上に塗布膜が形成される。すなわち、ポンプ本体１００ａからの塗布液の供給量を制御することにより、基板上に所定膜厚の塗布膜が精度よく形成される。   Such a coating apparatus is provided with a coating liquid pump unit 100 (piston pump), for example, as described in Patent Document 1 below, in order to supply a certain amount of coating liquid to the base part. As shown in FIG. 6, the coating liquid pump unit 100 includes a pump body 100a and a motor unit 101 that generates a driving force of the pump body 100a. The pump body 100a and the motor unit 101 are driven by a ball screw. They are connected via the part 102. By driving and controlling the motor unit 101, a certain amount of coating liquid is supplied from the pump body 100a to the coating unit. Specifically, the motor unit 101 is operated to lower the plunger 103 of the pump body 100a, thereby taking in an amount of coating liquid necessary for forming a coating film in the pump body 100a from the inlet 106. Then, by actuating the motor unit 101 and pushing up the plunger 103, the coating liquid stored in the pump body 100a is discharged from the outlet 104 and supplied to the base part of the coating unit, and the base part is moved at a predetermined speed. A coating film is formed on the substrate by discharging the coating liquid from the base while moving. That is, by controlling the supply amount of the coating liquid from the pump main body 100a, a coating film having a predetermined film thickness is accurately formed on the substrate.

近年では、塗布膜の薄膜化の需要が高くなっている。薄い塗布膜の形成には、ポンプ本体１００ａを低速で作動させなければならず、そのためにモータ部１０１を低回転で作動させる必要がある。しかし、モータ部１０１の回転速度が遅くなると回転が不安定になりコギング等の影響で塗布液の供給が安定しない。その結果、形成された塗布膜には厚い部分と薄い部分が繰り返し形成される横段ムラが生じるようになる。そこで、モータ部１０１に減速機１０５を取付けることにより、モータ部１０１を安定した回転数で作動させつつ、ポンプ本体１００ａのプランジャ１０３を低速で移動させることができるため、薄膜状の塗布膜を安定して形成することができるようになっている。   In recent years, the demand for thin coating films has increased. In order to form a thin coating film, the pump body 100a must be operated at a low speed, and for this purpose, the motor unit 101 must be operated at a low rotation. However, when the rotation speed of the motor unit 101 becomes slow, the rotation becomes unstable and the supply of the coating liquid is not stable due to the influence of cogging or the like. As a result, horizontal unevenness in which a thick part and a thin part are repeatedly formed occurs in the formed coating film. Therefore, by attaching the speed reducer 105 to the motor unit 101, the plunger 103 of the pump main body 100a can be moved at a low speed while operating the motor unit 101 at a stable rotational speed. And can be formed.

特開２０１１−１５９８１９号公報JP 2011-159819 A

しかし、塗布膜の薄膜化の需要が高くなり、液晶ディスプレイの高分解能、高色彩化に伴って、従来では無視できた横段ムラも問題視されるようになってきた。すなわち、上記塗布装置のように、減速機を取り付けたことによるモータ部１０１の回転数の調整だけでは完全に横段ムラのない薄膜を形成するのは非常に困難であった。   However, the demand for thinner coating films has increased, and with the high resolution and high colorization of liquid crystal displays, horizontal unevenness that has been ignored in the past has become a problem. That is, it was very difficult to form a thin film having no horizontal unevenness completely only by adjusting the number of rotations of the motor unit 101 by attaching a speed reducer, as in the coating apparatus.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、基板上に薄膜を形成する場合であっても、横段ムラの発生を抑えることができる塗布液ポンプユニット及び塗布装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides a coating liquid pump unit and a coating apparatus capable of suppressing the occurrence of lateral unevenness even when a thin film is formed on a substrate. The purpose is that.

上記課題を解決するために本発明の塗布液ポンプユニット及び塗布装置は、基板と塗布ユニットとを相対的に移動させて基板上に塗布膜を形成する塗布装置の前記塗布ユニットに塗布液を供給する塗布液ポンプユニットであって、前記塗布液ポンプユニットは、塗布液を供給するポンプ本体と、このポンプ本体に駆動力を伝達するボールネジ駆動部と、駆動力を発生させるモータ部とがこの順に一軸上に配置されており、前記モータ部と前記ボールネジ駆動部との間には、遊星ローラ減速機が設けられていることを特徴としている。   In order to solve the above problems, the coating liquid pump unit and the coating apparatus of the present invention supply the coating liquid to the coating unit of the coating apparatus that forms a coating film on the substrate by relatively moving the substrate and the coating unit. The coating liquid pump unit includes a pump body that supplies the coating liquid, a ball screw driving unit that transmits driving force to the pump body, and a motor unit that generates driving force in this order. It is arranged on one axis, and a planetary roller speed reducer is provided between the motor unit and the ball screw driving unit.

上記塗布液ポンプユニット及び塗布装置によれば、減速機として遊星ローラ減速機を用いたため、塗布膜に形成される横段ムラの発生を抑えることができる。ここで、遊星ローラ減速機は、遊星ギアタイプの減速機において、太陽ギア（太陽歯車）、遊星ギア（遊星歯車）、内ギア（内歯車）をローラに代えたものであり、各ローラ間の油膜を介して動力を伝達するトラクションドライブ方式の減速機である。すなわち、従来の塗布液ポンプユニットでは、薄膜を形成するための減速機が取り付けれており、減速機は多数のギアを介してモータ部の動力をボールネジ駆動部に伝達するため、このギアのバックラッシ、噛み合いの影響が大きいため微小な横段ムラが形成されてしまう可能性が高いが、遊星ローラ減速機を用いることにより、モータ部からの動力をギアを介することなく塗布液ポンプユニットに伝達することができるため、ギアのバックラッシ、ギアの噛み合い等の振動が要因となって発生する横段ムラを抑えることができる。したがって、基板上に薄膜を形成する場合であっても、横段ムラの発生を抑えることができる。   According to the coating liquid pump unit and the coating apparatus, since the planetary roller speed reducer is used as the speed reducer, it is possible to suppress the occurrence of horizontal unevenness formed in the coating film. Here, the planetary roller speed reducer is a planetary gear type speed reducer in which the sun gear (sun gear), the planetary gear (planetary gear), and the inner gear (internal gear) are replaced with rollers. It is a traction drive type speed reducer that transmits power through an oil film. That is, in the conventional coating liquid pump unit, a speed reducer for forming a thin film is attached, and the speed reducer transmits the power of the motor part to the ball screw drive part through a large number of gears. There is a high possibility that minute lateral unevenness will be formed due to the great influence of meshing, but by using a planetary roller speed reducer, the power from the motor unit can be transmitted to the coating liquid pump unit without using a gear. Therefore, it is possible to suppress lateral unevenness caused by vibrations such as gear backlash and gear meshing. Therefore, even when a thin film is formed on the substrate, occurrence of horizontal unevenness can be suppressed.

また、前記モータ部と遊星ローラ減速機とは、カップリングを介して連結されている構成にすることが好ましい。   Further, it is preferable that the motor unit and the planetary roller speed reducer are connected via a coupling.

この構成によれば、軽微な横段ムラをさらに抑えることができる。すなわち、通常の減速機は、モータ部と減速機とが直接連結されているため、組立時の偏芯、偏角の影響が横段ムラとなって発生する虞がある。そこで、モータ部と遊星ローラ減速機とをカップリングを介して連結させることにより、組立時の偏芯、偏角の影響を抑え、横段ムラの発生を抑えることができる。   According to this configuration, slight horizontal unevenness can be further suppressed. That is, in a normal speed reducer, since the motor unit and the speed reducer are directly connected, there is a possibility that the influence of the eccentricity and the angle of deflection at the time of assembly becomes horizontal unevenness. Therefore, by connecting the motor unit and the planetary roller speed reducer via a coupling, it is possible to suppress the influence of eccentricity and declination at the time of assembly and to suppress the occurrence of lateral unevenness.

また、前記遊星ローラ減速機は、給油口と排油口とが設けられており、前記遊星ローラ減速機の潤滑油残量が所定値よりも少なくなると潤滑油が給油口から供給される構成としてもよい。   The planetary roller speed reducer is provided with an oil supply port and an oil discharge port, and when the remaining amount of lubricant in the planetary roller speed reducer is less than a predetermined value, the lubricating oil is supplied from the oil supply port. Also good.

この構成によれば、各ローラ間の油膜を常に安定した状態に保つことができ、油膜を介して安定して動力を伝達することができる。   According to this configuration, the oil film between the rollers can always be kept in a stable state, and power can be stably transmitted through the oil film.

また、前記遊星ローラ減速機の太陽ローラ、及び、遊星ローラは、互いに接する外周面に多孔質部を有しており、この多孔質部に潤滑油が含浸されている構成としてもよい。   Further, the sun roller and the planetary roller of the planetary roller speed reducer may have a porous portion on the outer peripheral surface in contact with each other, and the porous portion may be impregnated with lubricating oil.

この構成によれば、遊星ローラ減速機に給油する頻度を少なくできるため、潤滑油の補充がなくても長期運転が可能になる。   According to this configuration, the frequency of supplying oil to the planetary roller speed reducer can be reduced, so that long-term operation is possible without replenishment of lubricating oil.

本発明の塗布液ポンプユニット及び塗布装置によれば、基板上に薄膜を形成する場合であっても、横段ムラの発生を抑えることができる。   According to the coating liquid pump unit and the coating apparatus of the present invention, even when a thin film is formed on a substrate, occurrence of horizontal unevenness can be suppressed.

本発明の塗布装置（塗布装置本体）の外観を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the external appearance of the coating device (coating device main body) of this invention. 上記塗布装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the said coating device. 本発明の塗布液ポンプユニットを示す概略図である。It is the schematic which shows the coating liquid pump unit of this invention. 遊星ローラ減速機の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of a planetary roller speed reducer. 遊星ローラ減速機の給油システムを示す図である。It is a figure which shows the oil supply system of a planetary roller speed reducer. 従来の塗布液ポンプユニットを示す概略図である。It is the schematic which shows the conventional coating liquid pump unit.

本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。   Embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明の一実施形態における塗布装置（塗布装置本体１）を示す斜視図であり、図２は、塗布装置の塗布液経路を概略的に示した図である。   FIG. 1 is a perspective view showing a coating apparatus (coating apparatus body 1) according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram schematically showing a coating liquid path of the coating apparatus.

図１、図２に示すように、塗布装置は、供給される薄板状の基板２に薬液やレジスト液等の塗布液を塗布するものである。この塗布装置は、基台３と、基板２を載置するためのテーブル４と、このテーブル４に対し一定方向に移動可能に構成される塗布ユニット５と、を備える塗布装置本体１と、塗布装置本体１の塗布ユニット５に塗布液を供給する塗布液ポンプユニット８（図２参照）とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the coating apparatus applies a coating solution such as a chemical solution or a resist solution to a thin plate-like substrate 2 to be supplied. This coating apparatus includes a base 3, a table 4 for placing the substrate 2, and a coating apparatus body 1 including a coating unit 5 configured to be movable in a certain direction with respect to the table 4, and coating A coating liquid pump unit 8 (see FIG. 2) for supplying the coating liquid to the coating unit 5 of the apparatus main body 1 is provided.

なお、以下の説明では、塗布ユニット５が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。   In the following description, the direction in which the application unit 5 moves is described as the X-axis direction, the direction orthogonal to the horizontal direction on the horizontal plane is the Y-axis direction, and the direction orthogonal to both the X-axis and Y-axis directions is the Z-axis direction. To proceed.

基台３は、各構成部材、例えばステージ４及び塗布ユニット５を支持するものであり、石材等で形成されている。   The base 3 supports each component, for example, the stage 4 and the coating unit 5, and is formed of a stone material or the like.

ステージ４は、搬入された基板２をその表面に載置して保持するものである。具体的には、ステージ４には、その表面に開口する複数の吸引孔（不図示）が形成されており、これらの吸引孔と真空ポンプ（不図示）とが連通して接続されている。そして、ステージ４の表面に基板２が載置された状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し基板２がステージ４の表面側に吸引されて吸着保持されるようになっている。また、ステージ４には、基板２を昇降動作させる基板昇降機構が設けられている。すなわち、ステージ４の表面には複数のピン孔（不図示）が形成されており、このピン孔にはＺ軸方向に昇降動作可能なリフトピンが埋設されている。これにより、ステージ４の表面に基板２を載置した状態でリフトピンを上昇させることにより、リフトピンの先端部分が基板２に当接した状態で、基板２を所定の高さ位置に保持できるようになっている。   The stage 4 is for placing and holding the loaded substrate 2 on the surface thereof. Specifically, the stage 4 is formed with a plurality of suction holes (not shown) opened on the surface thereof, and these suction holes and a vacuum pump (not shown) are connected in communication. Then, by operating the vacuum pump while the substrate 2 is placed on the surface of the stage 4, a suction force is generated in the suction hole so that the substrate 2 is sucked and held by suction on the surface side of the stage 4. It has become. The stage 4 is provided with a substrate lifting mechanism that moves the substrate 2 up and down. That is, a plurality of pin holes (not shown) are formed on the surface of the stage 4, and lift pins that can be moved up and down in the Z-axis direction are embedded in the pin holes. Thus, by lifting the lift pins while the substrate 2 is placed on the surface of the stage 4, the substrate 2 can be held at a predetermined height position with the tip portion of the lift pins contacting the substrate 2. It has become.

塗布ユニット５は、ステージ４に載置された基板２に塗布液を塗布するためのものであり、塗布液を塗布する口金部５１と、この口金部５１の両端部分に設けられたユニット支持部５２とを有している。   The coating unit 5 is for coating a coating solution on the substrate 2 placed on the stage 4. The coating unit 51 for coating the coating solution and unit support units provided at both ends of the coating unit 51. 52.

前記ユニット支持部５２は、口金部５１を昇降動作可能に支持するとともに、この口金部５１をＸ軸方向に移動させるためのものであり、走行装置５３とこの走行装置５３に支持される昇降装置５４とを有している。   The unit support portion 52 supports the base portion 51 so that the base portion 51 can be moved up and down, and moves the base portion 51 in the X-axis direction. The traveling device 53 and the lifting device supported by the traveling device 53 are provided. 54.

昇降装置５４は、口金部５１を昇降動作させるものであり、Ｚ軸方向に延びるレール５４ａと口金部５１に連結されるスライダ５４ｂとを有している。このレール５４ａには、スライダ５４ｂがレール５４ａに沿ってスライド自在に取り付けられている。また、スライダ５４ｂにはサーボモータにより駆動されるボールねじ機構が取り付けられており、このサーボモータを駆動制御することにより、スライダ５４ｂがＺ軸方向に移動するとともに、任意の位置で停止できるようになっている。これにより、口金部５１は、Ｚ軸方向への昇降動作が駆動制御され、ステージ４に対して接離可能に動作するようになっている。   The elevating device 54 moves the base 51 up and down, and includes a rail 54 a extending in the Z-axis direction and a slider 54 b connected to the base 51. A slider 54b is slidably attached to the rail 54a along the rail 54a. A ball screw mechanism driven by a servo motor is attached to the slider 54b. By controlling the drive of the servo motor, the slider 54b moves in the Z-axis direction and can be stopped at an arbitrary position. It has become. As a result, the base 51 is controlled to move up and down in the Z-axis direction, and operates so as to be able to contact and separate from the stage 4.

走行装置５３は、口金部５１をＸ軸方向に走行させるためのものであり、走行装置本体１１とＸ軸方向に延びるレール１３とを有している。この走行装置本体１１は、基台３との間に設けられるエアパッド（不図示）によって基台３上に支持されている。そして、走行装置本体１１は、その一部がレール１３にスライド自在に取り付けられており、走行装置本体１１に取り付けられたリニアモータ１２を駆動制御することにより、走行装置本体１１がＸ軸方向に移動するようになっている。これにより、口金部５１は、Ｘ軸方向に沿って走行することができるようになっている。   The traveling device 53 is for traveling the base portion 51 in the X-axis direction, and includes the traveling device body 11 and the rail 13 extending in the X-axis direction. The traveling device main body 11 is supported on the base 3 by an air pad (not shown) provided between the base 3 and the base 3. A part of the traveling device main body 11 is slidably attached to the rail 13, and the traveling device main body 11 is moved in the X-axis direction by controlling the driving of the linear motor 12 attached to the traveling device main body 11. It is supposed to move. Thereby, the nozzle | cap | die part 51 can drive | work along an X-axis direction.

このように構成されるユニット支持部５２により、口金部５１は、ステージ４の表面に対してＺ軸方向に昇降動作できるとともに、ステージ４の表面から所定高さを維持した状態でステージ４の表面上をＸ軸方向に沿って走行できるようになっている。   With the unit support portion 52 configured in this manner, the base portion 51 can move up and down in the Z-axis direction with respect to the surface of the stage 4, and the surface of the stage 4 is maintained at a predetermined height from the surface of the stage 4. The vehicle can travel along the X-axis direction.

前記口金部５１は、Ｙ軸方向に延びる形状を有する柱状部材であり、ステージ４の表面と対向する対向面には塗布液を吐出するスリットノズル５１ａ（図２参照）が形成されている。このスリットノズル５１ａは、ステージ４の表面側に突出し、この突出した部分にはＹ軸方向に延びる形状の間隙（スリット）が形成されている。すなわち、このスリットノズル５１ａを通じて口金部５１に供給された塗布液が基板２の表面に吐出されるようになっている。   The base 51 is a columnar member having a shape extending in the Y-axis direction, and a slit nozzle 51a (see FIG. 2) that discharges the coating liquid is formed on the surface facing the surface of the stage 4. The slit nozzle 51a protrudes to the surface side of the stage 4, and a gap (slit) having a shape extending in the Y-axis direction is formed in the protruding portion. That is, the coating liquid supplied to the base 51 through the slit nozzle 51 a is discharged onto the surface of the substrate 2.

具体的には、この口金部５１の上流側には、塗布液を貯留する塗布液タンクＴと塗布液ポンプユニット８とが備えられており、塗布液ポンプユニット８により、塗布液タンクＴの塗布液が口金部５１に送液されることにより、口金部５１内の塗布液がスリットを通じて吐出されるようになっている。   Specifically, a coating liquid tank T for storing a coating liquid and a coating liquid pump unit 8 are provided on the upstream side of the base part 51, and the coating liquid tank T is applied by the coating liquid pump unit 8. By feeding the liquid to the base part 51, the coating liquid in the base part 51 is discharged through the slit.

塗布液ポンプユニット８は、塗布液タンクＴに貯留された塗布液を口金部５１に供給するものであり、図３に示すように、ポンプ本体８１と、ボールネジ駆動部８２と、モータ部８３とを有している。すなわち、これらポンプ本体８１と、ボールネジ駆動部８２と、モータ部８３とが一軸上に配置されており、モータ部８３を駆動させることにより、ボールネジ駆動部８２を介して駆動力がポンプ本体８１に伝達されるようになっている。   The coating liquid pump unit 8 supplies the coating liquid stored in the coating liquid tank T to the base 51, and as shown in FIG. 3, a pump body 81, a ball screw driving section 82, a motor section 83, have. That is, the pump main body 81, the ball screw driving portion 82, and the motor portion 83 are arranged on one axis, and driving force is applied to the pump main body 81 via the ball screw driving portion 82 by driving the motor portion 83. It is to be transmitted.

ポンプ本体８１は、塗布液タンクＴの塗布液を一時的に貯留し口金部５１に送液するものであり、ハウジング８１１と、ハウジング８１１に固定される膜状シール部８１２と、この膜状シール部８１２に連結されたピストン軸部８１３（プランジャ）とを有している。そして、ピストン軸部８１３がボールネジ駆動部８２と連結されており、ボールネジ駆動部８２を駆動制御することによりピストン軸部８１３が軸方向（中心軸方向）に移動し、流入口８１１ａからハウジング８１１内に塗布液を吸入し、流出口８１１ｂから収容された塗布液を排出できるようになっている。   The pump main body 81 temporarily stores the application liquid in the application liquid tank T and sends the liquid to the base part 51. The pump body 81 includes a housing 811, a film-like seal part 812 fixed to the housing 811, and this film-like seal. And a piston shaft portion 813 (plunger) connected to the portion 812. The piston shaft portion 813 is connected to the ball screw driving portion 82, and by driving and controlling the ball screw driving portion 82, the piston shaft portion 813 moves in the axial direction (center axis direction) and enters the housing 811 from the inflow port 811a. The coating liquid can be sucked into and discharged from the outlet 811b.

ハウジング８１１は、一軸方向に延びる略円筒形状を有しており、その内部に膜状シール部８１２が収容されている。具体的には、ハウジング８１１は、軸方向に分割できるように形成されており、膜状シール部８１２が挟持された状態で一体的に連結されている。このハウジング８１１と膜状シール部８１２とによって液体収容部８１４が形成されており、この液体収容部８１４によって塗布液タンクＴから供給された塗布液を一時的に貯留できるようになっている。   The housing 811 has a substantially cylindrical shape extending in a uniaxial direction, and a film-like seal portion 812 is accommodated therein. Specifically, the housing 811 is formed so as to be divided in the axial direction, and is integrally connected in a state where the film-like seal portion 812 is sandwiched. A liquid container 814 is formed by the housing 811 and the film-like seal part 812, and the application liquid supplied from the application liquid tank T can be temporarily stored by the liquid container 814.

また、ハウジング８１１の液体収容部８１４と反対側には、圧力制御室８１５が形成されている。圧力制御室８１５は、ハウジング８１１、膜状シール部８１２によって形成されており、真空ポンプＰと連通して接続されている。そして、真空ポンプＰを作動させることにより、圧力制御室８１５を大気圧よりも低圧に調節できるようになっている。すなわち、液体収容部８１４に塗布液を流入させる際、ピストン軸部８１３を液体収容部８１４と反対側に駆動させつつ、真空ポンプＰを作動させて圧力制御室８１５の減圧させることにより、膜状シール部８１２の形状を維持した状態でスムーズにピストン軸部８１３を駆動させることができる。   A pressure control chamber 815 is formed on the opposite side of the housing 811 from the liquid storage portion 814. The pressure control chamber 815 is formed by a housing 811 and a membrane seal portion 812, and is connected to the vacuum pump P in communication. Then, by operating the vacuum pump P, the pressure control chamber 815 can be adjusted to a lower pressure than the atmospheric pressure. That is, when the coating liquid is allowed to flow into the liquid storage portion 814, the pressure control chamber 815 is depressurized by operating the vacuum pump P while driving the piston shaft portion 813 to the side opposite to the liquid storage portion 814, thereby forming a film shape. The piston shaft portion 813 can be driven smoothly while the shape of the seal portion 812 is maintained.

膜状シール部８１２は、ハウジング８１１に固定されることにより、ハウジング８１１内に液体収容部８１４を形成するものである。具体的には、膜状シール部８１２は、その外周部分がフランジ部８１ａに挟持された状態でフランジ部８１ａがボルト８１６で締結されることによりハウジング８１１内に固定されている。これにより、ハウジング８１１内の軸方向一方側に塗布液を収容可能な液体収容部８１４が形成される。   The film-like seal portion 812 forms a liquid storage portion 814 in the housing 811 by being fixed to the housing 811. Specifically, the membrane seal portion 812 is fixed in the housing 811 by fastening the flange portion 81a with a bolt 816 in a state where the outer peripheral portion is sandwiched by the flange portion 81a. As a result, a liquid storage portion 814 that can store the coating liquid is formed on one axial side of the housing 811.

また、膜状シール部８１２は、可撓性材料で形成されており、ポリエステル布の上にゴムを被覆して形成され、ほぼ均一厚さに形成されている。この膜状シール部８１２は、ほぼシルクハット形状を有しており、その外周部分でハウジング８１１に固定され、中央部分でピストン軸部８１３のヘッド８１３ａに固定されている。また、外周部分と中央部分とを連結する部分は、略Ｕ字形状を維持した状態でハウジング８１１内に取付けられている。そして、この膜状シール部８１２の中央部分が液体収容部８１４側、及び、その反対側（軸方向反対側、圧力制御室８１５側）に変位することにより、塗布液が口金部５１に供給される。すなわち、ハウジング８１１には、塗布液タンクＴと配管を介して連結される流入口８１１ａと口金部５１と配管を介して連結される流出口８１１ｂとが形成されており、膜状シール部８１２が流体収容部８１４と反対側に変位することにより、塗布液タンクＴから流入口８１１ａを通じて塗布液が液体収容部８１４に供給され、膜状シール部８１２の中央部分が流体収容部８１４側に変位することにより、塗布液タンクＴから流出口８１１ｂを通じて口金部５１に塗布液が供給されるようになっている。   Further, the film-like seal portion 812 is formed of a flexible material, and is formed by covering a polyester cloth with rubber so as to have a substantially uniform thickness. The membrane-shaped seal portion 812 has a substantially top hat shape, and is fixed to the housing 811 at the outer peripheral portion and fixed to the head 813a of the piston shaft portion 813 at the center portion. Further, the portion connecting the outer peripheral portion and the central portion is mounted in the housing 811 while maintaining a substantially U shape. Then, the central portion of the membrane seal portion 812 is displaced to the liquid storage portion 814 side and to the opposite side (the opposite side in the axial direction, the pressure control chamber 815 side), whereby the coating liquid is supplied to the mouthpiece portion 51. The That is, the housing 811 is formed with an inlet 811a connected to the coating liquid tank T via a pipe, an outlet 811b connected to the base 51 and the pipe, and the film-like seal part 812 is formed. By displacing to the side opposite to the fluid storage part 814, the coating liquid is supplied from the coating liquid tank T to the liquid storage part 814 through the inflow port 811a, and the central portion of the membrane seal part 812 is displaced to the fluid storage part 814 side. As a result, the coating liquid is supplied from the coating liquid tank T to the base 51 through the outlet 811b.

ピストン軸部８１３は、膜状シール部８１２を軸方向に変位させるものであり、膜状シール部８１２に連結されるヘッド８１３ａと軸方向に棒状に延びる形状の軸本体８１３ｂとを有している。ヘッド８１３ａは、ハウジング８１１の内径よりも小さい形状の円柱状部材であり、その一方側端面で膜状シール部８１２と連結されている。具体的には、軸本体８１３ｂの摺動方向に対してほぼ直交する平板状の対向面を有しており、この対向面と膜状シール部８１２の流体収容部８１４側の反対側の中央部分とが、それぞれの中心を一致させた状態で連結されている。したがって、軸本体８１３ｂがハウジング８１１内を摺動すると、膜状シール部８１２の中央部分が摺動方向に対して直交する姿勢を維持した状態で液体収容部８１４側及び液体収容部８１４と反対側に変位するようになっている。これにより、液体収容部８１４内の塗布液が口金部５１に供給できるようになっている。   The piston shaft portion 813 displaces the membrane seal portion 812 in the axial direction, and includes a head 813a connected to the membrane seal portion 812 and a shaft body 813b having a shape extending in a rod shape in the axial direction. . The head 813 a is a cylindrical member having a shape smaller than the inner diameter of the housing 811, and is connected to the membrane seal portion 812 at one end face thereof. Specifically, it has a flat plate-like opposing surface that is substantially orthogonal to the sliding direction of the shaft body 813b, and the opposite central portion of the membrane seal portion 812 on the fluid storage portion 814 side. Are connected in a state in which the respective centers coincide with each other. Therefore, when the shaft main body 813b slides in the housing 811, the liquid container 814 side and the side opposite to the liquid container 814 are maintained in a state in which the central portion of the film-shaped seal portion 812 is maintained in a posture orthogonal to the sliding direction. It is supposed to be displaced. Thereby, the coating liquid in the liquid storage part 814 can be supplied to the base part 51.

ボールネジ駆動部８２は、モータ部８３の回転動力を直線運動に変換する動力伝達装置である。ボールネジ駆動部８２は、シャフト８２ａとシャフト８２ａに取り付けられたボールネジナット８２ｂとを有しており、シャフト８２ａを軸周りに回転させることにより、ボールネジナット８２ｂがシャフト８２ａに沿って軸方向に移動できるように構成されている。すなわち、軸本体８１３ｂとボールネジナット８２ｂとが連結されていることにより、ボールネジ駆動部８２を駆動させてシャフト８２ａを回転させると、軸本体８１３ｂが軸方向に移動し、膜状シール部８１２が軸方向に変位できるようになっている。   The ball screw drive unit 82 is a power transmission device that converts the rotational power of the motor unit 83 into linear motion. The ball screw drive unit 82 includes a shaft 82a and a ball screw nut 82b attached to the shaft 82a, and the ball screw nut 82b can move in the axial direction along the shaft 82a by rotating the shaft 82a around the axis. It is configured as follows. That is, since the shaft main body 813b and the ball screw nut 82b are connected, when the ball screw driving portion 82 is driven to rotate the shaft 82a, the shaft main body 813b moves in the axial direction, and the film-like seal portion 812 moves to the shaft. It can be displaced in the direction.

また、モータ部８３は、ポンプ本体８１を作動させるものであり、本実施形態ではサーボモータが使用されている。すなわち、モータ部８３を駆動制御することによりポンプ本体８１から排出される塗布液の吐出量が細かく制御され、基板上に形成される塗布膜の膜厚を精度よく制御できるようになっている。   The motor unit 83 operates the pump body 81, and a servo motor is used in this embodiment. That is, by controlling the driving of the motor unit 83, the discharge amount of the coating liquid discharged from the pump body 81 is finely controlled, and the film thickness of the coating film formed on the substrate can be accurately controlled.

モータ部８３とボールネジ駆動部８２との間には、遊星ローラ減速機９が設けられている。遊星ローラ減速機９は、遊星ギアタイプの減速機とほぼ同じ構造を有しており、図４に示すように、ケース９１内に太陽ローラ９２を中心に３つの遊星ローラ９３が太陽ローラ９２の外周面に沿って配置されている。そして、ケース９１内が潤滑油で満たされており、太陽ローラ９２と遊星ローラ９３との間に介在する潤滑油が粘弾性流性や塑性固体として作用することにより、太陽ローラ９２の回転によるトラクションが遊星ローラ９３に伝達され、モータ部８３の動力が伝達されるようになっている。太陽ローラ９２及び遊星ローラ９３は、ステンレス鋼製の円盤状に形成されている。そして、遊星ローラ９３は、太陽ローラ９２が軸回りに回転することにより太陽ローラ９２の回りを自転しつつ公転するようになっており、太陽ローラ９２にはモータ部８３側が連結され、遊星ローラ９３にはボールネジ駆動部８２側が連結されている。そして、遊星ローラ９３は太陽ローラ９２よりも大径に形成されていることにより、モータ部８３側の回転に対して径の差に応じた所定の割合でボールネジ駆動部８２側の回転が減速される。すなわち、遊星ギアタイプの減速機の減速機に比べて、太陽ローラ９２、遊星ローラ９３がギアで噛み合っていないため、ギアのバックラッシ、噛み合い等により発生する振動を抑えつつ減速させてモータ部８３の動力を伝達することができ、ギアのバックラッシ、噛み合い振動が要因となる横段ムラの発生を抑えることができる。   A planetary roller speed reducer 9 is provided between the motor unit 83 and the ball screw driving unit 82. The planetary roller speed reducer 9 has substantially the same structure as the planetary gear type speed reducer. As shown in FIG. 4, the three planetary rollers 93 centering on the sun roller 92 are arranged in the case 91. It arrange | positions along an outer peripheral surface. The case 91 is filled with lubricating oil, and the lubricating oil interposed between the sun roller 92 and the planetary roller 93 acts as a viscoelastic fluidity or plastic solid, thereby causing traction due to rotation of the sun roller 92. Is transmitted to the planetary roller 93, and the power of the motor unit 83 is transmitted. The sun roller 92 and the planetary roller 93 are formed in a disk shape made of stainless steel. The planetary roller 93 revolves while rotating around the sun roller 92 as the sun roller 92 rotates about its axis. The motor unit 83 side is connected to the sun roller 92, and the planetary roller 93. Is connected to the ball screw driving portion 82 side. Since the planetary roller 93 is formed to have a larger diameter than the sun roller 92, the rotation on the ball screw driving unit 82 side is decelerated at a predetermined ratio corresponding to the difference in diameter with respect to the rotation on the motor unit 83 side. The That is, since the sun roller 92 and the planetary roller 93 are not engaged with each other as compared with the reduction gear of the planetary gear type reduction device, the motor 83 is decelerated while suppressing vibration generated by gear backlash, engagement, etc. Power can be transmitted, and occurrence of lateral unevenness caused by gear backlash and meshing vibration can be suppressed.

また、遊星ローラ減速機９には、図５に示すように、給油システム１０が設けられている。この給油システム１０は、遊星ローラ減速機９のケース９１内に充填されている潤滑油が規定量以下になるのを防止するためのものである。すなわち、遊星ローラ減速機９がボールネジ駆動部８２とモータ部８３と連結して組み立てられる際、微小な芯ずれ等の影響により潤滑油が時間経過と共に減少することがある。潤滑油が減少すると遊星ローラ９３、太陽ローラ９２、内ローラ９４間の動力伝達不良により振動等が発生し横段ムラ発生の原因になるため、給油システム１０により潤滑油不足を解消し長期化運転に対応できるようにするものである。   Further, the planetary roller speed reducer 9 is provided with an oil supply system 10 as shown in FIG. This oil supply system 10 is intended to prevent the lubricating oil filled in the case 91 of the planetary roller speed reducer 9 from becoming below a specified amount. That is, when the planetary roller speed reducer 9 is assembled by being connected to the ball screw driving unit 82 and the motor unit 83, the lubricating oil may decrease over time due to a slight misalignment or the like. When the lubricating oil decreases, vibrations and the like occur due to poor power transmission among the planetary roller 93, the sun roller 92, and the inner roller 94, and cause unevenness in the lateral stage. It is to be able to cope with.

給油システム１０は、本実施形態では、遊星ローラ減速機９に予備タンク１０ａが配管１０ｂによって接続されて形成されており、遊星ローラ減速機９の潤滑油が規定量以下になると予備タンク１０ａから潤滑油が供給されるようになっている。すなわち、遊星ローラ減速機９のケース９１には、ケース９１内の潤滑油量を確認できる油面計１０ｃが設けられており、この油面計１０ｃに光電センサが取り付けられている。すなわち、油面計１０ｃの潤滑油量が規定以下になると光電センサが反応し、配管１０ｂに設けられたバルブ１０ｄを開状態にして予備タンク１０ａの潤滑油がケース９１内に供給されるようになっている。これにより、遊星ローラ減速機９内の潤滑油不足が解消されるため、遊星ローラ減速機９の長期運転が可能になると共に、潤滑油不足による横段ムラ発生を長期に亘って抑えることができる。   In the present embodiment, the oil supply system 10 is formed by connecting a spare tank 10a to the planetary roller speed reducer 9 by a pipe 10b. When the lubricating oil in the planetary roller speed reducer 9 falls below a specified amount, the oil supply system 10 is lubricated from the spare tank 10a. Oil is supplied. That is, the case 91 of the planetary roller speed reducer 9 is provided with an oil level gauge 10c capable of confirming the amount of lubricating oil in the case 91, and a photoelectric sensor is attached to the oil level gauge 10c. That is, the photoelectric sensor reacts when the amount of lubricating oil in the oil level gauge 10c becomes less than the specified value, and the valve 10d provided in the pipe 10b is opened to supply the lubricating oil in the spare tank 10a into the case 91. It has become. As a result, the shortage of lubricating oil in the planetary roller speed reducer 9 is resolved, so that the planetary roller speed reducer 9 can be operated for a long time and the occurrence of lateral unevenness due to the shortage of lubricating oil can be suppressed for a long time. .

また、遊星ローラ減速機９とモータ部８３との間、及び、遊星ローラ減速機９とボールネジ駆動部８２との間には、カップリングＣ１，Ｃ２が取り付けられている。本実施形態では、カップリングＣ１，Ｃ２は、ダブルディスクタイプや高減衰ゴムタイプのカップリングが使用されている。通常、減速機とモータ部８３は直接連結されており、減速機とボールネジ駆動部８２との間にカップリングＣ１が設けられる。しかし、遊星ローラ減速機９とモータ部８３との組立時には、偏芯、偏角が生じることにより微小な振動が発生し、この振動がポンプ本体８１から吐出される塗布液に脈動（微小間隔で吐出の強弱が繰り返される現象）を誘発させて塗布膜に横段ムラが発生する虞がある。したがって、遊星ローラ減速機９とモータ部８３との間にカップリングＣ２を設けることにより、組立時の偏芯、偏角による振動を抑えることができ、この振動が原因となる横段ムラの発生を抑えることができる。   Couplings C <b> 1 and C <b> 2 are attached between the planetary roller speed reducer 9 and the motor unit 83 and between the planetary roller speed reducer 9 and the ball screw driving unit 82. In this embodiment, the couplings C1 and C2 are double disc type or high damping rubber type couplings. Usually, the speed reducer and the motor part 83 are directly connected, and a coupling C1 is provided between the speed reducer and the ball screw drive part 82. However, when the planetary roller speed reducer 9 and the motor unit 83 are assembled, minute vibrations are generated due to eccentricity and declination, and these vibrations pulsate (at minute intervals) in the coating liquid discharged from the pump body 81. There is a possibility that horizontal unevenness may occur in the coating film by inducing a phenomenon in which the strength of the discharge is repeated. Therefore, by providing the coupling C2 between the planetary roller speed reducer 9 and the motor unit 83, vibration due to eccentricity and declination during assembly can be suppressed, and occurrence of lateral unevenness caused by this vibration occurs. Can be suppressed.

また、本実施形態の塗布装置では、制御装置９０が設けられており、予め記憶されたプログラムに従って一連の塗布動作を実行すべく、各種ユニットの駆動装置、ボールネジ駆動部８２等を駆動制御するとともにこの塗布動作において必要な各種演算が行われるようになっている。   Further, in the coating apparatus of the present embodiment, a control device 90 is provided, which drives and controls various units of driving devices, the ball screw driving unit 82 and the like in order to execute a series of coating operations according to a program stored in advance. Various calculations necessary for this coating operation are performed.

次に、この塗布装置における塗布動作について説明する。なお、これら一連の動作は制御装置９０によって制御される。   Next, the application | coating operation | movement in this coating device is demonstrated. These series of operations are controlled by the control device 90.

まず、基板２の搬入が行われる。具体的には、ステージ４の表面から複数のリフトピンが突出した状態で待機されており、これらのリフトピンの先端部分に基板２が載置される。そして、リフトピンを下降させて基板２をステージ４の表面に載置し、この状態で真空ポンプを作動させて吸引孔に吸引力を発生させることにより、基板２をステージ４の表面上に吸着させて保持される。   First, the substrate 2 is carried in. Specifically, the apparatus is on standby with a plurality of lift pins protruding from the surface of the stage 4, and the substrate 2 is placed on the tip portions of these lift pins. Then, the lift pins are lowered to place the substrate 2 on the surface of the stage 4, and in this state, the vacuum pump is operated to generate a suction force in the suction hole, so that the substrate 2 is adsorbed on the surface of the stage 4. Held.

次に、塗布液の吸い込み動作が行われる。すなわち、ステージ４上にセットされた基板２に必要となる塗布液（基板１枚分）が塗布液ポンプユニット８に吸い込まれる。具体的には、真空ポンプＰを作動させて圧力制御室８１５の圧力を大気圧以下の所定の圧力に制御しつつボールネジ駆動部８２を駆動させることにより、ピストン軸部８１３を液体収容部８１４と反対側に移動させる。すなわち、モータ部８３を作動させると太陽ローラ９２が回転することにより遊星ローラ９３が自転しつつ太陽ローラ９２の周りを回転することによりボールネジ駆動部８２を駆動させ、ピストン軸部８１３を移動させる。これにより、塗布液タンクＴに貯留された塗布液が流入口８１１ａを通じて液体収容部８１４に流入し、この液体収容部８１４に貯留される。   Next, a suction operation for the coating liquid is performed. That is, the coating liquid (for one substrate) necessary for the substrate 2 set on the stage 4 is sucked into the coating liquid pump unit 8. Specifically, by operating the vacuum pump P and controlling the pressure in the pressure control chamber 815 to a predetermined pressure equal to or lower than the atmospheric pressure, the ball screw driving unit 82 is driven, whereby the piston shaft portion 813 and the liquid storage portion 814 are driven. Move to the other side. That is, when the motor unit 83 is operated, the sun roller 92 rotates and the planetary roller 93 rotates while rotating around the sun roller 92 to drive the ball screw driving unit 82 and move the piston shaft unit 813. Accordingly, the coating liquid stored in the coating liquid tank T flows into the liquid storage unit 814 through the inflow port 811a and is stored in the liquid storage unit 814.

次に、塗布液の塗布動作が行われる。すなわち、塗布液ポンプユニット８に供給された塗布液を口金部５１に供給するとともに、口金部５１から基板２上に塗布液を吐出する。具体的には、ボールネジ駆動部８２を駆動させることにより、ピストン軸部８１３を液体収容部８１４側に移動させる。すなわち、モータ部８３を作動させて吸い込み動作の時とは太陽ローラ９２及び遊星ローラ９３を逆回転させることによりボールネジ駆動部８２を駆動させてピストン軸部８１３を移動させる。これにより、液体収容部８１４に貯留された塗布液が流出口８１１ｂを通じて口金部５１に供給され、口金部５１のスリットから塗布液が吐出される。このとき、遊星ローラ９３は、太陽ローラ９２の周りを潤滑油を介して回転するため、遊星ギア及び太陽ギアを使用した遊星歯車タイプの減速機を用いる場合に比べてギアの噛み合いによる振動が生じないため、吐出される塗布液に脈動が生じず、塗布膜に横段ムラが発生するのを抑えることができる。   Next, a coating liquid coating operation is performed. That is, the coating liquid supplied to the coating liquid pump unit 8 is supplied to the base 51 and the coating liquid is discharged from the base 51 onto the substrate 2. Specifically, by driving the ball screw driving portion 82, the piston shaft portion 813 is moved to the liquid storage portion 814 side. That is, when the suction operation is performed by operating the motor unit 83, the ball roller driving unit 82 is driven by rotating the sun roller 92 and the planetary roller 93 in reverse to move the piston shaft unit 813. Thereby, the coating liquid stored in the liquid storage part 814 is supplied to the base part 51 through the outlet 811 b, and the coating liquid is discharged from the slit of the base part 51. At this time, since the planetary roller 93 rotates around the sun roller 92 through the lubricating oil, vibration due to the meshing of the gear occurs as compared with the case where the planetary gear type reduction device using the planetary gear and the sun gear is used. Therefore, pulsation does not occur in the discharged coating liquid, and the occurrence of lateral unevenness in the coating film can be suppressed.

そして、走行装置５３を駆動させて基板２上に塗布膜を形成する。具体的には、昇降装置５４を駆動制御することにより口金部５１が基板２から所定の高さ位置になるように設定し、この状態から走行装置５３を駆動制御することにより、口金部５１をＸ軸方向に走行させる。すなわち、塗布液ポンプユニットを作動させて口金部５１のスリットから塗布液を吐出させながら口金部５１を走行させることにより、基板２上に塗布液が均一厚さで塗布される。   Then, the traveling device 53 is driven to form a coating film on the substrate 2. Specifically, the base unit 51 is set to a predetermined height position from the substrate 2 by driving and controlling the lifting device 54, and the base unit 51 is controlled by driving and controlling the traveling device 53 from this state. Run in the X-axis direction. That is, the coating liquid is applied on the substrate 2 with a uniform thickness by operating the coating liquid pump unit and running the base part 51 while discharging the coating liquid from the slits of the base part 51.

次に、基板２の排出が行われる。すなわち、塗布動作により基板２表面に塗布膜が形成された後、真空ポンプを停止させて、吸引孔における圧力を大気圧に戻す。そして、リフトピンを上昇させることにより、リフトピンの先端部分で基板２を保持させ、図示しないロボットハンドに基板２の受け渡しが行われ、ステージ４の表面から基板２が排出される。   Next, the substrate 2 is discharged. That is, after the coating film is formed on the surface of the substrate 2 by the coating operation, the vacuum pump is stopped and the pressure in the suction hole is returned to the atmospheric pressure. Then, by lifting the lift pin, the substrate 2 is held at the tip of the lift pin, the substrate 2 is transferred to a robot hand (not shown), and the substrate 2 is discharged from the surface of the stage 4.

このように本実施形態における塗布液ポンプユニット８及び塗布装置によれば、減速機として遊星ローラ減速機９を用いたため、塗布膜に形成される横段ムラの発生を抑えることができる。すなわち、従来の塗布液ポンプユニットでは、薄膜を形成するための減速機が取り付けれており、減速機は多数の歯車を介してモータ部８３の動力をボールネジ駆動部８２に伝達するため、この歯車のバックラッシ、噛み合いの影響が大きく微小な横段ムラが形成されてしまう可能性が高いが、遊星ローラ減速機９を用いることにより、モータ部８３からの動力を歯車を介することなく塗布液ポンプユニットに伝達することができるため、歯車のバックラッシ、歯車の噛み合い等の振動が要因となって発生する横段ムラを抑えることができる。したがって、基板上に薄膜を形成する場合であっても、横段ムラの発生を抑えることができる。   Thus, according to the coating liquid pump unit 8 and the coating apparatus in the present embodiment, since the planetary roller speed reducer 9 is used as the speed reducer, it is possible to suppress occurrence of lateral unevenness formed in the coating film. That is, in the conventional coating liquid pump unit, a speed reducer for forming a thin film is attached, and the speed reducer transmits the power of the motor part 83 to the ball screw driving part 82 via a number of gears. The influence of backlash and meshing is large, and there is a high possibility that minute lateral unevenness will be formed. By using the planetary roller speed reducer 9, the power from the motor unit 83 is transmitted to the coating liquid pump unit without using a gear. Since transmission is possible, it is possible to suppress lateral unevenness caused by vibrations such as gear backlash and gear meshing. Therefore, even when a thin film is formed on the substrate, occurrence of horizontal unevenness can be suppressed.

また、上記実施形態では、太陽ローラ９２及び遊星ローラ９３は、ステンレス鋼で形成されている例について説明したが、太陽ローラ９２及び遊星ローラ９３の外周面に潤滑油を含浸させておくことにより、長期化運転に対応させ、給油システム１０を省く構成にしてもよい。すなわち、太陽ローラ９２及び遊星ローラ９３が互いに接する外周面に青銅、鋳鉄、合金等を焼結させた多孔質部を形成し、その多孔質部に潤滑油を含浸させる。これにより、ケース９１内の潤滑油が規定量より少なくなった場合でも、焼結部から潤滑油が供給されるため、潤滑油の補充がなくても一定期間、塗布液ポンプユニットを駆動させることができる。なお、上述の給油システム１０を併用して使用することにより、潤滑油を交換する等のメンテナンス期間を長期化することも可能である。   In the above-described embodiment, the sun roller 92 and the planetary roller 93 are described as examples formed of stainless steel, but by impregnating the outer peripheral surface of the sun roller 92 and the planetary roller 93 with lubricating oil, The configuration may be such that the oil supply system 10 is omitted in response to the prolonged operation. That is, a porous portion obtained by sintering bronze, cast iron, alloy, or the like is formed on the outer peripheral surface where the sun roller 92 and the planetary roller 93 are in contact with each other, and the porous portion is impregnated with lubricating oil. As a result, even when the lubricating oil in the case 91 becomes less than the specified amount, the lubricating oil is supplied from the sintered portion, so that the coating liquid pump unit can be driven for a certain period without supplementing the lubricating oil. Can do. In addition, it is also possible to lengthen a maintenance period, such as replacing | exchanging lubricating oil, by using together with the above-mentioned oil supply system 10. FIG.

また、上記実施形態では、ケース９１内の潤滑油が規定量以下と判断されるとバルブ１０ｄが閉状態から開状態になって予備タンク１０ａから潤滑油が給油される構成について説明したが、配管１０ｂ経路にバルブ１０ｄを設けず予備タンク１０ａとケース９１とを連結させたものであってもよい。この構成であれば、予備タンク１０ａから常に潤滑油が給油される構成であるとともに、ケース９１のみの場合に比べて潤滑油が不足する時期を遅らせることができるため、新しい潤滑油を継ぎ足すメンテナンスを行う回数を減らすことができる。   In the above embodiment, the configuration has been described in which the valve 10d is changed from the closed state to the open state when the lubricating oil in the case 91 is less than the specified amount, and the lubricating oil is supplied from the spare tank 10a. The spare tank 10a and the case 91 may be connected without providing the valve 10d in the path 10b. With this configuration, the lubricating oil is always supplied from the reserve tank 10a, and the time when the lubricating oil is insufficient can be delayed compared to the case of the case 91 alone. Can be reduced.

また、上記実施形態では、ケース９１内を潤滑油で満たすことにより、太陽ローラ９２と遊星ローラ９３との間に油膜を形成し動力を伝達する遊星ローラ減速機９について説明したが、潤滑油を用いずに太陽ローラ９２と遊星ローラ９３との摩擦によって動力を伝達する遊星ローラ減速機９であってもよい。例えば、ステンレス鋼製の太陽ローラ９２、遊星ローラ９３の外周面、及び、内ローラ９４の内周面に真空蒸着法によりＤＬＣ（ダイヤモンドライクコーティング）、チタンコーティング、ＡｌＣｒＮ等のコーティングを施すしたものを使用する。これにより、適度な摩擦係数、硬度を維持することができ、ギアのバックラッシ、ギアの噛み合い等の振動を抑えてモータ部８３の動力をボールネジ駆動部８２に伝達することができる。   In the above-described embodiment, the planetary roller speed reducer 9 that transmits oil by forming an oil film between the sun roller 92 and the planetary roller 93 by filling the case 91 with the lubricating oil has been described. The planetary roller speed reducer 9 may be used that transmits power by friction between the sun roller 92 and the planetary roller 93 without being used. For example, a stainless steel sun roller 92, planetary roller 93 outer peripheral surface, and inner roller 94 inner peripheral surface coated with DLC (diamond-like coating), titanium coating, AlCrN or the like by vacuum deposition. use. Accordingly, an appropriate friction coefficient and hardness can be maintained, and the power of the motor unit 83 can be transmitted to the ball screw driving unit 82 while suppressing vibrations such as gear backlash and gear meshing.

１ 塗布装置本体
２ 基板
５ 塗布ユニット
８ 塗布液ポンプユニット
９ 遊星ローラ減速機
１０ 給油システム
１０ａ 予備タンク
８１ ポンプ本体
８２ ボールネジ駆動部
８３ モータ部
９２ 太陽ローラ
９３ 遊星ローラ
９４ 内ローラ
Ｃ１，Ｃ２ カップリング DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Application | coating apparatus main body 2 Board | substrate 5 Application | coating unit 8 Application liquid pump unit 9 Planetary roller speed reducer 10 Oil supply system 10a Spare tank 81 Pump main body 82 Ball screw drive part 83 Motor part 92 Sun roller 93 Planetary roller 94 Inner roller C1, C2 Coupling

Claims (5)

基板と塗布ユニットとを相対的に移動させて基板上に塗布膜を形成する塗布装置の前記塗布ユニットに塗布液を供給する塗布液ポンプユニットであって、
前記塗布液ポンプユニットは、塗布液を供給するポンプ本体と、このポンプ本体に駆動力を伝達するボールネジ駆動部と、駆動力を発生させるモータ部とがこの順に一軸上に配置されており、
前記モータ部と前記ボールネジ駆動部との間には、遊星ローラ減速機が設けられていることを特徴とする塗布液ポンプユニット。 A coating liquid pump unit that supplies a coating liquid to the coating unit of a coating apparatus that forms a coating film on the substrate by relatively moving the substrate and the coating unit,
In the coating liquid pump unit, a pump main body that supplies the coating liquid, a ball screw driving portion that transmits a driving force to the pump main body, and a motor portion that generates the driving force are arranged on one axis in this order,
A planetary roller speed reducer is provided between the motor unit and the ball screw driving unit. 前記モータ部と遊星ローラ減速機とは、カップリングを介して連結されていることを特徴とする請求項１に記載の塗布液ポンプユニット。   The coating liquid pump unit according to claim 1, wherein the motor unit and the planetary roller speed reducer are connected via a coupling. 前記遊星ローラ減速機は、前記遊星ローラ減速機の潤滑油残量が所定値よりも少なくなると潤滑油が給油口から供給されることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布液ポンプユニット。   3. The coating liquid pump unit according to claim 1, wherein the planetary roller speed reducer is supplied with lubricating oil from an oil supply port when a remaining amount of lubricating oil of the planetary roller speed reducer is less than a predetermined value. . 前記遊星ローラ減速機の太陽ローラ、及び、遊星ローラは、互いに接する外周面に多孔質部を有しており、この多孔質部に潤滑油が含浸されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の塗布液ポンプユニット。   The sun roller and the planetary roller of the planetary roller speed reducer have a porous portion on an outer peripheral surface in contact with each other, and the porous portion is impregnated with lubricating oil. 4. The coating liquid pump unit according to any one of 3 above. 上記請求項１〜４のいずれかに記載の塗布液ポンプユニットを備えた塗布装置。   The coating device provided with the coating liquid pump unit in any one of the said Claims 1-4.
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