JP2016033972A - 撮像装置及び撮像システム - Google Patents
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Abstract
Description
以下、第1の実施形態について説明する。本実施形態では、積層型固体撮像装置について、図面を用いて詳細に説明する。
図1は、第1の実施形態による積層型固体撮像装置の画素部の構成を示す概略断面図である。
この固体撮像装置は、複数の画素部を備えている。画素部は、複数(図示の例では3個)の画素電極1と、画素電極1上に形成された絶縁膜2と、絶縁膜2上に形成され、入射光を信号電荷に変換する光電変換膜3と、光電変換膜3上に形成された透明電極4とを備える。透明電極4上には封止層8が形成され、封止層8上にはRGBのカラーフィルタ層9が配置される。画素部は更に、隣り合う画素電極1間に絶縁部材である画素分離膜5を備える。また、画素電極1下には配線層6があり、配線層6下には信号読み出し回路が形成された半導体層7を備える。
画素毎に対応する複数の画素電極1が互いに離間して配置されている。隣り合う画素電極1間の領域に画素分離膜5が配置される。画素電極1の端部11と画素分離膜5の端部12は同一の位置にあっても良いが、本実施形態では、両端部11,12の位置合わせ精度や製造ばらつき等を考慮して、図1及び図2のように画素電極1の上面上に画素分離膜5の端部12を配置する。画素分離膜5の画素電極1との重畳部分の幅は、0.1μm程度〜0.2μm程度に設定される。固体撮像装置の感度を向上させるには、画素電極1の開口面積をできるだけ大きくすることが好ましい。そのため、両端部11,12の位置合わせ精度や製造ばらつきが改善される範囲内で、当該重畳部分の幅を小さくすることが好ましい。
以下、本実施形態による積層型固体撮像装置の製造方法について説明する。図3及び図4は、第1の実施形態による積層型固体撮像装置の製造方法を工程順に示す概略断面図である。図3及び図4では、図1と同じ構成部材については同一符号を付して示している。
詳細には先ず、半導体基板10に例えばSTI(Shallow Trench Isolation)法により素子分離構造7aを形成し、素子領域を確定する。素子領域に、信号読み出し回路の一部であるトランジスタ7Aを形成する。トランジスタ7Aを形成するには、素子領域上にSiO2等の薄いゲート絶縁膜7bを形成し、ゲート絶縁膜7b上にゲート電極7cを形成する。素子領域におけるゲート電極7cの両側にP型又はN型の不純物をイオン注入し、ソース/ドレイン領域7dを形成する。
詳細には、SiO2、SiN、SiC等を材料として、例えばCVD法により10nm程度〜100nm程度の厚みに堆積する。以上により、画素電極1を覆うように、配線層6上に薄い絶縁膜2が形成される。絶縁膜2は薄く形成した方が、後工程で形成する光電変換膜3に印加する電圧を下げることができ、省電力化が図られる。但し絶縁膜2は、トンネル効果による電子又はホールが通過できない程度には厚みを確保し、且つ成膜欠陥を避けるため、画素電極1の表面の凹凸により生じた段差よりも厚く形成することが好ましい。
詳細には、SiO2、SiN、SiC等の無機材料、又はアクリルやポリイミド等の有機材料を絶縁膜2上の全面に形成し、その表面を平坦化する。その後、リソグラフィーによりレジストマスクを形成し、このレジストマスクを用いて当該材料を絶縁膜2の表面の一部が露出するまでエッチングすることにより、画素分離膜5を形成する。画素電極1上の画素分離膜を除去する際に、画素電極1上に絶縁膜2を残しておく必要がある。そのため、絶縁膜2の材料と画素分離膜5の材料とを異ならしめることが好ましい。例えば、絶縁膜2の材料にはSiN又はSiCを用い、画素分離膜5の材料にはSiO2、アクリル、又はポリイミドを用いることが考えられる。
画素電極1上の厚みと画素電極1間の領域における画素分離膜5の厚みとは略同等である。画素電極1間の領域において、画素電極1の厚み分だけ画素分離膜5の上面が窪んで凹状とされているが、このような構成においても、画素電極1の端部の絶縁膜2における電荷のリークの発生を回避することができる。
詳細には、アモルファスシリコン、上記した化合物半導体、又は上記した有機半導体等を全面に堆積し、光電変換膜3を形成する。光電変換膜3は、画素分離膜5上及び画素電極1上に形成され、画素電極1上では絶縁膜2を介して対向するように形成される。
詳細には、ITO、IZO、又はZnO等を光電変換膜3上に堆積し、透明電極4を形成する。
しかる後、図4(c)に示すように、封止層8及びカラーフィルタ層9を順次形成する。
以上のようにして、本実施形態による積層型固体撮像装置が形成される。
次いで、第2の実施形態について説明する。本実施形態では、第1の実施形態と同様に積層型固体撮像装置を開示するが、画素電極の近傍における構成が異なる点で第1の実施形態と相違する。
図6は、第2の実施形態による積層型固体撮像装置の画素部の構成を示す概略断面図である。第1の実施形態と同様の構成部材については、同符号を付して詳しい説明を省略する。
以下、本実施形態による積層型固体撮像装置の製造方法について説明する。図7及び図8は、第2の実施形態による積層型固体撮像装置の製造方法を工程順に示す概略断面図である。図7及び図8では、図6と同じ構成部材については同一符号を付して示している。
詳細には、SiO2、SiN、SiC等の無機材料、又はアクリルやポリイミド等の有機材料を配線層6上の全面に形成し、その表面を平坦化する。その後、リソグラフィーによりレジストマスクを形成し、このレジストマスクを用いて当該材料を画素電極1の上面の一部が露出するまでエッチングすることにより、画素分離膜22を形成する。
なお、本実施形態でも第1の実施形態における図5の画素分離膜5と同様に、画素分離膜22の上面を平坦化しないようにしても良い。
詳細には、SiO2、SiN、SiC等を材料として、例えばCVD法により10nm程度〜100nm程度の厚みに堆積する。SiO2は界面準位が少ないため、絶縁膜21の材料に好適である。以上により、画素電極1の上面及び画素分離膜22を覆うように、薄い絶縁膜21が形成される。絶縁膜21は薄く形成した方が、次の工程で形成する光電変換膜3に印加する電圧を下げることができ、省電力化を図ることができる。但し絶縁膜21は、トンネル効果による電子又はホールが通過できない程度には厚みを確保し、且つ成膜欠陥を避けるため、画素電極1の表面の凹凸により生じた段差よりも厚く形成することが好ましい。
続いて、図8(b)に示すように、第1の実施形態と同様に、透明電極4を形成する。
しかる後、図8(c)に示すように、第1の実施形態と同様に、封止層8及びカラーフィルタ層9を順次形成する。
以上のようにして、本実施形態による積層型固体撮像装置が形成される。
また本実施形態では、画素分離膜22を形成した後に、画素電極1上に絶縁膜21を形成するため、絶縁膜21の材料と画素分離膜22の材料の選択に制約は少なく、製造プロセスが簡易化される。
次いで、第3の実施形態について説明する。本実施形態では、第1の実施形態と同様に積層型固体撮像装置を開示するが、画素電極の近傍における構成が異なる点で第1の実施形態と相違する。
図9は、第3の実施形態による積層型固体撮像装置の画素部の構成を示す概略断面図である。第1の実施形態と同様の構成部材については、同符号を付して詳しい説明を省略する。
以下、本実施形態による積層型固体撮像装置の製造方法について説明する。図10及び図11は、第3の実施形態による積層型固体撮像装置の製造方法を工程順に示す概略断面図である。図10及び図11では、図9と同じ構成部材については同一符号を付して示している。
詳細には、先ず、第1の実施形態と同様に、半導体基板10上に半導体層7及び配線層6を形成する。
次に、成膜された画素電極1の材料及び絶縁膜31の材料を一括して電極形状にパターニングする。以上により、配線層6上に画素電極1及びその上の絶縁膜31が形成される。このように、画素電極1と絶縁膜31とを別個の工程で形成する必要がないため、製造プロセスが簡易化される。
詳細には、SiO2、SiN、SiC等の無機材料、又はアクリルやポリイミド等の有機材料を画素電極1及び絶縁膜31を覆うように全面に形成し、その表面を平坦化する。その後、リソグラフィーによりレジストマスクを形成し、このレジストマスクを用いて当該材料を絶縁膜31の表面の一部が露出するまでエッチングすることにより、画素分離膜32を形成する。画素電極1上の画素分離膜を除去する際に、画素電極1上に絶縁膜31を残しておく必要がある。そのため、絶縁膜31の材料と画素分離膜32の材料とを異ならしめることが好ましい。例えば、絶縁膜31の材料にはSiN又はSiCを用い、画素分離膜32の材料にはSiO2、アクリル、又はポリイミドを用いることが考えられる。
なお、本実施形態でも第1の実施形態における図5の画素分離膜5と同様に、画素分離膜32の上面を平坦化しないようにしても良い。
続いて、図11(a)に示すように、第1の実施形態と同様に、透明電極4を形成する。
しかる後、図11(b)に示すように、第1の実施形態と同様に、封止層8及びカラーフィルタ層9を順次形成する。
以上のようにして、本実施形態による積層型固体撮像装置が形成される。
また、画素電極1の端部における光電変換膜3に印加される電圧のばらつきを抑えることができる。これにより、画素間の光電変換特性のばらつきを低減し、更には画素間におけるクロストークを低減する積層型固体撮像装置が実現する。
また本実施形態では、画素電極1及びその上の絶縁膜31を一括形成するため、製造プロセスを簡易化することができる。
次いで、第4の実施形態について説明する。本実施形態では、第1〜第3の実施形態から選ばれた1種の積層型固体撮像装置を備えた撮像システム(カメラ)を開示する。
図12は、第4の実施形態による撮像システムの概略構成を示すブロック図である。
Claims (15)
- 互いに離間して配置された複数の画素電極と、
前記画素電極の上に配置された絶縁膜と、
前記画素電極の間に配置された絶縁部材である画素分離膜と、
前記絶縁膜の上に配置された光電変換膜と
を備え、
前記画素分離膜は、前記画素電極側の端部を有し、前記端部が前記画素電極の端部に接することを特徴とする撮像装置。 - 前記絶縁膜は、前記画素分離膜の上に配置されることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記絶縁膜は、前記画素電極の上面上のみに配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の撮像装置。
- 互いに離間して配置された複数の画素電極と、
前記画素電極の上に配置され、且つ、前記画素電極の端部を覆って配置された絶縁膜と、
前記画素電極の間に配置された絶縁部材である画素分離膜と、
前記絶縁膜の上に配置された光電変換膜と
を備え、
前記画素分離膜は、前記画素電極側の端部を有し、前記画素電極側の端部は、前記絶縁膜の前記画素電極の端部を覆う部分に接して配置されることを特徴とする撮像装置。 - 前記絶縁膜は、前記画素分離膜の下に配置されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記画素分離膜は、前記画素電極よりも厚いことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記画素分離膜は、前記絶縁膜よりも厚いことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記画素分離膜は、前記画素電極及び前記絶縁膜の合計膜厚よりも厚く形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記画素分離膜の前記画素電極側の端部は、前記画素電極の上面の上に配置されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記絶縁膜と前記画素分離膜とは、同一の材料で形成されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記絶縁膜と前記画素分離膜とは、異なる材料で形成されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記画素分離膜は、その上面が平坦化されていることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記画素分離膜は、その上面が凹状を有することを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記絶縁膜は、前記画素電極の表面の凹凸により生じた段差よりも厚く形成されていることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置から出力された信号を処理する信号処理回路と
を含むことを特徴とする撮像システム。
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