JP2016058604A - Component mounting method and component mounting system - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide component mounting method and system that can secure the mounting position precision at the initial stage of production in a construction that both of feedback correction and correction of aging are performed in combination.SOLUTION: In a component mounting process of a component mounting system in which an inspecting device for inspecting a mounting state is disposed at the downstream side of plural component mounting devices, on the basis of a positional displacement state detected by the inspection of the mounting state and aging information of a component mounting mechanism in a component mounting step, a feedback correction value for enhancing the mounting position precision is calculated, and stored as correction value corresponding data associated with the aging information. With respect to a substrate as a target of a component mounting work, the feedback correction value corresponding to the aging information of the substrate is determined by referring to the stored correction value corresponding data before the substrate reaches the inspection step.SELECTED DRAWING: Figure 12

Description

本発明は、基板に電子部品を実装する部品実装方法および部品実装システムに関するものである。   The present invention relates to a component mounting method and a component mounting system for mounting electronic components on a substrate.

基板に電子部品を実装して実装基板を生産する部品実装システムでは、部品実装後の基板を対象として行われた実装状態検査によって検出された実装位置ずれを、部品実装装置にフィードバックして実装位置の補正に用いることが行われている(例えば特許文献1参照)。このようにフィードバック補正を行うことにより、各種の要因より生じる位置ずれ誤差を補正して、高い実装位置精度を確保することができる。   In a component mounting system that mounts electronic components on a board to produce a mounting board, the mounting position shift detected by the mounting state inspection performed on the board after mounting the component is fed back to the component mounting apparatus and the mounting position (For example, refer to Patent Document 1). By performing feedback correction in this way, it is possible to correct misalignment errors caused by various factors and ensure high mounting position accuracy.

また部品実装システムにおける実装位置精度の向上を目的として、上述のフィードバック補正に加えて、稼働時間の経過に伴う経時変化、例えば部品実装機構において実装ヘッドを移動させるビームが経時的に熱変形することによる実装位置精度の変動を防止するため、部品実装動作を反復する過程における経時変化を検出して補正することも行われている。   In addition to the above-described feedback correction, in order to improve the mounting position accuracy in the component mounting system, the temporal change with the passage of operating time, for example, the beam that moves the mounting head in the component mounting mechanism is thermally deformed over time. In order to prevent variation in mounting position accuracy due to the above, it is also performed to detect and correct a change with time in the process of repeating the component mounting operation.

特開2008−218672号公報JP 2008-218672 A

しかしながら上述の補正方式のように、フィードバック補正と経時変化の補正を併せて行う構成においては、以下に述べるような不都合があった。すなわち、フィードバック補正では、部品実装後の基板が検査装置に送られて検査結果が取得された後に部品実装装置にフィードバックされることから、生産の立ち上がり時には1枚目の基板が検査装置に搬入されて検査結果が取得されるまでの間はフィードバック補正が機能しない。この結果、生産初期における実装位置精度を当初の期待通りに確保することが困難であった。   However, the configuration in which the feedback correction and the change with time are performed together as in the above correction method has the following disadvantages. That is, in the feedback correction, the board after the component mounting is sent to the inspection apparatus and the inspection result is acquired and then fed back to the component mounting apparatus. Therefore, at the start of production, the first board is carried into the inspection apparatus. Until the test result is acquired, feedback correction does not function. As a result, it was difficult to ensure the mounting position accuracy in the initial stage of production as originally expected.

そこで本発明は、フィードバック補正と経時変化の補正を併せて行う構成において、生産初期における実装位置精度を確保することができる部品実装システムおよび部品実装方法を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a component mounting system and a component mounting method capable of ensuring mounting position accuracy in the initial stage of production in a configuration in which feedback correction and time-dependent change correction are performed together.

本発明の部品実装方法は、部品実装機構によって部品供給部から取り出した部品を基板に移送搭載する部品実装工程を反復実行する部品実装方法であって、前記部品実装機構により部品を実装された基板における部品の実装状態を検査して正しい実装位置からの位置ずれ状態を検出する検査工程と、前記部品実装工程を反復して実行する過程において前記部品実装機構の経時変化を測定して経時変化情報を求める経時変化測定工程と、検出された前記位置ずれ状態および前記経時変化情報に基づいて、実装位置精度を改善するために部品実装工程にフィードバックすべきフィードバック補正値を算出するフィードバック補正値算出工程と、前記フィードバック補正値を前記経時変化情報に対応させた補正値対応データを記憶する記憶工程とを含み、前記部品実装工程において、前記経時変化情報に基づいて算出された経時補正値にさらに前記フィードバック補正値を加味して実装位置を補正し、前記検査工程に前記部品実装機構により部品が実装された基板が到達する前に部品実装作業の対象となる基板については、前記補正値対応データを参照することにより当該基板の経時変化情報に対応するフィードバック補正値を求め、前記基板の経時変化情報に対応するフィードバック補正値を前記部品実装装置にフィードバックすべきフィードバック補正値として用いる。   The component mounting method of the present invention is a component mounting method for repeatedly executing a component mounting step of transferring and mounting a component taken out from a component supply unit by a component mounting mechanism onto a substrate, wherein the component is mounted by the component mounting mechanism. Inspecting the mounting state of the component and detecting the misalignment state from the correct mounting position, and measuring the time-dependent change of the component mounting mechanism in the process of repeatedly executing the component mounting process And a feedback correction value calculation step for calculating a feedback correction value to be fed back to the component mounting process in order to improve the mounting position accuracy based on the detected misalignment state and the temporal change information. And a storage step of storing correction value correspondence data in which the feedback correction value is made to correspond to the temporal change information. In the component mounting step, the mounting position is corrected by further adding the feedback correction value to the temporal correction value calculated based on the temporal change information, and the component is mounted by the component mounting mechanism in the inspection step. For a board to be subjected to component mounting work before the board arrives, a feedback correction value corresponding to the time-dependent change information of the board is obtained by referring to the correction value correspondence data, and the time-dependent change information of the board is obtained. A corresponding feedback correction value is used as a feedback correction value to be fed back to the component mounting apparatus.

本発明の部品実装システムは、部品供給部から取り出した部品を基板に移送搭載する部品実装作業を反復実行する部品実装システムであって、部品実装機構によって前記部品実装作業を実行する部品実装装置と、前記部品実装装置により部品を実装された基板における部品の実装状態を検査して正しい実装位置からの位置ずれ状態を検出する検査装置と、前記部品実装作業を反復して実行する過程において前記部品実装機構の経時変化を測定して経時変化情報を求める経時変化測定部と、検出された前記位置ずれ状態および前記経時変化情報に基づいて、実装位置精度を改善するために前記部品実装装置にフィードバックすべきフィードバック補正値を算出するフィードバック補正値算出部と、前記フィードバック補正値を前記経時変化情報に対応させた補正値対応データを記憶する記憶部とを備え、前記部品実装装置は、前記経時変化情報に基づいて算出された経時補正値にさらに前記フィードバック補正値を加味して実装位置を補正し、前記検査装置に前記部品実装機構により部品が実装された基板が到達する前に部品実装作業の対象となる基板については、前記記憶部に記憶された補正値対応データを参照することにより当該基板の経時変化情報に対応するフィードバック補正値を求め、前記基板の経時変化情報に対応するフィードバック補正値を前記部品実装装置にフィードバックすべきフィードバック補正値として用いる。   A component mounting system of the present invention is a component mounting system that repeatedly executes a component mounting operation for transferring and mounting a component taken out from a component supply unit onto a substrate, and a component mounting apparatus that executes the component mounting operation by a component mounting mechanism; An inspection apparatus for inspecting a mounting state of a component on a board on which the component is mounted by the component mounting apparatus to detect a misalignment state from a correct mounting position, and the component in a process of repeatedly executing the component mounting operation A time-change measuring unit that measures a time-dependent change of the mounting mechanism to obtain time-change information, and feedback to the component mounting apparatus to improve mounting position accuracy based on the detected misalignment state and the time-change information. A feedback correction value calculation unit for calculating a feedback correction value to be calculated; and A storage unit that stores correction value correspondence data associated with each other, and the component mounting apparatus corrects the mounting position by further adding the feedback correction value to the temporal correction value calculated based on the temporal change information. Referring to the correction value correspondence data stored in the storage unit for the substrate to be subjected to the component mounting work before the substrate on which the component is mounted by the component mounting mechanism reaches the inspection device. The feedback correction value corresponding to the time-dependent change information is obtained, and the feedback correction value corresponding to the time-dependent change information of the board is used as the feedback correction value to be fed back to the component mounting apparatus.

本発明によれば、フィードバック補正と経時変化の補正を併せて行う構成において、生産初期における実装位置精度を確保することができる。   According to the present invention, the mounting position accuracy in the initial stage of production can be ensured in the configuration in which the feedback correction and the correction of the change with time are performed together.

本発明の一実施の形態の部品実装システムの構成説明図Configuration explanatory diagram of a component mounting system according to an embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の部品実装装置の平面図The top view of the component mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装装置における部品実装機構の経時変化の説明図Explanatory drawing of the time-dependent change of the component mounting mechanism in the component mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装装置における部品実装機構の経時変化情報の説明図Explanatory drawing of the time-dependent change information of the component mounting mechanism in the component mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装装置における部品実装機構の経時変化情報および経時補正値の説明図Explanatory drawing of the time-dependent change information of a component mounting mechanism and a time-dependent correction value in the component mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装システムにおける検査装置の機能説明図Functional explanatory diagram of the inspection apparatus in the component mounting system of one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の部品実装システムの制御系の構成を示すブロック図The block diagram which shows the structure of the control system of the component mounting system of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装システムにおいて経時変化に起因する位置ずれを補正するための補正計測値集計・解析データの説明図Explanatory drawing of correction | amendment measured value totaling / analysis data for correct | amending the position shift resulting from a time-dependent change in the component mounting system of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装システムにおいて経時変化に起因する位置ずれを補正するための補正計測値集計・解析データの説明図Explanatory drawing of correction | amendment measured value totaling / analysis data for correct | amending the position shift resulting from a time-dependent change in the component mounting system of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装システムによる部品実装作業における基板配置の説明図Explanatory drawing of the board | substrate arrangement | positioning in the component mounting operation | work by the component mounting system of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装方法による部品実装処理を示すフロー図The flowchart which shows the component mounting process by the component mounting method of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装方法による部品実装処理を示すフロー図The flowchart which shows the component mounting process by the component mounting method of one embodiment of this invention

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照して、本実施の形態が適用される部品実装システム1の構成を説明する。部品実装システム1は、基板に電子部品を実装して実装基板を製造する機能を有するものであり、部品実装装置M1,M2,M3および検査装置M4を備えている。これら装置は通信ネットワーク2を介して管理コンピュータ3に接続されている。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, a configuration of a component mounting system 1 to which this exemplary embodiment is applied will be described with reference to FIG. The component mounting system 1 has a function of manufacturing a mounting substrate by mounting electronic components on a substrate, and includes component mounting devices M1, M2, M3 and an inspection device M4. These devices are connected to the management computer 3 via the communication network 2.

それぞれの部品実装装置M1,M2,M3は、部品実装機構12(図2参照)によって部品接合用の半田が印刷された基板に部品供給部から取り出した部品を移送搭載する部品実装作業を行う。すなわち本実施の形態では、部品実装システム1は前述の部品実装作業を反復実行する形態となっている。そしてこの部品実装作業を反復して実行する過程においては、部品実装装置M1,M2,M3において部品実装機構12の経時変化を測定して経時変化情報を求めるようになっている。   Each of the component mounting apparatuses M1, M2, and M3 performs a component mounting operation of transporting and mounting the component taken out from the component supply unit on the board on which solder for component bonding is printed by the component mounting mechanism 12 (see FIG. 2). That is, in the present embodiment, the component mounting system 1 is configured to repeatedly execute the component mounting operation described above. In the process of repeatedly executing this component mounting operation, the component mounting apparatuses M1, M2, and M3 measure the temporal change of the component mounting mechanism 12 to obtain the temporal change information.

検査装置M4は、部品実装装置M1,M2,M3により部品を実装された基板における部品の実装状態を検査して正しい実装位置からの位置ずれ状態を検出する。管理コンピュータ3はライン管理機能と併せて、検査装置M4によって検出された位置ずれ状態および各部品実装装置で経時変化を測定して求められた経時変化情報に基づいて、実装位置精度を改善するために各部品実装装置にフィードバックすべきフィードバック補正値を算出する機能を備えている。以下、部品実装システム1を構成する各装置の詳細構成について各図を参照して説明する。   The inspection device M4 detects the misalignment state from the correct mounting position by inspecting the mounting state of the component on the board on which the component is mounted by the component mounting devices M1, M2, and M3. In addition to the line management function, the management computer 3 improves the mounting position accuracy based on the positional shift state detected by the inspection apparatus M4 and the time-dependent change information obtained by measuring the time-dependent change in each component mounting apparatus. Are provided with a function for calculating a feedback correction value to be fed back to each component mounting apparatus. Hereinafter, a detailed configuration of each device constituting the component mounting system 1 will be described with reference to each drawing.

まず図2を参照して、部品実装装置M1,M2,M3の構成を説明する。図2において、基台4の上面の中央にはX方向(基板搬送方向)に基板搬送機構5が配設されており、基板搬送機構5は上流側装置から受け渡された基板6を搬送して、以下に説明する部品実装機構12による実装作業位置に基板6を位置決め保持する。   First, the configuration of the component mounting apparatuses M1, M2, and M3 will be described with reference to FIG. In FIG. 2, a substrate transport mechanism 5 is disposed in the center of the upper surface of the base 4 in the X direction (substrate transport direction). The substrate transport mechanism 5 transports the substrate 6 delivered from the upstream device. Thus, the substrate 6 is positioned and held at a mounting work position by the component mounting mechanism 12 described below.

基板搬送機構5の両側方には部品供給部7が配置されており、部品供給部7には複数のテープフィーダ8が並設されている。テープフィーダ8は実装対象の部品を保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより、部品実装機構による部品吸着位置に部品を供給する。基台4の上面においてX方向の一方側の端部には、X方向と直交するY方向にY軸ビーム9が配設されており、Y軸ビーム9には2基のX軸ビーム10が、Y方向に移動自在に結合されている。   A component supply unit 7 is disposed on both sides of the substrate transport mechanism 5, and a plurality of tape feeders 8 are arranged in parallel on the component supply unit 7. The tape feeder 8 feeds the component to the component suction position by the component mounting mechanism by pitch-feeding the carrier tape holding the component to be mounted. A Y-axis beam 9 is disposed in the Y direction perpendicular to the X direction at one end of the X direction on the upper surface of the base 4, and two X-axis beams 10 are provided in the Y-axis beam 9. , Movably coupled in the Y direction.

2基のX軸ビーム10には、それぞれ実装ヘッド11がX方向に移動自在に装着されている。実装ヘッド11は複数の保持ヘッドを備えた多連型ヘッドであり、それぞれの保持ヘッドの下端部には、図3に示すように、電子部品を吸着して保持し個別に昇降可能な吸着ノズル11aが装着されている。   A mounting head 11 is mounted on each of the two X-axis beams 10 so as to be movable in the X direction. The mounting head 11 is a multiple-type head having a plurality of holding heads. At the lower end of each holding head, as shown in FIG. 11a is attached.

Y軸ビーム9、X軸ビーム10を駆動することにより、実装ヘッド11はX方向、Y方向に移動する。これにより2つの実装ヘッド11は、それぞれ対応した部品供給部7のテープフィーダ8の部品吸着位置から部品を吸着ノズル11aによって吸着保持して取り出して、基板搬送機構5に位置決めされた基板6の実装点に移送搭載する。Y軸ビーム9、X軸ビーム10および実装ヘッド11は、電子部品を保持した実装ヘッド11を移動させることにより、部品を基板6に移送搭載する部品実装機構12を構成する。   By driving the Y-axis beam 9 and the X-axis beam 10, the mounting head 11 moves in the X direction and the Y direction. Thus, the two mounting heads 11 mount the substrate 6 positioned on the substrate transport mechanism 5 by picking up and holding the component by the suction nozzle 11 a from the component suction position of the tape feeder 8 of the corresponding component supply unit 7. Mount on the point. The Y-axis beam 9, the X-axis beam 10, and the mounting head 11 constitute a component mounting mechanism 12 that transfers and mounts components on the substrate 6 by moving the mounting head 11 that holds electronic components.

部品供給部7と基板搬送機構5との間には、部品認識カメラ14が配設されている。部品供給部7から部品を取り出した実装ヘッド11が部品認識カメラ14の上方を移動する際に、部品認識カメラ14は実装ヘッド11に保持された状態の部品を撮像して認識する。実装ヘッド11にはX軸ビーム10の下面側に位置して、それぞれ実装ヘッド11と一体的に移動する基板認識カメラ13が装着されている。実装ヘッド11が移動することにより、基板認識カメラ13は基板搬送機構5に位置決めされた基板6の上方に移動し、基板6を撮像して認識する。実装ヘッド11による基板6への部品実装動作においては、部品認識カメラ14による部品の認識結果と、基板認識カメラ13による基板認識結果とを加味して搭載位置補正が行われる。   A component recognition camera 14 is disposed between the component supply unit 7 and the substrate transport mechanism 5. When the mounting head 11 that has taken out a component from the component supply unit 7 moves above the component recognition camera 14, the component recognition camera 14 captures and recognizes the component held by the mounting head 11. The mounting head 11 is mounted with a substrate recognition camera 13 that is positioned on the lower surface side of the X-axis beam 10 and moves integrally with the mounting head 11. As the mounting head 11 moves, the substrate recognition camera 13 moves above the substrate 6 positioned by the substrate transport mechanism 5 and images and recognizes the substrate 6. In the component mounting operation on the substrate 6 by the mounting head 11, the mounting position correction is performed in consideration of the component recognition result by the component recognition camera 14 and the substrate recognition result by the substrate recognition camera 13.

経時変化を検出するため、基台4の上面には、基板搬送機構5に位置決めされた状態の基板6を周囲から囲む配置で、4つの位置基準ポスト15が立設されている。位置基準ポスト15には、時計回りに(1)〜(4)の番号が付番されており、それぞれを個別に特定できるようになっている。すなわち実装ヘッド11とともに移動する基板認識カメラ13によって位置基準ポスト15(1)〜15(4)の位置を認識することにより、実装ヘッド11が熱変形により正規状態から変位している経時変化を検出できるようになっている。   In order to detect a change with time, four position reference posts 15 are erected on the upper surface of the base 4 so as to surround the substrate 6 positioned by the substrate transport mechanism 5 from the periphery. The position reference posts 15 are numbered (1) to (4) in the clockwise direction so that each can be specified individually. That is, by detecting the position of the position reference posts 15 (1) to 15 (4) by the substrate recognition camera 13 that moves together with the mounting head 11, changes over time in which the mounting head 11 is displaced from the normal state due to thermal deformation are detected. It can be done.

次に図3を参照して、上述の部品実装機構12による部品実装作業を反復実行する過程において生じる経時変化および経時変化の検出方法について説明する。部品実装作業では、実装ヘッド11を部品供給部7と基板6との間で反復して移動させる実装ターンが高頻度で実行されるため、実装ヘッド11を構成するY軸ビーム9やX軸ビーム10は、摺動部からの発熱によって温度が上昇し、昇温部分が熱膨張する熱変形を生じる。   Next, with reference to FIG. 3, a description will be given of a change with time and a method for detecting the change with time, which occur in the process of repeatedly executing the component mounting work by the component mounting mechanism 12 described above. In the component mounting operation, a mounting turn for repeatedly moving the mounting head 11 between the component supply unit 7 and the substrate 6 is frequently performed. Therefore, the Y-axis beam 9 and the X-axis beam constituting the mounting head 11 are performed. No. 10 causes thermal deformation in which the temperature rises due to heat generated from the sliding portion, and the temperature rising portion thermally expands.

この熱変形により、稼働開始前の冷却状態では本来の直線的な形状を維持していたY軸ビーム9やX軸ビーム10は、発熱状況に応じて図3(a)に示すように、複雑な曲線形状に変形する。そしてこの変形は、稼働開始からの時間経過とともに変化し、ある時間経過後に熱変形が飽和状態となって一定形状に収束し、その後稼働停止により温度低下し徐々に熱変形が解消して初期形状に復帰する。   Due to this thermal deformation, the Y-axis beam 9 and the X-axis beam 10 that have maintained their original linear shape in the cooled state before the start of operation are complicated as shown in FIG. Deforms into a curved shape. This deformation changes with the lapse of time from the start of operation, and after a certain period of time, the thermal deformation becomes saturated and converges to a certain shape, and then the temperature decreases due to the stoppage of operation, and the thermal deformation gradually disappears to the initial shape. Return to.

このような熱変形が生じている状態で部品実装作業を実行すると、Y軸ビーム9やX軸ビーム10の変形により、図3(b)に示すように、実装ヘッド11の水平方向の位置が安定しないまま、部品16が基板6に搭載される結果となる。すなわち、図3(c)に示すように、基板6における本来の実装点6a(部品16の中心点16cが目標とすべき実装位置)から中心点16cが位置ずれした状態で、部品16が基板6に搭載される。そしてこの中心点16cの位置ずれ量は、時系列的に一定ではなく部品実装機構12の熱変形状態によって異なっている。   When the component mounting operation is executed in a state where such thermal deformation has occurred, the horizontal position of the mounting head 11 is changed due to the deformation of the Y-axis beam 9 and the X-axis beam 10 as shown in FIG. As a result, the component 16 is mounted on the substrate 6 without being stabilized. That is, as shown in FIG. 3C, the component 16 is mounted on the substrate 6 in a state where the center point 16c is displaced from the original mounting point 6a on the substrate 6 (the center 16c of the component 16 should be the target mounting position). 6 is installed. The positional deviation amount of the center point 16c is not constant in time series and varies depending on the thermal deformation state of the component mounting mechanism 12.

このような部品実装機構12の熱変形状態の経時変化に起因する実装位置ずれを抑制するため、本実施の形態では、部品実装装置M1,M2,M3において以下に説明するような実装位置の経時補正を実行するようにしている。まず図4(a)は、実装ヘッド11を移動させて、基板認識カメラ13を認識対象の位置基準ポスト15の上方に位置させた状態を示している。基準位置としての位置基準ポスト15の位置は固定されており、実装ヘッド11を移動させる際には位置基準ポスト15の正規位置データで示される位置を目標として実装ヘッド11を移動させる。そして基板認識カメラ13によって位置基準ポスト15を撮像することにより、図4(b)に示す認識画像が得られる。   In this embodiment, in order to suppress such a mounting position shift caused by a change in the thermal deformation state of the component mounting mechanism 12 with time, in the present embodiment, the mounting position changes over time as described below in the component mounting apparatuses M1, M2, and M3. Correction is executed. First, FIG. 4A shows a state in which the mounting head 11 is moved and the board recognition camera 13 is positioned above the position reference post 15 to be recognized. The position of the position reference post 15 as a reference position is fixed. When the mounting head 11 is moved, the mounting head 11 is moved with the position indicated by the normal position data of the position reference post 15 as a target. And the recognition image shown in FIG.4 (b) is obtained by imaging the position reference | standard post | mailbox 15 with the board | substrate recognition camera 13. FIG.

すなわち基板認識カメラ13の認識画面13aには、位置基準ポスト15の上面を示す画像が、実装ヘッド11の経時変化による変位状態に応じた位置ずれベクトルP(X方向成分px、Y方向成分py)だけ、認識画面13aの光学座標原点から位置ずれした状態で現れる。すなわち、実装ヘッド11が位置ずれしていない状態では、認識画面13aにおける位置基準ポスト15の画像は光学座標系の原点に一致して現れ、実装ヘッド11の位置ずれ量が大きいほど位置基準ポスト15の位置ずれ状態を示す位置ずれベクトルPは大きくなる。そしてこの位置基準ポスト15を対象とした位置ずれ検出は、図4(c)に示すように、基板6を囲んで配置された4つの位置基準ポスト15(1)〜15(4)について実行される。   That is, on the recognition screen 13 a of the substrate recognition camera 13, an image showing the upper surface of the position reference post 15 is a displacement vector P (X direction component px, Y direction component py) corresponding to the displacement state of the mounting head 11 over time. Only appear in a state shifted from the optical coordinate origin of the recognition screen 13a. That is, when the mounting head 11 is not displaced, the image of the position reference post 15 on the recognition screen 13a appears to coincide with the origin of the optical coordinate system, and the position reference post 15 increases as the displacement amount of the mounting head 11 increases. The positional deviation vector P indicating the positional deviation state becomes larger. Then, the positional deviation detection for the position reference post 15 is executed for the four position reference posts 15 (1) to 15 (4) arranged so as to surround the substrate 6, as shown in FIG. 4C. The

これにより、図5(a)に示すように、4つの位置基準ポスト15(1)〜15(4)について、それぞれに対応する位置ずれベクトルPn(1)〜Pn(4)が求められる。ここで添え字nは、複数枚の基板6を連続して実装対象とする場合におけるN枚目の基板6に対応する計測結果であることを示している。これらの位置ずれベクトルの組み合わせは、当該部品実装装置の部品実装機構12の当該時点(N枚目の基板6の実装時点)における経時変化による熱変形状態を示す経時変化情報となっている。   As a result, as shown in FIG. 5A, the positional deviation vectors Pn (1) to Pn (4) corresponding to the four position reference posts 15 (1) to 15 (4) are obtained. Here, the subscript n indicates a measurement result corresponding to the Nth substrate 6 when a plurality of substrates 6 are continuously mounted. The combination of these misregistration vectors is time-varying information indicating the heat deformation state due to the time-dependent change at the time (the time when the Nth board 6 is mounted) of the component mounting mechanism 12 of the component mounting apparatus.

この経時変化情報は、経時変化測定部37(図7参照)が、部品実装機構12を制御して基板認識カメラ13を移動させて基板認識カメラ13に位置基準ポスト15を撮像させ、さらに撮像結果を認識処理部36(図7)によって認識処理させることにより実行される。そしてこれらの経時変化情報に基づいて、実装ヘッド11の位置ずれに起因する実装位置の位置ずれを補正するための経時補正値を求める演算処理が、経時補正処理部38によって実行される。   The time change information is obtained by the time change measurement unit 37 (see FIG. 7), which controls the component mounting mechanism 12 to move the board recognition camera 13 to cause the board recognition camera 13 to pick up the image of the position reference post 15 and to obtain the image pickup result. Is recognized by the recognition processor 36 (FIG. 7). A temporal correction processing unit 38 executes a calculation process for obtaining a temporal correction value for correcting the positional deviation of the mounting position due to the positional deviation of the mounting head 11 based on the temporal change information.

このような目的の経時補正値の算出方法としては、所望の補正精度に応じて各種の方法を用いることができる。本実施の形態では、4つの位置ずれベクトルPn(1)〜Pn(4)の平均を算出して当該経時変化状態を代表する平均位置ずれベクトルとし、この平均位置ずれベクトルを打ち消すようなX,Y2方向の補正値を以て、経時補正値として用いている。すなわち図5(b)に示すように、部品実装機構12の経時変化による実装ヘッド11の位置ずれを打ち消すために、基板6における実装データ上の実装点6aを、平均位置ずれベクトルに相当するdxn,dynだけ補正して,補正後の実装点6a*とする。この方法では、当該部品実装装置において共通の経時補正値が基板6に適用される。   Various methods can be used as a method for calculating a correction value with time for such a purpose in accordance with desired correction accuracy. In this embodiment, an average of four misregistration vectors Pn (1) to Pn (4) is calculated as an average misregistration vector representing the temporal change state, and X, The correction value in the Y2 direction is used as the time correction value. That is, as shown in FIG. 5 (b), in order to cancel the positional deviation of the mounting head 11 due to the aging of the component mounting mechanism 12, the mounting point 6a on the mounting data on the board 6 is represented by dxn corresponding to the average positional deviation vector. , Dyn are corrected to a mounting point 6a * after correction. In this method, a common temporal correction value is applied to the board 6 in the component mounting apparatus.

次に図6を参照して、検査装置M4によって実行される部品実装後の検査工程について説明する。検査装置M4に設けられた基板搬送機構17には、上流側の部品実装装置M1,M2、M3によって部品16が実装された基板6が搬入される。図6(a)に示すように、基板搬送機構17の上方には検査用カメラ18が、カメラ移動機構19によって水平方向に移動自在に配設されている。検査用カメラ18を検査対象の部品16の上方に移動させて撮像した画像を認識処理部44(図7)によって認識処理することにより、図6(b)に示す実装位置ずれ量Δxn,Δynが取得される。   Next, with reference to FIG. 6, the inspection process after component mounting executed by the inspection apparatus M4 will be described. The board 6 on which the component 16 is mounted by the upstream component mounting apparatuses M1, M2, and M3 is carried into the board transport mechanism 17 provided in the inspection apparatus M4. As shown in FIG. 6A, an inspection camera 18 is disposed above the substrate transport mechanism 17 so as to be movable in the horizontal direction by a camera moving mechanism 19. By recognizing the image captured by moving the inspection camera 18 above the component 16 to be inspected by the recognition processing unit 44 (FIG. 7), the mounting position deviation amounts Δxn and Δyn shown in FIG. To be acquired.

実装位置ずれ量Δxn,Δynは、実装データにおいて部品16の中心点16cが一致すべき実装点6aと、実際に基板6に搭載された部品16の中心点16cとの位置ずれ状態を示すものである。なお、ここでは説明の便宜のため、検査対象の部品16を1つのみ図示しているが、実際の部品実装作業では単一の基板6に対し、部品実装装置M1,M2、M3によって順次実装された複数の部品16が存在し、それぞれの部品16について実装位置ずれ量Δxn,Δynが求められる。   The mounting position shift amounts Δxn and Δyn indicate the position shift state between the mounting point 6a at which the center point 16c of the component 16 should match in the mounting data and the center point 16c of the component 16 actually mounted on the board 6. is there. Here, for convenience of explanation, only one component 16 to be inspected is shown, but in actual component mounting work, components are sequentially mounted on a single board 6 by component mounting apparatuses M1, M2, and M3. A plurality of components 16 exist, and the mounting position deviation amounts Δxn and Δyn are obtained for each component 16.

次に図7を参照して、部品実装システム1の制御系の構成を説明する。図7において、部品実装装置M1、M2,M3は、実装制御部30、記憶部31、機構駆動部35、認識処理部36、経時変化測定部37、経時補正処理部38を備えている。実装制御部30は、記憶部31に記憶された処理プログラムやデータに基づき、以下に説明する各部を制御する。これにより当該装置における各種の作業や演算処理が実行される。   Next, the configuration of the control system of the component mounting system 1 will be described with reference to FIG. In FIG. 7, the component mounting apparatuses M1, M2, and M3 include a mounting control unit 30, a storage unit 31, a mechanism driving unit 35, a recognition processing unit 36, a temporal change measuring unit 37, and a temporal correction processing unit 38. The mounting control unit 30 controls each unit described below based on the processing program and data stored in the storage unit 31. As a result, various operations and arithmetic processes in the apparatus are executed.

記憶部31には、実装データ32、経時変化情報33、経時補正値34が記憶されている。実装データ32は、作業対象の基板6における部品の実装座標データや部品データ、実装作業順序を示すシーケンスデータなどを含んでいる。経時変化情報33は部品実装機構12の経時変化の状態を示すデータであり、経時補正値34は経時変化による実装位置の誤差を補正するために経時補正処理部38により算出される補正値である(図5(a)、(b)参照)。機構駆動部35は、実装制御部30に制御されて、基板搬送機構5や部品実装機構12などの作業機構を制御する。これにより、基板搬送動作や部品実装動作が実行される。   The storage unit 31 stores mounting data 32, temporal change information 33, and temporal correction value 34. The mounting data 32 includes component mounting coordinate data and component data on the work target board 6, sequence data indicating the mounting work order, and the like. The time-dependent change information 33 is data indicating the time-dependent change state of the component mounting mechanism 12, and the time-dependent correction value 34 is a correction value calculated by the time-dependent correction processing unit 38 to correct the mounting position error due to the time-dependent change. (See FIGS. 5A and 5B). The mechanism drive unit 35 is controlled by the mounting control unit 30 to control work mechanisms such as the board transport mechanism 5 and the component mounting mechanism 12. Thereby, a board | substrate conveyance operation | movement and component mounting operation | movement are performed.

認識処理部36は、基板認識カメラ13、部品認識カメラ14による撮像結果を認識処理する。これにより、位置決めされた基板6や、実装ヘッド11に保持された状態の部品16の位置認識が行われる。これとともに、基板認識カメラ13による位置基準ポスト15の撮像結果を認識処理することにより、部品実装機構12の経時変化を測定するための位置基準ポスト15の認識結果が取得される。   The recognition processing unit 36 performs recognition processing on the imaging results obtained by the board recognition camera 13 and the component recognition camera 14. As a result, the position of the positioned substrate 6 and the component 16 held by the mounting head 11 is recognized. At the same time, the recognition result of the position reference post 15 for measuring the temporal change of the component mounting mechanism 12 is acquired by performing the recognition processing of the imaging result of the position reference post 15 by the board recognition camera 13.

経時変化測定部37は、前述の認識結果に基づき、部品実装機構12の経時変化の状態を示す経時変化情報を画像認識を用いた測定により求める(図5(a)参照)。測定結果は、記憶部31に経時変化情報33として記憶される。すなわち、経時変化測定部37は、部品実装作業を反復して実行する過程において部品実装機構12の経時変化を測定して経時変化情報33を求める。経時補正処理部38は、経時変化測定部37による測定情報に基づき、図5(b)に示す補正値を算出する。算出された補正値は、記憶部31に当該時点における経時補正値34として記憶される。   The time change measuring unit 37 obtains time change information indicating the state of time change of the component mounting mechanism 12 based on the above recognition result by measurement using image recognition (see FIG. 5A). The measurement result is stored in the storage unit 31 as the time change information 33. That is, the time change measuring unit 37 measures the time change of the component mounting mechanism 12 in the process of repeatedly executing the component mounting work and obtains the time change information 33. The time correction processing unit 38 calculates the correction value shown in FIG. 5B based on the measurement information from the time change measuring unit 37. The calculated correction value is stored in the storage unit 31 as the time-dependent correction value 34 at that time.

検査装置M4は、検査制御部40、記憶部41、認識処理部44を備えている。検査制御部40は、記憶部41に記憶された検査用データ42に基づいて各部を制御することにより、検査対象の基板6における部品16の実装状態を検査するための作業を実行させる。検査用データ42には、検査対象の基板6において検査対象とすべき部品16の位置情報や、実装状態の正否判定に用いられる閾値データなどが含まれる。   The inspection apparatus M4 includes an inspection control unit 40, a storage unit 41, and a recognition processing unit 44. The inspection control unit 40 controls each unit based on the inspection data 42 stored in the storage unit 41, thereby executing an operation for inspecting the mounting state of the component 16 on the substrate 6 to be inspected. The inspection data 42 includes position information of the parts 16 to be inspected on the board 6 to be inspected, threshold data used for determining whether the mounting state is correct or not, and the like.

これにより、検査用カメラ18はカメラ移動機構19(図6)によって検査対象の部品16の上方に移動して撮像する。そして撮像結果を認識処理部44によって認識処理することにより、実装状態検査が実行される。この実装状態の検査結果には、検査対象の部品16の実装状態の合否判定結果とともに、正しい実装位置からの位置ずれの程度を示す実装位置ずれ量が含まれる。   As a result, the inspection camera 18 moves above the component 16 to be inspected by the camera moving mechanism 19 (FIG. 6) and images it. And a mounting state test | inspection is performed by carrying out recognition processing of the imaging result by the recognition process part 44. FIG. The inspection result of the mounting state includes a mounting position deviation amount indicating the degree of positional deviation from the correct mounting position, together with the pass / fail determination result of the mounting state of the component 16 to be inspected.

管理コンピュータ3は、全体制御部20、記憶部21、データ集計・解析部23、通信部24を備えている。全体制御部20は、部品実装システム1全体の管理のために以下の各部を制御する。記憶部21には、部品実装装置M1,M2,M3,検査装置M4から送信される計測値や検査結果を集計し解析するための補正計測値集計・解析データ22が記憶される(図8,図9参照)。データ集計・解析部23は、部品実装装置M1,M2,M3から送信される基板毎の経時変化情報33、経時補正値34および検査装置M4から送信される基板毎の検査結果43を集計することにより、補正計測値集計・解析データ22における経時変化情報22a、経時補正値22b、フィードバック補正値22c、検査結果データ22d、補正値対応データ22eを編集する。   The management computer 3 includes an overall control unit 20, a storage unit 21, a data aggregation / analysis unit 23, and a communication unit 24. The overall control unit 20 controls the following units for managing the entire component mounting system 1. The storage unit 21 stores corrected measurement value totaling / analysis data 22 for totaling and analyzing measurement values and inspection results transmitted from the component mounting apparatuses M1, M2, M3, and the inspection apparatus M4 (FIG. 8, FIG. 8). (See FIG. 9). The data totaling / analyzing unit 23 totals the time-dependent change information 33 for each board transmitted from the component mounting apparatuses M1, M2, and M3, the time-dependent correction value 34, and the inspection result 43 for each board transmitted from the inspection apparatus M4. Thus, the time-dependent change information 22a, the time-dependent correction value 22b, the feedback correction value 22c, the inspection result data 22d, and the correction value corresponding data 22e in the corrected measurement value totaling / analysis data 22 are edited.

さらにデータ集計・解析部23はフィードバック補正値算出部23aを備えており、フィードバック補正値算出部23aは、検査装置M4にて検出された実装後の位置ずれ状態を示す検査結果データ22dおよび経時変化情報22aに基づいて、実装位置精度を改善するために部品実装装置M1,M2,M3にフィードバックすべき補正値を、フィードバック補正値22cとして算出する演算処理を行う。通信部24は通信インターフェイスであり、部品実装システム1を構成する部品実装装置M1,M2,M3,検査装置M4などの他装置との間で通信ネットワーク2を介してデータや制御信号の授受を行う。   Further, the data totaling / analyzing unit 23 includes a feedback correction value calculating unit 23a. The feedback correction value calculating unit 23a includes inspection result data 22d indicating a misalignment state after mounting detected by the inspection apparatus M4, and a change with time. Based on the information 22a, calculation processing is performed to calculate a correction value to be fed back to the component mounting apparatuses M1, M2, and M3 as the feedback correction value 22c in order to improve the mounting position accuracy. The communication unit 24 is a communication interface, and exchanges data and control signals with other apparatuses such as the component mounting apparatuses M1, M2, M3, and the inspection apparatus M4 constituting the component mounting system 1 via the communication network 2. .

次に図8,図9、図10を参照して、補正計測値集計・解析データ22のデータ構成を説明する。補正計測値集計・解析データ22は、部品実装システム1を構成する部品実装装置M1、M2、M3毎に作成される設備固有のデータである。ここで、図8は、当該部品実装システム1にて新たな基板の種類を対象として生産を行う初回生産において適用されるデータ構成を示している。また図9は、当該部品実装システム1にて、所定時間を超えて稼働を停止した後に、同一の基板の種類を対象として生産を行う次回生産において適用されるデータ構成を示している。   Next, the data structure of the corrected measurement value totaling / analysis data 22 will be described with reference to FIGS. 8, 9, and 10. FIG. The corrected measurement value totaling / analysis data 22 is facility-specific data created for each of the component mounting apparatuses M1, M2, and M3 constituting the component mounting system 1. Here, FIG. 8 shows a data configuration applied in the initial production in which production is performed for a new board type in the component mounting system 1. FIG. 9 shows a data configuration applied in the next production in which production is performed for the same board type after the operation is stopped for a predetermined time in the component mounting system 1.

図8,図9において、基板追番号50は、部品実装システム1に上流側装置から供給される基板6の順序(生産順)を示す番号である。図10は、前述構成の部品実装システム1にて複数の基板6を対象として部品実装作業を反復実行する過程における基板配置を示している。ここで基板6(1)〜6(10)における( )番号は、図8,図9における基板追番号50(1、2、・・・N)に対応している。   8 and 9, the board serial number 50 is a number indicating the order (production order) of the boards 6 supplied from the upstream device to the component mounting system 1. FIG. 10 shows the board arrangement in the process of repeatedly executing the component mounting work for a plurality of boards 6 in the component mounting system 1 having the above-described configuration. Here, the () numbers in the substrates 6 (1) to 6 (10) correspond to the substrate serial numbers 50 (1, 2,... N) in FIGS.

図10に示すように、部品実装システム1に上流側から供給される基板6は、まず部品実装装置M1にて部品実装作業の対象となり、次に部品実装装置M2、M3にて順次同様に部品実装作業が行われた後、検査装置M4に到達してここで実装状態の検査が行われる。ここでは、最初に供給された、すなわち基板追番号50が(1)の基板6(1)が検査装置M4による検査作業対象となる。   As shown in FIG. 10, the board 6 supplied from the upstream side to the component mounting system 1 is first subjected to component mounting work by the component mounting apparatus M1, and then sequentially in the same manner by the component mounting apparatuses M2 and M3. After the mounting operation is performed, the inspection apparatus M4 is reached and the mounting state is inspected here. Here, the substrate 6 (1) supplied first, that is, the substrate number 50 (1) is the inspection work object by the inspection apparatus M4.

部品実装装置M1、M2、M3にはそれぞれ3つの基板位置が設定されており、基板6(1)が検査装置M4にて滞留している間は、検査装置M4の上流側に隣接する部品実装装置M3には、搬出前待機中の基板6(2)、部品実装作業実行中の基板6(3)、搬入後待機中の基板6(4)の3枚が位置している。   Three board positions are set for each of the component mounting apparatuses M1, M2, and M3. While the board 6 (1) stays in the inspection apparatus M4, the component mounting adjacent to the upstream side of the inspection apparatus M4. In the apparatus M3, three boards are placed: a board 6 (2) waiting before unloading, a board 6 (3) performing a component mounting operation, and a board 6 (4) waiting after loading.

同様に部品実装装置M2には、搬出前待機中の基板6(5)、部品実装作業実行中の基板6(6)、搬入後待機中の基板6(7)の3枚が位置しており、最上流の部品実装装置M1には、搬出前待機中の基板6(8)、部品実装作業実行中の基板6(9)が位置し、さらに上流側装置からは部品実装装置M1に搬入される基板6(10)が準備されている。そして最初に部品実装システム1に供給された基板6(1)が検査装置M4に到達し、ここでの検査が終了して下流側へ搬出された後には、上流側装置において滞留中のそれぞれの基板6は、1つ下流側の基板位置に順次移動する。   Similarly, in the component mounting apparatus M2, there are three boards: a board 6 (5) waiting before being carried out, a board 6 (6) being subjected to the component mounting work, and a board 6 (7) waiting after being carried in. In the most upstream component mounting apparatus M1, the board 6 (8) that is waiting before being carried out and the board 6 (9) that is executing the component mounting operation are located, and further, the board is carried into the component mounting apparatus M1 from the upstream side apparatus. A substrate 6 (10) is prepared. Then, after the board 6 (1) first supplied to the component mounting system 1 reaches the inspection apparatus M4, and after the inspection is completed and carried out to the downstream side, each of the staying in the upstream apparatus is stored. The substrate 6 sequentially moves to the substrate position one downstream side.

すなわち図10に示す構成の部品実装システム1では、生産初期においては最初の基板6(1)から、設備によって規定される基板位置の数(ここでは9)だけ上流へ遡及した基板6(9)まで、検査装置M4による検査結果から求められた位置ずれ状態のフィードバックの対象とすることができない。本実施の形態では、このような生産初期における実装位置ずれの位置補正精度を向上させることを目的として、後述するように前回生産時に取得された補正計測値集計・解析データ22に基づいてフィードバック補正値22cを導出して用いるようにしている。   That is, in the component mounting system 1 having the configuration shown in FIG. 10, in the initial stage of production, the board 6 (9) retroactively upstream from the first board 6 (1) by the number of board positions (here 9) defined by the equipment. Up to this point, it is not possible to make a target of feedback of the displacement state obtained from the inspection result by the inspection device M4. In the present embodiment, for the purpose of improving the position correction accuracy of the mounting position deviation at the initial stage of production, feedback correction is performed based on the corrected measurement value totaling / analysis data 22 acquired during the previous production as described later. The value 22c is derived and used.

図8,図9に示すように、経時変化情報22aは、基板追番号50によって特定される基板6毎の情報、例えば位置基準ポスト15(1)〜位置基準ポスト15(4)を基板認識カメラ13によって撮像して求めた基準ポスト位置の相対位置ずれを示す位置ずれベクトルP(1)〜P(4)を組み合わせたセット情報(図5(a)参照)を、含む構成となっている。   As shown in FIGS. 8 and 9, the time-change information 22a includes information for each substrate 6 specified by the substrate serial number 50, for example, the position reference post 15 (1) to the position reference post 15 (4). 13 includes set information (see FIG. 5A) that is a combination of positional deviation vectors P (1) to P (4) that indicate relative positional deviations of the reference post position obtained by imaging.

そして基板追番号50毎のセット情報(基板追番号50(1)に対応したP1(1)〜P1(4)、・・・基板追番号50(N)に対応したPn(1)〜Pn(4))を集計することにより、経時変化情報22aが構成される。経時補正値22bは、上述の経時変化情報22aのセット情報毎に算出される補正値(図5(b)参照)であり、経時変化による位置ずれを補正するために用いられる。   Then, set information for each board serial number 50 (P1 (1) to P1 (4) corresponding to the board serial number 50 (1),... Pn (1) to Pn (corresponding to the board serial number 50 (N)). By aggregating 4)), the temporal change information 22a is configured. The time-dependent correction value 22b is a correction value (see FIG. 5B) calculated for each set information of the above-described time-dependent change information 22a, and is used for correcting a positional shift due to a time-dependent change.

フィードバック補正値22cは、実装位置精度を改善するために部品実装装置にフィードバックすべき補正値であり、検査装置M4による実装後検査の検査結果データ22dとして検出された位置ずれ状態(実装位置ずれ量)および経時変化情報22aに基づいて算出される。ここで前述のように、最初の基板6(1)から基板6(9)まで、すなわち生産開始後の生産初期においては、検査装置M4には未だ基板6が到達していらず検査結果が存在しない。したがってフィードバックの対象となる補正値は存在せず、フィードバック補正値22cは空欄となる。検査結果データ22dは、検査装置M4から基板追番号50毎に送信された検査結果43であり、基板6において部品16が実装される複数の実装点毎に作成される。   The feedback correction value 22c is a correction value to be fed back to the component mounting apparatus in order to improve the mounting position accuracy, and is a misalignment state (mounting position misalignment amount) detected as inspection result data 22d of the post-mounting inspection by the inspection apparatus M4. ) And the time-dependent change information 22a. Here, as described above, from the first substrate 6 (1) to the substrate 6 (9), that is, in the initial stage of production after the start of production, the substrate 6 has not yet reached the inspection apparatus M4, and there is an inspection result. do not do. Therefore, there is no correction value to be a feedback target, and the feedback correction value 22c is blank. The inspection result data 22d is the inspection result 43 transmitted from the inspection apparatus M4 for each board serial number 50, and is created for each of a plurality of mounting points where the component 16 is mounted on the board 6.

基板追番号50が(10)以降の基板6については、すなわち検査装置M4における最初の基板6(1)を対象とする実装後検査が終了した後には、この検査結果に基づいてフィードバック補正値22cがフィードバック補正値算出部23aによって算出され、フィードバック補正値22cとして記憶される。このとき、算出されたフィードバック補正値22cを経時変化情報22aに対応させた補正値対応データ22eが作成されて、記憶部21に記憶される。   For the board 6 with the board number 50 after (10), that is, after the post-mounting inspection for the first board 6 (1) in the inspection apparatus M4 is completed, the feedback correction value 22c is based on the inspection result. Is calculated by the feedback correction value calculator 23a and stored as a feedback correction value 22c. At this time, correction value correspondence data 22e in which the calculated feedback correction value 22c is associated with the temporal change information 22a is created and stored in the storage unit 21.

ここでフィードバック補正値22cの技術的意義について説明する。本実施の形態においては、部品実装装置M1,M2、M3の部品実装機構12の経時変化に起因する実装位置ずれを、図4に示す経時変化情報22aに基づいて算出される経時補正値22b(図5(b))により補正するようにしている。しかしながら経時変化情報22aは、制約された数の位置基準ポスト15の位置認識結果に基づいて取得されるものであることから、熱変形により曲線形状に変形するY軸ビーム9、X軸ビーム10などの複雑な熱変形を正確に表すことができない。このため、このようにして求められた経時補正値22bを適用して実装位置補正を行っても、経時変化に起因する位置誤差は必ずしも厳密には補正されない。   Here, the technical significance of the feedback correction value 22c will be described. In the present embodiment, the time-dependent correction value 22b (the time-dependent correction value 22b (the time-dependent change information 22a shown in FIG. 4) is used to calculate the mounting position deviation caused by the time-dependent change of the component mounting mechanism 12 of the component mounting apparatuses M1, M2, and M3. The correction is made according to FIG. However, since the temporal change information 22a is obtained based on the position recognition results of the limited number of position reference posts 15, the Y-axis beam 9, the X-axis beam 10, and the like that are deformed into a curved shape by thermal deformation. The complicated thermal deformation of cannot be expressed accurately. For this reason, even if the mounting position correction is performed by applying the temporal correction value 22b obtained in this way, the positional error due to the temporal change is not necessarily corrected strictly.

フィードバック補正値22cは、上述のような経時補正値22bを用いてもなお補正されずに残留する補正残渣成分を極力減少させることを目的として採用される。本実施の形態においては、このフィードバック補正値22cとして、検査結果データ22dに示される実装位置ずれ量Δxn、Δyn、経時補正値22bに示される経時補正値dxn,dynの差を用いる。すなわちX方向についてはΔxn−dxn,Y方向についてはΔyn−dynを近似的に補正残渣成分と見なし、この補正残渣成分を加味して実装位置を補正するようにしている。   The feedback correction value 22c is employed for the purpose of reducing as much as possible the correction residue component that remains without being corrected even when the time-dependent correction value 22b as described above is used. In the present embodiment, as the feedback correction value 22c, the difference between the mounting position deviation amounts Δxn and Δyn shown in the inspection result data 22d and the time-dependent correction values dxn and dyn shown in the time-dependent correction value 22b is used. That is, Δxn−dxn in the X direction and Δyn−dyn in the Y direction are approximately regarded as correction residue components, and the mounting position is corrected in consideration of the correction residue components.

すなわち部品実装装置M1,M2,M3は、経時変化情報33に基づいて算出された経時補正値34にさらにフィードバック補正値22cを加味して実装位置を補正する。なお、フィードバック補正値22cとしては、経時補正値22b、検査結果データ22dに基づいて実装位置精度を改善するために用いられるものであれば、上述方法以外の方法で算出されるものであってもよい。   That is, the component mounting apparatuses M1, M2, and M3 correct the mounting position by further adding the feedback correction value 22c to the temporal correction value 34 calculated based on the temporal change information 33. The feedback correction value 22c may be calculated by a method other than the above method as long as it is used for improving the mounting position accuracy based on the time-dependent correction value 22b and the inspection result data 22d. Good.

そして初回生産で求められた補正計測値集計・解析データ22において、フィードバック補正値22cの具体値が求められた破線枠51にて示すデータ範囲(ここでは基板追番号50が(10)以降のデータ)は、次回生産の生産初期において未だフィードバック補正値22cが求められていない場合において、代替値として使用可能なデータを含む範囲を示している。   Then, in the corrected measurement value totaling / analysis data 22 obtained in the initial production, the data range indicated by the broken line frame 51 in which the specific value of the feedback correction value 22c is obtained (here, the data after the substrate serial number 50 is (10) or later). ) Shows a range including data that can be used as a substitute value when the feedback correction value 22c is not yet obtained in the initial stage of the next production.

すなわち、次回生産で求められる全体制御部20を示す図9において、基板追番号50が(1)〜(9)の間のデータ範囲については、上述の理由によりフィードバック補正値22cにおいて破線枠52にて示すデータ範囲には、経時補正値22b、検査結果データ22dの実データに基づいて算出されたデータが存在しない。このような場合には、図8に示す初回生産で求められた補正計測値集計・解析データ22に含まれるデータを流用して、不足するデータを補足するようにしている。   That is, in FIG. 9 showing the overall control unit 20 obtained in the next production, the data range between the board serial numbers 50 (1) to (9) is shown in the broken line frame 52 in the feedback correction value 22c for the reason described above. In the data range shown below, there is no data calculated based on the actual data of the temporal correction value 22b and the inspection result data 22d. In such a case, the data included in the corrected measurement value aggregation / analysis data 22 obtained in the initial production shown in FIG. 8 is used to supplement the deficient data.

換言すれば、部品実装システム1は複数の部品実装装置M1,M2,M3を有し、生産初期には、フィードバック補正値算出部23aは、検査装置M4に部品実装装置M1,M2,M3により部品を実装された基板6が到達した後に部品実装作業の対象となる基板6の部品実装作業に加味されるフィードバック補正値22cの算出を実行し、部品実装装置M1,M2,M3は、検査装置M4に部品実装後の基板6が到達した後に部品実装作業の対象となる基板6について、部品実装装置M1,M2,M3において経時補正値22bにさらにフィードバック補正値22cを加味して実装位置を補正する。   In other words, the component mounting system 1 includes a plurality of component mounting devices M1, M2, and M3. In the initial stage of production, the feedback correction value calculation unit 23a uses the component mounting devices M1, M2, and M3 to perform component inspection. After the board 6 mounted on the board 6 arrives, the component mounting apparatuses M1, M2, and M3 calculate the feedback correction value 22c added to the component mounting work of the board 6 that is the target of the component mounting work. In the component mounting apparatuses M1, M2, and M3, the mounting position is corrected by adding the feedback correction value 22c to the time-dependent correction value 22b in the component mounting apparatuses M1, M2, and M3. .

すなわち、次回生産の場合、部品実装システム1では、検査装置M4に各部品実装装置の部品実装機構12により部品16が実装された基板6が到達する前に部品実装作業の対象となる基板6については、記憶部21に記憶された補正値対応データ22eを参照することにより当該基板6の経時変化情報22aに対応するフィードバック補正値22cを求める。基板6の経時変化情報22aに対応するフィードバック補正値22cを部品実装装置にフィードバックすべきフィードバック補正値22cとして用いるようにしている。すなわち全体制御部20において経時変化情報22aに示される経時変化情報の特定パターンが指定されれば、指定された経時変化情報22aに対応した適切なフィードバック補正値22cを、補正値対応データ22eを参照して推定することができる。   That is, in the case of the next production, in the component mounting system 1, the substrate 6 to be subjected to the component mounting work before the substrate 6 on which the component 16 is mounted by the component mounting mechanism 12 of each component mounting device reaches the inspection device M4. Obtains the feedback correction value 22c corresponding to the time-dependent change information 22a of the substrate 6 by referring to the correction value correspondence data 22e stored in the storage unit 21. The feedback correction value 22c corresponding to the time-dependent change information 22a of the board 6 is used as the feedback correction value 22c to be fed back to the component mounting apparatus. That is, if the specific pattern of the time-dependent change information shown in the time-dependent change information 22a is specified in the overall control unit 20, an appropriate feedback correction value 22c corresponding to the specified time-dependent change information 22a is referred to the correction value corresponding data 22e. And can be estimated.

次に、図11,図12を参照して、部品実装システム1において実行される部品実装方法の処理フローについて説明する。この部品実装方法では、複数の部品実装装置M1,M2,M3が備えた部品実装機構12によって部品供給部7から取り出した部品16を、基板6に移送搭載する部品実装工程を反復実行する形態となっている。   Next, a processing flow of the component mounting method executed in the component mounting system 1 will be described with reference to FIGS. In this component mounting method, the component mounting process in which the component 16 taken out from the component supply unit 7 by the component mounting mechanism 12 provided in the plurality of component mounting apparatuses M1, M2, and M3 is transferred and mounted on the board 6 is repeatedly executed. It has become.

まず図11は、部品実装システム1にて新たな基板6の種類を対象として生産を行う初回生産(図8参照)における処理を示している。ここで(ST1)に示す部品実装作業は、同一の基板6が複数の部品実装装置M1、M2,M3を順次搬送される過程において、順次実行される単位作業((ST1A)、(ST1B)、(ST1C)、(ST1D)および(ST1E))より構成される。   First, FIG. 11 shows processing in initial production (see FIG. 8) in which production is performed for a new type of board 6 in the component mounting system 1. Here, the component mounting operation shown in (ST1) is a unit operation ((ST1A), (ST1B), which is sequentially performed in the process in which the same substrate 6 is sequentially conveyed by the plurality of component mounting apparatuses M1, M2, and M3. (ST1C), (ST1D), and (ST1E)).

部品実装作業の具体内容では、まず作業対象となる部品実装装置へ基板6が搬入される(ST1A)。ここでは基板6は最初に部品実装装置M1に搬入され、次いで部品実装装置M2、M3に順次搬入される。次いで当該部品実装装置にて、図4に示す経時変化測定が経時変化測定部37によって実行される(ST1B)。すなわち、部品実装工程を反復して実行する過程において、部品実装機構12の経時変化を測定して経時変化情報22aを求める(経時変化測定工程)。そして求められた経時変化情報22aに基づき、図5(b)に示す経時補正値22b(dxn,dyn)が算出される(ST1C)。そして算出された経時補正値22bを加味して、部品実装作業が実行される(ST1D)。   In the specific content of the component mounting work, first, the board 6 is carried into the component mounting apparatus to be worked (ST1A). Here, the board 6 is first loaded into the component mounting apparatus M1, and then sequentially loaded into the component mounting apparatuses M2 and M3. Next, the temporal change measurement shown in FIG. 4 is executed by the temporal change measuring unit 37 in the component mounting apparatus (ST1B). That is, in the process of repeatedly executing the component mounting process, the temporal change information 22a is obtained by measuring the temporal change of the component mounting mechanism 12 (temporal change measuring process). Based on the obtained temporal change information 22a, the temporal correction value 22b (dxn, dyn) shown in FIG. 5B is calculated (ST1C). Then, the component mounting operation is executed in consideration of the calculated temporal correction value 22b (ST1D).

このようにして1つの部品実装装置における部品実装作業を終えたならば、当該基板6について、予め規定された所定の部品実行過程が完了したか否か?を判断する(ST1E)。ここでまだ所定の部品実行過程が完了していないならば、すなわち下流側に未だ経由すべき部品実装装置があるならば、(ST1A)に戻って,以下同様の作業処理が反復して実行される。これに対し、(ST1E)にて部品実装作業の完了が確認されたならば、基板6は下流側の検査装置M4に搬入され、実装後検査が実行される(ST2)(検査工程)。   If the component mounting operation in one component mounting apparatus is completed in this way, whether or not a predetermined component execution process defined in advance for the board 6 is completed. Is determined (ST1E). If the predetermined component execution process has not yet been completed, that is, if there is a component mounting apparatus that should still be routed downstream, the process returns to (ST1A), and the same work process is repeatedly executed. The On the other hand, if the completion of the component mounting operation is confirmed in (ST1E), the board 6 is carried into the downstream inspection apparatus M4 and the post-mounting inspection is executed (ST2) (inspection process).

すなわち部品実装機構12により部品16を実装された基板6における部品16の実装状態を検査して合否判定を行うとともに、正しい実装位置からの位置ずれ状態を検出する(ST3)(位置ずれ状態検出)。そして検出された検査結果43は、管理コンピュータ3へ送信され(ST4)、記憶部21へ補正計測値集計・解析データ22として記憶される。   In other words, the mounting state of the component 16 on the substrate 6 on which the component 16 is mounted is inspected by the component mounting mechanism 12 to make a pass / fail judgment, and a misalignment state from the correct mounting position is detected (ST3) (misalignment state detection). . The detected inspection result 43 is transmitted to the management computer 3 (ST4), and stored in the storage unit 21 as the corrected measurement value totaling / analysis data 22.

次に管理コンピュータ3のフィードバック補正値算出部23aにより、検出された位置ずれ状態および経時変化情報に基づいて、実装位置精度を改善するために部品実装工程にフィードバックすべきフィードバック補正値22cを算出する(フィードバック補正値算出工程)(ST5)。そして算出されたフィードバック補正値22cを経時変化情報22aに対応させた補正値対応データ22eを、記憶部21に記憶する(ST6)(記憶工程)。   Next, the feedback correction value calculation unit 23a of the management computer 3 calculates a feedback correction value 22c to be fed back to the component mounting process in order to improve the mounting position accuracy based on the detected misalignment state and time-dependent change information. (Feedback correction value calculation step) (ST5). Then, correction value correspondence data 22e in which the calculated feedback correction value 22c is associated with the time-dependent change information 22a is stored in the storage unit 21 (ST6) (storage step).

そしてフィードバック補正値22cは、対応する部品実装装置へ送信される(ST7)。そして当該部品実装装置によって実行される部品実装工程においては、経時変化情報22aに基づいて算出された経時補正値22bにさらにフィードバック補正値22cを加味して実装位置を補正する。これにより、経時補正値22bのみによる補正では不十分であった実装位置補正の精度を改善することができる。   The feedback correction value 22c is transmitted to the corresponding component mounting apparatus (ST7). In the component mounting process executed by the component mounting apparatus, the mounting position is corrected by further adding the feedback correction value 22c to the temporal correction value 22b calculated based on the temporal change information 22a. As a result, it is possible to improve the accuracy of the mounting position correction, which is insufficient with the correction using only the temporal correction value 22b.

すなわち、図11に示す部品実装方法では、部品実装工程は複数の部品実装装置M1,M2,M3のそれぞれによって実行される形態となっている。そして生産初期には、フィードバック補正値算出工程において、(ST2)にて示す検査工程に部品実装装置により部品16が実装された基板6が到達した後に部品実装作業の対象となる基板6について、フィードバック補正値の算出を実行するようになっている。   That is, in the component mounting method shown in FIG. 11, the component mounting process is executed by each of the plurality of component mounting apparatuses M1, M2, and M3. Then, at the initial stage of production, in the feedback correction value calculation process, the feedback is provided for the board 6 to be subjected to the component mounting work after the board 6 on which the component 16 is mounted by the component mounting apparatus reaches the inspection process shown in (ST2). Calculation of the correction value is executed.

そして部品実装工程において、検査工程に部品実装装置により部品16が実装された基板6が到達した後に部品実装作業の対象となる基板6について、経時補正値22bにさらにフィードバック補正値22cを加味して実装位置を補正する。ここでフィードバック補正値22cとして、位置ずれ状態から算出された位置ずれ量(検査結果データ22d参照)と経時補正値22bとの差を近似的に用いる。このように、経時補正値22bにフィードバック補正値22cを加味して実装位置の補正を行うことにより、経時変化による位置誤差を対象として高精度な実装位置精度を実現することができる。   In the component mounting process, the feedback correction value 22c is further added to the time-dependent correction value 22b for the substrate 6 to be subjected to the component mounting work after the substrate 6 on which the component 16 is mounted by the component mounting apparatus arrives in the inspection process. Correct the mounting position. Here, as the feedback correction value 22c, the difference between the misalignment amount (see the inspection result data 22d) calculated from the misalignment state and the temporal correction value 22b is approximately used. As described above, by correcting the mounting position by adding the feedback correction value 22c to the time-dependent correction value 22b, it is possible to realize high-accuracy mounting position accuracy for a position error due to a change with time.

次に図12を参照して、部品実装システム1にて所定時間を超えて稼働を停止した後に、同一の基板の種類を対象として生産を行う次回生産(図9参照)における処理を説明する。ここではまず、図11の(ST6)にて管理コンピュータ3の記憶部21に記憶された前回生産時の補正値対応データ22eを読み込む(ST11)。ここで前回生産時の補正値対応データ22eを読み込むのは、既存のデータを流用してフィードバック補正値22cを求めるためである。   Next, with reference to FIG. 12, processing in the next production (see FIG. 9) in which production is performed for the same board type after the operation is stopped for a predetermined time in the component mounting system 1 will be described. Here, first, the correction value correspondence data 22e at the time of previous production stored in the storage unit 21 of the management computer 3 in (ST6) of FIG. 11 is read (ST11). The reason why the correction value correspondence data 22e at the time of the previous production is read here is to obtain the feedback correction value 22c by using existing data.

すなわち図10に示す例では、検査工程に部品実装装置により部品16が実装された基板6が到達した後に部品実装作業の対象となる基板6についてのみ、フィードバック補正値22cを加味した補正を行うようにしているのに対し、図12に示す例では、前回生産時に記憶された補正値対応データ22eを用いることにより、検査工程に部品16が実装された基板6が到達する前の段階から、フィードバック補正値22c(図9に示す破線枠52参照)を用いた補正を行うようにしている。   That is, in the example shown in FIG. 10, the correction including the feedback correction value 22c is performed only on the board 6 that is the target of the component mounting work after the board 6 on which the component 16 is mounted by the component mounting apparatus arrives in the inspection process. On the other hand, in the example shown in FIG. 12, by using the correction value correspondence data 22e stored at the time of the previous production, feedback is performed from the stage before the substrate 6 on which the component 16 is mounted in the inspection process. Correction is performed using the correction value 22c (see the broken line frame 52 shown in FIG. 9).

次いで、作業対象となる部品実装装置へ基板6が搬入される(ST12)。ここでは基板6は最初に部品実装装置M1に搬入され、次いで部品実装装置M2、M3に順次搬入される。次いで図11の(ST1B)と同様に、当該部品実装装置にて図4に示す経時変化測定が経時変化測定部37によって実行される(ST13)。すなわち、部品実装工程を反復して実行する過程において、部品実装機構12の経時変化を測定して経時変化情報を求める(経時変化測定工程)。そして求められた経時変化情報に基づき、図5(b)に示す経時補正値(dxn,dyn)が算出される(ST14)。   Next, the board 6 is carried into the component mounting apparatus to be worked (ST12). Here, the board 6 is first loaded into the component mounting apparatus M1, and then sequentially loaded into the component mounting apparatuses M2 and M3. Next, similarly to (ST1B) in FIG. 11, the time-dependent change measurement shown in FIG. 4 is performed by the time-dependent change measuring unit 37 in the component mounting apparatus (ST13). That is, in the process of repeatedly executing the component mounting process, the temporal change of the component mounting mechanism 12 is measured to obtain the temporal change information (temporal change measuring process). Based on the obtained temporal change information, the temporal correction values (dxn, dyn) shown in FIG. 5B are calculated (ST14).

次に、経時変化情報を補正値対応データ22eと参照してフィードバック補正値を求める(ST15)。すなわち検査工程に部品実装機構12により部品16が実装された基板6が到達する前に部品実装作業の対象となる基板6については、既に記憶済みの補正値対応データ22e,すなわち経時変化情報22aとフィードバック補正値22cとを対応させたデータを参照することにより、当該基板6の経時変化情報22aに対応するフィードバック補正値22cを求める。そして基板6の経時変化情報22aに対応するフィードバック補正値22cを、作業対象となっている部品実装装置にフィードバックすべきフィードバック補正値22cとして用いる。   Next, a feedback correction value is obtained by referring to the time-dependent change information as the correction value correspondence data 22e (ST15). That is, the correction value correspondence data 22e that has already been stored, that is, the temporal change information 22a, for the substrate 6 that is the target of the component mounting work before the substrate 6 on which the component 16 is mounted by the component mounting mechanism 12 reaches the inspection process. By referring to the data corresponding to the feedback correction value 22c, the feedback correction value 22c corresponding to the temporal change information 22a of the substrate 6 is obtained. The feedback correction value 22c corresponding to the time-dependent change information 22a of the board 6 is used as the feedback correction value 22c to be fed back to the component mounting apparatus that is the work target.

そしてフィードバックされた部品実装装置では、当該部品実装装置に固有の経時補正値22bに,送信されたフィードバック補正値22cを加味して実装位置を補正し(ST16)、補正された実装位置を目標として部品実装作業を実行する(ST17)。これにより、最初の基板6が検査工程に未だ到達しない生産初期においても、フィードバック補正を適用することが可能となっている。   In the component mounting apparatus fed back, the mounting position is corrected by adding the transmitted feedback correction value 22c to the time-dependent correction value 22b unique to the component mounting apparatus (ST16), and the corrected mounting position is targeted. A component mounting operation is executed (ST17). This makes it possible to apply feedback correction even in the initial stage of production when the first substrate 6 has not yet reached the inspection process.

上記説明したように本実施の形態に示す部品実装においては、検査工程における実装状態の検査にて検出された位置ずれ状態および部品実装工程を反復して実行する過程において部品実装機構12の経時変化を測定して求めた経時変化情報22aに基づいて、実装位置精度を改善するために部品実装工程にフィードバックすべきフィードバック補正値22cを算出し、部品実装工程において、経時変化情報22aに基づいて算出された経時補正値22bにさらにフィードバック補正値22cを加味して実装位置を補正するようにしている。これにより、経時補正値22bのみによる位置補正では達成できない高精度な実装位置精度を実現することができる。   As described above, in the component mounting shown in the present embodiment, the positional deviation state detected in the mounting state inspection in the inspection process and the change over time of the component mounting mechanism 12 in the process of repeatedly executing the component mounting process. In order to improve the mounting position accuracy, a feedback correction value 22c to be fed back to the component mounting process is calculated based on the time-dependent change information 22a obtained by measuring and the component mounting process calculates based on the time-dependent change information 22a. The mounting position is corrected by adding a feedback correction value 22c to the time-dependent correction value 22b. As a result, it is possible to realize high-accuracy mounting position accuracy that cannot be achieved by position correction using only the temporal correction value 22b.

さらに、フィードバック補正値22cを経時変化情報22aに対応させた補正値対応データ22eを記憶させておき、検査工程に部品実装機構12により部品16が実装された基板6が到達する前に部品実装作業の対象となる基板6については、補正値対応データ22eを参照することにより当該基板6の経時変化情報22aに対応するフィードバック補正値22cを求め、基板6の経時変化情報22aに対応するフィードバック補正値22cを部品実装工程にフィードバックすべきフィードバック補正値22cとして用いるようにしている。これにより、フィードバック補正と経時変化の補正を併せて行う構成において、生産初期における実装位置精度を確保することができる。   Further, correction value correspondence data 22e in which the feedback correction value 22c is associated with the temporal change information 22a is stored, and the component mounting operation is performed before the substrate 6 on which the component 16 is mounted by the component mounting mechanism 12 arrives in the inspection process. For the substrate 6 to be subjected to the above process, the correction value correspondence data 22e is referred to obtain the feedback correction value 22c corresponding to the time-dependent change information 22a of the substrate 6 and the feedback correction value corresponding to the time-change information 22a of the substrate 6 22c is used as a feedback correction value 22c to be fed back to the component mounting process. As a result, the mounting position accuracy in the initial stage of production can be ensured in the configuration in which the feedback correction and the change over time are performed together.

本発明の部品実装方法および部品実装システムは、フィードバック補正と経時変化の補正を併せて行う構成において、生産初期における実装位置精度を確保することができるという効果を有し、部品を基板に反復して実装する部品実装分野において有用である。   The component mounting method and the component mounting system according to the present invention have an effect that the mounting position accuracy in the initial stage of production can be ensured in the configuration in which the feedback correction and the correction of the change with time are performed together, and the component is repeated on the substrate. This is useful in the field of component mounting.

1 部品実装システム
2 通信ネットワーク
3 管理コンピュータ
6 基板
7 部品供給部
11 実装ヘッド
12 部品実装機構
13 基板認識カメラ
15 位置基準ポスト
16 部品
M1,M2,M3 部品実装装置
M4 検査装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting system 2 Communication network 3 Management computer 6 Substrate 7 Component supply part 11 Mounting head 12 Component mounting mechanism 13 Substrate recognition camera 15 Position reference post 16 Components M1, M2, M3 Component mounting device M4 Inspection device

Claims (4)

部品実装機構によって部品供給部から取り出した部品を基板に移送搭載する部品実装工程を反復実行する部品実装方法であって、
前記部品実装機構により部品を実装された基板における部品の実装状態を検査して正しい実装位置からの位置ずれ状態を検出する検査工程と、
前記部品実装工程を反復して実行する過程において前記部品実装機構の経時変化を測定して経時変化情報を求める経時変化測定工程と、
検出された前記位置ずれ状態および前記経時変化情報に基づいて、実装位置精度を改善するために部品実装工程にフィードバックすべきフィードバック補正値を算出するフィードバック補正値算出工程と、
前記フィードバック補正値を前記経時変化情報に対応させた補正値対応データを記憶する記憶工程とを含み、
前記部品実装工程において、前記経時変化情報に基づいて算出された経時補正値にさらに前記フィードバック補正値を加味して実装位置を補正し、
前記検査工程に前記部品実装機構により部品が実装された基板が到達する前に部品実装作業の対象となる基板については、前記補正値対応データを参照することにより当該基板の経時変化情報に対応するフィードバック補正値を求め、前記基板の経時変化情報に対応するフィードバック補正値を前記部品実装装置にフィードバックすべきフィードバック補正値として用いることを特徴とする部品実装方法。
A component mounting method for repeatedly executing a component mounting process for transferring and mounting a component taken out from a component supply unit by a component mounting mechanism onto a board,
An inspection step of detecting a misalignment state from a correct mounting position by inspecting a mounting state of the component on the substrate on which the component is mounted by the component mounting mechanism;
A time-varying measurement step of measuring a time-dependent change of the component mounting mechanism in the process of repeatedly executing the component mounting step to obtain a time-varying information;
A feedback correction value calculating step for calculating a feedback correction value to be fed back to the component mounting step in order to improve mounting position accuracy based on the detected positional deviation state and the time-dependent change information;
A storage step of storing correction value correspondence data in which the feedback correction value is made to correspond to the temporal change information,
In the component mounting step, the mounting position is corrected by further adding the feedback correction value to the temporal correction value calculated based on the temporal change information,
For a board that is a target of component mounting work before a board on which a component is mounted by the component mounting mechanism arrives at the inspection step, the correction value correspondence data is referred to and the time-dependent change information of the board is handled. A component mounting method characterized by obtaining a feedback correction value and using a feedback correction value corresponding to the time-dependent change information of the board as a feedback correction value to be fed back to the component mounting apparatus.
前記フィードバック補正値として、前記位置ずれ状態から算出された位置ずれ量と前記経時補正値との偏差を近似的に用いることを特徴とする請求項1に記載の部品実装方法。   The component mounting method according to claim 1, wherein a deviation between a positional deviation amount calculated from the positional deviation state and the temporal correction value is approximately used as the feedback correction value. 部品供給部から取り出した部品を基板に移送搭載する部品実装作業を反復実行する部品実装システムであって、
部品実装機構によって前記部品実装作業を実行する部品実装装置と、
前記部品実装装置により部品を実装された基板における部品の実装状態を検査して正しい実装位置からの位置ずれ状態を検出する検査装置と、
前記部品実装作業を反復して実行する過程において前記部品実装機構の経時変化を測定して経時変化情報を求める経時変化測定部と、
検出された前記位置ずれ状態および前記経時変化情報に基づいて、実装位置精度を改善するために前記部品実装装置にフィードバックすべきフィードバック補正値を算出するフィードバック補正値算出部と、
前記フィードバック補正値を前記経時変化情報に対応させた補正値対応データを記憶する記憶部とを備え、
前記部品実装装置は、前記経時変化情報に基づいて算出された経時補正値にさらに前記フィードバック補正値を加味して実装位置を補正し、
前記検査装置に前記部品実装機構により部品が実装された基板が到達する前に部品実装作業の対象となる基板については、前記記憶部に記憶された補正値対応データを参照することにより当該基板の経時変化情報に対応するフィードバック補正値を求め、前記基板の経時変化情報に対応するフィードバック補正値を前記部品実装装置にフィードバックすべきフィードバック補正値として用いることを特徴とする部品実装システム。
A component mounting system that repeatedly executes a component mounting operation for transferring and mounting a component taken out from a component supply unit on a board,
A component mounting apparatus for performing the component mounting operation by a component mounting mechanism;
An inspection device that detects a misalignment state from a correct mounting position by inspecting a mounting state of the component on the substrate on which the component is mounted by the component mounting device;
A time-varying measurement unit for measuring a time-varying information of the component-mounting mechanism in a process of repeatedly performing the component-mounting operation to obtain a time-varying information;
A feedback correction value calculation unit that calculates a feedback correction value to be fed back to the component mounting apparatus in order to improve mounting position accuracy based on the detected misalignment state and the temporal change information;
A storage unit that stores correction value correspondence data in which the feedback correction value is made to correspond to the temporal change information;
The component mounting apparatus corrects the mounting position by further adding the feedback correction value to the temporal correction value calculated based on the temporal change information,
For a substrate that is a target of component mounting work before a substrate on which a component is mounted by the component mounting mechanism reaches the inspection apparatus, the correction value correspondence data stored in the storage unit is referred to, and the substrate A component mounting system characterized in that a feedback correction value corresponding to the time-dependent change information is obtained and the feedback correction value corresponding to the time-dependent change information of the board is used as a feedback correction value to be fed back to the component mounting apparatus.
前記フィードバック補正値として、前記位置ずれ状態から算出された位置ずれ量と前記経時補正値との偏差を近似的に用いることを特徴とする請求項3に記載の部品実装システム。   The component mounting system according to claim 3, wherein a deviation between a positional deviation amount calculated from the positional deviation state and the temporal correction value is approximately used as the feedback correction value.
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