JP2016050803A5 - - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 33
- 230000003595 spectral Effects 0.000 claims description 15
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims 3
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Description
本発明の一態様の分光画像取得装置は、互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を有し、複数の次数に対応した波長の光を出射する波長可変干渉フィルターと、複数の撮像画素を有し、前記波長可変干渉フィルターから出射された光を受光する撮像部と、前記複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップ寸法を変化させるフィルター制御部と、を備え、前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々に設定されて前記波長可変干渉フィルターから前記ターゲット波長を出射させる際の取得次数、及び前記設定された取得次数にて前記ターゲット波長の光を出射させるための前記制御量を含み、前記取得次数は、前記ギャップ寸法の駆動量が一方向に変化する順に設定されていることを特徴とする。
本発明の一適用例に係る分光画像取得装置は、互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を有し、複数の次数に対応した波長の光を出射する波長可変干渉フィルターと、複数の撮像画素を有し、前記波長可変干渉フィルターから出射された光を受光する撮像部と、前記撮像部の各撮像画素について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップ寸法を変化させるフィルター制御部と、を備え、前記受光波長データは、前記撮像画素毎に設定されて前記波長可変干渉フィルターから前記ターゲット波長を出射させる際の取得次数、及び前記設定された取得次数にて前記ターゲット波長の光を出射させるための前記制御量を含み、前記取得次数は、前記ギャップ寸法の駆動領域において駆動量が一方向に変化する順に設定されていることを特徴とする。
本発明の一適用例に係る分光画像取得装置は、互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を有し、複数の次数に対応した波長の光を出射する波長可変干渉フィルターと、複数の撮像画素を有し、前記波長可変干渉フィルターから出射された光を受光する撮像部と、前記撮像部の各撮像画素について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップ寸法を変化させるフィルター制御部と、を備え、前記受光波長データは、前記撮像画素毎に設定されて前記波長可変干渉フィルターから前記ターゲット波長を出射させる際の取得次数、及び前記設定された取得次数にて前記ターゲット波長の光を出射させるための前記制御量を含み、前記取得次数は、前記ギャップ寸法の駆動領域において駆動量が一方向に変化する順に設定されていることを特徴とする。
本適用例では、撮像部の各撮像画素に対して、波長可変干渉フィルターから出射されるターゲット波長の光をどの取得次数で受光するかを示す受光波長データを取得して、当該受光波長データに基づいて、ギャップ変更部を制御するため、高精度な分光画像を取得できる。また、ギャップ寸法の駆動領域において駆動量が一方向に変化する順(例えば、駆動量が小さい順)にターゲット波長が取得できるように、取得次数が設定されている。従って、波長可変干渉フィルターから出射される単一の次数の光に基づいて各撮像画素でターゲット波長の光を受光する場合に比べて、ギャップ寸法を変化させる回数(測定回数)を少なくでき、駆動量も小さくできる。
本発明の一適用例の分光画像取得装置は、第1の反射膜と、前記第1の反射膜と対向する第2の反射膜と、前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間のギャップを変更するギャップ変更部と、を含む波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターからの光を受光する撮像部と、前記撮像部が有する複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップを変化させるフィルター制御部と、を含み、前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々についての前記波長可変干渉フィルターが前記ターゲット波長の光を透過させる際の取得次数、及び前記取得次数にて前記ターゲット波長の光を透過させるための前記制御量を含み、前記ギャップは一方向に順次変化することを特徴とする。
本発明の一適用例の分光画像取得装置は、第1の反射膜と、前記第1の反射膜と対向する第2の反射膜と、前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間のギャップを変更するギャップ変更部と、を含む波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターからの光を受光する撮像部と、前記撮像部が有する複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップを変化させるフィルター制御部と、を含み、前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々についての前記波長可変干渉フィルターが前記ターゲット波長の光を透過させる際の取得次数、及び前記取得次数にて前記ターゲット波長の光を透過させるための前記制御量を含み、前記ギャップは一方向に順次変化することを特徴とする。
Claims (7)
- 互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を有し、複数の次数に対応した波長の光を出射する波長可変干渉フィルターと、
複数の撮像画素を有し、前記波長可変干渉フィルターから出射された光を受光する撮像部と、
前記複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップ寸法を変化させるフィルター制御部と、
を備え、
前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々に設定されて前記波長可変干渉フィルターから前記ターゲット波長を出射させる際の取得次数、及び前記設定された取得次数にて前記ターゲット波長の光を出射させるための前記制御量を含み、
前記取得次数は、前記ギャップ寸法の駆動量が一方向に変化する順に設定されていることを特徴とする分光画像取得装置。 - 請求項1に記載の分光画像取得装置において、
前記ターゲット波長は、前記複数の撮像画素の各々に設定されていることを特徴とする分光画像取得装置。 - 請求項1に記載の分光画像取得装置において、
前記複数の撮像画素の各々は、前記撮像画素で受光される光の光路上の前記一対の反射膜間の前記ギャップ寸法のバラつきに基づいて、複数の画素群に分割されており、
前記受光波長データは、前記各画素群に対して、それぞれ、前記ターゲット波長と、前記ターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量とを含むことを特徴とする分光画像取得装置。 - 請求項3に記載の分光画像取得装置において、
前記フィルター制御部は、前記ギャップ変更部を制御して、前記ギャップ寸法を所定の波長分解能に応じた測定間隔で順次変化させ、
前記複数の撮像画素の各々は、前記ギャップ寸法のバラつきを前記波長分解能未満の長さ単位で分割した前記複数の画素群に分割されていることを特徴とする分光画像取得装置。 - 請求項3に記載の分光画像取得装置において、
前記複数の画素群の各々は、互いに近接する複数の撮像画素を含み、
前記受光波長データは、前記複数の画素群の各々に含まれる複数の撮像画素の各々にて受光される光の受光波長の平均値を前記ターゲット波長として含むことを特徴とする分光画像取得装置。 - 互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を有し、複数の次数に対応した波長の光を出射する波長可変干渉フィルターと、複数の撮像画素を有し、前記波長可変干渉フィルターから出射された光を受光する撮像部と、を備えた分光画像取得装置における分光画像取得方法であって、
前記複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データを取得するデータ取得ステップと、ータに基づいて前記ギャ
前記受光波長デップ変更部を制御して前記ギャップ寸法を変化させるギャップ制御ステップと、
を実施し、
前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々に設定されて前記波長可変干渉フィルターから前記ターゲット波長を出射させる際の取得次数、及び前記設定された取得次数にて前記ターゲット波長の光を出射させるための前記制御量を含み、
前記取得次数は、前記ギャップ寸法の駆動量が一方向に変化する順に設定されていることを特徴とする分光画像取得方法。 - 第1の反射膜と、前記第1の反射膜と対向する第2の反射膜と、前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間のギャップを変更するギャップ変更部と、を含む波長可変干渉フィルターと、
前記波長可変干渉フィルターからの光を受光する撮像部と、
前記撮像部が有する複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップを変化させるフィルター制御部と、
を含み、
前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々についての前記波長可変干渉フィルターが前記ターゲット波長の光を透過させる際の取得次数、及び前記取得次数にて前記ターゲット波長の光を透過させるための前記制御量を含み、
前記ギャップは一方向に順次変化することを特徴とする分光画像取得装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014175114A JP6394189B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 分光画像取得装置、及び分光画像取得方法 |
CN201510526441.XA CN105391920B (zh) | 2014-08-29 | 2015-08-25 | 分光图像取得装置以及分光图像取得方法 |
US14/835,843 US9835492B2 (en) | 2014-08-29 | 2015-08-26 | Spectroscopic image acquiring apparatus and spectroscopic image acquiring method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014175114A JP6394189B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 分光画像取得装置、及び分光画像取得方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016050803A JP2016050803A (ja) | 2016-04-11 |
JP2016050803A5 true JP2016050803A5 (ja) | 2017-10-05 |
JP6394189B2 JP6394189B2 (ja) | 2018-09-26 |
Family
ID=55402125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014175114A Active JP6394189B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 分光画像取得装置、及び分光画像取得方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9835492B2 (ja) |
JP (1) | JP6394189B2 (ja) |
CN (1) | CN105391920B (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5987573B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2016-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法 |
JP6930869B2 (ja) * | 2017-06-28 | 2021-09-01 | パイオニア株式会社 | 撮像装置、撮像方法及びプログラム |
US10955336B2 (en) * | 2017-08-26 | 2021-03-23 | Innovative Micro Technology | Gas sensor comprising a rotatable Fabry-Perot multilayer etalon |
US10763144B2 (en) * | 2018-03-01 | 2020-09-01 | Verity Instruments, Inc. | Adaptable-modular optical sensor based process control system, and method of operation thereof |
JP2019152518A (ja) | 2018-03-02 | 2019-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 検査装置、検査システム、及び検査方法 |
JP7484139B2 (ja) * | 2019-11-22 | 2024-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 分光装置、及び分光装置の駆動方法 |
KR102571019B1 (ko) | 2020-02-21 | 2023-08-28 | 장민준 | 깊이 이미징 장치 및 입사각에 따른 크로스토크가 저감된 간섭필터 |
JP7497622B2 (ja) * | 2020-06-05 | 2024-06-11 | セイコーエプソン株式会社 | 画像生成装置、及び画像生成方法 |
CN112532832B (zh) * | 2020-11-23 | 2022-04-12 | Oppo(重庆)智能科技有限公司 | 成像装置与电子设备 |
KR102643832B1 (ko) | 2021-05-27 | 2024-03-06 | (주)제이앤씨테크 | 간섭 필터, 이를 구비한 광각 분광 이미징 장치 및 이를 구비한 깊이 이미징 장치 |
WO2022250209A1 (ko) | 2021-05-27 | 2022-12-01 | (주)제이앤씨테크 | 간섭 필터, 이를 구비한 광각 분광 이미징 장치 및 이를 구비한 깊이 이미징 장치 |
KR20240059148A (ko) | 2022-10-27 | 2024-05-07 | (주)제이앤씨테크 | 광 간섭 필터 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5442438A (en) * | 1988-12-22 | 1995-08-15 | Renishaw Plc | Spectroscopic apparatus and methods |
US7340127B1 (en) * | 2005-01-31 | 2008-03-04 | Sunrise Telecom Incorporated | Full-band optical spectrum analyzer and method |
US7734131B2 (en) * | 2006-04-18 | 2010-06-08 | Xerox Corporation | Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates |
FI119830B (fi) * | 2006-05-24 | 2009-03-31 | Valtion Teknillinen | Spektrometri ja inferferometrinen menetelmä |
JP5040628B2 (ja) | 2007-12-10 | 2012-10-03 | カシオ計算機株式会社 | 撮像装置、印刷システム、撮像装置制御プログラム及び撮像装置制御方法 |
US20100211333A1 (en) * | 2009-01-14 | 2010-08-19 | Integrated Process Resources, Inc. | Leak Detection and Identification System |
JP5668345B2 (ja) | 2010-07-13 | 2015-02-12 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分光測定器および光機器 |
JP5609542B2 (ja) * | 2010-10-28 | 2014-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | 光測定装置 |
JP5842386B2 (ja) * | 2011-05-25 | 2016-01-13 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、および光分析装置 |
JP2014157018A (ja) * | 2011-06-14 | 2014-08-28 | Olympus Corp | 分光画像撮影装置 |
JP5987573B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2016-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法 |
-
2014
- 2014-08-29 JP JP2014175114A patent/JP6394189B2/ja active Active
-
2015
- 2015-08-25 CN CN201510526441.XA patent/CN105391920B/zh active Active
- 2015-08-26 US US14/835,843 patent/US9835492B2/en active Active
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