JP2016050803A5 - - Google Patents

Description

本発明の一態様の分光画像取得装置は、互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を有し、複数の次数に対応した波長の光を出射する波長可変干渉フィルターと、複数の撮像画素を有し、前記波長可変干渉フィルターから出射された光を受光する撮像部と、前記複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップ寸法を変化させるフィルター制御部と、を備え、前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々に設定されて前記波長可変干渉フィルターから前記ターゲット波長を出射させる際の取得次数、及び前記設定された取得次数にて前記ターゲット波長の光を出射させるための前記制御量を含み、前記取得次数は、前記ギャップ寸法の駆動量が一方向に変化する順に設定されていることを特徴とする。
本発明の一適用例に係る分光画像取得装置は、互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を有し、複数の次数に対応した波長の光を出射する波長可変干渉フィルターと、複数の撮像画素を有し、前記波長可変干渉フィルターから出射された光を受光する撮像部と、前記撮像部の各撮像画素について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップ寸法を変化させるフィルター制御部と、を備え、前記受光波長データは、前記撮像画素毎に設定されて前記波長可変干渉フィルターから前記ターゲット波長を出射させる際の取得次数、及び前記設定された取得次数にて前記ターゲット波長の光を出射させるための前記制御量を含み、前記取得次数は、前記ギャップ寸法の駆動領域において駆動量が一方向に変化する順に設定されていることを特徴とする。

本適用例では、撮像部の各撮像画素に対して、波長可変干渉フィルターから出射されるターゲット波長の光をどの取得次数で受光するかを示す受光波長データを取得して、当該受光波長データに基づいて、ギャップ変更部を制御するため、高精度な分光画像を取得できる。また、ギャップ寸法の駆動領域において駆動量が一方向に変化する順（例えば、駆動量が小さい順）にターゲット波長が取得できるように、取得次数が設定されている。従って、波長可変干渉フィルターから出射される単一の次数の光に基づいて各撮像画素でターゲット波長の光を受光する場合に比べて、ギャップ寸法を変化させる回数（測定回数）を少なくでき、駆動量も小さくできる。
本発明の一適用例の分光画像取得装置は、第１の反射膜と、前記第１の反射膜と対向する第２の反射膜と、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間のギャップを変更するギャップ変更部と、を含む波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターからの光を受光する撮像部と、前記撮像部が有する複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップを変化させるフィルター制御部と、を含み、前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々についての前記波長可変干渉フィルターが前記ターゲット波長の光を透過させる際の取得次数、及び前記取得次数にて前記ターゲット波長の光を透過させるための前記制御量を含み、前記ギャップは一方向に順次変化することを特徴とする。

Claims (7)

1. 互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を有し、複数の次数に対応した波長の光を出射する波長可変干渉フィルターと、
   複数の撮像画素を有し、前記波長可変干渉フィルターから出射された光を受光する撮像部と、
   前記複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップ寸法を変化させるフィルター制御部と、
   を備え、
   前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々に設定されて前記波長可変干渉フィルターから前記ターゲット波長を出射させる際の取得次数、及び前記設定された取得次数にて前記ターゲット波長の光を出射させるための前記制御量を含み、
   前記取得次数は、前記ギャップ寸法の駆動量が一方向に変化する順に設定されていることを特徴とする分光画像取得装置。
2. 請求項１に記載の分光画像取得装置において、
   前記ターゲット波長は、前記複数の撮像画素の各々に設定されていることを特徴とする分光画像取得装置。
3. 請求項１に記載の分光画像取得装置において、
   前記複数の撮像画素の各々は、前記撮像画素で受光される光の光路上の前記一対の反射膜間の前記ギャップ寸法のバラつきに基づいて、複数の画素群に分割されており、
   前記受光波長データは、前記各画素群に対して、それぞれ、前記ターゲット波長と、前記ターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量とを含むことを特徴とする分光画像取得装置。
4. 請求項３に記載の分光画像取得装置において、
   前記フィルター制御部は、前記ギャップ変更部を制御して、前記ギャップ寸法を所定の波長分解能に応じた測定間隔で順次変化させ、
   前記複数の撮像画素の各々は、前記ギャップ寸法のバラつきを前記波長分解能未満の長さ単位で分割した前記複数の画素群に分割されていることを特徴とする分光画像取得装置。
5. 請求項３に記載の分光画像取得装置において、
   前記複数の画素群の各々は、互いに近接する複数の撮像画素を含み、
   前記受光波長データは、前記複数の画素群の各々に含まれる複数の撮像画素の各々にて受光される光の受光波長の平均値を前記ターゲット波長として含むことを特徴とする分光画像取得装置。
6. 互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を有し、複数の次数に対応した波長の光を出射する波長可変干渉フィルターと、複数の撮像画素を有し、前記波長可変干渉フィルターから出射された光を受光する撮像部と、を備えた分光画像取得装置における分光画像取得方法であって、
   前記複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データを取得するデータ取得ステップと、ータに基づいて前記ギャ
   前記受光波長デップ変更部を制御して前記ギャップ寸法を変化させるギャップ制御ステップと、
   を実施し、
   前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々に設定されて前記波長可変干渉フィルターから前記ターゲット波長を出射させる際の取得次数、及び前記設定された取得次数にて前記ターゲット波長の光を出射させるための前記制御量を含み、
   前記取得次数は、前記ギャップ寸法の駆動量が一方向に変化する順に設定されていることを特徴とする分光画像取得方法。
7. 第１の反射膜と、前記第１の反射膜と対向する第２の反射膜と、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間のギャップを変更するギャップ変更部と、を含む波長可変干渉フィルターと、
   前記波長可変干渉フィルターからの光を受光する撮像部と、
   前記撮像部が有する複数の撮像画素の各々について、所定のターゲット波長の光を受光する際の前記ギャップ変更部の制御量を含む受光波長データに基づいて前記ギャップ変更部を制御して前記ギャップを変化させるフィルター制御部と、
   を含み、
   前記受光波長データは、前記複数の撮像画素の各々についての前記波長可変干渉フィルターが前記ターゲット波長の光を透過させる際の取得次数、及び前記取得次数にて前記ターゲット波長の光を透過させるための前記制御量を含み、
   前記ギャップは一方向に順次変化することを特徴とする分光画像取得装置。