JP2016034659A - レーザー加工装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 124
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 47
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 41
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 46
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 21
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 17
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 16
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 14
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 229910020177 SiOF Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
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Abstract
【解決手段】レーザー光線照射手段5は、レーザー光線発振手段51と、レーザー光線の出力を調整する出力調整手段52と、集光器53とを具備し、被加工物Wの加工すべき上面の材質を検出する材質検出手段7を備えている。材質検出手段は、集光器に対してX軸方向に所定の間隔を持って配設され被加工物の加工すべき上面に検出光を照射する検出光照射手段71と、受光した検出光の反射光の光量に対応する受光信号を制御手段8に出力する検出光受光手段77とを具備しており、制御手段は、検出光受光手段からの受光信号に基づいて加工条件制御マップから材質および加工条件を求め、検出光照射手段と集光器との間隔から照射するレーザー光線のタイミングを求め、加工条件制御マップから求めた加工条件になるようにレーザー光線照射手段を制御する。
【選択図】図2
Description
該レーザー光線照射手段は、レーザー光線を発振するレーザー光線発振手段と、該レーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線の出力を調整する出力調整手段と、該出力調整手段によって出力が調整されたレーザー光線を集光して該被加工物保持手段に保持された被加工物に照射する集光器とを具備し、
該集光器に対してX軸方向における被加工物の加工すべき上面の材質を検出する材質検出手段を備え、
該材質検出手段は、該集光器に対してX軸方向に所定の間隔を持って配設され被加工物の加工すべき上面に検出光を照射する検出光照射手段と、被加工物の加工すべき上面で反射した検出光の反射光を受光し、受光した検出光の反射光の光量に対応する受光信号を該制御手段に出力する検出光受光手段とを具備しており、
該制御手段は、光量と材質および加工条件との関係を設定した加工条件制御マップを格納したメモリを備え、該検出光受光手段からの受光信号に基づいて該加工条件制御マップから材質および加工条件を求め、該検出光照射手段と該集光器との間隔から照射するレーザー光線のタイミングを求め、該加工条件制御マップから求めた加工条件になるように該レーザー光線照射手段を制御する、
ことを特徴とするレーザー加工装置が提供される。
レーザー光線照射手段5は、パルスレーザー光線発振手段51と、該パルスレーザー光線発振手段51から発振されたパルスレーザー光線の出力を調整する出力調整手段52と、該出力調整手段52によって出力が調整されたパルスレーザー光線を集光してチャックテーブル36に保持された被加工物に照射する集光器53を具備している。パルスレーザー光線発振手段51は、パルスレーザー光線発振器511と、これに付設された繰り返し周波数設定手段512とから構成されている。上記集光器53は、上記パルスレーザー光線発振手段51から発振され出力調整手段52によって出力が調整されたパルスレーザー光線を図2において下方に向けて方向変換する方向変換ミラー531と、該方向変換ミラー531によって方向変換されたパルスレーザー光線を集光してチャックテーブル36に保持された被加工物Wに照射する集光レンズ532とからなっている。この集光器53は、図1に示すようにケーシング42の先端部に装着される。このように構成されたレーザー光線照射手段5のパルスレーザー光線発振手段51および出力調整手段52は、後述する制御手段によって制御される。
材質検出手段7は、検出光を発する発光源71と、該発光源71からの検出光をチャックテーブルに保持された被加工物に照射する第1の検出光照射手段72aと第2の検出光照射手段72bを具備している。上記発光源71は、例えば波長が632nm領域のHe−Neレーザー光を発する。この発光源71から発する検出光の出力は例えば0.5Wに設定されており、光ファイバー710aと710bを介して第1の検出光照射手段72aと第2の検出光照射手段72bに導かれる。
図5には半導体ウエーハの斜視図が示されており、図6には図5に示す半導体ウエーハの分割予定ラインにおける拡大断面図が示されている。図5および図6に示す半導体ウエーハ10は、厚みが例えば150μmのシリコン等の基板11の表面11aに絶縁膜と回路を形成する機能膜が積層された機能層12(積層体)によって複数のIC、LSI等のデバイス121がマトリックス状に形成されている。そして、各デバイス121は、格子状に形成された分割予定ライン122によって区画されている。なお、図示の実施形態においては、機能層12を形成する絶縁膜は、SiO2膜または、SiOF、BSG(SiOB)等の無機物系の膜やポリイミド系、パリレン系等のポリマー膜である有機物系の膜からなる低誘電率絶縁体被膜(Low−k膜)からなっており、厚みが10μmに設定されている。なお、分割予定ライン122にはデバイス121の機能をテストするためのテスト エレメント グループ(TEG)と呼ばれる銅(Cu)からなるテスト用の金属膜124が部分的に複数配設されている。
上記半導体ウエーハ10は、図7に示すように環状のフレームFに装着されたポリオレフィン等の合成樹脂シートからなるダイシングテープTに裏面を貼着する。従って、半導体ウエーハ10は、表面が上側となる。このようにして環状のフレームFにダイシングテープTを介して支持された半導体ウエーハ10は、図1に示すレーザー加工装置のチャックテーブル36上にダイシングテープT側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより半導体ウエーハ10は、ダイシングテープTを介してチャックテーブル36上に吸引保持される(ウエーハ保持工程)。従って、半導体ウエーハ10は、表面を上側にして保持される。また、環状のフレームFは、クランプ362によって固定される。
また、上述した実施形態においては、チャックテーブル36のX軸方向位置を検出するためのX軸方向位置検出手段374を備え、第1の検出光照射手段72aまたは第2の検出光照射手段72bと集光器53の中心間距離Lだけ遅らせて第1の検出光照射手段72aまたは第2の検出光照射手段72bによって検出した検査光の反射光に基づいて求めた加工条件によってレーザー光線照射手段5を制御する例を示したが、次のような方法を用いてもよい。即ち、加工送り手段37によるチャックテーブル36の加工送り速度(Vmm/秒)と第1の検出光照射手段72aおよび第2の検出光照射手段72bと集光器53の中心間距離Lとから遅れ時間(t秒=L/V)を求め、t秒だけ遅らせて第1の検出光照射手段72aまたは第2の検出光照射手段72bによって検出した検査光の反射光に基づいて求めた加工条件によってレーザー光線照射手段5を制御するようにしてもよい。
3:チャックテーブル機構
36:チャックテーブル
37:加工送り手段
374:X軸方向位置検出手段
38:割り出し送り手段
384:Y軸方向位置検出手段
4:レーザー光線照射ユニット
5:レーザー光線照射手段
51:パルスレーザー光線発振手段
52:出力調整手段
53:集光器
6:撮像手段
7:材質検出手段
71:発光源
72a:第1の検出光照射手段
72b:第2の検出光照射手段
75:光スイッチ
77:検出光受光手段
8:制御手段
10:半導体ウエーハ
F:環状のフレーム
T:ダイシングテープ
Claims (2)
- 被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該被加工物保持手段と該レーザー光線照射手段を加工送り方向(X軸方向)に相対的に移動せしめる加工送り手段と、該被加工物保持手段と該レーザー光線照射手段を加工送り方向(X軸方向)と直交する割り出し送り方法(Y軸方向)に相対的に移動せしめる割り出し送り手段と、該レーザー光線照射手段を制御する制御手段と、を具備するレーザー加工装置であって、
該レーザー光線照射手段は、レーザー光線を発振するレーザー光線発振手段と、該レーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線の出力を調整する出力調整手段と、該出力調整手段によって出力が調整されたレーザー光線を集光して該被加工物保持手段に保持された被加工物に照射する集光器とを具備し、
該集光器に対してX軸方向における被加工物の加工すべき上面の材質を検出する材質検出手段を備え、
該材質検出手段は、該集光器に対してX軸方向に所定の間隔を持って配設され被加工物の加工すべき上面に検出光を照射する検出光照射手段と、被加工物の加工すべき上面で反射した検出光の反射光を受光し、受光した検出光の反射光の光量に対応する受光信号を該制御手段に出力する検出光受光手段とを具備しており、
該制御手段は、光量と材質および加工条件との関係を設定した加工条件制御マップを格納したメモリを備え、該検出光受光手段からの受光信号に基づいて該加工条件制御マップから材質および加工条件を求め、該検出光照射手段と該集光器との間隔から照射するレーザー光線のタイミングを求め、該加工条件制御マップから求めた加工条件になるように該レーザー光線照射手段を制御する、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 該材質検出手段を構成する検出光照射手段は、該集光器をX軸方向に挟んでそれぞれ配設された第1の検出光照射手段と第2の検出光照射手段を備え、該被加工物保持手段の往路と復路において集光器に先行する第1の検出光照射手段または第2の検出光照射手段が選択的に作動せしめられる、請求項1記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014158371A JP6328518B2 (ja) | 2014-08-04 | 2014-08-04 | レーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014158371A JP6328518B2 (ja) | 2014-08-04 | 2014-08-04 | レーザー加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016034659A true JP2016034659A (ja) | 2016-03-17 |
JP6328518B2 JP6328518B2 (ja) | 2018-05-23 |
Family
ID=55522887
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014158371A Active JP6328518B2 (ja) | 2014-08-04 | 2014-08-04 | レーザー加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6328518B2 (ja) |
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---|---|
JP6328518B2 (ja) | 2018-05-23 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170609 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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