JP2016070932A - 試験システム及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】試験機器及びＤＵＴの間の２ケーブル相互接続システムを改善する。【解決手段】１対の等しい長さの３軸ケーブル１１０及び１２０の各々は、所望の特性インピーダンスを有する。各ケーブルは、中心コネクタ、中間導体及び外側導体を有する。各ケーブルの近い端部は、試験機器１００に接続され、遠い端部は、ＤＵＴ１３０に配置される。遠い端部にて、中心導体がＤＵＴ１３０に接続され、中間導体がフロート可能となり、外側導体が互いに接続される。実行する試験用に適する接続を用いて、各ケーブルの近い端部を機器１００に接続する。これにより、試験機器１００は、ＤＵＴ１３０への接続を変更することなく、異なる形式の試験を実行できる。【選択図】図１

Description

本発明は、一般に、電気試験システム及び方法に関し、特に、電気試験機器及び被試験装置（ＤＵＴ）の間の相互接続システム及び方法に関する。

ウェハ上の半導体装置の多数の状態や、最終製品を含む装置の寿命における後の時点で、多数の試験を実行することが一般的になってきた。一般的な試験は、電流電圧（ＩＶ）、容量電圧（ＣＶ）、通常の無線周波数（ＲＦ）及びベクトル・ネットワーク分析（ＶＮＡ）の試験である。ＣＶ、ＲＦ及びＶＮＡの試験の如きいくつかの形式の試験には、試験機器及びＤＵＴの間に制御インピーダンスを有することによって利点がある。しかし、ＩＶ試験の如き他の形式の試験は、かかる制御インピーダンスを必要としない。これは、両方の形式の試験を実行する必要があるときに、問題が生じる。

ＩＶ試験において、試験機器とＤＵＴの２つのピンとの間に、２対の３軸ケーブル（各ケーブルが外側、中間及び中心コネクタを有する）を用いることが一般的である。ＤＵＴ端部（遠い端部）にて、第１対のケーブルの中心導体を一方のピンに接続し、第２対のケーブルの中心導体を第２ピンに接続する。各対のこれら２つの中間導体も、典型的には、遠い端部にて互いに接続される。動作において、典型的には、ガード電圧が中間導体に供給され、このガード電圧は、各中心導体の電圧に対応する。中間導体及び中心導体の電圧は高電位であるため、３軸ケーブルの外側導体は、典型的には保護ガードに接続される。

ＣＶ試験において、試験機器とＤＵＴの２つのピンとの間に２対の２導電同軸ケーブルを用いることが一般的である。遠い端部において、第１対のケーブルの中心導体が一方のピンに接続され、第２対のケーブルの中心導体が第２ピンに接続される。ケーブルの外側導体は、典型的には、機器接地に接続される。

ＲＦ及びＶＮＡ試験の如きＡＣ試験は、典型的には、機器及びＤＵＴの間に伝送線を必要とする。従来のシステムは、３軸ケーブルの中心導体と中間導体との間に、これら試験用の伝送線用の空間を用いている。この伝送線を確立するために、ユーザは、ＤＵＴにて中間導体を互いに短絡させなければならない。そして、ＩＶ試験の如きＤＣ試験を実行できるようにする前に、この短絡を除去しなければならない。特に、非常に多くのＡＣ及びＤＣ試験の両方を実行する際、ＤＵＴにて接続を変えることはユーザにとって不便である（そうでなければ、非常に面倒である）。さらに、多くの類似の接続システムがＤＵＴの非常に限定された空間に集中しているかもしれず、ＤＵＴ接続を変更することは、更に一層困難で時間がかかる。

単一のＤＵＴ接続を多数の試験に用いることができるように、従来の４ケーブル接続システムが工夫された。しかし、いくつかの状況で２ケーブル・システムが一層望ましくても、２ケーブル接続システムに対しては類似のシステムが工夫されなかった。ケーブル抵抗が測定に影響するとき、４ケーブル・システムが単に必要である。ケーブル抵抗が測定に与える影響が最小のとき、例えば、高電圧試験を実行するとき、２ケーブル接続システムがより望ましいかもしれない。２ケーブル接続システムは、典型的には、４ケーブル・システムよりも、コストが安く、少ない空間を用いる。これは、ＤＵＴの空間が限定されているとき、特に重要である。

米国特許第７３８８３６６号明細書 特許第４６２４９７４号公報

米国特許第７３８８３６６号明細書（特許第４６２４９７４号公報に対応）は、ＤＵＴへの単一接続を用いて多数の試験を実行できる４ケーブル接続システムを記載している。この特許公報に記載されているように、４ケーブル・システムを用いても、２ケーブル試験を実行できる。しかし、この解決には、４つのケーブルの全てを用いる必要がある。これでは、２ケーブル接続システムの利点がなくなる。さらに、多くの機器は、４ケーブル接続を本来的にはサポートしない。これら機器と４ケーブル接続システムを用いることをアダプタが可能にするが、費用と複雑さが増すという代償がある。アダプタは、また、機器及びＤＵＴの間の接続を長くするので、高周波数での性能が低下する。

２ケーブル接続システムに対するある解決方法は、ＤＵＴでの接続を変更させるスイッチング装置を用いることである。これにより、スイッチング装置に接続するときに、機器は単一のケーブル構造を用いることができる。しかし、スイッチング装置自体は、接続システムのコスト及び複雑さを増やす。手動スイッチング装置は、ユーザにＤＵＴ接続の各組の間での切替を要求するが、これは、複数の試験の間の時間を伸ばす。自動スイッチング装置は、ＤＵＴ接続を自動的に変更させるプロセッサを用いる。しかし、これは、更に複雑さとコストを増加させ、プロセッサ用の電源を必要とする。

そこで、試験機器及び被試験装置（ＤＵＴ）間に、改善された２ケーブル相互接続システムが必要となる。

図１は、本発明のある観点に応じてＩＶ測定を実行する２ケーブルで非ケルビンの接続システムの例示的な実施例を示す。 図２は、本発明のある観点に応じてＣＶ測定を実行する２ケーブル接続システムの例示的な実施例を示す。 図３は、本発明のある観点に応じてＶＮＡ試験を実行する２ケーブル接続システムの例示的な実施例を示す。

本発明の実施例は、概して、試験機器及び被試験装置（ＤＵＴ）の間に単一対の３軸ケーブルを含む相互接続システムに関する。３軸ケーブルは、低電流のＩＶ測定（ＤＣ試験）をサポートできる。ＡＣ試験（例えば、ＣＶ又はＶＮＡの試験）に対して、少なくとも高周波数にて中間導体をフロートできるので、中心導体及び外側導体（シールド）の間に伝送線を確立できる。ケーブル長の１／４よりも非常に長い波長の信号に対して、中間導体がフロート可能なことが必要である。そうでなければ、測定結果がケーブル長の４分の１に達する試験信号波長として歪められる。典型的には、ケーブル長の１０倍又は２０倍の長さの係数の波長に対して中間導体をフロートできるようにする。各ケーブルの正確な係数は、所望測定精度に基づき、高い係数（即ち、長い波長に対して中間導体をフロートできること）が高い精度となる。

本発明の実施例により試験機器をＤＵＴに接続する接続システムは、夫々が所望の特性インピーダンスを有する第１及び第２の３軸ケーブルと、試験機器に配置されるケーブルの近い端部と、ＤＵＴに配置されるケーブルの遠い端部とを概して含んでいる。

図１は、本発明のある概念によってＩＶ測定を実行する２ケーブルの非ケルビンの接続システム１０５の例示的実施例を示す。第１の３軸ケーブル１１０及び第２の３軸ケーブル１２０は、ＤＵＴ１３０を試験機器１００に接続する。この試験機器１００は、ＤＵＴのＩＶ試験を実行するように構成されている。各３軸ケーブルは、中心導体（１１０Ｃ、１２０Ｃ）と、中間導体（１１０ｂ、１２０ｂ）と、外側導体（１１０ａ，１２０ａ）とを有する。これらケーブルの遠い端部は、ＤＵＴ１３０の近傍に配置され、近い端部は、試験機器１００に配置される。これらケーブルの各々は、特性インピーダンスを有する。例えば、５０オームである。これは、適切に機能するように、マッチングしたインピーダンスを必要とする機器に、ケーブルを取り付ける際に重要である。一実施例において、ケーブル１１０及び１２０の長さは、等しい。

図１に示す実施例において、外側導体１１０ａ及び１２０ａは、ケーブルの遠い端部（即ち、ＤＵＴ１３０に近い端部）にて互いに接続されている。中間導体１１０ｂ及び１２０ｂは、遠い端部にてどこにも接続されておらず、自由でフロートになっている。中心コネクタ１１０ｃ及び１２０ｃは、ケーブルの遠い端部にてＤＵＴ１３０に接続されている。

近い端部（機器１００に近い端部）にて、ケーブルは、ＩＶ試験に適する方法で接続されている。この例において、外側導体１１０ａ及び１２０ａは、接地に接続されている。中心コネクタ１１０ｃ及び１２０ｃは、フォース端子に接続されている一方、中間導体１１０ｂ及び１２０ｂは、機器の各ガード端子に接続されている。図２及び３に示すように、同じ接続システム１０５を用いて、ＤＵＴ１３０への接続を変えることなく、他の形式の試験を実行できる。

図２は、本発明のある概念に応じてＣＶ測定（ＡＣ試験の形式）を実行するように構成された２ケーブル接続システムの第２の例示的実施例を示す。この例において、図１と同じ接続システム１０５を用い、ＤＵＴ１３０への同じ接続を維持する。しかし、各中間導体１１０ｂ及び１２０ｂの近い端部は、（少なくとも高周波数にて）フロート可能となっているので、各中心導体（１１０ｃ、１２０ｃ）及びその各外側導体（１１０ａ，１２０ａ）の間に伝送線が確立される。図１〜３は、各形式の試験を実行する機器の間でのいくつかの可能な違いを示すために、機器１００、２００及び３００内の例示的な回路を示している点に留意されたい。この回路は、各機器内の全ての回路や、又は各試験を実行するのに必要な全ての回路も表そうとしているものでもない。さらに、いくつかの実施例において、２つ以上の機器１００、２００及び３００を単一の装置内に実装してもよい。

図３は、本発明のある概念によってＶＮＡ試験（ＡＣ試験の形式）を実行するように構成された２ケーブル接続システムの他の例示的な実施例を示す。接続システム１０５と、ＤＵＴ１３０への接続は、図１及び２と同じ状態を維持する。しかし、図３に示す如く、外側導体１１０ａ及び１２０ａは、機器３００内で内部接地に接続されており、独立には接地されていない。

従来システムは、ＣＶ試験のためにＤＵＴにて中間導体を短絡させ、ＩＶ試験のためにそれらを切断することをユーザに要求する。それにひきかえ、本発明の実施では、ケーブルの遠い端部にて（例えば、ＤＵＴにて）接続を変更することなく、異なる形式の試験（例えば、ＩＶ試験及びＣＶ試験）の間をユーザが迅速且つ簡単に切り替えることが有利に可能となる。従来システムは、（図１に示す如き）ＩＶ試験から（図２及び３に示す如き）ＡＣ試験に切り替える手段を提供しなかった。

図２及び３に示す如く、ケーブルの近い端部又は遠い端部の何れかの何かに中間導体を接続することを通常はしない。これによって、中心導体及び外側導体の間の伝送路が確立する。しかし、いくらかのユーザにとっては、中間導体をフロートできるようにすることが厄介かもしれない。よって、他の実施例において、大きなインピーダンスを介して、中間導体を電気信号（例えば、機器の端子、接地、又はいくつかの他の信号）に接続してもよい。このインピーダンスは、ケーブル内の伝送路との干渉を避けるために、中心導体及び中間導体の間のケーブルの特性インピーダンスよりも非常に大きくなければならない。典型的には、このインピーダンスは、ケーブルの特性インピーダンスよりも少なくても１０倍大きい。これは、約１０パーセントだけケーブルの性能を劣化させるかもしれない。良好な性能が望ましいときには、更に大きなインピーダンスを用いてもよい。例えば、ケーブルの特性インピーダンスよりも１００倍大きいインピーダンスを用いると、ケーブルの性能への影響はわずか１％かもしれない。

図示した実施例を参照して本発明の原理を説明し示したが、かかる原理を逸脱することなく、図示した実施例を配置及び細部において変更してもよいし、また、任意所望の方法にて組合せてもよいことが理解できよう。また、上述の説明は、特定実施例に集中したが、他の構成も企図できる。特に、「本発明の実施例による」などの如き記述をここで用いたが、これらの句は、実施例の可能性を一般的に意味し、本発明を特定の実施例の構成に限定しようとするものではない。ここで用いた如く、これらの用語は、他の実施例と組合せ可能な同じ又は異なる実施例を参照するものである。

その結果、ここで説明した実施例への広範囲の置き換えの観点において、この詳細な説明及び付随の資料は、単なる説明を意図しており、本発明の範囲を限定するように用いるべきではない。例えば、本発明の種々の概念は、以下のように記述してもよい。

すなわち、本発明の概念１は、被試験装置（ＤＵＴ）にて接続を変更することなく、ＤＵＴで少なくとも２つの異なる形式の試験を実行するように構成されたシステムである。ここで、第１形式の試験は、試験機器及びＤＵＴの間で制御インピーダンスを有することに利点を受け、第２形式の試験は、試験機器及びＤＵＴの間の制御インピーダンスから利点を受けない。このシステムは、試験機器と；被試験装置（ＤＵＴ）と；遠い端部がＤＵＴの近傍に配置され、近い端部が試験機器の近傍に配置された２つ以上の３軸ケーブルとを備える。各ケーブルは、中心導体と、中間導体と、外側導体とを有する。中心導体は、各ケーブルの遠い端部にてＤＵＴに接続され、各ケーブルの近い端部にて試験機器に接続される。外側導体は、ケーブルの遠い端部及び近い端部の両方にて互いに接続される。外側導体は、ケーブルの近い端部にて試験機器と共有される接地に接続される。このシステムは、中間導体がケーブルの近い端部にて互いに接続されず、試験機器に接続されないときに、第１形式の試験を実行するように構成される。

本発明の概念２は、概念１のシステムであり、試験機器は、第１組の端子と、この第１組と異なる第２組の端子とを備える。システムは、更に、ケーブルが第１組の端子に接続されたときに、第１形式の試験を実行するように構成されている。また、システムは、ケーブルが第２組の端子に接続されたときに、第２形式の試験を実行するように構成されている。

本発明の概念３は、概念１のシステムであり、制御インピーダンスの少なくとも１０倍のインピーダンスを介して、１つ以上の中間導体が電気信号に更に接続されている。

本発明の概念４は、概念１のシステムであり、接地は、機器の内部接地である。

本発明の概念５は、概念１のシステムであり、ケーブルの遠い端部での外側導体接続の少なくとも１つは、ＤＵＴキャリア上に作られる。

本発明の概念６は、概念１のシステムであり、各ケーブルは、中心導体及び外側導体の間に５０オームの所望特性インピーダンスを有する。

本発明の概念７は、概念１のシステムであり、試験機器は、ケーブルがマッチングしたインピーダンスを有することを要求する。

本発明の概念８は、被試験装置（ＤＵＴ）にて接続を変更することなく、ＤＵＴで少なくとも２つの異なる形式の試験を実行するように構成されたシステムである。ここで、第１形式の試験は、試験機器及びＤＵＴの間で制御インピーダンスを有することから利点を受け、第２形式の試験にはない。このシステムは、第１形式の試験を実行する第１試験機器と；第２形式の試験を実行する第２試験機器と；被試験装置（ＤＵＴ）と；遠い端部がＤＵＴの近傍に配置され、近い端部が試験機器の１つの近傍に配置された２つ以上の３軸ケーブルとを備える。各ケーブルは、中心導体と、中間導体と、外側導体とを有する。中心導体は、各ケーブルの遠い端部にてＤＵＴに接続される。外側導体は、ケーブルの遠い端部及び近い端部の両方にて互いに接続される。外側導体は、ケーブルの近い端部にて試験機器の少なくとも１つと共有される接地に接続される。このシステムは、中心導体がケーブルの近い端部にて第１試験機器に接続され、中間導体がケーブルの近い端部にて互いに接続されず、中間導体が第１又は第２の試験機器の何れにも接続されないときに、第１形式の試験を実行するように構成される。また、このシステムは、中心導体がケーブルの近い端部にて第２試験機器に接続されたときに、第２形式の試験を実行するように構成される。

本発明の概念９は、概念８のシステムであり、１つ以上の中間導体は、制御インピーダンスより少なくとも１０倍大きいインピーダンスを介して電気信号又は接地に更に接続される。

本発明の概念１０は、概念８のシステムであり、接地は、第１又は第２の機器の内部接地である。

本発明の概念１１は、概念８のシステムであり、ケーブルの遠い端部での少なくとも１つの外側導体接続がＤＵＴキャリア上に作られる。

本発明の概念１２は、概念８のシステムであり、各ケーブルは、中心導体及び外側導体の間に５０オームの所望特性インピーダンスを有する。

本発明の概念１３は、概念８のシステムであり、少なくとも１つの試験機器は、ケーブルがマッチングしたインピーダンスを有することを要求する。

本発明の概念１４は、被試験装置（ＤＵＴ）にて接続を変更することなく、試験機器によりＤＵＴで２つ以上の異なる形式の試験を実行する方法である。ここで、少なくとも１つの形式の試験は、試験機器及びＤＵＴの間に制御インピーダンスを有することから利点を受ける。この方法は、ＤＵＴを２つ以上の３軸ケーブルに接続し、各ケーブルが遠い端部と近い端部とを有し、各ケーブルが中心導体と、中間導体と、外側導体とを備えている。ＤＵＴを接続するステップは、中心導体をケーブルの遠い端部にてＤＵＴに接続することと；外側導体をケーブルの遠い端部にて互いに接続することと；ケーブルの遠い端部にて中間導体を切断されたままに残すことと；ケーブルの遠い端部にて接続を変更することなく第１形式の試験を実行するようにケーブルの近い端部を構成することとを備えている。第１形式の試験は、試験機器及びＤＵＴの間に制御インピーダンスを有することから利点を受ける。構成ステップは、外側導体を互いに接続すると共に、ケーブルの近い端部にて試験機器と共有する接地に接続することと；中心導体をケーブルの近い端部にて試験機器に接続することと；互いに切断され且つＤＵＴから切断された中間導体を残すことと；ケーブルの遠い端部にて接続を変更することなく第２形式の試験を実行するようにケーブルの近い端部を構成することとを備えている。第２形式の試験は、試験機器及びＤＵＴの間に制御インピーダンスを有することから利点を受けない。構成ステップは、ケーブルの近い端部にて中心導体を試験機器に接続することと；外側導体を互いに接続すると共に、ケーブルの近い端部にて試験機器と共用する接地に接続することとを備える。

本発明の概念１５は、概念１４の方法であって、試験機器は、単一の試験機器を備えている。

本発明の概念１６は、概念１４の方法であって；試験機器は、第１形式の試験を実行する第１試験機器と、第２形式の試験を実行する第２試験機器とを備えている。この方法は、第１又は第２の形式の試験を実行するようにケーブルの近い端部を構成するときに、第１又は第２の試験機器の夫々にケーブルを接続することを更に備えている。

本発明の概念１７は、概念１４の方法であって、ケーブルの中心導体及び外側導体の間の特性インピーダンスよりも少なくとも１０倍大きいインピーダンスを介して、少なくとも１つの中間導体を電気信号又は接地に接続することを更に備えている。

本発明の概念１８は、概念１４の方法であって、接地は、試験機器の内部接地である。

本発明の概念１９は、概念１４の方法であって、外側導体をケーブルの遠い端部にて互いに接続するステップは、ＤＵＴキャリアを介して少なくとも１つの接続を作ることを備えている。

本発明の概念２０は、概念１４の方法であって、各ケーブルは、中心導体及び外側導体の間に５０オームの所望特性インピーダンスを有する。

１００ 試験機器
１０５ ２ケーブルで非ケルビンの接続システム
１１０ 第１の３軸ケーブル
１１０ａ 外側導体
１１０ｂ 中間導体
１１０ｃ 中心導体
１２０ 第２の３軸ケーブル
１２０ａ 外側導体
１２０ｂ 中間導体
１２０ｃ 中心導体
１３０ ＤＵＴ（被試験装置）
２００ 試験機器
３００ 試験機器

Claims (3)

1. 被試験装置（ＤＵＴ）にて接続を変更することなく、上記ＤＵＴで少なくとも２つの異なる形式の試験を実行するように構成された試験システムであって；第１形式の試験は、試験機器及び上記ＤＵＴの間で制御インピーダンスを有することに利点を受け；第２形式の試験は、試験機器及び上記ＤＵＴの間の制御インピーダンスから利点を受けず；
   上記試験システムは、
   試験機器と、
   被試験装置（ＤＵＴ）と、
   遠い端部が上記ＤＵＴの近傍に配置され、近い端部が上記試験機器の近傍に配置された２つ以上の３軸ケーブルとを備え、
   各ケーブルは、中心導体と、中間導体と、外側導体とを有し、
   上記中心導体は、各ケーブルの上記遠い端部にて上記ＤＵＴに接続され、各ケーブルの上記近い端部にて上記試験機器に接続され、
   上記外側導体は、上記ケーブルの上記遠い端部及び上記近い端部の両方にて互いに接続され、
   上記外側導体は、上記ケーブルの上記近い端部にて上記試験機器と共有される接地に接続され、
   上記試験システムは、上記中間導体が上記ケーブルの上記近い端部にて互いに接続されず、上記試験機器に接続されないときに、上記第１形式の試験を実行するように構成されたことを特徴とする試験システム。
2. 被試験装置（ＤＵＴ）にて接続を変更することなく、上記ＤＵＴで少なくとも２つの異なる形式の試験を実行するように構成された試験システムであって；第１形式の試験は、試験機器及び上記ＤＵＴの間で制御インピーダンスを有することから利点を受け、第２形式の試験にはなく、
   上記試験システムは、
   上記第１形式の試験を実行する第１試験機器と、
   上記第２形式の試験を実行する第２試験機器と、
   被試験装置（ＤＵＴ）と、
   遠い端部が上記ＤＵＴの近傍に配置され、近い端部が上記試験機器の１つの近傍に配置された２つ以上の３軸ケーブルとを備え、
   各ケーブルは、中心導体と、中間導体と、外側導体とを有し、
   上記中心導体は、各ケーブルの上記遠い端部にて上記ＤＵＴに接続され、
   上記外側導体は、上記ケーブルの上記遠い端部及び上記近い端部の両方にて互いに接続され、
   上記外側導体は、上記ケーブルの上記近い端部にて上記試験機器の少なくとも１つと共有される接地に接続され、
   上記試験システムは、上記中心導体が上記ケーブルの上記近い端部にて上記第１試験機器に接続され、上記中間導体が上記ケーブルの上記近い端部にて互いに接続されず、上記中間導体が上記第１又は第２の試験機器の何れにも接続されないときに、上記第１形式の試験を実行するように構成され、
   上記試験システムは、上記中心導体が上記ケーブルの上記近い端部にて上記第２試験機器に接続されたときに、上記第２形式の試験を実行するように構成されたことを特徴とする試験システム。
3. 試験装置（ＤＵＴ）にて接続を変更することなく、試験機器により上記ＤＵＴで２つ以上の異なる形式の試験を実行する試験方法であって；少なくとも１つの形式の試験は、上記試験機器及び上記ＤＵＴの間に制御インピーダンスを有することから利点を受け、
   上記試験方法は、上記ＤＵＴを２つ以上の３軸ケーブルに接続することを備え、各ケーブルが遠い端部と近い端部とを有し、各ケーブルが中心導体と、中間導体と、外側導体とを備え、
   上記ＤＵＴを接続するステップは、
   上記中心導体を上記ケーブルの上記遠い端部にて上記ＤＵＴに接続することと、
   上記外側導体を上記ケーブルの上記遠い端部にて互いに接続することと、
   上記ケーブルの上記遠い端部にて上記中間導体を切断されたままに残すことと、
   上記ケーブルの上記遠い端部にて上記接続を変更することなく第１形式の試験を実行するように上記ケーブルの上記近い端部を構成することとを備え、
   上記第１形式の試験は、上記試験機器及び上記ＤＵＴの間に制御インピーダンスを有することから利点を受け、
   上記構成ステップは、
   上記外側導体を互いに接続すると共に、上記ケーブルの上記近い端部にて上記試験機器と共有する接地に接続することと、
   上記中心導体を上記ケーブルの上記近い端部にて上記試験機器に接続することと、
   互いに切断され且つ上記ＤＵＴから切断された上記中間導体を残すことと、
   上記ケーブルの上記遠い端部にて上記接続を変更することなく第２形式の試験を実行するように上記ケーブルの上記近い端部を構成することとを備え、
   上記第２形式の試験は、上記試験機器及び上記ＤＵＴの間に制御インピーダンスを有することから利点を受けず、
   上記構成ステップは、
   上記ケーブルの上記近い端部にて上記中心導体を上記試験機器に接続することと、
   上記外側導体を互いに接続すると共に、上記ケーブルの上記近い端部にて上記試験機器と共用する接地に接続することとを備えることを特徴とする試験方法。

Images