JP2016071167A - Method of manufacturing fine structural body, fine structural body, method of manufacturing production mold, and production mold - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable more efficient mass production of a fine structural body employing a moth-eye structure.SOLUTION: A method of manufacturing a fine structural body with a fine concavo-convex structure having a pitch smaller than the shortest wavelength in the visible ray range comprises; a production mold manufacturing step for manufacturing a production mold of the fine structural body; and a molding step for manufacturing the fine structural body through a molding process using the production mold. The production mold manufacturing step includes; a first machining step SP3 for producing first fine grooves 25 that extend in one direction on a surface of a base material 22 of the production mold by machining the surface; a refilling step SP4 for refilling the first fine grooves 25; a second machining step SP5 for producing second fine grooves 28 that cross the first fine grooves 25 by machining the surface with the first fine grooves 25 that have been refilled in the refilling step SP4; and a removal step SP6 for removing members 26 used for refilling in the refilling step SP4 from the first fine grooves 25.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、例えば、可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体に関するものである。   The present invention relates to a microstructure having a fine concavo-convex structure with a pitch shorter than the shortest wavelength in the visible light region, for example.

近年、可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体に関して、フィルム形状による反射防止物品である反射防止フィルムに関する工夫が種々に提案されている（特許文献１〜３）。この反射防止フィルムは、透明基材（透明フィルム）の表面に多数の微小突起を配置することにより、反射防止を図る最短波長である可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を作製し、この微細凹凸構造により反射防止を図る。この方法は、いわゆるモスアイ（ｍｏｔｈ ｅｙｅ（蛾の目））構造の原理を利用したものであり、入射光に対する屈折率を基板の厚み方向に連続的に変化させ、これにより屈折率の不連続界面を消失させて反射防止を図るものである。   In recent years, various devices for an antireflection film, which is an antireflection article by a film shape, have been proposed for a microstructure having a fine concavo-convex structure with a pitch shorter than the shortest wavelength in the visible light region (Patent Documents 1 to 3). . This anti-reflection film has a fine concavo-convex structure with a pitch shorter than the shortest wavelength in the visible light region, which is the shortest wavelength to prevent reflection, by arranging a large number of minute protrusions on the surface of a transparent substrate (transparent film). The anti-reflection structure is intended to prevent reflection. This method utilizes the principle of a so-called moth-eye structure, and the refractive index for incident light is continuously changed in the thickness direction of the substrate, whereby a discontinuous interface of refractive index is obtained. Is eliminated to prevent reflection.

またこの種の微細構造体は、親水性、防曇性を発揮し、特許文献４、５には、この親水性、防曇性を利用した微細構造体に関する工夫が提案されている。   In addition, this type of fine structure exhibits hydrophilicity and antifogging properties, and Patent Documents 4 and 5 propose a device for a fine structure using the hydrophilicity and antifogging properties.

ところでこの種の微細構造体は、効率良く反射防止を図り、さらには親水性、防曇性を発揮できることにより、種々の分野への適用が考えられ、このためには効率良く大量生産することが望まれる。特に、この種の微細構造体にあっては、建材用途としての使用も考えられ、この場合には、大面積の微細構造体を従来に比して格段的に効率良く大量生産することが望まれる。   By the way, this kind of fine structure can be effectively applied to various fields because it can effectively prevent reflection and further exhibit hydrophilicity and antifogging properties. For this purpose, it can be mass-produced efficiently. desired. In particular, this type of fine structure may be used as a building material. In this case, it is desirable to mass-produce a large-area fine structure much more efficiently than before. It is.

特開昭５０−７００４０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 50-70040 特表２００３−５３１９６２号公報Special Table 2003-531962 特許第４６３２５８９号公報Japanese Patent No. 4632589 特許第５４２６１００号公報Japanese Patent No. 5426100 特公平７−１０２１６８号公報Japanese Patent Publication No. 7-102168

本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、モスアイ構造に係る微細構造体に関して、従来に比して効率良く大量生産できるようにすることを目的とする。   The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to enable mass production of a microstructure having a moth-eye structure more efficiently than in the past.

本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ね、製造用金型を使用した賦型処理により作製するようにし、切削加工により交差するように微細溝を作製して製造用金型を作製する。またこのとき、一旦作成した微細溝を埋戻して交差する微細溝を作製する、との着想に至り、本発明を完成するに至った。   The present inventor has intensively studied to solve the above-mentioned problems, manufactured by a molding process using a manufacturing mold, and manufactured by manufacturing a fine groove so as to intersect by cutting. Is made. At this time, the idea of backfilling the fine grooves once created to produce intersecting fine grooves was reached, and the present invention was completed.

具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する     Specifically, the present invention provides the following.

（１） 可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体の製造方法において、
前記微細構造体の製造用金型を作製する製造用金型の作製工程と、
前記製造用金型を使用した賦型処理により前記微細構造体を作製する賦型工程とを備え、
前記製造用金型の作製工程では、
前記製造用金型の母材の表面の切削により、前記表面に、１方向に延長する第１の微細溝を作製する第１の切削工程と、
前記第１の微細溝を埋め戻す埋戻し工程と、
前記埋戻し工程により第１の微細溝を埋戻した前記表面の切削により、前記第１の微細溝と交差する第２の微細溝を作製する第２の切削工程と、
前記埋戻し工程による埋戻しに供した部材を、前記第１の微細溝より除去する除去工程とを備える。 (1) In a manufacturing method of a fine structure having a fine concavo-convex structure with a pitch shorter than the shortest wavelength in the visible light region,
A manufacturing process for manufacturing a mold for manufacturing the microstructure for manufacturing the microstructure, and
A molding process for producing the microstructure by a molding process using the manufacturing mold,
In the manufacturing process of the manufacturing mold,
A first cutting step of producing a first microgroove extending in one direction on the surface by cutting the surface of the base material of the manufacturing mold;
A backfilling step of backfilling the first fine groove;
A second cutting step for producing a second fine groove intersecting the first fine groove by cutting the surface where the first fine groove is backfilled by the backfilling step;
A removal step of removing a member used for backfilling in the backfilling step from the first fine groove.

（１）によれば、工具の損傷を格段に低減して効率良く切削加工して製造用金型を作成することができ、モスアイ構造に係る微細構造体を従来に比して効率良く大量生産することができる。   According to (1), tool damage can be greatly reduced and cutting can be efficiently performed to produce a mold for manufacturing, and mass structures related to the moth-eye structure can be mass-produced more efficiently than before. can do.

（２） （１）において、母材が、円筒形状又は円柱形状であり、
前記第１及び第２の切削工程は、
前記母材の周側面に前記第１及び第２の微細溝を作製する。 (2) In (1), the base material is cylindrical or columnar,
The first and second cutting steps include
The first and second fine grooves are formed on the peripheral side surface of the base material.

（２）によれば、ロール版による製造用金型を効率良く作成することができ、このロール版を使用して微細構造体を効率良く大量生産することができる。   According to (2), it is possible to efficiently produce a mold for production using a roll plate, and it is possible to efficiently mass-produce fine structures using this roll plate.

（３） （１）又は（２）において、
前記第２の切削工程は、
前記第１の微細溝と直交する方向に延長するように、前記第２の微細溝を作製する。 (3) In (1) or (2),
The second cutting step includes
The second fine groove is formed so as to extend in a direction orthogonal to the first fine groove.

（３）によれば、四角錐形状、四角柱形状等による微小突起を密に作成してなる表面形状により金型を作成して、対応する微小凹部を備えてなる微小構造体を作成することができる。   According to (3), a mold is created with a surface shape formed by densely forming minute projections in a quadrangular pyramid shape, a quadrangular prism shape, etc., and a microstructure having a corresponding minute recess is created. Can do.

（４） （１）、（２）、（３）の何れかに記載の微細構造体の製造方法により製造された微細構造体。   (4) A microstructure manufactured by the method for manufacturing a microstructure according to any one of (1), (2), and (3).

（４）によれば、従来に比して効率良く大量生産することか可能な微小構造体を提供することができる。   According to (4), it is possible to provide a microstructure that can be mass-produced more efficiently than before.

（５） 賦型処理による微細構造体の製造に使用する製造用金型の作製方法において、
前記微細構造体が、可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体であり、
前記製造用金型の製造方法は、
前記製造用金型の母材の表面の切削により、前記表面に、１方向に延長する第１の微細溝を作製する第１の切削工程と、
前記第１の微細溝を埋め戻す埋戻し工程と、
前記埋戻し工程により第１の微細溝を埋戻した前記表面の切削により、前記第１の微細溝と交差する第２の微細溝を作製する第２の切削工程と、
前記埋戻し工程による埋戻しに供した部材を、前記第１の微細溝より除去する除去工程とを備える。 (5) In the production method of the production mold used for the production of the fine structure by the shaping process,
The fine structure is a fine structure having a fine relief structure with a pitch shorter than the shortest wavelength in the visible light region,
The manufacturing method of the manufacturing mold is as follows:
A first cutting step of producing a first microgroove extending in one direction on the surface by cutting the surface of the base material of the manufacturing mold;
A backfilling step of backfilling the first fine groove;
A second cutting step for producing a second fine groove intersecting the first fine groove by cutting the surface where the first fine groove is backfilled by the backfilling step;
A removal step of removing a member used for backfilling in the backfilling step from the first fine groove.

（５）によれば、工具の損傷を格段に低減して効率良く切削加工して製造用金型を作成することができ、モスアイ構造に係る微細構造体を従来に比して効率良く大量生産することができる。   According to (5), tool damage can be greatly reduced and cutting can be performed efficiently to produce a mold for production, and mass structures related to the moth-eye structure can be mass-produced more efficiently than before. can do.

（６） （５）において、
母材が、円筒形状又は円柱形状であり、
前記第１及び第２の切削工程は、
前記母材の周側面に前記第１及び第２の微細溝を作製する。 (6) In (5),
The base material is cylindrical or columnar,
The first and second cutting steps include
The first and second fine grooves are formed on the peripheral side surface of the base material.

（６）によれば、ロール版による製造用金型を効率良く作成することができ、このロール版を使用して微細構造体を効率良く大量生産することができる。   According to (6), it is possible to efficiently produce a mold for production using a roll plate, and it is possible to mass-produce fine structures efficiently using this roll plate.

（７） （５）又は（６）において、
前記第２の切削工程は、
前記第１の微細溝と直交する方向に延長するように、前記第２の微細溝を作製する (7) In (5) or (6),
The second cutting step includes
The second fine groove is formed so as to extend in a direction perpendicular to the first fine groove.

（７）によれば、四角錐形状、四角柱形状等による微小突起を密に作成してなる表面形状により金型を作成して、対応する微小凹部を備えてなる微小構造体を作成することができる。   According to (7), a die is created with a surface shape formed by densely forming minute projections in the shape of a quadrangular pyramid, a quadrangular prism, etc., and a microstructure having a corresponding minute recess is created. Can do.

（８） （５）、（６）、（７）の何れかに記載の微細構造体の製造方法により製造された製造用金型。   (8) A production mold produced by the method for producing a microstructure according to any one of (5), (6), and (7).

（８）によれば、従来に比して効率良く大量生産することか可能な微小構造体の製造用金型を提供することができる。   According to (8), it is possible to provide a mold for manufacturing a microstructure that can be mass-produced more efficiently than before.

本発明によれば、モスアイ構造に係る微細構造体に関して、従来に比して効率良く大量生産することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, regarding the microstructure which concerns on a moth eye structure, it can mass-produce efficiently compared with the past.

本発明の第１実施形態に係る微小構造体を示す図である。It is a figure which shows the microstructure concerning 1st Embodiment of this invention. 図１の微小構造体の製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the micro structure of FIG. 図２の製造工程に使用するロール版を示す図である。It is a figure which shows the roll plate used for the manufacturing process of FIG. 図３のロール版の製造工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of the roll plate of FIG. 図４の製造工程の説明に供する図である。It is a figure where it uses for description of the manufacturing process of FIG. 第１切削工程の説明に供する図である。It is a figure where it uses for description of a 1st cutting process. 第２切削工程の説明に供する図である。It is a figure where it uses for description of a 2nd cutting process. 微細溝の説明に供する図である。It is a figure where it uses for description of a microgroove. 切削工程の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of a cutting process. 図９とは異なる切削工程の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of the cutting process different from FIG. 図９、図１０とは異なる切削工程の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of the cutting process different from FIG. 9, FIG.

〔第１実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態に係る微細構造体を示す図（概念斜視図）である。この微細構造体１は、全体形状がフィルム形状により形成された反射防止フィルムであり、可視光域の最短波長でより短いピッチによる微細凹凸構造により反射防止を図る。この実施形態では、この微細構造体１が窓、ショーケース等に貼り付けられて保持され、この微細構造体１により日光、電燈光等の外来光の反射を低減し、さらには展示物の視認性を向上する。なお微細構造体は、その形状を平坦なフィルム形状とする場合に限らず、平坦なシート形状、平板形状（相対的に厚みの薄い順に、フィルム、シート、板と呼称する）とすることもでき、また平坦な形状に代えて、湾曲形状、立体形状を呈したフィルム形状、シート形状、板形状とすることもでき、さらには各種レンズ、各種プリズム等の立体形状のものを用途に応じて適宜採用することができる。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a diagram (conceptual perspective view) showing a microstructure according to the first embodiment of the present invention. This fine structure 1 is an antireflection film whose overall shape is formed in a film shape, and aims to prevent reflection by a fine concavo-convex structure with a shorter pitch at the shortest wavelength in the visible light region. In this embodiment, this fine structure 1 is attached and held on a window, a showcase, etc., and this fine structure 1 reduces reflection of extraneous light such as sunlight, electric light, etc. Improve sexiness. Note that the fine structure is not limited to a flat film shape, and may be a flat sheet shape or a flat plate shape (referred to as a film, a sheet, and a plate in order of decreasing thickness). In addition, instead of a flat shape, a curved shape, a three-dimensional film shape, a sheet shape, or a plate shape can be used, and various lenses, prisms, and other three-dimensional shapes are appropriately used depending on the application. Can be adopted.

ここで微細構造体１は、透明フィルムの形状（形態）の基材２の表面に多数の微小凹部５が配置される。ここで基材２は、例えばＴＡＣ（Triacetylcellulose）、等のセルロース(纖維素)系樹脂、ＰＭＭＡ(ポリメチルメタクリレート)等のアクリル系樹脂、ＰＥＴ（Polyethylene terephthalate）等のポリエステル系樹脂、ＰＰ（ポリプロピレン）等のポリオレフィン系樹脂、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）等のビニル系樹脂、ＰＣ（Polycarbonate）等の各種透明樹脂フィルムを適用することができる。なお上述したように微細構造体の形状はフィルム形状に限らず、種々の形状を採用可能である。基材２は、このような微細構造体の形状に応じて、これらの材料の他に、例えばソーダ硝子、カリ硝子、鉛ガラス等の硝子、ＰＬＺＴ等のセラミックス、石英、螢石等の各種透明無機材料等を適用することができる。   Here, in the fine structure 1, a large number of minute recesses 5 are arranged on the surface of the substrate 2 in the shape (form) of a transparent film. Here, the base material 2 is, for example, a cellulose resin such as TAC (Triacetylcellulose), an acrylic resin such as PMMA (polymethyl methacrylate), a polyester resin such as PET (Polyethylene terephthalate), or PP (polypropylene). Polyolefin resins such as PVC, vinyl resins such as PVC (polyvinyl chloride), and various transparent resin films such as PC (polycarbonate) can be applied. As described above, the shape of the fine structure is not limited to the film shape, and various shapes can be employed. In addition to these materials, the base material 2 is made of various transparent materials such as soda glass, potassium glass, lead glass, etc., ceramics such as PLZT, quartz, meteorite, etc. An inorganic material or the like can be applied.

微細構造体１は、基材２上に、微小凹部群からなる微細な凹凸形状の受容層となる未硬化状態の樹脂層（以下、適宜、受容層と呼ぶ）４を形成し、該受容層４を賦型処理して硬化させ、これにより基材２の表面に微小凹部５が配置される。この実施形態では、この受容層４に、賦型処理に供する賦型用樹脂の１つであるアクリレート系紫外線硬化性樹脂が適用され、基材２上に紫外線硬化性樹脂層による受容層４が形成される。なお受容層４にあっては、賦型処理に適用可能な各種樹脂材料を広く適用することができる。   The fine structure 1 has an uncured resin layer 4 (hereinafter, referred to as a receiving layer as appropriate) 4 that forms a fine concave-convex receiving layer made of a group of fine concave portions on a base material 2, and the receiving layer 4 is subjected to a shaping treatment and cured, whereby the minute recesses 5 are arranged on the surface of the substrate 2. In this embodiment, an acrylate ultraviolet curable resin, which is one of the molding resins used for the molding process, is applied to the receptor layer 4, and the receptor layer 4 made of an ultraviolet curable resin layer is formed on the substrate 2. It is formed. In the receiving layer 4, various resin materials applicable to the shaping process can be widely applied.

微小凹部５は、この微細構造体１の表面を鉛直方向が見た場合の形状が正方形形状である柱状の凹部であり、この正方形形状の直交する２辺の延長方向にそれぞれ繰り返し作成され、微細構造体１の表面にマトリックス状に設けられる。微細構造体１は、この２辺の延長方向に係る繰り返しピッチＰｘ及びＰｙが、この微細構造体１において反射防止を図る最短波長Λｍｉｎより短くなるように設定される。すなわちＰｘ≦Λｍｉｎ、Ｐｙ≦Λｍｉｎに設定される。この実施形態では、窓、ショーケース等に配置して反射を防止し、視認性を向上することにより、反射防止を図る波長帯域は可視光域の波長帯域である。この可視光域における最短波長Λｍｉｎは、個人差、視聴条件を加味して概ね３８０ｎｍであり、これにより繰り返しピッチＰｘ及びＰｙは共に３８０ｎｍ以下に設定される。しかしながら充分な反射防止機能を確保する観点から、好ましくは２００ｎｍ以下、より好ましくは１００ｎｍ以下に設定される。これにより微細構造体１は、この微小凹部５により厚み方向に徐々に屈折率が変化するように作製され、モスアイ構造の原理により広い波長範囲で入射光の反射を低減する。   The minute recess 5 is a columnar recess whose shape when the surface of the microstructure 1 is viewed in the vertical direction is a square, and is repeatedly created in the extending direction of two orthogonal sides of the square. A matrix is provided on the surface of the structure 1. The fine structure 1 is set so that the repetitive pitches Px and Py in the extending directions of the two sides are shorter than the shortest wavelength Λmin for preventing reflection in the fine structure 1. That is, Px ≦ Λmin and Py ≦ Λmin are set. In this embodiment, the wavelength band for preventing reflection by disposing it on a window, a showcase or the like to prevent reflection and improving visibility is the wavelength band of the visible light range. The shortest wavelength Λmin in the visible light region is approximately 380 nm in consideration of individual differences and viewing conditions, whereby the repeat pitches Px and Py are both set to 380 nm or less. However, from the viewpoint of securing a sufficient antireflection function, it is preferably set to 200 nm or less, more preferably 100 nm or less. As a result, the fine structure 1 is produced so that the refractive index gradually changes in the thickness direction by the minute concave portion 5, and the reflection of incident light is reduced in a wide wavelength range by the principle of the moth-eye structure.

また微小凹部５は、深さ５０ｎｍ以上、好ましくは、深さ１００ｎｍ以上、より好ましくは深さ２００ｎｍ以上により作製され、これにより反射防止に供する波長帯域で、さらに広い視野角おいて、充分に反射率を低減できるように構成される。しかしながら微小凹部５は、生産工程における歩留まり等を考慮して、深さは、繰り返しピッチＰｘ、Ｐｙ以下とされる。   The minute recesses 5 are formed with a depth of 50 nm or more, preferably with a depth of 100 nm or more, and more preferably with a depth of 200 nm or more, so that they can be sufficiently reflected in a wider wavelength range for use in antireflection. It is comprised so that a rate can be reduced. However, in consideration of the yield in the production process and the like, the depth of the minute recess 5 is set to be not more than the repeated pitches Px and Py.

また微小凹部５は、繰り返しの方向に係る幅Ｗｘ、Ｗｙが、対応する繰り返しピッチＰｘ、Ｐｙの１／３以上、２／３以下とされ、これにより後述する賦型用金型の微細溝を確実に作成できるように構成され、また高い生産性を確保できるように構成される。   Further, the minute recesses 5 have widths Wx and Wy in the repetitive direction that are 1/3 or more and 2/3 or less of the corresponding repetitive pitches Px and Py. It is configured so that it can be reliably produced, and is configured to ensure high productivity.

［製造工程］
図２は、この微細構造体１の製造工程を示す図である。この製造工程１０は、樹脂供給工程において、ダイ１２により帯状フィルム形態の基材２に受容層４を構成する未硬化で液状の紫外線硬化性樹脂を塗布する。なお紫外線硬化性樹脂の塗布については、ダイ１２による場合に限らず、各種の手法を適用することができる。続いてこの製造工程１０は、押圧ローラ１４により、微細構造体の賦型用金型であるロール版１３の周側面に基材２を加圧押圧し、これにより未硬化状態で液状の紫外線硬化性樹脂をロール版１３の周側面に密着させると共に、ロール版１３の周側面に作製された微細な凹凸形状の凹部に紫外線硬化性樹脂を充分に充填する。この製造工程は、この状態で、紫外線の照射により紫外線硬化性樹脂を硬化させ、これにより基材２の表面に微小凹部群を作製する。この製造工程は、続いて剥離ローラ１５を介してロール版１３から、硬化した紫外線硬化性樹脂と一体に基材２を剥離する。製造工程１０は、必要に応じてこの基材２に粘着層等を作製した後、所望の大きさに切断して微細構造体１を作製する。これにより微細構造体１は、ロール材による長尺の基材２に、賦型用金型であるロール版１３の周側面に作製された微細凹凸形状を順次賦型して、効率良く大量生産される。 [Manufacturing process]
FIG. 2 is a diagram illustrating a manufacturing process of the microstructure 1. In the manufacturing process 10, in the resin supply process, an uncured and liquid ultraviolet curable resin that constitutes the receiving layer 4 is applied to the base material 2 in the form of a strip film by the die 12. In addition, about application | coating of an ultraviolet curable resin, not only the case by the die | dye 12 but various methods are applicable. Subsequently, in this manufacturing process 10, the substrate 2 is pressed and pressed against the peripheral side surface of the roll plate 13, which is a mold for forming a fine structure, by the pressing roller 14, thereby liquid UV curing in an uncured state. The adhesive resin is brought into intimate contact with the peripheral side surface of the roll plate 13 and the ultraviolet curable resin is sufficiently filled into the concave portions having fine irregularities formed on the peripheral side surface of the roll plate 13. In this state, in this manufacturing process, the ultraviolet curable resin is cured by irradiation with ultraviolet rays, and thereby a group of minute recesses is formed on the surface of the substrate 2. In this manufacturing process, the substrate 2 is peeled off from the roll plate 13 through the peeling roller 15 together with the cured ultraviolet curable resin. In the manufacturing process 10, an adhesive layer or the like is formed on the substrate 2 as necessary, and then the microstructure 1 is manufactured by cutting it into a desired size. As a result, the fine structure 1 can be mass-produced efficiently by sequentially molding the fine irregularities formed on the peripheral side surface of the roll plate 13 which is a mold for molding on the long base material 2 made of a roll material. Is done.

図３は、ロール版１３の構成を示す斜視図である。ロール版１３は、円筒形状又は円柱形状の金属材料である母材２２の周側面に、矢印Ａにより部分的に拡大して示すように、微細構造体１の表面形状に対応する微細凹凸形状が作製される。ここで母材２２は、この種の賦型処理に十分な強度を備え、また切削加工により微細凹凸形状の作製が容易な、円柱形状又は円筒形状の各種金属材料を広く適用できるものの、この実施形態では、銅のパイプ材が適用される。ロール版１３は、母材２２の周側面に、このパイプ材の管軸に沿った方向と円周方向とに、それぞれ微小凹部５に対応する微小凸部２３が繰り返し作成され、またこの作成周期である繰り返しピッチピッチＰｘ及びＰｙが、微細構造体１において反射防止を図る最短波長Λｍｉｎより短くなるように作成される。また微細構造体１の微小凹部５に係る幅Ｗｘ、Ｗｙ、深さに対応する幅、高さにより微小凸部２３が作製される。   FIG. 3 is a perspective view showing the configuration of the roll plate 13. The roll plate 13 has a fine concavo-convex shape corresponding to the surface shape of the fine structure 1 as shown partially enlarged by an arrow A on the peripheral side surface of the base material 22 which is a cylindrical or columnar metal material. Produced. Here, although the base material 22 has a sufficient strength for this type of forming process, and can easily apply various metal materials in a columnar shape or a cylindrical shape that can easily produce a fine uneven shape by a cutting process, In form, copper pipe material is applied. In the roll plate 13, minute projections 23 corresponding to the minute depressions 5 are repeatedly formed on the peripheral side surface of the base material 22 in the direction along the pipe axis of the pipe material and in the circumferential direction, respectively. The repetitive pitch pitches Px and Py are shorter than the shortest wavelength Λmin for preventing reflection in the fine structure 1. In addition, the minute protrusions 23 are produced by the widths Wx, Wy, and the width and height corresponding to the depths of the minute recesses 5 of the microstructure 1.

図４は、このロール版１３の作製工程を示すフローチャートである。また図５は、この図４との対比により各工程の説明に供する図である。この製造工程は、平滑化工程（ＳＰ１）において、バイトを使用した母材周側面の切削処理により母材２２の周側面を平滑化した後、電解溶出作用と、砥粒による擦過作用の複合による電解複合研磨法により母材２２の周側面を超鏡面化する（ＳＰ２）。これによりこの製造工程は、微細構造体１の表面形状に対応する平滑度により母材２２の周側面を平滑化する（図５（Ａ））。   FIG. 4 is a flowchart showing the production process of the roll plate 13. FIG. 5 is a diagram for explaining each process in comparison with FIG. In the smoothing step (SP1), the manufacturing process is performed by smoothing the peripheral side surface of the base material 22 by cutting the base material peripheral side surface using a cutting tool, and then combining the electrolytic elution action and the rubbing action by the abrasive grains. The peripheral side surface of the base material 22 is made into a super mirror surface by an electrolytic composite polishing method (SP2). Thus, in this manufacturing process, the peripheral side surface of the base material 22 is smoothed by the smoothness corresponding to the surface shape of the fine structure 1 (FIG. 5A).

続いてこの製造工程は、図６に示すように、一次切削工程（ＳＰ３）において、母材２２を切削装置に装着し、バイト２４の先端を母材２２の周側面に押し当て、この状態で矢印Ｂにより示すように母材２２を回転させながら、矢印Ｃにより示すようにバイト２４を母材２２の管軸に沿った方向に移動させ、これにより母材２２の周側面をらせん状に切削加工し、円周方向に延長する断面矩形形状による凹溝である微細溝２５を母材２２の周側面に作製する（図５（Ｂ））。なおバイト２４は、同時並列的に複数の微細溝２５を作製可能に、先端が櫛歯状に形成されており、これによりこの工程では、この母材２２の円周方向に延長する複数の微細溝を同時並列的に作成して切削工程に要する時間を短縮する。これによりこの製造工程は、ピッチＰｙにより微細溝２５を作製する。   Subsequently, as shown in FIG. 6, in this manufacturing process, in the primary cutting process (SP3), the base material 22 is mounted on the cutting device, and the tip of the cutting tool 24 is pressed against the peripheral side surface of the base material 22. While rotating the base material 22 as indicated by the arrow B, the cutting tool 24 is moved in the direction along the tube axis of the base material 22 as indicated by the arrow C, thereby cutting the peripheral side surface of the base material 22 in a spiral shape. The fine groove 25 which is processed and is a concave groove having a rectangular cross section extending in the circumferential direction is formed on the peripheral side surface of the base material 22 (FIG. 5B). Note that the tip of the cutting tool 24 is formed in a comb-teeth shape so that a plurality of fine grooves 25 can be formed simultaneously in parallel. Accordingly, in this process, a plurality of fine grooves extending in the circumferential direction of the base material 22 are formed. Grooves are created simultaneously in parallel to reduce the time required for the cutting process. Thus, in this manufacturing process, the fine groove 25 is formed with the pitch Py.

続いてこの製造工程は、埋戻し工程（ＳＰ４）において、一次切削工程で作成した微細溝２５を埋戻し材により埋戻し、母材２２の周側面をほぼ平坦にし、一次切削工程の前の状態に母材２２の周側面を戻す（図５（Ｃ））。より具体的に、この実施形態においては、この埋戻し材に紫外線硬化性樹脂が適用され、紫外線硬化性樹脂２６を母材２２の周側面に塗工した後、紫外線の照射によりこの紫外線硬化性樹脂２６を硬化させ、これにより微細溝２５を埋め戻す。なお埋戻し材にあっては、微細な微細溝２５を充分に埋め戻すことが可能なことを条件に、種々の材料を広く適用することができる。   Subsequently, in this manufacturing process, in the backfilling process (SP4), the fine grooves 25 created in the primary cutting process are backfilled with the backfilling material, the peripheral side surface of the base material 22 is made substantially flat, and the state before the primary cutting process. Return the peripheral side surface of the base material 22 (FIG. 5C). More specifically, in this embodiment, an ultraviolet curable resin is applied to the backfill material, and after the ultraviolet curable resin 26 is applied to the peripheral side surface of the base material 22, the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet rays. The resin 26 is cured, thereby filling the fine grooves 25 back. In the backfilling material, various materials can be widely applied on condition that the fine groove 25 can be sufficiently backfilled.

続いてこの製造工程は、二次切削工程（ＳＰ５）における切削加工により、一次切削工程により作製した微細溝２５と交差する断面矩形形状による微細溝２８を作製する（図５（Ｄ））。より具体的にこの工程では、図７に示すように、母材２２を間欠的に回転させながら、矢印Ｄにより示すように、バイト２４により母材２２の中心軸方向に母材２２の周側面を切削し、これにより微細溝２５と延長方向が直交する微細溝２８を作製する。   Subsequently, in this manufacturing process, the fine groove 28 having a rectangular cross section intersecting with the fine groove 25 produced in the primary cutting process is produced by the cutting in the secondary cutting process (SP5) (FIG. 5D). More specifically, in this step, as shown in FIG. 7, while rotating the base material 22 intermittently, as shown by the arrow D, the peripheral side surface of the base material 22 in the direction of the central axis of the base material 22 by the cutting tool 24 As a result, a fine groove 28 whose extension direction is orthogonal to the fine groove 25 is produced.

しかして何ら微細溝２５を埋め戻すことなく、微細溝２５と交差する微細溝２８を切削により作製する場合、バイト２４の刃先は、微細溝２５を横切る毎に微細溝２５の壁面に衝突することになり、この衝突の際に急激かつ大きな応力を受けることになる。これに対してバイト２４の刃先は、極めて微細形状により作製することが必要になる。その結果、バイト２４にあっては刃先が短い時間で損傷し、安定かつ短時間でロール版を二次切削できなくなる。しかしながらこの実施形態のように微細溝２５を埋戻して二次切削する場合には、このような微細溝２５の壁面への衝突によるバイト刃先の損傷を有効に回避することができ、安定かつ短時間で母材２２を二次加工することができる。なおこれにより埋戻しに供する紫外線硬化性樹脂にあっては、母材２２を構成する金属材料と硬さ、柔らかさが近いものが望ましい。   Therefore, when the fine groove 28 intersecting the fine groove 25 is produced by cutting without refilling the fine groove 25, the cutting edge of the cutting tool 24 collides with the wall surface of the fine groove 25 every time it crosses the fine groove 25. Thus, a sudden and large stress is applied during the collision. On the other hand, the cutting edge of the cutting tool 24 needs to be manufactured with a very fine shape. As a result, in the cutting tool 24, the cutting edge is damaged in a short time, and the roll plate cannot be secondarily cut stably and in a short time. However, when the fine groove 25 is backfilled and subjected to secondary cutting as in this embodiment, damage to the cutting edge due to the collision of the fine groove 25 with the wall surface can be effectively avoided and stable and short. The base material 22 can be secondary processed in time. In addition, as for the ultraviolet curable resin to be used for backfilling, it is desirable that the metal material constituting the base material 22 is close in hardness and softness.

またこのようにバイトを使用した切削工程によりロール版を作製する場合にあっては、一次切削工程による微細溝のピッチと、二次切削工程による微細溝のピッチとを可変することができ、その結果、微細構造体１における凹部５の繰り返しピッチＰｘ及びＰｙを直交する方向で異ならせることができる。また切削加工に供するバイトの変更により繰り返しの方向に係る微小凹部５の幅Ｗｘ及びＷｙ、さらには微細溝の断面形状を異ならせることができる。微小構造体においては、このようなピッチＰｘ及びＰｙ、幅Ｗｘ及びＷｙ等を異ならせることにより、光学特性に異方性を設け、この直交する２方向における反射特性を異ならせることができる。これによりこの微細構造体１により反射防止を図る場合に、微細構造体の適用分野を拡大することができる。具体的に、例えばショーウインドウに貼り付けて展示されている商品の視認性を向上する場合に、光学特性の異方性を積極的に利用してショーウインドウの設置環境に応じて視認性を向上することができる。   In addition, in the case of producing a roll plate by a cutting process using a bite in this way, the pitch of the fine groove by the primary cutting process and the pitch of the fine groove by the secondary cutting process can be varied. As a result, the repetition pitches Px and Py of the recesses 5 in the fine structure 1 can be varied in the orthogonal direction. Moreover, the width Wx and Wy of the micro recessed part 5 which concerns on a repetition direction, and also the cross-sectional shape of a micro groove can be varied by changing the cutting tool used for cutting. In the microstructure, by making the pitches Px and Py, the widths Wx and Wy and the like different, anisotropy can be provided in the optical characteristics, and the reflection characteristics in the two orthogonal directions can be made different. Thereby, when antireflection is aimed at by this fine structure 1, the field of application of a fine structure can be expanded. Specifically, for example, when improving the visibility of products displayed on a show window, the anisotropy of the optical properties is actively used to improve the visibility according to the installation environment of the show window. can do.

続いてこの製造工程は、除去工程（ＳＰ６）において、微細溝２５に残存する紫外線硬化性樹脂（埋戻し材）を除去した後、洗浄し、これによりロール版１３が作製される。ここでこの除去工程においては、埋戻し材に応じて種々の手法を広く適用することができるものの、この実施形態では、ロール版の周側面に粘着テープを貼り付けて引き剥がすことにより、残存する埋戻し材を除去する。なおこれに代えて有機溶剤を使用した溶解により除去してもよく、加熱により埋戻し材を分解して除去するようにしてもよい。   Subsequently, in this manufacturing process, after removing the ultraviolet curable resin (backfilling material) remaining in the fine grooves 25 in the removing process (SP6), washing is performed, whereby the roll plate 13 is manufactured. Here, in this removal step, various methods can be widely applied depending on the backfilling material, but in this embodiment, the adhesive tape is attached to the peripheral side surface of the roll plate and peeled off to remain. Remove backfill material. Alternatively, it may be removed by dissolution using an organic solvent, or the backfill material may be decomposed and removed by heating.

この実施形態によれば、製造用金型を使用した賦型処理により微細構造体を作製するようにして、切削加工により交差するように微細溝を作製してこの製造用金型を作製することにより、効率良く金型を作製し、さらにこの金型を使用して大面積の微細構造体を効率良く大量生産することができる。またこのとき、一旦作成した微細溝を埋戻して交差する微細溝を作製することにより、切削処理により使用するバイトの損傷を有効に回避して金型を作製することができ、これにより一段と効率良く形状の大きな金型を作製することができ、一段と効率良く微細構造体を大量生産することができる。   According to this embodiment, the fine structure is produced by the forming process using the production mold, and the fine groove is produced so as to intersect by cutting, thereby producing the production mold. Thus, a mold can be produced efficiently, and a large-sized fine structure can be mass-produced efficiently using this mold. Also, at this time, by making the fine grooves intersecting by filling back the fine grooves once created, it is possible to effectively avoid the damage of the cutting tool used by the cutting process, and thereby make the mold more efficient. A mold having a large shape can be produced well, and a fine structure can be mass-produced more efficiently.

またこの金型がロール版であることにより、この金型に係る母材を回転させながらバイトを移動させてらせん状に切削加工することにより、ロール版の円周方向に延長する微細溝を効率良く作成することができ、また幅の大きなロール版を簡易かつ効率良く作成することができる。従ってこのロール版を使用して効率良く大面積の微細構造体を大量生産することができる。   In addition, since this die is a roll plate, the micro groove extending in the circumferential direction of the roll plate can be efficiently obtained by moving the cutting tool in a spiral shape while rotating the base material related to this die. It is possible to create well, and it is possible to easily and efficiently create a roll plate having a large width. Therefore, a large area fine structure can be efficiently mass-produced using this roll plate.

また直交するように２つの微細溝を作製することにより、微細凹部に係る凸部を効率良く金型に作製することができる。   Further, by producing two fine grooves so as to be orthogonal to each other, the convex portion relating to the fine concave portion can be efficiently produced in the mold.

〔第２実施形態〕
この実施形態では、ステンレス等の金属材料によるパイプ材の周側面に、直接に、又は中間層を介して、銅の薄膜を作製し、原版用の母材を作製する。さらにこの原版用の母材の周側面に、第１実施形態について上述したと同様にして微細凹凸形状を作製する。その後、この実施形態では、この母材の周側面に、管軸に延長する方向に、レーザーの照射等により表面薄膜の切断線を設け、この切断線により母材の周側面からこの薄膜を剥離する。またこの剥離した薄膜を、平板形状の金属板等によるベース材に貼り付け、これにより平板による賦型用金型を作製する。 [Second Embodiment]
In this embodiment, a copper thin film is produced directly or via an intermediate layer on a peripheral side surface of a pipe material made of a metal material such as stainless steel, and a base material for an original plate is produced. Further, a fine concavo-convex shape is formed on the peripheral side surface of the base material for the original plate in the same manner as described above for the first embodiment. Thereafter, in this embodiment, a cutting line for the surface thin film is provided on the peripheral side surface of the base material in a direction extending to the tube axis by laser irradiation or the like, and the thin film is peeled from the peripheral side surface of the base material by the cutting line. To do. Moreover, this peeled thin film is affixed on the base material by a flat metal plate etc., and, thereby, the shaping | molding die by a flat plate is produced.

この実施形態では、このようにして作成した平板による金型を使用した枚葉の処理により、微細構造体を作製する。   In this embodiment, a fine structure is produced by processing a single wafer using a flat plate mold produced as described above.

この実施形態のように、このようにパイプ材の周側面に微細凹凸形状を作製し、この微細凹凸形状を展開して平板による金型を作製する場合でも、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。   As in this embodiment, even when a fine concavo-convex shape is produced on the peripheral side surface of the pipe material and the fine concavo-convex shape is developed to produce a flat plate mold, the same effects as in the first embodiment can be obtained. Can be obtained.

〔第３実施形態〕
この実施形態では、切削に供するバイトの交換により、一次切削工程による微細溝のピッチと、二次切削工程による微細溝のピッチを異ならせ、これに代えて、又はこれに加えて、繰り返しの方向に係る微小凹部５の幅Ｗｘ及びＷｙを異ならせる。このようにピッチＰｘ及びＰｙ、幅Ｗｘ及びＷｙを異ならせることにより、光学特性に異方性を設ける。 [Third Embodiment]
In this embodiment, by changing the cutting tool used for cutting, the pitch of the fine grooves in the primary cutting process and the pitch of the fine grooves in the secondary cutting process are made different, and instead of, or in addition to, the direction of repetition. The widths Wx and Wy of the minute recess 5 according to the above are made different. Thus, anisotropy is provided in the optical characteristics by making the pitches Px and Py and the widths Wx and Wy different.

このように光学異方性を設ける場合にあっても、上述の実施系と同一の効果を得ることができる。   Even when optical anisotropy is provided in this way, the same effect as that of the above-described implementation system can be obtained.

〔他の実施形態〕
以上、本発明の実施に好適な具体的な構成を詳述したが、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述の実施形態を種々に組み合わせ、さらには上述の実施形態の構成を種々に変更することができる。 [Other Embodiments]
The specific configuration suitable for the implementation of the present invention has been described in detail above. However, the present invention is not limited to the scope of the present invention, and various combinations of the above-described embodiments, and further the configuration of the above-described embodiments. Can be variously changed.

すなわち上述の実施形態では、断面矩形形状により一次切削工程による微細溝、二次切削工程による微細溝を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、種々の形状を広く適用することができる。具体的に図８（Ａ）に示すように、断面三角形形状により隣接する微細溝と接するように微細溝を作成してもよく、また図８（Ｂ）に示すように、両壁面にテーパーを設けるようにして微細溝を作成しもよく、またさらには図８（Ｃ）に示すように、頂点が丸みを帯びた断面三角形形状により微細溝を作製するようにしてもよい。またさらに図８（Ｄ）に示すように、断面に係る壁面の形状を微細溝の両側で異ならせるようにし、これにより光学異方性を設けるようにしてもよい。   That is, in the above-described embodiment, the case where the fine groove by the primary cutting process and the fine groove by the secondary cutting process are produced by the rectangular cross-sectional shape has been described, but the present invention is not limited to this, and various shapes can be widely applied. Can do. Specifically, as shown in FIG. 8 (A), fine grooves may be formed so as to be in contact with adjacent fine grooves due to a triangular cross section, and as shown in FIG. 8 (B), both wall surfaces are tapered. The fine groove may be formed as provided, or as shown in FIG. 8C, the fine groove may be formed in a triangular shape with a rounded apex. Furthermore, as shown in FIG. 8D, the shape of the wall surface related to the cross section may be made different on both sides of the fine groove, thereby providing optical anisotropy.

また上述の実施形態では、直交する２つの方向で微細溝の断面形状を等しくする場合について述べたが、本発明はこれに限らず、断面形状を異ならせるようにして光学異方性を確保するようにしてもよい。   In the above-described embodiment, the case where the cross-sectional shapes of the fine grooves are made equal in two orthogonal directions has been described. However, the present invention is not limited to this, and the optical anisotropy is ensured by making the cross-sectional shapes different. You may do it.

また上述の実施形態においては、直交する２方向に直線的に切削加工する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、図９において符号Ｌ１、Ｌ２により一次切削加工、二次切削加工におけるバイト先端の軌跡を示すように、蛇行する軌跡により切削加工するようにしても良く、また図１０に示すように、一次切削加工、二次切削加工におけるバイト先端の軌跡Ｌ１、Ｌ２が斜めに交差するように切削加工してもよい。   Further, in the above-described embodiment, the case of cutting linearly in two orthogonal directions has been described. However, the present invention is not limited to this, and in FIGS. 9A and 9B, reference numerals L1 and L2 indicate primary cutting and secondary cutting. Cutting may be performed by a meandering locus so as to show the trajectory of the cutting tool tip, and as shown in FIG. 10, the trajectories L1 and L2 of the cutting tool tip in the primary cutting process and the secondary cutting process are obliquely intersected. Cutting may be performed as described above.

また上述の実施形態では、一次切削加工、二次切削加工による２回の切削加工により金型を作成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、図１１に示すように、一次切削加工（工具先端の軌跡を符号Ｌ１により示す）、二次切削加工の後（工具先端の軌跡を符号Ｌ２により示す）、さらにこの２回の切削加工による軌跡Ｌ１、Ｌ２と交差するように三次切削加工するようにしてもよい。またこのように３回以上切削加工することにより、例えば四角注形状による凹部と、三角柱形状による凹部とを混在させる場合のように、異なる形状による凹部を混在させるようにしてもよい。   In the above-described embodiment, the case where the mold is created by the first cutting and the second cutting by the secondary cutting has been described. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. After the machining (the tool tip trajectory is indicated by symbol L1), after the secondary cutting (the tool tip trajectory is indicated by symbol L2), the third cutting is performed so as to intersect the trajectories L1 and L2 by the two cutting operations. You may make it process. In addition, by cutting three or more times in this way, for example, a concave portion having a rectangular shape and a concave portion having a triangular prism shape may be mixed, so that concave portions having different shapes may be mixed.

また上述の実施形態では、反射防止フィルムに係る微小構造体を作成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、親水性、防曇性を利用した微細構造体を作成する場合にも広く適用することができる。   Further, in the above-described embodiment, the case of creating a microstructure related to the antireflection film has been described, but the present invention is not limited to this, and also when creating a microstructure using hydrophilicity and antifogging properties. Can be widely applied.

１ 微細構造体
２ 二次切削加工
４ 受容層
５ 微小凹部
１０ 製造工程
１２ ダイ
１３ ロール版
１４ 押圧ローラ
１５ 剥離ローラ
２２ 母材
２３ 微小凸部
２４ バイト
２５、２８ 微細溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fine structure 2 Secondary cutting 4 Receiving layer 5 Minute recessed part 10 Manufacturing process 12 Die 13 Roll plate 14 Press roller 15 Peeling roller 22 Base material 23 Minute convex part 24 Byte 25, 28 Fine groove

Claims (8)

可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体の製造方法において、
前記微細構造体の製造用金型を作製する製造用金型の作製工程と、
前記製造用金型を使用した賦型処理により前記微細構造体を作製する賦型工程とを備え、
前記製造用金型の作製工程では、
前記製造用金型の母材の表面の切削により、前記表面に、１方向に延長する第１の微細溝を作製する第１の切削工程と、
前記第１の微細溝を埋め戻す埋戻し工程と、
前記埋戻し工程により第１の微細溝を埋戻した前記表面の切削により、前記第１の微細溝と交差する第２の微細溝を作製する第２の切削工程と、
前記埋戻し工程による埋戻しに供した部材を、前記第１の微細溝より除去する除去工程とを備える
微細構造体の製造方法。 In the manufacturing method of a fine structure having a fine concavo-convex structure with a pitch shorter than the shortest wavelength in the visible light region,
A manufacturing process for manufacturing a mold for manufacturing the microstructure for manufacturing the microstructure, and
A molding process for producing the microstructure by a molding process using the manufacturing mold,
In the manufacturing process of the manufacturing mold,
A first cutting step of producing a first microgroove extending in one direction on the surface by cutting the surface of the base material of the manufacturing mold;
A backfilling step of backfilling the first fine groove;
A second cutting step for producing a second fine groove intersecting the first fine groove by cutting the surface where the first fine groove is backfilled by the backfilling step;
A method for manufacturing a fine structure, comprising: a removal step of removing a member used for backfilling in the backfilling step from the first fine groove. 母材が、円筒形状又は円柱形状であり、
前記第１及び第２の切削工程は、
前記母材の周側面に前記第１及び第２の微細溝を作製する
請求項１に記載の微細構造体の製造方法。 The base material is cylindrical or columnar,
The first and second cutting steps include
The method for manufacturing a fine structure according to claim 1, wherein the first and second fine grooves are formed on a peripheral side surface of the base material. 前記第２の切削工程は、
前記第１の微細溝と直交する方向に延長するように、前記第２の微細溝を作製する
請求項１又は請求項２に記載の微細構造体の製造方法。 The second cutting step includes
The method for manufacturing a fine structure according to claim 1 or 2, wherein the second fine groove is formed so as to extend in a direction orthogonal to the first fine groove. 請求項１、請求項２、請求項３の何れかに記載の微細構造体の製造方法により製造された
微細構造体。 A microstructure manufactured by the method for manufacturing a microstructure according to any one of claims 1, 2, and 3. 賦型処理による微細構造体の製造に使用する製造用金型の作製方法において、
前記微細構造体が、可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体であり、
前記製造用金型の製造方法は、
前記製造用金型の母材の表面の切削により、前記表面に、１方向に延長する第１の微細溝を作製する第１の切削工程と、
前記第１の微細溝を埋め戻す埋戻し工程と、
前記埋戻し工程により第１の微細溝を埋戻した前記表面の切削により、前記第１の微細溝と交差する第２の微細溝を作製する第２の切削工程と、
前記埋戻し工程による埋戻しに供した部材を、前記第１の微細溝より除去する除去工程とを備える
製造用金型の製造方法。 In the production method of the mold for production used for the production of the fine structure by the shaping process,
The fine structure is a fine structure having a fine relief structure with a pitch shorter than the shortest wavelength in the visible light region,
The manufacturing method of the manufacturing mold is as follows:
A first cutting step of producing a first microgroove extending in one direction on the surface by cutting the surface of the base material of the manufacturing mold;
A backfilling step of backfilling the first fine groove;
A second cutting step for producing a second fine groove intersecting the first fine groove by cutting the surface where the first fine groove is backfilled by the backfilling step;
A method for manufacturing a mold for manufacturing, comprising: a removal step of removing a member used for backfilling in the backfilling step from the first fine groove. 母材が、円筒形状又は円柱形状であり、
前記第１及び第２の切削工程は、
前記母材の周側面に前記第１及び第２の微細溝を作製する
請求項５記載の製造用金型の製造方法。 The base material is cylindrical or columnar,
The first and second cutting steps include
The method for manufacturing a manufacturing mold according to claim 5, wherein the first and second fine grooves are formed on a peripheral side surface of the base material. 前記第２の切削工程は、
前記第１の微細溝と直交する方向に延長するように、前記第２の微細溝を作製する
請求項５は請求項６に記載の製造用金型の製造方法。 The second cutting step includes
The method for manufacturing a manufacturing mold according to claim 6, wherein the second fine groove is formed so as to extend in a direction orthogonal to the first fine groove. 請求項５、請求項６、請求項７の何れかに記載の製造用金型の製造方法により製造された
製造用金型。 A manufacturing mold manufactured by the manufacturing method of a manufacturing mold according to any one of claims 5, 6, and 7.

Images