JP2016081933A - プラズマシステムでの不良に関連する構成要素の識別 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
Claims (25)
- ベースラインプラズマシステムの動作状態に関して、周波数帯域にわたる複数の周波数を適用するステップであって、前記周波数帯域が、前記周波数の複数の周波数範囲を含むステップと、
ベースラインプラズマシステムをモデル化して、ベースラインプラズマシステムのモデルパラメータを決定するステップと、
前記モデルパラメータに対応する前記周波数帯域の一部を、前記ベースラインプラズマシステムの1つ以上の不良構成要素に関連付けるステップと、
前記周波数帯域から前記周波数範囲の1つを識別するために、前記周波数帯域の前記周波数範囲それぞれを適用するために、周波数発生器および測定デバイス(FGMD)を用いてターゲットプラズマシステムを繰り返し試験するステップであって、前記FGMD(前記周波数発生器および前記測定デバイス)が、前記ベースラインプラズマシステムの複数の高周波(RF)発生器に取って代わり、前記ターゲットプラズマシステムの伝送線路に接続するステップと、
前記繰り返しの試験中に識別された前記周波数範囲に基づいて、不良を有する前記構成要素の1つ以上を識別するステップと
を含む方法。 - 前記FGMDデバイスを用いて前記ターゲットプラズマシステムを繰り返し試験するステップが、前記周波数帯域の前記周波数範囲それぞれに関して、前記ターゲットプラズマシステムを複数回試験して、前記周波数範囲の1つに前記パラメータのエラーがあるかどうか判断する請求項1に記載の方法。
- 周波数発生器および測定デバイスから受信されたパラメータの測定結果にアクセスするステップであって、前記測定結果が、複数の高周波(RF)信号に基づいて生成され、前記信号が、プラズマツールの一部分に提供され、前記RF信号が、1つ以上の周波数範囲を有するステップと、
前記パラメータがエラーを示すかどうか判断するステップであって、前記エラーが、前記プラズマツールの前記部分での不良を示すステップと、
前記エラーが生じる周波数の限度を識別するステップと、
前記エラーが生じる周波数の前記限度に基づいて、前記エラーを引き起こす前記プラズマツールの前記部分の1つ以上の構成要素を識別するステップと
を含む方法であって、
処理装置によって実行される
方法。 - パラメータが、複素インピーダンス、または複素電圧および電流、またはSパラメータ、または複素電力を含む請求項3に記載の方法。
- 前記周波数発生器および測定デバイスが、ネットワーク分析器を含む請求項3に記載の方法。
- 前記プラズマツールの前記部分が、プラズマチャンバ、または前記プラズマチャンバとRF伝送線路の一部との組合せ、または前記プラズマチャンバと前記RF伝送線路との組合せを含む請求項3に記載の方法。
- 前記プラズマツールの前記部分が、前記プラズマチャンバ、前記RF伝送線路、およびインピーダンス整合回路の組合せを含む請求項3に記載の方法。
- 前記RF信号の前記周波数の各範囲が、前記RF信号の前記周波数の任意の他の範囲とは排他的である請求項3に記載の方法。
- 前記パラメータが前記エラーを示すかどうか判断するステップが、前記パラメータが所定の限界値の外にあるかどうか判断するステップを含み、前記パラメータが、前記プラズマツールの前記部分が前記不良を有さないときには前記所定の限界値の外に位置する請求項3に記載の方法。
- 前記エラーが生じる前記周波数の前記限度を識別するステップが、前記パラメータの値が前記所定の限界値の範囲内であるとき、前記パラメータに対応する前記周波数の複数の値を決定するステップを含む請求項9に記載の方法。
- 前記エラーが生じる前記周波数の前記限度に基づいて、前記エラーを引き起こす前記プラズマツールの前記部分の前記1つ以上の構成要素を識別するステップが、
前記限度外の周波数の1つ以上に関連付けられる前記プラズマツールの前記部分の1つ以上の構成要素を除外するステップ
を含む請求項3に記載の方法。 - 前記パラメータがエラーを示すかどうか判断するステップが、
前記パラメータに関連付けられる共鳴周波数が、所定の共鳴周波数の間で生じるかどうか分析するステップと、
前記パラメータに関連付けられる前記共鳴周波数が前記所定の共鳴周波数の間で生じると判断したときに、前記エラーがないことを前記パラメータが示すと判断するステップと、
前記パラメータに関連付けられる前記共鳴周波数が前記所定の共鳴周波数の外で生じると判断したときに、前記パラメータが前記エラーを示すと判断するステップと
を含む請求項3に記載の方法。 - 前記パラメータがエラーを示すかどうか判断するステップが、
前記パラメータの位相の傾きが、前記パラメータの所定の限界値の位相の傾きの間にあるかどうか分析するステップと、
前記パラメータの前記位相の前記傾きが、前記パラメータの前記所定の限界値の前記位相の前記傾きの間にあると判断したときに、前記エラーがないことを前記パラメータが示すと判断するステップと、
前記パラメータの前記位相の前記傾きが、前記パラメータの前記所定の限界値の前記位相の前記傾きの外にあると判断したときに、前記パラメータが前記エラーを示すと判断するステップと
を含む請求項3に記載の方法。 - 前記パラメータがエラーを示すかどうか判断するステップが、
前記パラメータの大きさのシフトがあるかどうか識別するステップと、
シフトが生じたと判断したときに、前記パラメータが前記エラーを示すと判断するステップと、
前記シフトが生じなかったと判断したときに、前記エラーがないことを前記パラメータが示すと判断するステップと
を含む請求項3に記載の方法。 - プラズマツールを備えるプラズマシステムであって、前記プラズマツールが、
幾つかの構成要素を含むプラズマチャンバであって、前記構成要素が、複数の電極を含み、前記電極の1つが、複数の高周波(RF)信号を受信するためのものであり、前記RF信号が、1つ以上の周波数範囲を有するプラズマチャンバと、
前記プラズマチャンバへの前記RF信号の転送を容易にするための前記プラズマチャンバに接続された高周波(RF)伝送線路であって、前記RF伝送線路の少なくとも一部が周波数発生器および測定デバイスに接続される高周波(RF)伝送線路と
を含み、
プラズマシステムがさらに、
前記周波数発生器および測定デバイスに接続されたホストシステムを備え、前記ホストシステムが、
前記RF信号に基づいて生成されるパラメータの測定結果を前記周波数発生器および測定デバイスから受信し、
前記パラメータが、前記プラズマチャンバまたはRF伝送線路でのエラーを示すかどうか判断し、
前記エラーが生じる前記周波数の限度を識別し、
前記エラーが生じる前記周波数の前記限度に基づいて、前記エラーを引き起こす前記プラズマチャンバまたはRF伝送線路の1つ以上の構成要素を識別する
ためのものである
プラズマシステム。 - 前記パラメータが前記エラーを示すかどうか判断するために、前記ホストシステムが、前記パラメータが所定の限界値の外にあるかどうか判断し、前記パラメータが、前記プラズマツールが前記不良を有さないときには前記所定の限界値の外に位置する請求項15に記載のプラズマシステム。
- 開端部を有するハウジングであって、前記開端部が前記ハウジングの空間内部への進入を容易にするハウジングと、
前記開端部に対して対向して位置する前記ハウジングの閉端部を形成するために前記ハウジングに取り付けられたポートであって、RF信号を転送するためのピンを有するポートと、
頭部およびねじ山付き部分を有するねじであって、前記頭部が、前記頭部の空間内に前記ピンを嵌めるために前記ピンの端部を受け取るための空間を有し、前記ねじ山付き部分が、RFロッドに取着するためのものであり、前記ピンが、周波数発生器および測定デバイスのコネクタを受け取るためのものである、ねじと
を備えるコネクタ。 - 前記ピンが、前記ハウジングの前記閉端部を通って前記ハウジング内に延びる請求項17に記載のコネクタ。
- 前記ハウジングが、第1の部分と第2の部分とを含み、前記第1の部分が、前記第2の部分よりも小さい直径を有し、前記第1の部分が、外面と内面を有し、前記第1の部分の前記外面が、RF伝送線路のRFシースに嵌めるためのものである請求項17に記載のコネクタ。
- 前記ポートが、前記ポートの一部が前記ねじ内部に延び、別の部分が前記ハウジングの外に延びることができるように前記ハウジングにねじ留めされる請求項17に記載のコネクタ。
- 前記ポートが、前記ハウジングから取外し可能である請求項17に記載のコネクタ。
- 前記ピンと前記頭部の前記空間とが、同じ断面形状を有して、前記ピンが前記頭部内に嵌まることを可能にする請求項17に記載のコネクタ。
- 前記ねじの前記ねじ山付き部分が、RFロッドのねじ山付き部分にねじ留めされる請求項17に記載のコネクタ。
- 前記RFロッドが、インピーダンス整合回路からプラズマチャンバにRF信号を転送するためのものであり、前記ねじが前記RFロッド内に延びる請求項17に記載のコネクタ。
- 前記ハウジングが、第1の直径を有する第1の部分と、第2の直径を有する第2の部分とを有し、前記第2の直径が前記第1の直径よりも小さく、前記RFロッドが、インピーダンス整合回路からプラズマチャンバにRF信号を転送するためのものであり、前記RFロッドが、ねじ山付きスペーシングおよびRFシースを有し、前記ねじが、前記RFロッド内部で前記ねじ山付きスペーシング内に延び、前記ハウジングの前記第2の部分が、前記RFシースに嵌まる請求項17に記載のコネクタ。
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